CN103534798B - 空中搬运车 - Google Patents

Abstract

空中搬运车（1）具备：主体部（4），其收纳被搬运物（30）并沿着行驶轨道（3）行驶；升降机构（6），其具有保持被搬运物（30）的保持部（8）和相对于收纳被搬运物（30）的规定位置P使保持部（8）升降的升降部（7）；盖落下防止部件（20），其在保持部（8）配置于位置P时与被搬运物（30）的盖（31）相对；和移动机构（10）。移动机构（10）以当保持部（8）配置在位置P时落下盖落下防止部件（20）配置在防止位置、当保持部（8）相对于位置P升降时盖落下防止部件（20）配置在退避位置的方式，从动于保持部（8）的升降动作而使盖落下防止部件（20）移动。

Description

空中搬运车

技术领域

本发明涉及在例如清洁室中将安装有拆装自如的盖的被搬运物（收纳有多枚半导体晶片的晶片盒等）沿着搬运路径进行搬运的空中搬运车。

背景技术

作为以往的空中搬运车，公知有例如专利文献1所记载的空中搬运车。在专利文献1所记载的空中搬运车中，在收纳被搬运物而进行搬运时，通过盖落下防止部件防止盖从被搬运物落下。该盖落下防止部件通过执行机构而转动，使得在被搬运物被收纳时该盖落下防止部件位于被搬运物的盖的前方，在被搬运物被升降时该盖落下防止部件从被搬运物的盖的前方退避。

在先技术文献

专利文献1：国际公开第2009/141976号

通过上述的空中搬运车，能够防止在被搬运物的搬运时盖落下，还能够防止在被搬运物的升降时阻碍升降动作，但是，为了使盖落下防止部件转动，需要专用的执行机构。因此，特别是在比较小型的空中搬运车中，一直寻求结构的简化。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种空中搬运车，该空中搬运车能够以简易的结构来防止在被搬运物的搬运时作为被搬运物的一部分的盖落下，并能够防止在被搬运物的升降时升降动作受到阻碍。

本发明的空中搬运车是一种将安装有拆装自如的盖的被搬运物沿着搬运路径搬运的空中搬运车，其特征在于，包括：主体部，该主体部收纳被搬运物并沿着搬运路径行驶；升降机构，该升降机构具有保持被搬运物的保持部、以及相对于收纳被搬运物的规定位置使保持部升降的升降部；盖落下防止部件，该盖落下防止部件在保持部配置于规定位置时与盖相对；和移动机构，该移动机构以当保持部配置于规定位置时盖落下防止部件配置在防止盖落下的第1位置、当保持部相对于规定位置升降时盖落下防止部件配置在比第1位置离盖远的第2位置的方式，从动于保持部的升降动作而使盖落下防止部件移动。

在该空中搬运车中，在保持被搬运物的保持部被配置于规定位置时，盖落下防止部件配置在防止盖落下的第1位置。由此，能够防止在被搬运物的搬运时盖落下。另一方面，在保持被搬运物的保持部相对于规定位置升降时，盖落下防止部件配置在比第1位置离盖远的第2位置。由此，能够防止在被搬运物的升降时升降动作受到阻碍。而且，移动机构从动于保持部的升降动作而在第1位置与第2位置之间使盖落下防止部件移动。由此，通过该空中搬运车，能够通过简易的结构来防止在被搬运物的搬运时盖落下，还能够防止在被搬运物的升降时升降动作受到阻碍。

另外，在本发明的空中搬运车中，也可以是，移动机构具有：安装有盖落下防止部件并在前进位置与后退位置之间摆动的第1摆动部；和与第1摆动部连结并在上升位置与下降位置之间摆动的第2摆动部，当保持部上升以规定位置为基点的规定的距离时，第2摆动部从下降位置向上升位置摆动，并且第1摆动部从后退位置向前进位置摆动，由此盖落下防止部件从第2位置向第1位置移动，当保持部下降规定的距离时，第2摆动部从上升位置向下降位置摆动，并且第1摆动部从前进位置向后退位置摆动，由此盖落下防止部件从第1位置向第2位置移动。通过该结构，能够谋求移动机构的结构简化，使移动机构的机械性动作的可靠性提高。

另外，在本发明的空中搬运车中，也可以是，移动机构以在外力朝着第2位置而作用于配置在第1位置的盖落下防止部件上的情况下盖落下防止部件向第2位置侧仅移动规定的量的方式，支承盖落下防止部件，移动机构具有检测盖落下防止部件的向第2位置侧的位移的位移检测部。通过该结构，一旦在例如搬运时盖就要从被搬运物脱落，配置在第1位置的盖落下防止部件就会向第2位置侧移动。此时，通过位移检测部能够检测出盖落下防止部件的向第2位置侧的位移，所以能够知晓盖就要从被搬运物脱落的情况。由此，能够迅速地采取使盖眼看就要脱落的状态下的空中搬运车的行驶中止、使被搬运物的搬运停止并将盖重新盖在被搬运物上的措施。

另外，在本发明的空中搬运车中，盖落下防止部件中至少与盖相对的部分也可以由具有挠性的片状部件构成。通过该结构，在设置盖落下防止部件时，能够抑制盖落下防止部件从主体部突出。另外，即使盖从被搬运物脱落，也能够可靠地承挡盖。进一步讲，即使盖落下防止部件万一与外部设备等接触，也由于盖落下防止部件容易变形而能够防止给外部设备等带来损伤。

发明的效果

根据该结构，能够以简易的结构迅速地检测到在被搬运物的搬运时盖就要脱落的情况并能够防止盖落下，还能够防止在被搬运物的升降时升降动作受到阻碍。

附图说明

图1是本发明的一实施方式的空中搬运车的侧视图。

图2是沿着图1的II-II线的空中搬运车的剖视图。

图3是表示在图2的空中搬运车中正在使被搬运物升降的状态的图。

图4是图2的空中搬运车的主要部分放大图。

具体实施方式

以下，关于本发明的优选实施方式，参照附图进行详细说明。另外，在各图中对于相同或者相当部分标注相同的符号，并省略重复的说明。

如图1所示，空中搬运车1沿着行驶轨道（搬运路径）3搬运被搬运物30。行驶轨道3经由支柱2而设置在用于制造半导体器件的清洁室的天花板上。另外，被搬运物30为收纳有多枚半导体晶片的晶片盒（所谓的FOUP（FrontOpeningUnifiedPod，正面开口标准箱））。在被搬运物30的侧面安装有用于半导体晶片出入的拆装自如的盖31。另外，在被搬运物30的上表面设有由空中搬运车1保持的凸缘部32。

空中搬运车1包括收纳被搬运物30并沿着行驶轨道3行驶的主体部4。主体部4经由行驶部5而悬吊于行驶轨道3。行驶部5具有与行驶轨道3的内表面接触的驱动轮以及导向轮，通过这些结构使主体部4沿着行驶轨道3行驶。另外，行驶部5具有位于行驶轨道3内的电磁线圈单元，由此，从铺设于行驶轨道3内的高频电流线以无接触的方式接受电力的供给。

主体部4具有安装有行驶部5的基架4a。基架4a的在搬运方向A上的前侧及后侧分别以向下方延伸的方式设有前架4b以及后架4c。被搬运物30以盖31相对于搬运方向A朝向侧方的状态被收纳在前架4b与后架4c之间。另外，在以下的说明中，将盖31相对于搬运方向A所朝向侧称为“一方侧”，将其相反侧称为“另一方侧”。

在基架4a上安装有升降机构6。升降机构6具有升降部7及保持部8。保持部8通过把持凸缘部32而保持被搬运物30。另外，升降部7使保持部8相对于收纳被搬运物30的规定位置P升降。更具体地说，升降部7通过同步抽出多根皮带9而使安装于皮带9的端部的保持部8从位置P下降。另一方面，升降部7通过同步卷绕多根皮带9而使安装于皮带9的端部的保持部8上升到位置P。另外，在基架4a上，有时设置使升降部7相对于搬运方向A向一方侧及另一方侧移动的横向进给部、和在水平面内使升降部7转动的θ转角驱动器等。

基于以上结构，空中搬运车1如下述那样动作。即，空中搬运车1停止于搬运起点（例如半导体处理装置）的端口的上方，利用升降机构6使配置于该端口上的被搬运物30上升并收纳于主体部4中。接下来，空中搬运车1沿着行驶轨道3搬运被搬运物30。接着，空中搬运车1停止于搬运目的地（例如半导体处理装置）的端口的上方，利用升降机构6使收纳于主体部4中的被搬运物30下降，并配置在该端口上。

如图1以及图2所示，空中搬运车1包括：在保持部8被配置在了规定位置P时与被搬运物30的盖31相对的盖落下防止部件20；和从动于保持部8的升降动作而使盖落下防止部件20移动的移动机构10。盖落下防止部件20为具有挠性的片状部件（例如，特氟龙（注册商标）薄片等氟树脂的树脂薄片等），其以沿着搬运方向A横贯盖31正面的方式由移动机构10支撑。

移动机构10具有相对于搬运方向A从一方侧向另一方侧延伸的摆动臂（第2摆动部）11。摆动臂11以隔着配置于规定位置P的保持部8的方式设有一对且设在各个架4b，4c的内侧。各摆动臂11的一端部11a由立设于各架4b，4c上的轴12支承并能够自由转动。另外，在各摆动臂11的另一端部11b，承受部13以向内侧延伸的方式而设置。在保持部8被配置于位置P时，保持部8的上表面8a抵接于各摆动臂11的承受部13。各摆动臂11以轴12为中心在上升位置与下降位置之间摆动，在所述上升位置，承受部13的位置为位置P，在所述下降位置，承受部13的位置比位置P靠下侧。另外，在保持部8配置在位置P时，承受部13的下表面及保持部8的上表面8a的位置与位置P大致一致。

摆动臂（第1摆动部）14以向下侧延伸的方式连结在各摆动臂11的一端部11a。各摆动臂14以轴12为中心在前进位置和后退位置之间摆动，在所述前进位置，摆动臂11的位置为上升位置，在所述后退位置，摆动臂11的位置为下降位置。

在各摆动臂14上安装有盖落下防止部件20。更具体地说，对盖落下防止部件20的搬运方向A上的两端部实施弯曲加工，并将该两端部固定于各摆动臂14。盖落下防止部件20以轴12为中心在落下防止位置（第1位置）和退避位置（第2位置）之间摆动，在所述落下防止位置（第1位置），摆动臂11、14的位置为上升位置和前进位置；在所述退避位置（第2位置），摆动臂11、14的位置为下降位置和后退位置。另外，落下防止位置是以盖落下防止部件20中与盖31相对的部分距盖31的表面的距离为例如数mm程度的方式来防止盖31落下的位置。另外，退避位置是比落下防止位置离盖31远的位置。

如上所述那样构成的移动机构10以及盖落下防止部件20的动作如下所述。即，如图2以及图3所示，在保持部8要从规定位置P下降的情况下，当保持部8下降以位置P为基点的规定的距离Ｄ时，摆动臂11由于自重而从上升位置向下降位置下降，伴随于此，摆动臂14从前进位置向后退位置后退。由此，盖落下防止部件20从落下防止位置向退避位置移动。即，在保持部8下降以位置P为基点的规定的距离Ｄ时，摆动臂11从上升位置向下降位置摆动，并且摆动臂14从前进位置向后退位置摆动，由此盖落下防止部件20从落下防止位置向退避位置移动。

另一方面，在保持部8要上升到规定位置P的情况下，当保持部8上升以位置P为基点的规定的距离Ｄ时，承受部13被保持部8推起从而摆动臂11从下降位置向上升位置上升，伴随于此，摆动臂14从后退位置向前进位置前进。由此，盖落下防止部件20从退避位置向落下防止位置移动。即，在保持部8上升以位置P为基点的规定的距离Ｄ时，摆动臂11从下降位置向上升位置摆动并且摆动臂14从后退位置向前进位置摆动，由此盖落下防止部件20从退避位置向落下防止位置移动。

如上所述，移动机构10从动于保持部8的升降动作而使盖落下防止部件20移动，使得当保持部8配置于位置P时盖落下防止部件20配置于落下防止位置，当保持部8相对于位置P升降时盖落下防止部件20配置于退避位置。

接下来，对移动机构10的摆动臂14进行更详细说明。如图4所示，摆动臂14具有连结于摆动臂11的一端部11a处的基端侧部分15、以及固定有盖落下防止部件20的前端侧部分16。基端侧部分15和前端侧部分16由轴17连接并能够转动自如。但是，前端侧部分16相对于基端侧部分15的转动范围由转动限制部件25、26限制。

即，在设于基端侧部分15的转动限制部件25上，以向着前端侧部分16凸出的方式以规定的角度形成端面25a，25b。另一方面，在设于前端侧部分16的转动限制部件26上形成有端面26a，并使得该端面26a通过以轴17为中心的转动而抵接在转动限制部件25的各端面25a，25b上。由此，前端侧部分16在端面26a抵接在端面25a上的状态（盖落下防止部件20配置在落下防止位置的状态）和端面26a抵接在端面25b上的状态（盖落下防止部件20配置在比落下防止位置靠外侧处的状态）之间相对于基端侧部分15转动。

在基端侧部分15及前端侧部分16上分别固定有托架18、19，在托架18，19之间架设有拉伸弹簧21。由此，前端侧部分16相对于基端侧部分15以使得成为端面26a抵接在端面25a上的状态的方式被施力。另外，在基端侧部分15上固定有光断续器等具有发光部以及受光部的位移检测部22，在前端侧部分16上固定有遮光板23。由此，一旦前端侧部分16以使得成为端面26a抵接在端面25b上的状态的方式相对于基端侧部分15转动，则遮光板23就会遮挡位移检测部22的光路（从发光部到受光部的光路）。

如上所述，移动机构10以在外力朝着退避位置作用于配置在落下防止位置的盖落下防止部件20上的情况下盖落下防止部件20向退避位置侧仅移动规定的量的方式支承着盖落下防止部件20。而且，在盖落下防止部件20向退避位置侧仅移动规定的量的情况下，由遮光板23遮挡位移检测部22的光路，因此位移检测部22检测出盖落下防止部件20向退避位置侧的位移。

如以上说明，在空中搬运车1中，当保持着被搬运物30的保持部8配置在规定位置P时，盖落下防止部件20被配置在防止盖31落下的落下防止位置。由此，能够防止在被搬运物30的搬运时盖31落下的情况。另一方面，在使保持着被搬运物30的保持部8相对于规定位置P升降时，盖落下防止部件20被配置在比落下防止位置离盖远的退避位置。由此，能够防止在被搬运物30的升降时升降动作受到阻碍。而且，移动机构10从动于保持部8的升降动作而使盖落下防止部件20在落下防止位置与退避位置之间移动。由此，通过空中搬运车1，能够以简易的结构防止在被搬运物30的搬运时盖31落下的情况，还能够防止在被搬运物30的升降时升降动作受到阻碍。而且，不需要用于使盖落下防止部件20动作的专用执行机构等，所以能够在空中搬运车1中谋求省力。

另外，在空中搬运车1中，即使在没有通过保持部8保持被搬运物30时，只要保持部8被配置在规定位置P，盖落下防止部件20就会被配置在落下防止位置。由此，在空中搬运车1不收纳被搬运物30而以空载状态沿着行驶轨道3行驶的情况下，能够防止盖落下防止部件20与外部设备等接触这样的事态。另外，即使在没有通过保持部8保持被搬运物30时，只要保持部8相对于规定位置P升降，盖落下防止部件20就会被配置在退避位置。由此，在使没有保持被搬运物30的保持部8升降的情况下，能够防止保持部8的升降动作受到阻碍。

另外，移动机构10采用摆动臂11、14而实现了从动于保持部8的升降动作的、盖落下防止部件20的移动。由此，在空中搬运车1中，能够谋求移动机构10的结构简化，能够提高移动机构10的机械动作的可靠性。

另外，移动机构10以在外力朝着退避位置作用于配置在落下防止位置的盖落下防止部件20上的情况下盖落下防止部件20向退避位置侧仅移动规定的量的方式支承着盖落下防止部件20。而且，移动机构10具有检测盖落下防止部件20向退避位置侧的位移的位移检测部22。由此，如图4所示，一旦在例如搬运时盖31欲从被搬运物30脱落，配置在落下防止位置的盖落下防止部件20就会向退避位置侧移动。此时，通过位移检测部22能够检测出盖落下防止部件20向退避位置侧的位移，所以能够知晓盖31就要从被搬运物30脱落。由此，能够迅速地采取使盖31眼看就要脱落的状态下的被搬运物30的行驶中止、使被搬运物30的搬运停止并将盖31重新盖在被搬运物30上这些措置。

再者，盖落下防止部件20中至少与被搬运物30的盖31相对的部分由具有挠性的片状部件构成。由此，在设置盖落下防止部件20时，能够抑制盖落下防止部件20从主体部4突出。另外，即使盖31从被搬运物30脱落，也能够可靠地承挡住盖31。进一步讲，即使盖落下防止部件20万一与外部设备等接触，也会由于盖落下防止部件20容易变形而能够防止给外部设备等带来损伤。

以上，对本发明的一个实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式。例如，移动机构10只要是以保持部8配置在位置P时盖落下防止部件20配置在落下防止位置（第1位置）且保持部8相对于位置P升降时盖落下防止部件20配置在退避位置（第2位置）的方式从动于保持部8的升降动作而使盖落下防止部件20移动的结构即可，并不限于采用摆动臂11、14的结构，也可以是采用其他的连杆机构等的结构。作为一例，移动机构10也可以将由片状部件构成的盖落下防止部件20通过紧固而配置在落下防止位置，并通过将这样的盖落下防止部件20松开而将其配置在退避位置。

另外，空中搬运车1并不限于沿着设置在用于制造半导体器件的清洁室的行驶轨道3来搬运被搬运物30，被搬运物30并不限于收纳有多枚半导体晶片的晶片盒。而且，在空中搬运车1以及被搬运物30的构成部件的材料及形状中，并不限于前述的材料及形状，能够适用各种各样的材料及形状。

工业实用性

根据本发明，能够以简易的结构迅速地检测出在被搬运物的搬运时盖就要脱落的情况并能够防止盖落下，还能够防止在被搬运物的升降时升降动作受到阻碍。

附图标记说明

1…空中搬运车，3…行驶轨道（搬运路径），4…主体部，6…升降机构，7…升降部，8…保持部，10…移动机构，11…摆动臂（第2摆动部），14…摆动臂（第1摆动部），20…盖落下防止部件，22…位移检测部，30…被搬运物，31…盖。

Claims (5)

1.一种空中搬运车，该空中搬运车将安装有拆装自如的盖的被搬运物沿着搬运路径搬运，其特征在于，包括：

主体部，所述主体部收纳所述被搬运物并沿着所述搬运路径行驶；

升降机构，所述升降机构具有保持所述被搬运物的保持部、以及相对于收纳所述被搬运物的规定位置使所述保持部升降的升降部；

盖落下防止部件，所述盖落下防止部件在所述保持部配置于所述规定位置时与所述盖相对；和

移动机构，所述移动机构以当所述保持部配置于所述规定位置时所述盖落下防止部件配置在防止所述盖落下的第1位置、当所述保持部相对于所述规定位置升降时所述盖落下防止部件配置在比所述第1位置离所述盖远的第2位置的方式，从动于所述保持部的升降动作而使所述盖落下防止部件移动，

所述移动机构具有承受部，该承受部在所述保持部配置在所述规定位置时供所述保持部抵接，

通过所述保持部上升到所述规定位置而推起所述承受部，所述移动机构使所述盖落下防止部件向所述第1位置移动，通过所述保持部从所述规定位置下降而从所述承受部离开，所述移动机构使所述盖落下防止部件向所述第2位置移动。

2.如权利要求1所述的空中搬运车，其特征在于，

所述移动机构具有：安装有所述盖落下防止部件并在前进位置与后退位置之间摆动的第1摆动部；和与所述第1摆动部连结并在上升位置与下降位置之间摆动的第2摆动部，

当所述保持部上升以所述规定位置为基点的规定的距离时，所述第2摆动部从所述下降位置向所述上升位置摆动，并且所述第1摆动部从所述后退位置向所述前进位置摆动，由此所述盖落下防止部件从所述第2位置向所述第1位置移动，

当所述保持部下降所述规定的距离时，所述第2摆动部从所述上升位置向所述下降位置摆动，并且所述第1摆动部从所述前进位置向所述后退位置摆动，由此所述盖落下防止部件从所述第1位置向所述第2位置移动。

3.如权利要求1或2所述的空中搬运车，其特征在于，

所述移动机构以在外力朝着所述第2位置而作用于配置在所述第1位置的所述盖落下防止部件上的情况下所述盖落下防止部件向所述第2位置侧仅移动规定的量的方式，支承所述盖落下防止部件，

所述移动机构具有检测所述盖落下防止部件的向所述第2位置侧的位移的位移检测部。

4.如权利要求1或2所述的空中搬运车，其特征在于，

所述盖落下防止部件中至少与所述盖相对的部分由具有挠性的片状部件构成。

5.如权利要求3所述的空中搬运车，其特征在于，

所述盖落下防止部件中至少与所述盖相对的部分由具有挠性的片状部件构成。