CN105048861A - 压电驱动器以及机器臂 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及压电驱动器以及机器臂。本发明的压电驱动器具有压电元件、通过对压电元件施加信号而振动的振动板、以及通过振动板的振动而被驱动的被驱动体，振动板通过第一频率的信号以第一模式振动，通过第二频率的信号以第二模式振动，通过第三频率的信号以第三模式振动，第一频率与第二频率不同，第一频率与第三频率不同。
Description
技术领域
本发明涉及压电驱动器。
背景技术
压电驱动器是具有将高频的交流电压等驱动电压转换为机械振动的压电元件、和被压电元件驱动的被驱动体的驱动装置。作为该压电驱动器的形态，已知有将转子、长条形状的部件作为被驱动体的压电驱动器(例如，专利文献1)。压电驱动器经由从包含压电元件的振动体突出的凸部传递压电元件的弯曲振动，使转子向规定的方向旋转。
在专利文献1所述的压电驱动器中，振动体的凸部以描绘椭圆轨道的方式振动。而且，构成为通过向振动体的各电极的通电模式的选择来变更振动体的振动模式，改变振动体的凸部的振动的方向，由此，能够使转子向正方向和反方向(逆时针和顺时针)的任意一个方向旋转。另外，在专利文献1所述的压电驱动器中，通过螺旋弹簧朝向转子对振动体进行施压。
这样的压电驱动器例如，作为机器臂的关节等各机器臂的各部的驱动源被注目。对机器臂进行示教时，使压电驱动器停止，并从外部施加力来使机器臂的关节弯曲、伸展。
专利文献1：日本特开2007－189900号公报
然而，在专利文献1所述的压电驱动器中，对机器臂进行示教时，压电驱动器停止，振动体的凸部一直与转子抵接，所以成为转子被制动的状态，因此，需要施加在该制动的保持力以上的力。另外，在机器臂的驱动源具有减速机的情况下，根据其减速比，需要更大的力。另外，例如，对机器臂示教具有专门的技术的手感等微妙的动作的情况下，若上述保持力较大则存在难以正确地传递该手感这样的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供在欲以压电驱动器以外的外部的力使被驱动体位移时，能够容易且可靠地使被驱动体位移的压电驱动器。
本发明是为了解决上述的课题的至少一部分而完成的，能够作为以下的方式或者应用例实现。
应用例1
本发明所涉及的压电驱动器的特征在于，具有：
压电元件；
振动板，其通过对上述压电元件施加信号而振动；以及
被驱动体，其通过上述振动板的振动而被驱动，
上述振动板通过第一频率的信号以第一模式振动，通过第二频率的信号以第二模式振动，通过第三频率的信号以第三模式振动，
上述第一频率与上述第二频率不同，上述第一频率与上述第三频率不同。
由此，在第三模式的振动例如为纵向振动的情况下，通过该振动板进行纵向振动，能够不使被驱动体位移，并且，与非驱动状态的情况相比能够使振动板与被驱动体之间的摩擦力减少。由此，在欲以压电驱动器以外的外部的力使被驱动体位移时，能够容易且可靠地使被驱动体位移。由此，例如，在将本发明的压电驱动器应用于机器臂，作为该机器臂的关节的驱动源使用的情况下，在对机器臂进行示教时，通过使振动板纵向振动，能够以外部的力容易且可靠地使机器臂的关节弯曲、伸展，由此，能够容易且可靠地进行上述示教。
另外，通过振动板进行第一模式的振动，能够使被驱动体位移。
另外，第一频率与第二频率不同，第一频率与第三频率不同，从而能够以最佳的频率使振动板以各模式振动，由此，能够分别增大各模式的振动的大小。由此，通过振动板以第三模式进行振动，能够使振动板与被驱动体之间的摩擦力进一步减少。
应用例2
在本发明所涉及的压电驱动器中，优选上述第三模式的振动为纵向振动。
由此，能够更可靠地不使被驱动体位移，并且，与非驱动状态的情况相比能够使振动板与被驱动体之间的摩擦力减少。
应用例3
在本发明所涉及的压电驱动器中，优选上述第二模式的振动为弯曲振动，上述第一模式的振动为上述弯曲振动与上述纵向振动的合成振动。
由此，通过振动板进行合成振动，能够高效地使被驱动体位移。
应用例4
在本发明所涉及的压电驱动器中，优选具有设置于上述压电元件的多个电极，
在使上述振动板以上述第三模式振动时，上述信号被施加给上述多个电极。
由此，能够容易且可靠地使振动板以第三模式振动，另外，能够使其较大地振动。
应用例5
在本发明所涉及的压电驱动器中，优选在使上述振动板以上述第三模式振动时，控制供给到上述压电元件的电流的大小。
若施加信号的电极的总面积增大，则振动板的共振时的压电元件的阻抗降低，由此，采用控制施加到压电元件的电压的大小的电压控制的情况下，供给到压电元件的电流(电力)增大，在压电元件的发热量增大。而且，若上述发热量增大，则根据其他的条件，存在振动板的共振时的压电元件的阻抗进一步降低，供给到压电元件的电流进一步增大，而振动板的振动不稳定的情况。
与此相对，在本发明所涉及的压电驱动器中，通过采用控制供给到压电元件的电流的大小的电流控制，与采用上述电压控制的情况相比，能够减少在压电元件的发热量，由此，能够抑制振动板的共振时的压电元件的阻抗的降低，能够使振动稳定，另外，能够减少消耗电力。
应用例6
在本发明所涉及的压电驱动器中，优选具有设置于上述压电元件的多个电极，
在使上述振动板以上述第三模式振动时，上述信号被施加给上述多个电极中的一部分电极。
由此，与将信号施加给所有的电极来使振动板以第三模式振动的情况相比，能够提高振动板的共振时的压电元件的阻抗，由此，能够使振动稳定，另外，能够减少消耗电力。
应用例7
在本发明所涉及的压电驱动器中，优选上述被驱动体被设置成能够旋转，
上述振动板的与上述被驱动体抵接的部分的上述第三模式的振动的振动方向是朝向上述被驱动体的旋转中心的方向。
由此，能够抑制在振动板以第三模式振动时被驱动体旋转。
应用例8
在本发明所涉及的压电驱动器中，优选上述被驱动体被设置成能够移动，
上述被驱动体的与上述振动板抵接的部分的移动方向与上述第三模式的振动的振动方向正交。
由此，能够抑制在振动板以第三模式振动时被驱动体移动。
附图说明
图1是表示本发明的压电驱动器的第一实施方式的俯视图。
图2是图1中的A－A线的剖视图。
图3是图1所示的压电驱动器的振动体的立体图。
图4是用于说明图1所示的压电驱动器的动作的振动体的图。
图5是用于说明图1所示的压电驱动器的动作的振动体的图。
图6是用于说明图1所示的压电驱动器的动作的振动体的图。
图7是表示本发明的压电驱动器的第二实施方式中的振动体的立体图。
图8是表示本发明的压电驱动器的第三实施方式的俯视图。
具体实施方式
以下，基于附图所示的优选的实施方式对本发明的压电驱动器进行详细说明。
第一实施方式
图1是表示本发明的压电驱动器的第一实施方式的俯视图。图2是图1中的A－A线的剖视图。图3是图1所示的压电驱动器的振动体的立体图。图4是用于说明图1所示的压电驱动器的动作的振动体的图。图5是用于说明图1所示的压电驱动器的动作的振动体的图。图6是用于说明图1所示的压电驱动器的动作的振动体的图。
此外，以下，为了方便说明，将图2、图3、图4中的上侧称为“上”或者“上方”，将下侧称为“下”或者“下方”(图7也相同)。
另外，在图1～图6图示了x轴、y轴以及z轴作为相互正交的三个轴。将与x轴平行的方向称为“x轴方向”，将与y轴平行的方向称为“y轴方向”，将与z轴平行的方向称为“z轴方向”。另外，将由x轴和y轴规定的平面称为“xy平面”，将由y轴和z轴规定的平面称为“yz平面”，将由z轴和x轴规定的平面称为“xz平面”。另外，在x方向、x方向以及z方向上，将箭头前端侧设为“+(正)侧”，将箭头基端侧设为“－(负)侧”。此外，振动体、振动板、压电元件以及各电极的长边方向分别为x轴方向，短边方向(宽度方向)分别为y轴方向，厚度方向分别为z轴方向(图7以及图8也相同)。
另外，在图1中，省略了振动体的电极的图示(图8也相同)。另外，在图4～图6中，对于振动体，以省略连结部的图示等进行简化的方式进行图示(图7也相同)。
另外，在图4～图6中，对振动体的各电极中通电的电极附加斜线。
另外，在图3～图6中，对于振动体的各电极中，背面的看不见的电极，仅在括号内示出各符号(图7也相同)。
基本构成
压电驱动器1具有：振动部10，其具有通过电压的施加而振动的振动体2；转子(被驱动体)5，其能够旋转(能够位移)且为圆盘状；以及支承体6，其支承振动部10和转子5。此外，转子5换言之为横剖面形状为圆形形状的被驱动体。
压电驱动器1是通过振动体2振动，而向转子5传递动力(驱动力)使其旋转(驱动)的装置。以下，对压电驱动器1具有的各部依次进行说明。
振动部10
振动部10具备振动体2、以能够振动的方式保持振动体2的保持部(保持机构)3、基台4、以及作为朝向转子5对振动体2进行施压的施压部的一对板簧(弹性体)71、72。一对板簧(弹性体)71、72在本实施方式中，连结保持部3和基台4，并经由保持部3朝向转子5对振动体2的后述的凸部26进行施压。
振动体2
振动体2呈长方形的板状，通过从图2以及图3的上侧开始依次层叠四个电极21a、21b、21c以及21d、板状的压电元件22、具有凸部(接触部)26以及一对连结部27、28的作为加强板的振动板(垫片)23、板状的压电元件24、以及四个电极25a、25b、25c以及25d(图3中，电极25a以及25b未图示，而仅在括号内示出各符号)而构成。此外，在图2以及图3中，夸大地示出了厚度方向。
该振动体2由于电压的施加而压电元件22以及24变形从而振动，并经由凸部26将动力传递给转子5，使转子5旋转。
压电元件22以及24分别呈长方形，并分别固定在振动板23的两面。
这些压电元件22以及24通过施加电压，而向其长边方向伸长或者收缩，通过中止电压的施加，返回到原来的形状。
作为压电元件22以及24的构成材料，并不特别限定，能够使用锆钛酸铅(PZT)、石英、铌酸锂、钛酸钡、钛酸铅、偏铌酸铅、聚偏氟乙烯、铌锌酸铅、钪铌酸铅(leadscandiumniobate)等各种材料。
在该压电元件22的上面，几乎相等地将该上面分割为四个长方形的区域，即在X轴方向上进行二分割，并在Y轴方向上进行二分割，在分割后的四个区域分别设置有呈长方形的电极21a、21b、21c以及21d。此外，各电极21a、21b、21c以及21d相互分离。
同样地，在压电元件24的下面，几乎相等地将该下面分割为四个长方形的区域，即、在X轴方向上进行二分割，并在Y轴方向上进行二分割，在分割后的四个区域分别设置有呈长方形的电极25a、25b、25c以及25d。此外，各电极25a、25b、25c以及25d相互分离。
另外，电极21a、21b、21c以及21d关于向与后述的纵向振动(第三模式的振动)的振动方向不同的方向延伸的规定的第一直线91线对称地配置，另外，关于向纵向振动的振动方向延伸的规定的第二直线92线对称地配置。同样地，电极25a、25b、25c以及25d关于向与后述的纵向振动的振动方向不同的方向延伸的规定的第一直线91线对称地配置，另外，关于向纵向振动的振动方向延伸的规定的第二直线92线对称地配置。
此外，在本实施方式中，振动体2(振动板23)的纵向振动的振动方向93为X轴方向，与纵向振动的振动方向93正交的方向为Y轴方向。另外，振动体2的凸部26的与转子5抵接的部分的纵向振动的振动方向94是朝向转子5的旋转中心50的方向。另外，与上述纵向振动的振动方向93不同的方向是与纵向振动的振动方向93正交的方向，即Y轴方向，第一直线91向Y轴方向延伸。另外，第一直线91通过X轴方向(纵向振动的振动方向93)上的压电元件22、24的中央部，第二直线92通过Y轴方向(与纵向振动的振动方向93正交的方向)上的压电元件22、24的中央部。
另外，电极21a与电极25a、电极21b与电极25b、电极21c与电极25c、以及电极21d与电极25d分别在振动体2的厚度方向上对置地配置。另外，如图3所示，一条对角线上的电极21a以及21c、和位于这些电极的背面的电极25a以及25c全部电连接。同样地，另一条对角线上的电极21b以及21d、和位于这些电极的背面的电极25b以及25d全部电连接。
振动板23具有加强振动体2整体的功能，防止振动体2由于过振幅、外力等而损伤。作为振动板23的构成材料，并不特别限定，但例如优选是不锈钢、铝或者铝合金、钛或者钛合金、铜或者铜系合金等各种金属材料。
优选该振动板23与压电元件22以及24相比厚度较薄(小)。由此，能够使振动体2以较高的效率振动。
另外，振动板23接地(与接地电位连接)，也具有作为对压电元件22以及24的共用的电极的功能。即，在压电元件22通过电极21a、21b、21c以及21d中的规定的电极、和振动板23施加有电压，在压电元件24通过电极25a、25b、25c以及25d中的规定的电极、和振动板23施加有电压。
此外，也可以不将振动板23作为对压电元件22以及24的共用电极使用，而例如，在振动板23与压电元件22之间以及振动板23与压电元件24之间，分别设置对压电元件22以及压电元件24的共用电极。
另外，在振动板23的长边方向的一端部(转子5侧的端部)一体地形成有凸部26。换言之，压电元件22、24分别设在凸部26的与转子5相反的一侧。
凸部26位于振动体2(振动板23)的宽度方向(Y轴方向)的中央部，其前端俯视时呈半圆状。此外，凸部26的形状、位置当然并不限定于此。
该凸部26由于振动体2振动而与转子5抵接、或从转子5分离。
另外，在振动板23的宽度方向的两端部分别一体地形成有以能够使振动体2振动的方式将振动板23与保持部3连结的连结部27、28。各连结部27、28被配置成在振动板23的图1中右侧和左侧相互线对称。
连结部27呈长方形，具有安装于后述的保持部3的安装部273、和支承部271、272，上述支承部271、272形成在安装部273的长边方向的两端部且以能够使振动体2振动的方式将振动板23与安装部273连结并进行支承。同样地，连结部28呈长方形，具有安装于保持部3的安装部283、和支承部281、282，上述支承部281、282形成在安装部283的长边方向的两端部且以能够使振动体2振动的方式将振动板23与安装部283连结并进行支承。此外，支承部271、272、281以及282配置在振动体2(振动板23)的后述的合成振动(第一模式的振动)、弯曲振动(第二模式的振动)的分界点的位置。
保持部3
保持部3构成为不阻碍振动体2的振动，并将振动体2保持为能够振动。该保持部3具有以相互分离的方式配置的一对支柱31、32、和连结支柱31的上侧的端部和支柱32的下侧的端部的连结部33。支柱32与支柱31相比配置在远离基台4的一侧，该支柱32的下侧的端部向远离支柱31的方向突出。
振动体2配置在支柱31与支柱32之间，且图1中左侧的连结部27的安装部273在与支承部271、272对应的位置，通过螺丝115、117固定于支柱31，图1中右侧的连结部28的安装部283在与支承部281、282对应的位置，通过螺丝116、118固定于支柱32。
作为保持部3的构成材料并不特别限定，例如，能够使用各种金属材料、各种陶瓷材料等。
基台4
基台4经由一对板簧71、72支承保持了振动体2的保持部3并固定于支承体6。基台4的形状并不特别限定，但在本实施方式中，呈横剖面的形状大致为四角形的棒状，即单向较长的大致长方体。
板簧71、72
一对板簧71、72相互分离，并以夹持保持部3的整体的状态，连结该保持部3和基台4。该情况下，板簧71的一个(图1中左侧)端部通过螺丝111固定于基台4的上侧的端部，板簧71的另一个(图1中右侧)端部通过螺丝112固定于保持部3的支柱31的上侧的端部。同样地，板簧72的一个(图1中左侧)端部通过螺丝113固定于基台4的下侧的端部，板簧72的另一个(图1中右侧)端部通过螺丝114固定于保持部3的支柱32的下侧的端部。
而且，板簧71、72分别弹性变形，并朝向转子5对保持振动体2的保持部3进行施压。即板簧71、72分别经由保持部3朝向转子5对振动体2的凸部26进行施压。由此，能够高效地进行振动体2的向转子5的动力传递。
另外，板簧71、72的形状并不特别限定，但在本实施方式中，呈S形。
转子5
在这样的构成的振动部10的X轴方向前方配置有转子5。
转子5以能够以竖立设置于支承体6的棒状的轴部51为旋转中心，向正方向(顺时针)以及作为其相反方向的负方向(逆时针)旋转的方式被保持。
而且，由于振动体2振动，凸部26反复与这样的转子5的外周面52抵接。
以上，对压电驱动器1的基本的结构进行了说明。
驱动
接下来，对压电驱动器1的动作进行说明。
压电驱动器1具有虽然驱动压电驱动器1但以振动体2的振动不使转子5旋转的第一驱动模式(示教模式)、和驱动压电驱动器1使转子5旋转的第二驱动模式(通常驱动模式)，作为其驱动模式。此外，在上述第一驱动模式中，所谓的“不使转子5旋转”是指不使转子5积极地旋转，并不排除转子5稍微旋转的情况。
另外，压电驱动器1具有作为第二模式的振动的弯曲振动的模式、作为第三模式的振动的纵向振动的模式、以及作为第一模式的振动的弯曲振动与纵向振动的合成振动的模式，作为振动体2(振动板23)的振动模式。另外，振动体2(振动板23)通过第一频率的信号以第一模式振动，通过第二频率的信号以第二模式振动，并通过第三频率的信号以第三模式振动。而且，上述第一频率、第二频率、第三频率是相互不同的频率。在上述第一驱动模式中，使振动体2以上述第三模式振动，另外，在上述第二驱动模式中，使振动体2以上述第一模式振动。
另外，第二频率只要是产生弯曲振动的频率则并不特别限定，根据诸条件适当地设定，但优选在将弯曲振动的共振频率设为f2时，为f2±5％，更优选为f2±3％。由此，能够得到更大的振动。
另外，第三频率只要是产生纵向振动的频率则并不特别限定，根据诸条件适当地设定，但优选在将纵向振动的共振频率设为f3时，为f3±5％，更优选为f3±3％。由此，能够得到更大的振动。此外，f2和f3哪个高均可以。
另外，第一频率只要是产生弯曲振动与纵向振动的合成振动的频率则并不特别限定，根据诸条件适当地设定，但优选为弯曲振动的共振频率f2与纵向振动的共振频率f3之间的频率。由此，能够得到更大的振动。
另外，纵向振动是振动体2(振动板23)(压电元件22、24)的长边方向亦即X轴方向的振动。该纵向振动并不限定于单一振动，也可以包含规定量以下的其他的振动成分。
另外，在本实施方式中，合成振动是合成了弯曲振动和纵向振动的振动。在该合成振动也可以包含有弯曲振动和纵向振动以外的规定量以下的其他的振动成分。
以下，进一步对第一驱动模式(示教模式)、和第二驱动模式(通常驱动模式)进行说明。
压电驱动器1在第一驱动模式中，通过对振动体2的规定的电极施加规定的信号，即以一定的周期施加(通电)正电压，使振动体2(振动板23)以凸部26沿X轴方向往复的方式振动(纵向振动)。
在第一驱动模式中，在本实施方式中，对电极21a、21b、21c、21d、25a、25b、25c以及25d的所有的电极通电。由此，能够容易且可靠地使振动体2纵向振动，另外，由于对所有的电极通电，所以能够使其较大地振动。
在该第一驱动模式中，由于振动体2(振动板23)进行纵向振动，所以与不使压电驱动器1驱动而为非驱动状态的情况(使其停止的情况)相比能够使振动体2的凸部26作用于转子5的保持力格外地减少。由此，在欲利用压电驱动器1以外的外部的力使转子5旋转时，能够使转子5容易且可靠地旋转。
例如，若例举将压电驱动器1应用于机器臂的关节的驱动源的情况进行说明，则在以第二驱动模式驱动压电驱动器1使转子5旋转从而机器臂进行规定的作业时，第一驱动模式例如，能够使用于通过操作者而预先以手动使机器臂的关节弯曲、伸直来进行对位的作业(以下，将该作业称为示教或者示教作业)等。通过示教作业进行了对位的位置例如，作为坐标等位置信息存储于未图示的控制装置的存储部。
此外，在第一驱动模式中，也可以对电极21a、21b、21c、21d、25a、25b、25c以及25d中的一部分电极，例如，对电极21a、21d、25a以及25d通电。
另外，压电驱动器1在第二驱动模式中，通过对振动体2的规定的电极施加(通电)规定的信号，即以一定的周期施加(通电)正电压，使振动体2(振动板23)以与上述纵向振动不同的方式振动。在本实施方式中，使振动体2(振动板23)以凸部26描绘椭圆轨道的方式振动(合成振动)，并通过该振动使转子5旋转。
在第二驱动模式中，对电极21a、21b、21c、21d、25a、25b、25c以及25d中的一部分电极，在本实施方式中，对电极21a、21c、25a以及25c，或者，对电极21b、21d、25b以及25d通电。
以下，对在第一驱动模式中，凸部26沿X轴方向往复，在第二驱动模式中，凸部26描绘椭圆轨道的理由进行说明。
凸部26的动作
如上述那样，压电元件22以及24通过反复正电压的施加和解除(以一定的周期施加正电荷)，而反复向其长边方向伸长的动作和返回到原来的形状的动作(从伸长的状态收缩的动作)。
在第一驱动模式中，若以一定的周期对电极21a、21b、21c、21d、25a、25b、25c以及25d通电，在这些电极21a、21b、21c、21d、25a、25b、25c以及25d、和振动板23之间以一定的周期施加正电压，则压电元件22的与电极21a、21b、21c以及21d对应的部分、和压电元件24的与电极25a、25b、25c以及25d对应的部分反复收缩以及伸长。
随着这样的伸长以及收缩，振动体2整体在XY平面内，沿X轴方向进行图4所示那样的纵向振动(伸缩振动)。
另外，若使施加电压的频率变化，则在成为某个特定的频率时伸缩量急剧增大，产生一种共振现象。在纵向振动产生共振的频率，即、上述的共振频率f3由振动体2的物性、和振动体2的尺寸(宽度W、长度L、厚度)等诸条件决定。
另外，在第二驱动模式中，若以一定的周期对电极21a、21c、25a以及25c通电，在这些电极21a、21c、25a以及25c、和振动板23之间以一定的周期施加正电压，则压电元件22的与电极21a以及21c对应的部分、和压电元件24的与电极25a以及25c对应的部分反复收缩以及伸长。
与此相对，由于电极21b、21d、25b以及25d未被通电，所以压电元件22的与电极21b以及21d对应的部分、和压电元件24的与电极25b以及25d对应的部分并不收缩、伸长。
随着这样的伸长以及收缩，振动体2整体在XY平面内，进行如图5所示那样的弯曲振动与纵向振动的合成振动(外观上是弯曲振动)。
像这样以图5所示的方式施加了电压的情况下，如图5所示，振动体2以凸部26描绘箭头DL(在附图上顺时针)的椭圆轨道(第一椭圆轨道)的方式振动。
另外，在第二驱动模式中，若以一定的周期对电极21b、21d、25b以及25d通电，在这些电极21b、21d、25b以及25d、和振动板23之间以一定的周期施加正电压，则压电元件22的与电极21b以及21d对应的部分、和压电元件24的与电极25b以及25d对应的部分反复收缩以及伸长。
与此相对，由于电极21a、21c、25a以及25c未被通电，所以压电元件22的与电极21a以及21c对应的部分、和压电元件24的与电极25a以及25c对应的部分并不收缩、伸长。
随着这样的伸长以及收缩，振动体2整体在XY平面内，进行图6所示那样的弯曲振动和纵向振动的合成振动(外观上是弯曲振动)。
像这样以图6所示的方式施加了电压的情况下，如图6所示，振动体2以凸部26描绘箭头DR(在附图上逆时针)的椭圆轨道(第二椭圆轨道)的方式振动。
此外，图5以及图6所示的合成振动中的弯曲振动的上述的共振频率f2也由振动体2的物性、和振动体2的尺寸(宽度W、长度L、厚度T)等诸条件决定。
此外，在以上的说明中以对振动体2施加正电压为例进行了说明，但压电元件22以及24通过施加负电压也变形。因此，也可以通过对振动体2施加负电压来使振动产生，也可以通过施加反复正电压和负电压的交变电压来使振动产生。
另外，施加的电压例如，可以是波形的电压，另外，也可以是脉冲状的电压。
转子5的动作
振动体2在第二驱动模式中使转子5旋转。
具体而言，若如图5所示那样使振动体2振动，则振动体2以凸部26描绘箭头DL的椭圆轨道的方式振动，所以转子5由于从凸部26受到的摩擦力而如图5中箭头SR所示的那样逆时针旋转。
另一方面，若如图6所示那样使振动体2振动，则振动体2以凸部26描绘箭头DR的椭圆轨道的方式振动，所以转子5由于从凸部26受到的摩擦力而如图6中箭头SL所示的那样顺时针旋转。
这样一来转子5由于振动体2的振动而顺时针或者逆时针旋转。
控制方式
在压电驱动器1中，在第一驱动模式中，作为使振动体2纵向振动时的控制方式，优选采用控制供给至压电元件22、24的电流的大小的电流控制。在该电流控制中，将供给至压电元件22、24的电流控制为恒定。
若通电的电极的总面积增大，则振动体2的共振时的压电元件22、24的阻抗变低，由此，采用控制施加到压电元件22、24的电压的大小的电压控制的情况下，供给到压电元件22、24的电流(电力)增大，在压电元件22、24的发热量增大。而且，若上述发热量增大，则根据其他的条件，存在振动体2的共振时的压电元件22、24的阻抗进一步降低，供给到压电元件22、24的电流进一步增大，而振动体2的振动不稳定的情况。
与此相对，通过采用电流控制，与采用上述电压控制的情况相比，能够减少在压电元件22、24的发热量，由此，能够抑制振动体2的共振时的压电元件22、24的阻抗的降低，能够使振动稳定，另外，能够减少消耗电力。
另一方面，在第二驱动模式中，作为使振动体2进行弯曲振动与纵向振动的合成振动时的控制方式，例如，采用控制施加到压电元件22、24的电压的大小的电压控制。
如以上所说明的那样，根据该压电驱动器1，在第一驱动模式中，振动体2进行纵向振动，从而不使转子5位移，并且，与非驱动状态的情况相比能够使振动体2的凸部26作用于转子5的保持力格外地减少。由此，在欲利用压电驱动器1以外的外部的力使转子5旋转时，能够容易且可靠地使转子5旋转。由此，例如，将压电驱动器1应用于机器臂，作为该机器臂的关节的驱动源使用的情况下，在对机器臂进行示教时，通过使振动体2纵向振动，能够利用外部的力容易且可靠地使机器臂的关节弯曲、伸展，由此，能够容易且可靠地进行上述示教。
另外，在第二驱动模式中，振动体2进行合成振动，从而能够使转子5旋转。
由于第一频率、第二频率、第三频率是相互不同的频率，所以能够以最佳的频率使振动体2以各模式振动，由此，能够分别增大各模式的振动的大小。由此，在第一驱动模式中，由于振动体2进行纵向振动，所以能够进一步使振动体2与转子5之间的摩擦力减少。
第二实施方式
图7是表示本发明的压电驱动器的第二实施方式中的振动体的立体图。
以下，对于第二实施方式，以与上述的第一实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项，省略其说明。另外，与第一实施方式相同，对于纵向振动用电极，以电极21a、21b、21c、21d以及21e中的纵向振动用电极为代表进行说明。
如图7所示，在第二实施方式的压电驱动器1中，振动体2呈长方形的板状，通过从图7的上侧依次层叠五个电极21a、21b、21c、21d以及21e、板状的压电元件22、具有凸部(接触部)26以及一对连结部27、28的作为加强板的振动板(垫片)23、板状的压电元件24、以及五个电极25a、25b、25c、25d以及25e(图7中，电极25a、25b以及25e未图示，而仅在括号内示出各符号)而构成。此外，在图7中，夸大地示出了厚度方向。
在压电元件22的上面，几乎相等地将该上面分割为六个长方形的区域，即在X轴方向上进行二分割，并在Y轴方向上进行三分割，在分割后的Y轴方向的两端的四个区域分别设置有呈长方形的电极21a、21b、21c以及21d。而且，跨过压电元件22的上面的Y轴方向的中央部的两个区域，设置有呈电极21a、21b、21c以及21d的大约二倍的长度的长方形的电极21e。此外，各电极21a、21b、21c、21d以及21e相互分离。
同样地，在压电元件24的下面，几乎相等地将该下面分割为六个长方形的区域，即在X轴方向上进行二分割，并在Y轴方向上进行三分割，在分割后的Y轴方向的两端的四个区域分别设置有呈长方形的电极25a、25b、25c以及25d。而且，跨过压电元件24的下面的Y轴方向的中央部的两个区域，设置有呈电极25a、25b、25c以及25d的大约二倍的长度的长方形的电极25e。此外，各电极25a、25b、25c、25d以及25e相互分离。
另外，电极21a、21b、21c、21d以及21e关于第一直线91线对称地配置，另外，关于第二直线92线对称地配置。同样地，电极25a、25b、25c、25d以及25e关于第一直线91线对称地配置，另外，关于第二直线92线对称地配置。
另外，电极21a与电极25a、电极21b与电极25b、电极21c与电极25c、电极21d与电极25d、以及电极21e与电极25e分别在振动体2的厚度方向对置地配置。另外，如图7所示，电极21a与位于其背面的电极25a、电极21b与位于其背面的电极25b、电极21c与位于其背面的电极25c、电极21d与位于其背面的电极25d、电极21e与位于其背面的电极25e分别电连接。
在第一驱动模式中，对电极21a、21b、21c、21d、21e、25a、25b、25c、25d以及25e中的一部分电极(以下，称为纵向振动用电极)通电，在本实施方式中，对电极21e以及25e通电。由此，振动体2整体在XY平面内，沿X轴方向纵向振动。
另外，虽然对电极21a、21b、21c、21d、21e、25a、25b、25c、25d以及25e的全部通电振动体2也纵向振动，但通过仅对电极21e以及25e通电，与对所有的上述电极通电的情况相比，能够提高振动体2的共振时的压电元件22、24的阻抗，由此，能够使振动稳定，另外，能够减少消耗电力。
此外，在第一驱动模式中，也可以对电极21a、21b、21c、21d、21e、25a、25b、25c、25d以及25e的全部通电。该情况下，优选如上述第一实施方式所述那样采用电流控制。
另外，在第二驱动模式中，对电极21a、21b、21c、21d、21e、25a、25b、25c、25d以及25e中的一部分电极通电，在本实施方式中，对电极21a、21c、21e、25a、25c以及25e，或者，对电极21b、21d、21e、25b、25d以及25e通电。由此，如图5所示，振动体2以凸部26描绘箭头DL(在附图上顺时针)的椭圆轨道(第一椭圆轨道)的方式振动，或者，如图6所示，以凸部26描绘箭头DR(在附图上逆时针)的椭圆轨道(第二椭圆轨道)的方式振动。
根据该第二实施方式，能够得到与上述的第一实施方式相同的效果。
第三实施方式
图8是表示本发明的压电驱动器的第三实施方式的俯视图。
以下，对于第三实施方式，以与上述的第一实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项，省略其说明。
如图8所示，第三实施方式的压电驱动器1作为被驱动体，代替转子5，而具备横剖面形状为长条形状的被驱动体即滑块8。
滑块8呈横剖面的形状大致为四角形的棒状，即单向较长的大致长方体，且设置为能够向其长边方向(轴向)移动(能够位移)。压电驱动器1是通过振动体2振动，来使动力(驱动力)传递到滑块8而使其移动(驱动)的装置。滑块8的与振动体2的凸部26抵接的部分的移动方向96与振动体2的纵向振动的振动方向93以及振动体2的凸部26的与滑块8抵接的部分的纵向振动的振动方向94正交。
在该滑块8设有两个辊80a、80b、和限制滑块8的移动的两个凸部(移动限制单元)83a、83b。
两个辊80a、80b彼此分离规定距离，且在图8中左右方向并排设置。而且，两个辊80a、80b分别在滑块8的一个(图8中上侧)面，以与滑块8平行的姿势，被以能够向正反两个方向旋转的方式位于中心的轴81a、81b支承。
另外，在辊80a、80b的圆周面(外周面)分别沿外周形成有槽82a、82b。而且，滑块8配设在(位于)这些辊80a的槽82a内以及辊80b的槽82b内。
另外，凸部83a与8滑块的辊80a相比位于图8中左侧的端部，凸部83b与滑块8的辊80b相比位于图8中右侧的端部。
此外，凸部的位置、数目并不限定于此，例如，也可以配置在两个辊80a、80b之间，另外，凸部的数目也可以为一个。另外，辊的数目也并不限定于此。
根据该第三实施方式，能够得到与上述的第一实施方式相同的效果。
另外，第三实施方式也能够应用于上述的第二实施方式。
以上，基于图示的实施方式对本发明的压电驱动器进行了说明，但本发明并不限定于此，各部的构成能够置换为具有相同的功能的任意的构成。另外，也可以对本发明附加其他的任意的构成物。
另外，本发明也可以组合上述各实施方式中的、任意的两个以上的构成(特征)。
另外，在上述实施方式中，一个压电元件的设在一个面(与振动板相反的一侧的面)的电极的数目为四个或者五个，但在本发明中，并不限定于此，例如，也可以为六个以上。
另外，在上述实施方式中，使用了板簧作为施压部，但在本发明中，并不限定于此，例如，也可以使用螺旋弹簧等。
另外，在上述实施方式中，作为被驱动体，例举转子、和滑块进行了说明，但在本发明中，被驱动体并不限定于此。作为能够旋转的被驱动体，其横剖面的形状并不限定于上述圆形，例如，能够列举二十角形等多角形等。另外，作为能够移动的被驱动体，其横剖面的形状并不限定于上述单向较长的四角形，例如，能够列举弯曲的棒状等。另外，被驱动体可以是刚体，另外，也可以具有可挠性。
另外，本发明的压电驱动器的用途并不特别限定，本发明的压电驱动器例如，能够使用于各种机器臂的关节的驱动、手等的各种末端执行器的驱动等各种装置的规定的部位的驱动。
附图标记的说明：1…压电驱动器；10…振动部；2…振动体；21a、21b、21c、21d、21e…电极；22、24…压电元件；23…振动板；25a、25b、25c、25d、25e…电极；26…凸部；27、28…连结部；271、272、281、282…支承部；273、283…安装部；3…保持部；31、32…支柱；33…连结部；4…基台；5…转子；50…旋转中心；51…轴部；52…外周面；6…支承体；71、72…板簧；713…贯通孔；8…滑块；80a、80b…辊；81a、81b…轴；82a、82b…槽；83a、83b…凸部；91、92…直线；93、94…振动方向；96…移动方向；111～118…螺丝。
Claims (9)
1.一种压电驱动器，其特征在于，具有：
压电元件；
振动板，其通过对所述压电元件施加信号而振动；以及
被驱动体，其通过所述振动板的振动而被驱动，
所述振动板通过第一频率的信号以第一模式振动，通过第二频率的信号以第二模式振动，通过第三频率的信号以第三模式振动，
所述第一频率与所述第二频率不同，所述第一频率与所述第三频率不同。
2.根据权利要求1所述的压电驱动器，其特征在于，
所述第三模式的振动为纵向振动。
3.根据权利要求2所述的压电驱动器，其特征在于，
所述第二模式的振动为弯曲振动，所述第一模式的振动为所述弯曲振动与所述纵向振动的合成振动。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的压电驱动器，其特征在于，
具有设置于所述压电元件的多个电极，
在使所述振动板以所述第三模式振动时，所述信号被施加给所述多个电极。
5.根据权利要求4所述的压电驱动器，其特征在于，
在使所述振动板以所述第三模式振动时，控制供给到所述压电元件的电流的大小。
6.根据权利要求1～3中任一项所述的压电驱动器，其特征在于，
具有设置于所述压电元件的多个电极，
在使所述振动板以所述第三模式振动时，所述信号被施加给所述多个电极中的一部分电极。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的压电驱动器，其特征在于，
所述被驱动体被设置成能够旋转，
所述振动板的与所述被驱动体抵接的部分的所述第三模式的振动的振动方向是朝向所述被驱动体的旋转中心的方向。
8.根据权利要求1～6中任一项所述的压电驱动器，其特征在于，
所述被驱动体被设置成能够移动，
所述被驱动体的与所述振动板抵接的部分的移动方向与所述第三模式的振动的振动方向正交。
9.一种机器臂，其特征在于，
具备权利要求1～8中任一项所述的压电驱动器。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108696174A (zh) * | 2017-03-31 | 2018-10-23 | 精工爱普生株式会社 | 驱动装置及方法、机器人、输送装置、打印机及投影仪 |
| CN110266211A (zh) * | 2018-03-12 | 2019-09-20 | 精工爱普生株式会社 | 压电驱动装置、机器人、电子部件输送装置、打印机 |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106253742B (zh) * | 2015-06-12 | 2019-07-12 | 精工爱普生株式会社 | 马达用压电驱动装置、马达、机器人以及泵 |
| JP6592993B2 (ja) * | 2015-07-07 | 2019-10-23 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置及びロボット |
| DE102016110124B4 (de) * | 2016-06-01 | 2018-07-19 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Ultraschallmotor |
| JP6834262B2 (ja) * | 2016-08-31 | 2021-02-24 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子、圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置および振動子の製造方法 |
| JP6828342B2 (ja) * | 2016-09-23 | 2021-02-10 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよび圧電アクチュエーターの製造方法 |
| JP6879015B2 (ja) * | 2017-03-31 | 2021-06-02 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置、圧電駆動装置の駆動方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクター |
| JP2019030091A (ja) * | 2017-07-28 | 2019-02-21 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置、圧電駆動装置の駆動方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、及び、プロジェクター |
| JP2019027920A (ja) * | 2017-07-31 | 2019-02-21 | セイコーエプソン株式会社 | 力検出装置およびロボット |
| JP2019213255A (ja) * | 2018-05-31 | 2019-12-12 | セイコーエプソン株式会社 | 回転直動変換装置 |
| TWI678879B (zh) | 2018-11-27 | 2019-12-01 | 財團法人工業技術研究院 | 超音波線性致動裝置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5932952A (en) * | 1993-12-14 | 1999-08-03 | Nikon Corporation | Vibration motor having a two-phase drive of a longitudinal vibration and a bending vibration mode |
| CN1639955A (zh) * | 2002-03-11 | 2005-07-13 | 精爱普生株式会社 | 转动/移动转换致动器 |
| JP2012210049A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエーター、ロボット及びロボットハンド |
| CN103427705A (zh) * | 2013-08-14 | 2013-12-04 | 金陵科技学院 | 双模态并减摩驱动的单驱动足板形压电电机及其工作模式 |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2583904B2 (ja) * | 1987-09-29 | 1997-02-19 | 松下電器産業株式会社 | 超音波モータ駆動方法 |
| US5136200A (en) * | 1989-07-27 | 1992-08-04 | Olympus Optical Co., Ltd. | Ultransonic motor |
| IL106296A0 (en) | 1993-07-09 | 1993-12-28 | Nanomotion Ltd | Ceramic motor |
| US5616980A (en) | 1993-07-09 | 1997-04-01 | Nanomotion Ltd. | Ceramic motor |
| IL114656A0 (en) | 1995-07-18 | 1995-11-27 | Nanomotion Ltd | Ceramic motor |
| US5682076A (en) | 1993-08-03 | 1997-10-28 | Nanomotion Ltd. | Ceramic disc-drive actuator |
| JP2980541B2 (ja) | 1994-06-28 | 1999-11-22 | ナノモーション・リミテッド | マイクロモータ |
| EP0691692B1 (en) * | 1994-07-05 | 1999-02-17 | Nikon Corporation | Vibration driven motor |
| JP3830028B2 (ja) * | 2001-08-29 | 2006-10-04 | セイコーエプソン株式会社 | ワイヤーアクチュエータ |
| JP2003259670A (ja) | 2002-03-04 | 2003-09-12 | Seiko Epson Corp | 可撓体アクチュエータ |
| JP4218665B2 (ja) * | 2005-07-04 | 2009-02-04 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波モータ駆動回路および電子機器 |
| CN101313456B (zh) | 2006-01-12 | 2011-09-21 | 松下电器产业株式会社 | 超声波执行机构 |
| JP4294061B2 (ja) | 2007-04-23 | 2009-07-08 | セイコーインスツル株式会社 | 超音波モータ及び超音波モータ付電子機器 |
| JP5948879B2 (ja) | 2012-01-13 | 2016-07-06 | セイコーエプソン株式会社 | 駆動装置、圧電モーターの駆動方法、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、ロボットハンド、及びロボット |
| JP6044074B2 (ja) * | 2012-01-16 | 2016-12-14 | セイコーエプソン株式会社 | 駆動装置、圧電モーターの駆動方法、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、ロボットハンド、及びロボット |
| JP2014007917A (ja) * | 2012-06-27 | 2014-01-16 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエーターの駆動方法、圧電アクチュエーター、ロボットハンド、ロボット、搬送装置、電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
-
2014
- 2014-04-30 JP JP2014093407A patent/JP2015211604A/ja active Pending
-
2015
- 2015-04-20 CN CN201510185969.5A patent/CN105048861B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2015-04-24 US US14/695,555 patent/US10044295B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5932952A (en) * | 1993-12-14 | 1999-08-03 | Nikon Corporation | Vibration motor having a two-phase drive of a longitudinal vibration and a bending vibration mode |
| CN1639955A (zh) * | 2002-03-11 | 2005-07-13 | 精爱普生株式会社 | 转动/移动转换致动器 |
| JP2012210049A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエーター、ロボット及びロボットハンド |
| CN103427705A (zh) * | 2013-08-14 | 2013-12-04 | 金陵科技学院 | 双模态并减摩驱动的单驱动足板形压电电机及其工作模式 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108696174A (zh) * | 2017-03-31 | 2018-10-23 | 精工爱普生株式会社 | 驱动装置及方法、机器人、输送装置、打印机及投影仪 |
| CN110266211A (zh) * | 2018-03-12 | 2019-09-20 | 精工爱普生株式会社 | 压电驱动装置、机器人、电子部件输送装置、打印机 |
| CN110266211B (zh) * | 2018-03-12 | 2023-06-23 | 精工爱普生株式会社 | 压电驱动装置、机器人、电子部件输送装置、打印机 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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