CN106977113A

CN106977113A - 透光性部件、钟表及透光性部件的制造方法

Info

Publication number: CN106977113A
Application number: CN201611168545.9A
Authority: CN
Inventors: 古里大喜; 铃木克己
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2016-01-19
Filing date: 2016-12-16
Publication date: 2017-07-25
Also published as: EP3196678A1; US10408976B2; EP3196678B1; US20170205538A1

Abstract

本发明提供透光性部件、钟表及透光性部件的制造方法。所述透光性部件能够提高观察性且不易带电，所述钟表使用所述透光性部件作为玻璃罩。透光性部件(1)具备具有透光性的基材(5)，其中，在基材(5)的一个面上形成有交替层叠主要由氧化硅构成的低折射率层(12)和主要由氮化硅构成的高折射率层(11)而形成的防反射层(10)，在基材(5)的另一个面上形成有至少具有透明导电膜层(25)的防带电层(20)。

Description

透光性部件、钟表及透光性部件的制造方法

技术领域

本发明涉及透光性部件、使用该透光性部件作为玻璃罩的钟表及透光性部件的制造方法。

背景技术

以往，为了提高时间显示等的观察性，已知有在被称为玻璃罩(风挡)的透光性部件上形成防反射层的技术。该防反射层一般通过层叠数层～数十层折射率不同的无机物层来构成，在对玻璃罩的表面要求较高的硬度和耐损伤性时，多将透光率高、折射率低且硬度高的氧化硅(SiO₂)成膜在防反射层的最表层。例如专利文献1中公开了以下技术：在钟表用玻璃罩用的基材的表面上形成防反射层，该防反射层以氧化硅为最表层和最底层并交替层叠氧化硅(SiO₂)膜和氮化硅(Si₃N₄)膜而成。

专利文献1：日本特开2004-271480号公报

但是，虽然专利文献1所述的具有防反射层的透光性部件能够提高观察性，但是，由于防反射层比较容易带电，因此，存在这样的课题：由于静电等而带电，由此有可能导致异物附着于表面，产生观察性和外观劣化等不良情况。

发明内容

本发明目的在于解决具有防反射层的透光性部件容易带电这一课题，目的在于提供能够提高观察性且不易带电的透光性部件、使用该透光性部件作为玻璃罩的钟表及透光性部件的制造方法。

[应用例1]

本应用例的透光性部件具备具有透光性的基材，其特征在于，在所述基材的一个面上形成有防反射层，所述防反射层是交替层叠由氧化硅(SiO₂)构成的层和由氮化硅(SiN)构成的层而形成的，在所述基材的另一个面上形成有至少具有透明导电膜层的防带电层。

根据本应用例，利用形成于基材的一个面上的防反射层来提高观察性，并且，形成有基材的另一个面上形成的包含透明导电膜层的防带电层，由此，能够在确保观察性的同时防止透光性部件带电。此外，由于由氮化硅构成的层硬度极高，由氧化硅构成的层硬度比较高，因此具有这样的优点：能够提高防反射层的耐损伤性，并且容易获得，容易利用通用的设备来成膜。

因此，能够比较容易地提供观察性优异、耐损伤性优异且能够抑制由于带电引起的异物附着等不良情况的透光性部件。

[应用例2]

在上述应用例的透光性部件中，优选的是，所述防带电层交替层叠第1折射率层和折射率比所述第1折射率层低的第2折射率层而形成，所述第1折射率层中的1个层是所述透明导电膜层，其他层是材料与所述透明导电膜层相同的层、或由氮化硅构成的层，所述第2折射率层是由氧化硅构成的层。

[应用例3]

在上述应用例的透光性部件中，优选的是，所述防带电层交替层叠第1折射率层和折射率比所述第1折射率层低的第2折射率层而形成，所述第1折射率层中的1个层是所述透明导电膜层，其他层是材料与所述透明导电膜层相同的层、或由氮化硅构成的层，所述第2折射率层是折射率比所述透明导电膜层的折射率以及由氮化硅构成的层的折射率低的层。

根据应用例2、3，对形成于基材的一个面上的防反射层以及形成于基材的另一个面上的防带电层都赋予了防反射效果，因此，能够提供具有防带电效果且进一步提高了观察性的透光性部件。

[应用例4]

在上述应用例的透光性部件中，优选的是，所述第2折射率层是由氟化镁(MgF₂)构成的层。

根据本应用例，可以将由氟化镁构成的层用作为与氧化硅同样稳定的低折射率层。

[应用例5]

在上述应用例的透光性部件中，优选的是，所述透明导电膜层是由透明电极形成用的材料构成的层。

作为透明电极形成用的材料，例如可以举出液晶显示体的显示基板的电极中广泛使用的ITO(Indium Tin Oxide：氧化铟锡)作为优选的材料。

根据本应用例，能够提供具备具有优异的防带电效果的防带电层的透光性部件。

[应用例6]

在上述应用例的透光性部件中，优选的是，所述透明导电膜层是下述这样的钛氧化物层：主要由钛氧化物构成，并且，作为副成分，含有从铌(Nb)、硅(Si)、锆(Zr)、钽(Ta)、铝(Al)和铪(Hf)构成的组中选择出的1种或2种以上的元素。

根据本应用例，发明人发现：能够提供具备具有防带电效果且防反射功能更优异的防带电层的透光性部件。

[应用例7]

在上述应用例的透光性部件中，优选的是，所述防带电层层叠4层以上而形成，所述防带电层的至少从最表层起的第二层为所述透明导电膜层。

根据本应用例，将防带电层的最表层设置成由氧化硅构成的层、或者折射率比所述透明导电膜层的折射率以及由氮化硅构成的层的折射率低的层，将其下面的层设置成透明导电膜层，由此保护透明导电膜层。因此，能够构成具有防反射效果且最表层侧的防带电效果和耐久性高的防带电层。

[应用例8]

在上述应用例的透光性部件中，优选的是，在所述防反射层上形成有由含氟有机硅化合物构成的防污层。

根据本应用例，在形成于基材的一个面上的防反射层上形成有由含氟有机硅化合物构成的防污层。由于该防污层由含氟有机硅化合物构成，因此，不仅能够发挥拒水拒油作用、抑制污染，而且，表面的光滑性也非常优异。因此，即使对透光性部件施加来自外部的冲击，也能够利用防污层表面的光滑性来缓和该冲击，因此，耐擦伤性优异。即，能够有效地防止防反射层的剥离。

此外，作为含氟有机硅化合物，只要是具有拒水性、拒油性且能够体现防污性的化合物即可。

[应用例9]

在上述应用例的透光性部件中，优选的是，所述透光性部件为罩部件，所述防反射层形成于所述罩部件的内侧部分和外侧部分中的外侧部分。

根据本应用例，能够在入射侧防止从罩部件的外侧入射的光的反射，因此，起到了这样的效果：与在罩部件的内侧即射出侧的部分形成防反射层的情况相比，能够获得良好的防反射效果。

[应用例10]

本应用例的钟表的特征在于具有上述应用例的透光性部件，所述透光性部件设置于容纳钟表体的壳体上。

根据本应用例，由于具有上述应用例的透光性部件，因此，能够具有与上述相同的作用和效果。

另外，透光性部件例如作为玻璃罩(风挡)而设置于壳体上。

[应用例11]

本应用例的钟表的特征在于具有：上述应用例的透光性部件；保持部件，其保持所述透光性部件；以及密封件，其具有导电性并设置于所述透光性部件与所述保持部件之间。

即使具有防带电层，在对透光性部件进行了清洁时等，透光性部件有时也会带电。根据本应用例，在透光性部件产生的电荷经由密封件而扩散到保持部件，因此，与密封件具有绝缘性的情况下相比，电荷易于从透光性部件扩散，能够缩短直到电荷消退为止所花费的时间。因此，能够进一步抑制异物附着于透光性部件的情况。

[应用例12]

本应用例的钟表的特征在于具有：上述应用例的透光性部件；保持部件，其保持所述透光性部件；以及粘结剂，其具有导电性并粘结所述透光性部件和所述保持部件。

根据本应用例，在透光性部件产生的电荷经由粘结剂而扩散到保持部件，因此，与粘结剂具有绝缘性的情况相比，电荷易于从透光性部件扩散，能够缩短直到电荷消退为止所花费的时间。因此，能够进一步抑制异物附着于透光性部件的情况。

[应用例13]

本应用例的上述透光性部件的制造方法的特征在于，包含溅射工序，在该溅射工序中，利用溅射来形成所述防反射层和所述防带电层。

如本应用例那样，根据利用溅射形成防反射层以及防带电层的方法，与利用单纯的蒸镀而形成防反射层和防带电层的情况相比，不仅能够提高防反射层和防带电层整体的硬度，而且，防反射层和防带电层与基材之间的紧密贴合性以及防反射层和防带电层内的层间紧密贴合性也优异。因此，其结果是，能够有助于耐擦伤性等、透光性部件的耐久性的提高。

[应用例14]

本应用例的上述透光性部件的制造方法的特征在于，使用铌掺杂二氧化钛作为所述透明导电膜层，使用由氧化硅构成的层作为所述第2折射率层，通过利用离子辅助法进行蒸镀来形成所述防带电层。

铌掺杂二氧化钛作为稳定性较高且光学特性优异的透明导电膜已被公知，但是，例如在利用真空蒸镀法进行成膜的情况下，有可能会由于作为副成分而含有的铌的影响，如果不赋予较高的能量则膜发黑等，使光学特性劣化。

如本应用例那样，通过进行基于离子辅助法的蒸镀，能够消除由上述真空蒸镀法造成的不良情况，能够稳定地形成由铌掺杂二氧化钛构成的光学特性优异的透明导电膜层。

附图说明

图1是示意性地示出本发明的透光性部件的实施方式1的剖视图。

图2是示意性地示出本发明的透光性部件的实施方式2的剖视图。

图3是示意性地示出本发明的透光性部件的变形例的剖视图。

图4是示出透光性部件的制造方法的一例的流程图。

图5是示出本发明的钟表(便携钟表)的优选实施方式的局部剖视图。

图6是示出本发明的钟表(便携钟表)的优选的其他实施方式的局部剖视图。

标号说明

1、1A、1C：透光性部件；5：基材；10：防反射层；11、21：高折射率层；12：低折射率层；22A：氧化硅层；21A：作为高折射率层的钛氧化物层；15：防污层；20、20A：防带电层；25：透明导电膜层；25A：作为透明导电膜层的钛氧化物层；P82：壳体；P84：表圈；P89A：密封件；P89B：粘结剂；P100：作为钟表的手表。

具体实施方式

以下，参照附图，对本发明的实施方式进行说明。另外，在以下的各附图中，为了将各层和各部件形成为能够识别的程度的大小，存在以与实际不同的尺寸来显示各层和各部件的情况。

(实施方式1)

＜透光性部件＞

在图1中，实施方式1的透光性部件1中形成有：基材5，其具有透光性；防反射层10，其形成于该基材5的一个面上；以及防带电层20，其形成于基材5的另一个面上。

〔基材的材质〕

基材5的材质是无机氧化物，例如可以举出蓝宝石玻璃、石英玻璃、钠玻璃、强化玻璃等。如后述那样，作为钟表用的玻璃罩等罩部件，优选使用透光性部件1，作为钟表用玻璃罩的材质，从硬度和透明性方面考虑，特别优选蓝宝石玻璃。

〔防反射层的结构〕

防反射层10形成于基材5的一个面上，是通过交替层叠折射率不同的无机薄膜而得到的多层膜。在图1所示的透光性部件1中，防反射层10由高折射率层11、低折射率层12、高折射率层11和低折射率层12这4个层形成。

这里，高折射率层11主要由氮化硅(SiN_x)形成，低折射率层12主要由氧化硅(SiO₂)形成。

另外，不限于上述氮化硅，高折射率层11也可以构成为由具有折射率比氧化硅高的其他材料来形成。

此外，防反射层10不必为4层，也可以是5层以上。从提高防反射效果方面考虑，优选层叠数较多。但是，层叠数过多时，从生产性方面考虑也有可能产生问题，所以优选为9层内的范围。

〔防带电层的结构〕

防带电层20形成于与基材5的形成有防反射层10的一个面相反的另一个面上，至少具有透明导电膜层25。防带电层20优选为通过交替层叠高折射率层(第1折射率层)和低折射率层(第2折射率层)而形成的多层膜。高折射率层之一为透明导电膜层25，其他层为折射率比上述低折射率层12高的高折射率层21。图1所示的透光性部件1由高折射率层21、低折射率层22、透明导电膜层(高折射率层)25、低折射率层22这4个层形成，透明导电膜层25为从防带电层20的最表层起的第2层(最表层为低折射率层22)。

在此，高折射率层21例如主要由氮化硅、氧化钽或氧化钛形成，低折射率层22主要由氧化硅或氟化镁(MgF₂)形成，透明导电膜层25例如使用ITO(Indium Tin Oxide：氧化铟锡)等形成透明电极用的材料而形成。除了该ITO外，作为透明导电膜层25使用的材料，除了可举出铌掺杂二氧化钛(Ti_-xNb_xO₂：TNO)外，还可举出在氧化锌(ZnO)中掺杂铝(Al)或镓(Ga)等掺杂剂而形成的氧化锌系的透明导电膜层(AZO或GZO)、或者在二氧化锡(SnO₂)中掺杂铁(Fe)等而形成的SnO₂：Fe(FTO)等。

另外，防带电层20不必为4层，也可以是5层以上。从提高防反射效果方面考虑，优选层叠数较多。但是，层叠数过多时，从生产性方面考虑也有可能产生问题，所以优选为9层内的范围。另外，即使在层叠5层以上的情况下，透明导电膜层25也优选为从最表层起经由低折射率层22的第二层。

如以上叙述的那样，根据本实施方式的透光性部件1，能够获得以下效果。

本实施方式的透光性部件1构成为：在具有透光性的蓝宝石等基材5的一个面上形成有防反射层10，防反射层10通过交替层叠主要由氧化硅构成的低折射率层12和主要由氮化硅构成的高折射率层11而形成，在基材5的另一个面上形成有至少具有透明导电膜层25的防带电层20。

由此，利用形成于基材5的一个面上的防反射层10来提高观察性，并且，形成有基材5的另一个面上形成的包含透明导电膜层25的防带电层20，由此，能够在确保观察性的同时防止透光性部件1带电。因此，能够在利用防反射层10提高观察性的同时，利用防带电层20来抑制由于透光性部件1的表面带电而引起的异物附着等不良情况。

此外，由于由氮化硅构成的高折射率层硬度极高，由氧化硅构成的低折射率层12硬度比较高，因此，通过交替层叠上述高折射率层和低折射率层，能够提高防反射层10的耐损伤性等。此外，氧化硅具有这样的特点：比较容易获得，容易利用通用的设备进行成膜。因此，能够比较容易地提供观察性优异、耐损伤性优异且能够抑制带电引起的异物附着等不良情况的透光性部件1。

本实施方式的透光性部件1构成为：基材5的另一个面上形成的防带电层20通过交替层叠透明导电膜层25或高折射率层21和低折射率层22而形成。

由此，对形成于基材5的一个面上的防反射层10以及形成于基材5的另一个面上的防带电层20都赋予了防反射效果，因此，能够提供具有防带电效果且进一步提高了观察性的透光性部件1。

此外，在本实施方式中，构成为：防带电层20通过将高折射率层21、低折射率层22和透明导电膜层25层叠4层以上而形成，防带电层20的最表层为低折射率层22，从最表层起的第二层为透明导电膜层25。

根据该结构，将防带电层20的最表层设置成由硬度及耐损伤性高的氧化硅构成的低折射率层22，将其下面的层设置成透明导电膜层25，由此来保护透明导电膜层25。由此，能够构成具有防反射效果且最表层侧的防带电效果和耐久性高的防带电层20。

＜罩部件(钟表用玻璃罩)＞

本实施方式的透光性部件1例如可以用于投影仪镜头、照相机镜头、眼镜用透镜等各种透镜(包含微镜、双凸透镜、菲涅尔透镜等)、滤波器(照相机低通滤波器、边缘过滤器、紫外截止滤波器、红外截止滤波器等)、透光板、防尘玻璃、散热板等。

此外，透光性部件1可以特别优选用作为罩部件。作为罩部件，具体而言，可以举出钟表用玻璃罩(风挡)，钟表用后盖、透光性表盘(例如，太阳能钟表用表盘)等。

其中，透光性部件1优选为钟表用玻璃罩。

钟表用的玻璃罩是在钟表使用时位于接近观察者(使用者等)的视角的部位的部件，此外，钟表用的玻璃罩还是这样的部件：由于在玻璃罩的背面侧通常配置有表盘、针等时刻显示部件，因此，强烈要求透过玻璃罩(光学部件)后的表盘等的观察性。在这种玻璃罩(透光性部件1)中，防反射层10形成于钟表用玻璃罩(透光性部件1)的内侧的部分和外侧的部分中的外侧的部分。由此，能够在入射侧防止从钟表用玻璃罩的外侧入射的光的反射，因此，起到了这样的效果：相比于仅在钟表用玻璃罩的内侧即射出侧的部分形成防反射层的情况，能够获得良好的防反射效果。

此外，玻璃罩还是这样的部件：在由于静电而产生尘埃等污染附着的情况下，会特别显著地发生观察性降低的问题。此外，在玻璃罩意外带电时，由于该影响，时针等针可能会发生变形，并且，由于这样的变形可能会引起钟表的故障等。对此，在将具有防带电层20的本实施方式的透光性部件1应用于钟表用玻璃罩的情况下，能够有效地防止上述那样的问题的发生。根据上述那样的情况，通过将本发明应用于钟表用玻璃罩，能够更为显著地发挥本发明的效果。

此外，玻璃罩还是这样的部件：观察者(使用者等)观察的机会较多，在钟表整体的外观中会产生较大的影响。并且，由于在本发明中发挥了较高的防反射功能，因此，能够有效地发挥透过玻璃罩被观察到的表盘等装饰部件本来具有的优异的外观(审美性)。因此，通过将本发明应用于钟表用玻璃罩，能够使作为钟表整体的审美外观变得特别优异。

此外，在潜水腕表等中，透过玻璃罩的观察性还有时会对观察者(使用者)的安全产生较大的影响，由于本发明能够发挥较高的防反射功能，因此，在这种严酷的环境中使用的钟表的光学部件中也能够可靠地发挥前述那样的效果。

此外，在潜水腕表等中，虽然保持着壳体内的液密性，但是，有时在组装钟表时，壳体内所含有的湿度会在使用时发生结露而导致发生观察性降低的问题，但是，在本发明中，由于防反射层具有较高的防反射功能，并且还具有较高的防雾性能，因此，例如，在潜水腕表中，通过将应用了本发明的玻璃罩(光学部件)以设置有防反射层的面朝向内表面侧的方式进行配置，能够更可靠地防止上述那样的结露的问题。

(实施方式2)

以下，参照图2，对实施方式2的透光性部件进行说明。另外，对于与实施方式1相同的构成部位，标记相同的标号并省略重复的说明。

在图2所示的本实施方式的透光性部件1A中，形成于基材5的一个面上的防反射层10为与实施方式1的透光性部件1(参照图1)相同的结构。

在本实施方式的透光性部件1A中，形成于基材5的另一个面上的防带电层20A具有钛氧化物层21A、25A以及作为低折射率层的氧化硅层22A。以下，对本实施方式的防带电层20A详细地进行说明。

如图2所示，在本实施方式的透光性部件1A中，形成于基材5的另一个面上的防带电层20A具有作为高折射率层的钛氧化物层21A和作为透明导电膜层的钛氧化物层25A的多个钛氧化物层、以及多个氧化硅层22A，并具有通过交替配置上述层而形成的结构。

构成防带电层20A的多个钛氧化物层21A、25A的厚度、组成等条件可以相同，也可以互不相同。但是，优选的是，至少在作为透明导电膜层的钛氧化物层25A中具备以下进行说明的钛氧化物层的详细的结构。同样地，构成防带电层20A的多个氧化硅层22A的厚度、组成等条件可以相同，也可以互不相同。另外，在氧化硅层22A中，除了氧化硅外，还可以使用由氟化镁形成的膜。

在图2所示的结构中，防带电层20A具有2层的钛氧化物层21A、25A并具有2层的氧化硅层22A，但是，构成防带电层20A的钛氧化物层21A、25A以及氧化硅层22A的层数并不特别限定。

在构成防带电层20A的钛氧化物层21A、25A的层数、氧化硅层22A的层数分别为2层以上、9层以下的情况下，能够更显著地发挥前述的实施方式1的效果，并能够以更优异的生产性制造出透光性部件1A。此外，还可以使得透光性部件1A的防带电性及光的透射性等特别优异。

〔钛氧化物层〕

以下，对钛氧化物层的详细的结构进行说明。

钛氧化物层21A、25A是下述这样的高折射率层：主要由钛氧化物构成，并且，作为副成分，含有从铌(Nb)、硅(Si)、锆(Zr)、钽(Ta)、铝(Al)和铪(Hf)构成的组中选择出的1种或2种以上的元素。

钛氧化物层21A、25A中的钛(Ti)的含有率优选为质量百分比在45％以上、75％以下，更优选为质量百分比在50％以上、70％以下。

由此，能够更可靠地使钛氧化物层21A、25A的折射率成为适宜的折射率，能够使防反射功能特别优异。此外，能够使钛氧化物层21A、25A的光的透射性特别高，并且，能够使防带电功能、防雾性能等特别优异。

钛氧化物层21A、25A中的氧(O)的含有率优选为质量百分比在25％以上、55％以下，更优选为质量百分比在30％以上、50％以下。

在钛氧化物层21A、25A中的作为所述副成分的元素的含有率(在含有多种元素的情况下，为这些元素的含有率的总和)优选为质量百分比在0.01％以上、1.0％以下，更优选为质量百分比在0.05％以上、0.9％以下。

由此，能够使钛氧化物层21A、25A的光的透射性特别高，并且，能够使防雾性能等特别优异。另外，钛氧化物层21A、25A还具有防带电功能。

在钛氧化物层21A、25A中，可以以任何形态含有所述作为副成分的元素，但是，优选构成和钛构成复合氧化物的元素。

由此，能够更有效地防止颜色浓淡不均等外观上的不良情况的发生以及基材5与防带电层20A之间的紧密贴合性的降低等问题的发生。

钛氧化物层21A、25A中含有的副成分可以是从由Nb、Si、Zr、Ta、Al和Hf构成的组中选择出的1种或2种以上的元素，但是，特别优选为Nb。

由此，能够更可靠地使钛氧化物层21A、25A的折射率成为适宜的折射率，能够使防反射功能特别优异。此外，能够以更高的标准兼顾光透射性和防带电功能。此外，能够使与氧化硅层22A等之间的紧密贴合性特别优异，能够使透光性部件1A的耐久性、可靠性特别优异。

在钛氧化物层21A、25A中含有Nb作为副成分的情况下，钛氧化物层21A、25A中的Nb的含有率优选为质量百分比在0.01％以上、1.0％以下，更优选为质量百分比在0.05％以上、0.8％以下。

由此，能够更显著地发挥前述那样的效果。

钛氧化物层21A、25A中含有的所述副成分整体中所占的Nb的含有率的比例优选为质量百分比在50％以上，更优选为质量百分比在60％以上。

由此，能够更显著地发挥前述那样的效果。

钛氧化物层21A、25A也可以含有前述以外的成分。作为这种成分，例如可以举出In、Sn等在透明电极中使用的成分等。

钛氧化物层21A、25A的厚度优选为5nm以上、200nm以下，更优选为7nm以上、150nm以下。

由此，能够使防反射功能特别优异。此外，能够使透光性部件1A的耐久性、防带电功能等特别优异。

另外，对在钛氧化物层21A、25A中、优选特别是在作为透明导电膜层的钛氧化物层25A中具备上述结构的情况进行了叙述，这是为了进一步提高防带电层20A的表层侧的防带电效果。防带电层20A的基材5侧的钛氧化物层21A也可以为与上述结构的钛氧化物层不同的组成和厚度。此外，作为高折射率层的钛氧化物层21A不限于钛氧化物，也可以是由其他高折射率材料构成的层，例如也可以是由钽氧化物或氮化硅等构成的层。

〔氧化硅层〕

氧化硅层22A是还可以应用于上述实施方式1的透光性部件1中的低折射率层12、22的层，并且是主要由氧化硅构成的低折射率层。

通过具有这种氧化硅层22A和前述的钛氧化物层21A、25A，能够获得优异的防反射功能。此外，通过将氧化硅层22A配置在最表面上，能够获得耐损伤性以及优异的防雾性能。

氧化硅层22A只要是由含有氧化硅的材料构成的层即可，氧化硅层22A中的氧化硅的形态可以是任何形态。例如，氧化硅层22A可以是由细腻的层状的氧化硅构成的层，也可以是通过堆积多个氧化硅(石英)的微粒而构成的层。

由细腻的层状的氧化硅构成的氧化硅层22A例如可以通过使用气相成膜法而适宜地形成。如在后面详述那样，由于能够利用气相成膜法适宜地形成前述的钛氧化物层21A、25A，因此，在利用气相成膜法形成氧化硅层22A的情况下，能够持续适宜地进行氧化硅层22A的形成和钛氧化物层21A、25A的形成，能够使得透光性部件1A的生产性优异。

此外，例如可以通过使用含有石英微粒的组成物来适宜地形成堆积多个氧化硅(石英)微粒而构成的氧化硅层22A。

如果氧化硅层22A是通过堆积多个石英微粒而构成的层，则能够使作为防带电层20A整体的防反射功能特别优异。

这是因为，在氧化硅层22A中具有由石英微粒(折射率：1.46)所占据的区域和空隙(空气层(折射率：1.00))，与块形状的石英相比，折射率降低，其结果是能够获得优良的光学干涉效果。

氧化硅层22A的厚度优选为15nm以上、300nm以下，更优选为20nm以上、280nm以下。

由此，能够使防反射功能特别优异。此外，能够使透光性部件1A的耐久性等特别优异。此外，在氧化硅层22A为含有导电性微粒的层的情况下，能够起到与形成于基材5的另一个面上的防带电层20A协作的效果而能够使作为透光性部件1A整体的防带电功能等特别优异。

防带电层20A的厚度优选为20nm以上、500nm以下，更优选为27nm以上、380nm以下。

由此，能够使防反射功能特别优异。此外，能够使透光性部件1A的防带电功能等特别优异。

此外，在本实施方式的防带电层20A构成为：通过层叠4层以上而形成，防带电层20A的最表层为作为低折射率层的氧化硅层22A，至少从最表层起的第二层为作为透明导电膜层的钛氧化物层25A。

根据该结构，使防带电层20A的最表层为由硬度及耐损伤性高的氧化硅构成的氧化硅层22A，并使其下面的层为作为透明导电膜层的钛氧化物层25A，由此能够保护钛氧化物层25A，因此，能够构成具有防反射效果且最表层侧的防带电效果和耐久性高的防带电层20A。

如以上叙述的那样，根据本实施方式的透光性部件1A，除了实施方式1中的效果外，还能够使得防反射功能更加优异。此外，能够使具有防带电层20A的透光性部件1A的防带电功能等特别优异。

另外，本发明不限于上述实施方式，还可以在上述实施方式中添加各种变更及改良等。下面，对变形例进行叙述。

(变形例)

图3是示意性地示出本发明的透光性部件的变形例的剖视图。

以下，对变形例的透光性部件1C进行说明。另外，在图3中，对图1所示的实施方式1的透光性部件1的变形例进行说明，本变形例的结构还可以应用于图2所示的实施方式2的透光性部件1A。此外，在按照以下的图3的本变形例的说明中，对与实施方式1相同的构成部位标记相同的标号并省略重复的说明。

在图3中，本变形例的透光性部件1C与上述实施方式1的透光性部件1(参照图1)相同地，在基材5的一个面上形成有防反射层10，在基材5的另一个面上形成有防带电层20。并且，在作为防反射层10的最上层的低折射率层12上形成有防污层15。

〔防污层的结构〕

防污层15由所谓的公知为拒水剂/拒油剂的化合物构成。作为这种化合物，优选烷氧基硅烷等含氟有机硅化合物。此外，作为含氟有机硅化合物，还优选含有氨基的化合物。

通过将所述含氟有机硅化合物形成在所述防反射层10上作为防污层15，由此能够获得具有优异的拒水拒油效果且耐擦伤性优异的透光性部件1C。上述含氟有机硅化合物可以单独使用，也可以混合使用。

作为上述含氟有机硅化合物的具体例，可以举出GE东芝有机硅株式会社制TSL8233、TSL8257、大金工业株式会社制OPTOOL DSX、信越化学工业株式会社制KY-130、KP-801等。

作为形成防污层15的方法，可以使用干式法和湿式法中的任一方法。作为干式法，可以采用真空蒸镀法，使上述含氟有机硅化合物在真空槽内蒸发并附着在基材5(防反射层10)的表面上。可以适宜地利用例如日本特开平6-340966号公报或日本特开2005-301208号公报中记载的蒸镀装置。

在利用湿式法在基材5(防反射层10)上形成防污层15时，可以采用以下方法：将上述任一种含氟有机硅化合物溶解在有机溶剂中，调整成规定的浓度，涂布在基材5的表面上。作为涂布方法，可以使用浸渍(dipping)法、旋涂法、喷雾法、流涂法、刮刀法、辊涂、凹版印刷涂布、帘幕涂布、刷涂等。对防污层15的厚度没有特别限定，优选为0.001～0.05μm，更优选为0.001～0.03μm，最优选为0.001～0.02μm。

防污层15的厚度不足0.001μm时，则不能充分发挥拒水拒油性能，光滑性也变差，因此，可能会降低耐擦伤性和耐化学性。并且，防污层的厚度超过0.05μm时，则有可能降低透光性部件1C的表面硬度，因防污层15造成的表面光散射增大，所以有可能妨碍基材5的透明性。

根据以上变形例，除了上述实施方式的效果外，还能够获得以下效果。

在本变形例的透光性部件1C中，在防反射层10上形成有由含氟有机硅化合物构成的防污层15。由此，该防污层15不仅能够发挥拒水拒油作用，而且表面的光滑性非常优异。因此，即使对透光性部件1C施加来自外部的冲击，也能够利用防污层15表面的光滑性来缓和该冲击，因此，耐擦伤性非常优异。因此，能够长期维持透光性部件1C的观察性。

此外，通过使用上述化合物作为防污层15中使用的含氟有机硅化合物，能够对透光性部件1C赋予高的光滑性，结果能够发挥优异的耐擦伤性。

此外，通过将防污层15的厚度设定为0.001～0.05μm的范围，可以提供能够充分发挥拒水拒油性能且耐擦伤性和耐化学性优异的透光性部件1C。

此外，在将透光性部件1C中的防反射层10侧的表面、即透光性部件1C用作为罩部件时，罩部件的内侧的部分和外侧的部分中的成为外侧的部分的一侧的表面硬度为24000N/mm²以上，因此，在将透光性部件1C作为手表或便携信息设备等的罩部件应用时能够获得充分的耐擦伤性。

＜透光性部件的制造方法＞

上述实施方式和变形例的透光性部件1、1A、1C能够利用包含下述溅射工序的制造方法进行制造：在该溅射工序中，利用溅射来形成构成防反射层10的高折射率层11和低折射率层12、以及构成防带电层20、20A的透明导电膜层25、25A和折射率比该透明导电膜层25、25A的形成材料低的低折射率层22、22A、或折射率比低折射率层22、22A高的高折射率层21、21A。这样，根据利用溅射形成防反射层10以及防带电层20、20A的方法，与利用单纯的蒸镀形成各个层的情况相比，不仅能够提高防反射层10和防带电层20、20A整体的硬度，而且，防反射层10和防带电层20、20A与基材5之间的紧密贴合性以及防反射层10和防带电层20、20A内的层间紧密贴合性也优异。因此，其结果是，能够有助于透光性部件1、1A、1C的耐擦伤性的提高。

此外，在上述实施方式和变形例的透光性部件1、1A、1C的制造方法中，优选的是，不使用ITO，而是主要使用由铌掺杂二氧化钛构成的膜来作为透明导电膜层25，而且，在使用氧化硅作为防带电层20、20A的低折射率层22、22A的结构中，利用离子辅助(Ion Assist)法来进行蒸镀。

图4是示出利用离子辅助法来进行蒸镀的透光性部件的制造方法的一例的流程图。

在图4所示的透光性部件的制造方法中，首先，在步骤S1中，将安装有基材5的成膜工具装配于成膜装置的基材设置部件的窗部之后，进行基材放置，将基板设置部件和蒸镀源放置于腔室的内部。此时，将带电部件沿着基板设置部件的周缘部进行配置。接着，在步骤S2中，使抽吸装置动作，进行腔室内部的减压排气。

然后，在步骤S3中，一边使基板设置部件旋转一边用电子枪照射电子束蒸镀收纳于第一蒸镀源的氧化硅或氟化镁、收纳于第二蒸镀源的氮化硅或铌掺杂二氧化钛(TNO)。此时，通过从离子源加速照射离子化了的氧，在基材5上交替成膜氧化硅或氟化镁等的低折射率层以及氮化硅等的高折射率层或铌掺杂二氧化钛的金属氧化物的层(包含于高折射率层中)。

步骤S3的成膜之后，在步骤S4中，将腔室的压力恢复到大气压(大气释放)，并将安装有成膜后的基材5的基板设置部件从腔室取出(步骤S5)，结束基于离子辅助法的蒸镀。

根据以上叙述的利用离子辅助法来进行蒸镀的透光性部件的制造方法，能够起到以下的效果。

铌掺杂二氧化钛作为稳定性高且光学特性优异的透明导电膜已被公知，但是，例如在利用真空蒸镀法来进行成膜的情况下，有可能会由于作为副成分而含有的铌的影响，如果不赋予较高的能量则膜发黑等，使光学特性劣化。

如上所述，根据利用基于离子辅助法的蒸镀来进行成膜的透光性部件的制造方法，能够消除由于上述真空蒸镀法引起的不良情况，能够稳定地形成由铌掺杂二氧化钛构成的光学特性优异的透明导电膜层。

＜钟表＞

接下来，对本发明的钟表进行说明。

本发明的钟表是具有上述那样的本发明的透光性部件的钟表。

由此，能够提供可适宜地观察到透光性部件的背面侧的情况的钟表，能够使得作为钟表整体的美学外观(审美性)优异，能够提高作为装饰品的价值。此外，例如能够提高时刻等的观察性，因此作为实用物品的功能(实用性)也变得优异。此外，能够提供具有光透射性充分且防带电功能优异的透光性部件的钟表，例如，能够提供有效地防止了由于静电带来的不良影响的发生的钟表，能够使作为钟表整体的可靠性较高。

另外，本发明的钟表只要至少具有本发明的透光性部件作为光学部件之一即可，作为除此以外的部件，可以使用公知的部件，以下，对将本发明的透光性部件应用于玻璃罩的情况下的钟表的结构的一例代表性地进行说明。

如图5所示，本实施方式的手表(便携钟表)P100具有壳体(主体)P82、后盖P83、表圈(缘)P84和玻璃罩(钟表用玻璃罩)P85。此外，在壳体P82内收纳有钟表用表盘(表盘)P7、太阳能电池P94和机芯P81，还收纳有未图示的针(指针)等。

玻璃罩P85是由前述的本发明的透光性部件1、1A、1C构成的，作为钟表用玻璃罩(风挡)而设置于手表P100的容纳钟表体的壳体P82上。

由此，能够提高表盘P7、针(指针)等的观察性，并且能够利用透光性部件1、1A、1C所具有的防带电效果来抑制玻璃罩P85的带电，因此，能够抑制由于静电而引起的异物的附着。此外，通过抑制玻璃罩P85的带电而避免了指针的末端被吸引至带电的玻璃罩P85的不良情况，因此，无需拉开玻璃罩P85与指针之间的距离，因此，能够有助于手表P100的薄型化和小型化。

此外，在将本发明的透光性部件1、1A、1C用作为罩部件即玻璃罩P85的手表P100中，防反射层10(参照图1～图3)形成于玻璃罩P85的内侧部分和外侧部分中的外侧部分。由此，能够在入射侧防止从玻璃罩P85的外侧入射的光的反射，因此，起到了这样的效果：相比于在玻璃罩P85的内侧即射出侧的部分形成防反射层的情况，能够获得良好的防反射效果。

此外，表盘P7等是对钟表整体的外观产生较大影响的部件，利用透光性部件1、1A、1C所具有的优异的防反射效果来防止在观察表盘P7等时不利的光的反射，因此，能够使得作为钟表整体的美学外观(审美性)特别优异。

机芯P81利用太阳能电池P94的电动势来驱动指针。

虽然在图5中进行了省略，但是，在机芯P81内具有例如储存太阳能电池P94的电动势的双电层电容器、锂离子充电电池、作为时间基准源的石英振子、产生石英振子的振荡频率和驱动钟表的驱动脉冲的半导体集成电路、接收该驱动脉冲而每秒驱动指针的步进马达、以及将步进马达的运动传递给指针的轮系机构等。

此外，机芯P81具有未图示的电波接收用的天线。并且，具有使用所接收的电波来进行时刻调整等的功能。

太阳能电池P94具有将光能转换为电能的功能。并且，由太阳能电池94转换而成的电能被利用于机芯P81的驱动等。

太阳能电池P94具有例如下述这样的pin结构：将p型杂质和n型杂质选择性地导入到非单晶硅薄膜，而且，在p型非单晶硅薄膜与n型非单晶硅薄膜之间具有杂质浓度低的i型非单晶硅薄膜。

在壳体P82上嵌入并固定有上条柄轴管P86，表冠P87的轴部P871以能够旋转的方式插入于该上条柄轴管P86内。

这样将由上述透光性部件1、1A、1C构成的玻璃罩P85设置于容纳有钟表体的壳体P82上。详细地，壳体P82与表圈P84由塑料密封件P88进行固定，表圈P84与玻璃罩P85由塑料密封件P89进行固定。即，表圈P84是用于保持玻璃罩P85的保持部件。

此外，后盖P83嵌合(或螺合)于壳体P82，环状的橡胶密封件(后盖密封件)P92以压缩状态插入于它们的接合部(密封部)P93。利用该结构将密封部93液密地密封，能够获得防水功能。

在表冠P87的轴部P871的中途的外周形成有槽P872，在该槽P872内嵌合有环状的橡胶密封件(表冠密封件)P91。橡胶密封件P91与上条柄轴管P86的内周面紧密贴合，被压缩于该内周面与槽P872的内表面之间。根据该结构，能够获得将表冠P87与上条柄轴管P86之间液密地密封的防水功能。另外，当对表冠P87进行了旋转操作时，橡胶密封件P91与轴部P871一起旋转，在与上条柄轴管P86的内周面紧密贴合的情况下沿周向移动。

(实施方式3)

接下来，将本发明的钟表的其他实施方式作为实施方式3进行说明。

即使玻璃罩P85具有防带电层20、20A，在对玻璃罩P85进行了清洁时等，玻璃罩P85有时也会带电。

在前述的钟表中，玻璃罩P85利用绝缘性的塑料密封件P89被固定于表圈P84。因此，玻璃罩P85所产生的电荷不易扩散到表圈P84和壳体P82。因此，当玻璃罩P85带电时，存在直到电荷消退为止花费时间的问题。

为了解决该问题，在本实施方式的钟表中，在玻璃罩P85的外周面与表圈P84之间设有具有导电性的密封件P89A(参照图5)来代替塑料密封件P89。而且，在表圈P84与壳体P82之间设有具有导电性的密封件P88A(参照图5)来代替塑料密封件P88。作为这样的密封件P89A、P88A，可以例示出由导电性氟橡胶形成的密封件。由此，玻璃罩P85和表圈P84经由密封件P89A导通，表圈P84和壳体P82经由密封件P88A导通。

根据本实施方式，在玻璃罩P85产生的电荷经由密封件P89A扩散到表圈P84，进而再经由密封件P88A而扩散到壳体P82。因此，与各个密封件P89A、P88A具有绝缘性的情况相比，电荷易于从玻璃罩P85扩散，能够缩短直到电荷消退为止所花费的时间。

因此，能够进一步抑制异物附着于玻璃罩P85的外侧的情况，并且能够进一步缩短玻璃罩P85与指针之间的距离。

(实施方式4)

接下来，将本发明的钟表的另一实施方式作为实施方式4进行说明。

如图6所示，在本实施方式的钟表中，在玻璃罩P85与表圈P84之间未设有密封件，玻璃罩P85与表圈P84之间由设置于玻璃罩P85的外周面与表圈P84之间的粘结剂P89B进行粘结。在此，粘结剂P89B具有导电性。其他结构与实施方式3的钟表相同。作为这种粘结剂P89B，可以例示出在环氧类树脂等粘结材料中含有Ag等金属微粒而形成的粘结剂。作为金属微粒，其他还可以举出Ni、Cu、Al、Au等。

由此，玻璃罩P85和表圈P84经由粘结剂P89B而导通。

根据本实施方式，在玻璃罩P85产生的电荷经由粘结剂P89B而扩散到表圈P84，进而再经由密封件P88A而扩散到壳体P82。因此，与粘结剂P89B和密封件P88A具有绝缘性的情况相比，电荷易于从玻璃罩P85扩散，能够缩短直到电荷消退为止所花费的时间。

另外，在上述实施方式3、4中，设置于表圈P84与壳体P82之间的密封件P88A具有导电性，但本发明并不限于此。即，也可以不具有导电性。该情况下，在玻璃罩P85产生的电荷也经由密封件P89A或粘结剂P89B扩散到表圈P84，因此，能够缩短直到电荷消退为止所花费的时间。

此外，在上述实施方式3、4中，也可以在壳体P82与后盖P83之间设置具有导电性的密封件来代替橡胶密封件P92。由此，还能够使在玻璃罩P85产生的电荷经由表圈P84和壳体P82而扩散到后盖P83，因此，能够进一步缩短直到电荷从玻璃罩P85消退为止所花费的时间。

此外，也可以在表冠P87的轴部P871与上条柄轴管P86之间设置具有导电性的密封件来代替橡胶密封件P91，以进一步使电荷易于扩散。

此外，在上述实施方式3、4中，也可以不具有表圈P84，而是将玻璃罩P85经由密封件P89A或粘结剂P89B而固定于壳体P82上。该情况下，壳体P82相当于保持玻璃罩P85的保持部件。该情况下，在玻璃罩P85产生的电荷经由密封件P89A或粘结剂P89B而扩散到壳体P82。

此外，在上述实施方式3、4中，表圈P84和壳体P82中的任意一个或者双方也可以由金属等具有导电性的材料形成。由此，与由具有绝缘性的材料形成的情况相比，能够使在玻璃罩P85产生的电荷更易于扩散。

另外，在上述说明中，作为钟表的一例，举出具有作为本发明的透光性部件的玻璃罩的钟表进行了说明，但是，本发明的钟表例如还可以是将本发明的透光性部件应用为玻璃罩以外的部件的钟表。例如，也可以是后盖等由本发明的透光性部件构成。由此，能够获得前述那样的效果，并能够提高作为钟表整体的美学外观(审美性)。

此外，在上述说明中，作为钟表的一例，举出作为太阳能电波钟表的手表(便携钟表)进行了说明，但是，本发明还可以同样应用于手表以外的便携钟表、台钟、挂钟等其他种类的钟表。此外，本发明还能够应用于除了太阳能电波钟表外的太阳能钟表以及除了太阳能电波钟表外的电波钟表等任何钟表。

以上，对由发明人实施的本发明的实施方式具体地进行了说明，但是，本发明并不受上述实施方式限定，能够在不脱离本发明的宗旨的范围内增加各种变更。

例如，在上述本发明的透光性部件和钟表中，各部分的结构能够置换为发挥相同的功能的任意结构，此外，也可以附加任意结构。

例如，透光性部件也可以在基材5与防反射层10或防带电层20、20A之间具有基底层。

此外，本发明的透光性部件也可以构成为：防反射层或防带电层的各个层隔着中间层而层叠有多个防反射层或防带电层。

Claims

1.一种透光性部件，其具备具有透光性的基材，其特征在于，

在所述基材的一个面上形成有防反射层，所述防反射层是交替层叠由氧化硅构成的层和由氮化硅构成的层而形成的，

在所述基材的另一个面上形成有至少具有透明导电膜层的防带电层。

2.根据权利要求1所述的透光性部件，其特征在于，

所述防带电层是交替层叠第1折射率层和折射率比所述第1折射率层低的第2折射率层而形成的，

所述第1折射率层中的1个层是所述透明导电膜层，其他层是材料与所述透明导电膜层相同的层、或由氮化硅构成的层，

所述第2折射率层是由氧化硅构成的层。

3.根据权利要求1所述的透光性部件，其特征在于，

所述第2折射率层是折射率比所述透明导电膜层的折射率以及由氮化硅构成的层的折射率低的层。

4.根据权利要求3所述的透光性部件，其特征在于，

所述第2折射率层是由氟化镁构成的层。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的透光性部件，其特征在于，

所述透明导电膜层是由透明电极形成用的材料构成的层。

6.根据权利要求1～4中的任一项所述的透光性部件，其特征在于，

所述透明导电膜层是下述这样的钛氧化物层：主要由钛氧化物构成，并且，作为副成分，含有从铌、硅、锆、钽、铝和铪构成的组中选择出的1种或2种以上的元素。

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的透光性部件，其特征在于，

所述防带电层是层叠4层以上而形成的，所述防带电层的至少从最表层起的第二层为所述透明导电膜层。

8.根据权利要求1～7中的任一项所述的透光性部件，其特征在于，

在所述防反射层上形成有由含氟有机硅化合物构成的防污层。

9.根据权利要求1～8中的任一项所述的透光性部件，其特征在于，

所述透光性部件为罩部件，

所述防反射层形成于所述罩部件的内侧部分和外侧部分中的外侧部分。

10.一种钟表，其特征在于，

所述钟表具有权利要求9所述的透光性部件，

所述透光性部件设置于容纳钟表体的壳体上。

11.一种钟表，其特征在于，

所述钟表具有：

权利要求9所述的透光性部件；

保持部件，其保持所述透光性部件；以及

密封件，其具有导电性并设置于所述透光性部件与所述保持部件之间。

12.一种钟表，其特征在于，

所述钟表具有：

权利要求9所述的透光性部件；

保持部件，其保持所述透光性部件；以及

粘结剂，其具有导电性并粘结所述透光性部件和所述保持部件。

13.一种透光性部件的制造方法，所述透光性部件为权利要求1～9中的任一项所述的透光性部件，其特征在于，

包含溅射工序，在该溅射工序中，利用溅射来形成所述防反射层和所述防带电层。

14.一种透光性部件的制造方法，所述透光性部件为权利要求2或权利要求3所述的透光性部件，其特征在于，

使用铌掺杂二氧化钛作为所述透明导电膜层，使用由氧化硅构成的层作为所述第2折射率层，通过利用离子辅助法进行蒸镀来形成所述防带电层。