CN100483066C - 可自动对正被检测物的检测装置 - Google Patents

Abstract

一种可自动对正被检测物的检测装置，尤指液晶显示模组的自动对正检测装置，包括互为平行的跨架和导轨，载有距离检知器及CCD取像装置的基板，及驱动基板在导轨运行的驱动器，驱动器使基板在导轨上路径滑移，使距离检知器接近被检测物，并将检知到与被检测物间的距离、位置或角度偏差数值传送到中控系统，以中控系统的计算机运算驱动基板调整机构，使基板自动补偿、对正被检测物以利CCD取像装置摄取正确的检测画面，基板调整机构包括至少三组万向枢轴，设于基板一侧的第一组万向枢轴为一没有预设动力的支点，设于基板相对侧的第二及第三组万向枢轴分别以一驱动器带动基板，使基板朝被检测物方向偏移或旋转，至CCD取像装置能完全对正被检测物为止。

Description

可自动对正被检测物的检测装置

技术领域

本发明涉及一种可自动对正被检测物的检测装置，其用来补正检测装置与被检测物之间的距离、位置或角度的偏差，使该检测装置可以完全对正被检测物，而正确地进行自动检测作业。

背景技术

早期的液晶显示模组(LCM)显像品质检测，主要是由人力以目视判断进行，该液晶显示模组通过输送带传送至目视检察机台内，配合机台所设的显微镜作目视检测，以测出该显示模组在点灯后是否有坏点(MURA)或亮点(DOT/LINE)等缺陷，待检测毕后再以输送带传送到出料装置。这种目测的品质管制，不仅速度缓慢，而且容易发生误判致影响出货的品质。

为能确实提升上述产品的品检效率，符合自动化品管需求，发明人日前曾以一种「液晶显示器面板点灯后显像品质自动检测装置」提出中国第ZL03261407.1号新型专利申请，并业经审查公告获准；该专利已揭露「藉由跨架运动机构以上下或左右的移动方式移至定点后，通过数组数字摄影机组以静止方式逐次将机台上方所定位的已点灯的液晶显示器面板所显示的影像，完整地拍入以适时提供计算机软件分析辨识出面板的坏点、亮点等缺陷，达到自动化检测」的技术。

虽然上述这种自动化检测装置已大幅提升了品检的效率，并广获使用者好评，惟发明人并不以此自满，更发现该液晶显示器面板模组生产的输送线及输送的载具，对于被输送的对象并没有提供精确地定位，使数字摄影机组在摄取液晶显示模组(LCM)的画面时往往因位置和角度的偏差、没有对正而产生失真，致直接影响到计算机软件的分析与判读的结果，应再加以改善。

发明内容

本发明的目的是提供一种可自动对正被检测物的检测装置，其可解决液晶显示模组(LCM)在生产线上没有被精确定位，而导致品检时所产生的误差问题，除了被动地要求线上工作人员加以注意之外，发明人更在前揭已发明的检测装置上增加一自动对正的功能，藉以主动提出改善方案，使该自动检测装置自动补偿、对正被检测物(即LCM)以利CCD(Charge Coupled Device)取像装置摄取正确的检测画面。

为实现上述的目的，本发明提出了一种可自动对正被检测物的检测装置，其包括一对互为平行的跨架导轨，一载有距离检知器及CCD取像装置的基板，及用来驱动基板在导轨运行的驱动器，由该驱动器使基板在导轨所设定的路径滑移，使距离检知器接近被检测物(LCM)，并将检知到与被检测物的间的距离、位置或角度偏差数值传送到一中控系统，以该中控系统的计算机软件运算驱动一基板调整机构，使基板自动补偿、对正被检测物以利CCD取像装置摄取正确的检测画面；该基板的调整机构包括至少三组万向枢轴，该三组万向枢轴包括组设于基板一侧的第一万向枢轴与组设于基板相对侧的第二、第三万向枢轴，其中，第一组万向枢轴为一没有预设动力的支点，第二及第三组万向枢轴则分别以一驱动器带动基板，使该基板朝被检测物方向偏移或旋转，至CCD取像装置能够完全对正被检测物(LCM)为止。

上述第一驱动器：包括第一伺服马达、联轴器、第一驱动螺杆及导块，所述导块的一端与基板之间以一滑座相连，基板通过此滑座上与跨架导轨相匹配的形状在导轨上运行，导块的另一端则螺接于第一驱动螺杆上；第一万向枢轴包括第一枢座、第一摆臂、及用来枢接第一枢座及第一摆臂的第一套座与第一万向轴承；所述第一枢座的一端连接于滑座，另一端则与第一摆臂枢接，而第一摆臂的另一端则连接于前述的基板。

上述第一枢座与第一摆臂的枢接方式是通过第一套座及第一万向轴承，所述第一万向轴承包设于第一套座一端的外缘并埋入于第一枢座中，第一套座则穿套于第一枢座与第一摆臂之间，通过两螺栓分别穿过第一套座与第一万向轴承，用来固定第一套座与第一摆臂，及第一万向轴承与第一套座，使所述摆臂相对于第一枢座可以产生万向摇摆或旋转动作。

上述第二及第三万向枢轴分别包括第二及第三枢座、第二及第三万向轴承、第二及第三套座，且所述第二及第三枢座由第二及第三万向轴承与第二及第三套座枢接在同一第二摆臂的不同位置，使所述第二及第三枢座具有与第二摆臂一起连动的关系，所述第二摆臂亦连接于基板，使基板与该第二及第三枢座同样具有连动关系；上述第二及第三万向轴承是分别埋设于第二及第三枢座内，在所述第二及第三万向轴承中分别套接第二及第三套座，并各以一螺栓加以固定，上述第二及第三套座的另一端则各以另一螺栓与第二摆臂连接。

在第二及第三万向枢轴与邻近的导轨间设有一导板，在导板上设有与导轨呈滑配状态的形状，使所述导板可以在导轨上滑移；导板的一端朝与第三枢座平行方向延伸有第一滑座，在第一滑座与第三枢座之间设有一第一滑块，所述第三枢座抵靠在此第一滑块上与第一滑座呈滑配关系，使第三枢座可以在所述第一滑座内滑动。

上述导板在面对基板的一侧另设有一滑槽，所述滑槽滑接一滑板，此滑板的一端朝与第二枢座平行的方向延设一第二滑座，此第二滑座与第二枢座之间另以一第二滑块滑接，使所述第二枢座可以在第二滑座内滑动。

上述第二驱动器连接于滑板的顶面，该第二驱动器包括一第二伺服马达、联轴器、第二驱动螺杆及一导块，该导块与滑板相连，导块的另一端螺接于第二驱动螺杆上，亦即通过该第二驱动螺杆的旋转动作来带动导块产生位移；该第二驱动螺杆通过一联轴器与第二伺服马达的轴心连接，即该马达在启动运转时以其轴心带动第二驱动螺杆旋转，并进而牵引受导块连动的滑板产生直线的位移。

上述第三驱动器载于第一滑座的顶面，该第三驱动器包括有第三伺服马达、联轴器、第三驱动螺杆及一导块，该导块与第一滑块相连，导块的另一端螺接于第三驱动螺杆上，亦即通过该第三驱动螺杆的旋转动作来带动导块产生位移；该第三驱动螺杆通过联轴器与第三伺服马达的轴心连接，即该第三伺服马达在启动运转时以其轴心带动第三驱动螺杆旋转，并进而牵引受导块连动的第一滑块产生直线的位移。

在相邻于第二及第三万向枢轴的跨架和导轨的一侧，设有一连动导板的第四驱动器。

上述第四驱动器包括一第四伺服马达、联轴器、第四驱动螺杆及一导块，该导块与导板相连，而导块的另一端螺接于第四驱动螺杆上，通过该第四驱动螺杆的旋转动作可带动导块产生位移；该第四驱动螺杆通过一联轴器与第四伺服马达的轴心连接，使该马达在启动运转时以其轴心带动第四驱动螺杆旋转，进而牵引受导块连动的导板产生位移。

附图说明

图1是本发明的自动检测装置配设于生产线的输送轨道实施例图。

图2是本发明的自动检测装置的整体外观图。

图3是本发明的第一万向枢轴与第一摆臂的结构图。

图4是图3的A-A’断面图，该图显示出第一万向枢轴与第一摆臂的动作状态。

图5是本发明的第二、第三万向枢轴与第二摆臂的结构关系图。

图6是以另一视角呈现本发明的第二、第三万向枢轴与第二摆臂的结构关系图。

图7是本发明的第二万向枢轴与第二摆臂之间的结合关系图。

图8是本发明的第二、第三万向枢轴与第二、第三的驱动器的结合关系图。

图9是本发明的第二驱动器启动后，所对应的第二、第三万向枢轴与第二摆臂的连动关系图。

图10是被检测物与本发明的检测装置的位置或角度尚未对正时的参考图。

图11是启动本发明的第二驱动器后，该检测装置已与被检测物对正的动作状态参考图。

图12是以另一视角呈现本发明的第二、第三万向枢轴与第二、第三的驱动器的结合关系图。

图13是本发明的第三驱动器启动后，所对应的组件与第二摆臂的连动关系图。

图14是被检测物与本发明的检测装置的位置或角度尚未对正时的参考图。

图15是启动本发明的第三驱动器后，该检测装置已与被检测物对正的动作状态参考图。

图16是被检测物与本发明的检测装置的位置或角度尚未对正时的参考图；图中特别揭露第四驱动器的位置关系。

图17是启动本发明的第四驱动器后，该检测装置已与被检测物对正的动作状态参考图。

附图标号说明：

1 自动对正检测装置    10 基座                11 输送轨道

12 被检测物的载具     13 被检测物(LCM)       20 跨架

201 导轨              21 第一驱动器          211 第一伺服马达

212 联轴器            213 第一驱动螺杆       210 导块

30 基板               301 基板的滑座         31 距离检知器

32 CCD取像装置        311 距离感知器的支架   4 基板的调整机构

41 第一万向枢轴       411 第一枢座           412 第一摆臂

413 第一套座          414 第一万向轴承       415、416 螺栓

42 第二万向枢轴       421 第二枢座           422 第二万向轴承

423 第二套座          43 第三万向枢轴        431 第三枢座

432 第三万向轴承      433 第三套座           44 第二摆臂

45 导板               451、454 滑槽         452 滑座

453 第一滑块          46 滑板               461 第二滑座

462 第二滑块          471、472 滑轨         5 第二驱动器

50 第二伺服马达       51 联轴器             52 第二驱动螺杆

53 导块               6 第三驱动器          60 第三伺服马达

61 联轴器             62 第三驱动螺杆       63 导块

7 第四驱动器          70 第四伺服马达       71 联轴器

72 第四驱动螺杆       73 导块

具体实施方式

如图1所示，本发明的液晶显示模组(LCM)自动对正检测装置1是通过一基座10被装置在生产线的产品输送轨道11上，在该轨道11上以载具12承载有液晶显示模组13成品，由于该载具12没有固定的摆设位置及精确地定位方式，所以承载的液晶显示模组13在通过检测装置1时，与该检测装置1间的距离、位置或角度便没有固定，所以本发明的检测装置1被设计成可以主动对正该被检测物(即LCM)模式，使检测的结果不会产生失真。

请续参图2，为本发明的自动对正检测装置的主要结构图。如图所示，本装置包括一对互为平行且对称的跨架20导轨201，一载有距离检知器31及CCD取像装置32(电荷耦合装置)的基板30，及用来驱动该基板30在导轨201运行的第一驱动器21，由此第一驱动器21使基板30在导轨201所设定的路径滑移，使距离检知器31接近被检测物(LCM)13，并将检知到与被检测物之间的距离、位置或角度偏差数值传送到一中控系统(图中未表示)，以该中控系统的计算机软件运算驱动一基板30调整机构(后叙)，使基板30自动获得补偿、及对正被检测物以利CCD取像装置32摄取正确的检测画面。

上述中，该第一驱动器21包括第一伺服马达211、联轴器212、第一驱动螺杆213及导块210，其中导块210的一端与前述基板30之间以一滑座301相连，基板30即通过此滑座301上与跨架20导轨201相匹配的形状在导轨201上运行，导块210的另一端螺接于第一驱动螺杆213上，亦即通过该螺杆213的旋转动作来带动导块210产生位移；又该第一驱动螺杆213通过一联轴器212与第一伺服马达211的轴心连接，即该马达211在启动运转时以其轴心带动第一驱动螺杆213旋转，并进而牵引受导块210连动的基板30产生直线的位移。

由于前述的基板30可以自动产生位移，所以被支架311悬吊在基板30一侧的距离检知器31便可用以接近被检测物(本发明所揭露的实施例为LCD模块)，并通过该距离检知器31所量测到与被检测物之间的距离、位置或角度是否对正，及所偏差的数据传送到中控系统(图未表示)，以该中控系统的计算机软件计算后传送讯号至基板30调整机构(后叙)，并控制该基板30使其朝向与被检测物对正的方向偏移及补正。

在获取到前述距离感知器31所感测到与被检测物间的位置或角度偏差后，中控系统即会送出一电子讯号给基板30的调整机构，用来调整该基板30的方位使其与被检测物(即LCM)13呈对准状态；该基板30的调整机构4主要包括至少三组万向枢轴41、42、43，其是以一对二的比例方式分别组设于接近跨架20导轨201的基板30两侧33、34，其中，第一组万向枢轴41为一没有预设动力的支点，第二及第三组万向枢轴42、43则分别以一驱动器带动基板30，使该基板30可朝任一被指定的方向偏移或旋转，至CCD取像装置32能够完全对正被检测物(LCM)13为止。

请参图3及4，为前述的第一组万向枢轴41的主要结构图。如图所示，该第一万向枢轴41包括第一枢座411、第一摆臂412、及用来枢接第一枢座411及第一摆臂412的第一套座413与第一万向轴承414，其中，该第一枢座411的一端连接于前述的滑座301，另一端则与第一摆臂412枢接，而第一摆臂412的另一端则连接于前述的基板30；第一枢座411与第一摆臂412的枢接方式是通过第一套座413及第一万向轴承414，该第一万向轴承414包设于第一套座413一端的外缘并埋入于第一枢座411中，第一套座413则穿套于第一枢座411与第一摆臂412之间，通过两螺栓415、416分别穿过第一套座413与第一万向轴承414，分别用来固定第一套座413与第一摆臂412、及第一万向轴承414与第一套座413，使该摆臂412相对于第一枢座411可以产生万向摇摆或旋转动作。

请续参图5～7，为第二及第三组万向枢轴42、43的主要配置图与其内部的结构图。如图5及6所示(请同时参图8)，该第二及第三万向枢轴42、43分别包括有第二及第三枢座421、431、第二及第三万向轴承422、432、第二及第三套座423、433，且该第二及第三枢座421、431通过第二及第三万向轴承422、432与第二及第三套座423、433枢接在同一第二摆臂44的不同位置，使该第二及第三枢座421、431具有与第二摆臂44一起连动的关系，其中，第二摆臂44亦连接于前述的基板30(请同时参图2)，使基板30与该第二及第三枢座421、431同样具有连动关系。

请同时参阅图7，为第二摆臂44与第二枢座421之间的枢接关系结构图。如图所示(请同时参图8)，第二万向轴承422埋设于第二枢座421内，在该轴承422中套接第二套座423，并以一螺栓425加以固定的，第二套座423的另一端以另一螺栓424与第二摆臂44连接；由于第二万向轴承422的内部具有一球座4221，使第二套座423可以朝任一方向摆动，所以第二摆臂44在被驱动的情形下亦可以朝任一方向摆动或旋转。至于第三枢座431与该第二摆臂44的连接关系与第二枢座421完全相同，于此便不再赘述。

上述外，在第二及第三万向枢轴42、43与邻近的导轨201间设有一导板45，在导板45上设有与导轨201呈滑配状态的形状，图示为一滑槽451，使该导板45可以在导轨201上滑移；该导板45的一端朝与第三枢座431平行方向延伸一第一滑座452，在第一滑座452与第三枢座431之间设有一第一滑块453，且第三枢座431与第一滑块453之间以滑轨471衔接，该第三枢座431就是抵靠在此第一滑块453上与第一滑座452呈滑接关系，在基板30作动时能够适度的延伸；且第三枢座431可以通过第一滑块453在该第一滑座452内滑动。导板45在面对基板30的一侧另设有一滑槽454，该滑槽454滑接另一滑板46，此滑板46的一端朝与第二枢座421平行的方向延设一第二滑座461，此滑座461与第二枢座421之间另以一第二滑块462滑接，该第二枢座421与第二滑块462之间亦以滑轨472加以衔接，使第二枢座421在基板30作动时亦可以适度的延伸，且该第二枢座421可以由第二滑块462在第二滑座461内滑动。

在上述滑板46的顶面连接有一第二驱动器5，该第二驱动器5包括一第二伺服马达50、联轴器51、第二驱动螺杆52及一导块53，其中，该导块53与滑板46相连，导块53的另一端螺接于第二驱动螺杆52上，亦即通过该螺杆52的旋转动作来带动导块53产生位移；又该第二驱动螺杆52通过一联轴器51与第二伺服马达50的轴心连接，即该马达50在启动运转时以其轴心带动第二驱动螺杆52旋转，并进而牵引受导块53连动的滑板46产生直线的位移。

请参图8及9所示，当第二驱动器5启动，所连动的滑板46会牵引第二摆臂44朝一特定的方向产生旋转；由于第二万向枢轴42与第三万向枢轴43是以单点连接在第二摆臂44上，所以邻近于第二驱动器5的第二万向枢轴42所移动的行程较第三万向枢轴43长(见图9)。以前图2所揭的实施例而言，第二驱动器5的启动，将促使第二摆臂44连动基板30，以第一万向枢轴41为支点，并连动第一摆臂412使该基板30朝三维空间的Z轴往Y轴方向旋转，换言之，前揭的距离感知器31在感测到与被检测物间的位置或角度偏差后，中控系统即会送出一电子讯号给基板30的调整机构(就此即为该第二驱动器5)，令基板30朝该被检测物(即LCM)13所倾斜的角度或位置的方向偏移，使基板30上所载的CCD取像装置32能够完全对准被检测物13，也就是每一个CCD取像装置32与被检测物13之间的距离趋于平行且对正，以免造成取像不一致而造成失真的状态；上述这个调整的动作亦请同时参阅图10及11所示，当被检测物13置于生产线上的位置与原先CCD取像装置32的设定有所偏差时(见10图的图示α角)，即由第二驱动器5的动作使基板30朝与该被检测物13偏差角度的方向调整(见图11)，也就是说通过本发明的检测装置可以事先自动加以补偿与校正，令CCD取像装置32所摄取的内容最趋于真实的状态。

请重回图5及6所示，在第一滑座452的顶面载有一第三驱动器6，该驱动器6同于前第二驱动器5具有第三伺服马达60、联轴器61、第三驱动螺杆62及一导块63，其中，该导块63与第一滑块453相连，导块453的另一端螺接于第三驱动螺杆62上，亦即通过该螺杆62的旋转动作来带动导块63产生位移；又该第三驱动螺杆62通过一联轴器61与第三伺服马达60的轴心连接，即该马达60在启动运转时以其轴心带动第三驱动螺杆62旋转，并进而牵引受导块63连动的第一滑块453产生直线的位移(相关元件的位置与连接关系请同时参阅图12及13所示)。

复请参图12及13，当第三驱动器6启动，所连动的第一滑块453便会牵引第二摆臂44朝一特定的方向产生位移(见图13)。以前图2所揭的实施例而言，第三驱动器6的启动，将促使第二摆臂44连动基板30，以第一万向枢轴41为支点，并连动第一摆臂412使该基板30朝三维空间的Z轴往X轴方向旋转，换言之，前揭的距离感知器31在感测到与被检测物间的位置或角度偏差后，中控系统即会送出一电子讯号给基板30的调整机构(就此即为该第三驱动器6)，令基板30朝该被检测物(即LCM)13所倾斜的角度或位置的方向偏移，使基板30上所载的CCD取像装置32能够完全对准被检测物13，也就是每一个CCD取像装置32与被检测物13之间的距离趋于平行且对正，以免造成取像不一致而造成失真的状态；上述这个调整的动作亦请同时参阅图14及15所示，当被检测物13置于生产线上的位置与原先CCD取像装置32的设定有所偏差时(见图14的图示的β角)，即由第三驱动器6的动作使基板30朝与该被检测物13偏差角度的方向调整(见图15)，也就是说通过本发明的检测装置可以事先自动加以补偿与校正，令CCD取像装置32所摄取的内容最趋于真实的状态。

另外，值得一提的是，在相邻于第二及第三万向枢轴42、43的跨架导轨201一侧，可以增设第四驱动器7，并请同时参阅图2、图16及17，该第四驱动器7与前揭的任一驱动器一样具有一第四伺服马达70、联轴器71、第四驱动螺杆72及一导块73，其中，该导块73与前揭的导板45相连，而导块73的另一端螺接于第四驱动螺杆72上，亦即通过该螺杆72的旋转动作来带动导块73产生位移；又该第四驱动螺杆72通过一联轴器71与第四伺服马达70的轴心连接，即该马达70在启动运转时以其轴心带动第四驱动螺杆72旋转，并进而牵引受导块73连动的导板45产生位移。

如图16及17所示，当该第四驱动器7启动，所连动的导板45便会牵引第二摆臂44朝一特定的方向产生位移。以图2所揭的实施例而言，若只令第四驱动器7的启动(第一驱动器21不启动)，将促使第二摆臂44连动基板30，同样以第一万向枢轴41为支点，并连动第一摆臂412使该基板30朝三维空间的Y轴方向旋转，换言之，前揭的距离感知器31在感测到与被检测物间的位置或角度偏差(即图示的θ角)后，中控系统即会送出一电子讯号给基板30的调整机构(就此即为该第四驱动器7)，令基板30朝该被检测物(即LCM)13所倾斜的角度或位置的方向偏移，使基板30上所载的CCD取像装置32能够完全对准被检测物13，也就是每一个CCD取像装置32与被检测物13之间的距离趋于平行且对正，以免造成取像不一致而造成失真的状态；换言之，当被检测物13置于生产线上的位置与原先CCD取像装置32的设定有所偏差时(见图16)，即藉第四驱动器7的动作使基板30朝与该被检测物13偏差角度(即图示的θ角)的方向调整(见图17)，也就是说通过本发明的检测装置可以事先自动加以补偿与校正，令CCD取像装置32所摄取的内容最趋于真实的状态。

综上所述，通过本发明的检测装置确有自动预先补偿、校正与被检测物的间的位置或角度偏差的实质功效，而且补正的角度与方位是属于全面性地考量，尽可能没有死角；更重要的是，在校正CCD取像装置32的位置时，是以载有此复数取像装置32的基板30采共面产生移位或转动，所以每一CCD取像装置32的个体与被检测物之间的对正距离都不会发生偏差，使检测的结果更加精准与确实。

惟以上所作的说明及图面的显示均仅为利用本发明的技术手段所呈现的单一较佳实施例而已，自不能用以限制本发明的权利范围，举凡所属技术领域中具有通常知识者援引本发明的精神所作的等效修饰或变化设计，皆应为申请专利范围的叙述所涵盖，合先陈明。

Claims (10)

1、一种可自动对正被检测物的检测装置，包括一对互为平行且对称的跨架和导轨，一载有距离检知器及取像装置的基板，及用来驱动所述基板在导轨运行的第一驱动器，通过所述第一驱动器使基板在导轨所设定的路径滑移，使距离检知器接近被检测物，并将检知到与被检测物之间的距离、位置或角度偏差数值传送到一中控系统，以所述中控系统的计算机软件运算驱动一基板调整机构，使基板自动获得补偿、及对正被检测物以利取像装置摄取正确的检测画面；其特征在于：所述基板的调整机构包括至少三组万向枢轴，该三组万向枢轴包括组设于基板一侧的第一万向枢轴与组设于基板相对侧的第二、第三万向枢轴，其中，第一万向枢轴为一没有预设动力的支点，第二及第三万向枢轴则分别以一第二、第三驱动器带动基板，使所述基板朝被检测物方向偏移或旋转，至取像装置能够完全对正被检测物为止。

2、如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，

上述第一驱动器：包括第一伺服马达、联轴器、第一驱动螺杆及导块，所述导块的一端与基板之间以一滑座相连，基板通过此滑座上与跨架导轨相匹配的形状在导轨上运行，导块的另一端则螺接于第一驱动螺杆上；

第一万向枢轴包括第一枢座、第一摆臂、及用来枢接第一枢座及第一摆臂的第一套座与第一万向轴承；所述第一枢座的一端连接于滑座，另一端则与第一摆臂枢接，而第一摆臂的另一端则连接于前述的基板。

3、如权利要求2所述的检测装置，其特征在于，上述第一枢座与第一摆臂的枢接方式是通过第一套座及第一万向轴承枢接的，所述第一万向轴承包设于第一套座一端的外缘并埋入于第一枢座中，第一套座则穿套于第一枢座与第一摆臂之间，通过两螺栓分别穿过第一套座与第一万向轴承，用来固定第一套座与第一摆臂，及第一万向轴承与第一套座，使所述摆臂相对于第一枢座可以产生万向摇摆或旋转动作。

4、如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，上述第二及第三万向枢轴分别包括第二及第三枢座、第二及第三万向轴承、第二及第三套座，且所述第二及第三枢座由第二及第三万向轴承与第二及第三套座枢接在同一第二摆臂的不同位置，使所述第二及第三枢座具有与第二摆臂一起连动的关系，所述第二摆臂亦连接于基板，使基板与该第二及第三枢座同样具有连动关系；上述第二及第三万向轴承是分别埋设于第二及第三枢座内，在所述第二及第三万向轴承中分别套接第二及第三套座，并各以一螺栓加以固定，上述第二及第三套座的另一端则各以另一螺栓与第二摆臂连接。

5、如权利要求4所述的检测装置，其特征在于，在第二及第三万向枢轴与邻近的导轨间设有一导板，在导板上设有与导轨呈滑配状态的形状，使所述导板可以在导轨上滑移；导板的一端朝与第三枢座平行方向延伸有第一滑座，在第一滑座与第三枢座之间设有一第一滑块，所述第三枢座抵靠在此第一滑块上与第一滑座呈滑配关系，使第三枢座可以在所述第一滑座内滑动。

6、如权利要求5所述的检测装置，其特征在于，上述导板在面对基板的一侧另设有一滑槽，所述滑槽滑接一滑板，此滑板的一端朝与第二枢座平行的方向延设一第二滑座，此第二滑座与第二枢座之间另以一第二滑块滑接，使所述第二枢座可以在第二滑座内滑动。

7、如权利要求6所述的检测装置，其特征在于，上述第二驱动器连接于滑板的顶面，该第二驱动器包括一第二伺服马达、联轴器、第二驱动螺杆及一导块，该导块与滑板相连，导块的另一端螺接于第二驱动螺杆上，亦即通过该第二驱动螺杆的旋转动作来带动导块产生位移；该第二驱动螺杆通过一联轴器与第二伺服马达的轴心连接，即该马达在启动运转时以其轴心带动第二驱动螺杆旋转，并进而牵引受导块连动的滑板产生直线的位移。

8、如权利要求6所述的检测装置，其特征在于，上述第三驱动器载于第一滑座的顶面，该第三驱动器包括有第三伺服马达、联轴器、第三驱动螺杆及一导块，该导块与第一滑块相连，导块的另一端螺接于第三驱动螺杆上，亦即通过该第三驱动螺杆的旋转动作来带动导块产生位移；该第三驱动螺杆通过联轴器与第三伺服马达的轴心连接，即该第三伺服马达在启动运转时以其轴心带动第三驱动螺杆旋转，并进而牵引受导块连动的第一滑块产生直线的位移。

9、如权利要求6所述的检测装置，其特征在于，在相邻于第二及第三万向枢轴的跨架和导轨的一侧，设有一连动导板的第四驱动器。

10、如权利要求9所述的检测装置，其特征在于，上述第四驱动器包括一第四伺服马达、联轴器、第四驱动螺杆及一导块，该导块与导板相连，而导块的另一端螺接于第四驱动螺杆上，通过该第四驱动螺杆的旋转动作可带动导块产生位移；该第四驱动螺杆通过一联轴器与第四伺服马达的轴心连接，使该马达在启动运转时以其轴心带动第四驱动螺杆旋转，进而牵引受导块连动的导板产生位移。

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