CN101307433B - 一种用于溅镀机台的承载台 - Google Patents
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- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 claims abstract description 17
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 21
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 claims description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 2
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims 1
- 239000012876 carrier material Substances 0.000 claims 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 8
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 3
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 3
- IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N N-Heptane Chemical compound CCCCCCC IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000143432 Daldinia concentrica Species 0.000 description 1
- 208000032365 Electromagnetic interference Diseases 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 1
- 235000006708 antioxidants Nutrition 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910021392 nanocarbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000004223 radioprotective effect Effects 0.000 description 1
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
一种用于溅镀机台的承载台其包括：至少一中空管状结构，该至少一中空管状结构包括两端部及位于该两端部之间的中间部，该中间部为吸热部，该两端部至少之一者为冷却部，该两端部分别具有第一齿牙，该至少一中空管状结构用于套设待镀膜的元件；一中空载具，该中空载具上设置有第二齿牙，该至少一中空管状结构的两端部的第一齿牙与该第二齿牙相啮合，该中空载具内通有冷却流体，该冷却流体用于吸收该至少一中空管状结构的冷却部传递的热量；一驱动装置，其用于驱动该至少一中空管状结构沿该中空载具的第二齿牙的排列方向运动。镀膜时，待镀膜的元件上的热量会通过中空管状结构传导至该中空载具从而防止待镀膜的元件上的温度过高进而对其造成损伤。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于溅镀机台的承载台。
背景技术
镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分。镀膜技术是利用物理、化学手段在固体表面涂覆一层特殊性能的薄膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁或绝缘等许多优越性能，从而达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。溅镀是镀膜技术中的一种，其利用辉光放电产生的离子去撞击靶材，将靶材内的原子撞出而沉积在基材上。由于溅镀具有极佳的沉积效率、大尺寸的沉积厚度控制、精确的成份控制及较低的制造成本等优点，因此在工业上的应用非常广泛。
现在为了防止手机相机光学模块中的镜筒、镜座等组件受到手机中其他元件的电磁干扰，通常需要在光学模块中的镜筒、镜座等组件上镀一层抗EMI(Electro Magnetic Interference)膜。在业界，常用连续式溅镀机(in-line sputtering)对镜筒、镜座等组件进行镀膜，这种连续式溅镀机具有速度快、产量高且镀膜品质好等优点。然而，这种连续式溅镀机所包括的用于承载待镀组件的载台的导热性能不佳，导致载台上的组件温度过高进而造成扭曲变形等损伤。
发明内容
有鉴于此，提供一种导热性能较好的用于溅镀机台的承载台实为必要。
以下将以实施例说明一种导热性能较好的用于溅镀机台的承载台。
一种用于溅镀机台的承载台，其包括：至少一中空管状结构，该至少一中空管状结构包括两端部及位于该两端部之间的中间部，该中间部为吸热部，该两端部至少之一者为冷却部，该两端部分别具有第一齿牙，该至少一中空管状结构用于套设待镀膜的元件；一中空载具，该中空载具上设置有第二齿牙，该至少一中空管状结构的两端部的第一齿牙与该第二齿牙相啮合，该中空载具内通有冷却流体，该冷却流体用于吸收该至少一中空管状结构的冷却部传递的热量；一驱动装置，其用于驱动该至少一中空管状结构沿该中空载具的第二齿牙的排列方向运动。
相对于现有技术，所述用于溅镀机台的承载台包括具有中空载具及用于套设待镀膜的元件的中空管状结构，在对待镀膜的元件进行镀膜时，待镀膜的元件上的热量会通过中空管状结构传导至该中空载具从而防止待镀膜的元件上的温度过高进而对其造成损伤。
附图说明
图1是本发明实施例的承载台的立体示意图。
图2是图1中沿II-II的截面示意图。
图3是利用图1中承载台对待镀膜的元件进行镀膜的一状态示意图。
具体实施方式
下面将结合附图和实施例对本发明用于溅镀机台的承载台作进一步的详细说明。
请参阅图1及图2，本发明实施例提供的用于溅镀机台的承载台10包括中空管状结构11，中空载具12及驱动装置13。
该中空管状结构11包括两端部及位于两端部之间的中间部，待镀膜的元件将套设在该中空管状结构11上。该中空管状结构11的两端部分别具有第一齿牙110。在此，该中空管状结构11为一热管，其中间部为吸热部用于承载待镀膜的元件，其两端部为冷却部。可以理解的是，该中空管状结构11的两端部也可以分别套设一套筒，该套筒的外侧设置有该第一齿牙110，该套筒的内侧与该中空管状结构11的两端部紧密接触。
可以理解的是，该中空管状结构11也可为其他结构，只要能够承载待镀膜的元件并使待镀膜的元件不会与该中空管状结构11发生相对移动即可。
该载具12包括第一载具120与第二载具121，该第一载具120与第二载具121并列设置且延伸方向相同。该第一载具120与第二载具121的结构基本相同，下面将以该第一载具120为例进行说明。
该第一载具120为中空的长条状结构，该第一载具120的一个长条形承载表面上设置有多个第二齿牙122，该多个第二齿牙122沿该第一载具120的延伸方向均匀排布，值得注意的是，该第一载具120与第二载具121的第二齿牙122设置在同邻近该中空管状结构11的两端部的一侧。该中空管状结构11的两端部分别设置在该第一载具120和第二载具121上，且该中空管状结构11的两端部的第一齿牙110分别与该第一载具120和第二载具121上的第二齿牙122相啮合。
该第一载具120的中空结构中装设有冷却流体124，该冷却流体124可为纯水、氨水、甲醇、丙酮、庚烷或其混合液体，在该冷却流体124中也可加入导热粒子进一步提高导热效率，如碳纳米管、碳纳米球、铜纳米粉或其任意组合的粒子。
该第一载具120上具有进液口126和出液口128，该进液口126和出液口128分设在该第一载具120上，在本实施例中，该进液口126和出液口128分设在该长条状结构第一载具120的两端，该冷却流体124从该进液口126流入并从出液口128流出。可以理解的是，该进液口126和出液口128的数量及设置位置可以根据实际需要进行设计。
可以理解的是，该第一载具120与第二载具121可以为一体结构，同时该一体结构为中空的方形结构。
该第一载具120应选用导热性良好的材料，例如：铜、铝、铁、镍、钛、钢等材料中的任意一种或者铜、铝、铁、镍、钛任意组合的合金等。在本实施例中，该第一载具120所用材料为铜。
该驱动装置13作用于该中空管状结构11上用以驱动该中空管状结构11沿该第一载具120的延伸方向A即该第二齿牙122的排布方向运动。由于该中空管状结构11的两端部的第一齿牙110与载具12上的第二齿牙122相啮合，所以在该中空管状结构11沿该第一载具120的延伸方向A运动的同时，该中空管状结构11自身也会旋转。
该驱动装置13包括马达131和传动带132，该马达131可以驱动该传动带132移动，该传动带132的外侧设置有第三齿牙1320，该第三齿牙1320可与该中空管状结构11上的第一齿牙110相啮合。在本实施例中，一传动带132设置在该第一载具120的上方并使该传动带132的外侧的第三齿牙132与该中空管状结构11一端的第一齿牙110相啮合，该马达131与该传动带132的内侧紧密接触以利于该马达131利用其与传动带132间的摩擦力驱动该传动带132移动；同时，该第二载具121的上方也设置有一马达131和一传动带132，其与该第一载具120上方的马达131和传动带132配置方式相同，在此不再赘述。
请参见图3，本实施例中以待镀膜的元件是镜头模组的镜座为例加以说明，溅镀源101设置在该第一载具120与第二载具121之间区域的上方，即与该中空管状结构11相对。该驱动装置13驱动该中空管状结构11沿该第一载具120的延伸方向A运动，同时自身也会旋转，套设在该中空管状结构11上的镜座102会在该中空管状结构11自转的带动下旋转，从而有利于在镜座102上形成均匀的镀膜。
当镜座102被承载着沿该第一载具120的延伸方向A运动并对其进行镀膜时，冷却流体124从该进液口126流入并从出液口128流出。该镜座102上的热量会经由该中空管状结构11的吸热部传导至其冷却部，该热量再经由与该中空管状结构11的两端部即冷却部相接触的载具12传给该冷却流体124，最终该镜座102上的热量会经由从进液口126进入并从出液口128流出的冷却流体124带走，从而防止镜座102上的温度过高进而损伤该镜座102。
另外，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思做出其他各种相应的变化，例如：当该中空管状结构12的两端部之一为冷却部时，可将第一载具120与第二载具121其中之一设置为中空结构；选择不同的驱动装置13来驱动该中空管状结构11沿某一方向移动的同时自转使待镀膜元件上形成均匀镀膜等，而所有这些变化都应包含在本发明所要求保护的范围之内。
Claims (9)
1.一种用于溅镀机台的承载台，其包括：
至少一中空管状结构，该至少一中空管状结构包括两端部及位于该两端部之间的中间部，该中间部为吸热部，该两端部至少之一者为冷却部，该两端部分别具有第一齿牙，该至少一中空管状结构用于套设待镀膜的元件；
一中空载具，该中空载具上设置有第二齿牙，该至少一中空管状结构的两端部的第一齿牙与该第二齿牙相啮合，该中空载具内通有冷却流体，该冷却流体用于吸收该至少一中空管状结构的冷却部传递的热量；
一驱动装置，其用于驱动该至少一中空管状结构沿该中空载具的第二齿牙的排列方向运动。
2.如权利要求1所述的承载台，其特征在于：该中空载具包括两个并列设置的第一载具与第二载具，该第一载具与第二载具的邻近所述至少一中空管状结构的两端部的一侧均设置有该第二齿牙。
3.如权利要求2所述的承载台，其特征在于：该第一载具与第二载具上设置的第二齿牙分别沿该第一载具与第二载具的延伸方向均匀排布。
4.如权利要求2所述的承载台，其特征在于：该第一载具与第二载具为条状结构。
5.如权利要求1或4所述的承载台，其特征在于：该中空载具进一步包括冷却流体入口和冷却流体出口，该冷却流体入口和冷却流体出口均与该中空载具相贯通以供该冷却流体进出该中空载具。
6.如权利要求1所述的承载台，其特征在于：该至少一中空管状结构为一热管，该热管的两端均具有第一齿牙。
7.如权利要求1所述的承载台，其特征在于：该载具所用材料为铜、铝、铁、镍、钛、钢中的任意一种或铜、铝、铁、镍、钛任意组合的合金。
8.如权利要求1所述的承载台，其特征在于：该驱动装置包括传动带及驱动该传动带移动的马达，该传动带的外侧设置有第三齿牙，该第三齿牙与该中空管状结构上的第一齿牙相啮合。
9.如权利要求2所述的承载台，其特征在于：该驱动装置包括第一传动带，第二传动带及驱动该第一传动带和第二传动带移动的马达，该第一传动带和第二传动带的外侧均设置有第三齿牙，该第一传动带和第二传动带的第三齿牙分别与该至少一中空管状结构两端部的第一齿牙相啮合。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2007102006233A CN101307433B (zh) | 2007-05-16 | 2007-05-16 | 一种用于溅镀机台的承载台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2007102006233A CN101307433B (zh) | 2007-05-16 | 2007-05-16 | 一种用于溅镀机台的承载台 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101307433A CN101307433A (zh) | 2008-11-19 |
| CN101307433B true CN101307433B (zh) | 2011-07-27 |
Family
ID=40124107
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2007102006233A Expired - Fee Related CN101307433B (zh) | 2007-05-16 | 2007-05-16 | 一种用于溅镀机台的承载台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN101307433B (zh) |
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- 2007-05-16 CN CN2007102006233A patent/CN101307433B/zh not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| CN101307433A (zh) | 2008-11-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
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