CN102145471A - 硬质脆性板的倒角装置 - Google Patents

Abstract

提供一种硬质脆性板的倒角装置，用于加工显示器面板用的玻璃基板及其他硬质脆性板的边，所述倒角装置能够对加工后的全部工件进行加工尺寸的计测而完全或几乎不增加生产节拍，因此能够实现更高的加工精度且不会降低加工精度。在工作台相对工具的进给方向上游侧的宽度方向两侧，配置观察工件的两侧边部的上表面的上游侧上部摄像机，同时设置在工具的工作台进给方向下游侧对工件的两侧边部上表面进行观察的下游侧上部摄像机、和在该下游侧对工件的两侧边部下表面进行观察的下游侧下部摄像机。使工作台进行进给移动同时进行倒角加工，在进行加工后马上利用下游侧摄像机进行倒角尺寸的计测。

Description

硬质脆性板的倒角装置

技术领域

本发明涉及倒角装置，用于加工在显示器面板等中使用的矩形的玻璃基板及其他硬质脆性板的边。本发明尤其涉及能够计测加工尺寸的上述装置，以便准确设定承载硬质脆性板的工作台的角度和加工工具的位置。

背景技术

玻璃基板(以下称为“基板”或“工件”)的倒角装置是利用工具(一般是砂轮)，对在通过切割等被切断的基板的边上产生的锐利棱线和角进行倒角及倒圆加工的装置。一般，如图8所示，这种倒角装置具有利用负压来吸附基板1的工作台2、和配置在该工作台两侧的工具3。工作台2能够通过未图示的旋转装置绕垂直轴旋转90度。工作台2和工具3能够沿进给方向(图中的Y方向)相对移动。基板1被固定在工作台上，并使要加工的边8与该进给方向平行。

被用作显示器面板的基板的厚度正在变薄而且重量变轻，并且对加工精度也要求30μm(微米)左右的较高精度。为了实现该精度，在基板1或粘贴在该基板1上的薄片上标注3个定位标记4。3个定位标记4被设定在把正交的两边作为基板1的边的方向的直角三角形的顶点的位置。并且，利用配置于工作台的宽度方向(与进给方向正交的、图中的X方向)的两个摄像机5、5，读取3个定位标记4中沿宽度方向排列的两个定位标记，并设定工作台2的角度和工具3的位置。

在该设定之后，使工作台2或工具3、3沿进给方向移动，同时利用工具3、3加工基板1一方的相对边8、8。在该加工结束后，使工作台2旋转90度，重新读取沿宽度方向排列的两个定位标记4、4，将工具3、3的宽度方向位置设定在新的位置。然后，使工作台2或工具3、3沿进给方向移动，同时进行第二相对边9、9的加工。

这样，把标注在基板1上的定位标记4的位置作为基准，设定工作台2绕垂直轴的角度和工具的位置，由此进行准确的加工。但是，例如在两个摄像机5、5的位置关系存在误差、工具3磨损、或工具3的高度存在误差时，将产生加工尺寸的误差。

因此，以往将已试验加工过的基板从倒角装置中取出并放置在测定器上，操作者利用测定器的显微镜计测加工尺寸(一般是从图7所示的定位标记4到倒角线7的距离a、b、倒角宽度c、d、角的加工尺寸e、f)，将校正值输入到根据该计测值控制工作台2的角度、工具3的宽度方向及高度位置的数控装置中，以便进行准确的加工。另外，为了修正因工具磨损等随时间经过而形成的变化造成的加工精度的下降，适当抽取已加工的基板，利用与上述相同的方法计测加工尺寸，并向数控装置重新输入必要的校正值。

但是，在由人进行加工尺寸的计测的方法中，产生因不小心和看错造成的计测错误、校正值的计算错误和输入错误等。因此，本申请的申请人提出下述技术，在下述专利文献1中，在倒角装置上自动计测成为计测加工及抽样检查的对象的板材的加工尺寸，根据该计测值来修正倒角装置的工作台和工具的位置。

即，在倒角装置的工具3的上游侧(工件被搬入的一侧)设置两个上部摄像机5、5、和配置于它们下方的下部摄像机6、6(图8中的虚拟线)。并且，对于将要计测加工的基板和抽样检查的基板，利用两个上部摄像机5、5读取在工件1上标注的宽度方向上的两个定位标记4、4，设定工作台2的角度和工具3的位置，然后使工作台2沿进给方向(+Y方向)相对移动(以下简称为“进给移动”)，同时对第一相对边8、8进行倒角加工。在该加工结束后，使工作台2沿返回方向(-Y方向)相对移动(以下简称为“返回移动”)，同时利用上部摄像机5中的一个摄像机读取沿进给方向排列的两个定位标记4，来检测工件的倾斜。然后，再次使工作台2进行进给移动，利用上部及下部摄像机5、6计测上下的加工尺寸。

然后，使工作台2旋转90度，使工作台2进行返回移动，同时进行第二相对边9、9的倒角加工，再次进行进给移动并检测工件1的倾斜。然后，再次使工作台2进行返回移动，同时进行第二相对边9的加工尺寸的计测。

在专利文献1提出的方法中，为了进行基板的四边的倒角加工及加工尺寸的计测，必须使工作台2往返3次(通过6次)。另外，关于不计测加工尺寸时的工件的加工，是使工作台2进行进给移动同时加工第一相对边8、8，使工作台2旋转90度，使工作台2进行返回移动同时加工第二相对边9、9。

另一方面，专利文献2提出了一种倒角装置，在工作台相对于工具的进给方向上游侧的工作台宽度方向左右侧，配置观察基板的上表面的上部摄像机和观察侧面的侧部摄像机。在该装置中，利用上部摄像机读取在工件上标注的定位标记，并进行工作台角度和工具的位置设定，通过工作台的进给移动来加工第一相对侧边，通过返回移动来进行第一相对边的加工尺寸的计测，在返回后的位置使工作台旋转90度，通过再次的进给移动对第二相对边进行倒角加工，通过再次的返回移动来计测第二相对边的加工尺寸。在该专利文献2提出的方法中，使工作台往返2次(通过4次)，以便进行四边的倒角加工和加工尺寸的计测。

另外，下述专利文献3公开了下述构造，将相当于专利文献1的下部摄像机的带第二光源的第二摄像机并列设置在相当于上部摄像机的第一摄像机的外侧，利用左右的两个反射镜使第二光源的照射反射到玻璃板的下表面。

【专利文献1】日本特开2007-223005号公报

【专利文献2】日本特开2007-38327号公报

【专利文献3】日本特开2004-99424号公报

在专利文献1记述的发明中，关于计测加工尺寸的工件通过往返3次来进行加工和计测，关于不计测的工件则往返1次只进行加工。另一方面，在专利文献2记述的发明中，通过往返2次来进行工件的加工和计测。在专利文献1的发明中，把工件的倾斜检测作为独立的计测项目，所以加工和计测需要往返3次，但如果像专利文献2那样不进行工件的倾斜检测，则能够通过往返2次来进行工件的加工和计测。

专利文献1和2记述的方法都是分别通过独立的工作台的相对移动来进行加工和计测。因此，为了进行4边的加工和计测，需要进行最少4次的相对移动(通过4次)。

根据工具的构造，有时加工时的工作台进给方向被限定为一个方向。该情况时，沿工件的输送方向排列2台倒角装置，在其中间设置使工件转向90度的转向台，这种构造比较有利于加快加工的生产节拍。但是，该情况时，在现有构造的倒角装置中，不能在倒角装置上进行加工尺寸的计测。

另一方面，在具有使工件旋转90度的机构的倒角装置中，像专利文献1、2记述的那样，通过在工作台的往返相对移动期间进行工件的旋转动作，能够利用1台倒角装置进行四边的加工。并且，当只在一个方向的相对移动时进行工件的加工时，需要使工作台返回来，以便进行下一个加工动作，所以认为如果在该返回移动时能够进行加工尺寸的计测，将不会因为在倒角装置上自动计测加工尺寸而产生生产节拍的增加。

但是，实际上在快速进行返回移动时，摄像机的图像闪过，不能进行加工尺寸的计测，在使用能够快速加工的砂轮时，有时必须使计测时的返回速度比加工时的进给速度慢。即，虽然在不进行计测时能够进行快速的返回移动，但进行计测时返回速度变慢，因此导致生产节拍延长。

因为这种情况，在每进行预先确定的多个工件加工后，进行一次工件尺寸的计测，设定必要的校正值。该情况时，需要留取余量来设定校正值，以使在进行下一次计测之前的期间的多个工件加工中，加工误差不超过允许值，不会产生不合格品。即，需要以高于所允许的加工误差的精度来设定校正值。如果能够获取较大的该余量，则相应地能够增多在计测动作期间的工件的加工个数，能够提高生产性。

但是，在所要求的加工精度变严格时，获取该边缘比较困难，最终必须计测被加工后的全部工件的加工尺寸，并随时根据需要来变更校正值，在现有构造的倒角装置中不得不降低生产性。

发明内容

本发明就是为了解决上述问题而提出的。即，本发明的课题是提供一种倒角装置，能够对加工后的全部工件进行加工尺寸的计测，而完全或几乎不增加生产节拍，因此能够实现更高的加工精度而不会降低加工精度。

在本发明中，通过提供倒角装置来解决上述问题，所述倒角装置在工作台2相对工具3的进给方向上游侧的宽度方向两侧、即工件1被最初送入到装置上的一侧的宽度方向两侧，配置观察工件的两侧边部的上表面的上游侧上部摄像机5a，同时设置在工具3的工作台进给方向下游侧观察工件1的两侧边部的上表面的下游侧上部摄像机5b、和在该下游侧观察工件的两侧边部的下表面的下游侧下部摄像机6b。

工具3与下游侧摄像机5b、6b的进给方向的间隔是固定的，该间隔小于工具3与上游侧上部摄像机5a的进给方向的间隔，一般是其一半以下。并且，能够实现摄像机5a、5b、6b和工具3同时沿宽度方向移动的构造。因此，能够采用下述构造，即，在根据工件1的尺寸使工具3沿宽度方向移动的宽度方向移动台16上安装摄像机5a、5b、6b，在该宽度方向移动台16上安装上下自由移动的工具3。

基板的倒角是在正反两面进行的，所以需要4个摄像机来计测两侧边的上下的加工尺寸。在本发明的倒角装置中，摄像机的设置个数相比最少必要个数多两个。假如想要在工作台的进给移动(正进给方向的相对移动)和返回移动(负进给方向的相对移动)的两个方向上进行工件的倒角加工时，需要也在工件的进给方向的上游侧设置观察工件的侧边部下表面的下部摄像机6a。因此，在该情况时，与现有构造相比增设了4个摄像机。

上游侧摄像机5a、6a和工具3按照与现有装置相同的位置关系设置。优选将下游侧摄像机5b、6b设置为使它们与工具3之间的进给方向的距离尽可能接近。但是，在加工工件1时，向工具3提供切削液(纯水)，所以需要使该切削液的水滴不残留在利用下游侧摄像机5b、6b观察的部分。因此，通常需要在工具3和下游侧摄像机5b、6b之间设置空气幕，以便切断切削液并去除附着在工件上的水滴。

在本发明的倒角装置中，利用上游侧上部摄像机5a读取设于工件上的定位标记，设定工作台的角度(在通过与进给移动量相关联的工具的宽度方向移动来设定角度时，指该宽度方向移动量)和工具的位置。然后，使工作台进行进给移动，同时进行倒角加工，在进行加工后马上利用下游侧摄像机5b、6b进行倒角尺寸的计测。因此，能够通过工件的1次相对进给(旁通及通过)进行工件的加工和加工尺寸的计测。

下部摄像机6(6a、6b)是观察工件的侧边部的下表面的摄像机，不一定配置在工件的下方。例如，能够采用如图3所示的构造，将下游侧上部摄像机5b和下部摄像机6b配置在工件1的侧边部上方的位置，并且使下部摄像机6b处于工件的宽度方向外侧的位置并朝下配置，利用配置在工作台2的工件承载面下方的倾斜45度的两个反射镜25、26，能够使下部摄像机6b的光轴19朝向工件1的侧边部的下表面。如图4所示，在倾斜设置下部摄像机6b的光轴以使其朝向宽度方向内侧时，也能够利用一个反射镜25使该光轴19朝向工件1的侧边部的下表面。

另外，在这种安装构造中，在下部摄像机6b的光轴19通过工作台2的上表面高度的位置处，配置用于使该光轴向工作台2的宽度方向内侧水平反射的半透半反镜28，在伴随工件尺寸改变的工作台2的换产调整时，也能够计测工作台上面(工件承载面)的高度。该情况时，关于下部摄像机6b是观察工件2的侧边部下表面、还是观察工作台2的侧面，能够通过使设于各个读取方向上的照明灯29、30亮灯、灭灯来进行选择。即，在使照明工件的侧边部下表面的灯29亮灯时，下部摄像机6b读取该下表面，在使照明工作台侧面的灯30亮灯时，下部摄像机6b读取工作台2的上面的高度。

在本发明的倒角装置中，在工作台2相对工具3通过1次时进行倒角加工及加工尺寸的计测。因此，不需要进行用于计测加工尺寸的工作台2的相对移动，即使对被加工的全部工件进行加工尺寸的计测，生产节拍也根本不会增加(计测速度比加工速度快的情况)、或者生产节拍的增加很小(计测速度比加工速度慢的情况，在该情况时，需要使加工速度与计测速度一致)，所以根本不会或几乎不会降低生产性，具有能够进行全部工件的加工尺寸的计测，能够在每加工一个工件时进行必要的校正值的设定，能够以较高的生产性进行高精度的倒角加工的效果。

附图说明

图1是表示第1实施例的主要机器结构的概况的立体图。

图2是表示工具及摄像机的安装构造的示意立体图。

图3是表示下游侧摄像机与工件的位置关系的正视图。

图4是表示下游侧摄像机与工件的另一种位置关系的正视图。

图5是表示第2实施例的主要机器结构的概况的立体图。

图6是表示第3实施例的主要机器结构的概况的立体图。

图7是表示定位标记与加工尺寸之间的关系的工件的局部放大俯视图。

图8是表示现有装置的主要机器结构的概况的立体图。

标号说明

1硬质脆性板；2工作台；3倒角工具；4标记；5a上游侧上部摄像机；5b上游侧下部摄像机；6b下游侧下部摄像机；25、26反射镜；28半透半反镜

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的几个优选实施方式。

图1～图3是表示本发明的倒角装置的第1实施例的图，图1是表示主要机器结构的概况的立体图，图2是表示工具及摄像机的安装构造的示意立体图，图3是表示下游侧摄像机与工件之间的位置关系的正视图。

在图中，11表示沿着未图示的y方向的导轨移动的工作台座，2a表示通过未图示的绕垂直轴旋转的旋转装置，安装在工作台座11上的圆台，2b表示安装在圆台2a的宽度方向(图中的X方向)两侧的沿进给方向的细长的侧台，该侧台被安装为相对于工作台座11沿宽度方向自由地接近或离开。两侧的侧台2b根据工件1的要加工的侧边8、9的间隔沿宽度方向移动，工件1的旋转及角度的设定是这样进行的，在圆台2a上升并略微高出侧台2b后，圆台2a旋转、并在旋转后下降，利用侧台2b来支撑工件1。关于具有这种圆台2a及其两侧的侧台2b的工作台2，本申请的申请人在日本特开2005-329471号公报中进行了详细公开。

在图2中，16表示宽度方向移动台。宽度方向移动台16被安装在立设于工作台2的宽度方向两侧的未图示的立柱上，并且两侧的部分能够分别独立地沿宽度方向移动。17表示被安装在宽度方向移动台16上的升降自如的升降台。工具3被安装在升降台17上。图中的工具3是由多个圆板砂轮构成的砂轮单元。18表示工具驱动电机。工具驱动电机18被固定在升降台17上。5a表示上游侧上部摄像机，5b表示下游侧上部摄像机，6b表示下游侧下部摄像机。摄像机5a、5b、6b被安装在宽度方向移动台16上并能够微调上下位置。

如图3所示，下游侧摄像机5b、6b被安装成为，在使宽度方向移动台16移动到工具3对工件1的侧边8、9进行加工的位置时，下游侧上部摄像机5b位于工件1的侧边部的上方，下游侧下部摄像机6b被安装在工件1的宽度方向外侧，并且位于偏离工件的侧边8、9的位置的上方。

25和26表示反射镜，其使下游侧下部摄像机6b的光轴19逐次折弯90度，使该光轴朝向工件1的侧边部下方，28表示半透半反镜，其被设置在下游侧下部摄像机的光轴19通过工作台2的上表面位置的高度处的位置，用于使该光轴19向朝向工作台2的侧面的方向折弯。29表示对工件1的侧边部下表面进行照明的下部灯，30表示对工作台2的侧面进行照明的侧灯。对工件1的侧边部上表面进行照明的灯使用内置于下游侧上部摄像机5b中的灯。这些反射镜25、26和半透半反镜28以及灯29、30被旋合安装在宽度方向移动台16上。

在图2中，31和32表示设于工具3和下游侧摄像机5b、6b之间的上部及下部空气喷嘴。空气喷嘴31、32将宽度方向外侧端固定在宽度方向移动台16上，并沿宽度方向内侧延伸。上部空气喷嘴31位于固定在工作台2上的工件1的上表面的上方，下部空气喷嘴32位于固定在工作台2上的工件1的下表面的下方。在上部空气喷嘴31的下表面和下部空气喷嘴32的上表面设有沿宽度方向较长的狭缝状的喷嘴孔。在工具3加工工件1的侧边时，空气呈膜状从喷嘴31、32喷出，形成将工具3与下游侧摄像机5b、6b及反射镜25、26之间切断的空气幕。

由按照未图示的数控控制器的指令值进行控制的伺服电机来驱动工作台座11的进给方向的移动动作、圆台2a的旋转动作、侧台2b的宽度方向移动动作、宽度方向移动台16的移动动作以及升降台17的升降动作。这些指令值能够利用在数控控制器的校正值存储器中设定的校正值进行校正，并提供给驱动各个动作的伺服电机。

在数控控制器中附设有图像处理装置，摄像机5a、5b、6b的预定定时的图像被读入到图像处理装置中，通过图像处理装置的图像处理来识别定位标记4、倒角线(倒角面与工件表面之间的交线)、工件的侧边8、9等，根据其坐标来运算指令值与计测值之差，运算使计测值与指令值一致的校正值，并设定在数控控制器的存储器中。

下面，说明图1～3所示的第1实施例的工件的加工及计测动作。

(1)利用上游侧上部摄像机5a读取沿宽度方向排列的两个定位标记4、4，根据读取到的标记位置，设定工作台2的绕垂直轴旋转的角度和工具3的宽度方向位置。

(2)使工作台2进行进给移动，同时进行第一相对边8、8的倒角加工。在工件的加工部伴随工作台2的进给移动到达下游侧摄像机5b、6b的位置后，根据在每个预先确定的预定位置的下游侧摄像机5b、6b的图像(如果是显示器用的基板，由于标注有表示计测位置的标记，所以在下游侧摄像机检测到该标记的位置读入其图像)，计测在该位置的加工尺寸。此时，能够利用上游侧摄像机5a来检测工件的边，计测第一相对边8、8的切割精度。

(3)在(2)的进给移动结束后，使圆台2a略微上升并旋转90度，以使在(1)的状态下沿进给方向排列的定位标记4、4在返回移动时的移动方向前侧沿宽度方向排列。

(4)利用下游侧上部摄像机5b读取沿宽度方向排列的两个定位标记4、4，根据读取到的标记位置数据，设定工作台2的绕垂直轴旋转的角度和工具3的宽度方向位置。

(5)进行快速返回移动。

(6)通过与(2)相同的动作，进行第二相对边9、9的倒角加工及加工尺寸的计测。与(2)相同，也能够计测第二相对边9、9的切割精度。

(7)在(6)的进给移动结束后，从工作台2上卸下工件，并进行快速返回移动，返回到下一个工件的接受位置。

(8)数控控制器根据在(2)(6)计测到的加工尺寸，更新在加工下一个工件时针对工作台2的角度和工具3的宽度方向位置及高度方向位置的指令值的校正值。

另外，在上述的动作中，在(1)和(4)进行两次定位标记的读取，但如果工作台2的旋转精度(也包括在旋转时工件在工作台上表面不偏移的情况)足够，也能够省略(4)的定位标记的读取。该情况时，在(2)的进给移动时，利用上游侧上部摄像机5a读取沿进给方向排列的两个定位标记4、4，并根据两者的间隔数据设定工具3的宽度方向位置。

图5是表示本发明的第2实施例的示意立体图(相当于图1的图)。第2实施例的构造与第1实施例的不同之处有两点，一个是在上游侧上部摄像机5a的下方位置设有上游侧下部摄像机6a，用于在工具3的上游侧观察工件1的侧边部下表面，另一个是工具3在进给移动时和返回移动时都能够进行倒角加工。

由安装在同一砂轮轴上的多个圆板砂轮构成的倒角工具3被设置成为，伴随工件1中与该工具接触部分的相对移动，工具深深地切入到工件中。因此，为了能够在进给移动时和返回移动时进行相同的加工，一般需要在工作台2的两侧分别设置使进给方向的朝向相反的两个工具，或者在进给移动时和返回移动时进行改变工具的倾斜度等的操作。

在该第2实施例的构造中，能够借助工作台2的往返一次的相对移动，进行工件1四边的倒角加工和加工尺寸的计测。即，

(1)与第1实施例的(1)的动作相同。即，利用上游侧上部摄像机5a读取定位标记4、4，设定工作台2的角度和工具3的宽度方向位置。

(2)与第1实施例的(2)的动作相同。即，使工作台2进行进给移动，同时进行第一相对边8、8的倒角加工，并利用下游侧摄像机5b、6b计测加工尺寸。也能够利用上游侧摄像机5a或6a计测切割精度。

(3)与第1实施例的(3)的动作相同。即，利用圆台2a使工件旋转90度。

(4)与第1实施例的(4)的动作相同。即，利用下游侧上部摄像机5b读取沿宽度方向排列的两个定位标记4、4，并设定工作台2的角度和工具3的宽度方向位置。

(5)使工作台2进行返回移动，同时进行第二相对边9、9的倒角加工。在工件的加工部伴随工作台2的进给移动到达上游侧摄像机5a、6a的位置后，根据在每个预先确定的预定位置的上游侧摄像机5a、6a的图像，计测在该位置的加工尺寸。此时，能够利用下游侧上部或下部摄像机5b、6b计测切割精度。

(6)在(5)的返回移动结束后，从工作台2上卸下工件，接受下一个工件。

(7)数控控制器根据在(2)、(5)计测到的加工尺寸，更新在加工下一个工件时针对工作台2的角度和工具3的宽度方向位置及高度方向位置的指令值的校正值。

根据第2实施例的装置的上述动作，与第1实施例相比，能够进一步缩短生产节拍。但是，存在以下不利之处：上游侧摄像机5a、6a和工具3由于宽度方向的移动机构等的缘故而分离开，需要多准备两个摄像机，而且工具3必须使用能够在正反两个方向进行加工的工具。

如图6所示，在沿工件的输送方向设置2台倒角装置，并在它们之间配置使工件旋转90度的旋转台20的结构中，如果倒角装置能够使用本发明的倒角装置，则能够实现所加工的全部工件的加工尺寸的计测，能够实现生产性极高的加工动作。关于该情况时的倒角装置，可以采用在上游侧只设置上部摄像机5a的第1实施例的构造，而且设有不具有旋转机构(在图6的示例中没有圆台2a)的工作台的倒角装置。

Claims (4)

1.一种硬质脆性板的倒角装置，其具有：工作台(2)，在其上表面固定保持硬质脆性板(1)；倒角工具(3)，其配置在该工作台的宽度方向的两侧；进给装置，其使所述工作台沿与所述宽度方向正交的方向即进给方向相对于该工具进行相对移动；以及上游侧上部摄像机(5a)，其读取在所述硬质脆性板的侧边部标注的定位标记(4)，该倒角装置根据该上游侧上部摄像机的标记读取数据，设定所述工具的宽度方向位置，接着使所述工作台沿进给方向相对移动，对所述硬质脆性板的边进行倒角加工，所述倒角装置的特征在于，

在所述上游侧上部摄像机的所述进给方向上隔着所述工具的相反侧设有下游侧上部摄像机(5b)和下游侧下部摄像机(6b)，该下游侧上部摄像机(5b)和下游侧下部摄像机(6b)读取利用所述工具加工后的所述硬质脆性板的侧边部的上表面和下表面，根据该下游侧摄像机(5b、6b)的摄像信号，在进行所述倒角加工时工作台相对移动时，在该刚刚加工后的位置进行加工尺寸的计测。

2.根据权利要求1所述的硬质脆性板的倒角装置，其中，在所述工具(3)、下游侧上部摄像机(5b)及下游侧下部摄像机(6b)之间形成有空气幕，该空气幕切断向该工具的加工位置提供的加工液。

3.根据权利要求1或2所述的硬质脆性板的倒角装置，其中，下游侧下部摄像机(6b)朝下配置在位于所述工作台上表面上方的下游侧上部摄像机(5b)的所述宽度方向外侧，具有使下游侧下部摄像机(6b)的光轴朝向所述硬质脆性板的侧边部的下表面的反射镜(25、26)。

4.根据权利要求3所述的硬质脆性板的倒角装置，其中，在所述光轴通过所述工作台上表面的高度的位置处，具有使该光轴向所述工作台侧水平反射的半透半反镜(28)。

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