[go: up one dir, main page]

CN102618938A - 一种准单晶硅片绒面的制备方法 - Google Patents

一种准单晶硅片绒面的制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN102618938A
CN102618938A CN2012101178159A CN201210117815A CN102618938A CN 102618938 A CN102618938 A CN 102618938A CN 2012101178159 A CN2012101178159 A CN 2012101178159A CN 201210117815 A CN201210117815 A CN 201210117815A CN 102618938 A CN102618938 A CN 102618938A
Authority
CN
China
Prior art keywords
single crystal
quasi
pseudo single
silicon chip
crystal silicon
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2012101178159A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102618938B (zh
Inventor
郭进
刘文峰
杨晓生
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hunan Red Sun Photoelectricity Science and Technology Co Ltd
Original Assignee
Hunan Red Sun Photoelectricity Science and Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hunan Red Sun Photoelectricity Science and Technology Co Ltd filed Critical Hunan Red Sun Photoelectricity Science and Technology Co Ltd
Priority to CN201210117815.9A priority Critical patent/CN102618938B/zh
Publication of CN102618938A publication Critical patent/CN102618938A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102618938B publication Critical patent/CN102618938B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Photovoltaic Devices (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

本发明公开了一种准单晶硅片绒面的制备方法,属于半导体晶体硅及太阳能电池制造技术领域,本发明将准单晶硅片置于呈碱性的准单晶制绒液中进行反应制得准单晶硅片绒面,并根据准单晶硅片中(100)晶粒所占的面积来调整腐蚀的深度,以达到最好的制绒效果。本发明简化了准单晶制绒工艺,降低了准单晶电池片生产成本,有效地降低了准单晶硅片绒面的反射率,提高了准单晶电池片的光电转换效率。

Description

一种准单晶硅片绒面的制备方法
技术领域
本发明涉及一种准单晶硅片绒面的制备方法,具体说是一种节约太阳能电池生产成本,提高太阳能电池光电转换效率的准单晶电池片制备方法。
背景技术
准单晶是基于多晶铸锭的工艺,在长晶时通过部分使用单晶籽晶,获得外观和电性能均类似单晶的多晶硅片。这种通过铸锭的方式形成准单晶硅的技术,其功耗只比普通多晶硅多5%,所生产的准单晶硅的质量接近直拉单晶硅,所制备的准单晶电池片的光电转换效率接近单晶电池片,从而使单位功率电池片的成本大为降低。
制绒时使用碱性溶液腐蚀硅片,以去除硅片表面的机械切痕与损伤,同时在硅片的表面制备绒面,对以(100)晶粒为主的准单晶,由于具有(100)晶面在化学腐蚀中表现的择优性,即(100)晶面的腐蚀速率有明显快于(111)晶面,因而在硅片的表面出现金字塔构造,即形成多个(111)晶面,从而形成一个陷光的表面绒面构造,光线经过这样的表面至少有两次机会与硅片表面接触,这样可有效地减少太阳光在硅片表面的反射。
晶澳太阳能有限公司申请了一项关于准单晶硅片的制绒方法专利,公布号为CN102034900A,该专利中准单晶硅片的制绒方法采用先酸制绒、后碱制绒的工艺,但是此方法工艺复杂、生产成本高、碎片率高、绒面的反射率高、制绒绒面均匀性较差、电池片效率波动较大。
发明内容
为了克服现有的准单晶绒面的制备方法工艺复杂、碎片率高、生产成本较高的不足,本发明旨在提供种准单晶硅片绒面的制备方法,采用准单晶制绒液来制备准单晶硅片的绒面,该制备方法可简化工艺流程、降低制绒碎片率、节约生产成本,并且可有效降低绒面的反射率、提高准单晶电池片的光电转换效率。
为了实现上述目的,本发明所采用的技术方案是:
一种准单晶硅片绒面的制备方法,其特点是,将准单晶硅片置于呈碱性的准单晶制绒液中进行反应制得准单晶硅片绒面,反应温度为70℃-90℃,反应时间为10-30min;所述准单晶制绒液由碱、异丙醇、制绒添加剂和溶剂组成;所述碱是指NaOH或KOH,其中NaOH或KOH的质量分数为0.5%-4%,所述异丙醇的质量分数为1%-10%,所述制绒添加剂的质量分数为0.1%-1%,余量为溶剂。
本发明所述溶剂为纯水。
所述NaOH或KOH的质量分数更优选为1.0%-1.8%。
本发明制绒后硅片的腐蚀深度为3μm -15μm。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:本发明简化了工艺流程、降低了制绒碎片率、节约了生产成本,并且有效降低了绒面的反射率、提高了准单晶电池片的光电转换效率。采用准单晶制绒液制备准单晶硅片绒面的反应时间为10-30min,准单晶硅片被腐蚀的深度为3μm -15μm。
本发明采用呈碱性的准单晶制绒液来制备准单晶硅片的绒面,相对于晶澳太阳能有限公司的先酸制绒、后碱制绒的方法,本方法将制绒工艺流程减少一半、制绒成本降低一半,并且具有碎片率低、绒面均匀性较好的优点,绒面反射率降低1%、准单晶太阳能电池片光电转换效率提高0.1%。
 
以下结合实施例对本发明作进一步阐述。
具体实施方式
一种准单晶硅片绒面的制备方法,将准单晶硅片置于呈碱性的准单晶制绒液中进行反应制得准单晶硅片绒面,反应温度为70℃-90℃,反应时间为10-30min;所述准单晶制绒液成分包含NaOH或KOH、异丙醇、制绒添加剂,所述准单晶制绒液的溶剂为纯水;所述的NaOH或KOH其质量分数为0.5%-4%,所述的异丙醇质量分数为1%-10%,所述的制绒添加剂质量分数为0.1%-1%。
本发明所述的准单晶绒面制备方法的具体实例如下:
实施例1
1)实验所采用的硅片为156mm×156mm的P型准单晶硅片,(100)晶粒面积占整个硅片面积的2/3。
2)准单晶制绒液的配制:在制绒槽内加入180L纯水,待温度升为80℃,加入2kg的NaOH,搅拌均匀,待NaOH完全溶解后,加入6L异丙醇,搅拌均匀,加入800mL制绒添加剂,搅拌均匀,保持温度至80℃。
3)准单晶硅片绒面制备的具体操作步骤:准单晶硅片插入硅片承载盒,硅片承载盒放入制绒花篮中。制绒花篮由机械手提入制绒槽内,制绒槽内盛放准单晶制绒液,关闭制绒槽盖,在80℃下制绒15min后由机械手将花篮提出,在提出的过程中,机械手上的喷嘴用纯水对硅片进行喷淋。制绒花篮内的硅片经过清洗、喷淋后,放入甩干机内甩干,即得到制备好绒面的准单晶硅片。
4)经上述制绒工艺得到的准单晶硅片被腐蚀的深度为8μm -9μm。(100)晶粒的反射率为11%-14%,其他晶粒的反射率为21%-24%。最终准单晶电池片的光电转换效率17.3%-17.5%。
实施例2:
1)实验所采用的硅片为156mm×156mm的P型准单晶硅片,(100)晶粒面积占整个硅片面积的3/4。
2)准单晶制绒液的配制如同实施例1。
3)准单晶硅片绒面制备的具体操作过程与实施例1的不同处为制绒的时间为16min。
4)经上述制绒工艺得到的准单晶硅片被腐蚀的深度为9μm-10μm。(100)晶粒的反射率为10%-14%,其他晶粒的反射率为22%-25%。最终准单晶电池片的光电转换效率17.4%-17.7%。
实施例3:
1)实验所采用的硅片为156mm×156mm的P型准单晶硅片,(100)晶粒面积占整个硅片面积的4/5以上。
2)准单晶制绒液的配制如同实施例1。
3)准单晶硅片绒面制备的具体操作过程与实施例1的不同处为制绒的时间为18min。
4)经上述制绒工艺得到的准单晶硅片被腐蚀的深度为10μm-11μm。(100)晶粒的反射率为10%-13%,其他晶粒的反射率为23%-26%。最终准单晶电池片的光电转换效率17.6%-18.0%。
本发明采用呈碱性的准单晶制绒液来制备准单晶硅片的绒面,该方法制绒工艺流程简单、制绒成本低,并且具有碎片率低、绒面均匀性好、有效降低绒面反射率、提高准单晶太阳能电池光电转换效率的优点。
上述实施例阐明的内容应当理解为这些实施例仅用于更清楚地说明本发明,而不用于限制本发明的范围,在阅读了本发明之后,本领域技术人员对本发明的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。

Claims (3)

1.一种准单晶硅片绒面的制备方法,其特征是,将准单晶硅片置于呈碱性的准单晶制绒液中进行反应制得准单晶硅片绒面,反应温度为70℃-90℃,反应时间为10-30min;所述准单晶制绒液由碱、异丙醇、制绒添加剂和溶剂组成;所述碱是指NaOH或KOH,其中NaOH或KOH的质量分数为0.5%-4%,所述异丙醇的质量分数为1%-10%,所述制绒添加剂的质量分数为0.1%-1%,余量为溶剂。
2.根据权利要求1所述的准单晶硅片绒面的制备方法,其特征是,所述溶剂为纯水。
3.根据权利要求1或2所述的准单晶硅片绒面的制备方法,其特征是,制绒后准单晶硅片被腐蚀的深度为3μm -15μm。
CN201210117815.9A 2012-04-21 2012-04-21 一种准单晶硅片绒面的制备方法 Active CN102618938B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210117815.9A CN102618938B (zh) 2012-04-21 2012-04-21 一种准单晶硅片绒面的制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210117815.9A CN102618938B (zh) 2012-04-21 2012-04-21 一种准单晶硅片绒面的制备方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102618938A true CN102618938A (zh) 2012-08-01
CN102618938B CN102618938B (zh) 2015-09-02

Family

ID=46559128

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201210117815.9A Active CN102618938B (zh) 2012-04-21 2012-04-21 一种准单晶硅片绒面的制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102618938B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102856189A (zh) * 2012-09-20 2013-01-02 苏州易益新能源科技有限公司 一种晶体硅片表面处理的方法

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101087007A (zh) * 2007-05-11 2007-12-12 上海明兴开城超音波科技有限公司 单晶硅太阳能电池化学蚀刻、清洗、干燥的方法和它的一体化处理机
CN101276855A (zh) * 2008-04-30 2008-10-01 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 硅太阳能电池清洗、制绒、干燥工艺及其设备
CN101431123A (zh) * 2008-12-10 2009-05-13 宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司 单晶硅太阳电池的制绒方法
CN101671850A (zh) * 2009-09-29 2010-03-17 欧贝黎新能源科技股份有限公司 一种用于单晶硅绒面制备的正磷酸盐和苛性碱的混合溶液
CN101962811A (zh) * 2010-11-01 2011-02-02 浙江晶科能源有限公司 一种单晶硅片制绒液及其用于制绒的方法
CN102034900A (zh) * 2010-10-27 2011-04-27 晶澳太阳能有限公司 一种准单晶硅片的制绒方法
CN102115915A (zh) * 2010-12-31 2011-07-06 百力达太阳能股份有限公司 一种单晶硅制绒添加剂以及单晶硅制绒工艺
CN102306681A (zh) * 2011-09-08 2012-01-04 浙江向日葵光能科技股份有限公司 一种准单晶硅片的制绒方法
JP2012004411A (ja) * 2010-06-18 2012-01-05 Sharp Corp 半導体装置の製造方法、半導体装置、および表示装置

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101087007A (zh) * 2007-05-11 2007-12-12 上海明兴开城超音波科技有限公司 单晶硅太阳能电池化学蚀刻、清洗、干燥的方法和它的一体化处理机
CN101276855A (zh) * 2008-04-30 2008-10-01 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 硅太阳能电池清洗、制绒、干燥工艺及其设备
CN101431123A (zh) * 2008-12-10 2009-05-13 宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司 单晶硅太阳电池的制绒方法
CN101671850A (zh) * 2009-09-29 2010-03-17 欧贝黎新能源科技股份有限公司 一种用于单晶硅绒面制备的正磷酸盐和苛性碱的混合溶液
JP2012004411A (ja) * 2010-06-18 2012-01-05 Sharp Corp 半導体装置の製造方法、半導体装置、および表示装置
CN102034900A (zh) * 2010-10-27 2011-04-27 晶澳太阳能有限公司 一种准单晶硅片的制绒方法
CN101962811A (zh) * 2010-11-01 2011-02-02 浙江晶科能源有限公司 一种单晶硅片制绒液及其用于制绒的方法
CN102115915A (zh) * 2010-12-31 2011-07-06 百力达太阳能股份有限公司 一种单晶硅制绒添加剂以及单晶硅制绒工艺
CN102306681A (zh) * 2011-09-08 2012-01-04 浙江向日葵光能科技股份有限公司 一种准单晶硅片的制绒方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102856189A (zh) * 2012-09-20 2013-01-02 苏州易益新能源科技有限公司 一种晶体硅片表面处理的方法
CN102856189B (zh) * 2012-09-20 2015-09-09 苏州易益新能源科技有限公司 一种晶体硅片表面处理的方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN102618938B (zh) 2015-09-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101540351B (zh) 一种在单晶硅太阳能电池表面上蚀刻绒面的方法
CN102270702A (zh) 一种制绒白斑单晶硅片的返工工艺
CN102468371A (zh) 准单晶硅片的制绒方法
CN107675263A (zh) 单晶硅金字塔结构绒面的优化方法
CN103378212B (zh) 一种太阳能电池片的制绒方法
CN103160803A (zh) 石墨舟预处理方法
CN102108557B (zh) 一种制备单晶硅绒面的方法
CN108831937A (zh) 一种n型太阳能电池的绒面修饰方法
CN109585583A (zh) 一种用于太阳能电池片生产的制绒工艺
CN102034900A (zh) 一种准单晶硅片的制绒方法
CN102810596A (zh) 冶金级单晶以及类单晶硅的绒面制备方法
CN111455468B (zh) 一种单晶制绒用添加剂及其应用
CN101609862A (zh) 一种降低绒面单晶硅片表面反射率的方法
CN103184523B (zh) 一种单晶硅制绒剂及绒面单晶硅的制备方法
CN102867880A (zh) 一种多晶硅表面两次酸刻蚀织构的制备方法
CN104073883A (zh) 多晶硅太阳能电池片的制绒工艺
CN111394796B (zh) 一种单晶硅片制绒剂及利用该制绒剂进行制绒的方法
CN102618938B (zh) 一种准单晶硅片绒面的制备方法
CN103413759A (zh) 一种多晶硅片的制绒方法
CN102703975A (zh) 一种提高类单晶晶体质量的方法
CN101661974A (zh) 一种太阳能电池中制绒液及其生产方法
CN101447530B (zh) 一种用于刻蚀二氧化硅掩膜的浆料的清洗工艺
CN111627804A (zh) 一种利用掩膜保护的太阳能电池单面抛光工艺
CN102185028B (zh) 一种p型超大晶粒多晶硅太阳电池表面织构的制造方法
CN109449256A (zh) 一种太阳能电池用硅基薄膜的低成本生产方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant