[go: up one dir, main page]

CN101887160A - 用于大口径空间光学反射镜加工的支撑系统 - Google Patents

用于大口径空间光学反射镜加工的支撑系统 Download PDF

Info

Publication number
CN101887160A
CN101887160A CN2010102145609A CN201010214560A CN101887160A CN 101887160 A CN101887160 A CN 101887160A CN 2010102145609 A CN2010102145609 A CN 2010102145609A CN 201010214560 A CN201010214560 A CN 201010214560A CN 101887160 A CN101887160 A CN 101887160A
Authority
CN
China
Prior art keywords
support
detection
catoptron
base plate
strong point
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2010102145609A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101887160B (zh
Inventor
黄启泰
余景池
张耀明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Suzhou University
Original Assignee
Suzhou University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Suzhou University filed Critical Suzhou University
Priority to CN 201010214560 priority Critical patent/CN101887160B/zh
Publication of CN101887160A publication Critical patent/CN101887160A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101887160B publication Critical patent/CN101887160B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
  • Telescopes (AREA)

Abstract

本发明公开了一种用于大口径空间光学反射镜加工的支撑系统，包括加工支撑装置、检测支撑装置和转换机构(2)。转换机构安装在加工支撑底板(1)的上面并支撑检测支撑装置；检测支撑框架(8)的底板上安装浮动主动支撑机构(6)，并开有刚性支撑杆穿过孔(4)和重锤穿过孔(7)；刚性支撑杆(3)通过刚性支撑杆穿过孔在反射镜加工时支撑工件；检测时，由转换机构将检测支撑装置托起，由浮动主动支撑机构支撑工件。本发明采用相互独立可调的支撑方式和支撑结构，可根据所需要加工的反射镜的自身特点设计方案并进行各支撑点处支撑力的精确调整，能够将反射镜因重力变形造成的面形误差调整到空间使用可接受的状态，大大减小了地面检测误差。

Description

用于大口径空间光学反射镜加工的支撑系统
技术领域
本发明涉及一种大口径光学反射镜在加工和检测中的支撑技术，属于超精密光学加工及检测领域。
背景技术
随着光学技术的发展，被加工光学反射镜的口径不断增加，反射镜的支撑设计和实施成为一个非常重要的技术环节，这是因为在重力作用下反射镜自身的变形将直接影响到镜面面形，而当这样的变形达到一定程度后会对检测和加工造成很大影响并直接影响最终的镜面成像质量。
目前常用的大口径光学镜面支撑方式主要有单列多列支撑、多点支撑。
单列支撑是指将圆形光学反射镜水平放置在一个很窄的圆柱形支撑环上，支撑环的半径小于等于光学反射镜半径。反射镜是完全“自由”的放置在支撑环上，是一种被动支撑的支撑方式。研究表明，支撑环位于反射镜半径2/3的处为最佳支撑位置。而当单列支撑不能满足镜面变形要求时则可采用多列支撑，如将三列支撑环分别设置在光学反射镜1/3环带、2/3环带和边缘处时，它们各自承担了镜子总重量的0.253，0.484和0.263。这种支撑方式下支撑位置并不是均布的，支撑环带之间易发生局部重力变形，难以满足完全卸载重力的要求。
多点支撑是采用多个支撑点承担反射镜的重力，如三点支撑、六点支撑、九点支撑等。众所周知，不在同一直线上的三点可以支撑任何形状的表面，如果再加上第四个支撑点则需要进行精确调整，这非常困难。所以最简单的支撑方式是将反射镜直接放置在三个刚性支撑点上，对于轴对称光学反射镜可以将三个支撑点均布在同一圆周上。事实上，三个刚性支撑点仅可起到定位作用，如全部用于承担反射镜重力则很难保证其变形量控制在可接受范围内。若在三个固定支撑点上分别安装三角形托架，托架和固定支撑点之间采用球头铰链连接并在托架的每个顶点上设置指点，那么就可变成两层3×3＝9点的支撑。以此类推可以扩展成27点、81点等多点支撑。这种结构简单明了，性能也较稳定，但是其缺点是一旦系统确定(支撑结构和反射镜确定)各支撑点上支撑力的分布就已经确定，无法进行干预，对于局部大变形无法校正，也是一种被动支撑设计。
上述支撑方法在地基望远镜的大口径光学镜面制造中均实现了成功应用，但未见成功用于空间反射镜加工的相关文献，其原因在于被动支撑方式支撑力由系统自动分配无法人为干预，因此很难使光学反射镜的受力状态接近于零重力状态，局部大变形难以校正。
综上所述，相互独立的多点支撑虽可以自由排布支撑点位置和施加支撑力大小，合理校正各区域局部变形但是调整复杂，在系统处于平衡状态下无法承受加工压力，给加工带来困难。另一种多点支撑设计是将所有支撑点都安装在同一层上，相互独立，利用杠杆原理将支撑点和重物设置在杠杆的两端，通过改变重物端力臂实现调整支撑点处的支撑力，每个支撑点处的支撑力均独立可调。这种支撑方式在支撑点的排布和支撑力的调整上比较灵活，但是其缺点也非常明显即系统达到力学平衡状态后施加任何外力均会破坏平衡状态，因而无法承受加工工具的压力，不适用加工。
同时，由于反射镜镜面的加工取决于检测，因此设计合理的检测支撑并有效实施显得尤为重要。对于光学反射镜来说，最佳的支撑设计应该是能够实现加工、检测和实际应用采用相同的支撑方案，即能够将上述三种状态的外部环境进行统一。地基望远镜主反射镜的加工检测和使用状态比较容易统一，但是天基空间光学系统则无法实现，这是因为空间反射镜是在太空失重或微重力环境中工作的，空间和地面的力学环境完全不同。从某种意义上来说地基光学系统的反射镜只要能够保证检测和使用的支撑状态基本一致即可保证完成加工的面形和实际使用中面形的一致性，对镜面本身的变形控制并不需要非常严格，而要实现地面完成加工后的反射镜面形和进入太空后面形保持一致就必须通过精确的支撑卸力来保证，其技术难度远大于地基光学系统。
发明内容
本发明的目的是改变目前大口径光学反射镜加工的支撑方式所存在的局限性，提供一种用于空间大口径光学反射镜加工中能有足够的支撑力承受加工压力，检测时基本消除重力变形接近空间失重的受力状态的支撑系统。
为达到上述发明目的，本发明采用的技术方案是：提供一种用于大口径空间光学反射镜加工的支撑系统，包括由加工支撑底板和刚性支撑杆组成的加工支撑装置，还包括检测支撑装置和转换机构；所述的检测支撑装置包括检测支撑框架和浮动主动支撑机构；检测支撑框架的底板上安装浮动主动支撑机构，底板上还开有刚性支撑杆穿过孔和重锤穿过孔；检测支撑装置由转换机构支撑，安装在加工支撑装置的上部，刚性支撑杆通过刚性支撑杆穿过孔在大口径空间光学反射镜加工时支撑工件；转换机构固定安装在加工支撑底板的上面，在大口径空间光学反射镜检测时将检测支撑装置托起，由浮动主动支撑机构支撑工件。
所述的检测支撑装置，其检测支撑框架的底板上安装浮动主动支撑机构的方法包括如下步骤：
(1)确定三个支撑点作为固定支撑点对大口径空间光学反射镜进行检测定位，该三点在同一圆周上均布，支撑力相等；
(2)初步确定其它各浮动支撑点的位置，各浮动支撑点的支撑力为等力均布，按∑Fn+3Fz＝G，其中：Fn为每个浮动支撑点的支撑力，Fz为三个固定支撑点处的支撑力，G为反射镜受到的重力，得到待加工反射镜的初始边界条件；
(3)将确定的待加工反射镜的初始边界条件采用有限元分析方法，得到初始支撑状态下的镜面变形结果；
(4)按分布在同一圆周上支撑点的支撑力相同的方法，调整浮动支撑点数量、支撑位置和各支撑点的支撑力，对待加工反射镜的初始边界条件进行迭代优化处理，得到待加工反射镜的最终边界条件。
所述的转换机构为三个安装在检测支撑框架的底板下的液压千斤顶及控制系统。
所述的浮动主动支撑机构包括浮动支撑点、杠杆臂、重锤和微调螺母。
与现有技术相比，本发明具有以下明显的优点：
1、本发明在检测支撑装置中采用了相互独立可调的支撑方式和支撑结构，可根据所需要加工的反射镜的自身特点设计方案并进行各支撑点处支撑力的精确调整，能够将反射镜因重力变形造成的面形误差调整到空间使用可接受的状态，大大减小了地面检测误差。
2、本发明采用两套支撑子系统组成，可分别实现检测支撑和加工支撑，并可在两套子系统间快速转换，在保证加工精度的前提下大大提高了转换效率和转换安全性。
3、采用本发明所提供的支撑系统，在加工与检测的转换过程中，反射镜的位置仅沿检测光路光轴方向发生平移，因此检测光路无需反复调整即可达到检测要求，大大提高检测效率。
附图说明
图1是本发明实施例提供的一种用于大口径空间光学反射镜加工的支撑系统的结构剖面示意图；
其中，1、加工支撑底板；2、转换机构；3、刚性支撑杆；4、支撑杆穿过孔；5、浮动支撑点；6、浮动主动支撑机构；7、重锤穿过孔；8、检测支撑框架。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明作进一步描述。
实施例一：
参见附图1，它是本实施例提供的一种用于大口径空间光学反射镜加工的支撑系统的结构剖面示意图。由图1可以看到，反射镜工件检测和加工分别采用两套子支撑系统，刚性支撑杆3安装在加工支撑底板1上，组成加工支撑装置，该装置采用刚性被动支撑，用于提供支撑力承担加工压力；检测支撑框架8和浮动主动支撑机构6，组成检测支撑装置，检测支撑框架8的底板上安装浮动主动支撑机构6，其中的三个支撑点为固定支撑点，它们在同一圆周上呈均匀分布，支撑力相等；底板上还开有刚性支撑杆穿过孔4和重锤穿过孔7；检测支撑装置采用浮动主动支撑，由浮动支撑点5支撑工件，用于卸载重力消除变形；两套支撑装置通过转换机构实现在不改变反射镜放置状态的情况下相互之间的快速转换，在本实施例中，转换机构采用3个液压千斤顶2，固定安装在加工支撑底板1上，同时，将检测支撑框架8固定其上并托起，由控制系统控制其运动，刚性支撑杆3通过刚性支撑杆穿过孔4在大口径空间光学反射镜加工时支撑工件；转换机构在工件检测时将检测支撑装置托起，由浮动主动支撑机构6支撑工件。本支撑系统可实现加工支撑与检测支撑状态的自动转换，大大提高了转换效率。
加工支撑的设计主要考虑各区域承受加工压力的能力，支撑点需要均布并采用刚性支撑，由于重力变形对加工本身的影响很小，在设计时可完全不考虑。将加工支撑装置的刚性支撑杆穿过检测支撑装置的支撑框架并通过转换机构将刚性支撑底板和支撑框架连接而组成整套支撑系统。
检测支撑装置以三个固定支撑点作为反射镜定位点，其他支撑点相互独立提供支撑力，支撑点的排布和施力大小通过有限元计算进行预分析，要求实现镜面变形量PV≤λ/20(λ为632.8nm氦氖激光波长)。检测支撑装置采用浮动主动支撑机构，为杠杆可调式支撑，包括浮动支撑点5、杠杆臂、重锤和微调螺母，确保各支撑点处的支撑力均精确可调。支撑框架底面镂空设计，检测支撑框架8的底座上开有支撑杆穿过孔4和重锤穿过孔7，以便悬挂重锤和允许加工支撑的刚性支撑杆通过。
转换机构是一套稳定的升降系统，通过升降检测子系统实现两套支撑装置的相互转换。反射镜检测时，转换机构将检测支撑装置升起，由检测支撑机构实现对反射镜的支撑，这种状态下可消除重力变形的影响，获得准确的面形检测结果；加工时将检测支撑装置放下，由加工支撑装置承接反射镜的支撑并提供足够的刚性，可承受加工压力。
具体实施步骤如下：
1、加工支撑装置的设计、加工和装配
(1)根据反射镜背面轻量化结构和检测支撑点排布，设计刚性支撑点的排布位置，由于不需考虑变形问题，所以支撑点位置的排布以均布为原则。
(2)加工完成支撑底板和刚性支撑杆，并将支撑杆安装在底板相应位置。
2、检测支撑装置的设计、加工和装配
(1)根据所需要加工的空间反射镜的背面轻量化结构，按照圆周分布初步设计支撑点位置及支撑点处的支撑力，在其中选取同一圆周上呈均布的三个支撑点，它们的支撑力相等，作为固定支撑点对反射镜进行定位，其它支撑点作为浮动支撑点，浮动支撑点也根据反射镜背面轻量化结构按照环形分布在不同圆周上。支撑点处的施力原则为：∑Fn+3Fz＝G，其中Fn为各浮动支撑点的支撑力，Fz为三个固定支撑点处的支撑力，G为反射镜受到的重力。初始条件下各浮动支撑点支撑力按照等力均布，得到待加工反射镜的初始边界条件(受力和约束)。
(2)将上述反射镜的初始边界条件采用有限元处理软件进行建模，并进行分析处理，获得初始支撑状态下的镜面变形结果。根据镜面变形情况，通过调整支撑点数量、支撑位置和各支撑点的支撑力，对支撑方案进行优化。支撑方案的优化遵循三个原则：
a.同一圆周上的支撑点支撑力相同；
b.变形量大的区域增加该区域支撑点的数量和支撑力，变形量小的区域减小该区域的支撑点数量和支撑力；
c.轻量化后的反射镜的面密度不均匀，面密度大的区域增加支撑力，面密度小的区域减小支撑力。
(3)根据上述原则和优化方向对反射镜的支撑方案进行多次优化计算，直到支撑方案可满足要求的变形量为止。
(4)设计检测支撑结构和支撑框架，并进行两者装配。
3、将加工支撑底板稳妥安装在干涉仪检测塔底部，将三个液压升降千斤顶安120°均布安装在底板上，再将检测支撑框架稳妥安置再千斤顶升降杆上。至此支撑系统组装完成。根据有限元分析结果，将检测支撑装置上各支撑点处的支撑力调整到设计要求。
4、降下检测支撑装置，将反射镜按照设定角度放置于加工支撑刚性支撑杆上，该状态下可对反射镜进行加工。缓慢均匀升起三个液压千斤顶，使各支撑点均接触反射镜背面逐渐提供支撑力知道反射镜完全脱离加工支撑装置，此时反射镜进入检测状态。通过升降检测支撑装置可以实现检测支撑和加工支撑状态的快速转换。
将本支撑系统用于口径1m左右的空间反射镜加工和检测支撑并取得了良好的效果。
反射镜口径为1.07m，微晶材料，中间开有通光孔，并进行了轻量化处理，背面共加工了156个不等深度的轻量化孔，轻量化率达到50％以上。具体参数见表1。
表1  非球面反射镜参数
  口径   材料   密度(T/mm3)   质量(kg)   泊松比   弹性模量
  1070mm   微晶   2.52e-9   188.8   0.4   9e4Gpa
利用机械制图软件(如CATIA)建立反射镜几何模型，并采用有限元方法进行处理(如软件PATRAN)，采用十节点四面体单元进行模型的网格离散化。模型共产生共有22万余节点，13万余个单元。
针对该反射镜模型，初步设计30点支撑、42点支撑、48点支撑和54点支撑，将各支撑点规划在不同圆周上，并调整不同支撑方式下各支撑点的支撑力进行大量的有限元仿真计算和对比。
根据三点确定一平面的原则，在有限元模型中，选取圆周对称的三点作为固定约束点，约束反射镜三个方向的自由度，其他支撑点处通过施加静力来卸载反射镜重力。施力原则为：
∑Fn+3Fz＝G
其中Fn为各浮动支撑点的支撑力，Fz为三个固定支撑点处的支撑力，G为反射镜受到的重力。
分别对上述四种支撑点数量的支撑设计在等力支撑工况下进行有限元计算和分析，施力分布及计算结果如下：
1、反射镜镜底面30点支撑
支撑分布情况：
支撑点分布在4个圆周上，350上6处，
Figure BSA00000185852100082
570上6处，
Figure BSA00000185852100083
790上6处，
Figure BSA00000185852100084
1,010上12处，浮动支撑点施力61.4N。
计算结果：
镜面最大形变  1.21e-4mm
镜面最小形变  6.03e-5mm
镜面PV值      6.07e-5mm
2、反射镜底面42点支撑
支撑分布情况：
支撑点分布在5个圆周上，
Figure BSA00000185852100085
430上6处，
Figure BSA00000185852100086
600上6处，
Figure BSA00000185852100087
815上6处，
Figure BSA00000185852100088
850上6处，
Figure BSA00000185852100089
1,010上18处，浮动支撑点施力43.9N。
计算结果：
镜面最大形变  6.98e-5mm
镜面最小形变  1.40e-5mm
镜面PV值      5.58e-5mm
3、反射镜底面45点支撑
支撑分布情况：
支撑点分布在6个圆周上，
Figure BSA000001858521000810
350上6处，
Figure BSA000001858521000811
430上3处
Figure BSA000001858521000812
600上6处，815上6处，
Figure BSA000001858521000814
850上6处，
Figure BSA000001858521000815
1,010上18处，浮动支撑点施力40.9N。
计算结果：
镜面最大形变    3.91e-5mm
镜面最小形变    1.22e-5mm
镜面PV值        2.69e-5mm
4、反射镜底面51处支撑
支撑分布情况：
支撑点分布在7个圆周上，
Figure BSA000001858521000816
350上6处，430上6处，
Figure BSA000001858521000818
600上6处，
Figure BSA000001858521000819
815上6处，
Figure BSA000001858521000820
850上6处，
Figure BSA000001858521000821
890上3处，
Figure BSA000001858521000822
1,010上18处，浮动支撑点施力36.1N。
计算结果：
镜面最大形变    7.03e-5mm
镜面最小形变    9.38e-6mm
镜面PV值        6.09e-5mm
将上述几种工况进行比较见表2：
表2  几种支撑工况下的镜面变形比较
  支撑点数量   镜面最大变形   镜面最小变形   镜面PV值
  30   1.21e-4mm   6.03e-5mm   6.07e-5mm
  42   6.98e-5mm   1.40e-5mm   5.58e-5mm
  45   3.91e-5mm   1.22e-5mm   2.69e-5mm
  51   7.03e-5mm   9.38e-6mm   6.09e-5mm
由上述结果比较可知，增加支撑点有利于改善重力对镜面面形的影响。但当增加到一定数量后由于对各浮动点施加的支撑力逐渐变小，在局部区域不能有效卸载主镜自身重力，镜面变形量反而出现了变大差趋势，因此我们需要选取最优化的支撑点数量和支撑力大小的组合使面形得到有效改善，满足要求。
经有限元计算优化，最终采取如下支撑方案：
Figure BSA00000185852100091
350圆周6点支撑，
Figure BSA00000185852100092
430圆周3点支撑，
Figure BSA00000185852100093
600圆周6点支撑，
Figure BSA00000185852100094
815圆周6点支撑，
Figure BSA00000185852100095
850圆周6点支撑，其中三个固定支撑点位于
Figure BSA00000185852100096
850圆周，各圆周上浮动支撑点施力39.57牛顿，
Figure BSA00000185852100097
1010圆周上18点支撑，各浮动支撑点上施力43牛顿，反射镜剩余重力由三个固定支撑点承担。计算镜面PV值为1.21e-5mm。
方案确定后，根据反射镜自身结构设计支撑框架和支撑点支撑机构。支撑点处的支撑机构采用杠杆重锤原理，通过调整重锤质量和尾部旋钮位置可以精确调整各支撑点上的支撑力。支撑框架和支撑点支撑机构组装成检测支撑装置。
口径1.07m空间反射镜在该加工检测支撑系统中完成最终的表面面形修抛，面形精度达到RMS1/40λ(＝632.8nm)。

Claims (4)

1.一种用于大口径空间光学反射镜加工的支撑系统，包括由加工支撑底板和刚性支撑杆组成的加工支撑装置，其特征在于：它还包括检测支撑装置和转换机构(2)；所述的检测支撑装置包括检测支撑框架(8)和浮动主动支撑机构(6)；检测支撑框架(8)的底板上安装浮动主动支撑机构(6)，底板上还开有刚性支撑杆穿过孔(4)和重锤穿过孔(7)；检测支撑装置由转换机构(2)支撑，安装在加工支撑装置的上部，刚性支撑杆(3)通过刚性支撑杆穿过孔(4)在大口径空间光学反射镜加工时支撑工件；转换机构(2)固定安装在加工支撑底板(1)的上面，在大口径空间光学反射镜检测时将检测支撑装置托起，由浮动主动支撑机构(6)支撑工件。
2.根据权利要求1所述的一种用于大口径空间光学反射镜加工的支撑系统，其特征在于：所述的检测支撑装置，其检测支撑框架的底板上安装浮动主动支撑机构的方法包括如下步骤：
(1)确定三个支撑点作为固定支撑点对大口径空间光学反射镜进行检测定位，该三点在同一圆周上均布，支撑力相等；
(2)初步确定其它各浮动支撑点的位置，各浮动支撑点的支撑力为等力均布，按∑Fn+3Fz＝G，其中：Fn为每个浮动支撑点的支撑力，Fz为三个固定支撑点处的支撑力，G为反射镜受到的重力，得到待加工反射镜的初始边界条件；
(3)将确定的待加工反射镜的初始边界条件采用有限元分析方法，得到初始支撑状态下的镜面变形结果；
(4)按分布在同一圆周上支撑点的支撑力相同的方法，调整浮动支撑点数量、支撑位置和各支撑点的支撑力，对待加工反射镜的初始边界条件进行迭代优化处理，得到待加工反射镜的最终边界条件。
3.根据权利要求1所述的一种用于大口径空间光学反射镜加工的支撑系统，其特征在于：所述的转换机构为三个安装在检测支撑框架的底板下的液压千斤顶及控制系统。
4.根据权利要求1或2所述的一种用于大口径空间光学反射镜加工的支撑系统，其特征在于：所述的浮动主动支撑机构(6)包括浮动支撑点(5)、杠杆臂、重锤和微调螺母。
CN 201010214560 2010-06-30 2010-06-30 用于大口径空间光学反射镜加工的支撑系统 Expired - Fee Related CN101887160B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201010214560 CN101887160B (zh) 2010-06-30 2010-06-30 用于大口径空间光学反射镜加工的支撑系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201010214560 CN101887160B (zh) 2010-06-30 2010-06-30 用于大口径空间光学反射镜加工的支撑系统

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101887160A true CN101887160A (zh) 2010-11-17
CN101887160B CN101887160B (zh) 2012-12-05

Family

ID=43073145

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 201010214560 Expired - Fee Related CN101887160B (zh) 2010-06-30 2010-06-30 用于大口径空间光学反射镜加工的支撑系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101887160B (zh)

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102103257A (zh) * 2011-01-28 2011-06-22 中国科学院高能物理研究所 同步辐射曲边聚焦镜重力协弯联合最大适用范围设计方法
CN102103256A (zh) * 2011-01-28 2011-06-22 中国科学院高能物理研究所 同步辐射梯形垂直聚焦镜重力协弯联合最小像展设计方法
CN102262281A (zh) * 2011-08-02 2011-11-30 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种空间遥感器反射镜的柔性支撑机构
CN102416590A (zh) * 2011-10-28 2012-04-18 中国科学院光电技术研究所 一种大口径轻质反射镜柔性限位支撑装置及安装方法
CN103278909A (zh) * 2012-12-28 2013-09-04 清华大学 用于组装变形镜的装置
CN103344209A (zh) * 2013-06-27 2013-10-09 北京空间机电研究所 一种反射镜零重力面形测试方法
CN104062740A (zh) * 2014-06-06 2014-09-24 苏州华徕光电仪器有限公司 一种反射镜背部支撑结构
CN104062742A (zh) * 2014-06-09 2014-09-24 苏州华徕光电仪器有限公司 一种大口径反射镜下倾状态支撑结构
CN106371190A (zh) * 2015-07-23 2017-02-01 肖特股份有限公司 用于全面支承工件的整体支撑件
CN106646818A (zh) * 2017-02-28 2017-05-10 南京航空航天大学 半主动式反射镜面支承和定位系统
CN107765388A (zh) * 2017-11-28 2018-03-06 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种光机用反重力微调作动装置
CN108227234A (zh) * 2017-12-28 2018-06-29 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种单自由度自适应平衡装配机构
CN109798840A (zh) * 2019-02-26 2019-05-24 中国科学院光电技术研究所 在拼接干涉仪中检测透镜面形的检测装置
CN111077633A (zh) * 2020-01-06 2020-04-28 北京卫星环境工程研究所 一种金属反射镜柔性吊装机构及面形保持机构
CN113322445A (zh) * 2021-06-01 2021-08-31 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种大口径基底镀膜工装
CN116500748A (zh) * 2023-04-28 2023-07-28 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种反射镜重力卸载机构

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS572002A (en) * 1980-06-04 1982-01-07 Nippon Sheet Glass Co Ltd Reflector unit
CN101236288A (zh) * 2007-11-30 2008-08-06 北京空间机电研究所 空间观测光学遥感器特大口径可展开主镜精密锁定装置
CN101470257A (zh) * 2007-12-28 2009-07-01 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 一种轻质反射聚光器及制作方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS572002A (en) * 1980-06-04 1982-01-07 Nippon Sheet Glass Co Ltd Reflector unit
CN101236288A (zh) * 2007-11-30 2008-08-06 北京空间机电研究所 空间观测光学遥感器特大口径可展开主镜精密锁定装置
CN101470257A (zh) * 2007-12-28 2009-07-01 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 一种轻质反射聚光器及制作方法

Cited By (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102103257A (zh) * 2011-01-28 2011-06-22 中国科学院高能物理研究所 同步辐射曲边聚焦镜重力协弯联合最大适用范围设计方法
CN102103256A (zh) * 2011-01-28 2011-06-22 中国科学院高能物理研究所 同步辐射梯形垂直聚焦镜重力协弯联合最小像展设计方法
CN102103257B (zh) * 2011-01-28 2012-05-09 中国科学院高能物理研究所 获得同步辐射曲边聚焦镜重力协弯联合最大适用范围的方法
CN102262281A (zh) * 2011-08-02 2011-11-30 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种空间遥感器反射镜的柔性支撑机构
CN102262281B (zh) * 2011-08-02 2012-09-19 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种空间遥感器反射镜的柔性支撑机构
CN102416590A (zh) * 2011-10-28 2012-04-18 中国科学院光电技术研究所 一种大口径轻质反射镜柔性限位支撑装置及安装方法
CN103278909A (zh) * 2012-12-28 2013-09-04 清华大学 用于组装变形镜的装置
CN103344209A (zh) * 2013-06-27 2013-10-09 北京空间机电研究所 一种反射镜零重力面形测试方法
CN103344209B (zh) * 2013-06-27 2016-06-01 北京空间机电研究所 一种反射镜零重力面形测试方法
CN104062740A (zh) * 2014-06-06 2014-09-24 苏州华徕光电仪器有限公司 一种反射镜背部支撑结构
CN104062742A (zh) * 2014-06-09 2014-09-24 苏州华徕光电仪器有限公司 一种大口径反射镜下倾状态支撑结构
CN106371190A (zh) * 2015-07-23 2017-02-01 肖特股份有限公司 用于全面支承工件的整体支撑件
CN106646818A (zh) * 2017-02-28 2017-05-10 南京航空航天大学 半主动式反射镜面支承和定位系统
CN107765388A (zh) * 2017-11-28 2018-03-06 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种光机用反重力微调作动装置
CN107765388B (zh) * 2017-11-28 2022-12-09 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种光机用反重力微调作动装置
CN108227234A (zh) * 2017-12-28 2018-06-29 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种单自由度自适应平衡装配机构
CN108227234B (zh) * 2017-12-28 2019-12-17 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种单自由度自适应平衡装配机构
CN109798840A (zh) * 2019-02-26 2019-05-24 中国科学院光电技术研究所 在拼接干涉仪中检测透镜面形的检测装置
US11268808B2 (en) 2019-02-26 2022-03-08 The Institute Of Optics And Electronics, The Chinese Academy Of Sciences Detection device for detecting lens surface in stitching interferometer
CN111077633A (zh) * 2020-01-06 2020-04-28 北京卫星环境工程研究所 一种金属反射镜柔性吊装机构及面形保持机构
CN113322445A (zh) * 2021-06-01 2021-08-31 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种大口径基底镀膜工装
CN113322445B (zh) * 2021-06-01 2022-07-22 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种大口径基底镀膜工装
CN116500748A (zh) * 2023-04-28 2023-07-28 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种反射镜重力卸载机构
CN116500748B (zh) * 2023-04-28 2024-05-10 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种反射镜重力卸载机构

Also Published As

Publication number Publication date
CN101887160B (zh) 2012-12-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101887160A (zh) 用于大口径空间光学反射镜加工的支撑系统
CN102416590B (zh) 一种大口径轻质反射镜柔性限位支撑装置
CN105571813A (zh) 风洞天平单矢量校准加载机构
CN111169653A (zh) 一种前起落架铰点力测试装置及载荷标定方法
CN109387997B (zh) 一种高刚度轻质空间相机镜筒及其抗振稳定性测试方法
CN105068208A (zh) 一种多层嵌套x射线掠入射光学镜头的装调系统与方法
CN104678533A (zh) 大型空间反射镜地面重力卸载支撑方法
CN106596057B (zh) 一种大口径反射镜组件的面形检验方法
WO2014075821A1 (en) System and procedure for assembly and canting control of solar collectors
CN104076616B (zh) 一种三叶像差变形镜装置
CN104932258B (zh) 一种望远镜反射面力学模型修正方法
Meiser et al. Analysis of parabolic trough concentrator mirror shape accuracy in different measurement setups
CN105628303B (zh) 立方体卫星质心测量方法
CN105373646B (zh) 天文光学望远镜主镜轴支撑的一种变网格复合优化法
Kang et al. New bending system using a segmented vacuum chuck for stressed mirror polishing of thin mirrors
Gao et al. Design and analysis for the flexible support structure of high precision lens assembly
Doel et al. Assembly, alignment, and testing of the DECam wide field corrector optics
CN114185144B (zh) 一种基于小口径平面镜装调大口径光学系统的装调方法
CN110687932A (zh) 一种空间光学遥感器次镜在轨调整方法和一种空间光学遥感器
CN104062740A (zh) 一种反射镜背部支撑结构
Cho et al. Development of a fast steering secondary mirror prototype for the Giant Magellan Telescope
West et al. Development and results for stressed-lap polishing of large telescope mirrors1
CN104076618B (zh) 一种四叶像差变形镜装置
Zhang et al. Mirror technology development for the International X-ray Observatory mission
CN101387711A (zh) 大口径非球面镜的制造方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C56 Change in the name or address of the patentee
CP02 Change in the address of a patent holder

Address after: Suzhou City, Jiangsu province 215137 Xiangcheng District Ji Road No. 8

Patentee after: Soochow University

Address before: 215137 No. 199 benevolence Road, Suzhou Industrial Park, Jiangsu, Suzhou

Patentee before: Soochow University

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20121205

Termination date: 20160630

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee