CN104961360B - 制造方法及制造装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及制造方法及制造装置。本发明由更简易的结构实现从两面板的搬运到面板彼此的对位。具备分别检测各面板的位置的位置检测工序和沿规定的方向朝作业区域分别搬运各面板的搬运工序。在设定工序中，基于各面板的位置检测结果控制各面板的搬运量，以便粘合位置一致。

Description

制造方法及制造装置

技术领域

本发明涉及使面板彼此粘合来制造层叠体的技术。

背景技术

作为电视、个人电脑、移动终端等的显示器，已知粘接液晶显示面板等图像显示面板和罩面板而粘合了的显示器。作为进行这样的面板彼此的粘合的装置，提出有具备面板彼此的对位机构和由辊的推压使两面板贴紧的推压机构的装置(专利文献1)。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2009-040617号公报

发明内容

在专利文献1的装置中，另行需要向装置搬运面板的搬运系的机构。以系统整体来看，除了搬运系的机构外，还需要面板彼此的对位机构，有时系统的结构复杂化。

本发明的目的在于通过更简易的结构实现从两面板的搬运到面板彼此的对位。

根据本发明，提供一种制造方法，使第一面板和第二面板粘合来制造层叠体；其特征在于，具备位置检测工序、第一搬运工序和第二搬运工序；该位置检测工序分别检测到上述第一面板及上述第二面板的位置；该第一搬运工序朝使上述第一面板和上述第二面板重叠并粘合的作业区域地在第一方向搬运上述第一面板；该第二搬运工序朝上述作业区域地在第二方向搬运上述第二面板；在上述第一搬运工序中，基于由上述位置检测工序所获得的上述第一面板的位置检测结果和上述第二面板的位置检测结果对上述第一面板的上述第一方向的搬运量进行控制，以便上述第一面板与上述第二面板的粘合位置一致；在上述第二搬运工序中，基于上述第二面板的上述位置检测结果和上述第一面板的上述位置检测结果对上述第二面板的上述第二方向的搬运量进行控制，以便上述第一面板与上述第二面板的粘合位置一致。

另外，根据本发明，提供一种制造装置，使第一面板和第二面板粘合来制造层叠体；其特征在于，上述制造装置具备：检测上述第一面板的位置的第一位置检测单元、检测上述第二面板的位置的第二位置检测单元、控制上述第一面板及上述第二面板的搬运量的控制单元、朝使上述第一面板和上述第二面板重叠并粘合的作业区域地在第一方向搬运上述第一面板的第一搬运机构、朝上述作业区域地在第二方向搬运上述第二面板的第二搬运机构和控制上述第一搬运机构及上述第二搬运机构的控制单元；上述控制单元，基于由上述第一位置检测单元获得的上述第一面板的位置检测结果和由上述第二位置检测单元获得的上述第二面板的位置检测结果控制上述第一面板的上述第一方向的搬运量，以便上述第一面板与上述第二面板的粘合位置一致，并且，基于上述第二面板的上述位置检测结果和上述第一面板的上述位置检测结果对上述第二面板的上述第二方向的搬运量进行控制，以便上述第一面板与上述第二面板的粘合位置一致。

根据本发明，可通过更简易的结构实现从两面板的搬运到面板彼此的对位。

附图说明

图1是本发明的一实施方式的制造装置的俯视图。

图2是图1的制造装置的图1中的箭头D1方向向视图。

图3是图1的制造装置的图1中的箭头D2方向向视图。

图4(A)是图1的制造装置的图2中的箭头D3方向向视图，(B)是层叠体的说明图。

图5是控制单元的框图。

图6(A)～(C)是图1的制造装置的动作说明图。

图7(A)及(B)是图1的制造装置的动作说明图。

图8(A)及(B)是图1的制造装置的动作说明图。

图9(A)及(B)是图1的制造装置的动作说明图。

图10(A)～(D)是图1的制造装置的动作说明图。

图11(A)及(B)是图1的制造装置的动作说明图。

图12(A)～(C)是图1的制造装置的动作说明图。

图13(A)及(B)是图1的制造装置的动作说明图。

图14(A)及(B)是图1的制造装置的动作说明图。

图15是图1的制造装置的动作说明图。

图16(A)～(C)是图1的制造装置的动作说明图。

图17(A)及(B)是图1的制造装置的动作说明图。

图18是图1的制造装置的动作说明图。

图19(A)及(B)是面板的定位和搬运量的设定方法的说明图。

图20(A)及(B)是面板的定位和搬运量的设定方法的说明图。

图21(A)～(D)是另一例的粘合动作的说明图。

图22(A)～(E)是另一例的保持机构的说明图。

图23是另一例的制造装置的俯视图。

图24是另一例的制造装置的俯视图。

具体实施方式

下面，参照附图说明本发明的实施方式。在各图中，箭头X及Y表示相互正交的水平方向，箭头Z表示上下方向。

第1实施方式

装置的概要

图1是本发明一实施方式的制造装置A的俯视图，图2是制造装置A的图1中的箭头D1方向向视图，图3是制造装置A的图1中的箭头D2方向向视图，图4(A)是制造装置A的图2中的箭头D3方向向视图。图4(B)是成为制造对象的层叠体的分解立体图。

制造装置A是使2片面板粘合来制造层叠体的装置。在本实施方式的情况下，如图4(B)所示的那样，制造方形的面板P1与方形的面板P2的层叠体LB。面板P1是罩面板，面板P2是图像显示面板，其层叠体LB是构成图像显示装置的层叠体。作为图像显示面板的面板P2例如是液晶显示面板(例如LCD)，在其显示面侧(在图4(B)中是下表面)粘贴作为罩面板(例如防护玻璃罩)的面板P1。面板P1具备具有光透射性的面板主体MB。面板主体MB例如是玻璃板、树脂板。在粘贴了面板P2的、面板主体MB的表面(在图4(B)中是上表面)的周缘形成遮光层LS。

制造装置A在装置的布置上具备搬入区域R1、处理区域R2和搬出区域R3。在搬入区域R1中，从面板P1的供给源的装置移交面板P1，搬入面板P1。处理区域R2是使面板P1和与面板P1被分别地搬入的面板P2的面板彼此重叠并粘合的作业区域。在搬出区域R3中，将在处理区域R2中被粘合的2片面板P1及P2的层叠体LB移交给供给目的地的装置，层叠体LB被搬出。在这里，在被搬入到搬入区域R1中的面板P1的表面上预先设置用于粘合的粘接剂RG(后述)。作为用于粘合的粘接剂RG，例如可列举出未硬化状态或临时硬化状态的粘接层、粘接片、粘接膜等。

制造装置A具备保持单元2、搬运机构3、推压单元4、搬入台5、控制单元6、位置检测单元7及8、搬运机构12、升降单元13、调整单元14及15和调整单元53及54。首先，根据搬运机构12的结构开始说明。

搬运机构

搬运机构12是将被搬入到搬入区域R1的面板P1向处理区域R2在Y方向上进行搬运的单元，在本实施方式的情况下，具备多个空气浮起台121、多个滑动单元123和对每个滑动单元123设置的导轨122。

空气浮起台121具备形成了许多空气孔的水平的上表面。空气孔经由空气浮起台121内部的通路与未图示的空气装置连通。空气装置是以泵为代表的空气供给装置或空气吸引装置。通过从空气孔排出空气，能够以悬浮状态支承面板P1。另外，将空气浮起台121的一部分，通过从一部分空气孔排出空气，从其它的一部分空气孔吸引空气，做成伯努利吸盘，可稳定而且精密地以悬浮状态支承面板P1。

空气浮起台121沿作为面板P1的搬运方向的Y方向延伸设置。更详细地说，从搬入区域R1到搬出区域R3，除了槽部121b外，在整个区域延伸设置。因此，在制造装置A的整个区域，可通过非接触地对面板P1及层叠体LB进行支承。空气浮起台121设置2个，相互平行地延伸设置，而且在X方向上分离地配置。2个空气浮起台121的X方向的间隙形成多个滑动单元123的移动空间。在空气浮起台121的上表面形成槽121a。槽121a成为后述的升降单元13的销131的退避空间。

滑动单元123从搬入区域R1向处理区域R2搬运在空气浮起台121上以悬浮状态支承的面板P1，从处理区域R2向搬出区域R3搬运在空气浮起台121上以悬浮状态支承的层叠体LB。滑动单元123通过沿Y方向延伸设置的导轨122的引导，可由未图示的驱动机构在Y方向上往返移动。驱动机构例如可采用滚珠丝杠机构、皮带传动机构等。滑动单元123设置2个。通过对每个滑动单元123设置驱动机构，可独立地移动，可在1个面板的搬运途中开始接下来的面板的搬运，即，可在不同的时机搬运位于不同的区域的2片面板。

滑动单元123具备吸附部1231、抵接部1232、滑块1233和升降机构1234。吸附部1231具备形成吸附孔1231a的上表面。此上表面构成可吸附于面板P1的下表面的水平的吸附面。吸附孔1231a经由吸附部1231内部的通路与未图示的空气装置连通。空气装置是以泵为代表的空气吸引装置。通过从吸附孔1231a吸引空气，可对面板P1进行吸附保持。

抵接部1232可与面板P1的端缘抵接。在本实施方式的情况下，抵接部1232是经由支承轴旋转自如地设置于吸附部1231的上部的辊。抵接部1232主要在面板搬入时在对面板P1的姿势进行调整之际与面板P1的端缘(上游侧的端缘)抵接。吸附部1231的吸附面的Z方向的位置被设定在从抵接部1232的Z方向下端到上端的范围内。因此，吸附部1231的吸附面与抵接部1232的支承轴立设的部位相比位于更高的位置。

滑块1233与导轨122卡合，可由导轨122引导，在Y方向上移动。升降机构1234被搭载在滑块1233上。升降机构1234作为其驱动源包含例如气压缸、电动缸、电磁螺线管等执行机构。吸附部1231被搭载于升降机构1234，由升降机构1234进行升降。吸附部1231在吸附位置与退避位置之间升降，在吸附位置，吸附面处于空气浮起台121的上表面的上方的位置，在退避位置，吸附部1231整体处于空气浮起台121的上表面的下方的位置。吸附位置是使吸附部1231吸附于面板P1进行保持的位置，吸附部1231处于与空气浮起台121的上表面相比稍靠上方的位置。

升降单元及调整单元

在搬入区域R1中设置升降单元13和调整单元14及15。

升降单元13是在外部的装置与制造装置A之间进行面板P1的移交的单元。搬入区域R1中的升降单元13的数量是2。升降单元13也设置在搬出区域R3中，其数量是2。搬出区域R3的升降单元13在制造装置A与外部的装置之间进行层叠体LB的移交。

升降单元13具备多个销131、支承构件132、升降机构133。多个销131被支承在支承构件132上，向上方向延伸。各销131被插入到设置于空气浮起台121的槽121a的上下方向的贯通孔中。多个销131是相等长度，它们的前端(上端)的高度为齐平面。

支承构件132位于空气浮起台121的下方，销131的下端被固定。升降机构133例如作为其驱动源包含气压缸、电动缸、电磁螺线管等执行机构，使支承构件132升降。通过支承构件132的升降，销131也升降。销131在上升位置与下降位置之间升降，在上升位置，其前端与空气浮起台121的上表面相比向上方突出，在下降位置，销131的前端处于空气浮起台121的上表面的下方的位置。图2、图3及图4(A)表示销131处于下降位置的情况，销131的前端位于槽121a内。

调整单元14及15是在搬入区域R1中对面板P1的姿势进行调整来进行其定位的定位单元。调整单元14对X方向的面板P1的姿势进行调整，调整单元15对Y方向的面板P1的姿势进行调整。

调整单元14在搬入区域R1中设置多个，夹着2个空气浮起台121配置于X方向的两侧。调整单元14具备圆柱状的抵接部141和驱动部142。驱动部142例如作为其驱动源包含例如气压缸、电动缸、电磁螺线管等执行机构，使抵接部141在X方向上往返移动。通过驱动部142的驱动，抵接部141可从退避位置向定位位置移动，在退避位置，从空气浮起台121更进一步地离开，在定位位置，更进一步地接近空气浮起台121。在定位位置，抵接部141与面板的X方向的端缘抵接，可进行其姿势调整及定位。调整单元15也是与调整单元14同样的结构，但其抵接部与面板P1的Y方向的端缘(下游侧端缘)抵接，可进行其姿势调整及定位。

保持单元

接下来，说明保持单元2。保持单元2是配置于处理区域R2、对在一方的面涂布了光硬化性树脂的面板P1进行保持的单元。在面板P1被保持于保持单元2的状态下层叠面板P2。

保持单元2具备多个保持机构20a、20b、多个支承构件24及25和移动机构26。保持机构20a被设置2个，保持面板P1的搬运方向上游侧的端部。保持机构20b被设置2个，保持面板P1的搬运方向下游侧的端部。

保持机构20a在俯视时被配置在空气浮起台121、121的各槽121a上的位置。保持机构20b在俯视时从各空气浮起台121、121的X方向外侧(面对导轨122的那一侧的相反侧)到槽部121b进行配置。

另外，各保持机构20a、20b的Y方向的位置及保持机构20b、20b的分离距离与面板P1的尺寸对应地被调整。

保持机构20a、20b分别具备保持部21a、21b、支承部22a、22b和升降机构23a、23b。保持部21a、21b包含以与面板P1的周缘部下表面抵接的方式配置的爪状的部分。保持部21a在槽121a内进退自如，另外，保持部21b在槽部121b内进退自如。

支承部22a、22b是分别对保持部21a、21b进行支承的构件。升降机构23a、23b作为其驱动源包含例如气压缸、电动缸、电磁螺线管等执行机构，是使支承部22a、22b升降的机构。通过使支承部22a、22b升降，保持部21a、21b也升降。保持部21a、21b位于相同高度，它们的升降动作同步地进行。

2个支承构件24是对保持机构20a、20b进行支承的梁构件，在1个支承构件24上以悬挂的方式支承2个保持机构20a或2个保持机构20b。

支承构件24是相互在Y方向上分离地设置2个的梁构件。各支承构件24沿X方向延伸设置。在一方的支承构件24上以悬挂的方式支承2个保持机构20a(似应是“保持机构20b”)，而且由一对支承构件25支承。支承构件25是以水平姿势对支承构件24进行支承的柱构件。

剩下的一方的支承构件24对2个保持机构20a进行支承，由一对移动机构26可在Y方向上移动地支承。移动机构26作为驱动源包含例如气压缸、电动缸、电磁螺线管等执行机构。另外，也可使得可在Y方向上移动地构成2个支承构件24的双方。

推压单元

推压单元4是被配置于处理区域R2的、对在保持单元2的各保持部21a、21b上被水平保持并重叠的面板P1和面板P2施加其厚度方向(在这里是Z方向)的推压力的机构，被配置在处理区域R2中。另外，面板P1与面板P2可相互接触地重叠，也可稍分离地重叠。

推压单元4具备辊41、多个支承部42、多个升降机构43、多个滑块44和多个导轨45。支承部42、升降机构43、滑块44和导轨45被设置2组，升降机构43被搭载于滑块44，支承部42被搭载于升降机构43。

辊41以横跨2个空气浮起台121的方式沿X方向水平地延伸设置。辊41是其两端部被旋转自如地支承于支承部42、可自由旋转的自由辊。导轨45夹着2个空气浮起台121分别配置于两侧，沿Y方向水平地延伸设置。滑块44与导轨45卡合，可通过导轨45的引导在Y方向上移动。滑块44由未图示的驱动机构在Y方向上往返移动。通过使2个滑块44同步地移动，可在Y方向上平行移动辊41。

升降机构43作为其驱动源包含例如气压缸、电动缸、电磁螺线管等执行机构，使支承部42升降。通过使2个支承部42同步地升降移动，可在Z方向上平行移动(升降)辊41。

搬入台及调整单元

搬入台5是在外部的装置与制造装置A之间进行面板P2的移交的单元。搬入台5具备空气浮起台51和升降单元52。空气浮起台51是与空气浮起台121同样的结构，具备形成了许多空气孔的水平的上表面，通过从空气孔排出空气，可以悬浮状态对面板P2进行支承。根据面板P2的种类、大小，作为搬入台5，也可以不是空气浮起台，而是通常的接触式的放置台。

升降单元52是与升降单元13同样的结构，具备多个销521、支承构件522和升降机构523。多个销521被支承在支承构件522上向上方向延伸。各销521被插入到设置于空气浮起台51的槽51a的上下方向的贯通孔中。多个销521是相等长度，它们的前端(上端)的高度为齐平面。

支承构件522位于空气浮起台51的下方，销521的下端被固定。升降机构523作为其驱动源包含例如气压缸、电动缸、电磁螺线管等执行机构，使支承构件522进行升降。通过支承构件522的升降，销521也升降。销521在上升位置与下降位置之间升降，在上升位置，其前端与空气浮起台51的上表面相比向上方突出，在下降位置，销521的前端处于空气浮起台51的上表面的下方的位置。

在空气浮起台51的周围配设调整单元53及54。调整单元53及54是在空气浮起台51上对面板P2的姿势进行调整来进行其定位的单元。

调整单元53对Y方向的面板P2的姿势进行调整，调整单元54对X方向的面板P2的姿势进行调整。调整单元53及54是与调整单元14或15同样的结构，姿势调整及定位的原理也相同。面板P2的姿势调整的机构不限于调整单元53及54，例如可列举出作为姿势调整单元或定位调整单元被惯用地使用的所有装置、机构、单元。另外，面板P2的姿势调整及定位也可由作业人员使用导向夹具手动地进行。

搬运机构

搬运机构3是将被搬入到搬入台5的面板P2向处理区域R2在X方向上搬运的单元。搬运机构3向被保持于保持单元2的面板P1的上方搬运面板P2，使其下降而使两者重叠。搬运机构3具备吸附单元31、旋转单元32、可动单元33、导轨构件34和多个支柱35。

吸附单元31的下表面构成水平的吸附面。在此吸附面上形成空气孔，经由吸附单元31内部的通路与未图示的空气吸引装置连接。空气吸引装置例如是泵。通过从空气孔吸引空气，吸附单元31对面板P2的上表面负压吸引来进行吸附。吸附单元31被固定于旋转单元32的下端。

旋转单元32是由可动单元33升降的在Z方向延伸的升降轴，并且，具备使吸附单元31绕Z轴旋转的旋转机构32a。旋转机构32a例如是马达和减速器，在其输出轴上固定吸附单元31的中心部。通过使吸附单元31旋转，可使被吸附于吸附单元31的面板P2旋转，可对其姿势进行修正。即，旋转机构32a作为修正单元发挥作用。

可动单元33具备使旋转单元32升降的升降机构。升降机构例如可采用滚珠丝杠机构、皮带传动机构等。导轨构件34沿X方向水平地延伸设置，其两端部由支柱35支承。可动单元33由未图示的驱动机构通过导轨构件34的引导可在X方向上往返移动。驱动机构例如可采用滚珠丝杠机构、皮带传动机构等。通过可动单元33的X方向的移动和旋转单元32的升降，吸附单元31可在X-Z平面上移动。

位置检测单元

位置检测单元7设置在搬入区域R1中，是对由调整单元14及15进行了姿势调整及定位的面板P1的位置进行检测的单元。即使是由调整单元14及15进行了姿势调整及定位的面板P1，也因为其制造精度、面板个体差的原因，不是同一形状及准确的方形，另外，因为调整单元14及15的定位精度的影响，并不是完全处于相同的姿势及位置。这成为使面板P1与面板P2粘合时的位置偏移的主要原因。因此，由位置检测单元7对面板P1的更正确的姿势及/或位置进行检测。

在本实施方式的情况下，位置检测单元7对面板P1的图像进行摄影，检测其姿势及/或位置。作为位置检测单元7，如果是可检测面板P1的X方向及Y方向的位置的检测单元，则什么样的结构的检测单元都可以。作为优选的位置检测单元7，可以非接触的状态、高速/高精度地检测宽范围的姿势和/或位置的检测单元。

位置检测单元7具备照相机71、滑块72和导轨构件73。导轨构件73以横过2列的空气浮起台121上的方式沿X方向水平地延伸设置。滑块72与导轨构件73卡合，由未图示的驱动机构通过导轨构件73的引导可在X方向上往返移动。驱动机构例如可采用线性马达机构、滚珠丝杠机构、或皮带传动机构等。

照相机71被支承于滑块72，摄影范围被设定为向下。由此，可对空气浮起台121上的面板P1进行摄影。在本实施方式的情况下，照相机71虽然对面板P1的规定的部位进行摄影，检测其位置，但当然也可以构成为对面板P1整体进行摄影。

摄影并检测位置的部位在本实施方式的情况下是面板P1的外形的角部。因为面板P1是方形，所以，对4个角部的位置进行检测。另外，摄影并检测位置的部位不限于此。例如也可以如图4(B)所示的那样是遮光层LS的内缘角部。另外，也可事先在面板P1上附加对准标记，将此标记作为对象。

设置对滑块72的移动位置进行检测的传感器，或根据驱动机构的控制器的控制量，可从传感器的检测结果或基于控制器的控制量的滑块72的位置运算照相机71的图像中的物体的位置，作为结果，可运算面板P1的角部的位置。

其次，位置检测单元8是与搬入台5邻接地设置、对吸附于吸附单元31的面板P2的位置进行检测的单元。即使是由调整单元53及54进行了姿势调整及定位的面板P2，也因为其制造精度、面板个体差的原因，不是同一形状及准确的方形，另外，因为调整单元53及54的定位精度的影响，并不是完全处于相同的姿势及位置。这成为使面板P1与面板P2粘合时的位置偏移的主要原因。因此，由位置检测单元8对面板P2的更正确的姿势及/或位置进行检测。

在本实施方式的情况下，位置检测单元8对面板P2的图像进行摄影，检测其姿势及/或位置。作为位置检测单元8，也可以是与位置检测单元7同样的结构的检测单元。

位置检测单元8具备2个照相机81、对2个照相机81进行支承的支承构件82和移动机构83。支承构件82是沿Y方向延伸设置的构件，在其两端部配置照相机81。移动机构83例如是电动缸，在摄影位置与退避位置之间使支承构件82在X方向上进退，避免与吸附单元31干涉。

2个照相机81分离与面板P2的Y方向的宽度量大致相当的距离地被支承，摄影范围被设定为向上。由此，可从下方对吸附于吸附单元31的面板P2进行摄影。在本实施方式的情况下，照相机81虽然对面板P2的规定的部位进行摄影，检测其位置，但当然也可以对面板P2整体进行摄影的方式构成。另外，也可沿支承构件82的长度方向(Y方向)移动自如地设置至少照相机81的一方。由此，即使是摄影范围窄的照相机81，也可应对各种各样的尺寸的面板P2。

摄影并检测位置的部位在本实施方式的情况下是面板P2的外形的角部。通过由2个照相机81同时地对2个部位的角部进行摄影，使吸附单元31旋转，对剩下的2个部位的角部也可摄影。因为摄影位置是固定的位置，所以，可根据照相机81的图像运算面板P2的角部的位置。

因为面板P2是方形，所以，对4个角部的位置进行检测。另外，摄影并检测位置的部位不限于此。例如也可以是面板P2的回路配置区域(距外缘规定宽度的内侧的区域)的角部。另外，也可事先在面板P2附加对准标记，将此标记作为对象。

控制单元

图5是进行制造装置A的控制的控制单元6的框图。控制单元6包含CPU等处理部61、RAM、ROM等存储部62和连接外部器件与处理部61的接口部63。在接口部63中还包含进行与主计算机进行通信的通信接口。主计算机例如是对配置了制造装置A的制造设备整体进行控制的计算机。

处理部61执行被存储在存储部62中的程序，基于各种传感器65的检测结果、上位的计算机等的指示，控制各种执行机构64。在各种传感器65中，例如包含检测滑动单元123的位置的传感器、检测支承部42的位置的传感器、检测吸附单元31的位置、旋转角度的传感器、检测滑块72的位置的传感器、检测支承构件82的位置的传感器、照相机71及81所具备的摄像传感器等各种传感器。在各种执行机构64中，例如包含空气浮起台121、51用的空气装置、吸附部1231用的空气装置、吸附单元31用的空气装置、各种机构的驱动源等。

控制例

参照图6(A)～图16说明处理部61的控制例。在这里，说明面板P1、P1向制造装置A的搬入、相对于面板P1的搬运、面板P1与面板P2的粘合及层叠体LB的搬出的一连串的动作。

图6(A)表示由外部的装置即将把面板P1搬入到搬入区域R1之前的状态。设置在搬入区域R1中的2台升降单元13的各销131处于上升位置。吸附部1231在搬入区域R1的上游端的位置(称为初期位置)处于退避位置。调整单元14的抵接部141处于退避位置。虽然未图示，但调整单元15也相同。从空气浮起台121的空气孔排出空气。

图6(B)表示由外部的装置将面板P1搬入到搬入区域R1中的状态。面板P1以形成遮光层LS的表面作为上表面，以水平姿势载置在多个销131上。在面板P1的上表面事先涂布粘接剂RG(参照图9(A)、(B))。

其后，如图6(C)所示的那样设置于搬入区域R1的2台升降单元13使各销131下降到下降位置。由此，面板P1被从多个销131移载到空气浮起台121上。此时，面板P1并不与空气浮起台121的上表面贴紧，而是以从上表面稍微浮起的悬浮状态被支承。

接下来，进行面板P1的姿势调整及定位。如图7(A)所示的那样，各调整单元14被驱动，抵接部141移动到定位位置。定位位置的抵接部141之间的X方向的分离距离与面板P1的X方向的宽度大致相等。因此，在面板P1的姿势变乱了的情况下，抵接部141与面板P1的侧缘抵接，姿势及位置被调整。由此，面板P1的四边中的位于X方向两侧的一对边分别被往导轨122那一侧对中而定位，被与Y方向平行或大体平行地进行姿势调整。

并行地进行面板P1相对于滑动单元123的Y方向的姿势及位置的调整。通过驱动部152的驱动，调整单元15的抵接部151分别向姿势及位置调整位置移动。此时，两调整单元15各自的姿势及位置被进行调整，以便Y方向的位置成为相同位置，并且相对于X方向平行。在面板P1的移动中使用2个滑动单元123中的一方。如图7(B)所示的那样，吸附部1231由升降机构1234上升到吸附位置。

如图8(A)所示，使滑动单元123在Y方向上移动与面板P1的尺寸对应地设定的距离并停止。此时，吸附部1231的抵接部1232与面板P1的搬运方向上游侧端缘(搬运方向后端缘)抵接，朝搬运方向下游侧推压面板P1。其后，面板P1的搬运方向下游侧端缘与两抵接部151抵接，滑动单元123的移动被停止。滑动单元123的停止时的抵接部1232与抵接部151的Y方向的分离距离与面板P1的Y方向的宽度大致相等。由此，面板P1的搬运方向的两侧的端缘(搬运方向的前端缘及后端缘)中的至少搬运方向前端缘被定位于两抵接部151的位置，与X方向平行地被进行姿势调整。

通过以上的动作，完成面板P1的姿势调整及定位。在此阶段从吸附部1231的吸附孔1231a进行空气的吸引，使面板P1吸附保持于吸附部1231。如图8(B)所示的那样，将调整单元14及15的各抵接部141、151返回到退避位置。在将抵接部151返回到退避位置之前，通过使滑动单元123稍向上游侧返回，可防止抵接部151与面板P1的前端缘(搬运方向下游侧的端缘)摩擦。

接着，由位置检测单元7检测面板P1的位置。如图9(A)所示的那样，向X方向移动滑块72，在被推测为面板P1的角部的上方的2个部位的位置停止滑块72的移动，由照相机71进行摄影。由此，面板P1的前侧(在搬运方向上是下游侧)的2个部位的角部被摄影。

接着，如图9(B)所示的那样使滑动单元123移动面板P1的Y方向的宽度量，将面板P1送出Y方向的宽度量。使滑块72向与图9(A)的情况相反的方向移动，在被推测为面板P1的角部的上方的2个部位停止滑块72的移动，由照相机71进行摄影。由此，面板P1的后侧(在搬运方向上是上游侧)的2个部位的角部被摄影。这样一来，4个部位的角部被摄影。根据摄影图像检测4个部位的角部的位置。如后述的那样，根据此检测结果控制面板P1的Y方向的搬运量，以便面板P1与面板P2的粘合位置一致。

与对面板P1进行的上述处理并行，由外部的装置将面板P2搬入到搬入台5。升降单元52处在各销521处于上升位置的状态，空气从空气浮起台51的空气孔排出。于是，如在图10(A)中表示图1的箭头11A方向向视图的那样，面板P2被搬入到空气浮起台51上。以使与面板P1粘合的面朝下的水平姿势将面板P2载置在多个销521上。通过以此姿势搬入、搬运面板P2，面板P1以与面板P2粘合的面朝上的姿势搬入、搬运，不需要当使两者粘合时用于改变面板P1、面板P2的上下表面的姿势的“换手”。

如图10(B)所示的那样，由升降单元52使各销521下降到下降位置。由此，面板P2从多个销521移载到空气浮起台51上。此时，面板P2不与空气浮起台51的上表面贴紧，而是以从上表面稍微浮起的悬浮状态被支承。

接着，进行面板P2的姿势调整及定位。如图10(B)及图10(C)所示的那样，各调整单元53、54的驱动部532、542被驱动，抵接部531、541向定位位置移动。定位位置的抵接部531之间的Y方向的分离距离与面板P2的Y方向的宽度大致相等。另外，定位位置的抵接部541之间的X方向的分离距离与面板P2的X方向的宽度大致相等。因此，在面板P2的姿势变乱了的情况下，抵接部531、541与面板P2的侧缘抵接，姿势及位置被调整。面板P1向保持单元2移动。

通过以上的动作，完成面板P2的姿势调整及定位。其后，如图10(D)所示的那样，驱动部532、542将调整单元53、54的各抵接部531、541返回到退避位置，并且，升降单元52使各销521上升到上升位置，面板P2被抬起。

另外，也可在面板P2的姿势调整及定位的前后，使各销521下降到下降位置，在将面板P2载置于台521上的状态下，进行面板P2的检查等处理。

接着，如图11(A)所示的那样将吸附单元31移动到搬入台5上，使其下降到面板P2上，对面板P2进行吸附。面板P2的与粘合于面板P1的那一侧的面(在这里是下表面)相反侧的面(在这里是上表面)被吸附。如图11(B)所示的那样，使吸附单元31从搬入台5上升，由位置检测单元8检测面板P2的位置。如图11(B)所示的那样，由移动机构83将支承构件82移动到摄影位置，2个照相机81如图12(A)所示的那样处于面板P2的2个角部的大致正下方。通过由2个照相机81进行摄影，面板P2的X方向的一方侧(在图12(A)中是上侧)的2个部位的角部被摄影。

接着，向面板P2的X方向的另一方侧的2个部位的角部的摄影转移。驱动旋转机构32a，如图12(B)及图12(C)所示的那样使吸附单元31旋转180度。旋转完成后，通过由2个照相机81进行摄影，面板P2的相反侧(在图12(C)中位于上侧，在图12(A)中位于下侧)的剩下的2个部位的角部被摄影。这样，4个部位的角部被摄影。从摄影图像检测4个部位的角部的位置。如后述的那样，根据此检测结果对面板P2的X方向的搬运量进行控制，以便面板P1与面板P2的粘合位置一致。

与面板P2的搬入并行，将面板P1搬运到处理区域R2，由保持单元2保持。如图13(A)所示的那样，保持机构20b的保持部21b处于槽部121b内的空气浮起台121的上表面的下侧的待机位置，面板P1被搬运到其上。保持机构20a的保持部21a在比面板P1高的位置而且与面板P1相比在搬运方向的上游侧待机。

如图13(B)所示的那样，使保持机构20a的保持部21a下降到槽121a内。接着，对移动机构26(参照图1)进行驱动，移动对保持机构20a进行支承的支承构件24，如图14(A)所示的那样，使保持部21a进入到面板P1的下侧。

当面板P1移动到各保持部21a、21b上的位置时，在滑动单元123的吸附部1231的面板P1的吸附被解除，如图14(A)所示的那样，滑动单元123稍向上游侧的位置退避。

如图14(B)所示的那样，各升降机构23a、23b同步地被驱动，使各保持部21a、21b同步地上升。由此，面板P1被移载到保持部21a、21b。各保持部21a、21b从下对面板P1进行支承，上升到比辊41高的保持位置。

接着，由搬运机构3将面板P2搬运到保持于保持单元2的面板P1的上方，使两者重叠。如在图15中用双点划线及箭头A131、A132所示的那样，使吸附单元31水平移动，移动到面板P1上，使吸附单元31下降，将面板P2重叠在面板P1上。此时，面板P1和面板P2处于稍接触或稍分离的状态，面板P2保持这样的状态地被支承在吸附单元31上。

接着，在使面板P1与面板P2重叠后的面板上施加厚度方向的推压力。另外，如图16(A)所示的那样，使辊41向面板P1的下方移动。辊41避开保持部21b的正下方，避免以后与保持部21b干涉，而且，移动到与面板P1的搬运方向前端缘相比稍靠搬运方向上游侧的位置。

接着，如图16(B)所示的那样，由升降机构43使辊41上升，与面板P1的下表面抵接并被向上方(面板P2那一侧)推压。推压的反力经吸附单元31由搬运机构3承受。面板P1、P2成为由辊41和吸附单元31夹持的状态。在此状态下，如图16(C)所示的那样，使辊41在Y方向上移动，在与保持部21a不干涉的范围移动到与面板P1的搬运方向后端缘相比稍靠搬运方向下游侧的位置。由于辊41是自由辊，所以，一面滚动一面从搬运方向下游侧到上游侧推压面板P1的下表面。由此，在整个面的范围内，面板P1与面板P2被压接而粘合，获得层叠体LB。在此状态下，层叠体LB被实际上支承于吸附单元31。

接着，使层叠体LB从吸附单元31向滑动单元123移载。首先，如图17(A)所示的那样由升降机构43使辊41下降。如图17(B)所示的那样，使辊41在Y方向上向原来的位置移动。另外，使滑动单元123向层叠体LB的下方移动。此后，使保持单元2的各保持部21a、21b下降到待机位置，使吸附单元31下降，使层叠体LB处在空气浮起台121上。通过重新进行在滑动单元123的吸附部1231上的吸附，解除吸附单元31的吸附，层叠体LB被从吸附单元31移载到滑动单元123上。

接着，转移到将层叠体LB搬出的工序。如图18所示的那样，使滑动单元123移动，将层叠体LB移动到搬出区域R3的升降单元13上。吸附单元31为了进行接下来的处理，上升后向X方向移动。当层叠体LB到达搬出区域R3的升降单元13上时，使各销131上升，在与层叠体LB的下表面抵接后，解除由滑动单元123的吸附部1231对层叠体LB的吸附。由此，层叠体LB从空气浮起台121移载到销131上，成为可向供给目的地的装置移交的状态。

这样，在本实施方式的制造装置A中，可连续地以良好精度进行从两面板(面板P1和面板P2)的搬运到两面板彼此的重叠，可提高层叠体LB的制造效率。

接下来，参照图19(A)～图20(B)，说明面板P1、面板P2的搬运量的控制。面板P1和面板P2最好相互位置不偏移地以规定的位置关系粘合。因此，基于由位置检测单元7获得的面板P1的位置检测结果和由位置检测单元8获得的面板P2的位置检测结果对面板P1、P2的各搬运量进行控制，以便面板P1、面板P2处于使面板P1、面板P2粘合的位置。在这里，对各搬运量进行控制，以便面板P1、面板P2的X-Y平面上的各中心位置一致。作为中心位置，可列举出面板的对角线彼此的交点、将面板的一方的相向的边的中点彼此连结的线与将另一方的相向的边的中点彼此连结的线的交点等。

图19(A)是搬运量控制的说明图。假设处理区域R2中的层叠体LB的中心位置为坐标RP(X，Y)。坐标RP1(X，Y1)是由调整单元14及15进行了姿势调整及定位的面板P1的中心点的理想的坐标。在面板P1的中心点处于坐标RP1的情况下，当在Y方向上将面板P1搬运基准距离LY(＝Y-Y1)的量时，面板P1在处理区域R2中其中心位于坐标RP。

同样，坐标RP2(X1，Y)是由调整单元53及54进行了姿势调整及定位的面板P2的中心点的理想的坐标。在面板P2的中心点处于坐标RP2的情况下，当在X方向上将面板P1搬运基准距离LX(＝X-X1)的量时，面板P2在处理区域R2中其中心位于坐标RP。

于是，在面板P1、P2的实际的中心点从坐标RP1、RP2偏移的情况下，面板P1的Y方向的搬运量只要加减Y方向的偏移量即可，另外，面板P2的X方向的搬运量只要加减X方向的偏移量即可。

为了进行这样的搬运量的控制，需要X方向、Y方向的坐标设定。图19(B)表示其一例。在这里，使用与面板P1相当的夹具G1和与面板P2相当的夹具G2。夹具G1和夹具G2在相互的粘合位置怡好一致的状态下被配置在处理区域R2中，将此设为原位置。

然后，由搬运机构3将夹具G2反搬运例如基准距离LX的量，由位置检测单元8检测其位置。同样，由搬运机构12将夹具G1反搬运例如距离LY的量，由位置检测单元7检测其位置。根据位置检测单元7及8的位置检测结果，可进行X方向、Y方向的坐标设定。

作为用于控制的信息，例如将原位置的夹具G1和夹具G2的中心坐标设为原点。然后，从由位置检测单元7获得的反搬运后的夹具G1的4个角部的坐标运算夹具G1的中心点的坐标，设为面板P1的基准中心点。另外，从由位置检测单元8获得的反搬运后的夹具G2的4个角部的坐标运算夹具G2的中心点的坐标，设为面板P2的基准中心点。

或者，也可将由位置检测单元7获得的反搬运后的夹具G1的4个角部的坐标分别设为角部的基准坐标，将由位置检测单元8获得的反搬运后的夹具G2的4个角部的坐标分别设为角部的基准坐标。

图20(A)表示搬运量控制的一例。根据位置检测单元7及8的位置检测结果，算出面板P1的中心点的坐标为PC1(x1，y1)，面板P2的中心点的坐标为PC2(x2，y2)。在处理区域R2中，如果以面板P1、P2的搬运后的中心点成为坐标RC(x1，y2)的方式进行搬运，则可使面板P1、P2相互没有位置偏移地粘合。

因此，可将面板P1的搬运量Ly设定为Ly＝y2-y1，或Ly＝LY+(Y1-y1)-(Y-y2)。另外，可将面板P2的搬运量Lx设定为Lx＝x2-x1，或Lx＝LX+(X-x1)-(X1-x2)。

面板P1的位置检测时机和面板P2的位置检测时机未必一致。在面板P1的位置检测时机比面板P2的位置检测时机早的情况下，也可将面板P1的搬运量设定为基准距离LY，在面板P2的位置检测完成后对搬运量进行增减。另外，如果在面板P2的位置检测前面板P1已经完成基准距离LY的搬运，则也可使面板P1停止，在面板P2的位置检测完成后，向上游侧或下游侧再将面板P1搬运必要量。

也可设想面板P1或面板P2的任意一方的姿势不适当的情况。例如，也可如图20(B)所示的那样设想面板P2如用双点划线图示的那样是相对于X方向大致平行的姿势(假设倾斜微小角度θ2(图示省略≠0度)的量)、面板P1相对于X方向倾斜角度θ的情况。或者，也有时面板P1的外形不是严格的方形，而是成为平行四边形状、梯形。在此情况下，也可仅使至少面板P1及面板P2的各对应的一边(例如面板P1的搬运方向下游侧的边SD1及面板P2的与面板P1的边SD1重叠的对应的边SD2)彼此一致。

首先，面板P1、P2的姿势或各边的朝向可根据由位置检测单元7、8获得的角部的检测结果检测。并且，在本实施方式的情况下，通过由旋转单元32使吸附单元31旋转，可修正面板P2的姿势。

因此，例如图20(B)所示的那样为了相对于倾斜了角度θ的量的面板P1，在粘合位置使面板P2重叠而使面板P2旋转所需要的修正角度θ′(＝θ-θ2)的量，从而，也可使面板P1、P2的姿势或朝向一致。此时，面板P2的中心点的坐标PC2(x2，y2)被置换成使面板P2旋转角度θ′的量后的中心点的坐标PC2′(x2′，y2′)后，分别设定面板P1的搬运量Ly、面板P2的搬运量Lx。坐标PC2′可从坐标PC2、旋转角和旋转单元32的旋转中心的坐标(在设计上是已知的坐标)运算。

另外，虽然在本实施方式中使得面板P2可旋转，但也可使面板P1可旋转地构成。或者，也可使面板P1、面板P2双方可旋转。

如以上的那样，在本实施方式中，通过面板P1的Y方向的搬运量和面板P2的X方向的搬运量的控制，可使面板P1与面板P2的相互的粘合位置一致，不需要用于使粘合位置一致的专用的装置。因此，可由更简易的结构实现从面板的搬运到面板之间的对位。

另外，在本实施方式中，虽然以面板P1及面板P2的角部、中心点为基准，但基准的采用方法不限于此，也可为一部分的边，也可将对准标记等作为基准。

另外，在本实施方式中，作为面板P1和面板P2虽然例示了罩面板及图像显示面板，但本发明也可应用在这以外的面板中。面板P1和面板P2的形状也不限于方形，可应对各种的形状。作为树脂RG的台阶的原因虽然例示了由遮光层LS的存在所导致的台阶，但本发明也可应用到以除此以外的台阶为主要原因的树脂RG的台阶的抑制。

在本实施方式中，作为面板P1的搬运机构12，虽然做成了组合空气浮起台121和滑动单元123的结构，但不限于此，也可采用皮带输送机、辊式输送机等各种移动机构。

在本实施方式中，做成了搬运机构3由吸附单元31对面板P2进行吸附保持的结构，但不限于此，也可采用夹子机构等机械式保持机构等其它保持机构。

在本实施方式中，当进行层叠体LB的推压时，虽然采用了辊41，但也可采用除此以外的推压机构。另外，当进行层叠体LB的推压时，虽然做成了在Y方向上使辊41移动的结构，但也可做成在Y方向上移动层叠体LB的结构。并且，虽然做成使辊41与面板P1下表面抵接的结构，但也可做成与此相反地从下侧支承层叠体LB、从面板P2的上表面侧向面板P1那一侧推压的结构。

在本实施方式中，作为由保持单元2所形成的面板P1的保持机构，虽然采用了将面板P1载置在保持部21a、21b上的结构，但吸附保持、夹子机构等机械式保持机构等其它的保持机构也可采用。

第2实施方式

当由辊41向面板P2那一侧推压面板P1时，最好以极力地避免气泡混入的方式对面板P1进行推压。因此，也可倾斜地保持面板P1，随着辊41的移动而成为水平姿势。图21(A)～(D)表示其一例。

首先，如图21(A)所示的那样，以在搬运方向上处于上游侧的端部E2与在搬运方向上处于下游侧的端部E1相比从面板P2离开的方式倾斜地保持面板P1。换言之，以靠近由辊41所进行的推压的开始位置的一方的端部E1与面板P2接近、靠近推压结束位置的一方的端部E2从面板P2离开的方式保持面板P1。在该图的例中，通过改变保持部21a、21b的高度，在端部E1、E2之间产生高低差h。

接下来，如图21(B)所示的那样，开始由辊41进行的推压。与辊41的移动一致地，使端部E2那一侧的保持部21a上升(图21(C))，当辊41到达了推压结束位置时，如图21(D)所示的那样，面板P1成为水平姿势。面板P1与面板P2之间的空气通过辊41的推压和移动，容易被从端部E2那一侧挤出而排走，可减少气泡的混入。

当通过图21(A)～(D)的方法防止气泡的混入时，根据面板P1的强度、柔软性，在辊41刚开始推压后，面板P1的端部E2那一侧可能与面板P2接触而紧贴在一起。在此情况下，空气变得难以被挤出。因此，对面板P1中的由辊41进行推压之前的部分与面板P2的接触进行限制。图22(A)～(E)是表示其一例的图。

在该图的例中，采用替代保持机构20a、20b的保持机构200a、200b，在保持机构200a、200b中设置进行上述的限制的结构。

参照图22(A)，保持机构200a具备保持部201a、限制部202a、支承部203a和升降机构204a。虽然未图示，升降机构204a例如通过与上述的支承构件24及移动机构26同样的结构可向Y方向移动，因此，保持部201a和限制部202a可在Y方向上移动。

保持机构200b具备保持部201b、限制部202b、支承部203b和升降机构204b。虽然未图示，升降机构204b也例如通过与上述支承构件24及移动机构26同样的结构可在Y方向上移动，因此，保持部201b和限制部202b可在Y方向上移动。

保持部201a、201b是以与面板P1的周缘部下表面抵接的方式配置的爪状构件。限制部202a、202b从保持部201在Z方向上分离地配置，是对保持部201a、201b上的面板P1向上方的移动进行限制的爪状的构件。支承部203a、203b是对保持部201a、201b和限制部202a、202b进行支承的构件。升降机构204a、204b具备使支承部203a、203b进行升降的机构。

如图22(A)所示的那样，保持部201a、201b在面板P1的保持前退避到比面板P1高的位置。在对面板P1进行保持的情况下，如图22(B)所示的那样，由升降机构204a、204b使保持部201a、201b及限制部202a、202b下降，而且，使升降机构204a、204b在Y方向上移动，以便将面板P1插入到保持部201a、201b与限制部202a、202b之间。

接着，由升降机构204a、204b使保持部201a、201b及限制部202a、202b上升，由保持部201a、201b保持面板P1。此时，如图22(C)所示的那样，通过使端部E1那一侧上升到比端部E2那一侧高的位置，面板P1的姿势成为与上述图21(A)同样的姿势。

接着，如图22(D)所示的那样，开始由辊41进行推压。通过由辊41推压端部E1那一侧，虽然存在端部E2那一侧也与面板P2接触的可能性，但限制部202与端部E2抵接，对端部E2与面板P2的接近进行限制。其后，与图21(A)～(D)的例同样地与辊41的移动一致地，使端部E2那一侧的保持部201a、201b上升(图22(E))，当辊41到达推压结束位置时，面板P1成为水平姿势。

这样，可防止面板P1中的由辊41推压之前的部分粘在面板P2上。其结果，面板P1与面板P2之间的空气变得容易通过辊41的推压和移动从端部E2那一侧挤出而排走，可更确实地减少气泡的混入。

另外，在本实施方式中，虽然在端部E1那一侧的保持机构200中也设置限制部202，但也可将其省略。

第3实施方式

也可设置在面板P1上涂布粘接剂RG的涂布单元或促进其硬化的装置的至少任意一个。图23表示其一例。

该图的制造装置B设置有涂布单元1和硬化促进装置UV1。在涂布单元1的上游侧设置升降单元13和调整单元14及15，在下游侧设置调整单元14及15和位置检测单元7。在本实施方式的情况下，在涂布粘接剂RG之前，由其上游侧的调整单元14及15进行面板P1的定位，涂布后，也由其下游侧的调整单元14及15进行面板P1的定位。然后，由位置检测单元7进行面板P1的位置检测，对面板P1的搬运量进行控制，以便与面板P2的粘合位置一致。

涂布单元1是在面板P1的表面作为粘接剂RG涂布液状的光硬化性树脂的单元，具备涂布头10和移动机构11。

涂布头10配置在空气浮起台121的上方，具备与空气浮起台121的上表面相向地配置的管嘴101。管嘴101可排出液状的、具有光透射性的光硬化性树脂。

管嘴101是沿X方向延伸的狭缝状的管嘴，光硬化性树脂被以向X方向扩展的幕状朝下方连续地排出。通过由搬运机构12搬运面板P1，并且排出光硬化性树脂，可在面板P1的表面形成光硬化性树脂的液膜。

移动机构11分别设置在涂布头10的X方向的两端部，以水平姿势支承涂布头10。各移动机构11具备未图示的驱动机构，相互同步地被控制，在Z方向上移动涂布头10。换言之，移动机构11在将涂布头10保持成水平姿势的状态下升降。涂布头10不能向Y方向及X方向移动。驱动机构例如可采用滚珠丝杠机构、皮带传动机构等。

硬化促进装置UV1与保持单元2相比被配置在Y方向的下游侧，在形成层叠体LB后，促进光硬化性树脂的硬化。硬化促进装置UV1沿X方向延伸设置，其两端部由支柱CL支承，被水平地配置于空气浮起台121的上表面的上方的位置。

硬化促进装置UV1具备沿X方向延伸设置的光源LTS。光源LTS照射紫外线。当层叠体LB在硬化促进装置UV1的下方移动时，通过实施由光源LTS向层叠体LB照射紫外线的工序，促进光硬化性树脂的硬化，可使面板P1与面板P2的粘接为牢固的粘接。

第4实施方式

也可设置促进面板P1的光硬化性树脂的硬化的结构。图24是本实施方式的制造装置C的俯视图。制造装置C是在制造装置B中追加了硬化促进装置UV2和光闸装置9的装置，其它结构与制造装置B相同。另外，在制造装置C中，也可采用没有设置硬化促进装置UV1的结构。

硬化促进装置UV2与涂布头10相比被配置于Y方向的下游侧，与位置检测单元7、保持单元2等相比被配置于上游侧。即，与面板P1与面板P2的粘合位置相比位于上游侧。

硬化促进装置UV2的结构与硬化促进装置UV1相同。即，硬化促进装置UV2沿X方向延伸设置，其两端部由支柱CL支承，被水平地配置于空气浮起台121的上表面的上方的位置。硬化促进装置UV2具备沿X方向延伸设置的光源LTS。光源LTS照射紫外线。当面板P1在硬化促进装置UV2的下方移动时，通过实施由光源LTS向面板P1照射紫外线的工序，可使光硬化性树脂半硬化。由此，当粘合面板P1和面板P2时，可防止气泡的混入，防止两者的位置偏移，使层叠体LB的处理容易化。

光闸装置9被配置在涂布头10与硬化促进装置UV2之间。光闸装置9沿X方向延伸设置，其两端部由支柱92支承，被水平地配置于空气浮起台121的上表面的上方的位置。光闸装置9具备可对涂布头10与硬化促进装置UV2间进行遮光的可动的光闸91。

当面板P1通过光闸装置9的下方时，光闸装置9使光闸91下降，对涂布头10与硬化促进装置UV2之间进行遮光。其后，硬化促进装置UV2被驱动，照射紫外线。因为光闸91的存在，涂布头10被从紫外线遮光，可对附着于管嘴101的光硬化性树脂的固化进行抑制。当面板P1通过硬化促进装置UV2，光源LTS的驱动被停止时，光闸91上升。

符号说明：

P1、P2面板，LB层叠体，3搬运机构，6控制单元，7、8位置检测单元，12搬运机构。

Claims (20)

1.一种制造方法，使第一面板和第二面板粘合来制造层叠体；其特征在于，

具备位置检测工序、第一搬运工序、第二搬运工序和修正工序；

该位置检测工序分别检测上述第一面板及上述第二面板的位置；

该第一搬运工序朝使上述第一面板和上述第二面板重叠并粘合的作业区域地在第一方向搬运上述第一面板；

该第二搬运工序朝上述作业区域地在第二方向搬运上述第二面板；

该修正工序对上述第一面板或上述第二面板的至少任意一方的姿势进行修正；

在上述第一搬运工序中，基于由上述位置检测工序所获得的上述第一面板的位置检测结果和上述第二面板的位置检测结果对上述第一面板的上述第一方向的搬运量进行控制，以便上述第一面板与上述第二面板的粘合位置一致；

在上述第二搬运工序中，基于上述第二面板的上述位置检测结果和上述第一面板的上述位置检测结果对上述第二面板的上述第二方向的搬运量进行控制，以便上述第一面板与上述第二面板的粘合位置一致；

在上述修正工序中，为了基于上述第一面板及上述第二面板的上述位置检测结果修正姿势，使面板绕与上述第一方向及上述第二方向双方正交的第三方向的轴旋转。

2.一种制造方法，使第一面板和第二面板粘合来制造层叠体；其特征在于，

具备位置检测工序、第一搬运工序和第二搬运工序；

该位置检测工序分别检测上述第一面板及上述第二面板的位置；

该第一搬运工序朝使上述第一面板和上述第二面板重叠并粘合的作业区域地在第一方向搬运上述第一面板；

该第二搬运工序朝上述作业区域地在与上述第一方向正交的第二方向搬运上述第二面板；

上述位置检测工序分别检测上述第一面板的规定部位的位置及上述第二面板的规定部位的位置；

上述制造方法包含：

基于上述第一面板的规定部位的位置检测结果算出上述第一面板的中心点的工序；和

基于上述第二面板的规定部位的位置检测结果算出上述第二面板的中心点的工序；

在上述第一搬运工序中，基于上述第一面板的上述中心点和上述第二面板的上述中心点，对上述第一面板的上述第一方向的搬运量进行控制，以便上述第一面板与上述第二面板的粘合位置一致；

在上述第二搬运工序中，基于上述第二面板的上述中心点和上述第一面板的上述中心点，对上述第二面板的上述第二方向的搬运量进行控制，以便上述第一面板与上述第二面板的粘合位置一致。

3.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，

在上述修正工序中，修正上述第二面板的姿势；

在上述第一搬运工序中，朝上述作业区域地在上述第一方向搬运由上述位置检测工序检测到了位置的上述第一面板；

在上述第二搬运工序中，朝上述作业区域地在上述第二方向搬运由上述位置检测工序检测到了位置并且由上述修正工序修正了姿势的上述第二面板。

4.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，

在上述修正工序中，修正上述第一面板的姿势；

在上述第一搬运工序中，朝上述作业区域地在上述第一方向搬运由上述位置检测工序检测到了位置并且由上述修正工序修正了姿势的上述第一面板；

在上述第二搬运工序中，朝上述作业区域地在上述第二方向搬运由上述位置检测工序检测到了位置的上述第二面板。

5.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，

具备用于算出通过上述修正工序旋转的上述面板的旋转后的位置的算出工序；

在上述第一搬运工序中，基于上述第一面板的上述位置检测结果、上述第二面板的上述位置检测结果和由上述算出工序算出的上述面板的位置，控制上述第一面板的上述第一方向的搬运量；

在上述第二搬运工序中，基于上述第一面板的上述位置检测结果、上述第二面板的上述位置检测结果和由上述算出工序算出的上述面板的位置，控制上述第二面板的上述第二方向的搬运量。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的制造方法，其特征在于，

还具备至少在上述第二方向上定位上述第一面板的第一定位工序和

至少在上述第一方向上定位上述第二面板的第二定位工序；

在上述第一搬运工序中，朝上述作业区域搬运由上述第一定位工序定位了的上述第一面板；

在上述第二搬运工序中，朝上述作业区域搬运由上述第二定位工序定位了的上述第二面板；

在上述位置检测工序中，分别检测由上述第一定位工序进行定位后的上述第一面板的位置及由上述第二定位工序进行定位后的上述第二面板的位置。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的制造方法，其特征在于，

还具备在上述作业区域中对上述第一面板和上述第二面板的层叠体施加厚度方向的推压力的推压工序。

8.根据权利要求7所述的制造方法，其特征在于，

在上述推压工序中，

通过将辊与上述第一面板或上述第二面板的一方抵接，并使上述层叠体或上述辊的一方移动，在厚度方向上推压上述层叠体。

9.根据权利要求7所述的制造方法，其特征在于，

在上述第二搬运工序中，吸附上述第二面板的与粘合于上述第一面板的一侧的面相反侧的面，搬运上述第二面板。

10.根据权利要求9所述的制造方法，其特征在于，

还具备在上述作业区域中保持被搬运到了上述作业区域的上述第一面板使其上升的保持工序；

在上述第二搬运工序中，将上述第二面板搬运到由上述保持工序保持的上述第一面板上；

在上述推压工序中，将由上述保持工序保持的上述第一面板向上述第二面板推压。

11.根据权利要求10所述的制造方法，其特征在于，

在上述推压工序中，

从上述第一面板的一方端部侧通过辊将由上述保持工序保持的上述第一面板向上述第二面板推压，并且使上述辊向上述第一面板的另一方端部侧移动；

在上述保持工序中，

以与上述一方端部侧相比上述第一面板的上述另一方端部侧从上述第二面板离开的方式进行保持，以随着上述辊接近上述第一面板的上述另一方端部侧，上述第一面板的上述另一方端部侧接近上述第二面板的方式，使上述另一方端部侧上升。

12.根据权利要求11所述的制造方法，其特征在于，

包含对上述第一面板中的由上述辊所进行的推压前的部分与上述第二面板接触进行限制的限制工序。

13.一种制造装置，使第一面板和第二面板粘合来制造层叠体；其特征在于，

上述制造装置具备：

检测上述第一面板的位置的第一位置检测单元、

检测上述第二面板的位置的第二位置检测单元、

控制上述第一面板及上述第二面板的搬运量的控制单元、

朝使上述第一面板和上述第二面板重叠并粘合的作业区域地在第一方向搬运上述第一面板的第一搬运机构、

朝上述作业区域地在第二方向搬运上述第二面板的第二搬运机构、

为了控制上述第一面板及上述第二面板的搬运量而控制上述第一搬运机构及上述第二搬运机构的控制单元、和

对上述第一面板或上述第二面板的至少任意一方的姿势进行修正的修正单元；

上述控制单元，

基于由上述第一位置检测单元获得的上述第一面板的位置检测结果和由上述第二位置检测单元获得的上述第二面板的位置检测结果控制上述第一面板的上述第一方向的搬运量，以便上述第一面板与上述第二面板的粘合位置一致，并且，

基于上述第二面板的上述位置检测结果和上述第一面板的上述位置检测结果对上述第二面板的上述第二方向的搬运量进行控制，以便上述第一面板与上述第二面板的粘合位置一致，

上述修正单元为了基于上述第一面板及上述第二面板的上述位置检测结果修正姿势，使面板绕与上述第一方向及上述第二方向双方正交的第三方向的轴旋转。

14.一种制造装置，使第一面板和第二面板粘合来制造层叠体；其特征在于，

上述制造装置具备：

检测上述第一面板的位置的第一位置检测单元、

检测上述第二面板的位置的第二位置检测单元、

控制上述第一面板及上述第二面板的搬运量的控制单元、

朝使上述第一面板和上述第二面板重叠并粘合的作业区域地在第一方向搬运上述第一面板的第一搬运机构、

朝上述作业区域地在第二方向搬运上述第二面板的第二搬运机构、和

为了控制上述第一面板及上述第二面板的搬运量而控制上述第一搬运机构及上述第二搬运机构的控制单元；

上述第一位置检测单元对上述第一面板的4个部位的角部进行摄影，

上述第二位置检测单元对上述第二面板的4个部位的角部进行摄影，

上述控制单元，

基于上述第一面板的上述4个部位的角部的摄影结果，算出上述第一面板的中心点，

基于上述第二面板的上述4个部位的角部的摄影结果，算出上述第二面板的中心点，

基于上述第一面板的上述中心点和上述第二面板的上述中心点对上述第一面板的上述第一方向的搬运量进行控制，以便上述第一面板与上述第二面板的粘合位置一致，并且，

基于上述第二面板的上述中心点和上述第一面板的上述中心点对上述第二面板的上述第二方向的搬运量进行控制，以便上述第一面板与上述第二面板的粘合位置一致。

15.根据权利要求13或14所述的制造装置，其特征在于，

还具备在上述作业区域中对上述第一面板和上述第二面板的层叠体施加厚度方向的推压力的推压单元。

16.根据权利要求15所述的制造装置，其特征在于，

上述推压单元具备与上述第一面板或上述第二面板的一方抵接的辊，通过使上述层叠体或上述辊的一方移动，在厚度方向上推压上述层叠体。

17.根据权利要求16所述的制造装置，其特征在于，

上述第二搬运机构吸附上述第二面板的与粘合于上述第一面板的一侧的面相反侧的面，搬运上述第二面板。

18.根据权利要求17所述的制造装置，其特征在于，

还具备在上述作业区域中保持被搬运到了上述作业区域的上述第一面板使其上升的保持单元；

上述第二搬运机构将上述第二面板搬运到由上述保持单元保持的上述第一面板上；

上述推压单元将由上述保持单元保持的上述第一面板向上述第二面板推压。

19.根据权利要求18所述的制造装置，其特征在于，

上述推压单元从上述第一面板的一方端部侧通过辊将由上述保持单元保持的上述第一面板向上述第二面板推压，并且使上述辊向上述第一面板的另一方端部侧移动；

上述保持单元，

以与上述一方端部侧相比上述第一面板的上述另一方端部侧从上述第二面板离开的方式进行保持，以随着上述辊接近上述第一面板的上述另一方端部侧，上述第一面板的上述另一方端部侧接近上述第二面板的方式，使上述另一方端部侧上升。

20.根据权利要求19所述的制造装置，其特征在于，

上述保持单元包含对上述第一面板中的由上述辊所进行的推压前的部分与上述第二面板接触进行限制的限制部。