CN110208286A - 一种检测设备 - Google Patents

Abstract

本发明实施例公开了一种检测设备，检测设备包括：初扫组件、传动组件、复检组件和控制器；初扫组件承载并初扫描待检测面板以获取探测信号，并将探测信号传输至控制器，传动组件提取初扫组件扫描完成的待检测面板并传送给复检组件，复检组件承载待检测面板并根据控制器传输的复检信号对待检测面板进行复检扫描以获得待检测面板的缺陷图像；控制器用于根据探测信号分析得出待检测面板的异常信号点并将异常信号点对应的位置标记为待检测面板的缺陷位置，控制传动组件传动待检测面板，还用于将复检信号传输至复检组件以使复检组件对待检测面板的缺陷位置进行复检扫描，复检信号包括待检测面板的缺陷位置信息。本发明实施例，提高了检测效率。

Description

一种检测设备

技术领域

本发明实施例涉及面板检测技术，尤其涉及一种检测设备。

背景技术

在显示面板制造过程中，显示不良的产生是不可避免的。显示不良与材料和工艺都有关系，发光材料、阵列层、金属电极层(栅极、源极及漏极)、绝缘层和封框胶等材料和在制作以上材料层的工艺中任何步骤出现缺陷都能够产生显示不良。基于此，目前显示面板制造的工序中，还包括面板检测工序，如此可避免不良显示面板流入市场。

如图1所示，为现有技术提供的一种面板表面缺陷检测设备。该面板表面检测设备中，4个线阵扫描相机1和2个面阵扫描相机2分别布置在两个龙门3上，并沿x方向步进移动，显示面板4放置在载台5上且沿y方向往复移动进行检测。具体的，首先是线阵扫描相机1对显示面板4进行初扫描scan，每扫描完一行，线阵扫描相机1配合步进一次，一块显示面板4至少需要三个单程的线阵扫描路线，每个扫描单程中都可以得出相应扫描区域的探测信号值；然后是面阵扫描相机2对显示面板4进行复检扫描review，面阵扫描相机基于线扫的信号数据在有标记的缺陷区域放大采集，每扫描完一行，面阵扫描相机2配合步进一次，对下一行里的标记区域进行复检。。一块显示面板4扫描检测完成后，才能进行下一块显示面板4的扫描检测。

显然，现有的面板表面缺陷检测设备的扫描检测时间长，扫描检测效率低下。

发明内容

本发明实施例提供一种检测设备，以提高检测效率。

本发明实施例提供了一种检测设备，所述检测设备用于对至少一个待检测面板进行检测，所述检测设备包括：初扫组件、传动组件、复检组件和控制器；

所述初扫组件用于承载并初扫描所述待检测面板以获取探测信号，并将所述探测信号传输至所述控制器，所述传动组件用于提取所述初扫组件扫描完成的所述待检测面板并传送给所述复检组件，所述复检组件用于承载所述待检测面板并根据所述控制器传输的复检信号对所述待检测面板进行复检扫描以获得所述待检测面板的缺陷图像；

所述控制器分别与所述初扫组件、所述传动组件和所述复检组件电连接，用于根据所述探测信号分析得出所述待检测面板的异常信号点并将所述异常信号点对应的位置标记为所述待检测面板的缺陷位置，控制所述传动组件传动所述待检测面板，还用于将所述复检信号传输至所述复检组件以使所述复检组件对所述待检测面板的缺陷位置进行复检扫描，所述复检信号包括所述待检测面板的缺陷位置信息。

进一步地，所述初扫组件、所述传动组件和所述复检组件沿第一方向依次排布，所述第一方向平行于所述待检测面板所在平面。

进一步地，所述传动组件为机械手或吸盘，用于从所述初扫组件中提取出扫描完成的所述待检测面板并放置在所述复检组件中。

进一步地，所述初扫组件和所述传动组件沿第一方向依次排布，所述初扫组件和所述复检组件沿第二方向依次排布，所述第一方向平行于所述待检测面板所在平面，所述第二方向垂直于所述待检测面板所在平面。

进一步地，所述传动组件包括抓取单元和顶升单元；

所述抓取单元用于从所述初扫组件中提取出扫描完成的所述待检测面板并放置在所述顶升单元中，还用于从所述顶升单元中提取出所述待检测面板并放置在所述复检组件中；

所述顶升单元用于从所述初扫组件所在平面移动至所述复检组件所在平面以使所述待检测面板传送至所述复检组件，还用于从所述复检组件所在平面移动至所述初扫组件所在平面以传送下一张所述待检测面板。

进一步地，所述初扫组件或所述复检组件包括：载台结构，设置在所述载台结构所在平面的一侧且与所述载台结构所在平面存在间隙的龙门结构，以及设置在所述龙门结构上的至少一个扫描单元，所述龙门结构沿第二方向延伸；

所述载台结构用于承载所述待检测面板，并在所述控制器的控制下沿第一方向做往复运动以带动所述待检测面板沿所述第一方向做往复运动；

所述龙门结构用于在所述控制器的控制下带动所述至少一个扫描单元沿所述第二方向运动，所述初扫组件的至少一个扫描单元用于扫描以获取所述待检测面板的探测信号，所述复检组件的至少一个扫描单元用于扫描以获取所述待检测面板的缺陷图像；

所述第一方向与所述第二方向交叉。

进一步地，所述初扫组件的扫描单元为线阵扫描相机，所述复检组件的扫描单元为面阵扫描相机。

进一步地，所述载台结构包括载台和与所述载台连接的第一电机，所述载台用于承载所述待检测面板，所述第一电机用于在所述控制器的控制下沿第一方向做往复运动以带动所述待检测面板沿所述第一方向做往复运动。

进一步地，所述龙门结构包括至少一个龙门和设置在所述龙门上的第二电机，所述龙门通过所述第二电机与对应的所述扫描单元连接，所述第二电机用于在所述控制器的控制下带动所述扫描单元沿第二方向运动。

进一步地，所述初扫组件的龙门结构包括平行设置的至少两个龙门，所述复检组件的龙门结构包括至少一个龙门。

本发明实施例中，初扫组件和复检组件独立设置，则每个面板的初扫scan过程和复检review过程被分隔开，使得每个面板的scan过程和review过程能够独立进行，复检组件对一待检测面板进行复检时，初扫组件可以对下一块甚至下下一块待检测面板进行初扫，如此形成了连续作业，实现了对面板的高速扫描，缩短了检测时间，提高了检测效率和产率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术提供的一种面板表面缺陷检测设备及扫描方式示意图；

图2为图1所示面板表面缺陷检测设备的另一种扫描方式示意图；

图3为图1和图2所示扫描方式的面板检测时间对比图；

图4是本发明实施例提供的一种检测设备的示意图；

图5是本发明实施例提供的检测设备的面板检测时间示意图；

图6是多种检测设备的面板检测时间对比图；

图7是本发明实施例提供的一种检测设备的示意图；

图8是本发明实施例提供的一种检测设备的示意图；

图9是本发明实施例提供的一种检测设备的初扫组件的局部结构示意图；

图10是本发明实施例提供的一种检测设备的复检组件的局部结构示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，以下将参照本发明实施例中的附图，通过实施方式清楚、完整地描述本发明的技术方案，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图2所示，为图1所示面板表面缺陷检测设备的另一种扫描方式的示意图。与图1所示扫描方式的区别在于，scan过程和review过程交叠进行。具体的，线阵扫描相机1开始scan，接着面阵扫描相机2就对线阵扫描相机1扫描过的部分开始review，一行扫描完成后，相机配合步进一次，即scan和review交叠进行。线阵扫描相机1是对面板进行整体扫描，分析并标注出缺陷的位置；面阵扫描相机2根据线阵扫描相机1标记出的缺陷位置对缺陷区域进行放大采集，输出缺陷图像。面扫的一个单程所需要花费的时间大于线扫的一个单程所需要花费的时间。

如图3为图1和图2所示检测设备的两种扫描方式的检测时间对比图。为了便于数据统计，假设线阵扫描相机1对面板4所有区域进行了标记，面阵扫瞄相机2也需要对面板4整体复检。

图1提供的扫描方式S1，检测设备检测一块面板的检测时间等于上料时间t1+scan时间(3t2)+review时间(5t3)+下料时间t1，其中，t1是指机械手提取待检测面板并将其放置到检测设备中的时长，也是指机械手从检测设备中提取出扫描完成的待检测面板的时长，t2是线阵扫描相机1扫描一行的时长即一个线扫单程时长，t3是面阵扫描相机2扫描一行的时长即一个面扫单程时长。需要说明的是，上料时间和下料时间相对于线扫/面扫单程时长均非常短，故假定上料时间和下料时间相等，实际情况中可能存在微小时间差异。可选t2为20％t3～80％t3。

图2提供的扫描方式S2，检测设备检测一块面板的检测时间等于上料时间t1+扫描时间(3t4+5t3)+下料时间t1。图2所示扫描方式，扫描时间由scan和review花费时间多的一方来决定，其中，一个面扫单程时长约等于一个线扫单程时长的2倍，scan为3个单程，review为5个单程，所以扫描时间由review决定。需要说明的是，在线阵扫描相机1扫描对应的单程路径时，扫描开始工作t4时间后，面阵扫描相机2开始扫描，则每次线扫对应的单程路径时均需花费时长t4+t3，可选t4为0.5*t2，故扫描时间为1.5t2+5t3。

图2的检测效率高于图1的检测效率。具体的，经过试验验证，目前两种扫描方案扫描效率均较低，图2的检测时间与图1相比，仅仅缩短了10％。

参考图4所示，为本发明实施例提供的一种检测设备的示意图。本实施例提供的检测设备可用于对至少一个待检测面板进行检测，可选待检测面板为任意一种显示面板类型，如液晶显示面板、有机发光显示面板或电子纸显示面板。

本实施例提供的检测设备包括：初扫组件10、传动组件20、复检组件30和控制器40；初扫组件10用于承载并初扫描待检测面板以获取探测信号，并将探测信号传输至控制器40，传动组件20用于提取初扫组件10扫描完成的待检测面板并传送给复检组件30，复检组件30用于承载待检测面板并根据所述控制器传输的复检信号对所述待检测面板进行复检扫描以获得所述待检测面板的缺陷图像；控制器40分别与初扫组件10、传动组件20和复检组件30电连接，用于根据探测信号分析得出待检测面板的异常信号点并将异常信号点对应的位置标记为待检测面板的缺陷位置，控制传动组件20传动待检测面板，还用于将复检信号传输至复检组件30以使复检组件30对待检测面板的缺陷位置进行复检扫描，复检信号包括待检测面板的缺陷位置信息。

本实施中，初扫组件10中设置有载台结构和扫描单元，载台结构用于承载待检测面板，扫描单元用于对待检测面板进行初扫描。需要说明的是，初扫组件10与控制器40电连接，具体的控制器40可以控制载台结构进行往复运动，控制器40还控制扫描单元进行初扫。然后，初扫组件10在初扫描待检测面板的过程中得出待检测面板相应扫描区域的探测信号，再将采集的待检测面板的探测信号数据传送给控制器40以便于进行后续的缺陷复检。

本实施例的初扫组件10中，扫描单元步进移动，载台结构往复运动而带动其上的待检测面板进行往复运动，则待检测面板往复运动以及扫描单元步进移动的配合，使得初扫组件10可以对待检测面板进行整体扫描并采集到待检测面板的每个扫描区域的探测信号数据，初扫组件10采集的探测信号数据均传送至控制器40进行分析处理。在此不具体赘述初扫组件10采集探测信号数据的过程和原理。

本实施中，复检组件30中设置有载台结构和扫描单元，载台结构用于承载待检测面板，其中的扫描单元用于对待检测面板进行复检扫描。需要说明的是，复检组件30与控制器40电连接，具体的控制器40可以控制载台结构进行往复运动，控制器40还控制扫描单元进行图像复检扫描，该复检扫描是基于初扫组件10的初扫描结果进行复检，即控制器40向复检组件30传输复检信号，复检信号包括待检测面板的缺陷位置信息，复检组件30根据复检信号对待检测面板中被标记出的缺陷区域放大采集以得到面板缺陷图像。本实施例的复检组件30中，扫描单元步进移动，载台结构往复运动而带动其上的待检测面板进行往复运动，则待检测面板往复运动以及扫描单元步进移动的配合，使得复检组件30可以扫描面板所有区域并采集到待检测面板的缺陷区域的缺陷信息，复检组件30采集的信息均传送至控制器40进行分析处理，得出缺陷图像。在此不具体赘述复检组件30采集面板缺陷图像的过程和原理。

本实施例中，传动组件20与控制器40电连接，控制器40在判定初扫组件10对待检测面板初扫描完成后给传动组件20发送传动控制信号，则传动组件20在控制器40的控制下，从初扫组件10中提取出初扫描完成的待检测面板并传送给复检组件30以供复检组件30进行复检扫描。本实施例中，初扫组件10和复检组件30独立设置，传动组件20在其中起到传送待检测面板的作用。初扫组件10对第一个面板进行初扫描并完成后，传动组件20将第一个面板传送给复检组件30，复检组件30对第一个面板进行复检同时初扫组件10对第二个面板进行初扫。

以初扫组件10扫描一个面板的时长为3t2，复检组件30扫描一个面板的时长为5t3为例，如图5所示为本实施例的检测设备连续检测10个面板的时间示意图。每个面板顺序经过上料(t1)、scan(3t2)、传送(t1)、review(5t3)和下料(t1)的5个步骤，其中传送时间为t1。其中，第一块面板M1开始传送时，同时第二块面板M2可以开始上料；顺序的，第二块面板M2开始传送时，同时第三块面板M3可以开始上料；依次类推，完成10块面板的检测。需要说明的是，上料、传送和下料的时间均远远小于一行的扫描时间，一个线扫单程时长t2小于一个面扫单程时长t3，则前一块面板进行复检时，后一块面板已经开始等待传送并复检，后一块面板开始复检时，前一块面板正在进行下料，如此实现了不同面板检测时间上的同步，提高了检测效率。需要说明的是，上料时间、传送时间和下料时间相对于线扫/面扫单程时长，均非常短，故假定上料时间、传送时间和下料时间均相等，实际情况中可能存在微小时间差异。10个面板的检测时长等于t1+3t2+t1+10*5t3+t1。可选t2为50％*t3。

如图6为图1、图2和图4所示不同扫描方式扫描10块面板的检测时间对比图。

图1提供的扫描方式S1，检测设备检测一块面板的检测时间等于2t1+13t2，则10个面板的检测时长等于20t1+130t2。

图2提供的扫描方式S2，检测设备检测一块面板的检测时间等于2t1+11.5t2，则10个面板的检测时长等于20t1+115t2。

图4的检测设备S3检测10个面板的检测时长等于3t1+103t2。

可见，本实施例的检测设备有效提高了扫描效率，减少了扫描时间。

本实施例中，控制器40为主控器，分别与初扫组件10、传动组件20和复检组件30电连接，每个组件的工作均由控制器40控制执行。具体的，控制器40控制初扫组件10对待检测面板进行初扫描并获取到探测信号，根据探测信号确定待检测面板的异常信号点并将异常信号点对应的位置标记为待检测面板的缺陷位置，还控制传动组件20传动待检测面板以及控制复检组件30对待检测面板上经初扫组件10初扫描过程中标出的缺陷位置进行复检，以获得缺陷图像。对于任意一块待检测面板，控制器40接收初扫组件10传输的待检测面板M的探测信号数据，并对异常信号对应的缺陷区域进行位置标记；控制器40控制复检组件30对缺陷位置进行放大扫描以接收复检组件30传输的待检测面板M缺陷信息数据，经分析和处理数据输出缺陷图像，由此可得到待检测面板M是否存在缺陷以及缺陷类型，由此实现缺陷检测。需要说明的是，控制器40分析面板图像以实现缺陷检测的过程与现有技术类似，在此不再赘述和说明。本领域技术人员可以理解，上述实施例仅简单说明了控制器对每个组件进行控制，具体控制方式和控制过程在此不再赘述。

本实施例中，初扫组件和复检组件独立设置，则每个面板的初扫过程和复检过程被分隔开，使得每个面板的scan过程和review过程能够独立进行，复检组件对一待检测面板进行复检时，初扫组件可以对下一块甚至下下一块待检测面板进行初扫，如此形成了连续作业，实现了对面板的高速扫描，缩短了检测时间，提高了检测效率和产率。

示例性的，在上述技术方案的基础上，如图4所示可选初扫组件10、传动组件20和复检组件30沿第一方向依次排布，第一方向平行于待检测面板所在平面。在此初扫组件10、传动组件20和复检组件30沿第一方向依次排布，便于传动组件20对待检测面板进行传送，同时排布方式简单，则便于独立制造每个组件，也便于安装或更换一个或多个组件。在此传动组件20实现第一方向上的待检测面板的传送，无需上升或下落，因此可选传动组件20为机械手或吸盘，用于从初扫组件10中提取出扫描完成的待检测面板并放置在复检组件30中。

示例性的，在上述技术方案的基础上，如图7所示可选初扫组件10和传动组件20沿第一方向依次排布，初扫组件10和复检组件30沿第二方向依次排布，第一方向平行于待检测面板所在平面，第二方向垂直于待检测面板所在平面。在此可选初扫组件10位于复检组件30的下方，或者，初扫组件10位于复检组件30的上方。

可选传动组件20包括抓取单元和顶升单元；抓取单元用于从初扫组件10中提取出扫描完成的待检测面板并放置在顶升单元中，还用于从顶升单元中提取出待检测面板并放置在复检组件30中；顶升单元用于从初扫组件10所在平面移动至复检组件30所在平面以使待检测面板传送至复检组件30，还用于从复检组件30所在平面移动至初扫组件10所在平面以传送下一张待检测面板。在此，传动组件20为伸缩结构，可上升可下降，进而与初扫组件10或复检组件30位于同一平面，以便于传送待检测面板。可选抓取单元为机械手或吸盘。能够灵活从初扫组件10中抓取出扫描完成的待检测面板，还能够灵活将待检测面板放置在复检组件30中。

如图8所示可选初扫组件10或复检组件30包括：载台结构，设置在载台结构所在平面的一侧且与载台结构所在平面存在间隙的龙门结构，以及设置在龙门结构上的至少一个扫描单元，龙门结构沿第二方向延伸；载台结构用于承载待检测面板，并在控制器的控制下沿第一方向做往复运动以带动待检测面板沿第一方向做往复运动；龙门结构用于在控制器的控制下带动至少一个扫描单元沿第二方向运动，初扫组件10的至少一个扫描单元用于扫描以获取待检测面板的探测信号，复检组件30的至少一个扫描单元用于扫描以获取待检测面板的缺陷图像；第一方向与第二方向交叉。可选初扫组件10的扫描单元为线阵扫描相机，复检组件30的扫描单元为面阵扫描相机。可选载台结构包括载台和与载台连接的第一电机，载台用于承载待检测面板，第一电机用于在控制器的控制下沿第一方向做往复运动以带动待检测面板沿第一方向做往复运动。可选龙门结构包括至少一个龙门和设置在龙门上的第二电机，第二电机在龙门上进行步进运动，控制器控制第二电机运动，进而带动第二电机上对应的扫描单元实现步进运动，第二电机用于在控制器的控制下带动扫描单元沿第二方向运动。

可选第一电机为直线电机，用于控制载台沿直线进行往复运动。在此控制器给第一电机下发控制指令，以使第一电机进行第一方向的往复运动。需要说明的是，控制器根据扫描单元的扫描路径给第一电机下发控制指令，以使第一电机进行第一方向的往复运动，使得扫描单元能够扫描得到待检测面板的图像。

可选第二电机为直线电机，用于控制扫描单元在龙门上进行步进移动。在此控制器给第二电机下发控制指令，以使第二电机进行第二方向的运动。需要说明的是，控制器根据扫描单元的扫描路径给第二电机下发控制指令，以使第二电机进行第二方向的运动，使得扫描单元能够扫描得到待检测面板的图像。

本实施例中，初扫组件和复检组件为两层设计，线阵扫描相机布置在至少一个龙门上作第二方向的步进移动，面阵扫描相机布置在至少一个龙门上作第二方向的步进移动。待检测面板放置在载台上作第一方向的往复运动。具体的，检测设备还包括大理石工件台和上下料机械手，第一电机设置且连接大理石基板上y方向的移动载台，第二电机设置且连接龙门上x方向的步进相机。

搬运机械手将待检测面板放置在scan层的载台上，定位后线阵扫描相机开始scan，scan结束后，由传动组件将面板顶升到review层，面阵扫描相机开始review，review结束后搬运机械手下料，完成一个面板扫描工作流程。由于scan和review能够独立进行，故上层review的时候下层scan可以继续后续面板的scan，传动组件用来将scan之后的面板顶升到第二层并缓存，为review做准备。因此整台设备可以进行连续作业，减少了相机的等待时间。

双层结构将scan和review两个过程分隔开，使其能够独立进行，上层review的时候下层可以进行第二块甚至第三块面板的scan，形成连续作业，两层之间加一传动组件，用来将scan之后的面板顶升到review层并缓存，准备进行review。实现了对于面板的高速扫描，缩短了tact time，让设备能够连续作业，提高了产率。

如图9和图10所示，可选初扫组件10的龙门结构包括平行设置的至少两个龙门，复检组件的龙门结构包括至少一个龙门。可选初扫组件10的龙门结构包括平行设置的两个龙门，如图9所示每个龙门上设置有两个线阵扫描相机；复检组件30的龙门结构包括两个龙门，如图10所示每个龙门上设置有一个面阵扫描相机。scan时，每个龙门上都布置线阵扫描相机，两个龙门上的相机分别负责面板前后两部分的扫描，面板放置在载台上作y方向移动，每扫描完一行，相机配合在x方向步进一次；review时，同理，两个龙门上的面阵扫描相机分别负责面板前后两部分的扫描，每扫描完一行，相机配合步进一次。进一步节省了tacttime。

需要说明的是，本实施例中，scan和review可以独立进行，上层review的时候下层可以进行后续面板的scan，scan之后的面板缓存到传动组件，为review做准备，形成连续作业。连续作业时，review和下料所用的时间就是一块面板完成一个完整流程所用的时间，大大缩短了tact time，相对于现有技术的扫描方式，tact time缩短了60％；相对于一层结构scan和review同步进行的扫描方式，tact time缩短了55％，提高了产率。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整、相互结合和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种检测设备，其特征在于，所述检测设备用于对至少一个待检测面板进行检测，所述检测设备包括：初扫组件、传动组件、复检组件和控制器；

所述初扫组件用于承载并初扫描所述待检测面板以获取探测信号，并将所述探测信号传输至所述控制器，所述传动组件用于提取所述初扫组件扫描完成的所述待检测面板并传送给所述复检组件，所述复检组件用于承载所述待检测面板并根据所述控制器传输的复检信号对所述待检测面板进行复检扫描以获得所述待检测面板的缺陷图像；

所述控制器分别与所述初扫组件、所述传动组件和所述复检组件电连接，用于根据所述探测信号分析得出所述待检测面板的异常信号点并将所述异常信号点对应的位置标记为所述待检测面板的缺陷位置，控制所述传动组件传动所述待检测面板，还用于将所述复检信号传输至所述复检组件以使所述复检组件对所述待检测面板的缺陷位置进行复检扫描，所述复检信号包括所述待检测面板的缺陷位置信息。

2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述初扫组件、所述传动组件和所述复检组件沿第一方向依次排布，所述第一方向平行于所述待检测面板所在平面。

3.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述传动组件为机械手或吸盘，用于从所述初扫组件中提取出扫描完成的所述待检测面板并放置在所述复检组件中。

4.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述初扫组件和所述传动组件沿第一方向依次排布，所述初扫组件和所述复检组件沿第二方向依次排布，所述第一方向平行于所述待检测面板所在平面，所述第二方向垂直于所述待检测面板所在平面。

5.根据权利要求4所述的检测设备，其特征在于，所述传动组件包括抓取单元和顶升单元；

所述抓取单元用于从所述初扫组件中提取出扫描完成的所述待检测面板并放置在所述顶升单元中，还用于从所述顶升单元中提取出所述待检测面板并放置在所述复检组件中；

所述顶升单元用于从所述初扫组件所在平面移动至所述复检组件所在平面以使所述待检测面板传送至所述复检组件，还用于从所述复检组件所在平面移动至所述初扫组件所在平面以传送下一张所述待检测面板。

6.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述初扫组件或所述复检组件包括：载台结构，设置在所述载台结构所在平面的一侧且与所述载台结构所在平面存在间隙的龙门结构，以及设置在所述龙门结构上的至少一个扫描单元，所述龙门结构沿第二方向延伸；

所述载台结构用于承载所述待检测面板，并在所述控制器的控制下沿第一方向做往复运动以带动所述待检测面板沿所述第一方向做往复运动；

所述龙门结构用于在所述控制器的控制下带动所述至少一个扫描单元沿所述第二方向运动，所述初扫组件的至少一个扫描单元用于扫描以获取所述待检测面板的探测信号，所述复检组件的至少一个扫描单元用于扫描以获取所述待检测面板的缺陷图像；

所述第一方向与所述第二方向交叉。

7.根据权利要求6所述的检测设备，其特征在于，所述初扫组件的扫描单元为线阵扫描相机，所述复检组件的扫描单元为面阵扫描相机。

8.根据权利要求6所述的检测设备，其特征在于，所述载台结构包括载台和与所述载台连接的第一电机，所述载台用于承载所述待检测面板，所述第一电机用于在所述控制器的控制下沿第一方向做往复运动以带动所述待检测面板沿所述第一方向做往复运动。

9.根据权利要求6所述的检测设备，其特征在于，所述龙门结构包括至少一个龙门和设置在所述龙门上的第二电机，所述龙门通过所述第二电机与对应的所述扫描单元连接，所述第二电机用于在所述控制器的控制下带动所述扫描单元沿第二方向运动。

10.根据权利要求9所述的检测设备，其特征在于，所述初扫组件的龙门结构包括平行设置的至少两个龙门，所述复检组件的龙门结构包括至少一个龙门。