CN107466475A - 用于检查透光光学组件的设备和方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种用于检查透光光学组件的装置。本装置包括一个图像拍摄模块,其被安置在支撑件的第一侧,该支撑件经配置以支持被检测的透光光学组件。一个或多个第一照明装置被安置在支撑件的第一侧,且适配成从由支撑件支持的透光光学组件的第一侧照射。一个或多个第二照明装置被安置在支撑件的第二侧,且适配成从由支撑件支持的透光光学组件的第二侧照射,支撑件的第二侧与支撑件的第一侧相反。一个或多个第三照明装置被安置在支撑件的第二侧,且适配成在由支撑件支持的透光光学组件的第二侧提供透射照明,第三照明装置包括一个或多个照明表面和阻光表面,其被选择性地操作,并布置成朝向并对准位于支撑件第二侧的第二照明装置。
Description
【技术领域】
本发明涉及检查透光光学组件的领域。特别地但不排他地,本发明涉及用于检查诸如光学透镜的透光光学组件中缺陷的设备和方法。
【背景技术】
诸如相机和/或摄像机之类的光学器件已经在日常生活中被普遍使用,其变化也被广泛地集成到诸如智能电话、平板电脑的便携式电子设备中,以及集成到移动监控单元中,诸如用于家庭使用或可安装在车辆或建筑物中的数码相机和/或录像机。通常,这些光学器件或其变化包括一个或多个光透射光学部件,如光学透镜,在其制造过程中,检查这些光学透镜的缺陷一直极具挑战性。透镜检查通常需要检查员具备专门技能,且该过程可能会耗时费力。现有方法包括对透镜缺陷进行手动和目视检测,如黑点、划痕、灰尘或污垢颗粒、气泡、流痕和/或其他注入或涂层缺陷。因此,这种检测的质量在很大程度上取决于检测人员的判断,这可能是很主观的和不一致的。检测精度可能进一步受到影响,特别是批量生产过程中,需要手动和目视检测大量透镜。可以理解的是,长时间连续和重复的视觉检测会导致视力疲劳甚至损害视力,这会进一步降低检测质量和可靠性。
【发明目的】
本发明的目的是提供一种用于检测诸如光学透镜的透光光学组件的装置。
本发明的另一个目的是在某种程度上减轻或消除与用于检测透光光学组件的已知方法相关的一个或多个问题,或至少提供一个有用的替代方案。
上述目的是通过组合主要权利要求的特征来实现;子权利要求披露了本发明的进一步有利实施例。
本领域技术人员将从以下描述中获知本发明的其它目的。因此,上述目的陈述并不是穷尽的,而只是用于说明本发明的多个目的中的一些目的。
【发明内容】
在第一主要方面,本发明提供了一种用于检测透光光学组件的装置,包括:图像拍摄模块,其被安置在支撑件的第一侧,该支撑件经配置以支持一个被检测的透光光学组件;一个或多个第一照明装置,其被安置在该支撑件的第一侧,适配成从由该支撑件支持的透光光学组件的第一侧照射;一个或多个第二照明装置,其被安置在该支撑件的第二侧,适配成从由该支撑件支持的透光光学组件的第二侧照射;该支撑件的第二侧与该支撑件的第一侧相反;其中一个或多个第一照明装置和一个或多个第二照明装置适配成选择性地开启,以使得图像拍摄模块能够拍摄由该支撑件支持的透光光学组件的一个或多个明场图像和暗场图像。
在第二主要方面,本发明提供了一种用于检查透光光学组件的系统,该透光光学组件包括本发明第一方面的两个或多个装置。
在第三主要方面,本发明提供了一种使用第一方面的装置对透光光学组件进行自动检测的方法。该方法包括:将透光光学组件放置在装置的图像拍摄位置;开启该装置的一个或多个第一照明装置和第二照明装置;在第一照明装置和第二照明装置的不同配置下拍摄透光光学组件的一系列图像;分析该系列图像以识别被检测的透光光学组件的缺陷。
本发明的概述不一定披露了本发明的所有特征;本发明可以存在于所披露特征的子组合中。
【附图说明】
以下通过示例并结合附图的方式描述优选实施例,本发明的前述和其它特征将变得显而易见,其中:
图1是本发明第一实施例的用于检测透光光学组件的装置的示意图;
图2是本发明第二实施例的用于检测透光光学组件的装置的示意图;
图3显示图1装置的第二照明装置被选择性地开启;
图4显示由图3装置拍摄的一系列图像;
图5显示由图3装置在50ms、130ms和250ms处拍摄的图像;
图6显示图1装置的第二照明装置和可选的第三照明装置被选择性地开启;
图7A显示由图6装置拍摄的图像,其中第三照明装置被关闭,提供一个暗哑光背景;
图7B显示由图6装置拍摄的图像,其中第三照明装置被开启,没有暗哑光背景;
图8显示图1装置,其中任何一个或多个第一照明装置、第二照明装置和第三照明装置被选择性地开启;
图9A显示仅在第二照明装置开启时由图8装置拍摄的图像;
图9B显示仅在第一照明装置开启时由图8装置拍摄的图像;
图9C显示仅在第三照明装置开启时由图8装置拍摄的图像;
图10是本发明确定装置使用的设置的步骤流程图;
图11是本发明用于检查透光光学组件的系统的示意图。
【具体实施方式】
以下仅通过示例来描述优选实施例,并不限制实现本发明所必需的特征组合。
在本说明书中,“一个实施例”或“实施例”意味着在该实施例中描述的特定特征、结构或特性包含在本发明的至少一个实施例中。在说明书中不同地方出现的短语“在一个实施例中”并不一定都是指相同的实施例,也不是与其他实施例相互排斥的单独或替代实施例。此外,描述的各种特征可能由一些实施例而不是由其他实施例展现。类似地,描述的各种要求可能是一些实施例但不是其它实施例所需要。
参见图1,显示本发明第一实施例的用于检查透光光学组件5的装置10的示意图。光学组件5可以是用于各种目的的任何透光物体,例如但不限于用于相机、相机电话、录像机、单目镜或双目镜、望远镜或显微镜中的光学透镜。该光学透镜也可以由允许透光的任何合适材料制成,例如但不限于水晶、玻璃或塑料等。
装置10可以包括一个观察位置或装置,或者更具体地,一个图像拍摄模块20,其可以是一个或多个相机和摄像机,用于拍摄被检测光学组件5的一个或多个图像或视频。优选地,图像拍摄模块20与一个或多个计算机存储介质、图像处理装置和网络数据库连接,用于输出、传送、存储和/或处理所拍摄的图像和视频。
图像拍摄模块20可以安置在支撑件30的第一侧,如图所示的上侧,该支撑件30用于支持被检测的光学组件5。在此实施例中,装置10还包括安置在支撑件30第一侧的一个或多个第一照明装置40,第一照明装置40从由支撑件30支持的光学组件5的第一侧(如此实施例中的上侧)照射。
装置10还可以包括一个或多个第二照明装置50,其被安置在支撑件30的第二侧,如图所示的下侧,其中第二侧与支撑件30的第一侧相反。第二照明装置50从光学组件5的第二侧照明,如本实施例中的下侧。具体地,第一照明装置40和第二照明装置50可以选择性地开启,以使得图像拍摄模块20能够拍摄被检测光学组件5的一个或多个明场图像和暗场图像。
在一个实施例中,支撑件30可沿着第一照明装置40和第二照明装置50之间的x轴、y轴和z坐标轴中的至少一个轴移动,从而将所支持的光学组件5对准放置在一个适当的图像拍摄位置或检测位置上。特别地,支撑件30还可以用于支持多于一个透光光学组件,诸如一个线性的或圆形的安排,支撑件30还可以是可移动的或可旋转的,从而将多个光学组件中相应的一个光学组件对准放置在第一照明装置40和第二照明装置50之间。
第一照明装置40可以包括一个环形构造,例如布置在图像拍摄模块一侧上的盘形照明器的形式。盘形构造可以包括一个自由空间中心孔,其与穿过支撑件30第一侧和第二侧的轴线A-A'对齐,轴线优选地与一个朝向图像拍摄模块20的可见光传送光路径对准,如图1所示。这样允许图像拍摄模块20对光学组件5进行任何图像拍摄,而不会被第一照明装置40阻挡或干扰。
第二照明装置50也可以包括环形构造,但是以图1所示的中空圆柱形的形式。优选地,圆柱形照明器可以包括一个沿着其长度延伸的自由空间中心通道,使得可以在圆柱形壁侧提供照明,但在中心处有暗背景用于暗场成像。优选地,中空中心基本上与轴线A-A'对齐,并与朝向图像拍摄模块20的可见光传送光路径对齐。
第一和第二照明装置40、50可以包括任何常见的可见光发射源诸如白炽灯、荧光灯、放电灯、排气灯、激光器或发光二极管(LED)等,每个光发射源可以可选地配备一个或多个漫射器用于均匀照明。
在一个实施例中,装置10还可以包括第三照明装置60,其放置在支撑件30的第二侧,即图中的下侧,用于向光学组件5提供透射照明,如图所示。第三照明装置60可以包括一个平面、平坦或弯曲的结构,但是优选地包括如图1所示的平面结构,具有至少一个照明表面64,其面向第二照明装置50并基本对准,第二照明装置50是位于支撑件30第二侧(下侧)的。优选地,第三照明装置60可以包括一个阻光表面62,其位于远离图像拍摄模块20的一侧,并与照明表面64相反。阻光表面62有利于防止外部光干扰图像拍摄模块20的图像拍摄。
优选地,第三照明装置60可以包括一个电子显示单元,例如但不限于液晶显示器(LCD)或有源矩阵有机发光二极管(AMOLED)显示器,尽管本领域技术人员将会理解,任何其它不同形状和构造的发光表面也可以是适用的。在一个实施例中,第三照明装置60可以包括一个LCD或AMOLED装置,其用于显示一个或多个均匀光图案,例如条纹或圆圈图案,优选地,均匀的白色图案以检测大小(amplitude)缺陷。第三照明装置60还可包括一个机械快门,其具有的深色、哑光百叶窗,朝向第二照明装置50,以在其它照明装置40和/或50开启时机械地阻挡来自第三照明装置60的照明表面64的任何杂散照明。可选地,可以在第二和第三照明装置50、60之间提供一个延迟板,用于将来自第三照明装置50的任何偏振光束转换为具有不同偏振特性的光,例如圆偏振光。
参见图2,显示本发明第二实施例的装置10。在此实施例中,第一照明装置40包括多个第一照明单元40,每个第一照明单元40用于以不同的和/或可调节的照明角度从第一上侧独立地照射光学组件5。例如,盘形第一照明装置40可以包括彼此同心布置的多个环形第一照明单元40。多个环形第一照明单元40可以是平面或基本是平面的布置,尽管在照明单元40之间的位置变化也是可能的,只要它们能够以不同角度朝被检测光学组件5发射光。
类似地,圆柱形第二照明装置50可以包括多个环形第二照明单元50,如图2所示,其中每个环形第二照明单元50用于以不同的和/或可调节的照明角度从第二下侧独立地照射光学组件5。如图所示,多个环形第二照明单元50可以彼此同轴地布置以形成中空圆柱体的第二照明装置50。
在另一个实施例中,一个或多个第一照明单元40和/或一个或多个第二照明单元50可以选择性地和独立地开启,以在不同的和/或改变照明角度和/或光强度提供对光源组件5的照明,从而允许改变或定制所拍摄图像的亮度和/或对比度。
图3显示本发明的一个实施例,其中装置10被配置为仅有第二照明装置50开启用于照明,即没有来自第一和第三照明装置40、60的发射光,从而允许对光学组件5进行背面暗场成像。在此实施例中,在第三照明装置60提供一个黑色无光泽表面,如阻光表面62,以允许吸收来自第二照明组件50的杂散光。在将光学组件5放置在适当图像拍摄位置之后,图像拍摄模块或相机单元20将被触发以拍摄至少一个图像,但优选是以相机20的不同曝光时间或快门速度的光学组件5的一系列暗场图像。
由图3装置10拍摄的暗场图像序列如图4所示。具体而言,图4显示曝光时间范围在40ms到250ms、间隔10ms所拍摄的暗场图像。图5还显示在50ms、130ms和250ms所拍摄的暗场图像。可以看到,在某次曝光,对于一个有缺陷的区域是可见的,而相同光学透镜的其它区域可能是完全曝光不足或曝光过度。这就解释了为什么需要一系列的改变曝光的和可选地利用其他光照设置来提供全面覆盖在光学透镜样品(即被检测的光学组件)的不同位置上出现的所有或大多数缺陷或缺陷类型。
因此,为了使位于光学组件的不同区域上的不同类型的缺陷能够被清楚地观察到,优选地采用在不同装置配置下拍摄一系列图像。不同配置可以包括但不限于改变相机的快门速度,因此可以在一个或多个照明装置30、40和50的照射下和/或各个照明装置30、40和50的不同配置下改变曝光时间,从而使得在一个或多个暗场和明场照明下能够检查光学组件。以不同的照明设置在暗场和/或明场条件下进行检测的选项,特别有利于以适当对比度和亮度来显露各种类型和尺寸的缺陷以及在不同镜片区域处的缺陷。
图6显示另一个例子的装置10,其被配置为第二照明装置50和第三照明装置60可操作。特别地,可以开启或关闭第三照明装置60,其可以是一个平面的、背正向漫射光照明装置,诸如LCD或AMOLED装置,而第二照明装置50保持开启,从而提供改变光设置用于相机20拍摄图像。所拍摄的各个图像在图7A和7B中显示。例如,图7A显示仅当第二照明装置50开启时所拍摄的组件5的暗场图像,即具有黑色、无光泽背景的暗场图像,该图像以高对比度显示组件5的多个缺陷。相同的缺陷在图7B中是不可见的。图7B是当第二和第三照明组件50、60都开启时所拍摄的相应图像,即具有白色哑光背景的图像,其被过度照明。
图8显示另一个例子的装置10,其被配置所有三个照明装置(第一、第二和第三照明装置40、50和60)都可操作。特别地,第一照明装置40用于提供明场视觉的前侧照明,给组件5,替代地或附加地提供给第二和/或第三照明装置50、60。在各个设置下拍摄的图像如图9A、9B和9C所示,在图像中圈出参考目标区域用于进行比较。具体地,图9A显示当只有第二照明装置50开启时组件5的暗视场图像,而在圆圈区域几乎没有或没有可观察到的缺陷。图9B显示仅当第一照明装置50开启时的组件5的前侧照明的明场图像,在圆圈区域上几乎没有或没有可观察到的缺陷。图9C显示仅有第三照明装置60开启时的组件5的背侧照明图像,该图像显示在圆圈区域处有一个高对比度的清晰缺陷,即黑点。
本发明装置还可以用于对一个或多个透光光学组件进行自动检测。例如,在通过将支撑件30的x、y或z坐标轴中的至少一个轴调整到装置10的适当的图像拍摄位置,对透光光学组件如光学透镜进行自动定位之后,第一、第二和第三照明装置40、50和60中的一个或多个照明装置可以顺序地、以任何组合同时地、或选择性地开启,以提供不同的或变化的照明给光学透镜,用于图像拍摄。因此,可以在不同照明场(诸如明场、暗场或明暗场组合)下拍摄图像,从而以不同对比度在光学透镜5的不同位置处显示不同类型的缺陷。在每个特定照明设置下,可以改变相机快门速度拍摄一幅或一系列图像,以获取不同曝光的图像用于进一步检测和分析。所拍摄的图像可以可选地被输出、传送、保存为数字数据在一个或多个计算机存储介质和一个或多个数据库中,或在检测之前或之后在任何计算机处理装置里进行处理。然后,可以由熟练的操作人员进行人工检测,即一个半自动化的过程,或者由一个或多个处理器执行合适的计算机软件自动进行检测,即一个完全自动化的检测过程。
优选地,第一、第二和第三照明装置40、50和60可以提供照明设置的其它变化,诸如通过第一照明装置40包括多于一个第一照明单元40,和/或第二照明装置50包括多于一个第二照明单元50,其中一个或多个这些相应单元选择性地和独立地开启以调整照明角度和/或亮度。
在一个优选实施例中,在通过装置10检测多个光学透镜之前,首先进行一个试运行或所谓的“自训练”过程,其目的是确定装置10的一个或多个优选设置或配置,用于检测诸如具有一种特定结构或透镜类型的多个光学透镜。一个试运行过程在图10的流程图中通过例子进行说明。在支撑件30上装载光学透镜5之后(步骤Ai),首先通过将支撑件30的x、y和/或z坐标轴中的一个或多个轴调整到一个适当的图像拍摄位置,将透镜5定位(步骤Aii)。然后,以任意或预定的顺序,一次一个地开启第一照明装置40、第二照明装置50和第三照明装置60。例如,首先开启第一照明装置40,而另外两个照明装置50、60关闭(步骤Bi)。拍摄在第一照明装置40照明下的第一测试图像(步骤Bii)。可选地,需要重新定位支撑件30(步骤C)以校正坐标位置。
可以改变曝光时间,拍摄一系列图像(步骤Biii),选择并保存显示最合适观察场的图像(步骤Ei),可选地,输出到一个检测计算机数据库(步骤Eii)。然后,关闭第一照明装置40(步骤Biv),接下来,开启下一个照明装置如第二照明装置50,重复照明和拍摄过程(步骤F),直到所有照明装置已按顺序被开启。
优选地,每个照明装置40、50、60也可以在其一个或多个优选照明配置或设置上开启,例如,如果照明装置包括多于一个照明单元,或者这些单元的任何特定组合。在各个照明装置以优选照明配置进行每次开启之后,相机20将改变曝光时间对光学组件5拍摄一系列图像。然后,分析并选择所拍摄的图像以供进一步检测。
或者,装置10的最佳合适或优选设置也可以通过诸如同时开启第一组合的两个照明装置来确定,第一组合的两个照明装置是从第一、第二和第三照明装置40、50、60中选择的;在开启第一组合照明装置之后,在第一组合的不同配置下拍摄光学组件的一系列图像;随后同时开启第二组合的两个照明装置,第二组合的两个照明装置是从第一、第二和第三照明装置40、50、60中选择的,其中第二组合不同于第一组合。在开启第二组合照明装置之后,同样在第二组合的不同配置下拍摄光学组件的一系列图像。这些组合的照明设置可以为不同类型的光学组件及其缺陷提供进一步变化的可能观察场。
然后,通过装置10在处理器控制下自动操作以检测批量生产的大量光学组件,所确定的合适或优选设置就可以用于大量检测过程。进行检测的步骤可以类似于图10所示的步骤,或可以根据不同的要求和/或应用而变化。所确定的合适或优选设置可以用于大量检测过程,以便根据确定装置的设置,不再需要进一步的试错。后续分析所拍摄图像的缺陷可以人工进行,即一个半自动化过程,但优选地在计算机处理设备或系统的控制下自动进行,即一个全自动检查过程。
在另一方面,本发明还可以涉及一种用于检测透光光学组件的系统。本系统可以包括如上所述的两个或多个装置10,其中装置10可以相同方向或彼此不同方向放置,如图11所示。一个系统中的两个装置相反放置,使得检测可以在相同光学透镜的两侧进行,在被检测透镜的两侧都可以进行明场和暗场检测。
本发明的优点在于它提供了一种用于检测透光光学组件(诸如光学透镜)的方法、装置和系统,该装置可以被配置以对光学组件进行明场和暗场检测,通过使用容易实现的宽范围曝光和可调节照明角度。这特别有利于在不同亮度和对比度下识别、检测和/或检查位于透镜不同区域或位置上的不同类型的缺陷。本装置还特别适于不同类型、形式和配置的光学组件。可以运行多于一个装置,作为一个具有多个检测点的系统,例如,朝向不同或相反的方向,以便能够检测光学透镜的两侧。本发明还提供一种使用所述装置对透光光学组件进行半自动或全自动检测的方法。自动化检测使光学组件能够被自动检测,以便能够大量地检测光学组件。本发明提供了一种有效且系统的方法用于检测透光光学组件质量,从而不需要人工或目视检测。该检测是可靠的、客观的和无偏见的。分析所拍摄的图像还可以通过计算机接口来实施,从而进一步提高该过程的效率。
本说明书描述了本发明的原理。因此,应当理解,本领域技术人员将能够设计出各种设置,尽管未在此明确描述或显示,但体现了本发明的原理并且包括在其精神和范围内。
此外,在此描述本发明的原理、方面和实施例的所有陈述以及其具体例子旨在涵盖其结构和功能等同物。此外,这种等同物旨在包括当前已知的等同物以及将来开发的等同物,即为执行相同功能而开发的任何组件,而不管其结构如何。
尽管已经在附图和前述中详细地显示和描述了本发明,其将被视为是说明性的而不是限制性的,应当理解,只显示和描述了示例性实施例,并没有以任何方式限制本发明。可以理解,本文所描述的任何特征可以与任何实施例一起使用。说明性实施例并不彼此排除或排斥在此未叙述的其他实施例。因此,本发明还提供包括上述一个或多个说明性实施例的组合的实施例。在不脱离本发明的精神和范围的情况下,可以对本发明进行修改和变化,因此,这种限制仅由所附权利要求指示。
在其权利要求中,表示为用于执行一特定功能的装置的任何元素旨在包含执行该功能的任何方式。由权利要求限定的本发明存在于这样的事实,即以各种所述装置提供的功能可以与以权利要求所要求的方式组合并汇集在一起。因此,能够提供这些功能的任何装置等同于本文所示的那些。
在权利要求和本发明的前述中,除非上下文因为明确语言或必要含义之外,词语“包括”或诸如“包括”或“包含”的变体是以包容性的意义使用,即指定所述特征的存在,但不排除本发明各种实施例中出现或额外的其它特征。
应当理解,如果在本文中提及任何现有技术,这种引用并不构成它形成一部分本领域公知常识的承认。
Claims (20)
1.一种用于检测透光光学组件的装置,包括:
图像拍摄模块,其被安置在支撑件的第一侧,所述支撑件经配置以支持被检测的透光光学组件;
一个或多个第一照明装置,其被安置在所述支撑件的第一侧,且适配成从由所述支撑件支持的透光光学组件的第一侧照明;
一个或多个第二照明装置,其被安置在所述支撑件的第二侧,且适配成从由所述支撑件支持的透光光学组件的第二侧照明,所述支撑件的第二侧与所述支撑件的第一侧相反;
一个或多个第三照明装置,其被安置在所述支撑件的第二侧,且适配成从由所述支撑件支持的透光光学组件的第二侧提供透光照明,所述第三照明装置包括一个或多个可选择性运行的照明表面和阻光表面,所述第三照明装置被布置以面向并基本上对齐所述第二照明装置,所述第二照明装置位于所述支撑件的第二侧;
其中所述一个或多个第一照明装置、所述一个或多个第二照明装置、和所述一个或多个第三照明装置适配成选择性地开启,以使得所述图像拍摄装置能够对所述支撑件支持的所述透光光学组件拍摄一个或多个明场图像和暗场图像。
2.根据权利要求1所述的装置,其中所述第一照明装置包括多个第一照明装置,每个第一照明装置都适配成从所述支撑件支持的所述透光光学组件的第一侧以不同照明角度独立地照明。
3.根据权利要求1所述的装置,其中所述第一照明装置包括一个环形配置。
4.根据权利要求3所述的装置,其中所述第一照明装置包括多个彼此同心布置的第一环形照明装置。
5.根据权利要求1所述的装置,其中所述第二照明装置包括一个具有自由空间中心通道的环形配置,所述自由空间中心通道与穿过所述支撑件第一侧和第二侧的轴基本上对齐。
6.根据权利要求5所述的装置,其中所述第二照明装置包括多个第二照明装置,每个第二照明装置都适配成从由所述支撑件支持的所述透光光学组件的第二侧以不同照明角度独立地照明。
7.根据权利要求6所述的装置,其中所述多个第二环形照明装置是彼此同轴安置。
8.根据权利要求1所述的装置,其中所述第三照明装置包括一个平面结构,其中所述照明表面朝向所述支撑件第二侧的所述第二照明装置。
9.根据权利要求1所述的装置,其中所述第三照明装置包括一个电子显示单元。
10.根据权利要求1所述的装置,其中所述支撑件可沿着x轴、y轴和z坐标轴中的至少一个轴在所述第一照明装置和所述第二照明装置之间移动。
11.根据权利要求1所述的装置,其中所述支撑件适配成支持多个透光光学组件,所述支撑件是可移动的,以将所述多个透光光学组件中相应一个透光光学组件对准并定位在所述至少一个第一照明装置和所述至少一个第二照明装置之间。
12.一种用于检测透光光学组件的系统,包括:两个或多个根据权利要求1所述的装置,所述两个或多个装置是彼此以相同或不同朝向进行布置。
13.一种使用权利要求1所述的装置对透光光学组件进行自动检测的方法,包括:
将透光光学组件定位在所述装置的图像拍摄位置;
开启所述装置的一个或多个所述第一照明装置和所述第二照明装置;
在所述第一照明装置和所述第二照明装置的不同配置下拍摄所述透光光学组件的一系列图像;
分析所述一系列图像以识别被检测透光光学组件的缺陷。
14.根据权利要求13所述的方法,其中所述开启步骤包括:开启所述装置的一个或多个所述第一照明装置、所述第二照明装置和第三照明装置,所述第三照明装置安置在所述支撑件的第二侧,用于照明由所述支撑件支持的所述透光光学组件的第二侧,其中所述第三照明装置包括至少一个照明表面,其被布置成朝向和对准所述支撑件第二侧的所述第二照明装置。
15.根据权利要求14所述的方法,其中所述开启步骤和所述拍摄步骤包括:以任意或预定的顺序开启所述第一照明装置、所述第二照明装置和所述第三照明装置,一次开启一个;并在每次开启各个照明装置之后,在所述第一照明装置、所述第二照明装置和所述第三照明装置的不同配置下拍摄所述透光光学组件的一系列图像。
16.根据权利要求14所述的方法,其中所述开启步骤和所述拍摄步骤包括:同时开启第一组合的两个照明装置,所述第一组合的两个照明装置是从所述第一照明装置、所述第二照明装置和所述第三照明装置中选择的;并在开启所述第一组合照明装置之后,在所述第一组合照明装置的不同配置下拍摄所述透光光学组件的一系列图像;和同时开启第二组合的两个照明装置,所述第二组合的两个照明装置是从所述第一照明装置、所述第二照明装置和所述第三照明装置中选择的,其中所述第二组合不同于所述第一组合;并在开启所述第二组合照明装置之后,在所述第二组合照明装置的不同配置下拍摄所述透光光学组件的一系列图像。
17.根据权利要求13所述的方法,其中所述第一照明装置包括多个第一照明装置,所述方法还包括步骤:通过在所述图像拍摄步骤之前选择性地开启所述多个第一照明装置中的一个或多个,来调节所述第一照明装置的照明角度。
18.根据权利要求13所述的方法,其中所述第二照明装置包括多个第二照明装置,所述方法还包括步骤:通过在所述图像拍摄步骤之前选择性地开启所述多个第二照明装置中的一个或多个,来调节所述第二照明装置的照明角度。
19.根据权利要求13所述的方法,其中所述一系列图像是在改变所述图像拍摄模块的快门速度下拍摄的。
20.根据权利要求13所述的方法,还包括步骤:输出所述拍摄的一系列图像到计算机存储介质或数据库。
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Publications (2)
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019144430A1 (en) * | 2018-01-23 | 2019-08-01 | Hong Kong Applied Science and Technology Research Institute Company Limited | An apparatus and a method for inspecting a light transmissible optical component |
CN110749606A (zh) * | 2019-11-14 | 2020-02-04 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种基于光学元件的激光损伤检测方法及系统 |
CN111337517A (zh) * | 2020-03-09 | 2020-06-26 | 广西师范大学 | 一种柱透镜缺陷检测装置及柱透镜缺陷检测方法 |
CN113661443A (zh) * | 2019-04-02 | 2021-11-16 | 伟摩有限责任公司 | 杂散光测试站 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070046931A1 (en) * | 2005-08-26 | 2007-03-01 | Nikon Corporation | Surface defect inspection apparatus and surface defect inspection method |
US20100267163A1 (en) * | 2009-04-20 | 2010-10-21 | Bio-Rad Laboratories Inc. | Non-scanning spr system |
CN102023164A (zh) * | 2009-09-23 | 2011-04-20 | 法国圣-戈班玻璃公司 | 用于检测透明平板的局部缺陷的装置和方法 |
CN102374968A (zh) * | 2010-08-02 | 2012-03-14 | 伟特机构 | 用于微透明装置的视觉照明仪器 |
CN103597314A (zh) * | 2011-07-21 | 2014-02-19 | 株式会社尼利可 | 带状体的端部位置检测装置和带状体的端部位置检测方法 |
WO2015011968A1 (ja) * | 2013-07-24 | 2015-01-29 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 検査装置 |
CN204988178U (zh) * | 2015-06-30 | 2016-01-20 | 歌尔声学股份有限公司 | 一种影像测量仪 |
-
2017
- 2017-05-08 CN CN201780001017.0A patent/CN107466475B/zh active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070046931A1 (en) * | 2005-08-26 | 2007-03-01 | Nikon Corporation | Surface defect inspection apparatus and surface defect inspection method |
US20100267163A1 (en) * | 2009-04-20 | 2010-10-21 | Bio-Rad Laboratories Inc. | Non-scanning spr system |
CN102023164A (zh) * | 2009-09-23 | 2011-04-20 | 法国圣-戈班玻璃公司 | 用于检测透明平板的局部缺陷的装置和方法 |
CN102374968A (zh) * | 2010-08-02 | 2012-03-14 | 伟特机构 | 用于微透明装置的视觉照明仪器 |
CN103597314A (zh) * | 2011-07-21 | 2014-02-19 | 株式会社尼利可 | 带状体的端部位置检测装置和带状体的端部位置检测方法 |
WO2015011968A1 (ja) * | 2013-07-24 | 2015-01-29 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 検査装置 |
CN204988178U (zh) * | 2015-06-30 | 2016-01-20 | 歌尔声学股份有限公司 | 一种影像测量仪 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019144430A1 (en) * | 2018-01-23 | 2019-08-01 | Hong Kong Applied Science and Technology Research Institute Company Limited | An apparatus and a method for inspecting a light transmissible optical component |
CN113661443A (zh) * | 2019-04-02 | 2021-11-16 | 伟摩有限责任公司 | 杂散光测试站 |
CN113661443B (zh) * | 2019-04-02 | 2023-03-14 | 伟摩有限责任公司 | 杂散光测试站 |
US11635326B2 (en) | 2019-04-02 | 2023-04-25 | Waymo Llc | Stray-light testing station |
US11933666B2 (en) | 2019-04-02 | 2024-03-19 | Waymo Llc | Stray-light testing station |
CN110749606A (zh) * | 2019-11-14 | 2020-02-04 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种基于光学元件的激光损伤检测方法及系统 |
CN111337517A (zh) * | 2020-03-09 | 2020-06-26 | 广西师范大学 | 一种柱透镜缺陷检测装置及柱透镜缺陷检测方法 |
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