CN107434129B - 仓储系统及仓储系统控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种仓储系统。仓储系统包括多个储藏柜及一移动模块。储藏柜与移动模块以可沿一X轴方向移动的方式设置。储藏柜各自配置用于储存至少一元件。移动模块包括一可沿一Z轴方向移动的升降平台并可选择性设置于相邻储存柜之间。仓储系统亦包括一抓取模块及一定位模块。抓取模块及定位模块设置于该升降平台上。抓取模块包括一用于抓取该元件的抓取组件。定位模块用于检测该抓取模块相对该储存柜的位置。另外，仓储系统包括一控制设备。控制设备根据来自该定位模块的检测信号调整该仓储系统的运作。本发明仓储系统中承载设备可选择性进入位于两个相邻储藏柜之间的作业空间，以抓取或放置元件至储藏柜。

Description

仓储系统及仓储系统控制方法

技术领域

本发明涉及一种仓储系统及控制该仓储系统的方法，特别是涉及一种用于储存半导体加工设备的仓储系统及该仓储系统的控制方法。

背景技术

半导体装置被用于多种电子应用，例如个人电脑、行动电话、数位相机以及其他电子设备。半导体装置的制造通常是通过在半导体基板上依序沉积绝缘或介电层材料、导电层材料以及半导体层材料，接着使用微影工艺图案化所形成的各种材料层，以形成电路组件和零件于此半导体基板之上。在积体电路的材料及其设计上的技术进步已发展出多个世代的积体电路。相较于前一个世代，每一世代具有更小更复杂的电路。然而，这些发展提升了加工及制造积体电路的复杂度。为了使这些发展得以实现，在积体电路的制造以及生产上相似的发展也是必须的。

在半导体装置的制造中，多种加工元件是依序被使用，以制造积体电路在半导体晶圆之上。举例而言，具有不同图案的光罩被使用在多道光显影步骤中。在光罩使用前及使用后是通常是被储存至一仓储系统加以储藏并管理，以利后续重复使用。由于现有的方法及厂房设备仍未全面满足上述加工元件管理及储存的需求，因此仍需一种新的仓储系统以更高的效率完成仓储管理。

发明内容

有鉴于此，本发明的一个目的在于提供一种仓储系统，以更高的效率完成仓储管理。

根据本发明的一实施例，上述仓储系统包括括多个储藏柜及一移动模块。储藏柜与移动模块以可沿一X轴方向移动的方式设置。储藏柜各自配置用于储存至少一元件。移动模块包括一可沿一Z轴方向移动的升降平台并可选择性设置于相邻储存柜之间。仓储系统亦包括一抓取模块及一定位模块。抓取模块及定位模块设置于该升降平台上。抓取模块包括一用于抓取该元件的抓取组件。定位模块用于检测该抓取模块相对该储存柜的位置。另外，仓储系统包括一控制设备。控制设备根据来自该定位模块的检测信号调整该第一储存柜、该第二储存柜、该移动模块、或该抓取模块的运作。

在上述实施例中，该定位模块包括一摄影组件、一激光测距组件、及一条码扫描组件。摄影组件配置用于拍摄该第一储存柜或该第二储存柜的一影像。激光测距组件配置用于检测该抓取模块与该第一储存柜或该第二储存柜的距离。条码扫描组件，配置用于读取位于该第一储存柜或该第二储存柜的一位置条码，或者用于读取位于该元件的一辨别条码。该控制设备根据所获得的该影像与所检测的该距离执行该抓取模块的定位。

在上述实施例中，该移动模块包括一升降平台及一容置槽。该抓取模块以可沿一Y轴方向移动的方式设置于该升降平台。容置槽设置于该升降平台，并用于放置该元件。

在上述实施例中，该抓取组件包括两个相对设置的杆件、一第一挟持件与一第二挟持件。第一挟持件与一第二挟持件分别设置于两个杆件，并共同用于夹持该元件。该第二挟持件相对该杆件的角度根据该元件的摆放角度而决定。

本发明的另一目的在于提供一仓储系统的控制方法。该方法包括移动一第一储存柜与一第二储存柜。该方法还包括移动一乘载设备至定义于该第一储存柜与该第二储存柜之间的该作业空间。该方法亦包括执行一位置校正作业。另外，该方法包括扫描位于该第一储存柜或该第二储存柜的一位置条码。并且，该方法包括自该第一储存柜或该第二储存柜抓取该元件，或放置一元件至该第一储存柜或该第二储存柜。

在上述实施例中，在放置该元件至该第一储存柜或该第二储存柜之前，还包括针对该第一储存柜或该第二储存柜进行扫描，以确认该第一储存柜或该第二储存柜上的相对位置是否净空。

在上述实施例中，该方法包括通过该乘载设备的一抓取模块抓取或放置该元件，且该方法包括在该作业空间中，沿一Y轴方向或沿一Z轴方向移动该抓取模块。在该抓取模块沿该Z轴方向移动前，检测该抓取模块的下方一既定距离是否净空，若有一阻碍物存在则停止沿该Z轴方向的移动。

在上述实施例中，在放置该元件至该第一储存柜或该第二储存柜之前，以及在自该第一储存柜或该第二储存柜抓取该元件之后，该元件放置于该乘载设备位于该作业空间内的一容置槽中。

在上述实施例中，该位置校正作业包括根据一影像与该乘载设备与该第一储存柜或该第二储存柜间的一检测距离，对该第一储存柜、该第二储存柜、或该乘载设备的位置进行调整。

本发明至少具有以下有益效果：

本发明仓储系统中承载设备可选择性进入位于两个相邻储藏柜之间的作业空间，以抓取或放置元件至储藏柜。通过执行位置校正作业，承载设备与储藏柜间的相对位置可以获得确认，减少装置间因对位失准所产生的碰撞。另外，仓储系统通过在储藏柜以及元件上设置条码进行管理，有效增加元件移动的正确性及效率。上述仓储系统具有自动对位校正及移动的技术，由于不需人力参与，于是大幅降低人力成本并避免人为因素所产生的失误。

附图说明

根据以下的详细说明并配合所附附图做完整揭露。应注意的是，根据本产业的一般作业，图示并未必按照比例绘制。事实上，可能任意的放大或缩小元件的尺寸，以做清楚的说明。

图1显示本发明的部分实施例的仓储系统的示意图，其中一乘载设备位于两个储存柜定义的作业空间外部。

图2显示本发明的部分实施例的乘载设备的示意图。

图3显示本发明的部分实施例中对一元件执行一抓取作业的方法的流程图。

图4显示本发明的部分实施例的仓储系统的示意图，其中一乘载设备位于两个储存柜定义的作业空间内部。

图5显示本发明的部分实施例中执行一位置校正作业的方法的示意图。

图6显示本发明的部分实施例中对一元件执行一放置作业的方法的流程图。

【符号说明】

1～仓储系统

10～第一储存柜

110～储存格

20～第二储存柜

210～储存格

30～乘载设备

31～移动模块

311～龙门

312～升降平台

313～平台本体

314～轨道

315～容置槽

33～抓取模块

331～机械手臂

332～抓取组件

333～杆件

334～杆件

335～驱动单元

336～第一挟持件

337～第二挟持件

338～枢转轴

339～壳体

35～定位模块

351～摄影组件

353～激光测距组件

355～条码扫描组件

40～控制设备

50～元件

60～方法

61-66～操作

70～方法

71-76～操作

S1-S5～箭头

具体实施方式

以下将特举数个具体的较佳实施例，并配合所附附图做详细说明，图上显示数个实施例。然而，本发明可以许多不同形式实施，不局限于以下所述的实施例，在此提供的实施例可使得发明得以更透彻及完整，以将本发明的范围完整地传达予同领域熟悉此技艺者。

而且，为便于描述，在此可以使用诸如“在…之下”、“在…下方”、“下部”、“在…之上”、“上部”等的空间相对术语，以描述如图所示的一个元件或部件与另一个(或另一些)元件或部件的关系。除了图中所示的方位外，空间相对术语旨在包括器件在使用或操作中的不同方位。装置可以以其他方式定向(旋转90度或在其他方位上)，而本文使用的空间相对描述符可以同样地作相应的解释。应该理解，可以在方法之前、期间和之后提供额外的操作，并且对于方法的其他实施例，可以替换或消除一些描述的操作。

必需了解的是，为特别描述或图示的元件可以此技术人士所熟知的各种形式存在。此外，当某元件在其它元件”上”时，有可能是指”直接”在其它元件上，或之间夹设有其它元件。

此外，实施例中可能使用相对性的用语，例如”较低”或”底部”及”较高”或”顶部”，以描述图示的一个元件对于另一元件的相对关系。能理解的是，如果将图示的装置翻转使其上下颠倒，则所叙述在”较低”侧的元件将会成为在”较高”侧的元件。

在此，”约”、”大约”的用语通常表示在一给定值或范围的20％之内，较佳是10％之内，且更佳是5％之内。在此给定的数量为大约的数量，意即在没有特定说明的情况下，仍可隐含”约”、”大约”的含义。

图1显示本发明的部分实施例的仓储系统的示意图。根据本发明的部分实施例，仓储系统1包括多个储存柜，例如：第一储存柜10、第二储存柜 20，一乘载设备30、及一控制设备40。仓储系统1的元件数量可以增加或减少，并不仅以此实施例为限。

第一储存柜10、第二储存柜20分别配置用于储存一或多个用于半导体晶圆加工的元件(例如：光罩)。第一储存柜10、第二储存柜20在X轴的相对两侧可分别包括多个储存格，例如储存格110、210。储存格沿Y轴及Z 轴矩阵排列。每一储存格可供至少一元件设置于其中。每一储存格的底面可相对X方向倾斜，以避免设置于储存格当中的元件因意外而坠落。在部分实施例中，第一储存柜10、第二储存柜20在Z轴上具有相同高度。

在部分实施例中，第一储存柜10、第二储存柜20沿一X轴方向设置，并且第一储存柜10、第二储存柜20可分别沿X轴方向移动，以改变彼此的间距。举例而言，在一储藏状态下，第一储存柜10与第二储存柜20之间具有一相当小的间距，例如：小于10公分之间距。在一作业状态下，该第一储存柜10与第二储存柜20之间定义出一作业空间W，如图1所示，以容置乘载设备30在其间进行作业。

在部分实施例中，自该储藏状态改变至该作业状态的过程中，第一储存柜10固定不动，且第二储存柜20沿X轴方向远离第一储存柜10，如图1 箭头S1所示。或者，第二储存柜20固定不动，且第一储存柜10沿X轴方向离第二储存柜20。或者，第一储存柜10与第二储存柜20同时朝两个远离彼此的相反方向移动。第一储存柜10与第二储存柜20的底部可包括驱动组件(例如：电动马达)。驱动组件与控制设备40以有线或无线的方式进行连结，并根据来自控制设备40的信号驱动第一储存柜10与第二储存柜20 进行移动。

乘载设备30配置用于承载并配送元件往来于储存柜10、20与一工作区域(图未示)之间。在部分实施例中，乘载设备30包括一移动模块31、一抓取模块33、及一定位模块35(图2)。乘载设备30的元件数量可以增加或减少，并不仅以此实施例为限。

在部分实施例中，移动模块31包括一龙门311、一升降平台312、及至少一个容置槽315。龙门311以可沿该X轴方向移动的方式设置，如图1箭头S2所示。在部分实施例中，龙门311包括两个柱状结构，其中两个柱状结构在Y轴方向上的间距，大于第一储存柜10或第二储存柜20在Y轴方向上的宽度。

升降平台312以可沿一Z轴方向移动的方式设置于龙门311之上。升降平台312包括一平台本体313以及一轨道314。平台本体313连结于龙门311。轨道314沿Y轴方向延伸于平台本体313之上。

在部分实施例中，轨道314在X轴方向上的两侧分别具有多个沿Y轴方向排列的容置槽315。容置槽315配置以容置元件50。各个容置槽315的大小可以相同或相异，以容置不同尺寸的元件。值得注意的是，虽然在图1显示的实施例中，轨道314在X轴方向上的两侧皆有容置槽315设置，但本发明并不仅此为限。容置槽315可仅设置于轨道314的单一侧。或者，在二排容置槽315同时设置于轨道314的单一侧。

抓取模块33配置用于运送元件50，以移动元件50于容置槽315与第一、二储存柜10、20之间。在部分实施例中，抓取模块33以可沿Y轴方向移动的方式设置于轨道314之上，如图1箭头S3所示。

图2显示本发明的部分实施例的乘载设备的示意图。在部分实施例中，抓取模块33包括一机械手臂331及一抓取组件332。机械手臂331可为一六轴机械手臂，并配置用于改变抓取组件332的位置。

在部分实施例中，抓取组件332包括一壳体339、两个杆件333、334、一驱动单元335、一第一挟持件336、及一第二挟持件337。

壳体339设置于机械手臂331的末端。杆件333、334分别连结壳体339 的相反两侧，其中杆件333通过驱动单元335连结壳体339。杆件333通过驱动单元335的驱动以沿箭头S4标示的方向相对壳体339移动，以改变两个杆件333、334的间距。两个挟持件336、337分别设置于两个杆件333、 334的末端，且两个挟持件336、337可分别包括一止滑块。

在部分实施例中，为了适应以不同角度放置于储存柜的元件50，挟持件 336通过一枢转轴338连结于杆件333，以沿箭头S5所标示的方向相对杆件 333进行枢转。然而本发明并不仅此为限，挟持件336亦可直接固定于杆件 333的末端。

定位模块35配置用于检测该抓取模块33相对第一储存柜10或第二储存柜20的位置。在部分实施例中，定位模块35设置于抓取模块33之上，且包括一摄影组件351、一激光测距组件353、及一条码扫描组件355。

摄影组件351可包括一感光耦合元件(Charge-coupled Device，CCD)，并配置用于拍摄第一储存柜10或第二储存柜20的一影像。激光测距组件353 可包括一激光发射器及一激光接收器。激光发射器朝一目标物发射一激光信号，且激光接收器接收自该目标物反射的激光信号。激光测距组件353根据该激光信号传送的时间计算抓取模块33与第一储存柜10或第二储存柜20 的距离。条码扫描组件355配置用于读取条码。

摄影组件351、激光测距组件353、及条码扫描组件355皆可以有线或无线的方式信号连结置控制设备40(图1)，以传送所产生的信号至控制设备40或接收来自控制设备40的控制信号。

另一方面，摄影组件351、激光测距组件353、及条码扫描组件355可以如图2所示皆设置于壳体339之上。或者，摄影组件351、激光测距组件 353、及条码扫描组件355可设置于平台本体313、机械手臂331、或者壳体 339其中任一者之上。

图3是根据部分实施例显示控制仓储系统1以放置一元件于储存柜的方法60流程图。为了说明，该流程图将与第1、2、4、5图中所示的示意图一起描述。对于不同的实施例，可以替换或消除描述的一些操作。可以将额外的部件添加到仓储系统1。对于不同的实施例，可以替换或消除描述的一些部件。

方法60开始于操作61，其中，移动两个相邻的储存柜(例如：第一储存柜10、第二储存柜20)，以定义一作业空间于其间。举例而言，如图1 所示，第一储存柜10以及/或者第二储存柜20沿X轴方向移动，以定义作业空间W于其间。上述作业空间指第一储存柜10与第二储存柜20之间存在有一可容置升降平台312进入的间距。

方法60继续至操作62，移动乘载设备(例如：承载设备30)至上述作业空间W内。在部分实施例中，承载设备30的龙门311沿X轴方向移动，使升降平台312对齐于作业空间W的上方，如图1所示。接着，升降平台312 沿Z轴方向下降并进入作业空间W内，如图4所示。升降平台312下降的高度依照所需抓取/放置的元件所在的储存格的位置而定。

在部分实施例中，在执行上述下降升降平台312的作业之前或者执行上述下降升降平台312的过程当中，一设置于升降平台312上的检测器持续检测升降平台312下方的既定距离(例如：5公分)内是否存在有障碍物。若检测有障碍物则停止上述下降升降平台312的操作，以保护升降平台312与其他元件产生碰撞，或者避免位于升降平台312下方的人员受伤。

方法60继续至操作63，执行一位置校正作业，以校正乘载设备30相对第一、二储存柜10、20的位置。在部分实施例中，如图5所示，位置校正作业包括以摄影组件351朝一目标储存格110进行摄影，并将影像回送至控制设备40(图1)。控制设备40将接收的影像与一既定影像进行比对，以计算抓取模块33在Y轴方向上以及Z轴方向的位置。根据计算的结果，若抓取模块33在Y轴方向上以及Z轴方向的位置与既定位置相异，则驱动升降平台312移动，以调整升降平台312在Z轴方向的位置，或者驱动抓取模块33移动，以调整抓取模块33在Y轴方向上的位置。

另外，位置校正作业还包括以激光测距组件353检测目标储存格110与抓取模块33的间距，并将所检测的距离回送至控制设备。控制设备40将接收的检测距离与一既定距离进行比对。若检测距离相异于既定距离，则驱动龙门311移动以调整龙门311在X轴方向的位置，或者驱动第一储存柜10 以及/或者第二储存柜20移动，以调整第一储存柜10以及/或者第二储存柜 20在X轴方向上的位置。

位置校正作业的执行可以在每次升降平台312自作业空间W上方进入作业空间W之后执行一次。或者，位置校正作业可以在升降平台312位于作业空间W内时，周期性的执行。或者，位置校正作业可以在升降平台312位于作业空间W内时，且在抓取/放置一既定数量的元件之后执行。

位置校正作业的执行可避免后续抓取/放置元件时，抓取模块33碰撞第一储存柜10或第二储存柜20的情况发生，并且可以增加抓取/放置元件的效率。

方法60继续至操作64，对位于第一储存柜10或者第二储存柜20的位置条码进行扫描，以确认乘载设备30位于作业位置。举例而言，如图5所示，为了确认乘载设备30的抓取模块33是位于正确的作业位置，位于第一储存柜10上对应至储存格110的位置条码112是通过条码扫描组件355进行扫描。条码扫描组件355将扫描结果回送至控制设备40(图1)，且控制设备40将接收的扫描结果与一资料进行比对。若两者相符，则判断抓取模块33到达正确的作业位置。反之，若两者相异，判断抓取模块33到达错误的作业位置。通过此步骤可避免元件放置于错误的储存格当中。

方法60继续至操作65，对位于第一储存柜10或者第二储存柜20上的储存格进行扫描，以确认储存格是否净空。举例而言，条码扫描组件355系针对目标储存格110进行扫描。若目标储存格内放置有元件，则放置于目标储存格内的元件的辨别条码将被条码扫描组件355所检测。此时，条码扫描组件355将扫描结果回送至控制设备40。控制设备40停止放置元件的动作，以避免元件碰撞。在部分实施例中，省略操作65。在元建设置于储存格110 之后，控制设备40即已记录储存格110内是否有放置元件50。在完成操作 64之后，产生重复元件于单一储存格的问题不致发生。

方法60继续至操作66，放置元件50至储存格110中。在部分实施例中，在元件50被抓取组件332抓取前是摆放于容置槽315当中。接着，抓取组件332自容置槽315抓取元件50并将元件50放置在目标储存格110内。通过储存槽315的设置，乘载设备30可以将多个元件50一次地移入至作业空间W当中，并待所有元件50都放置于第一储存柜10以及/或者第二储存柜 20之后，再自作业空间W移出。于是，放置元件50的效率可以获得提升。

图6是根据部分实施例显示控制仓储系统1以自储存柜抓取一元件的方法70流程图。为了说明，该流程图将与第1、2、4、5图中所示的示意图一起描述。对于不同的实施例，可以替换或消除描述的一些操作。可以将额外的部件添加到仓储系统1。对于不同的实施例，可以替换或消除描述的一些部件。

在方法70中，操作71-74相似于方法60的操作61-64，为了简化内容，操作71-74省略说明。

方法70的操作75接续于操作74之后。在操作75当中，对位于第一储存柜10或第二储存柜20的元件50的辨识条码进行扫描，以确认目标储存格内的元件50为待抓取的目标元件。在部分实施例中，条码扫描组件355 系针对单一储存格110进行扫描，在检测元件50的辨识条码后，条码扫描组件355将扫描结果回送至控制设备40。控制设备40将所检测的条码与资料进行比对，若两者相符，则判断储存格内的元件50为待抓取的目标元件。反之，若两者相异，则判断储存格内的元件50并非待抓取的目标元件。在部分实施例中，省略操作75。元件50的条码资讯以及元件50所放置的储存格110的条码资讯，在元件50置入储存格110当下即已通过控制设备40进行记录。在完成操作74之后，抓取错误元件的情况将不致发生。

方法70继续至操作76，抓取储存格110内的元件50。在部分实施例中，在元件50自储存格110移出后是先放置在容置槽315当中。当所有待抓取的元件50皆放置于容置槽315内之后，乘载设备30再一次性地将所有元件 50自作业空间W移出。于是，抓取元件50的效率可以获得提升。

在部分实施例中，抓取或放置元件50的作业系在乘载设备30进入作业空间W后一次性执行。仓储系统1的控制方法并不限制于上述方法60或70。

多种仓储系统及其控制方法的实施例揭露如上，仓储系统中承载设备可选择性进入位于两个相邻储藏柜之间的作业空间，以抓取或放置元件至储藏柜。通过执行位置校正作业，承载设备与储藏柜间的相对位置可以获得确认，减少装置间因对位失准所产生的碰撞。另外，仓储系统通过在储藏柜以及元件上设置条码进行管理，有效增加元件移动的正确性及效率。上述仓储系统具有自动对位校正及移动的技术，由于不需人力参与，于是大幅降低人力成本并避免人为因素所产生的失误。

以上虽然详细描述了实施例及它们的优势，但应该理解，在不背离所附权利要求限定的本发明的精神和范围的情况下，对本发明可作出各种变化、替代和修改。此外，本申请的范围不旨在限制于说明书中所述的工艺、机器、制造、物质组成、工具、方法和步骤的特定实施例。作为本领域的普通技术人员将容易地从本发明中理解，根据本发明，可以利用现有的或今后将被开发的、执行与在本发明所述的对应实施例基本相同的功能或实现基本相同的结果的工艺、机器、制造、物质组成、工具、方法或步骤。因此，所附权利要求旨在将这些工艺、机器、制造、物质组成、工具、方法或步骤包括它们的范围内。此外，每一个权利要求构成一个单独的实施例，且不同权利要求和实施例的组合都在本发明的范围内。

Claims (10)

1.一种仓储系统，包括：

一第一储存柜；

一第二储存柜，其中该第一储存柜与该第二储存柜系以可沿一X轴方向移动的方式设置，且各自配置用于储存至少一元件；

一移动模块，以可沿该X轴方向移动的方式设置，且包括一可沿一Z轴方向移动的升降平台，以设置于该第一储存柜与该第二储存柜之间，其中该移动模块包括多个容置槽，设置于该升降平台，且沿一Y轴方向排列，该X轴方向、该Y轴方向与该Z轴方向彼此相互垂直；

一抓取模块，设置于该升降平台，且包括至少一个用于抓取该元件的抓取组件，其中该抓取模块位于所述容置槽之间；

一定位模块，设置于该升降平台，并配置用于检测该抓取模块相对该第一储存柜或该第二储存柜的位置；以及

一控制设备，配置用于根据来自该定位模块的检测信号调整该第一储存柜、该第二储存柜、该移动模块、或该抓取模块的运作。

2.如权利要求1所述的仓储系统，其中该定位模块包括：

一摄影组件，配置用于拍摄该第一储存柜或该第二储存柜的一影像；

一激光测距组件，配置用于检测该抓取模块与该第一储存柜或该第二储存柜的距离；以及

一条码扫描组件，配置用于读取位于该第一储存柜或该第二储存柜的一位置条码；

其中该控制设备根据所获得的该影像与所检测的该距离执行该抓取模块的定位。

3.如权利要求2所述的仓储系统，其中该条码扫描组件还配置用于读取位于该元件的一辨别条码。

4.如权利要求1所述的仓储系统，其中该升降平台包括一轨道，沿该Y轴方向延伸，该抓取模块可沿该轨道移动，且该轨道可沿该Z轴方向移动。

5.如权利要求1所述的仓储系统，其中该抓取组件包括：

两个相对设置的杆件；以及

一第一挟持件与一第二挟持件，分别设置于两个杆件，并共同用于夹持该元件，其中该第二挟持件相对该杆件的角度系根据该元件的摆放角度而决定。

6.一种仓储系统控制方法，包括：

移动一第一储存柜与一第二储存柜；

移动一乘载设备至定义于该第一储存柜与该第二储存柜之间的一作业空间，其中该乘载设备包括多个容置槽，沿一Y轴方向排列；

执行一位置校正作业；

通过该乘载设备扫描位于该第一储存柜或该第二储存柜的一位置条码，以判定该乘载设备是否到达正确的位置；以及

通过位于所述容置槽之间的一抓取模块自该第一储存柜或该第二储存柜抓取一元件，或放置一元件至该第一储存柜或该第二储存柜。

7.如权利要求6所述的方法，其中在放置该元件至该第一储存柜或该第二储存柜之前，还包括针对该第一储存柜或该第二储存柜进行扫描，以确认该第一储存柜或该第二储存柜上的相对位置是否净空。

8.如权利要求6所述的方法，还包括：

通过该乘载设备的一抓取模块抓取或放置该元件；

在该作业空间中，沿一Y轴方向或沿一Z轴方向移动该抓取模块，其中在该抓取模块沿该Z轴方向移动前，检测该抓取模块的下方一既定距离是否净空，若有一阻碍物存在则停止沿该Z轴方向的移动。

9.如权利要求6所述的方法，其中在放置该元件至该第一储存柜或该第二储存柜之前，以及在自该第一储存柜或该第二储存柜抓取该元件之后，该元件放置于该乘载设备位于该作业空间内的一容置槽中。

10.如权利要求6所述的方法，其中该位置校正作业包括根据一影像以及该乘载设备与该第一储存柜或该第二储存柜间的一检测距离，对该第一储存柜、该第二储存柜、或该乘载设备的位置进行调整。

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