CN106706660A - 一种基板异物和光学浓度的检测方法及装置 - Google Patents
一种基板异物和光学浓度的检测方法及装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106706660A CN106706660A CN201710063951.7A CN201710063951A CN106706660A CN 106706660 A CN106706660 A CN 106706660A CN 201710063951 A CN201710063951 A CN 201710063951A CN 106706660 A CN106706660 A CN 106706660A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- substrate
- foreign matter
- optical concentration
- unit
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 131
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 74
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 38
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 25
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 18
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 42
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 10
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000012372 quality testing Methods 0.000 description 2
- 235000006508 Nelumbo nucifera Nutrition 0.000 description 1
- 240000002853 Nelumbo nucifera Species 0.000 description 1
- 235000006510 Nelumbo pentapetala Nutrition 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000009931 harmful effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/59—Transmissivity
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
- G01N2021/558—Measuring reflectivity and transmission
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N2021/9513—Liquid crystal panels
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
本发明公开了一种基板异物和光学浓度的检测装置，包括：设置在基板上方的光发射单元，用于向基板表面发射光束；所述基板为对黑色矩阵进行涂胶之后且曝光之前的玻璃基板；反射光接收单元，用于接收基板表面的反射光；设置在基板下方的透射光接收单元，用于接收透过基板的透射光；与反射光接收单元和透射光接收单元分别连接的处理单元，用于捕捉光束信息，分别计算获得基板表面异物的分布信息和相应坐标位置的光学浓度值。本发明还提供了一种基板异物和光学浓度的检测方法。实施本发明提供的技术方案，可实现对涂覆有黑色矩阵的基板异物与光学浓度的同时、快速、准确测量，简化设备结构，提高基板的生产质量和效率。
Description
技术领域
本发明涉及器件制作工序技术领域，尤其涉及一种基板异物和光学浓度的检测方法及装置。
背景技术
随着显示技术的发展，液晶显示器(Liquid Crystal Display，简称LCD)等平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄等优点而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品，成为显示装置中的主流。在显示器的制作过程中，接近式曝光机因其较高曝光精度及较低的价格而被广泛地应用于显示领域。在现有技术中黑色矩阵(Black Matrix，简称BM)涂胶之后、曝光之前要进行光学浓度(Optical Density，简称OD)值和表面异物的检测。BM主要用在显示生产中起到遮光效果，防止两色相混，增进色彩对比性。
在液晶显示面板中，黑色矩阵是彩膜(Color Filter，简称CF)基板的第一道图案制程，在生产中要对其膜厚进行管控。同一黑色矩阵材料的OD值随着膜厚的增加而增大，若其膜厚过薄，OD值下降，导致遮光效果减弱、色彩对比度下降；若其膜厚太厚，OD值变大，会增加物料的消耗，且对后续制程产生不良影响。OD值与膜厚相关，因此对其测量可实现对膜厚的监控。另一方面，接近式曝光机的掩膜板与基板之间的距离比较近，粘附在基板表面上的异物颗粒有可能与掩膜板发生接触，导致掩膜板的污染划伤甚至报废。因此，OD值与表面异物的检测监控对BM的生产十分重要。但现有技术的检测设备功能单一、占用空间大，对涂覆有BM的基板的检测效率较低。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是，提供一种基板异物和光学浓度的检测技术方案，用于实现对涂覆有黑色矩阵的基板的表面异物和黑色矩阵光学浓度的同时检测，减小设备占用空间和检测时间，提高基板的生产质量和效率，缩短生产线长度。
为解决以上技术问题，一方面，本发明提供一种基板异物和光学浓度的检测装置，包括：
设置在基板上方的光发射单元，用于向所述基板表面发射光束；所述基板为对黑色矩阵进行涂胶之后且曝光之前的玻璃基板；
设置在所述基板上方的反射光接收单元，用于接收所述基板表面的反射光；
设置在所述基板下方的透射光接收单元，与所述光发射单元相对设置，用于接收透过所述基板的透射光；
与所述反射光接收单元和所述透射光接收单元分别连接的处理单元，用于捕捉光束信息，分别计算获得所述基板表面异物的分布信息和相应坐标位置的光学浓度值。
进一步地，所述光束信息包括反射信息；所述反射信息包括反射光的亮度分布信息；所述处理单元，用于对所述反射光的亮度分布信息进行处理，获得异物的大小和分布数量。
进一步地，所述光束信息包括透射信息；所述透射信息包括透射光亮度值及其测量点的坐标位置；
所述处理单元，用于根据所述透射光亮度值及其测量点的坐标位置，计算出基板在所述测量点的坐标位置的光学浓度值OD：
OD＝-log10(T)；
其中，参数T为光源发射光束在基板上的当前测量点的坐标位置的透过率。
优选地，所述光发射单元所采用的光源为条状结构光源；所述条状结构光源所发出的光束垂直均匀地照射到所述基板表面，且其照射范围大于或等于所述基板的面积。
优选地，所述反射光接收单元包括若干并排CCD镜头或条状光电探测器。
优选地，所述透射光接收单元包括导轨和若干个光电探测器；所述光电探测器沿着所述导轨向所述光发射单元的方向移动，获取所述基板相应坐标位置的透射光信息。
进一步地，所述基板异物和光学浓度的检测装置还包括显示判断单元，报警单元和缓存单元；
所述显示判断单元与所述处理单元相连接，用于显示所述处理单元计算获得的基板表面异物大小、分布数量与光学浓度值，并与预设的标准值进行比较，显示判断结果；
所述报警单元，用于在所述判断结果为异常时，发出报警信号，并将异常基板存放至所述缓存单元。
另一方面，本发明还提供了一种基板异物和光学浓度的检测方法，包括：
向基板表面发射光束；所述基板为对黑色矩阵进行涂胶之后且曝光之前的玻璃基板；
分别接收所述基板表面的反射光和透射光；
捕捉光束信息，分别计算获得所述基板表面异物的分布信息和相应坐标位置的光学浓度值。
进一步地，所述光束信息包括反射信息；所述反射信息包括反射光的亮度分布信息；所述检测方法还包括：对所述反射光的亮度分布信息进行处理，获得异物的大小和分布数量。
进一步地，所述光束信息包括透射信息；所述透射信息包括透射光亮度值及其测量点的坐标位置；所述检测方法还包括：
根据所述透射光亮度值及其测量点的坐标位置，计算出基板在所述测量点的坐标位置的光学浓度值OD：
OD＝-log10(T)；
其中，参数T为光源发射光束在基板上的当前测量点的坐标位置的透过率。
本发明实施例提供的基板异物和光学浓度的检测技术方案，用于对涂覆有黑色矩阵的玻璃基板在曝光之前的质量检测，通过向待检测的基板发射光束，然后捕捉反射光束信息和透射光束信息，分别计算获得所述基板表面异物的分布信息和相应坐标位置的光学浓度值，从而检测出黑色矩阵基板上异物的大小分布，防止了大尺寸异物对掩膜板污染损伤，且通过光学浓度值的测量能够在线对膜厚进行监控，实现了黑色矩阵基板异物与光学浓度的同时、快速、准确测量，简化检测设备的结构，降低设备占用空间，提高基板的生产质量和效率。
附图说明
图1是本发明提供的基板异物和光学浓度的检测装置的一个实施例的结构示意图。
图2是本发明提供的基板异物和光学浓度的检测方法的一个实施例的步骤流程图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，均属于本发明保护的范围。
参看图1，是本发明提供的基板异物和光学浓度的检测装置的一个实施例的结构示意图。
在本实施例中，所述的基板异物和光学浓度的检测装置主要包括：
设置在基板上方的光发射单元10，用于向所述基板表面发射光束；所述基板为对黑色矩阵进行涂胶之后且曝光之前的玻璃基板；
设置在所述基板上方的反射光接收单元20，用于接收所述基板表面的反射光；
设置在所述基板下方的透射光接收单元30，与所述光发射单元10相对设置，用于接收透过所述基板的透射光；
与所述反射光接收单元20和所述透射光接收单元30分别连接的处理单元40，用于捕捉光束信息，分别计算获得所述基板表面异物的分布信息和相应坐标位置的光学浓度值。
具体实施过程中，一方面，所述光束信息包括反射信息；所述反射信息包括反射光的亮度分布信息；所述处理单元40，用于对所述反射光的亮度分布信息进行处理，获得异物的大小和分布数量。
另一方面，所述光束信息包括透射信息；所述透射信息包括透射光亮度值及其测量点的坐标位置；所述处理单元40，用于根据所述透射光亮度值及其测量点的坐标位置，通过以下方程(1)计算出基板在所述测量点的坐标位置的光学浓度值OD：
OD＝-log10(T) (1)
其中，参数T为光源发射光束在基板上的当前测量点的坐标位置的透过率。
优选地，在本实施例中，所述光发射单元10所采用的光源为条状结构光源；所述条状结构光源所发出的光束垂直均匀地照射到所述基板表面，且其照射范围大于或等于所述基板的面积。
进一步地，所述反射光接收单元20包括若干并排CCD(Charge Coupled Device，电荷耦合器件)镜头或条状光电探测器。
在一种可实现的方式中，所述透射光接收单元30包括导轨31和若干个光电探测器(图1中未示出)。
所述光电探测器沿着所述导轨31向所述光发射单元10的方向移动，获取所述基板相应坐标位置的透射光信息。
进一步地，所述基板异物和光学浓度的检测装置还包括显示判断单元50，报警单元60和缓存单元70。
所述显示判断单元50与所述处理单元40相连接，用于显示所述处理单元40计算获得的基板表面异物大小、分布数量与光学浓度值，并与预设的标准值进行比较，显示判断结果；
所述报警单元60，用于在所述判断结果为异常时，发出报警信号，并将异常基板存放至所述缓存(Buffer)单元70。具体实施时，显示判断单元50和报警单元60可以集成为一体化器件，同时作为显示和报警单元使用，降低设备占用体积。报警单元60获得显示判断单元50所发送的异物信息与光学浓度信息与预设标准进行比较判断的结果。当异物的大小超出阈值或光学浓度值不在标准范围内，判断基板情况异常，报警单元60发现报警信号，对检测报警的基板进行扣留，自动存放至设备的Buffer单元70，等待操作人员进一步确认与处理，后序待检基板继续进入检测设备检测；当异物的尺寸未超出阈值且光学浓度值在标准范围内时，判断基板情况正常，报警单元60无报警信号，基板检测完成后自动流入下一制程。
实施本发明实施例提供的基板异物和光学浓度的检测装置，可用于对涂覆有黑色矩阵的玻璃基板在曝光之前的质量检测。通过向待检测的基板发射光束，然后捕捉反射光束信息和透射光束信息，分别计算获得所述基板表面异物的分布信息和相应坐标位置的光学浓度值，从而通过OD值的测量实现对BM膜厚进行在线监控，且能够检测出基板上异物的大小分布，防止了大尺寸异物对掩膜板污染损伤，实现了黑色矩阵基板异物与光学浓度的整合测量，减少设备的占用空间，提高生产效率。
另一方面，本发明还进一步提供了一种基板异物和光学浓度的检测方法。
参看图2，是本发明提供的基板异物和光学浓度的检测方法的一个实施例的步骤流程图。
在本实施例中，所述一种基板异物和光学浓度的检测方法，利用图1实施例提供的基板异物和光学浓度的检测装置，实现对涂覆有黑色矩阵的玻璃基板在曝光之前的质量检测，主要步骤包括：
步骤S101：向基板表面发射光束；所述基板为对黑色矩阵进行涂胶之后且曝光之前的玻璃基板；
步骤S102：分别接收所述基板表面的反射光和透射光；
步骤S103：捕捉光束信息，分别计算获得所述基板表面异物的分布信息和相应坐标位置的光学浓度值。
优选地，所述光束信息包括反射信息；所述反射信息包括反射光的亮度分布信息；则在所述基板异物和光学浓度的检测方法的步骤S103中，具体还包括：对所述反射光的亮度分布信息进行处理，获得异物的大小和分布数量。
进一步地，所述光束信息包括透射信息；所述透射信息包括透射光亮度值及其测量点的坐标位置；所述检测方法的步骤S103中，具体还包括：根据所述透射光亮度值及其测量点的坐标位置，根据所述方程(1)计算出基板在所述测量点的坐标位置的光学浓度值OD。
图2实施例提供的基板异物和光学浓度的检测方法与图1实施例提供的基板异物和光学浓度的检测装置的工作原理对应相同，在此不再赘述。
实施本发明实施例提供的基板异物和光学浓度的检测技术方案，通过向待检测的基板发射光束，然后捕捉反射光束信息和透射光束信息，一方面检测出黑色矩阵基板上异物的大小分布，防止了大尺寸异物对掩膜板污染损伤；另一方面通过光学浓度值的测量能够在线对膜厚进行监控，实现了黑色矩阵基板异物与光学浓度的同时、快速、准确测量，简化检测设备的结构，降低设备占用空间，提高基板的生产质量和效率。
以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种基板异物和光学浓度的检测装置，其特征在于，包括：
设置在基板上方的光发射单元，用于向所述基板表面发射光束；所述基板为对黑色矩阵进行涂胶之后且曝光之前的玻璃基板；
设置在所述基板上方的反射光接收单元，用于接收所述基板表面的反射光；
设置在所述基板下方的透射光接收单元，与所述光发射单元相对设置，用于接收透过所述基板的透射光；
与所述反射光接收单元和所述透射光接收单元分别连接的处理单元，用于捕捉光束信息，分别计算获得所述基板表面异物的分布信息和相应坐标位置的光学浓度值。
2.如权利要求1所述基板异物和光学浓度的检测装置，其特征在于，所述光束信息包括反射信息；所述反射信息包括反射光的亮度分布信息；
所述处理单元，用于对所述反射光的亮度分布信息进行处理，获得异物的大小和分布数量。
3.如权利要求1所述基板异物和光学浓度的检测装置，其特征在于，所述光束信息包括透射信息；所述透射信息包括透射光亮度值及其测量点的坐标位置；
所述处理单元，用于根据所述透射光亮度值及其测量点的坐标位置，计算出基板在所述测量点的坐标位置的光学浓度值OD：
OD＝-log10(T)；
其中，参数T为光源发射光束在基板上的当前测量点的坐标位置的透过率。
4.如权利要求1所述基板异物和光学浓度的检测装置，其特征在于，所述光发射单元所采用的光源为条状结构光源；所述条状结构光源所发出的光束垂直均匀地照射到所述基板表面，且其照射范围大于或等于所述基板的面积。
5.如权利要求1所述基板异物和光学浓度的检测装置，其特征在于，所述反射光接收单元包括若干并排CCD镜头或条状光电探测器。
6.如权利要求1所述基板异物和光学浓度的检测装置，其特征在于，所述透射光接收单元包括导轨和若干个光电探测器；
所述光电探测器沿着所述导轨向所述光发射单元的方向移动，获取所述基板相应坐标位置的透射光信息。
7.如权利要求1～6任一项所述基板异物和光学浓度的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括显示判断单元，报警单元和缓存单元；
所述显示判断单元与所述处理单元相连接，用于显示所述处理单元计算获得的基板表面异物大小、分布数量与光学浓度值，并与预设的标准值进行比较，显示判断结果；
所述报警单元，用于在所述判断结果为异常时，发出报警信号，并将异常基板存放至所述缓存单元。
8.一种基板异物和光学浓度的检测方法，其特征在于，包括：
向基板表面发射光束；所述基板为对黑色矩阵进行涂胶之后且曝光之前的玻璃基板；
分别接收所述基板表面的反射光和透射光；
捕捉光束信息，分别计算获得所述基板表面异物的分布信息和相应坐标位置的光学浓度值。
9.如权利要求8所述的基板异物和光学浓度的检测方法，其特征在于，所述光束信息包括反射信息；所述反射信息包括反射光的亮度分布信息；所述检测方法还包括：
对所述反射光的亮度分布信息进行处理，获得异物的大小和分布数量。
10.如权利要求8所述的基板异物和光学浓度的检测方法，其特征在于，所述光束信息包括透射信息；所述透射信息包括透射光亮度值及其测量点的坐标位置；所述检测方法还包括：
根据所述透射光亮度值及其测量点的坐标位置，计算出基板在所述测量点的坐标位置的光学浓度值OD：
OD＝-log10(T)；
其中，参数T为光源发射光束在基板上的当前测量点的坐标位置的透过率。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710063951.7A CN106706660A (zh) | 2017-02-04 | 2017-02-04 | 一种基板异物和光学浓度的检测方法及装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710063951.7A CN106706660A (zh) | 2017-02-04 | 2017-02-04 | 一种基板异物和光学浓度的检测方法及装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN106706660A true CN106706660A (zh) | 2017-05-24 |
Family
ID=58909775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201710063951.7A Pending CN106706660A (zh) | 2017-02-04 | 2017-02-04 | 一种基板异物和光学浓度的检测方法及装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN106706660A (zh) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107917918A (zh) * | 2017-11-17 | 2018-04-17 | 南京大学 | 一种基于镜面反射的鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法 |
| CN108459031A (zh) * | 2017-12-30 | 2018-08-28 | 北京奥博泰科技有限公司 | 用于测量中空玻璃整体透射比、反射比和颜色的装置及方法 |
| CN108732140A (zh) * | 2018-05-23 | 2018-11-02 | 南京德阳科技有限公司 | 一种用于建筑玻璃透射比反射比的测量光路 |
| CN108802057A (zh) * | 2018-06-15 | 2018-11-13 | 于婷婷 | 一种玻璃生产的洁净检验装置 |
| CN108982362A (zh) * | 2018-06-27 | 2018-12-11 | 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 | 一种基板检测支撑装置及其检测方法 |
| CN111474599A (zh) * | 2020-05-19 | 2020-07-31 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 玻璃基板的异物检测装置及其检测方法 |
| CN112739488A (zh) * | 2018-08-22 | 2021-04-30 | 奥托立夫开发公司 | 用于检测激光焊接保护玻璃的装置和方法 |
| CN113751450A (zh) * | 2021-07-29 | 2021-12-07 | 蚌埠高华电子股份有限公司 | 玻璃基板表面抛光残留检测及处理一体化系统装置及方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101051619A (zh) * | 2006-04-03 | 2007-10-10 | 三星电子株式会社 | 基板检查装置及使用其的基板检查方法 |
| CN101382501A (zh) * | 2007-09-05 | 2009-03-11 | Aju高技术公司 | 自动光学检查装置及方法 |
| CN102103277A (zh) * | 2009-12-18 | 2011-06-22 | 塔工程有限公司 | 阵列测试装置 |
| CN104335030A (zh) * | 2013-04-02 | 2015-02-04 | 株式会社高永科技 | 基板的异物检测方法 |
| CN104634262A (zh) * | 2015-03-02 | 2015-05-20 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 基板检测装置和基板检测方法 |
| CN104808213A (zh) * | 2015-05-11 | 2015-07-29 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 异物检测装置和涂布系统 |
-
2017
- 2017-02-04 CN CN201710063951.7A patent/CN106706660A/zh active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101051619A (zh) * | 2006-04-03 | 2007-10-10 | 三星电子株式会社 | 基板检查装置及使用其的基板检查方法 |
| CN101382501A (zh) * | 2007-09-05 | 2009-03-11 | Aju高技术公司 | 自动光学检查装置及方法 |
| CN102103277A (zh) * | 2009-12-18 | 2011-06-22 | 塔工程有限公司 | 阵列测试装置 |
| CN104335030A (zh) * | 2013-04-02 | 2015-02-04 | 株式会社高永科技 | 基板的异物检测方法 |
| CN104634262A (zh) * | 2015-03-02 | 2015-05-20 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 基板检测装置和基板检测方法 |
| CN104808213A (zh) * | 2015-05-11 | 2015-07-29 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 异物检测装置和涂布系统 |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107917918A (zh) * | 2017-11-17 | 2018-04-17 | 南京大学 | 一种基于镜面反射的鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法 |
| CN107917918B (zh) * | 2017-11-17 | 2021-02-23 | 南京大学 | 一种基于镜面反射的鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法 |
| CN108459031A (zh) * | 2017-12-30 | 2018-08-28 | 北京奥博泰科技有限公司 | 用于测量中空玻璃整体透射比、反射比和颜色的装置及方法 |
| CN108732140A (zh) * | 2018-05-23 | 2018-11-02 | 南京德阳科技有限公司 | 一种用于建筑玻璃透射比反射比的测量光路 |
| CN108802057A (zh) * | 2018-06-15 | 2018-11-13 | 于婷婷 | 一种玻璃生产的洁净检验装置 |
| CN108982362A (zh) * | 2018-06-27 | 2018-12-11 | 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 | 一种基板检测支撑装置及其检测方法 |
| CN112739488A (zh) * | 2018-08-22 | 2021-04-30 | 奥托立夫开发公司 | 用于检测激光焊接保护玻璃的装置和方法 |
| CN111474599A (zh) * | 2020-05-19 | 2020-07-31 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 玻璃基板的异物检测装置及其检测方法 |
| CN113751450A (zh) * | 2021-07-29 | 2021-12-07 | 蚌埠高华电子股份有限公司 | 玻璃基板表面抛光残留检测及处理一体化系统装置及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106706660A (zh) | 一种基板异物和光学浓度的检测方法及装置 | |
| CN103257467B (zh) | 一种液晶显示器模组检测装置 | |
| CN206740668U (zh) | 一种薄膜缺陷在线检测设备 | |
| CN105928847A (zh) | 一种多相体系中颗粒浓度和粒径的在线测量方法 | |
| WO2014121526A1 (zh) | 玻璃表面异物检查装置、检查机及其检查方法 | |
| CN103630554B (zh) | 一种镜片双面疵病检测装置及方法 | |
| US20130226330A1 (en) | Optical techniques for monitoring continuous manufacturing of proton exchange membrane fuel cell components | |
| CN108414530A (zh) | 自动光学检测设备 | |
| US20200264459A1 (en) | Detecting device and detecting method and detecting equipment therefor | |
| CN107884414A (zh) | 一种剔除灰尘影响的镜面物体表面缺陷检测系统及方法 | |
| CN104808586A (zh) | 涂布机 | |
| CN114740011A (zh) | 基于机器视觉的瑕疵检测装置及膜产品瑕疵检测方法 | |
| JP2012229928A (ja) | 表面欠陥検出方法、および表面欠陥検出装置 | |
| CN110031479A (zh) | 一种锂离子电池用铝塑膜的检品装置 | |
| CN104101614A (zh) | 一种检测方法及装置 | |
| CN201340393Y (zh) | 反射型太阳能电池组件缺陷在线检测装置 | |
| JP2001201429A (ja) | 検査基体の欠陥検査方法および装置 | |
| CN204085848U (zh) | 平曲两用透过率检测仪 | |
| KR100952703B1 (ko) | 듀얼 카메라를 이용한 기판 검사장치 | |
| CN106989905A (zh) | 一种发光面板多功能检测方法及设备 | |
| CN109596640B (zh) | 异物检测方法及装置 | |
| CN114910483B (zh) | 超晶板质量检测装置、方法及系统 | |
| CN106568779A (zh) | 液晶显示面板的缺陷检测方法 | |
| CN105182616A (zh) | 取向膜涂敷检测设备 | |
| CN111601051B (zh) | 一种对准图像获取方法、装置及系统 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20170524 |
|
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |