CN101259918B - 物品搬送设备 - Google Patents

Abstract

物品搬送设备包括：构成为沿移动路径移动的物品搬送体；沿移动路径配置的物品载置体，物品载置体具有固定框体、相对于该固定框体在向移动路径侧突出的突出位置和向从移动路径离开的一侧退回的退回位置之间自由进退地被支承的移动框体；以移动框体能够在其进退方向上相对移动的方式自由进退地导向支承移动框体的可动导件；以及设置在固定框体上，以可动导件能在进退方向上移动的方式导向支承可动导件的固定导件。

Description

物品搬送设备

技术领域

本发明涉及物品搬送设备，更详细地说涉及设置有物品搬送体的物品搬送设备，该物品搬送体构成为沿着经由相对于物品载置体的物品移载位置的移动路径移动。

背景技术

如上所述的物品搬送设备沿着移动路径设置有多个成为物品的移载对象的物品移载用的工位，物品搬送体通过沿着移动路径移动而进行工位之间的物品搬送。

并且，为了将搬送至工位的物品暂时保管而设置有物品载置体。该物品载置体通常位于退回到从移动路径离开的一侧的退回位置，不妨碍物品搬送体的移动等。将物品保管在物品载置体中的情况或搬送由物品载置体保管的物品的情况下，使物品载置体从退回位置向突出到移动路径侧的突出位置进行位置变换，相对于该物品搬送体进行物品的交接和接收。

在以往的物品搬送设备中，作为移动路径的导轨设置在顶板侧，为了使物品载置体进退至突出位置和退回位置，上端部连结在顶板部的摆动连杆设置为在物品载置体的进退方向绕水平轴心摆动，设置有设在顶部和摆动连杆之间、用于将物品载置体进退操作至突出位置和退回位置的液压缸(例如，参照特开平10-45213号)。

在如上所述的物品搬送设备中，有时在物品载置体的进退方向上物品载置体彼此背靠背地邻接配置，或者在物品载置体的进退方向上物品载置体和其他装置邻接配置，因此，物品载置体的设置空间要求在物品载置体的进退方向上来说极小。

但是，在以往的物品搬送设备中，使摆动连杆在物品载置体的进退方向上绕水平轴心摆动，由此使物品载置体进退至突出位置和退回位置，因此，必须确保在物品载置体的进退方向上使摆动连杆摆动的大的空间，用于在物品载置体的进退方向上使物品载置体进退的部件的设置空间变大。由此，在以往的物品搬送设备中，具有在物品载置体的进退方向上物品载置体的设置空间变大的问题。

并且，作为用于使物品载置体进退的部件，考虑设置在物品载置体的进退方向上自由进退地导向支承物品载置体的固定导件。但是，在这种情况下，固定导件在物品载置体的进退方向上也需要使物品载置体进退至突出位置和退回位置那样的大小，有在物品载置体的进退方向上固定导件的设置空间变大的问题。

发明内容

本发明的目的是提供上述现有技术的改良。

实施方式中的物品搬送设备包括：

构成为沿移动路径移动的物品搬送体；

沿上述移动路径配置的物品载置体，上述物品载置体具有固定框体、和相对于该固定框体在向上述移动路径侧突出的突出位置和向从上述移动路径离开的一侧退回的退回位置之间自由进退地被支承的移动框体，

上述物品搬送体构成为，在停止在相对于上述物品载置体的物品移载位置且上述移动框体位于上述突出位置的状态下，对上述物品载置体传递及接收上述物品；

可动导件，所述可动导件自由进退地导向支承上述移动框体，使得上述移动框体能够在其进退方向上相对移动；

设置在上述固定框体上，以上述可动导件能够在上述进退方向上移动的方式导向支承上述可动导件的固定导件。

即，移动框体从退回位置向突出位置突出时，可动导件可相对于固定导件向移动框体的进退方向的突出侧运动，且移动框体相对于该可动导件向移动框体的进退方向的突出侧移动。在移动框体从突出位置向退回位置退回时，移动框体相对于可动导件向移动框体的进退方向的退回侧移动，且可动导件可相对于固定导件向移动框体的进退方向的退回侧运动。这样，在使移动框体进退至突出位置和退回位置时，可动导件可相对于固定导件在移动框体的进退方向上运动，所以相应地使固定导件在移动框体的进退方向上是小的。而且，在移动框体位于退回位置时，能够设置成在移动框体的进退方向上使固定导件和可动导件重叠。

由此，在移动框体的进退方向上，作为用于使移动框体进退的部件的设置空间而确保固定导件的设置空间即可，因此，能够提供在移动框体的进退方向上极力减小物品载置体的设置空间的物品搬送设备。

在实施方式中，物品搬送设备最好还包括：

设置在上述物品搬送体上的进退操作装置，在上述物品搬送体停止于上述物品移载位置的状态下，将上述移动框体进退操作至上述突出位置和上述退回位置。

在实施方式中的物品搬送设备中，

设置有被操作体，构成为绕摆动轴心摆动到与停止在上述物品移载位置的上述物品搬送体接近的接近位置、和从停止在上述物品移载位置的上述物品搬送体离开的离开位置，

上述进退操作装置具有操作部，利用向从上述物品搬送体离开的方向的移动而将上述被操作体从上述接近位置操作到上述离开位置，且利用向退回到上述物品搬送体的方向的移动而将上述被操作体从上述离开位置操作到上述接近位置，

与上述被操作体联动的摆动连杆设置为在上述移动框体的上述进退方向上绕摆动轴心摆动，使得在上述被操作体位于上述接近位置时将上述移动框体操作到上述退回位置，且在上述被操作体位于上述离开位置时将上述移动框体操作到上述突出位置。

上述摆动连杆上配备的卡合部最好构成为，在沿着与上述进退方向垂直的方向的状态下，自由滑动地卡合在上述物品载置体所配备的被卡合部上。

在实施方式中的物品搬送设备中，

上述物品搬送体最好构成为，沿着比上述物品载置体靠上方的上述移动路径移动，且具有为了相对于上述物品载置体传递和接收物品而升降的物品保持部。

在实施方式中的物品搬送设备中，

上述可动导件最好与和上述移动框体连结的滑动部卡合，上述可动导件和上述滑动部中的一方的截面为凹状，上述可动导件和上述滑动部中的另一方的截面为凸状。

附图说明

图1是物品搬送设备的俯视图。

图2是移动车与工位的侧视图。

图3是移动车的侧视图。

图4是移动车的纵剖主视图。

图5是物品载置体的分解立体图。

图6是退回位置的物品载置体的立体图。

图7是突出位置的物品载置体的立体图。

图8是退回位置的物品载置体的俯视图。

图9是突出位置的物品载置体的俯视图。

图10是沿物品载置体的远近方向看的纵剖视图。

图11是表示物品载置体的要部的俯视图。

图12是表示物品载置体的要部的俯视图。

图13是表示物品载置体的要部的俯视图。

具体实施方式

根据附图说明本发明涉及的物品搬送设备的实施方式。

该物品搬送设备如图1以及图2所示，在经由多个物品处理部1的状态下设置导轨2作为移动路径，并设置作为沿该导轨2自由移动的物品搬送体的移动车3。而且，以收纳半导体基板的容器5为物品，移动车3在多个物品处理部1之间搬送容器5。在上述物品处理部1中，对半导体基板的制造中途的半成品等进行既定的处理。

上述移动车3，升降自由地具有在吊下的状态下把持容器5的作为物品保持部的把持部4。把持部4设置为，在移动车3停止的状态下，借助绳索6的卷取或者放出而在接近移动车3的上升位置、和与设置在比移动车3靠下方侧的物品移载用的工位7之间进行物品移载的下降位置之间自由升降。

即，在图2中，在上方表示把持部4从上升位置下降到下降位置的情况，在下方表示令把持部4从下降位置上升到上升位置的情况。

上述工位7，由载置支承容器5的载置台构成。而且，工位7用于从移动车3接收要由物品处理部1进行既定处理的容器5或者将被物品处理部1进行了既定处理的容器5交给移动车3，与多个物品处理部1分别对应地配置。

而且，移动车3，在令把持部4位于上升位置的状态下沿导轨2移动，并在停止在与多个工位7中的移载对象的工位7对应的停止位置的状态下令把持部4在上升位置与下降位置之间升降，由此进行与工位7之间的容器5的交接。

导轨2，如图2～4所示，借助导轨用托架8而以固定状态设置在顶板上。移动车3，通过前后的连结杆10、11连结位于导轨2的内侧空间部中的上方车体9和位于导轨2的下方的下方车体12。

上述上方车体9以与设置在导轨2的内侧空间部中的磁铁13接近对置的状态具有一次线圈14。而且，上方车体9是借助由磁铁13和一次线圈14构成的线性马达而得到推进力的线性马达式，移动车3借助该推进力沿导轨2移动。

在上述导轨2的内侧空间部中，形成有相对于上方车体9所具有的行进轮15的行进引导面16、和相对于上方车体9所具有的防振轮17的防振引导面18。

此外，在导轨2上设置供电线19，在上方车体9上设置配电线圈20，借助交流电流的通电令供电线19产生磁场，借助该磁场在配电线圈20上产生移动车3侧所必需的电力，在无接触状态下进行供电。

在该实施方式中，作为驱动上方车体9的方式，例示了借助线性马达而得到推进力而进行驱动的线性马达式，但也可采用例如通过设置驱动行进轮15旋转的电动马达并借助该电动马达驱动行进轮15旋转而驱动上方车体9的方式。

上述下方车体12，包括在移动车3的前后方向延伸的前后框体21、从前后框体21的前端位置以及后端位置向下方侧延伸的前后一对的纵框体22。而且，下方车体12，在侧视图中形成为下方侧敞开的コ字形，在前后方向的中央部配置把持部4。

上述把持部4设置在相对于上方车体9自由升降的升降体23上，该升降体23被支承为被设置在前后框体21上的升降操作机构24自由地升降操作。

上述升降操作机构24将四根绳索6卷绕在借助滚筒驱动用马达25而自由转动的旋转滚筒26上而构成。而且，升降操作机构24令旋转滚筒26正反旋转而同时卷取以及放出四根绳索6，由此一边将升降体23维持为大致水平姿势一边进行升降操作。

在该实施方式中，例示了在旋转滚筒26上卷挂绳索6的例子，但也可例如在旋转滚筒26上卷挂带而升降操作升降体23，不限定为绳索6，也可使用带。绳索、带、缆线被称为柔性部件。

在上述把持部4上，设置把持容器5的凸缘5a的一对的把持件4a。而且，一对的把持件4a构成为借助把持动作用马达27的正反转而在向相互接近的方向摆动而把持凸缘5a的把持姿势(图3中实线)、和一对把持件4a向相互分离的方向摆动而解除把持的解除姿势(图3中虚线)之间自由切换。

此外，把持部4绕纵轴心旋转自由地设置在升降体23上，省略图示，但设置旋转操作把持部4的旋转用马达。

为了临时保管要搬送到上述工位7的容器5，在导轨2的侧方的附近如图1所示那样在导轨2左右两侧设置物品保管用的物品载置体28。而且，物品载置体28在沿导轨2并列的状态下设置多个。

以下，根据图5～图10说明物品载置体28。

多个物品载置体28分别设置为：在从停止在相对于其的物品移载位置上的移动车3的把持部4接收容器5以及向把持部4给出容器5的突出位置(参照图7和图9)与退回位置(参照图6和图8)之间自由变换位置。所谓物品载置体28的突出位置，意味着以下的说明中的物品载置体28的移动框体30位于突出位置的状态，所谓物品载置体28的退回位置，意味着该移动框体30位于退回位置的状态。由此，物品载置体28的进退方向与移动框体30的进退方向是相同的。

下面，将停止在物品移载位置的移动车3的前后方向简称为“前后方向”，且将相对于停止在物品移载位置的移动车3的远近方向称为“远近方向”，由此进行说明。

上述物品移载位置与多个物品载置体28分别对应而设定。而且，在前后方向上，物品载置体28的宽度形成为比移动车3的前后一对的纵框体22的间隔小。因此，在移动车3停止在物品移载位置的状态下，可将物品载置体28插入移动车3的前后一对的纵框体22之间或者从纵框体22之间拔出。

上述退回位置设定在向远近方向上远离导轨2的存在位置的一侧退回的导轨2的侧方的附近，使得在物品载置体28位于退回位置时，物品载置体28及载置支承在物品载置体28上的容器5不妨碍移动车3的移动或把持部4的升降。

上述突出位置设定在向导轨2的存在位置侧突出而与停止在物品移载位置的移动车3的把持部4在上下方向上重叠的位置，使得在物品载置体28位于突出位置时，能够与在停止在物品移载位置的移动车3中位于接近上升位置的把持部4之间交接容器5。

上述物品载置体28如图5～图7所示，由对应于退回位置设置在顶板侧的固定框体29、和相对于该固定框体29在远近方向上自由移动地被支承的移动框体30构成。

上述固定框体29由远近方向上形成为长条状的一对的侧面框部29a构成，被从一对的侧面框部29a的每一个向上方延伸设置的吊下支承件31吊下支承在顶板侧。一对的侧面框部29a由在远近方向上隔着间隔而被配置的多个框体用连结体32所连结。框体用连结体32包括：连结在远近方向上接近停止在物品移载位置的移动车3的一侧的第1框体用连结体32a、和连结在远近方向上离开停止在物品移载位置的移动车3的一侧的第2框体用连结体32b构成。

将多个物品载置体28中的固定框体29的每一个分别吊下支承在顶板侧，由此能够将物品载置体28一个一个地安装或拆卸，能够容易地进行物品载置体28的增设或拆卸。

上述移动框体30构成为具有：形成为在远近方向上延伸的形状的左右一对的支承臂体33、相对于该左右一对的支承臂体33在远近方向上隔着间隔且在连接该左右一对的支承臂体33的状态下设置的连接框体34。

在连接框体34上支承有与容器5底部的被卡合部卡合的突起状的多个定位销35，在由该定位销35定位的状态下载置支承容器5。并且，在连接框体34中设置有向接近停止在物品移载位置的移动车3的一侧延伸而向上方侧立起的立起壁部36。该立起壁部36构成为限制容器5向接近停止在物品移载位置的移动车3一侧的移动。

上述支承臂体33由沿着远近方向延伸的下端部33a、从远近方向上下端部33a的远离移动车3的一侧的端部向上方延伸的中间部33b、以及从该中间部33b的上端向远离移动车3的一侧沿着远近方向延伸的上端部33c形成。

上述支承臂体33中，在下端部33a和中间部33b上沿长度方向隔着间隔形成有多个孔部，实现支承臂体33的轻量化。

上述左右一对的支承臂体33不仅由连接框体34连结，还由多个连结用框体37连接。上述连结用框体37包括：连接左右一对的支承臂体33的下端部33a中远离移动车3的一侧的端部的第1连结用框体37a、连接左右一对的支承臂体33的中间部33b的第2连结用框体37b、以及连接左右一对的支承臂体33的上端部33c的第3连结用框体37c。

设置有滑动导向机构38，支承移动框体30，使其能够相对于上述固定框体29在远近方向上自由变换到退回位置(参照图6和图8)和突出位置(参照图7和图9)。

上述滑动导向机构38构成为具有：对应于物品载置体28的退回位置而设置在固定框体29上的固定导件39、和以由该固定导件39在进退方向上自由可动地被导向支承的方式设置在移动框体30上的可动导件40。并且，移动框体30在物品载置体28的进退方向上自由进退地被可动导件40导向支承。

上述固定导件39形成在左右一对的侧面框部29a的每一个上，对应于物品载置体28的退回位置而设置。固定导件39将绕水平轴心自由旋转地设置在移动框体30上的导辊41导向支承为在移动框体30的进退方向上自由移动。导辊41设置在跨越左右一对的支承臂体33在前后方向上延伸地形成的可动导件用框体42上。导辊41在前后方向上在可动导件用框体42的两端部处沿远近方向隔着间隔各设置有2个。

上述可动导件40形成为其截面形状为凸状而设置在可动导件用框体42上。可动导件40在前后方向上比导辊41的配置位置更靠内侧地设置有左右一对。

并且，在可动导件用框体42上设置有导辊41和可动导件40，导辊41在固定导件39上在移动框体30的进退方向上移动，由此可动导件40设置为相对于固定导件39在移动框体30的进退方向上自由可动。

如图10所示，在连结左右一对的支承臂体33的上端部33c的第3连结用框体37c上设置有被凸状的可动导件40自由滑动地导向支承的、下方侧开口的凹状的滑动部45。可动导件40设置左右一对，因此滑动部45也设置左右一对。也可以取代这样的结构，将可动导件40的截面形成为凹状，将滑动部45的截面形成为与之对应的凸状。

并且，通过滑动部45在可动导件40上滑动，左右一对的支承臂体33在移动框体30的进退方向上自由进退地被可动导件40导向支承，移动框体30在其进退方向上自由进退地被可动导件40导向支承。

在可动导件用框体42上，设置有限制相对于可动导件40的滑动部45向突出位置侧的移动的第1突出位置侧止动部43、限制相对于可动导件40的滑动部45向退回位置侧的移动的第1退回位置侧止动部44。另一方面，在第3连结用框体37c上，设置有与第1突出位置侧止动部43抵接的突出位置侧抵接部46、和与第1退回位置侧止动部44抵接的退回位置侧抵接部47。

并且，在固定框体29上设置有：与设置在可动导件用框体42上的左右一对的被抵接部60抵接而限制相对于固定导件39的可动导件用框体42向突出位置侧的移动的第2突出位置侧止动部61、和与左右一对的被抵接部60抵接而限制相对于固定导件39的可动导件用框体42向退回位置侧的移动的第2退回位置侧止动部62。

在上述固定框体29上，设置有在远近方向上接近停止在物品移载位置的移动车3的接近位置(参照图6以及图8)、和从停止在物品移载位置的移动车3分离的分离位置(参照图7以及图9)之间移动自如地被支承的被操作体48。

上述被操作体48，其长度方向的中央部枢转支承连结在设置在一方的侧面框部29a的上部的板状的基台49上，绕该连结位置即第1摆动轴心P1摆动自如地设置。而且，被操作体48，上下地具有阶梯差地一体地形成在位于接近位置的状态下从第1摆动轴心P1向接近移动车3侧延伸的第1被操作部分48a、和从第1摆动轴心P1向远离移动车3侧延伸的第2被操作部分48b。

上述被操作体48，通过绕第1摆动轴心P1摆动而在接近位置和分离位置之间自如切换，并且设置为在接近位置(参照图6以及图8)处第1被操作部分48a比第1摆动轴心P1还接近停止在物品移载位置的移动车3的姿势。而且，在被操作体48的第1被操作部分48a上，设置有在被操作体48位于接近位置的状态下沿与远近方向交叉的方向向第1摆动轴心P1侧延伸的槽部50。该槽部50，形成为令接近停止在物品移载位置处的移动车3侧的顶端沿远近方向开口的形状。

并且，设置有使被操作体48的运动和移动框体30的运动联动的联动机构51，从而当被操作体48位于接近位置时，如图6和图8所示，令移动框体30位于退回位置，且当被操作体48位于离开位置时，如图7和图9所示，令移动框体30位于突出位置。

上述联动机构51包括：一端部(前端部)卡合在物品载置体28的移动框体30上且另一端部(基端部)枢转支承连结在基台49上的摆动连杆52、和将该摆动连杆52的中间部和被操作体48的第2被操作部分48a的前端部连结的连结连杆53。摆动连杆52利用连结连杆53而与被操作体48联动，在物品载置体28的进退方向上绕与基台49的连结位置即第2摆动轴心P2自由摆动地设置。在连结左右一对的支承臂体33的上端部33c的第3连结用框体37c上设置有以沿着前后方向的状态配备的作为被卡合部的细长槽部55。并且，构成为设置在摆动连杆52的前端部的作为卡合部的卡合辊54卡合在细长槽部55中。

在上述移动车3上设置有将物品载置体28的移动框体30进退操作到退回位置和突出位置的进退操作装置S。

上述进退操作装置S构成为具有：固定在移动车3上在远近方向上为长条状的基座56、相对于该基座56在远近方向上自由移动地设置的长条状的操作体57、设置在该操作体57的前端部的下表面侧的作为操作部的操作用卡合辊58。并且，进退操作装置S构成为，通过图示省略的致动器的动作使使操作体57相对于基座56进退，进行使操作用卡合辊58在远近方向上移动的突出动作和退回动作。

此外，在移动车3上设置有用于对在移动车3的行进方向上位于右侧的物品载置体28进行变更操作的进退操作装置S、用于对在移动车3的行进方向上位于左侧的物品载置体28进行变更操作的进退操作装置S。

上述操作用卡合辊58在前后方向上形成为与被操作体48的槽部50的宽度相同或比其宽度小的直径，操作用卡合辊58通过在远近方向上的移动而可自由地卡合到被操作体48的槽部50中或从该槽部50脱离。

并且，上述进退操作装置S构成为推拉式结构：利用突出动作而使操作用卡合辊58卡合在槽部50中、将被操作体48从接近位置推压操作至离开位置，并且，利用退回动作而使操作用卡合辊58卡合在槽部50中、将被操作体48从离开位置拉出操作至接近位置，其后使使操作用卡合辊58从槽部50中脱离。

上述进退操作装置S利用突出动作通过操作用卡合辊58将被操作体48从接近位置操作到离开位置时，由于被操作体48向离开位置的移动，联动机构51将物品载置体28操作至突出位置，使物品载置体28从退回位置位置变换到突出位置。并且，进退操作装置S利用退回动作通过操作用卡合辊58而将被操作体48从离开位置操作到接近位置时，由于被操作体48向接近位置的移动，联动机构51将物品载置体28操作至退回位置，使物品载置体28从突出位置位置变换到退回位置。

说明使上述物品载置体28位置变换到退回位置和突出位置时的动作。

如图6和图8所示，被操作体48位于接近位置时，槽部50的开口部分在远近方向上开口，因此通过进退操作装置S进行突出动作，操作用卡合辊58在远近方向上向从移动车3突出的一侧移动，从槽部50的开口嵌入槽部50而卡合在槽部50中。并且，操作用卡合辊58在卡合在槽部50的状态下，在远近方向上向从移动车3突出的一侧移动，由此操作用卡合辊58推压槽部50的侧壁部的同时使槽部50移动，将被操作体48从接近位置推压操作到离开位置。当被操作体48从接近位置摆动到离开位置时，摆动连杆52的卡合辊54将细长槽部55的侧壁部向在物品载置体28的突出位置侧推压，同时摆动连杆52在物品载置体28的进退方向上绕第2摆动轴心P2摆动。利用该摆动连杆52的摆动，将第3连结用框体37c推压在物品载置体28的突出位置侧，使可动导件40相对于固定导件39移动到物品载置体28的突出位置侧，并且使左右一对的支承臂体33相对于可动导件40移动到物品载置体28的突出位置侧，使物品载置体28位置变换至突出位置。

说明相对于固定导件39的可动导件40的动作、以及相对于可动导件40的左右一对的支承臂体33的动作。

如图11所示，物品载置体28位于退回位置时，导辊41位于固定导件39的远近方向的离开一侧，且滑动部45位于可动导件40中前后方向的离开一侧。此时，第1退回位置侧止动部44与退回位置侧抵接部47抵接，且第2退回位置侧止动部62与被抵接部60抵接，由此限制了相对于固定导件39的可动导件40向退回位置侧的移动、以及将相对于可动导件40的连结左右一对的支承臂体33的第3连结用框体37c向退回位置侧的移动。

利用摆动连杆52的摆动，第3连结用框体37c被推压向物品载置体28的突出位置侧时，滑动部45在可动导件40上向远近方向的接近侧滑动。并且，如图12所示，第1突出位置侧止动部43与突出位置侧抵接部46抵接，限制了相对于可动导件40的第3连结用框体37c向突出位置侧的移动。因此，其后，导辊41由固定导件39导向支承，第3连结用框体37c和可动导件用框体42一体地移动，第3连结用框体37c向突出位置侧的移动继续。这样，可动导件40可相对于固定导件39向物品载置体28的进退方向的突出一侧移动，并且左右一对的支承臂体33相对于可动导件40向物品载置体28的进退方向的突出一侧移动，由此如图13所示，物品载置体28从退回位置突出到突出位置。此时，第1突出位置侧止动部43与突出位置侧抵接部46抵接，且第2突出位置侧止动部61与被抵接部60抵接，由此限制了相对于固定导件39的可动导件40向突出位置侧的移动、以及相对于可动导件40的第3连结用框体37c向突出位置侧的移动。

如图7和图9所示，被操作体48位于离开位置时，进退操作装置S进行退回动作时，操作用卡合辊58在卡合于槽部50中的状态下向接近移动车3的一侧移动，操作用卡合辊58推压槽部50的侧壁部的同时使槽部50移动，将被操作体48从离开位置拉出操作到接近位置。并且，当被操作体48从离开位置向接近位置摆动时，摆动连杆52的卡合辊54将细长槽部55的侧壁部向物品载置体28的退回位置侧推压，同时摆动连杆52在物品载置体28的进退方向上绕第2摆动轴心P2摆动。利用该摆动连杆52的摆动，将第3连结用框体37c推压到物品载置体28的退回位置侧，使可动导件40相对于固定导件39移动到物品载置体28的退回位置侧，并且使左右一对的支承臂体33相对于可动导件40移动到物品载置体28的退回位置侧，使物品载置体28位置变换至退回位置。并且，如图6和图8所示，被操作体48位于接近位置时，槽部50的开口部分在远近方向上开口，因此操作用卡合辊58向接近移动车3的一侧移动，由此操作用卡合辊58从槽部50脱离而退回到移动车3。

关于使物品载置体28从突出位置位置变换至退回位置时的可动导件40相对于固定导件39的动作、以及左右一对的支承臂体33相对于可动导件40的动作，由于是使物品载置体28从退回位置位置变换至突出位置时的动作的相反动作，所以省略了说明。

在上述移动车3上设置有控制移动车3的动作的台车用控制部。并且，台车用控制部构成为，基于来自管理物品搬送设备整体的动作的管理用计算机的指令、及设置在移动车3上的各种传感器的检测信息来控制移动车3的移动及把持部4的升降动作，并且控制把持动作用马达27及进退操作装置S的动作。

例如，构成为在从管理用计算机发出在从多个工位7中选定了搬送起点和搬送目标的工位7的状态下从搬送起点的工位7将容器5搬送至搬送目标工位7的搬送指令的情况下，台车用控制部控制移动车3的动作，使得从搬送起点的工位7接收容器5并在搬送目标工位7卸下容器5。控制部或计算机自身是公知的，具备CPU、存储器、通信电路等的硬件及实现本发明说明书所记载的功能的算法(程序)。

在从上述搬送起点的工位7接收容器5时，首先，台车用控制部控制移动车3的移动，以令移动车3移动到与搬送起点的工位7对应的停止位置。接着，台车用控制部在令移动车3停止在与搬送起点的工位7对应的停止位置上的状态下控制把持部4的升降动作，以令把持部4从上升位置下降到下降位置。然后，台车用控制部在把持部4位于下降位置后令把持动作用马达27动作而将一对把持件4a切换为把持姿势，通过一对把持件4a把持容器5的凸缘5a而接收容器5。之后，台车用控制部控制把持部4的升降动作以令把持部4从下降位置上升到上升位置，之后，控制移动车3的移动，以令移动车3移动到与搬送目标工位7对应的停止位置。

然后，台车用控制部，在移动车3停止在与搬送目标工位7对应的停止位置后，与从搬送起点的工位7接收容器5的情况同样地，控制把持部4的升降动作和把持动作用马达27的动作，由此将容器5卸下到搬送目标的工位7。

此外，对在从多个物品载置体28中指定了移载对象的物品载置体28的状态下，从管理用计算机发出将容器5保管在物品载置体28上的保管指令的情况进行说明。

上述台车用控制部，首先控制移动车3的移动以令移动车3移动到与移载对象的物品载置体28对应的物品移载位置处。接着，台车用控制部在令移动车3停止在与移载对象的物品载置体28对应的物品移载位置处的状态下，使进退操作装置S进行突出动作。然后，通过进退操作装置S进行突出动作，使物品载置体28从退回位置位置变换到突出位置。然后台车用控制部控制把持部4的升降动作而使把持部4从上升位置下降到与其接近的位置，之后使把持动作用马达27动作，将一对的把持件4a切换到解除姿势，从把持部4将容器5卸载到位于突出位置的物品载置体28。其后，台车用控制部控制把持部4的升降动作而使把持部4上升到上升位置，之后使进退操作装置S退回动作。然后，通过进退操作装置S进行退回动作，使物品载置体28从突出位置位置变换到退回位置。

对于在多个物品载置体28中选定了移载对象的物品载置体28的状态下从管理用计算机发出将由物品载置体28保管的容器5取出的取出指令的情况进行说明。

上述台车用控制部与发出保管指令的情况下同样，通过控制移动车3的移动，使移动车3停止在对应于移载对象的物品载置体28的物品移载位置。然后，台车用控制部使进退操作装置S突出动作，由此使物品载置体28从退回位置位置变换到突出位置。其后，台车用控制部控制把持部4的升降动作而使把持部4从上升位置下降到与其接近的位置，之后使把持动作用马达27动作，将一对的把持件4a切换到把持姿势，从物品载置体28将容器5取出把持部4。然后，台车用控制部控制把持部4的升降动作而使把持部4上升到上升位置，之后使进退操作装置S退回动作。然后，通过进退操作装置S进行退回动作，使物品载置体28从突出位置位置变换到退回位置。

[其他实施方式]

(1)在上述实施方式中，在移动车3上设置了进退操作装置S，但也可以在物品载置体28上设置进退操作装置S。

(2)在上述实施方式中，设置为摆动连杆52的前端侧的卡合辊54自由滑动地卡合在设于第3连结用框体37c上的细长槽部55中，但也可以是实施为使摆动连杆52的前端侧枢转支承连结在第3连结用框体37c上。

(3)在上述实施方式中，物品载置体28设置为，在突出位置处与在位于接近上升位置的位置的把持部4之间交接容器5，但突出位置的物品载置体28在与把持部4之间交接容器5的上下方向上的位置不限定为接近上升位置的位置或上升位置，也可以是比起上升位置下降了设定高度的位置。在这种情况下，在使物品载置体28位于突出位置的状态下，通过使把持部4从上升位置下降设定高度，就能够在物品载置体28和把持部4之间进行容器5的交接。

(4)在上述实施方式中，使物品载置体28以沿着导轨2并列的状态下设置多个，设置物品载置体28的数目可以适当变化。并且，关于物品载置体28的设置位置，是对于导轨2设置在左右两侧，但也可以仅设置在导轨2的一侧。

(5)在上述实施方式中，移动车3上设置有用于变换操作在移动车3的行进方向上位于右侧的物品载置体28的进退操作装置S、和用于变换操作在移动车3的行进方向上位于左侧的物品载置体28的进退操作装置S这两个进退操作装置S，但也可以是例如进退操作装置S在相对于移动车3的行进方向来说右侧及左侧的两侧具备自由进退的操作用卡合辊58，由此在移动车3上设置一个进退操作装置S来实施。

(6)在上述实施方式中，举例示出了作为物品搬送收纳了半导体基板的容器5的物品搬送设备，但所搬送的物品可以适当变换。

Claims (3)

1.一种物品搬送设备，包括：

构成为沿移动路径移动的物品搬送体；

沿上述移动路径配置的物品载置体，上述物品载置体具有固定框体、和相对于该固定框体在向上述移动路径侧突出的突出位置和退回到从上述移动路径离开的一侧的退回位置之间自由进退地被支承的移动框体；

上述物品搬送体构成为，在停止在相对于上述物品载置体的物品移载位置且上述移动框体位于上述突出位置的状态下，对上述物品载置体传递及接收上述物品；

其特征在于，

可动导件自由进退地导向支承上述移动框体，使得上述移动框体能够在进退方向上相对移动，

固定导件设置在上述固定框体上，导向支承上述可动导件而使上述可动导件能够在上述进退方向上移动，

还具有设置在上述物品搬送体上的进退操作装置，在上述物品搬送体停止于上述物品移载位置的状态下，将上述移动框体进退操作至上述突出位置和上述退回位置，

在此，设置有被操作体，构成为绕摆动轴心摆动到与停止在上述物品移载位置的上述物品搬送体接近的接近位置、和从停止在上述物品移载位置的上述物品搬送体离开的离开位置，

上述进退操作装置具有操作部，利用向从上述物品搬送体离开的方向的移动而将上述被操作体从上述接近位置操作到上述离开位置，且利用向退回到上述物品搬送体的方向的移动而将上述被操作体从上述离开位置操作到上述接近位置，

与上述被操作体联动的摆动连杆设置为在上述移动框体的上述进退方向上绕摆动轴心摆动，使得在上述被操作体位于上述接近位置时将上述移动框体操作到上述退回位置，且在上述被操作体位于上述离开位置时将上述移动框体操作到上述突出位置，

上述摆动连杆上配备的卡合部构成为，在沿着与上述进退方向垂直的方向的状态下，自由滑动地与上述物品载置体所配备的被卡合部卡合。

2.如权利要求1所述的物品搬送设备，其特征在于，

上述物品搬送体构成为，沿着比上述物品载置体靠上方的上述移动路径 移动，且具有为了相对于上述物品载置体传递和接收物品而升降的物品保持部。

3.如权利要求1所述的物品搬送设备，其特征在于，

上述可动导件与和上述移动框体连结的滑动部卡合，上述可动导件和上述滑动部的一方的截面为凹状，上述可动导件和上述滑动部的另一方的截面为凸状。 

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