CN100472142C

CN100472142C - 无尘室及其空调方法

Info

Publication number: CN100472142C
Application number: CNB2006100870185A
Authority: CN
Inventors: 杨政谕
Original assignee: Yaxiang Engineering Co ltd
Current assignee: L & K Engineering (suzhou) Co Ltd
Priority date: 2006-06-12
Filing date: 2006-06-12
Publication date: 2009-03-25
Anticipated expiration: 2026-06-12
Also published as: CN101089502A

Abstract

一种无尘室，包括一内室空间、一外室空间、一过滤/调节系统及多个循环风扇与空气过滤单元。该外室空间环绕于该内室空间；该过滤/调节系统设置于该外室空间内并连通于一外气空调设备，并且该过滤/调节系统包括一第一调节开关、一过滤单元及一与该过滤单元相联通的第二调节开关；该等循环风扇与空气过滤单元分别设置于该外室空间与该内室空间之间。藉此，透过该第一调节开关或该第二调节开关的开启，以使得从该外气空调设备所传送来的空气直接透过该第一调节开关而导入该外室空间，或透过该第二调节开关及藉由该过滤单元的过滤而导入该外室空间，以维持一定的外气供气品质及节能与低运转成本的需求。

Description

无尘室及其空调方法

技术领域

本发明关于一种无尘室及其空调方法，尤指一种应用于半导体产业，且能随着外界空气品质的好坏而变更不同空气滤网的无尘室及其空调方法。

背景技术

现今是科学工业以及尖端技术的时代，且正当生产工艺趋向于超精密化、高纯度化和无菌化的时候，在这个时代中，为了改善尖端制品的性能及良率，除了需要有清净的生产环境外尚需要一纯净的环境。

以半导体领域为例，早期半导体工艺强调必须在一无微尘粒子的环境中进行，这是因为藉由半导体所制造的电子电路的结构组件具有次微米尺寸大小的特性，以及此电路在即使是单一粒子灰尘的存在下仍可能导致失去作用。

然而，在微尘控制已臻成熟后，新一世代的半导体工艺所关心者已转向微尘专用的过滤网所无法处理的气体污染。这些气体污染可能来自工艺本身，也可能来自外界的室外空气。通常处理这些气体，我们会使用化学过滤网。这意味着我们需要另一种新的无尘室系统，其不但能控制微尘而且可控制气体污染。

针对外界的室外空气污染，习知的作法是不管外界空气的品质的好坏，于该外气空调设备(MAU)装置化学过滤网以滤除相关的气体污染。

然而，外气空调设备(MAU)是一年四季皆处于使用中，过滤设备不论外气好坏都一直处于使用状态，当无尘室外界真正有突来的污染气流(短时段的高污染物入口浓度，如无尘室附近有人烧稻草或喷洒农药、或无尘室设置于焚化炉或发电场附近)经过时，可能由于该外气空调设备(MAU)已无法具有较佳的过滤效果，而使得无尘室内部仍然尚有无法得到最佳空气品质的缺憾。同时，不需使用还必须使用的情形，也徒增耗电量(因化学过滤网具高压力损失的特性)。

此外，当工艺发生意外的工艺药品的逸散时，目前的作法也只有被动的利用新鲜外气做稀释，并无主动的移除机制。

因此，本发明人有感上述缺失的可改善，且依据多年来从事此方面的相关经验，悉心观察研究，并配合学理的运用，而提出一种设计合理且有效改善上述缺失的本发明。

发明内容

本发明所要解决的技术问题，在于提供一种无尘室及其空调方法。该无尘室的空调系统可随着外界空气品质的好坏而变更不同的空气滤网。

为了解决上述技术问题，根据本发明的其中一种方案，提供一种无尘室的空调方法，其中该无尘室包括一内室空间及一环绕该内室空间的外室空间，该空调方法的步骤包括：(a)藉由一设置于该无尘室外面的外气空调设备，以提供洁净空气至一设置于该外室空间的过滤/调节系统，其中该过滤/调节系统包括一第一调节开关、一过滤单元、两个分别与该过滤单元相联通的第二调节开关及第三调节开关、及一驱动风车；(b)依据外界的空气品质，选择该洁净空气通过该第一调节开关或选择该洁净空气通过该第二调节开关及该过滤单元，以使得该洁净空气送入该外室空间；(c)透过多个设置于该外室空间与该内室空间之间的循环风扇与空气过滤单元，以将该通过该第一调节开关、或该第二调节开关及该过滤单元的洁净空气从该外室空间导入该内室空间；(d)藉由该等循环风扇与空气过滤单元，以将该导入该内室空间的洁净空气推送至该外室空间；(e)透过该等循环风扇与空气过滤单元，以将该推送至该外室空间的洁净空气再次导入该内室空间；以及重复步骤(d)～(e)。

为了解决上述技术问题，根据本发明的另一种方案，提供一种无尘室，其中该无尘室外部设置一外气空调设备，并且该无尘室包括：一内室空间、一外室空间、一过滤/调节系统、及多个循环风扇与空气过滤单元。该外室空间环绕于该内室空间；该过滤/调节系统设置于该外室空间内并连通于该外气空调设备，其中该过滤/调节系统包括一第一调节开关、一过滤单元、及一与该过滤单元相联通的第二调节开关；以及，该等循环风扇与空气过滤单元分别设置于该外室空间与该内室空间之间。藉此，透过该第一调节开关或该第二调节开关的开启，以使得从该外气空调设备所传送来的空气直接透过该第一调节开关而导入该外室空间，或透过该第二调节开关及藉由该过滤单元的过滤而导入该外室空间。

因此，本发明具有下列的优点：

1、用无尘室的近乎恒温恒湿的环境作滤网储存。

2、利用切换不同滤网的方式，以应付突来的外气污染气流，以维持稳定的外气供气品质。

3、利用切换不同滤网的方式，以应付无尘室内的意外工艺污染逸散。

4、节能并有效运用化学过滤网。亦即，本发明能更有效地过滤对人体或产品有害的化学物质，以抑制、去除或减低来自此等化学物质的影响力。

为了能更进一步了解本发明为达成预定目的所采取的技术、手段及功效，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，相信本发明的目的、特征与特点，当可由此得一深入且具体的了解，然而所附图式仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。

附图说明

图1为本发明无尘室的设置空间示意图；以及

图2为本发明无尘室的空调方法的流程图。

主要组件符号说明

内室空间 1

外室空间 2

过滤/调节系统 3 第一调节开关 31

第二调节开关 32

第三调节开关 33

过滤单元 34

驱动风车 35

循环风扇与空气过滤单元 4

外气空调设备 5

具体实施方式

请参阅图1所示，为本发明无尘室的设置空间示意图。由图可知，本发明所提供的无尘室(Clean room)包括：一内室空间1、一外室空间2、一过滤/调节系统3、及多个循环风扇与空气过滤单元4。其中，该无尘室外部设置一外气空调设备5(Make-up Air Unit，MAU)，并且图中箭头所代表的是空气流动的方向。

再者，该外室空间2环绕于该内室空间1，并且该过滤/调节系统3设置于该外室空间2内并连通于该外气空调设备5(MAU)，其中该过滤/调节系统3包括一第一调节开关31、一过滤单元34、及一与该过滤单元34相联通的第二调节开关32。此外，该过滤单元34可为一化学滤网装置(Chemical Filter Unit，CFU)。

另外，该等循环风扇与空气过滤单元4分别设置于该外室空间2与该内室空间1之间，并且该等循环风扇与空气过滤单元4可为过滤风扇模块(Filter Fan Unit，FFU)。藉此，透过该第一调节开关31或该第二调节开关32的开启，以使得从该外气空调设备5(MAU)所传送来的空气直接透过该第一调节开关31而导入该外室空间2，或透过该第二调节开关32及藉由该过滤单元34的过滤而导入该外室空间2。

再者，该过滤/调节系统3更进一步包括：一第三调节开关33及一驱动风车35。藉此当该第二调节开关32关闭，而该第一、三调节开关31、33及该驱动风车35开启时，以透过该驱动风车35主动抽吸外室空间2的污染空气经过该过滤单元34，提供更多稀释空气，主动降低该特定污染物浓度，进而可确保该无尘室持续具有较优良的空气品质，而使得本发明得以维持一定的外气供气品质及节能与低运转成本的需求。

然而，上述所揭露的无尘室的种类(架构)并非用以限定本发明，举凡应用于不同等级的无尘室架构皆为本发明所保护的范畴。

请参阅图2所示，为本发明无尘室的空调方法的流程图。由流程图中可知，本发明所提供的无尘室的空调方法包括下列步骤：首先，藉由一设置于该无尘室外面的外气空调设备5(MAU)，以提供洁净空气至一设置于该无尘室的外室空间2的过滤/调节系统3，其中该过滤/调节系统3包括一第一调节开关31、一过滤单元34、两个分别与该过滤单元34相联通的第二调节开关32及第三调节开关33、及一驱动风车35(S100)；接着，判断该外界的空气品质是否低于一预定值(S102)，亦即依据外界(external world)的空气品质，选择该洁净空气是通过该第一调节开关31、或该第二调节开关32及该过滤单元34以送入该外室空间。

接下来，当该外界的空气品质低于该预定值时，则关闭该第一、三调节开关31、33并开启该第二调节开关32，以选择该洁净空气通过该第二调节开关32及该过滤单元34(S104)，其中该过滤单元34可为一化学滤网装置；或者，当该外界的空气品质高于该预定值时，则关闭该第二、三调节开关32、33并开启该第一调节开关31，以选择该洁净空气直接通过该第一调节开关31(S106)。

然后，透过多个设置于该外室空间2与该无尘室的内室空间1之间的循环风扇与空气过滤单元4，以将该通过该第一调节开关31、或该第二调节开关32及该过滤单元34的洁净空气从该外室空间2导入该内室空间1(S108)；接着，藉由该等循环风扇与空气过滤单元4，以将该导入该内室空间1的洁净空气推送至该外室空间2(S110)。

紧接着，判断该内室空间1的特定污染物浓度是否高于一预定值(S112)；如果该内室空间1的特定污染物浓度尚未高于该预定值时，则透过该等循环风扇与空气过滤单元4，以将该推送至该外室空间2的洁净空气再次导入该内室空间1(S114)；然后，继续执行该步骤S110。

再者，于该步骤S112中，如果该内室空间1的特定污染物浓度已经高于一预定值时，则关闭该第二调节开关32，并开启该第一、三调节开关31、33及驱动风车35，以透过该驱动风车35主动抽吸该外室空间2的污染空气经过该过滤单元34，提供更多稀释空气，主动降低该特定污染物浓度(S116)；然后，再执行该步骤S114。

综上所述，本发明的无尘室可随着外界空气品质的好坏而变更不同的空气滤网。因此，本发明具有下列的优点：

1、用无尘室的近乎恒温恒湿的环境作滤网储存。

但，以上所述，仅为本发明最佳的一具体实施例的详细说明与图式，而本发明的特征并不局限于此，并非用以限制本发明，本发明的所有范围应以权利要求范围为准，凡合于本发明权利要求范围的精神与其类似变化的实施例，皆应包含于本发明的范畴中，任何熟悉该项技艺者在本发明的领域内，可轻易思及的变化或修饰皆可涵盖在权利要求所界定的范围内。

Claims

1、一种无尘室的空调方法，其中该无尘室包括一内室空间及一环绕该内室空间的外室空间；该空调方法，其特征在于，包括下列步骤：

(a)藉由一设置于该无尘室外面的外气空调设备，以提供洁净空气至一设置于该外室空间的过滤/调节系统，其中该过滤/调节系统包括一第一调节开关、一过滤单元、一驱动风车及两个分别与该过滤单元相联通的第二调节开关及第三调节开关；

(b)依据外界的空气品质，选择该洁净空气通过该第一调节开关或选择该洁净空气通过该第二调节开关及该过滤单元，以使得该洁净空气送入该外室空间；

(c)透过多个设置于该外室空间与该内室空间之间的循环风扇与空气过滤单元，以将该通过该第一调节开关、或该第二调节开关及该过滤单元的洁净空气从该外室空间导入该内室空间；

(d)藉由该等循环风扇与空气过滤单元，以将该导入该内室空间的洁净空气推送至该外室空间；

(e)透过该等循环风扇与空气过滤单元，以将该推送至该外室空间的洁净空气再次导入该内室空间；以及

(f)重复步骤(d)～(e)。

2、如权利要求1所述的无尘室的空调方法，其特征在于：该步骤(d)与(e)之间更进一步包括：

判断该内室空间的特定污染物浓度是否高于一预定值；

如果否，则执行步骤(e)。

3、如权利要求2所述的无尘室的空调方法，其特征在于：若该内室空间的特定污染物浓度已经高于一预定值时，则更进一步包括：

关闭该第二调节开关，并开启该第一、三调节开关及驱动风车，以透过该驱动风车主动抽吸该外室空间的污染空气经过该过滤单元，提供更多稀释空气，主动降低该特定污染物浓度；以及

执行步骤(e)。

4、如权利要求1所述的无尘室的空调方法，其特征在于：该过滤单元为一化学滤网装置。

5、如权利要求4所述的无尘室的空调方法，其特征在于：于该步骤(b)中，当该外界的空气品质低于一预定值时，则关闭该第一、三调节开关并开启该第二调节开关，以选择该洁净空气通过该第二调节开关及该化学滤网装置。

6、如权利要求4所述的无尘室的空调方法，其特征在于：于该步骤(b)中，当该外界的空气品质高于一预定值时，则关闭该第二、三调节开关并开启该第一调节开关，以选择该洁净空气直接通过该第一调节开关。

7、一种无尘室，其中该无尘室外部设置一外气空调设备；该无尘室，其特征在于，包括：

一内室空间；

一外室空间，其环绕于该内室空间；

一过滤/调节系统，其设置于该外室空间内并连通于该外气空调设备，其中该过滤/调节系统包括一第一调节开关、一过滤单元、及一与该过滤单元相联通的第二调节开关；以及

多个循环风扇与空气过滤单元，其分别设置于该外室空间与该内室空间之间；

藉此，透过该第一调节开关或该第二调节开关的开启，以使得从该外气空调设备所传送来的空气直接透过该第一调节开关而导入该外室空间，或透过该第二调节开关及藉由该过滤单元的过滤而导入该外室空间。

8、如权利要求7所述的无尘室，其特征在于：该过滤单元为一化学滤网装置。

9、如权利要求7所述的无尘室，其特征在于：该过滤/调节系统更进一步包括：一第三调节开关及一驱动风车；藉此当该第二调节开关关闭，而该第一、三调节开关及驱动风车开启时，以透过该驱动风车主动抽吸该外室空间的污染空气经过该过滤单元，提供更多稀释空气，主动降低该特定污染物浓度。