CN101954790B - 清扫单元、具有它的处理液涂敷装置和利用它的清扫方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种清扫单元、具有它的处理液涂敷装置和利用它的清扫方法。清扫单元具有刮板和固定构件。刮板为板形，刮掉残存在喷出处理液的喷头的处理液喷出面上的处理液。固定构件与刮板连接，固定刮板的位置。刮板为板形，其形状容易改变，可以使刮板与残存在喷出面上的处理液的接触面积最小。由此，清扫单元可以提高清扫效率、降低制造成本。

Description

清扫单元、具有它的处理液涂敷装置和利用它的清扫方法

技术领域

本发明涉及在基板上涂敷药液的喷墨方式的处理液涂敷装置，更详细地说，涉及清扫喷出处理液的喷嘴的清扫单元、具有它的处理液涂敷装置和利用它的清扫方法。 

背景技术

显示影像的液晶显示装置由蒸镀了多种薄膜的两块基板和夹在两块基板之间的液晶层构成。通常，由于在各基板上形成的薄膜具有多种形状的图案，所以为了保证图案的精密度，通过蒸镀工序和光刻工序来形成。为了这样地形成一个薄膜，由于利用使用昂贵的掩膜的光刻工序，所以提高了制造成本，增加了制造工序的时间。 

最近，作为代替这样的薄膜形成方法的方案，使用了利用喷墨打印方式的薄膜形成方法。喷墨打印方式由于在基板的特定位置上涂敷药液形成薄膜，所以不需要另外的蚀刻工序。这样的喷墨打印方式可以在形成液晶显示装置的彩色滤光片或定向膜等中使用。 

通常，喷墨打印装置具有在基板上涂敷药液的喷头以及清扫喷头的第一清扫单元和第二清扫单元。喷头具有喷出药液的多个喷嘴，把药液涂敷在基板的特定位置上。通常，在喷墨打印装置中使用的药液的粘性高、挥发性强，容易凝固。特别是在涂敷药液后，药液可以残留在喷嘴的喷出口周围，这样的残留药液凝固在喷出口的周围，会堵塞喷嘴的喷出口，或者在此后涂敷药液时，涂敷在基板上，从而形成不均匀的膜。 

为了防止这种情况，第一清扫单元和第二清扫单元清扫多个喷嘴，从而提高产品的成品率。第一清扫单元刮掉残存在喷头的药液喷出面上的药液，从而第一次去除上述药液喷出面上的药液，第二清扫单元以物理的方式擦拭药液喷出面，去除药液喷出面上的药液。具体地说，第一清扫单元具有刮板，刮板把药液喷出面上的药液刮掉。第二清扫单元具有擦拭件，擦拭件与药液喷出面接触，擦掉药液。 

特别是当刮板在刮掉药液的过程中与喷嘴碰撞时，为了防止损坏喷嘴，刮板要由柔软材料构成。这样的柔软材料的表面摩擦系数高，难以把表面加工成平坦面。因此，即使在由第一清扫单元进行第一次清扫后，在药液喷出面上仍附有很多药液，所以在第二次清扫时，增加了擦拭件的使用量。此外，附在刮板上端部的药液难以流到刮板的下端部，并且加工单价增加，难以更换。 

专利文献1：日本专利公开公报特开2006－248102号 

墨打印部的立体图[0009] 此外，本发明的目的是提供一种具有上述清扫单元的药液涂敷装置。 

此外，本发明的目的是提供一种利用上述清扫单元对药液涂敷装置的喷嘴进行清扫的清扫方法。 

按照用于实现上述本发明目的的一个特征的清扫单元，其具有刮板和固定构件。 

刮板为板形，刮掉残存在喷出处理液的喷头的处理液喷出面上的处理液。固定构件连接所述刮板，固定所述刮板的位置。 

具体地说，所述固定构件包括第一固定部和第二固定部。第一固定部配置成与所述刮板的一个面相对。第二固定部设置成夹着所述刮板与所述第一固定部相对，与所述第一固定部连接，把所述刮板固定在所述第一固定部上。 

所述固定构件还包括：至少一个连接构件，插入所述第二固定部，并与所述刮板的一个面相接，把所述刮板紧密固定在所述第一固定部上；所述第二固定部形成有插入孔，该插入孔与所述连接构件对应形成，所述连接构件插入所述插入孔。 

此外，所述刮板还可以包括涂层。涂层涂敷在所述基底板的外面，由合成树脂材料构成。 

另一方面，所述刮板包括基底板，该基底板由压缩纸（圧縮紙）材料构成。 

此外，所述刮板还可以包括涂层。涂层涂敷在所述基底板的外面，由合成树脂材料构成。 

此外，按照用于实现上述本发明目的的一个特征的处理液涂敷装置，其具有基板支承构件、至少一个喷头、第一清扫单元以及第二清扫单元。 

对象物放置在基板支承构件上。喷头在放置于所述基板支承构件上的对象物上涂敷处理液。第一清扫单元刮掉残存在所述喷头的处理液喷出面上的处理液。第二清扫单元擦掉残存在所述处理液喷出面上的处理液。 

具体地说，所述第一清扫单元包括刮板。刮板为板形，刮掉残存在所述处理液喷出面上的处理液。 

所述第一清扫单元还可以包括固定构件。固定构件与所述刮板连接，固定所述刮板的位置。 

所述固定构件包括：第一固定部，配置成与所述刮板的一个面相对；以及第二固定部，设置成夹着所述刮板与所述第一固定部相对，与所述第一固定部连接，把所述刮板固定在所述第一固定部上。 

所述固定构件还包括：至少一个连接构件，插入所述第二固定部，并与所述刮板的一个面相接，把所述刮板紧密固定在所述第一固定部上；所述第二固定部形成有插入孔，该插入孔与所述连接构件对应形成，所述连接构件插入所述插入孔。 

所述第一固定部由对所述磁性有反应的材料构成，所述连接构件包括：主体，该主体具有：支承头，尺寸比所述插入孔大；以及连接柱，从所述支承头延长并插入到所述插入孔中；以及磁性部，插入所述连接柱的内部，具有磁性，一个面与所述刮板的一个面相接，利用与所述第一固定部之间形成的磁力，把所述刮板紧密固定在所述第一固定部上。 

此外，按照用于实现上述本发明目的的一个特征的药液涂敷装置的清扫方法如下所述。首先，用固定构件固定板形的刮板。然后，把喷出处理液的喷头配置在所述刮板的上部。然后，所述刮板在配置成与所述喷头的处理液喷出面垂直的状态下，刮掉残存在所述处理液喷出面上的处理液。 

所述固定构件包括：第一固定部，配置成与所述刮板的一个面相对；以及第二固定部，设置成夹着所述刮板与所述第一固定部相对，与所述第一固定部连接，把所述刮板固定在所述第一固定部上。 

所述固定构件还包括：至少一个连接构件，插入所述第二固定部，并与所述刮板的一个面相接，把所述刮板紧密固定在所述第一固定部上；所述第二固定部形成有插入孔，该插入孔与所述连接构件对应形成，所述连接构件插入所述插入孔。 

所述第一固定部由对所述磁性有反应的材料构成，所述连接构件包括：主体，该主体具有：支承头，尺寸比所述插入孔大；以及连接柱，从所述支承头延长并插入到所述插入孔中；以及磁性部，插入所述连接柱的内部，具有磁性，一个面与所述刮板的一个面相接，利用与所述第一固定部之间形成的磁力，把所述刮板紧密固定在所述第一固定部上。 

从而，在所述用固定构件固定板形刮板的步骤中，在把所述刮板配置在位置固定的所述固定构件的第一固定部上的状态下，使所述固定构件的第二固定部夹着所述刮板以能够装拆的方式与所述第一固定部连接，把所述刮板固定在所述第一固定部上。 

按照本发明，由于刮板为板形，其形状容易改变，所以可以使刮板与残存在喷出面上的处理液的接触面积最小。由此，清扫单元可以提高清扫效率，并且可以降低制造成本。 

图1是简要表示本发明一个实施方式的薄膜形成装置的立体图。 

图2是表示图1所示的喷墨打印部的立体图。 

图3是表示图2所示的喷墨打印部的俯视图。 

图4是表示图2所示的第一清扫单元的局部分解立体图。 

图5是表示图4所示的第一清扫单元的俯视图。 

图6是表示图5所示的固定构件和刮板的局部分解立体图。 

图7是表示图6所示的刮板的俯视图。 

图8是沿图7的剖切线I-I’剖切的剖视图。 

图9是表示在去除处理液时，图6所示的刮板和第一喷头的位置关系的侧视图。 

图10是表示图6所示的刮板的另一个例子的图。 

图11是表示在去除处理液时，图10所示的刮板和第一喷头的位置关系的侧视图。 

图12是表示图6所示的第一固定部的另一个例子的图。 

图13是表示图2所示的第一清扫单元清扫第一喷头组件和第二喷头组件的过程的流程图。 

图14是表示在去除处理液时，图6所示的刮板和第一喷头的配置关系的图。 

附图标记说明 

100 喷墨打印部 

200 处理液供给部 

300 装料部 

400 卸料部 

500 分度器(インデクサ)部 

600 烘干部 

700 主控制部 

具体实施方式

下面，参照附图对本发明优选的实施方式进行更详细的说明。下面，作为处理液涂敷装置，以用于形成液晶显示装置的彩色滤光片的喷墨打印装置为一个例子进行说明，但处理液涂敷装置除了彩色滤光片以外也可以形成各种各样的薄膜，可以广泛用于形成液晶显示装置以外的多种装置中的薄膜或特定图案。 

图1是简要表示本发明一个实施方式的薄膜形成装置的立体图。 

参照图1，薄膜形成装置1000可以包括喷墨打印部100、处理液供给部200、装料部300、卸料部400、分度器部500、烘干部600以及主控制部700。 

喷墨打印部100在基板上涂敷处理液，例如涂敷RGB墨水，从而在基板上形成彩色滤光片。在该实施方式中，所述喷墨打印部100涂敷RGB墨水，形成彩色滤光片。可是，所述喷墨打印部100除了RGB墨水以外也可以涂敷其它多种处理液，由此，可以在基板上形成与处理液对应的薄膜，例如可以在基板上形成定向膜等多种薄膜。 

所述主控制部700设置在所述喷墨打印部100的一侧，控制所述喷墨打印部100的工序条件，所述喷墨打印部100按照所述主控制部700的控制进行涂敷工序。 

所述处理液供给部200设置在所述喷墨打印部100的一侧。所述处理液供给部200贮存用所述喷墨打印部100在基板上进行涂敷的处理液，并向所述喷墨打印部100提供所述处理液。在该实施方式中，所述处理液供给部200分别贮存所述RGB墨水，使它们的颜色不相互混合。 

在所述喷墨打印部100的另一侧并排设置有：所述装料部300，从外部提供并装载处于工序等待中的基板；以及所述卸料部400，装载在所述薄膜形成装置1000中完成了工序的基板。 

所述装料部300和所述卸料部400设置在所述分度器部500的一侧，所述装料部300和所述卸料部400隔着所述分度器部500与所述喷墨打印部100相对。所述分度器部500与所述喷墨打印部100、所述装料部300、所述卸料部400以及烘干部600连通，在所述喷墨打印部100、所述装料部300、所述卸料部400以及烘干部600之间传送基板。 

具体地说，所述分度器部500具有传送基板的传送机械手(图中没有表示)，所述传送机械手把基板从所述装料部300拉出，传送给所述喷墨打印部100。如果在所述喷墨打印部100完成了向所述基板涂敷RGB墨水，则所述传送机械手就把形成有彩色滤光片的基板从所述喷墨打印部100拉出，传送给所述烘干部600。所述烘干部600对被拉入的基板进行加热，使在所述基板上形成的薄膜硬化，也就是使彩色滤光片硬化，由此，利用薄膜形成装置1000完成了薄膜形成工序。所述传送机械手在把完成了工序的基板从所述烘干部600拉出后，传送给所述卸料部400。利用送回装置把装载在所述卸料部400上的基板输送到外部。 

以上简要地对薄膜形成装置1000的结构进行了说明，下面，参照附图对所述喷墨打印部100进行具体地说明。 

图2是表示图1所示的喷墨打印部的立体图，图3是表示图2所示的喷墨打印部的俯视图。 

参照图2和图3，所述喷墨打印部100可以包括载物台110、基板支承部120、龙门架(Gantry)130、第一喷头组件140a、第二喷头组件140b、第一喷头移动部151、第二喷头移动部152、第一清扫单元160以及第二清扫单元170。 

在所述载物台110上设置有用于涂敷所述处理液的设备，即，设置有基板支承部120、龙门架130、第一喷头组件140a、第二喷头组件140b、第一喷头移动部151、第二喷头移动部152、第一清扫单元160以及第二清扫单元170。在述载物台110上设置有沿所述载物台110的一个边延长的中央导轨111，所述基板支承部120连接在所述中央导轨111上。所述基板支承部120支承涂敷所述处理液的基板，可以沿所述中央导轨111移动。此外，所述基板支承部120可以设置有支承台，所述支承台放置所述基板，并设置成能够转动，在涂敷处理液的工序时，把所述基板固定在所述支承台上。 

另一方面，所述载物台110可以具有第一导轨112a和第二导轨112b，它们设置成隔着所述中央导轨111相互相对。所述第一导轨112a和第二导轨112b分别在与所述中央导轨111相同的第一方向D1上延长而形成，具有与在所述第一方向D1上延长的所述载物台110的一个边大体相同的长度。 

所述龙门架130连接在所述第一导轨112a和第二导轨112b上。所述龙门架130的两个端部分别连接在所述第一导轨112a和第二导轨112b上，可以沿所述第一导轨112a和第二导轨112b水平移动。 

所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b固定设置在所述龙门架130上。在所述龙门架130水平移动时，设置在所述龙门架130上的第一喷头组件140a和第二喷头组件140b也一起移动，由此，可以使所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b的位置在所述第一方向D1 上变化。 

所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b由所述处理液供给部200提供所述处理液，向固定在所述基板支承台120上的基板喷出所述处理液。在该实施方式中，所述喷墨打印部100有两个喷头组件140a、140b，但所述喷头组件140a、140b的个数可以根据工序效率和喷头组件140a、140b的大小增加或减少。 

所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b并排配置在所述第一方向D1上，位于相互隔开的位置上。在该实施方式中，所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b具有相同的结构。因此下面对所述第一喷头组件140a的结构进行具体说明，省略对所述第二喷头组件140b的具体说明。 

所述第一喷头组件140a具有第一喷头141a、第二喷头142a和第三喷头143a，所述第一喷头141a、第二喷头142a和第三喷头143a在第二方向D2上并排配置，所述第二方向D2与所述第一方向D1在水平方向上垂直，所述第一喷头141a、第二喷头142a和第三喷头143a分别具有喷出处理液的多个喷嘴。 

在该实施方式中，所述第一喷头组件140a具有三个喷头141a、142a、143a，但所述喷头141a、142a、143a的个数可以根据工序效率和处理液的种类增加或减少。 

所述第一喷头141a、第二喷头142a和第三喷头143a分别喷出具有相互不同颜色的墨水，在所述基板上形成彩色滤光片。具体地说，所述第一喷头141a喷出红色的R墨水，所述第二喷头142a喷出绿色的G墨水，所述第三喷头143a喷出蓝色的B墨水。其中，所述第一喷头141a、第二喷头142a和第三喷头143a的墨水排列可以根据所述彩色滤光片的颜色像素的排列而改变。 

所述各喷头141a、142a、143a能够以各喷头141a、142a、143a的中心轴为基准转动。 

在涂敷所述处理液的工序时，所述第一喷头141a、第二喷头142a和第三喷头143a可以同时喷出墨水，也可以一次仅任意一个喷头喷出墨 水。此外，所述第一喷头141a、第二喷头142a和第三喷头143a也可以交替喷出墨水。 

此外，在涂敷所述处理液的工序时，所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b可以同时驱动，从所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b同时喷出墨水，所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b也可以交替喷出墨水。此外，也可以首先驱动第一喷头组件140a和第二喷头组件140b中的任意一个喷头组件涂敷墨水后，如果提供给该喷头组件的墨水全部耗尽，则再驱动剩下的喷头组件涂敷墨水。 

另一方面，所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b固定设置在第一喷头移动部151上，在所述第一喷头移动部151上具有在所述第二方向D2上延长的第一移动导轨。所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b连接在相互不同的第一移动导轨上，可以沿连接的第一移动导轨在所述第二方向D2上往复移动。其中，所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b的各喷头可以单独沿连接的第一移动导轨移动。 

所述第一喷头移动部151固定设置在所述第二喷头移动部152上，在所述第二喷头移动部152上设置有第二移动导轨(图中没有表示)。所述第二移动导轨在与所述第一方向D1和第二方向D2垂直的第三方向D3上延长，即，在与所述载物台110的上表面垂直的第三方向D3上延长。所述第一喷头移动部151连接在所述第二移动导轨上，可以沿所述第二移动导轨在上/下方向(第三方向D3)上往复移动。所述第二喷头移动部152固定设置在所述龙门架130上。在所述龙门架130上设置有沿所述第二方向D2延长的第三移动导轨。所述第二喷头移动部152连接在所述第三移动导轨上，可以沿所述第三移动导轨在所述第二方向D2上往复移动。 

这样，所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b利用所述龙门架130、所述第一喷头移动部151和第二喷头移动部152，可以沿所述第一方向D1、第二方向D2及第三方向D3移动。即，所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b利用所述龙门架130的水平移动，可以在所述第一方向D1上移动，利用第二喷头移动部152的移动，可以在所述第二方向D2上移动，利用所述第一喷头移动部151的移动，可以在所述第三 方向D3上移动。此外，所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b的各喷头可以沿对应的第一移动导轨在所述第二方向D2上移动。 

在涂敷所述处理液的工序时，所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b可以边利用所述第一喷头移动部151、第二喷头移动部152及所述龙门架130移动，边向所述基板涂敷墨水。此外，也可以是所述基板支承台120沿所述中央导轨111在所述第一方向D1上移动，所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b仅在所述第二方向D2和第三方向D3上移动，来涂敷墨水。 

另一方面，维护修复区域位于所述载物台110的所述中央导轨111和所述第二导轨112b之间，在维护修复区域中设置有第一清扫单元160和第二清扫单元170。 

所述第一清扫单元160刮掉残存在所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b上的墨水。对所述第一清扫单元160结构的说明将通过后面叙述的图4至图12进行具体说明。 

在所述第一清扫单元160一侧设置所述第二清扫单元170。所述龙门架130位于初始位置时，第二清扫单元170隔着所述第一清扫单元160与所述龙门架130相互相对。所述第二清扫单元170擦掉附在所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b的各喷嘴上的墨水，提高产品的成品率。其中，所述第二清扫单元170可以对通过所述第一清扫单元160进行了第一次清扫的喷嘴进行第二次清扫，也可以对没有由所述第一清扫单元160清扫过的喷嘴进行清扫。 

所述第二清扫单元170可以包括供给辊、回收辊以及擦拭件(wiper)。具体地说，所述供给辊和所述回收辊通过所述擦拭件连接。所述擦拭件为带状，第一端部被固定在所述供给辊上，第二端部被固定在所述回收辊上。在清扫所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b时，所述擦拭件与从所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b的各喷头的喷出墨水的喷出面接触，擦掉残留在所述各喷头上的墨水。所述擦拭件在被卷在所述供给辊上的状态下进行提供，因清扫所述喷嘴而被污染的部分被卷入到所述回收辊上。即，所述供给辊提供没有污染的擦拭件，所述 回收辊回收被污染的擦拭件。 

下面，参照附图对第一清扫单元160的结构进行具体说明。 

图4是表示图2所示的第一清扫单元的局部分解立体图，图5是表示图4所示的第一清扫单元的俯视图。 

参照图4和图5，所述第一清扫单元160可以包括主框架161、清洗罐162、上部框架163、多个刮板164以及多个固定构件168。 

具体地说，所述主框架161为四边形，上面开口，并且侧面的一部分开口。所述清洗罐162设置在所述主框架161的内部，所述清洗罐162回收由所述刮板164去除的墨水。 

所述上部框架163设置在所述主框架161和所述清洗罐162的上部。所述上部框架163与所述主框架161的上端部连接，是如所述主框架161那样的四边形，上面和下面开口。 

所述多个刮板164以相等的间隔分开设置在所述上部框架163的内部，刮掉残存在所述各喷头的喷出面上的处理液，所述处理液例如是墨水。在该实施方式中，所述第一清扫单元160有六个刮板164，但所述刮板164的个数可以根据所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b(参照图2)具有的喷头个数而增加。 

所述多个刮板164被设置成与所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b的喷头一一对应，其配置也与所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b的喷头配置相同。即，所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b以相互相对的方式并排配置，各喷头组件140a、140b的喷头配置在与所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b的配置方向垂直的方向上。同样，所述刮板在所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b的配置方向上以每列三个的方式配置成两列。 

在该实施方式中，根据所述第一喷头141a、第二喷头142a及第三喷头143a之间隔开的距离设定位于同一列的刮板之间隔开的距离，所述多个刮板164可以同时清扫第一喷头组件140a具有的第一喷头141a、第二喷头142a及第三喷头143a。 

利用所述多个固定构件168把所述多个刮板164固定设置在所述上部框架163上。所述多个固定构件168被设置成与所述多个刮板164一一对应，与对应的刮板连接。所述刮板164和所述固定构件168各自的结构、所述刮板164与所述固定构件168之间的连接关系通过后面叙述的图6至图12进行说明。 

所述第一清扫单元160还可以包括清洗喷嘴169，该清洗喷嘴169清洗所述清洗罐162。所述清洗喷嘴169并排配置在所述清洗罐162的上端内侧，通过清洗液供给口162a供给清洗液，清洗所述清洗罐162的内部。即，从所述清洗喷嘴169喷出的清洗液沿所述清洗罐162内壁流动，使残存在所述清洗罐162内壁上的异物排到外部，例如使从所述刮板164流入到所述清洗罐162中的墨水排到外部。其中，在所述清洗罐162的下端部可以具有排气口162b，该排气口162b把流入所述清洗罐162内部的异物向外部排出，可以在所述排气口162b中提供用于把异物吸入的排气压力。 

下面，参照附图对所述刮板164和所述固定构件168进行具体说明。 

图6是表示图5所示的固定构件和刮板的局部分解立体图，图7是表示图6所示的刮板的俯视图，图8是沿图7的剖切线I-I’剖切的剖视图。 

参照图6至图8，所述刮板164为板形，刮掉残存在对应的喷头的喷出面上的处理液，所述处理液例如是墨水。在该实施方式中，所述刮板164为四边形，但所述刮板164的形状不限于此，可以是多种多样的形状。 

所述刮板164可以包括：基底板61；以及涂层62，涂敷在所述基底板61的表面从而保护所述基底板61。所述基底板61由形状加工容易、总能保持一定的形状并且可以弯折的材料构成，例如由压缩纸材料构成。这样，由于所述刮板164由便宜的压缩纸材料构成，所以可以降低成本，并且即使与对应的喷头的喷出面碰撞，也可以使对应的所述喷头的损伤最小。 

所述涂层62的化学稳定性好，具有耐药液性能，由表面摩擦系数比 所述压缩纸低的合成树脂材料构成，所述合成树脂例如是聚丙烯(Polypropylene)或聚乙烯(Polyethylene)。由此，附在所述刮板164上的墨水容易沿所述刮板164向下流动，容易流入所述清洗罐162(参照图4)，所以可以提高清扫效率。 

作为本发明的一个例子，所述刮板164可以具有约0.2mm至约1mm的厚度。 

在该实施方式中，所述刮板164由基底板61和涂层62构成，但也可以仅由所述基底板61构成。在所述刮板164仅由所述基底板61构成的情况下，可以把所述刮板164的厚度减小到比具有所述涂层62的情况下的小。 

图9是表示在去除处理液时，图6所示的刮板和第一喷头的位置关系的侧视图。在图9中仅表示了所述第一喷头组件140a(参照图2)的第一喷头141a和与其对应的刮板164之间的位置关系，各喷头和与其对应的刮板之间的位置关系与此相同。 

参照图9，在去除残存在各喷头的喷出面上的墨水时，所述第一喷头组件140a的所述第一喷头141a利用所述龙门架130(参照图2)的移动，配置在对应的刮板164的上部。 

在所述第一喷头141a的下表面设置有喷出墨水的多个喷嘴41，所述刮板164被配置成与所述喷嘴41的喷出面41a垂直。在去除所述喷出面41a上的墨水20时，为了防止因所述刮板164造成所述喷出面41a的损伤，所述刮板164的第一端部位于与所述喷出面41a隔开的位置，与残存在所述喷出面41a上的墨水20接触。即，所述刮板164在与所述喷出面41a不接触的状态下，仅接触所述墨水20，去除所述喷出面41a上的墨水20。 

在该实施方式中，所述刮板164与所述喷出面41a之间隔开的距离T1为约0.3mm至约0.1mm。 

此外，在该实施方式中，与所述墨水20接触的所述刮板164的第一端部被配置成与所述喷出面41a垂直。 

所述刮板164包括第一导向面64a、第二导向面64b以及去除面64c。 所述第一导向面64a和第二导向面64b相互相对，且配置成与所述喷出面41a垂直。所述去除面64c位于所述第一导向面64a和第二导向面64b之间，与所述第一导向面64a和第二导向面64b基本垂直，由平坦的面构成。所述去除面64c位于所述刮板164的第一端部，在去除所述墨水20时，与所述喷出面41a的墨水20接触。 

在去除所述喷出面41a上的墨水20时，所述第一喷头141a在所述墨水20与所述刮板164的第一端部接触的状态下水平移动，所述喷出面41a上的墨水20由于表面张力被所述刮板164的第一端部牵引，被从所述喷出面41a去除。此时，所述第一喷头141a的行进方向HD为从所述第一导向面64a一侧向所述第二导向面64b一侧行进的方向。 

由于所述刮板164为板形，所以可以使与所述墨水20的接触面积最小，由此，为了使所述刮板164与所述墨水20的接触面积最小，没有必要把所述去除面64c加工成倾斜面，就可以提高清扫效率。 

图10是表示图6所示的刮板的另一个例子的图，图11是表示在去除处理液时，图10所示的刮板和第一喷头的位置关系的侧视图。 

参照图10和图11，图10所示的刮板180除了在清扫所述喷嘴41时与残存在所述喷出面41a上的墨水20接触的第一端部182的形状以外，具有与图6至图9所示的刮板164相同的结构和形状。因此下面在对所述刮板180的具体说明中，省略了与图6所示的刮板164重复的说明。 

在清扫所述喷嘴41时，所述刮板180被配置成与所述喷出面41a垂直，所述第一端部182被向所述刮板的一个面弯折，以相对于所述刮板180的一个面倾斜的方式设置。在该实施方式中，所述第一端部182与在所述第一端部182的弯折方向上与所述第一端部182连接的所述刮板180的一个面所成的角度CA为大于90度且小于180度。 

在去除所述喷出面41a上的墨水20时，所述第一喷头141a在所述墨水20与所述刮板180的第一端部182接触的状态下水平移动，所述喷出面41a的墨水20由于表面张力被所述刮板180的第一端部182牵引，被从所述喷出面41a去除。此时，所述刮板180被配置成所述第一端部182的弯折方向与所述第一喷头141a的行进方向HD相反。由此，在清 扫所述喷嘴41时，附在所述第一端部182上的墨水20靠重力与所述刮板180分离，落到所述清洗罐162(参照图4)内。由此可以提高所述刮板180的清扫效率。 

再参照图5和图6，所述刮板164连接在所述固定构件168上，所述刮板164的位置被固定。所述固定构件168被固定设置在所述上部框架163上，可以包括第一固定部165和第二固定部166。所述第一固定部165可以是板状，配置成与所述刮板164相互相对，固定设置在所述上部框架163上。在该实施方式中，所述第一固定部165可以与所述上部框架163设置成一体，也可以分开设置。 

所述第二固定部166被配置成与所述第一固定部165相互相对，夹着所述刮板164与所述第一固定部165连接，从而把所述刮板164固定在所述第一固定部165上。在所述固定构件168和所述刮板164连接时，所述刮板164被配置成第一端部比所述第一固定部165和第二固定部166的上端部更向上突出。 

所述第二固定部166还可以具有导向杆166a，该导向杆166a设置于在横向上相互相对的两个端部上。所述导向杆166a从所述第二固定部166突出，引导与所述第一固定部165及所述刮板164的连接位置。在该实施方式中，所述第二固定部166有两个导向杆165a，但所述导向杆165a的个数可以根据所述固定构件168的大小和连接效率增加或减少。 

在所述刮板164上形成有多个贯通孔164a，所述导向杆166a可以插入该贯通孔164a。所述多个贯通孔164a配置成在垂直方向上相互分隔开，分别在与所述刮板164的所述第一端部相邻的两个端部上形成。在该实施方式中，所述刮板164在所述两个端部分别形成三个贯通孔164a，但所述贯通孔164a的个数可以根据所述固定构件168的大小和连接效率增加或减少。 

所述导向杆166a插入所述刮板164的垂直排列的贯通孔中的任意一个贯通孔中，根据所述导向杆166a插入的贯通孔的位置，来改变所述刮板164相对于所述第一固定部165和第二固定部166的相对的垂直位置。 

另一方面，在所述第一固定部165上形成有连接孔165a，所述导向 杆166a可以插入该连接孔165a，所述连接孔165a形成为与所述导向杆166a一一对应。所述导向杆166a顺序贯通所述多个贯通孔164a中的任意一个以及对应的连接孔165a，插入到该贯通孔164a和连接孔165a中。 

所述固定构件168还可以包括多个连接构件167，该多个连接构件167把所述刮板164紧密固定在所述第一固定部165上。在该实施方式中，所述固定构件168具有两个连接构件167，所述连接构件167的个数可以根据连接效率增加或减少。 

所述连接构件167插入所述第二固定部166中，与所述刮板164的一个面相接，所述第二固定部166形成有插入孔166b，该插入孔166b与所述连接构件167一一对应，所述连接构件167能够插入该插入孔166b。 

具体地说，所述连接构件167可以包括支承头167a、连接柱167b以及磁性部167c。所述支承头167a的尺寸比所述插入孔166b的尺寸大，所述连接柱167a从所述支承头167a延长，插入到所述插入孔166b中。所述磁性部167c插入到所述连接柱167b的内部，具有磁性，一个面与所述刮板164的一个面相接。所述磁性部167c利用与所述第一固定部165之间形成的磁力，把所述刮板164紧密固定在所述第一固定部165上。在该实施方式中，所述第一固定部165为了与所述连接构件167之间形成磁力，由对磁性有反应的材料构成，例如由不锈钢材料构成。 

这样，所述固定构件168利用所述连接构件167的磁性使所述第一固定部165和第二固定部166相互连接，所以容易组装。 

可以在所述连接柱167b的表面形成螺纹，在所述第二固定部166的所述插入孔166b的内周面上，可以形成与所述连接柱167b的螺纹对应的螺纹。由此，所述连接柱167b的螺纹与所述插入孔166b的螺纹相互啮合连接。 

图12是表示图6所示的第一固定部的另一个例子的图。 

参照图6和图12，第一固定部190可以包括：固定主体191，与第二固定部166连接；以及金属层192，在所述固定主体191的一个面上形成。所述金属层192与所述刮板164相互相对，由对所述磁性有反应的 金属材料构成，例如由不锈钢材料构成。由此，在所述连接构件167的磁性部167c与所述金属层192之间产生磁力。 

在该实施方式中，所述金属层192在所述固定主体191的一个面上形成，向外部露出，但也可以装在所述固定主体191的内部。 

下面，参照附图对所述第一清扫单元160清扫第一喷头组件140a和第二喷头组件140b的喷出面的过程进行具体说明。 

图13是表示图2所示的第一清扫单元160清扫第一喷头组件140a和第二喷头组件140b的过程的流程图，图14是表示在去除处理液时，图6所示的刮板与第一喷头的配置关系的图。 

参照图2、图5、图13和图14，首先，所述固定构件168把所述刮板164固定设置在所述上部框架163内(S110)。 

此后，使所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b配置在所述第一清扫单元160的上部(S120)。 

所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b水平移动，伴随与此，所述刮板164刮掉残存在对应的喷头的喷出面上的药液(S130)。此时，如图14所示，所述刮板164配置成：所述刮板164与在对应的喷头的长度方向上延长的任意线所成的角度为大于0度且小于90度。 

如果完成了由所述第一清扫单元160进行的第一次清扫，则用所述第二清扫单元170对所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b进行清扫(S140)。 

在该实施方式中，由所述第一清扫单元160进行的清扫可以在完成了把墨水涂敷在一块基板上后进行，在工序等待时间长的情况下，也可以进行由所述第一清扫单元160进行的清扫，用于去除在各喷嘴内部凝固的墨水。 

另一方面，如果所述刮板164对所述第一喷头组件140a和第二喷头组件140b的清扫反复进行了预先设定的次数，则把因清扫所述喷出面而被污染的部分去除后再利用(S150)。即，由于所述刮板164的形状容易改变，并且容易切除被污染的部分，所以可以把被污染的部分切除后 再使用。如果切除了所述被污染的部分，则所述刮板164的高度变低，所以要变更所述导向杆166a插入的贯通孔。 

以上，参照实施方式进行了说明，但可以理解的是：本领域的技术人员在不脱离本发明权利要求所记载的本发明的思想和领域的范围内，可以对本发明进行各种各样的修改和变更。 

Claims (21)

1.一种清扫单元，其特征在于包括：

刮板，为板形，刮掉残存在喷出处理液的喷头的处理液喷出面上的处理液；以及

固定构件，与所述刮板连接，固定所述刮板的位置，

所述固定构件包括：

第一固定部，配置成与所述刮板的一个面相对；

第二固定部，设置成夹着所述刮板与所述第一固定部相对，与所述第一固定部连接，把所述刮板固定在所述第一固定部上；以及

至少一个连接构件，插入所述第二固定部，并与所述刮板的一个面相接，把所述刮板紧密固定在所述第一固定部上，

其中，所述第二固定部形成有插入孔，该插入孔与所述连接构件对应形成，所述连接构件插入所述插入孔，

所述第一固定部由对磁性有反应的材料构成，

所述连接构件包括：

主体，该主体具有：支承头，尺寸比所述插入孔大；以及连接柱，从所述支承头延长并插入到所述插入孔中；以及

磁性部，插入所述连接柱的内部，具有磁性，一个面与所述刮板的一个面相接，利用与所述第一固定部之间形成的磁力，把所述刮板紧密固定在所述第一固定部上。

2.根据权利要求1所述的清扫单元，其特征在于，

所述第一固定部包括：

固定主体，与所述第二固定部连接；以及

金属层，连接在所述固定主体上，与所述刮板相对，由对所述磁性有反应的金属材料构成。

3.根据权利要求1所述的清扫单元，其特征在于，

所述连接柱的表面形成有螺纹，

在所述插入孔的内周面上形成有与所述连接柱的螺纹对应的螺纹。

4.根据权利要求1所述的清扫单元，其特征在于，

所述刮板具有至少一个贯通孔，

所述第一固定部和所述第二固定部中的至少任意一个具有连接孔，

剩余的一个包括至少一个导向部，该导向部从一个面突出，顺序贯通所述贯通孔和所述连接孔，并插入到所述贯通孔和所述连接孔中。

5.根据权利要求4所述的清扫单元，其特征在于，

所述刮板具有多个所述贯通孔，

多个所述贯通孔配置成在垂直方向上相互分隔开。

6.根据权利要求1所述的清扫单元，其特征在于还包括：

上部框架，固定设置所述第一固定部；以及

清洗罐，设置在所述上部框架之下，回收用所述刮板去除的处理液。

7.根据权利要求1所述的清扫单元，其特征在于，所述刮板以与在所述喷头的长度方向上延长的任意的线成比0度大且比90度小的角度倾斜的方式配置。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的清扫单元，其特征在于，

所述刮板包括：

第一导向面和第二导向面，它们相互相对，且被配置成与所述喷头的处理液喷出面垂直；以及

去除面，位于所述第一导向面和所述第二导向面之间，与所述第一导向面和所述第二导向面基本垂直，由平坦的面构成，在去除所述处理液喷出面上的处理液时，与所述处理液接触。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的清扫单元，其特征在于，所述刮板被设置成：刮掉残存在所述处理液喷出面上的处理液的一个端部向所述刮板的一个面弯折，相对于所述刮板的所述一个面倾斜。

10.根据权利要求1至7中任一项所述的清扫单元，其特征在于，所述刮板包括基底板，该基底板由压缩纸材料构成。

11.根据权利要求10所述的清扫单元，其特征在于，所述刮板还包括涂层，该涂层涂敷在所述基底板的外面，由合成树脂材料构成。

12.根据权利要求11所述的清扫单元，其特征在于，所述合成树脂材料是聚丙烯或聚乙烯。

13.一种处理液涂敷装置，其特征在于包括：

基板支承构件，放置对象物；

至少一个喷头，在放置于所述基板支承构件上的对象物上涂敷处理液；

第一清扫单元，刮掉残存在所述喷头的处理液喷出面上的处理液；以及

第二清扫单元，擦掉残存在所述处理液喷出面上的处理液，

其中，所述第一清扫单元包括

刮板，该刮板为板形，把残存在所述处理液喷出面上的处理液刮掉；

固定构件，与所述刮板连接，固定所述刮板的位置，

所述固定构件包括：

第一固定部，配置成与所述刮板的一个面相对；

第二固定部，设置成夹着所述刮板与所述第一固定部相对，与所述第一固定部连接，把所述刮板固定在所述第一固定部上，以及

至少一个连接构件，插入所述第二固定部，并与所述刮板的一个面相接，把所述刮板紧密固定在所述第一固定部上，

其中，所述第二固定部形成有插入孔，该插入孔与所述连接构件对应形成，所述连接构件插入所述插入孔，

所述第一固定部由对磁性有反应的材料构成，

所述连接构件包括：

主体，该主体具有：支承头，尺寸比所述插入孔大；以及连接柱，从所述支承头延长并插入到所述插入孔中；以及

磁性部，插入所述连接柱的内部，具有磁性，一个面与所述刮板的一个面相接，利用与所述第一固定部之间形成的磁力，把所述刮板紧密固定在所述第一固定部上。

14.根据权利要求13所述的处理液涂敷装置，其特征在于，所述刮板包括基底板，该基底板由压缩纸材料构成。

15.根据权利要求14所述的处理液涂敷装置，其特征在于，所述刮板还包括涂层，该涂层涂敷在所述基底板的外面，由合成树脂材料构成。

16.一种处理液涂敷装置的清扫方法，其特征在于包括：

用固定构件固定板形刮板的步骤；

在所述刮板的上部配置喷出处理液的喷头的步骤；以及

所述刮板在被配置成与所述喷头的处理液喷出面垂直的状态下，刮掉残存在所述处理液喷出面上的处理液的步骤，

其中，所述固定构件包括：

第一固定部，配置成与所述刮板的一个面相对；

第二固定部，设置成夹着所述刮板与所述第一固定部相对，与所述第一固定部连接，把所述刮板固定在所述第一固定部上，以及

至少一个连接构件，插入所述第二固定部，并与所述刮板的一个面相接，把所述刮板紧密固定在所述第一固定部上，

其中，所述第二固定部形成有插入孔，该插入孔与所述连接构件对应形成，所述连接构件插入所述插入孔，

所述第一固定部由对磁性有反应的材料构成，

所述连接构件包括：

主体，该主体具有：支承头，尺寸比所述插入孔大；以及连接柱，从所述支承头延长并插入到所述插入孔中；以及

磁性部，插入所述连接柱的内部，具有磁性，一个面与所述刮板的一个面相接，利用与所述第一固定部之间形成的磁力，把所述刮板紧密固定在所述第一固定部上，

从而，在所述用固定构件固定板形刮板的步骤中，在把所述刮板配置在位置固定的所述固定构件的第一固定部上的状态下，使所述固定构件的第二固定部夹着所述刮板以能够装拆的方式与所述第一固定部连接，把所述刮板固定在所述第一固定部上。

17.根据权利要求16所述的处理液涂敷装置的清扫方法，其特征在于，

在所述刮板上形成有贯通孔，

在所述第一固定部和所述第二固定部中的至少任意一个上形成有连接孔，

在剩余的一个上形成有至少一个导向部，该导向部从一个面突出，

所述导向部顺序贯通所述贯通孔和所述连接孔，并插入所述贯通孔和所述连接孔中，调节所述刮板与所述第一固定部和所述第二固定部之间的连接位置。

18.根据权利要求17所述的处理液涂敷装置的清扫方法，其特征在于，

在所述刮板上形成有多个所述贯通孔，多个所述贯通孔配置成在垂直方向上相互分隔开，

所述刮板在把因清扫所述处理液喷出面而被污染的部分切除后能够再利用，

切除所述被污染的部分后，在再利用所述刮板时，通过改变所述导向部所插入的所述贯通孔，保持所述处理液喷出面与所述刮板之间隔开适当的距离。

19.根据权利要求16至18中任一项所述的处理液涂敷装置的清扫方法，其特征在于，所述刮板被配置成：刮掉残存在所述处理液喷出面上的处理液的第一端部与所述处理液喷出面垂直。

20.根据权利要求16至18中任一项所述的处理液涂敷装置的清扫方法，其特征在于，所述刮板被设置成：刮掉残存在所述处理液喷出面上的处理液的第一端部向所述刮板的一个面弯折，相对于所述刮板的所述一个面倾斜。

21.根据权利要求20所述的处理液涂敷装置的清扫方法，其特征在于，

在去除所述处理液时，所述喷头在所述刮板的上部水平移动，

在去除所述处理液时，所述第一端部的弯折方向与所述喷头的移动行进方向相反。

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