CN100473838C - 泵转子的冷却 - Google Patents

Abstract

一种用于螺杆真空泵的转子，其具有其中形成中央腔的螺纹主体。冷却剂从设置在安装至主体的轴中的供应管线供应至腔。可以与轴分离或至少部分与轴一体的冷却剂流动引导装置位于腔内。流动引导装置具有与主体相邻的外表面，优选是与主体接触，以使热量从转子传递至引导装置。引导装置还具有用于限定孔的内表面，并至少部分地限定与孔径向间隔开并与孔流体连通的多个轴向延伸的狭缝。在使用中，冷却剂通过引导装置的孔流入到腔中，并通过轴向延伸的狭缝从腔中流出，随着冷却剂流入并流出腔，从引导装置吸取热量。排放的冷却剂从狭缝输送到位于轴中的排放管线。

Description

泵转子的冷却

技术领域

本发明涉及泵转子的冷却，具体地涉及螺杆泵转子的冷却。

背景技术

螺杆泵广泛用于工业处理，以为产品的制造提供清洁且/或低压力的环境。应用场合包括制药和半导体制造产业。典型的螺杆泵机构包括每个都携带外螺纹转子的两个平行间隔开的轴，该轴安装在泵体中使得转子的螺纹互相啮合。在互相啮合位置处的转子螺纹与泵体的内表面(其作为定子)之间的紧公差使得在入口处进入的气体进入转子的螺纹和内表面之间，并且随着转子旋转而被驱向泵的出口。

在使用过程中，由于以彼此结合的方式作用的转子对气体的压缩而产生热量。由此，转子的温度迅速升高。通过对比，定子的体积较大，并且其加热较慢。这在定子和转子之间产生了温度的不一致，如果允许不减弱结构，则随着他们之间间隙的减小，可能导致转子卡在定子中。因此，需要提供一种用于冷却转子的系统。

图1示意性地示出冷却螺杆泵的双端转子的出口截面所用的一种已知结构，如我们以前的国际专利申请No.WO 2004/036049中所示，其内容通过引用包含在这里。在该结构中，中央腔10形成于转子的螺纹主体12的各端中(图1中仅示出了一端)，腔10与主体12共轴，主体12的纵向轴线用14表示。轴16通过螺栓18安装至主体12，使得轴16延伸到腔10中，并在使用中与转子的主体12一起旋转。轴16中形成有第一中央孔20。第一孔20容纳冷却剂供应管22，冷却剂供应管22用于将从冷却剂源泵送的冷却剂供应到轴16的第二中央孔24中，第二孔24与第一孔20共轴。冷却剂从第二孔24流入到腔10中，其中冷却剂在轴16的端部26和腔10的端壁28之间径向向外流动，然后在窄环形间隙30中远离端壁28流动，其中窄环形间隙30位于轴16的圆柱形壁32和腔10的圆柱形壁34之间。轴16中形成的径向孔36允许冷却剂流入到轴16的第一孔20中，并流回轴16的端部38，冷却剂从端部28排放到储液器(未示出)中，储液器具有用于使冷却剂返回供应管22的泵送机构。

发明内容

本发明优选实施例的至少一个目的是提供一种用于冷却螺杆泵转子的改进结构。

本发明提供一种用于真空泵的转子，所述转子包含：螺纹主体；轴向延伸到所述主体中的腔；用于供应冷却剂至所述腔的供应装置；用于从所述腔排放冷却剂的排放装置；和位于所述腔内用于引导冷却剂在所述供应装置和所述排放装置之间流动的引导装置，其中，所述引导装置具有限定孔的内表面和靠近所述主体定位以使热量能够从所述主体传递至引导装置的外表面，并且所述引导装置至少部分限定了沿着所述引导装置延伸的多个狭缝，所述狭缝与所述孔径向间隔开并与所述孔流体连通。

本发明还提供一种用于真空泵的转子，所述转子包含螺纹主体，所述螺纹主体在螺纹主体的各个端部处具有延伸到螺纹主体中的腔；用于供应冷却剂至各个腔的供应装置；和用于从各个腔排放冷却剂的排放装置，位于各个腔中的用于引导冷却剂在所述供应装置和所述排放装置之间流动的引导装置，其中，所述引导装置具有限定孔的内表面和靠近所述主体定位以使热量能够从所述主体传递至引导装置的外表面，并且所述引导装置至少部分限定了沿着所述引导装置延伸的多个狭缝，所述狭缝与所述孔径向间隔开并与所述孔流体连通。

在第一方面中，本发明提供了一种用于真空泵的转子，所述转子包含螺纹主体、轴向延伸到所述主体中的腔、用于供应冷却剂至所述腔的装置、用于从所述腔排放冷却剂的装置、和位于所述腔内用于引导冷却剂在所述供应装置和所述排放装置之间流动的装置，其中，所述引导装置具有限定孔的内表面和靠近所述主体定位以使热量能够从所述主体传递至其的外表面，并且所述引导装置至少部分限定了沿着所述引导装置延伸的多个狭缝，所述狭缝与所述孔径向间隔开并与所述孔流体连通。

在现有技术中，转子的被暴露用于通过冷却剂来冷却的受热表面限于腔10的圆柱形壁34的表面积。为了增加被暴露用于冷却的表面积，本发明省去了现有技术的环形间隙30，代替设置了与主体紧密相邻(优选是接触)的流动引导装置，并且该流动引导装置在腔内限定了孔和沿着流体引导装置延伸并与孔径向间隔开的多个狭缝。由于流体引导装置至转子主体的紧密相邻(通常小于0.1mm)，热量可以从转子主体传递至流体引导装置。流体引导装置可以位于转子主体附近，使得在使用过程中，流体引导装置的热膨胀引起流体引导装置接触主体。现在暴露用于冷却的受热表面包括引导装置的内表面(其限定了孔)的表面积以及狭缝的壁的表面积之和，使得随着冷却剂流入和流出转子，可以通过冷却剂从转子吸取热量。与类似尺寸的腔形成于转子主体中的现有技术的结构相比，这能够显著地增大用于冷却的表面积。

引导装置优选由不同于转子主体的材料形成。为了使得转子的冷却最大化，引导装置的至少一部分优选由导热性等于或高于形成所述螺纹主体的材料的材料形成。例如，当转子主体由铁形成时，引导装置优选由铝或其合金、铜或其合金、或者导热性等于或高于铁的任何其它合适的材料形成。

在第二方面中，本发明提供了一种用于真空泵的转子，所述转子包含螺纹主体，所述螺纹主体在各个端部处具有延伸到其中的腔；用于供应冷却剂至各个腔的装置；和用于从各个腔排放冷却剂的装置，各个腔具有位于其中的用于引导冷却剂在所述供应装置和所述排放装置之间流动的装置，其中，所述引导装置具有限定孔的内表面和靠近所述主体定位以使热量能够从所述主体传递至其的外表面，并且所述引导装置至少部分限定了沿着所述引导装置延伸的多个狭缝，所述狭缝与所述孔径向间隔开并与所述孔流体连通。

在另一个方面中，本发明提供了一种用于真空泵的转子，该转子包含螺纹主体，螺纹主体具有部分延伸到其中并围绕转子的纵向轴线定位的多个轴向腔；用于供应冷却剂至各个腔的装置；用于引导冷却剂在各个腔内流动的装置；和用于从各个腔排放冷却剂的装置。本发明的此方面省去了现有技术的中央腔10，代替设置了多个腔，优选地，多个腔是通过部分形成在转子的螺纹主体中的多个孔来设置的，该多个腔围绕转子的纵向轴线定位。根据这样的结构，与使用单个中央腔的现有技术的结构相比，在任何给定的时间可以显著地增大冷却剂与转子主体接触的表面积。因此，在进一步的方面中，本发明提供了用于真空泵的转子，该转子包括螺纹主体，所述螺纹主体的各个端部处具有轴向延伸到其中并围绕转子的纵向轴线定位的腔；用于供应冷却剂至各个腔的装置；和用于从各个腔排放冷却剂的装置，各个腔具有位于其中的用于引导冷却剂流入和流出所述腔的装置。

引导装置优选在腔内限定在供应装置和排放装置之间延伸的冷却剂流动路径。冷却剂流动路径优选具有第一部分和第二部分，冷却剂沿着第一部分在第一方向上流动，冷却剂沿着第二部分在与第一方向相反的第二方向上流动。引导装置优选在各个腔内包含用于限定流动路径的第一部分和第二部分的管道。流动路径的第一部分可以在主体和管道的外壁之间延伸，并且流动路径的第二部分可以在管道的孔内延伸。每个管道优选包含用于将流动路径的第一部分连接至流动路径的第二部分的一个或多个径向孔。供应装置优选布置为供应冷却剂至流动路径的第一部分，排放装置优选布置为从流动路径的第二部分接收冷却剂。

附图说明

现在将参考附图来描述本发明的优选特征，其中：

图1是螺杆泵的已知转子的一部分的剖视图；

图2(a)是螺杆泵转子的第一实施例的一部分的剖视图，和图2(b)是沿图2(a)的线A-A的剖视图；

图3(a)是螺杆泵转子的第二实施例的一部分的剖视图；

图4(a)是螺杆泵转子的第三实施例的一部分的剖视图；图4(b)是沿图4(a)中的线A-A的剖视图；

图5是另一个转子的一部分的剖视图；

图6是图5中以B所示区域的放大剖视图；以及

图7是图5中以A所示区域的放大剖视图。

具体实施方式

图2图示了螺杆泵转子100的第一实施例的一部分。转子100包括具有纵向轴线104的螺纹主体102。腔106形成于主体102中，使得腔106部分地延伸到主体102中并基本上与主体102共轴。

管道108位于腔106内并与主体102共轴，使得管道108的外表面110与腔106的圆柱形壁112形成干涉配合。管道108可以使用任何方便的技术(诸如使用利用液氮使管道108初始收缩并插入到管道108中的冷缩配合)插入到腔106中，使得随后的热膨胀引起管道108牢固地定位在腔106中。

管道108(至少其一部分)优选由与形成主体102的材料具有至少相等导热率的材料形成。在优选的实施例中，主体102由铁形成，管道108由铝合金形成。

如图2(b)所示，管道108的内、圆柱形表面114限定了延伸到腔106中并与主体102大致共轴的孔116。多个槽118机加工或以其它方式形成在管道108的外表面110上，每个槽118沿着管道108的长度延伸。在优选的实施例中，每个槽118基本上平行于主体的纵向轴线104延伸，但是每个槽118的一部分也可以弯曲或根据需要形成为其它形状。槽118用腔的壁112限定了多个轴向延伸的狭缝119，该多个狭缝119围绕管道108的孔116。如图2(a)所示，管道108没有完全插入到腔106中，使得狭缝119与孔116流体连通。

轴120部分延伸到管道108的孔116中，并通过螺栓122等安装到主体102。如图2(a)所示，轴120与主体102共轴。轴120被机加工为使得轴120的延伸到孔116中的端部126的圆柱形外表面124与管道108的内表面114啮合。

轴120包括沿着轴120的长度经过并与其共轴的纵向孔128。在沿着轴120的大部分上，纵向孔128具有恒定的直径，朝向轴120的端部126直径减小，以限定纵向孔128的直径减小部分130。冷却剂供应管132位于纵向孔128内。冷却剂供应管132的外径略小于纵向孔128的直径减小部分130的外径。冷却剂供应管132延伸穿过纵向孔128，使得第一端134位于孔116内，其第二端(未示出)从轴120的另一端(未示出)延伸。冷却剂供应管的第二端可以由任何方便的装置来支撑。为了抑制冷却剂供应管132随着转子100的旋转而在纵向孔128中的旋转，滑动轴承设置在纵向孔128的直径减小部分130和冷却剂供应管132之间。

轴120还包括多个第二孔136，每个第二孔在纵向孔128和形成在轴102中并与狭缝119径向对齐的环形凹口或沟槽138之间延伸。每个第二孔136的纵向轴线140与转子100的纵向轴线104成锐角。在此示例中，该锐角大约为30°，但是也可以对该角度选择任何方便的值。

在使用中，冷却剂流(例如冷却油)从冷却剂源供应至冷却剂供应管132的第二端。冷却剂源可以通过位于泵的定子(转子容纳于其中)外部的油储存器来方便地设置。冷却剂流过冷却剂供应管132的孔142并流入到管道108的孔116中。冷却剂沿着孔116行进，并在腔106的端壁146处在管道108的端部144和腔106的端壁146之间径向向外流动，并进入限定在管道108和主体102之间的狭缝119，在狭缝119中冷却剂朝向轴120回流，即冷却剂在与冷却剂流过孔116的方向相反的方向上流动。冷却剂从狭缝119进入环形凹口138，冷却剂从环形凹口138输送到第二孔136中，第二孔136将冷却剂输送到轴120的孔128中。冷却剂沿着冷却剂供应管132的外侧在孔128内行进，并完全回流到油储存器中，经过合适的热交换机构，冷却剂可以从油储存器泵送回到轴120的第二端。图2(a)中的箭头表示冷却剂流过转子100的图示部分的方向。

插入到腔106中的管道108由此提供了用于引导冷却剂在腔内流动的导向件，其与主体102接触，不像现有技术的轴16。由于管道108与转子主体102之间的接触，热可以从转子主体102传递到管道108中。因此暴露至冷却剂的受热表面包括管道108的内表面114、以及狭缝119的壁的表面积和两者，使得热量可以通过流入流出转子100的冷却剂从转子100排出。这增强了转子100的冷却，并且由此能够减小定子和转子之间的低温径向间隙，由此提供了对泵送效率的提高。

图3图示了螺杆泵的转子200的第二实施例的一部分，其中与图2所示第一实施例中的特征相同的那些特征被赋予相同的参考标号。在第二实施例中，第一实施例的管道108被管道208取代，管道208由与管道108类似的材料形成并且其与腔106的圆柱形壁112类似地形成干涉配合。管道208还具有内表面214，内表面214限定了延伸到腔106中并与主体102基本上共轴的孔216。管道208与管道108的不同在于沿着管道208的长度延伸的狭缝219整个都位于管道208内，即位于管道208的内表面214和外表面210之间。在管道208是单个工件的情况下，在挤出管道208的过程中可以通过机加工或通过任何其它的技术来形成这些槽219。可替换地，管道208可以形成为两个部件，即内侧部件和外侧部件，轴向延伸的狭缝219限定在内侧部件的外表面和外侧部件的内表面之间。例如，可以在内侧部件的外表面上机加工槽(类似于第一实施例)，其中套管形式的外侧部件位于内侧部件上方以封闭槽并形成狭缝219。

与第一实施例相比，第二实施例提供了改进的冷却，因为管道208的外表面210完全与腔106的壁112接触；在第一实施例中，管道108的外表面110的一部分被机加工以形成槽118，使得与主体102直接接触以从主体102传导热量的表面积较小。

图4图示了螺杆泵的转子300的第三实施例的一部分，再次，与图2所示第一实施例的特征相同的那些将被赋予相同的参考标号。在第三实施例中，与第一实施例相比，轴120的端部126被延伸，使得当轴120安装至主体102时，窄径向间隙348限定在轴120的端部126和腔106的端壁146之间。与第一实施例相比，纵向孔128类似地延伸，使得纵向孔128从直径减小部分130延伸到轴120的端部126。

第三实施例的管道308位于轴120的端部126的圆柱形壁124上方，并与腔106的圆柱形壁112再次形成干涉配合。在此实施例中，例如使用线切割来加工管道308的内表面314以形成槽318，当管道308装配在轴120的端部126上时，槽318用轴120的壁124来限定轴向延伸的狭缝319。可替换地，可以使用挤出技术来形成狭缝319。

在该第三实施例中，管道308和轴120两者限定了用于引导冷却剂在腔106内的流动的导向件。在使用中，由冷却剂供应管132的孔142接收并流过该孔的冷却剂流从冷却剂供应管132的端部134进入纵向孔128。冷却剂流过轴120的孔128，并在轴120的端部126和腔106的端壁146之间径向向外流动，然后进入限定在管道308和轴120之间的狭缝319。冷却剂在与冷却剂流过孔128的方向相反的方向上流过狭缝319，并进入环形凹口138。然后，来自环形凹口138的冷却剂的通道与第一实施例中来自环形凹口138的冷却剂的通道具有相同的路径。

由于管道308的外表面310与腔106的壁112完全接触，所以第三实施例能够提供与第二实施例类似的对转子300的冷却的改进。

第一至第三实施例中任何一个的转子100、200、300可以形成为双端式螺杆泵的一部分，如我们以前的国际专利申请No.WO 2004/036049所述，其内容通过引用包含在这里。在这样的泵中，气体在中央定位的入口处进入泵，并朝向设置在转子端部处的各个出口形成在相反方向上通过泵来输送的两个流束。在这种情况下，图2至4中的任一个所示的冷却结构可以设置在转子的各个端部处。

在第一至第三实施例中，当管道与转子的主体接触时，已经发现在管道的外表面与转子的主体之间存在窄间隙(通常小于0.1mm)且轴与管道的孔形成干涉配合的情况下，可以提供类似的优点。已经发现管道至主体的紧密靠近不会过度地限制热量从主体至管道的传输，并能够简化泵的构造。根据间隙的尺寸，在泵的使用中，管道可能热膨胀，使得管道的外壁接触转子的主体。

图5图示了螺杆泵的转子400的一部分。转子400包含具有纵向轴线404的螺纹主体402。第一腔406形成在主体402中，第一腔406与主体402基本上共轴。例如通过在主体中机加工孔阵列，第二腔408的阵列也形成在主体402中，第二腔408与第一腔406流体连通。第二腔408的每个轴向地延伸到主体402中并大致平行于主体的纵向轴线404，每个第二腔408部分地延伸到主体402中。第二腔的每个的纵向轴线410与主体402的纵向轴线404间隔开。在优选的实施例中，转子400包括十个第二腔408，每个第二腔408与主体402的纵向轴线404等距离地间隔开，并与紧密相邻的第二腔408等距离地间隔开。第二腔408的数量以及它们绕主体402的纵向轴线404的布置不限于此特定的构造，可以提供任意数量的第二腔408以及第二腔408的构造来满足转子400的冷却需要。

管道414位于每个第二腔408内。参考图6和7，在此实施例中，每个管道414的第一端416与其各自的第二腔408的端部418啮合，管道414的第二端420从第二腔408突出。靠近每个管道414的第一端416形成多个径向孔422(如图7所示，靠近管道414的第二端420也形成类似的径向孔424，以方便地允许管道414的第一端418或第二端420插入到第二腔408中，尽管在使用中，这些附加的径向孔424是多余的并且因此不需要设置)。每个管道414的外径小于其各自的第二腔408的孔，以在第二腔408的圆柱形壁428与管道414的圆柱形外表面430之间限定窄通道426。

轴432位于第一凹口406内并通过螺栓434等安装至主体402。如图5所示，轴432与主体402共轴。轴432具有在位于第一腔406中的端部438中形成的多个第一孔436，第一轴孔436与主体402中形成的第二孔408共轴，以使第一轴孔436接收管道414的端部420。

轴432还包括穿过轴432的整个长度并与其共轴的第二纵向孔440。纵向孔440沿着轴432的大部分具有恒定的直径，朝向轴的端部438直径减小以限定纵向孔440的直径减小部分442。冷却剂供应管444位于纵向孔440内。冷却剂供应管444的外径略小于纵向孔440的直径减小部分442的外径。冷却剂供应管444延伸穿过纵向孔440，使得其第一端446延伸到第一腔406中，其第二端448从轴432的端部450延伸。冷却剂供应管444的第二端448可以通过任何方便的装置来保持。为了随着转子400的转动，将冷却剂供应管444的旋转限制在纵向孔440内，滑动轴承452设置在纵向孔440的直径减小部分442和冷却剂供应管444之间。

轴432还包括多个第三孔454，每个在纵向孔440和各自的第一轴孔436之间延伸。每个第三轴孔454的纵向轴线456与转子400的纵向轴线404成锐角θ。在此示例中，θ＝30°，但是也可以为θ选择任何合适的值。

在使用中，冷却剂流(例如冷却油)从冷却剂源供应至冷却剂供应管444的第二端448。冷却剂源可以通过位于泵的定子(转子容纳于其中)外部的油储存器来方便地设置。冷却剂流过冷却剂供应管444的孔458并流入到第一腔406中，冷却剂从第一腔406在轴432的端部438和第一腔406的端壁460之间径向向外流动，并进入限定在管道414和转子的第二孔408之间的通道426。通道426的宽度优选使得冷却剂在通道426内的流速尽可能高，由此增强冷却剂的冷却功能。冷却剂沿着各个通道426的长度流动，向内穿过径向孔422，并通过管道414的孔464向轴432流回，即冷却剂在与流过通道426的方向相反的方向上流动。冷却剂从管道414的第二端420进入第一轴孔436，冷却剂从第一轴孔436经由第三轴孔454输送到轴432的孔440中。冷却剂沿着冷却剂供应管444的外侧在孔440内流动，并从轴的端部450排放回油储存器中，冷却剂可以经由合适的热交换机构从油储存器泵送回到轴432的端部448。

通过提供其中设置了通道426的阵列以在其中输送冷却剂并与转子400的主体402接触的结构，与如图1所示的其中设置了单个这种通道的结构相比，冷却剂与主体402之间的接触表面积显著增加。这增强了转子400的冷却并由此使得减小了转子和定子之间的冷径向间隙，由此提供了对泵送效率的改进。

转子400可以形成为双端螺杆泵的一部分，如我们的较早国际专利申请No.WO 2004/036049中所述，其内容通过引用包含在这里。

Claims (24)

1.一种用于真空泵的转子，所述转子包含：

螺纹主体；

轴向延伸到所述主体中的腔；

用于供应冷却剂至所述腔的供应装置；

用于从所述腔排放冷却剂的排放装置；和

位于所述腔内用于引导冷却剂在所述供应装置和所述排放装置之间流动的引导装置，其中，所述引导装置具有限定孔的内表面和靠近所述主体定位以使热量能够从所述主体传递至引导装置的外表面，并且所述引导装置至少部分限定了沿着所述引导装置延伸的多个狭缝，所述狭缝与所述孔径向间隔开并与所述孔流体连通。

2.根据权利要求1所述的转子，其中，所述引导装置与所述螺纹主体由不同的材料形成。

3.根据权利要求1或2所述的转子，其中，所述引导装置的至少一部分由导热性等于或高于形成所述螺纹主体的材料的材料形成。

4.根据前述权利要求1所述的转子，其中，所述引导装置的所述至少一部分由金属材料形成。

5.根据前述权利要求1所述的转子，其中，所述引导装置的所述至少一部分由铝、铜、铁、或铝、铜或铁的任何合金形成。

6.根据前述权利要求1所述的转子，其中，所述引导装置包括位于所述腔内的管道。

7.根据权利要求6所述的转子，其中，所述管道具有圆形横截面。

8.根据权利要求6所述的转子，其中，所述引导装置包含轴，所述管道围绕所述轴定位。

9.根据权利要求8所述的转子，其中，所述狭缝位于所述轴和所述管道之间。

10.根据权利要求1所述的转子，其中，所述引导装置的外表面轮廓形成为用所述主体来限定所述狭缝。

11.根据权利要求1所述的转子，其中，所述狭缝位于所述引导装置的内表面和外表面之间。

12.根据前述权利要求1所述的转子，其中，所述供应装置包括用于供应冷却剂至所述引导装置的供应管。

13.根据权利要求12所述的转子，其中，所述供应管被布置为供应冷却剂至所述引导装置的所述孔。

14.根据权利要求13所述的转子，其中，所述供应管基本上与所述主体共轴。

15.根据权利要求12所述的转子，其中，所述供应管位于安装至所述主体的轴内。

16.根据权利要求15所述的转子，其中，轴承位于所述供应管和所述轴之间以抑制所述供应管随所述轴的转动。

17.根据权利要求15所述的转子，其中，所述排放装置包括位于所述轴内的排放管线。

18.根据权利要求17所述的转子，其中，所述排放管线绕所述供应管延伸并基本上与所述供应管共轴。

19.根据权利要求17所述的转子，其中，所述排放装置包括用于从所述狭缝输送冷却剂至所述排放管线的输送装置。

20.根据权利要求19所述的转子，其中，所述输送装置包括多个第二排放管线，所述多个第二排放管线位于所述轴内并且每个从用于接收来自所述狭缝的冷却剂的环形通道延伸至第一次提及的排放管线。

21.根据前述权利要求1所述的转子，其中，所述引导装置位于所述主体附近，由此，在使用过程中所述引导装置接触所述主体。

22.根据前述权利要求1所述的转子，其中，所述引导装置的外表面与所述主体间隔开小于0.1mm的距离。

23.根据权利要求1所述的转子，其中，所述引导装置的外表面与所述主体接触。

24.一种用于真空泵的转子，所述转子包含螺纹主体，所述螺纹主体在螺纹主体的各个端部处具有延伸到螺纹主体中的腔；用于供应冷却剂至各个腔的供应装置；和用于从各个腔排放冷却剂的排放装置，位于各个腔中的用于引导冷却剂在所述供应装置和所述排放装置之间流动的引导装置，其中，所述引导装置具有限定孔的内表面和靠近所述主体定位以使热量能够从所述主体传递至引导装置的外表面，并且所述引导装置至少部分限定了沿着所述引导装置延伸的多个狭缝，所述狭缝与所述孔径向间隔开并与所述孔流体连通。

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