[go: up one dir, main page]

CN102226716A - 一种中阶梯光栅光谱仪的光路结构 - Google Patents

一种中阶梯光栅光谱仪的光路结构 Download PDF

Info

Publication number
CN102226716A
CN102226716A CN 201110075671 CN201110075671A CN102226716A CN 102226716 A CN102226716 A CN 102226716A CN 201110075671 CN201110075671 CN 201110075671 CN 201110075671 A CN201110075671 A CN 201110075671A CN 102226716 A CN102226716 A CN 102226716A
Authority
CN
China
Prior art keywords
optical path
incident
path structure
parabolic
echelle grating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN 201110075671
Other languages
English (en)
Inventor
巴音贺希格
何淼
崔继承
陈今涌
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Changchun Institute of Optics Fine Mechanics and Physics of CAS
Original Assignee
Changchun Institute of Optics Fine Mechanics and Physics of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Changchun Institute of Optics Fine Mechanics and Physics of CAS filed Critical Changchun Institute of Optics Fine Mechanics and Physics of CAS
Priority to CN 201110075671 priority Critical patent/CN102226716A/zh
Publication of CN102226716A publication Critical patent/CN102226716A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Abstract

本发明的中阶梯光栅光谱仪的光路结构属于光谱技术领域,所要解决的技术问题是:提供一种应用于高分辨率、宽谱段范围、全谱直读光谱分析的光路结构。本发明解决技术问题所采取的技术方案是:中阶梯光栅光谱仪的光路结构包括聚光镜、入射针孔、抛物准直镜、中阶梯光栅、交叉色散棱镜组、抛物聚焦镜和探测器;待测光由聚光镜收集,通过入射针孔进入光谱仪的光路;入射光束经抛物准直镜准直为平行光束后,通过中阶梯光栅和交叉色散棱镜组产生二维交叉色散,由抛物聚焦镜成像到探测器靶面,从而得到二维色散光谱图像。本发明中阶梯光栅光谱仪的光路结构简单、可靠,无移动部件,不需多次扫描。

Description

一种中阶梯光栅光谱仪的光路结构
技术领域
本发明属于光谱技术领域,涉及一种中阶梯光栅光谱仪的光路结构。
背景技术
光谱仪器是广泛应用在科研、工业生产等领域的重要分析测试仪器。适应更高分辨率、更宽谱段范围、全谱直读的应用要求,是光谱分析仪器的发展方向。中阶梯光栅光谱仪采用高色散、高分辨率、全波闪耀的中阶梯光栅作为主要分光元件,分辨能力高于常规的光谱仪20倍以上,且具有体积小、全谱瞬态直读的优点,属于高端的光谱分析仪器。目前仅有少数发达国家进行了此类仪器的开发,PI、LEEMAN、Andor等公司推出了第一代商品化仪器。2004年德国耶拿公司推出的连续光源原子吸收中阶梯光栅光谱仪contrAA,对原子吸收光谱仪器的发展具有划时代意义。但其采用传统的扫描记录方式,分光光路系统由中阶梯光栅、探测器以及扫描机构组成,因此,该光谱分析仪器体积相对较大,不能实现全谱直读。
发明内容
本发明的目的是提供一种中阶梯光栅光谱仪的光路结构,其采用中阶梯光栅作为主要分光元件,利用棱镜产生垂直于主色散方向的交叉色散,实现高分辨率、宽谱段范围、全谱直读的光谱分析。
为了实现上述目的,本发明的技术方案如下:
一种中阶梯光栅光谱仪的光路结构,包括聚光镜、入射针孔、抛物准直镜、中阶梯光栅、交叉色散棱镜组、抛物聚焦镜和探测器,聚光镜置于光路的最前端,收集到的光会聚到入射针孔处;在聚光镜和入射针孔形成的入射光线方向上,放置抛物准直镜,抛物准直镜的中心与聚光镜及入射针孔的中心位置等高;在反射光的方向上,放置中阶梯光栅,中阶梯光栅的中心高度为反射光的光轴高度;交叉色散棱镜组放置于由中阶梯光栅出射的反射光方向上;经交叉色散棱镜组反射的光由抛物聚焦镜反射,最后聚焦到探测器上。
本发明的工作原理是:待测光由聚光镜收集,聚焦到入射针孔处,经入射针孔透射后,入射光线照射在抛物准直镜上形成平行光束,由抛物准直镜反射的平行光束投射到中阶梯光栅上,经中阶梯光栅衍射形成色散光束,此色散方向即光路的主色散方向,由于中阶梯光栅使用在较高的衍射级次和较大的衍射角度,色散光的不同衍射级次彼此重叠;之后通过交叉色散棱镜组反射,光束在垂直主色散方向上产生色散,使不同的衍射级次从交叉色散棱镜组出射角度不同,形成二维交叉色散光束;此光束经抛物聚焦镜反射,成像到探测器的靶面上,从而得到待测光的二维色散谱图。谱图中主色散方向为中阶梯光栅的色散方向,与衍射级次分开的方向垂直,单一波长的光谱会聚焦到谱图上一点,因此,通过面阵探测器接收的二维光谱图像中的谱线分布可以分析得到待测光包含的光谱信息。采用两种不同材棱镜组合作为交叉色散元件,可以解决单棱镜在600nm以上波段色散量过小导致分辨率下降的问题,使仪器在整个光谱范围内色散相对均匀,工作的谱段范围更宽。
本发明的积极效果是:实现了高分辨率、宽谱段范围、全谱瞬态直读的光谱分析。由于主色散元件中阶梯光栅工作在高衍射级次、大衍射角度,其色散能力比一般的衍射光栅高七倍以上;采用棱镜作为交叉色散元件,能够解决光栅衍射级次间彼此重叠的问题;二维色散光谱图像通过面阵探测器接收,在宽谱段范围内无需扫描,可实现多光谱瞬态直读。本发明结构简单可靠,无移动部件,操作容易,能很好地应用于中阶梯光栅光谱仪系统中。
附图说明
图1是本发明中阶梯光栅光谱仪的光路结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明做进一步详细说明。
如图1所示,本发明中阶梯光栅光谱仪的光路结构包括聚光镜1、入射针孔2、抛物准直镜3、中阶梯光栅4、交叉色散棱镜组5、抛物聚焦镜6和探测器7;聚光镜1置于光路的最前端,收集到的光会聚到入射针孔2处;在聚光镜1和入射针孔2形成的入射光线方向上,放置抛物准直镜3,中心与聚光镜1及入射针孔2中心位置等高;在聚光镜1和入射针孔2形成的反射光方向上,放置中阶梯光栅4,中心高度为反射光的光轴高度;交叉色散棱镜组5放置于由中阶梯光栅4出射的反射光方向上;经交叉色散棱镜组5反射的光由抛物聚焦镜6反射后聚焦到探测器7上。
本发明按图1所示的结构实施,其中,入射针孔2的材质采用45#钢片,针孔直径15μm;抛物准直镜3和抛物聚焦镜6均为离轴抛物反射镜,离轴角为18°,基底材质采用K9光学玻璃,表面镀铝,焦距为321.8mm;中阶梯光栅4采用中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光栅工程中心生产的54.49g/mm刻划中阶梯光栅,46°入射;交叉色散棱镜组5材质采用双棱镜胶合结构,由顶角37°的氟化钙棱镜与顶角13.45°的熔石英棱镜组成,28.3°入射;探测器7采用e2v背照式CCD47-10芯片,分辨率1024×1024像素,光谱响应在400-800nm范围内最高;仪器的整体结构采用铝合金材料,在工作环境波动较小的情况下,能保证成像要求且减轻了仪器重量。
结合中阶梯光栅的特点,本发明提供一种用于中阶梯光栅光谱仪的新型光路结构。本发明采用棱镜与中阶梯光栅配合进行交叉色散,面阵探测器接收二维谱图,无需传统高分辨率光谱仪常用的扫描测量,结构紧凑,可以实现真正的全谱瞬态直读。

Claims (2)

1.一种中阶梯光栅光谱仪的光路结构,其特征在于,该光路结构包括聚光镜(1)、入射针孔(2)、抛物准直镜(3)、中阶梯光栅(4)、交叉色散棱镜组(5)、抛物聚焦镜(6)和探测器(7),聚光镜(1)置于光路的最前端,收集到的光会聚到入射针孔(2)处;在聚光镜(1)和入射针孔(2)形成的入射光线方向上,放置抛物准直镜(3),抛物准直镜(3)的中心与聚光镜(1)及入射针孔(2)的中心位置等高;在反射光的方向上,放置中阶梯光栅(4),中阶梯光栅(4)的中心高度为反射光的光轴高度;交叉色散棱镜组(5)放置于由中阶梯光栅(4)出射的反射光方向上;经交叉色散棱镜组(5)反射的光由抛物聚焦镜(6)反射,最后聚焦到探测器(7)上。
2.如权利要求1所述的一种中阶梯光栅光谱仪的光路结构,其特征在于,所述交叉色散棱镜组(5)采用双棱镜结构,由顶角为37°的氟化钙棱镜和顶角为13.45°的熔石英棱镜胶合组成。
CN 201110075671 2011-03-28 2011-03-28 一种中阶梯光栅光谱仪的光路结构 Pending CN102226716A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201110075671 CN102226716A (zh) 2011-03-28 2011-03-28 一种中阶梯光栅光谱仪的光路结构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201110075671 CN102226716A (zh) 2011-03-28 2011-03-28 一种中阶梯光栅光谱仪的光路结构

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN102226716A true CN102226716A (zh) 2011-10-26

Family

ID=44807702

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 201110075671 Pending CN102226716A (zh) 2011-03-28 2011-03-28 一种中阶梯光栅光谱仪的光路结构

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102226716A (zh)

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102538969A (zh) * 2012-01-17 2012-07-04 北京华夏科创仪器技术有限公司 高分辨率光谱仪及其光学定标方法
CN102539360A (zh) * 2011-12-31 2012-07-04 聚光科技(杭州)股份有限公司 提高光谱探测范围的分光装置及方法
CN102778293A (zh) * 2012-07-25 2012-11-14 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 小型中阶梯光栅光谱仪的光路结构
CN102809428A (zh) * 2012-07-25 2012-12-05 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 小型中阶梯光栅光谱仪的装调方法
CN102879091A (zh) * 2012-08-28 2013-01-16 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中阶梯光栅光谱仪、原子发射光谱仪及光谱测试方法
CN103900689A (zh) * 2014-03-28 2014-07-02 中国科学院上海技术物理研究所 声光调制型宽谱段多通道偏振单色光源
CN104406692A (zh) * 2014-10-17 2015-03-11 北京锐光仪器有限公司 中阶梯光栅在扫描型光谱仪器中的应用
CN105486406A (zh) * 2016-01-01 2016-04-13 杭州谱育科技发展有限公司 光谱仪及光谱分析方法
CN107101723A (zh) * 2017-06-13 2017-08-29 钢研纳克检测技术有限公司 高分辨率中阶梯光栅光谱仪二维偏差谱图分析与校正方法
CN109269771A (zh) * 2018-09-03 2019-01-25 钢研纳克检测技术股份有限公司 偏置角可调中阶梯光栅效率测试仪的光路结构及测试方法
CN110596026A (zh) * 2019-10-12 2019-12-20 中国科学院合肥物质科学研究院 宽带腔增强装置
CN110793954A (zh) * 2019-11-05 2020-02-14 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 基于中阶梯光栅的便携式拉曼血液鉴别系统
CN111183342A (zh) * 2017-11-30 2020-05-19 安捷伦科技有限公司 多色仪系统和方法
CN112763451A (zh) * 2020-12-24 2021-05-07 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种太赫兹拉曼光谱仪
CN113624339A (zh) * 2021-07-16 2021-11-09 吉林大学 一种基于dmd和中阶梯光栅的同向色散光谱分析仪及方法
CN114034386A (zh) * 2021-11-07 2022-02-11 天津大学 电弧激发与中阶梯光栅分光相结合的全谱直读原子发射光谱仪
CN114812396A (zh) * 2022-03-11 2022-07-29 智慧星空(上海)工程技术有限公司 一种光谱共焦测量系统
CN117232658A (zh) * 2023-11-03 2023-12-15 苏州简测科技有限公司 一种中阶梯光栅光谱仪

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5285255A (en) * 1989-06-16 1994-02-08 Fisons Plc Optical system for spectral analysis
CN1630811A (zh) * 2002-02-07 2005-06-22 应用光学电子光学及光谱学开发研究所 中阶梯谱仪的波长校准组件和方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5285255A (en) * 1989-06-16 1994-02-08 Fisons Plc Optical system for spectral analysis
CN1630811A (zh) * 2002-02-07 2005-06-22 应用光学电子光学及光谱学开发研究所 中阶梯谱仪的波长校准组件和方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
《光学精密工程》 20100930 唐玉国 等 "中阶梯光栅光谱仪的光学设计" 第18卷, 第9期 *
《激光杂志》 20090228 谢品 等 "中阶梯光栅的应用研究进展" 第30卷, 第2期 *

Cited By (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102539360A (zh) * 2011-12-31 2012-07-04 聚光科技(杭州)股份有限公司 提高光谱探测范围的分光装置及方法
CN102539360B (zh) * 2011-12-31 2014-06-25 聚光科技(杭州)股份有限公司 提高光谱探测范围的分光装置及方法
CN102538969B (zh) * 2012-01-17 2014-04-23 北京华夏科创仪器技术有限公司 高分辨率光谱仪及其光学定标方法
CN102538969A (zh) * 2012-01-17 2012-07-04 北京华夏科创仪器技术有限公司 高分辨率光谱仪及其光学定标方法
CN102809428A (zh) * 2012-07-25 2012-12-05 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 小型中阶梯光栅光谱仪的装调方法
CN102778293A (zh) * 2012-07-25 2012-11-14 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 小型中阶梯光栅光谱仪的光路结构
CN102809428B (zh) * 2012-07-25 2014-07-09 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 小型中阶梯光栅光谱仪的装调方法
CN102879091A (zh) * 2012-08-28 2013-01-16 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中阶梯光栅光谱仪、原子发射光谱仪及光谱测试方法
CN102879091B (zh) * 2012-08-28 2014-08-20 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中阶梯光栅光谱仪、原子发射光谱仪及光谱测试方法
CN103900689A (zh) * 2014-03-28 2014-07-02 中国科学院上海技术物理研究所 声光调制型宽谱段多通道偏振单色光源
CN103900689B (zh) * 2014-03-28 2016-03-30 中国科学院上海技术物理研究所 声光调制型宽谱段多通道偏振单色光源
CN104406692A (zh) * 2014-10-17 2015-03-11 北京锐光仪器有限公司 中阶梯光栅在扫描型光谱仪器中的应用
CN104406692B (zh) * 2014-10-17 2017-02-01 北京锐光仪器有限公司 一种具有中阶梯光栅的扫描型光谱仪器
CN105486406A (zh) * 2016-01-01 2016-04-13 杭州谱育科技发展有限公司 光谱仪及光谱分析方法
CN107101723A (zh) * 2017-06-13 2017-08-29 钢研纳克检测技术有限公司 高分辨率中阶梯光栅光谱仪二维偏差谱图分析与校正方法
US11579459B2 (en) 2017-11-30 2023-02-14 Agilent Technologies, Inc. Polychromator systems and methods
CN111183342A (zh) * 2017-11-30 2020-05-19 安捷伦科技有限公司 多色仪系统和方法
CN109269771A (zh) * 2018-09-03 2019-01-25 钢研纳克检测技术股份有限公司 偏置角可调中阶梯光栅效率测试仪的光路结构及测试方法
CN110596026A (zh) * 2019-10-12 2019-12-20 中国科学院合肥物质科学研究院 宽带腔增强装置
CN110793954A (zh) * 2019-11-05 2020-02-14 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 基于中阶梯光栅的便携式拉曼血液鉴别系统
CN112763451A (zh) * 2020-12-24 2021-05-07 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种太赫兹拉曼光谱仪
CN113624339A (zh) * 2021-07-16 2021-11-09 吉林大学 一种基于dmd和中阶梯光栅的同向色散光谱分析仪及方法
CN113624339B (zh) * 2021-07-16 2023-02-03 吉林大学 一种基于dmd和中阶梯光栅的同向色散光谱分析仪及方法
CN114034386A (zh) * 2021-11-07 2022-02-11 天津大学 电弧激发与中阶梯光栅分光相结合的全谱直读原子发射光谱仪
CN114812396A (zh) * 2022-03-11 2022-07-29 智慧星空(上海)工程技术有限公司 一种光谱共焦测量系统
CN114812396B (zh) * 2022-03-11 2024-03-12 智慧星空(上海)工程技术有限公司 一种光谱共焦测量系统
CN117232658A (zh) * 2023-11-03 2023-12-15 苏州简测科技有限公司 一种中阶梯光栅光谱仪
CN117232658B (zh) * 2023-11-03 2024-01-30 苏州简测科技有限公司 一种中阶梯光栅光谱仪

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102226716A (zh) 一种中阶梯光栅光谱仪的光路结构
JP5639066B2 (ja) 改良された像質と小歪曲を有するダイソン型イメージング分光計
US5644396A (en) Spectrograph with low focal ratio
CN101963529A (zh) 极远紫外扫描成像光谱仪
CN102155990B (zh) 一种中阶梯光栅光谱仪的装调方法
CN104729708B (zh) 一种消像散宽光谱探测光栅光谱仪
CN110132412A (zh) 基于数字微镜器件的双波段光谱成像系统及实现方法
JP2010060548A (ja) ハイパースペクトル走査装置およびその方法
TWI245114B (en) Apparatus for measuring imaging spectrograph
US10288481B2 (en) Spectrometer for generating a two dimensional spectrum
JP5517621B2 (ja) 高感度スペクトル分析ユニット
CN102778293A (zh) 小型中阶梯光栅光谱仪的光路结构
CN106441581A (zh) 一种高分辨率的线阵ccd直读型光谱仪
CN103293682A (zh) 一种宽光谱太阳光谱辐照度监测仪分光光路结构
CN203881441U (zh) 基于自由曲面的成像光谱仪分光系统
CN102589691B (zh) 自准直光栅光谱仪
CN104729707A (zh) 一种消像散中阶梯光栅光谱仪
CN110501074B (zh) 高通量宽谱段高分辨率的相干色散光谱成像方法及装置
TWI260427B (en) Grating spectrograph
EP3400428A1 (en) High resolution broadband monolithic spectrometer and method
CN112326582A (zh) 长波红外成像光谱仪光学系统
CN208188021U (zh) 基于x射线阵列组合折射透镜的微束x射线荧光分析系统
US20240288307A1 (en) Systems and methods to acquire three dimensional images using spectral information
WO2019105245A1 (zh) 光谱仪及光谱检测系统
CN100451614C (zh) 光谱影像测量装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20111026