CN105251281A - 单晶硅、多晶硅简谐式除尘器 - Google Patents

Abstract

一种单晶硅、多晶硅简谐式除尘器，它包括有能承受真空负压的壳体、浊气室、进气口、清灰口，在壳体内的进气口上部装有花板，该花板将壳体分割为上部净气室及下部浊气室；该花板上端与布袋下端相连，该布袋上端通过连杆与活动吊架相连；该活动吊架通过弹簧与上端的固定吊架相连，该固定吊架两端固定在壳体内侧壁上；在壳体的上部连接有封头，该封头上装有出气口，在封头内还装有密封的电磁铁，该电磁铁的下端连接有推杆，该推杆的下端设置在活动吊架上。本发明的有益效果是：使用本发明极大减少了其对真空油的污染，在极大延长真空油的更换周期同时最重要的是极大延长了单晶硅、多晶硅的连续生产时间，大大降低设备、时间、人工、原料成本。

Description

单晶硅、多晶硅简谐式除尘器

技术领域

本发明涉及工业生产中粉尘除尘器技术领域，属于单晶硅、多晶硅工业生产中工艺粉尘处理的简谐式除尘器。

背景技术

现有的工业除尘器按除尘作用力原理可分为“干式”和“湿式”两种基本类型。干法除尘以工作原理分，包括重力式、惯性式、离心式、袋式、静电式等。湿式除尘是通过喷淋液体进行除尘。

而袋式除尘器适用于捕集细小、干燥、非纤维性粉尘。对细粉尘除尘效率高，一般达99％以上，可以用在净化要求很高的场合。适应性强，可捕集各类性质的粉尘，且不因粉尘的比电阻等性质而影响除尘效率，适应的烟尘浓度范围广。便于回收物料，没有污染、废水等二次污染。但袋式除尘器一般是用于常压状态下使用，还没有用在真空状态下的情况。

单晶硅、多晶硅的生产过程中要求较高的工艺环境。整个生产过程需在真空环境下且气压不能有剧烈变化。原料硅在加热过程中会产生少量持续性挥发，挥发物离开坩埚后会冷却凝聚成细小粉尘，并最终进入真空泵混入真空油。被污染的真空油不仅增加真空泵的磨损，更重要的是真空油被污染到一定程度将极大影响真空泵的工作能力。现阶段单晶硅、多晶硅的连续生产时间约为140h，超过此时限真空泵会因真空油的污染而影响工作能力，导致无法产生单晶硅、多晶硅生产所需的真空环境。此时将被迫停炉，更换真空油方能继续生产。

目前，单晶硅、多晶硅的除尘是通过简单的过滤器进行除尘，其除尘效果差，难以满足使用要求。

发明内容

本发明的目的在于提供一种单晶硅、多晶硅简谐式除尘器，它在坩埚和真空泵之间构建一过滤系统，有效过滤挥发的硅粉尘，实现在线清灰，降低真空油的污染，极大延长真空泵的连续工作时间从而延长单晶硅、多晶硅的连续生产时间，并减少频繁更换真空油的设备、时间、人工、原料成本。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种单晶硅、多晶硅简谐式除尘器，其特征在于，它包括有能承受真空负压的壳体(1)，在壳体内的下部设有浊气室(2)，浊气室(2)侧壁设有进气口(4)，在进气口(4)下部设有清灰口(3)，在壳体内的进气口(4)上部装有花板(5)，该花板(5)将壳体(1)分割为上部净气室(7)及下部浊气室(2)；该花板(5)上端与布袋(6)下端相连，该布袋(6)上端通过连杆(8)与活动吊架(9)相连；该活动吊架(9)通过弹簧(10)与上端的固定吊架(11)相连，该固定吊架(11)两端固定在壳体(1)内侧壁上；在壳体(1)的上部连接有封头(12)，该封头(12)上装有出气口(13)，在封头(12)内还装有密封的电磁铁(14)，该电磁铁(14)的下端连接有推杆(15)，该推杆(15)的下端设置在活动吊架(9)上。

其中，所述的布袋(6)通过下部卡箍与花板(5)上的开孔紧密连接，布袋上端为封闭状。

其中，活动吊架(9)通过连杆(8)将若干数量布袋(6)连接为一个整体。

其中，弹簧(10)将活动吊架(9)与固定吊架(11)连接，并通过弹簧(10)的拉力使布袋(6)单向拉伸。

其中，所述进气口(4)与加热炉出口相连，出气口(13)与真空泵相连。

其中，加热炉工作时产生的尘气由进气口(4)进入浊气室(2)，浊气通过布袋(6)过滤进入净气室(7)，粉尘杂质留在布袋(6)内侧，净气通过出气口(13)最终进入真空泵。

本发明的有益效果是：使用本发明的谐振式除尘器过滤单晶硅、多晶硅的生产过程中产生的硅粉尘，极大减少了其对真空油的污染，在极大延长真空油的更换周期同时最重要的是极大延长了单晶硅、多晶硅的连续生产时间，大大降低设备、时间、人工、原料成本。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

附图标号：1、除尘器壳体；2、浊气室；3、清灰口；4、除尘器入口；5、花板；6、布袋；7、净气室；8、连杆；9、活动吊架；10、弹簧；11、固定吊架；12、顶盖；13、除尘器出口；14、电磁铁；15、推杆。

具体实施方式

参见图1所示：一种单晶硅、多晶硅简谐式除尘器，它包括有能承受真空负压的壳体1，在壳体内的下部设有浊气室2，浊气室2侧壁设有进气口4，在进气口4下部设有清灰口3，在壳体内的进气口4上部装有花板5，该花板5将壳体1分割为上部净气室7及下部浊气室2；该花板5上端与布袋6下端相连，该布袋6上端通过连杆8与活动吊架9相连；该活动吊架9通过弹簧10与上端的固定吊架11相连，该固定吊架11两端固定在壳体1内侧壁上；在壳体1的上部连接有封头12，该封头12上装有出气口13，在封头12内还装有密封的电磁铁14，该电磁铁14的下端连接有推杆15，该推杆15的下端设置在活动吊架9上。

其中，所述的布袋6通过下部卡箍与花板5上的开孔紧密连接，布袋上端为封闭状。

其中，活动吊架9通过连杆8将若干数量布袋6连接为一个整体。

其中，弹簧10将活动吊架9与固定吊架11连接，并通过弹簧10的拉力使布袋6单向拉伸。

其中，所述进气口4与加热炉出口相连，出气口13与真空泵相连。

其中，加热炉工作时产生的尘气由进气口4进入浊气室2，浊气通过布袋6过滤进入净气室7，粉尘杂质留在布袋6内侧，净气通过出气口13最终进入真空泵。

当布袋6内侧粉尘堆积到一定程度，清灰装置开始分区运作。电磁铁14与推杆15相连。当电磁铁14通电后推杆15伸出，推力作用于活动吊架9，活动吊架9下移弹簧8拉伸，布袋6由单向拉伸状态变为曲褶状态。当电磁铁14断电后推杆15缩回，弹簧8回弹，活动吊架9在弹簧8作用下加速上移，布袋6由曲褶状态迅速变为单向拉伸状态。布袋由曲褶状态迅速变为单向拉伸状态过程中伴随着大量的势能转化，弹簧8的大量弹性势能迅速转化为布袋6的弹性势能，此过程中布袋6纤维出现高频而剧烈弦振，从而使附着的粉尘剥落到浊气室2内，以达到清灰效果。

当下部浊气室2灰尘储满，需停炉并打开下部清灰口3手动清除粉尘。浊气室2空间很大，一次可存储大量粉尘，因此清灰周期很长。

本发明过滤效率高，储灰量大，清灰周期长。极大减少粉尘对真空油的污染，可极大延长单晶硅、多晶硅的连续生产时间。机械清灰效果好且动作幅度小，几乎不会造成炉内气压波动。

以上所述是本发明的较佳实施例及其所运用的技术原理，对于本领域的技术人员来说，在不背离本发明的精神和范围的情况下，任何基于本发明技术方案基础上的等效变换、简单替换等显而易见的改变，均属于本发明保护范围之内。

Claims (6)

1.一种单晶硅、多晶硅简谐式除尘器，其特征在于，它包括有能承受真空负压的壳体(1)，在壳体内的下部设有浊气室(2)，浊气室(2)侧壁设有进气口(4)，在进气口(4)下部设有清灰口(3)，在壳体内的进气口(4)上部装有花板(5)，该花板(5)将壳体(1)分割为上部净气室(7)及下部浊气室(2)；该花板(5)上端与布袋(6)下端相连，该布袋(6)上端通过连杆(8)与活动吊架(9)相连；该活动吊架(9)通过弹簧(10)与上端的固定吊架(11)相连，该固定吊架(11)两端固定在壳体(1)内侧壁上；在壳体(1)的上部连接有封头(12)，该封头(12)上装有出气口(13)，在封头(12)内还装有密封的电磁铁(14)，该电磁铁(14)的下端连接有推杆(15)，该推杆(15)的下端设置在活动吊架(9)上。

2.根据权利要求1所述的单晶硅、多晶硅简谐式除尘器，其特征在于，所述的布袋(6)通过下部卡箍与花板(5)上的开孔紧密连接，布袋上端为封闭状。

3.根据权利要求2所述的单晶硅、多晶硅简谐式除尘器，其特征在于，活动吊架(9)通过连杆(8)将若干数量布袋(6)连接为一个整体。

4.根据权利要求3所述的单晶硅、多晶硅简谐式除尘器，其特征在于，弹簧(10)将活动吊架(9)与固定吊架(11)连接，并通过弹簧(10)的拉力使布袋(6)单向拉伸。

5.根据权利要求4所述的单晶硅、多晶硅简谐式除尘器，其特征在于，所述进气口(4)与加热炉出口相连，出气口(13)与真空泵相连。

6.根据权利要求5所述的单晶硅、多晶硅简谐式除尘器，其特征在于，加热炉工作时产生的尘气由进气口(4)进入浊气室(2)，浊气通过布袋(6)过滤进入净气室(7)，粉尘杂质留在布袋(6)内侧，净气通过出气口(13)最终进入真空泵。