CN108107612A - 一种超大型高精密面板测量仪器 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种超大型高精度面板测量仪器，具有工作台；其特征在于：所述工作台设置在底座上，所述工作台具有光学玻璃，所述光学玻璃下面安装有点光源，所述工作台的垂直方向上横置有龙门结构的X轴传动架，所述工作台的径向设有Y轴传动架，金相显微镜通过固定板竖直设置在X轴传动架上，所述X轴传动架和Y轴传动架的端部分别连接各自的伺服电机，所述金相显微镜的相机镜头正对有点光源，本发明的技术方案采用龙门移动式结构，双边支撑，横梁重量轻、采用金相显微镜盒水平镜头后误差小，同时减少对丝杆、导轨的磨损，长时间使用测量精度稳定。
Description
技术领域
本发明涉及一种精密仪器，尤其是涉及一种超大型高精密面板测量仪器。
背景技术
现有的液晶大型面板导电离子的观察和测量精度数据都是通过小型测量仪器进行，同时自动化程度低，其精度和结构不能满足大型面板的测量需求。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种结构移动方便，能够测量大型面板，且测量精度稳定的一种超大型高精度面板测量仪器。
实现本发明目的的技术方案是：一种超大型高精度面板测量仪器，具有工作台；其特征在于：所述工作台设置在底座上，所述工作台具有光学玻璃，所述光学玻璃下面安装有点光源，所述工作台的垂直方向上横置有龙门结构的X轴传动架，所述工作台的径向设有Y轴传动架，金相显微镜通过固定板竖直设置在X轴传动架上，所述X轴传动架和Y轴传动架的端部分别连接各自的伺服电机，所述金相显微镜的相机镜头正对有点光源。
更进一步的优化方案是所述的一种超大型高精度面板测量仪器，在所述X轴传动架上滑动设置有Z轴传动架，所述金相显微镜在所述Z轴传动架做上下移动，所述Z轴传动架的顶端电连接Z轴电机。
更进一步的优化方案是所述的一种超大型高精度面板测量仪器，所述X轴传动架包括X轴同步带、X轴限位块和下灯线轮，所述X轴同步带套接在下灯线轮上并带动Z轴传动架在工作台的X轴方向上移动。
更进一步的优化方案是所述的一种超大型高精度面板测量仪器，所述X轴传动架上还设有油墨标记，所述油墨标记靠近金相显微镜。
更进一步的优化方案是所述的一种超大型高精度面板测量仪器，所述X轴传动架的两边设有横梁立体支架，所述横梁立体支架的底部设置在Y轴传动架上并在所述工作台的Y轴上滑动，所述横梁立体支架上设有限位胶固定块。
更进一步的优化方案是所述的一种超大型高精度面板测量仪器，所述Z轴传动架上设有水平镜头，所述水平镜头用于观测两侧截面。
采用上述技术方案后，本发明具有以下积极的效果：
(1)本发明的技术方案采用龙门移动式结构，双边支撑，横梁重量轻、采用金相显微镜盒水平镜头后误差小，同时减少对丝杆、导轨的磨损，长时间使用测量精度稳定。
附图说明
为了使本发明的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明，其中
图1为本发明的结构示意图。
具体实施方式
(实施例1)
见图1所示，本发明具有一种超大型高精度面板测量仪器，具有工作台1；所述工作台1设置在底座2上，所述工作台1具有光学玻璃3，所述光学玻璃3下面安装有点光源4，所述工作台1的垂直方向上横置有龙门结构的X轴传动架5，所述工作台1的径向设有Y轴传动架6，金相显微镜7通过固定板竖直设置在X轴传动架5上，所述X轴传动架5和Y轴传动架6的端部分别连接各自的伺服电机，所述金相显微镜7的相机镜头10正对有点光源4。在所述X轴传动架5上滑动设置有Z轴传动架8，所述金相显微镜7在所述Z轴传动架8做上下移动，所述Z轴传动架8的顶端电连接Z轴电机9。
所述X轴传动架5包括X轴同步带51、X轴限位块52和下灯线轮53，所述X轴同步带51套接在下灯线轮53上并带动Z轴传动架8在工作台1的X轴方向上移动。
所述X轴传动架5上还设有油墨标记14，所述油墨标记14靠近金相显微镜7。
所述X轴传动架5的两边设有横梁立体支架12，所述横梁立体支架12的底部设置在Y轴传动架6上并在所述工作台1的Y轴上滑动，所述横梁立体支架13上设有限位胶固定块11。所述Z轴传动架8上设有水平镜头12，所述水平镜头12用于观测两侧截面。
本发明的工作原理为：该技术方案再龙门结构上加装金相显微镜以及水平镜头，通过XYZ 三轴端部的伺服电机，采用伺服控制系统，三轴具有快速移动及低速移动的模式，载物台下安装的有点光源保证了与显微镜物镜光轴同步移动的要求。
以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种超大型高精度面板测量仪器，具有工作台(1)；其特征在于：所述工作台(1)设置在底座(2)上，所述工作台(1)具有光学玻璃(3)，所述光学玻璃(3)下面安装有点光源(4)，所述工作台(1)的垂直方向上横置有龙门结构的X轴传动架(5)，所述工作台(1)的径向设有Y轴传动架(6)，金相显微镜(7)通过固定板竖直设置在X轴传动架(5)上，所述X轴传动架(5)和Y轴传动架(6)的端部分别连接各自的伺服电机，所述金相显微镜(7)的相机镜头(10)正对有点光源(4)。
2.根据权利要求1所述的一种超大型高精度面板测量仪器，其特征在于：在所述X轴传动架(5)上滑动设置有Z轴传动架(8)，所述金相显微镜(7)在所述Z轴传动架(8)做上下移动，所述Z轴传动架(8)的顶端电连接Z轴电机(9)。
3.根据权利要求1所述的一种超大型高精度面板测量仪器，其特征在于：所述X轴传动架(5)包括X轴同步带(51)、X轴限位块(52)和下灯线轮(53)，所述X轴同步带(51)套接在下灯线轮(53)上并带动Z轴传动架(8)在工作台(1)的X轴方向上移动。
4.根据权利要求1所述的一种超大型高精度面板测量仪器，其特征在于：所述X轴传动架(5)上还设有油墨标记(14)，所述油墨标记(14)靠近金相显微镜(7)。
5.根据权利要求1所述的一种超大型高精度面板测量仪器，其特征在于：所述X轴传动架(5)的两边设有横梁立体支架(12)，所述横梁立体支架(12)的底部设置在Y轴传动架(6)上并在所述工作台(1)的Y轴上滑动，所述横梁立体支架(13)上设有限位胶固定块(11)。
6.根据权利要求2所述的一种超大型高精度面板测量仪器，其特征在于：所述Z轴传动架(8)上设有水平镜头(12)，所述水平镜头(12)用于观测两侧截面。
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