CN100450774C - 液滴喷出方法、电光学装置的制造方法和电子仪器 - Google Patents

Abstract

在基板上形成像素的绘图对象区域内，使喷头一边扫描一边隔一定间隔喷出液滴。除了包围绘图对象区域的沿着围堰外周侧以外的中央侧，设置向绘图对象区域不喷出液滴的非喷出处。

Description

液滴喷出方法、电光学装置的制造方法和电子仪器

技术领域

本发明涉及液滴喷出方法、电光学装置的制造方法和电子仪器。

背景技术

已经想出：从喷墨头等向基板上喷出液滴，而在其基板上形成薄膜的液滴喷出方式来制造电光学装置。作为电光学装置，有：液晶装置、有机电致发光装置(以下称有机EL(Electronic Luminescent电致发光)装置)、等离子体显示装置等的显示装置。

另外，在近几年，构成这些电光学装置的基板在大型化，在有关的大型基板中，要求利用液滴喷出方式来高精细和高精度来绘图薄膜(图案形成)。

作为这样的液滴喷出方式，已知：按照喷头的每一次的喷出相当的液滴量，通过调整理论上的墨水喷出位置，使喷在每一个绘图对象区域的墨水量恒定的方式(例如，参照日本国特许第3332812号公报)。

然而，上述的液滴喷出方式是只考虑使绘图对象区域的墨水的喷出量恒定的方式，并没有考虑这个绘图对象区域的墨水滴的弹落位置。

从而，在这种喷出方式中，存在：对绘图对象区域的墨滴弹落位置产生偏差或喷在绘图对象区域的墨水厚度产生微小的不均匀而导致品质降低的危险。

发明内容

本发明是鉴于上述的问题而进行的，其目的在于，提供一种不会产生膜厚不均匀，而配合绘图对象区域而弹落适量的液滴，可以进行高精度、且高品质绘图可能的液滴喷出方法、电光学装置的制造方法和电子仪器。

有关本发明的液滴喷出方法、电光学装置的制造方法和电子仪器中，为了解决上述的问题采用了如下方法。

本发明的第一形态是液滴喷出方法，其特征在于：包括对基板上的由围堰(bank)所包围的绘图对象区域，一边使喷头扫描一边以一定间隔喷出液滴的工序，绘图对象区域具有：位于绘图对象区域的外周侧的外周侧区域、和作为除了外周侧区域之外的区域的中央侧区域，在中央侧区域，设置有不会弹落来自喷头的液滴的非喷出处。

根据本发明的第一形态，将不喷出液滴的非喷出处配置在形成绘图对象区域的沿着围堰外周侧以外的中央侧，所以，不会产生具有其沿着围堰的微小凹坑的波纹，而将适量的液体没有遗漏地涂敷在绘图对象区域内，并且，可以使膜厚均匀化。即，膜厚上不会产生不均匀，而配合绘图对象区域弹落适量的液滴，可以进行高精度、且高品质的绘图。

在本发明的第一形态中，例如，还包括生成与绘图对象区域对应的位映像的工序，位映像分别具有沿着绘图区域的长边方向的多列，非喷出处被设定在多列中除外侧的列之外的中央侧的至少一列，由此，可以良好地谋求膜厚的均匀化。

在本发明的第一形态中，通过将非喷出处分散配置在中央侧的至少一列，所以，可以谋求膜厚的进一步的均匀化。

在本发明的第一形态中，所述中央侧的至少整个一列是所述非喷出处，所以，可以良好地谋求膜厚的均匀化。

本发明的第二形态是液滴喷出方法，其特征在于：包括对基板上的围堰所包围的绘图对象区域，一边使喷头扫描一边以一定间隔喷出液滴的工序，绘图对象区域具有：位于绘图对象区域的外周侧的外周侧区域、和作为除了外周侧区域之外的区域的中央侧区域，在中央侧区域，设置有来自喷头的液滴的弹落量与其他处不同的不同喷出量处。

根据本发明的第二形态，也可以谋求膜厚的均匀化。

在本发明的第二形态中，还包括生成与绘图对象区域对应的位映像的工序，位映像分别具有沿着绘图区域的长边方向的多列，不同喷出量处被设定在多列中除外侧的列之外的中央侧的至少一列，由此，可以良好地谋求膜厚的均匀化。

在本发明的第二形态中，通过将所述不同喷出量处分散配置在中央侧的至少一列，可以良好地谋求膜厚的均匀化。

在本发明的第二形态中，中央侧的至少整个一列是不同喷出量处，可以良好地谋求膜厚的均匀化。

本发明的第三形态是电光学装置的制造方法，其特征在于：利用了所述液滴喷出方法。

根据本发明的第三形态，通过所述液滴喷出方法，在基板上高精度地形成绘图图案，来可以制造有机EL装置、等离子体显示装置、液晶装置等的电光学装置。从而，根据本发明，以低价可以提供对大的画面的全体，可以显示高精细、高品质图像的电光学装置。例如，将成为有机EL装置的构成要素的发光材料和空穴输送材料等可以涂敷成高精细的像素图案。

本发明的第四形态是电子仪器，其特征在于，具备：通过所述电光学装置制造方法来制造的电光学装置。

根据本发明的第四形态，可以以低价提供可以高精细显示高品质图像的电子仪器。特别是，本发明可以以低价提供可以显示高品位图像的电子仪器。

附图说明

图1是表示液滴喷出装置构成的立体图。

图2是表示液滴喷出装置的控制装置功能的框图。

图3A、3B、3C，是表示没有应用有关本发明的液滴喷出方法的情况之映像的模式平面图。

图4A、4B是表示应用有关本发明的液滴喷出方法的情况之映像的模式平面图。

图5是表示没有应用有关本发明的液滴喷出方法的情况之映像的模式平面图。

图6A、6B是表示应用有关本发明的液滴喷出方法的情况之映像的模式平面图。

图7A、7B、7C和7D是表示有关本发明的有机EL装置制造工序的截面图。

图8是利用制造工序来制造的显示装置的电路图。

图9是表示显示装置像素区域的平面结构的放大平面图。

图10A、10B和10C是表示具备显示装置的电子仪器的立体图。

具体实施方式

下面，结合图说明本发明的液滴喷出方法、电光学装置的制造方法和电子仪器。

(液滴喷出装置)

图1是表示液滴喷出装置的构成的立体图。

此液滴喷出装置1利用于有关本发明实施方式的液滴喷出方法。液滴喷出装置1作为主要构成要素，备有：作为有关本发明的控制机构的控制装置2；喷头组3；和载物台4。液滴喷出装置1通过控制装置2控制喷头组3和载物台4的动作，向载置在载物台4的基板5喷出液滴，在此基板5上，形成规定的图案。

控制装置2是根据有关本发明的液滴喷出方法来控制喷头组3，由此，控制液滴喷出的时间。在喷头组3固定有摄象机3b。此摄象机3b利用于载置在载物台4的基板5的调整和位置矫正。另外，在下面的说明中，喷头组3的配置方向作为X方向，另外，基板5的输送方向作为Y方向，另外，XY平面内的面内旋转方向作为θ方向。

喷头组3由排列成1列的多个喷头3a所构成。从基台6垂直设置的支柱7、7之间，以在X方向横跨载物台4的方式，架设有X方向轴8。在其X方向轴8上，移动可能地设有喷头组3。固定在喷头组3的摄象机3b和喷头组3一起移动。在构成喷头组3的每一个喷头3a上，向着基板5穿设着多个液滴喷出用的喷嘴(例如，180个的喷嘴穿设成一列)。

喷头3a具有：储备液状体的腔；连通在其腔的喷嘴；和从喷嘴作为液滴喷出其腔内储备的液状体的液滴喷出机构而构成。在本例子中，液滴喷出机构是设在喷头3a的壁面的压电元件(压电元件)。在这样构成的喷头3a中，根据供给在压电元件的所要的电压波形，使喷头3a的壁面变形而腔内的容积在变化，从喷嘴喷出规定量的液滴。供给在压电元件的电压波形，根据后面要叙述的液滴喷出数据来生成。

另外，作为喷头3a的液滴喷出机构，除了利用上述的压电元件(机电变换体)方式以外，还可以采用：例如，利用了作为能量产生元件的电、热变换体的方式；叫做带电控制型或加压振动型的连续方式；静电吸引方式；利用激光等的电磁波的照射热作用来喷出液状体的方式等。

另外，上述的喷头组3是由排列成1列的多个喷头3a所构成的，但不限于这些。例如，也可以是：对每一个喷头3a的喷嘴的穿设间隔(节距)，在X方向偏离1/2节距的喷头3a，排列成2列。或着，也可以使喷头3a对X方向倾斜规定角度配置。在这些构成中，以小于喷嘴的穿设间隔喷出液滴成为可能。

载物台4具有：载置基板5的载置部4a；使此载置部4a在XY平面上的面内旋转可能的底座部4b而构成。在载置部4a设有定位用的销(省略图示)。在底座部4b上设有编码器4c。此编码器4c读取沿着基台6的Y方向设置的直线刻度15的刻度，根据其读取结果，检测出Y方向的载物台4的位置。直线刻度15的刻度可以设定为米单位，也可以设定为DPI单位。

并且，载物台4构成为沿着垂直于X方向敷设的Y方向轴9可以移动。作为使载物台4向Y方向移动的输送机构，在本例子中利用了线形电动机。此线形电动机具有：排列在Y方向轴9上的永久磁铁10；固定设在载物台4的底座部4b下侧的多个线圈(省略图示)而构成。这些多个线圈是沿着Y方向、且接近永久磁铁10而排列在板11上。

基板5是本实施方式中形成图案的对象物。作为基板5的材料，可以利用玻璃等的透明基板，但是，不要求透明性的情况下，可以采用金属板等。另外，此基板5的尺寸，横、纵尺寸可以超过1M。

作为形成在基板5上的图案，可以举出：具有RGB色的滤色器所形成的像素图案或形成TFT电路情况的金属配线等。

例如，由基板5构成有机EL装置的情况下，由发光材料或空穴输送材料等所构成的像素图案是用此液滴喷出装置1来形成。

控制装置2是电连接上述的液滴喷出装置1的每一个构成要素的装置，是总线来连接CPU(Central Processing Unit中央处理器)、ROM、RAM、输入输出用的界面(inter face)、振荡电路等的所谓的电子计算机。这样的控制装置2按照预先所输入的程序，总括控制液滴喷出装置1。

下面，结合图2说明控制装置2的详细构成。图2是为了说明控制装置2之功能的框图。

控制装置2具有：液滴喷出数据设定值输入部(第一输入机构)20；喷头设定值输入部(第二输入机构)22；CAD数据操作部(CAD数据制作机构)24；位映像数据制作部(位映像数据制作机构)26；位映像处理部28；液滴喷出数据制作部(制作机构)30；液滴喷出数据传输部(传输机构)32；开关组34；喷头驱动部38；喷头驱动控制部40；头位置检测部42；液滴喷出时间控制部44。在此，液滴喷出时间控制部44是对喷出液滴的时间进行变更的部分。

液滴喷出数据设定值输入部20是具有设定下述的功能：即，设定基板5的尺寸、将基板5作为多个片(区域)切出的片的尺寸、邻接片的节距(相互间隔)、像素(图案)的排列、像素的个数、像素的尺寸(像素的纵、横的大小)、邻接像素的节距(相互间隔)。喷头设定值输入部22具有设定下述的功能：即，设定为了形成像素所必要的液滴量、为了形成像素所必要的喷头组3和基板5之间的总线数(相对移动动作的次数)、所使用上述喷头组3的喷头3a的配置。

CAD数据操作部24具有：生成在基板5上应该形成的图案的、成为设计图的CAD数据的功能，并由用于输入图形信息(矢量数据、图形的属性等的数据)的输入机构；和具有图形处理功能的工作站等构成。在此，CAD数据可以是DPI类单位来生成，也可以以米的单位来生成。

位映像数据制作部26具有：将原数据变换为CAD上所要求的分解能的位映像数据的功能。位映像处理部28进行：考虑喷头3a的个数、配置、和液滴弹落在基板5的直径的、按照电路模型的细线化要求来变更位映像数据制作部26所制作的位映像数据的处理。

液滴喷出数据制作部30是考虑液滴弹落时的直径以便成为所要的图案尺寸，来制作液滴喷出数据(二进制的系列数据)。在此，此液滴喷出数据包括：对应喷头组3的每一个喷嘴设置的每一个液滴喷出机构的数相对应的点数的记录数据。

液滴喷出数据传输部32具有：将液滴喷出数据制作部30所输出的液滴喷出数据，向喷头组3的液滴喷出机构传输的功能。开关组34由多个开关构成，所述多个开关设在液滴喷出数据传输部32与喷头组3之间，并一对一地对应连接在喷头组3所包含的多个的每一个驱动部，并根据由液滴喷出数据传输部32所传输的记录数据而设定为接通、断开状态。

喷头驱动部38和喷头组3成一体化，例如，可以是线形电动机，使喷头组3向垂直于基板5的输送方向移动。喷头驱动控制部40，根据省略图示的高位控制器的指示，驱动控制喷头驱动部38。

头位置检测部42具有：检测出基板5被固定的载物台4的位置的变位量、即基板5上的喷头组3的相对位置的功能。此头位置检测部42相当于上述的编码器4c。液滴喷出时间控制部44，根据头位置检测部42的检测输出来生成并输出：规定其施加在每一个喷头3a的压电元件上的电压波形的产生时间的锁存信号(LAT信号)。此锁存信号传输到开关组34。开关组34的每一个开关是由于液滴喷出数据传输部32所传输过来的液滴喷出数据和锁存信号而被控制为接通/断开状态。并且，由每一个开关来控制每一个喷头3a的压电元件的驱动时间，控制每一个喷头3a的液滴喷出时间。

下面，说明本实施方式液滴喷出装置1来喷出液滴的液滴喷出方法。这个液滴的喷出主要是由液滴喷出装置1的液滴喷出时间控制部44中所执行。

图3A、3B、3C和图5是分别表示没有应用有关本发明的液滴喷出方法的情况的映像的模式平面图。图4A、4B和图6A、6B是分别表示应用有关本发明的液滴喷出方法的情况的喷出状态的映像的模式平面图。

液滴喷出装置1对作为基板上形成绘图对象的像素G，一边使喷头3a向一个方向扫描，一边按照每一个规定喷出间隔的喷出时间，喷出液滴。由此，由形成像素G的围堰(省略图示、参照图7)所包围的绘图对象区域A中，根据位映像数据弹落液滴。

在此，喷头3a决定每一次喷出的液滴量。如图3A所示，如果对应绘图对象区域A的所有喷出时间中喷出液滴而喷在全体像素G内，则容易产生液滴量过多或不足的现象。因此，例如，如果液滴量过多的情况下，规定时间中进行调整而减少每一滴的液滴喷出量、或一部分液滴变为非喷出状态而省去像素G内的液滴的弹落等，有必要调整绘图对象区域A内的液滴量。

作为液滴的非喷出状态，省去像素G内的弹落的情况下，如图3B所示，使不喷出液滴的非喷出处N向绘图对象区域A片侧偏离，则其部分的液滴量减少，膜厚上也产生偏差。

并且，如图3C所示，如果使非喷出处N沿着形成绘图对象区域A的围堰分散，则虽然其适当量的液滴被分散，但是，此种情况下，容易产生在沿着围堰液滴弹落后所形成的膜表面，具有微小凹坑的波纹。

因此，在本发明的液滴喷出方法中，如图4A所示，沿着围堰外周侧的中央侧，制作设置了绘图对象区域A内的非喷出处N的位映像数据。此时，存在多个非喷出处N的情况下，优选为分散配置它们。在绘图对象区域A中，通过使非喷出处N分散在除了沿着围堰外周侧的中央侧，适量的液滴没有遗漏地涂敷在绘图对象区域A内而形成膜厚均匀的像素G。

除此外，在本发明的液滴喷出方法中，如图4B所示，除了绘图对象区域A的沿着围堰的外周侧的至少沿着长边方向的中央侧，制作设置了非喷出处N的位映像数据。其包括在绘图对象区域A的沿着围堰外周侧的短边方向，设置非喷出处N的情况。例如，绘图对象区域A内的以矩阵状配置的喷出处(位映像数据制作部)中，和中央侧的围堰的长边方向近似平行的1列或多列全部变为非喷出处N的情况。由于通过在绘图对象区域A的中央侧设置了沿着围堰长度方向的非喷出处N，不容易产生液滴弹落后所形成的膜表面的波纹，位映像数据的制作或喷出控制不复杂，所以是容易的。

另外，在液滴弹落后形成的膜表面上产生波纹的现象，是不限于绘图对象区域A为俯视图上矩形形状的情况，也产生在对具有如图5所示外形的区域，沿着围堰配置非喷出处N的情况。

并且，此种情况下，如图6A和图6B所示，也通过将非喷出处N分散在除了沿着围堰外周侧的中央侧，可以谋求液滴弹落后所形成的膜的膜厚均匀化。

这样，根据本实施方式，将不喷出液滴的非喷出处N配置在除了形成绘图对象区域A的沿着围堰外周侧的中央侧，所以，可以避免：沿着围堰液滴弹落后所形成的膜表面上具有微小凹坑的波纹的产生。因此，没有遗漏地在绘图对象区域A内涂敷适量的液滴，且可以使膜厚均匀化。

即，不会产生膜厚不均匀而配合绘图对象区域A可以将适量液滴喷在像素G，可以进行高精度且高品质的绘图。

并且，在除了沿着围堰外周侧的中央侧，分散配置非喷出处N，所以可以谋求膜厚的进一步的均匀化。

另外，作为绘图对象区域A内的液滴量调整方法，说明了设置非喷出处N的方法，但在非喷出处N地点，通过比其他喷出处给以少量液滴的方式，也可以进行绘图对象区域A内的液滴量调整(不同喷出量处M)。根据这种方法，比不给以液滴的情况还不容易产生绘图对象区域A内所形成的膜表面的波纹。

进一步地，在绘图对象区域A内的液体量少的情况下，对至今为止所说明的非喷出处N，通过比其他喷出处给以多的量的液滴的(不同喷出量处M)方式，也可以进行绘图对象区域A内的液体量调整。除此外，通过分别组合不喷出液滴、喷出少量液滴、喷出多量液滴的方式，也可以进行液体量调整。

(电光学装置)

下面，结合图说明利用上述的液滴喷出方法而制造的电光学装置的一例。在本实施方式中，作为电光学装置的一例，举出有机EL装置来进行说明。

图7A、7B、7C和7D是表示有关本发明的有机EL装置制造工序的截面图。

如图7D所示，有机EL装置201，具有：在透明基板204上形成像素电极202，在每一个像素电极202之间，从箭头G方向看围堰205时为格子状形成的构成。

在作为这些绘图对象区域A的格子状凹部中，形成空穴注入层220，并以从箭头G方向看时为带状排列等的成为规定排列的方式，在每一个格子状凹部中形成R色发光层203R、G色发光层203G、B色发光层203B。并且，在其上形成对置电极213。叫做TFD(Thin Film Diode薄膜二极管)元件的2端子型的有源元件来驱动上述的像素电极202的情况下，上述的对置电极213从箭头G方向看时，形成为带状。另一方面，叫做TFT(ThinFilm Transistor：薄膜晶体管)的3端子型的有源元件来驱动上述的像素电极202的情况下，上述的对置电极213形成为单一的面电极。

由每一个像素电极202和每一个对置电极213所夹住的区域为一个像素像元，R、G、B的3色的像素像元成为一个单元而形成一个像素。

控制通过每一个像素像元的电流的方法，使多个像素像元中的所希望的像素像元选择性地发光，由此，在箭头H方向，可以显示所希望的完全彩色像。

例如，如下所示的制造方法来可以制造上述的有机EL装置201。即，如图7A所示，在透明基板204的表面，形成叫做TFE元件或TFT元件的能动元件后，进一步形成像素电极202。作为形成方法，例如，可以利用光刻法、真空蒸镀法、溅射法、熔溶胶(pyrosol)法等。

作为像素电极202的材料，可以利用ITO(Indium Tin Oxide铟锡氧化物)、氧化锡、氧化铟与氧化锌的复合氧化物等。

接着，如图7A所示，利用众所周知的图案形成方法、例如利用光刻法来形成隔壁即围堰205，通过此围堰205填埋每一个透明像素电极202的交接处。由此，可以提高对比度，可以防止发光材料的混色，可以防止像素与像素之间的光的泄露。作为围堰205材料，只要对EL发光材料的溶剂具有耐久性的就没有特别的限定，但是，氟代烃气体等离子体处理的特氟隆(注册商标)化可能的、例如，叫做丙烯树脂、环氧树脂、感光性聚酰亚胺的有机材料为好。

接着，涂敷作为功能性液状体的空穴注入层用材料之前，对透明基板204进行氧气和氟代烃气体等离子体的连续等离子体处理。由此，聚酰亚胺表面变为疏水化、ITO表面变为亲水化等来控制微细地图案形成用的基板侧的湿润性。作为等离子体产生装置，可以利用真空中产生等离子体的装置，也可以利用大气中产生等离子体的装置。

接着，如图7A所示，从图1所示的液滴喷出装置1的喷头3a喷出空穴注入层材料的液滴258，在每一个像素电极202上，进行涂敷而形成图案。此液滴258的喷出，利用有关本发明的液滴喷出方法来进行。从而，液滴258正确地弹落(喷)在围堰205所包围的、作为所要绘图对象区域的喷出区域即每一个滤色器元件形成区域内，以均匀的膜厚来没有偏差地均匀涂敷。其涂敷后，在真空(1托)中、室温、20分钟的条件下，去除溶剂。然后，在大气中，200℃(热板上)、通过10分钟的热处理来形成：和发光层材料不相溶的空穴注入层220。在上述条件中的膜厚为40nm。

接着，如图7B所示，每一个滤色器元件形成区域内的空穴注入层220上，涂敷作为功能性液状体的有机EL发光材料的R发光层用材料和作为功能性液状体的有机EL发光材料的G发光层用材料。在此，每一个发光层用材料也是从图1所示的液滴喷出装置1的喷头3a喷出液滴258而弹落在每一个滤色器元件形成区域。并且，该液滴258的喷出也是利用有关本发明的液滴喷出方法来进行，所以，每一个液滴258正确地喷在滤色器元件形成区域内，以均匀的膜厚没有偏差地均匀涂敷。

涂敷发光层用材料后，在真空中(1托)、室温、20分钟的条件下，去除溶剂。接着，在氮气气氛中、150℃、4小时的热处理来共轭化后形成R色发光层203R和G色发光层203G。由上述的条件中的膜厚是50nm。由热处理来共轭化的发光层是不溶于溶剂的。

另外，形成发光层之前，也可以对空穴注入层220进行氧气和氟代烃气体等离子体的连续等离子体处理。由此，在空穴注入层220上形成氟化合物层，离子化电位变高而空穴注入效率增加，可以提供发光效率高的有机EL装置。

接着，如图7C所示，在每一个像素像元内的R色发光层203R、G色发光层203G和空穴注入层220上，重叠而形成作为功能性液状体的EL发光材料的B色发光层203B。由此，在形成R、G、B的3色的基础上，填埋R色发光层203R和G色发光层203G与围堰205之间的高度差(阶梯)而可以使其平坦化。由此，可以可靠防止上下电极间的短路。通过调整B色发光层203B的膜厚，B色发光层203B在R色发光层203R与G色发光层203G之间的层叠结构中，起着电子注入输送层的作用，不发出B色的光。

作为形成如上述的B色发光层203B的形成方法，例如，作为湿法可以采用一般的旋转涂敷法或可以采用和R色发光层203R、G色发光层203G形成法相同的喷墨法。

然后，如图7D所示，通过形成对置电极213，可以制造出作为目标的有机EL装置201。对置电极213分别为面电极的情况下，例如，Mg、Ag、Al、Li等作为材料，利用叫做真空蒸镀法、溅射法等的成膜法来可以形成。另外，对置电极213为带状电极的情况下，利用光刻法等对已形成膜的电极层进行图案形成来可以形成。

根据以上所说明的有机EL装置201的制造方法，可以从液滴喷出装置1的喷头3a作为液滴喷出空穴注入层用材料和每一个发光层用材料，而弹落在每一个滤色器元件形成区域内。从而，根据本制造方法，空穴注入层用材料或每一个发光层用材料，在围堰205内，以均匀的膜厚均匀涂敷，其结果，可以简便地制造出：在大画面全体可以高精细显示高品质图像的大画面有机EL装置201。

另外，本实施方式的有机EL装置的制造方法中，利用液滴喷出装置1，利用喷头3a的液滴喷出来形成R、G、B的每一个颜色像素像元，所以，没有必要经过像利用光刻法的方法的复杂工序，也不会浪费材料。

下面，结合图8和图9说明本实施方式的EL装置的电路构成。

图8是表示用图7A至图7D所示的制造方法来制造的作为有机EL装置构成要素的显示装置的一部分的电路图。图9是表示图8中所示的显示装置的像素区域的平面结构的放大平面图。

在图8中，显示装置501是利用作为有机EL装置的EL显示元件的有源矩阵型显示装置。此显示装置501，在透明的显示基板502上，具有：多个扫描线503、对这些扫描线503交叉方向延伸的多个信号线504、在这些信号线504并列延伸的多个共同供给线505，各自配线的构成。并且，在扫描线503与信号线504的交叉点，设有像素区域501A。

对信号线504，设有：具有移位寄存器、电平移位、视频线、模拟开关的数据侧驱动电路507。对扫描线503，设有：具有移位寄存器和电平移位的扫描侧驱动电路508。在每一个像素区域501A，设有：通过扫描线503供给扫描信号的开关薄膜晶体管509；通过这些开关薄膜晶体管509存储和保持信号线504所供给的图像信号的存储电容cap；由此存储电容cap所保持的图像信号供给在栅极电极的电流薄膜晶体管510；通过此电流薄膜晶体管510电连接在共同供给线505时，从共同供给线505流进驱动电流的像素电极511；被夹在此像素电极511与反射电极512之间的发光元件513。

根据这样的构成，如果驱动扫描线503而开关薄膜晶体管509变为接通，则此时的信号线504的电位保持在存储电容cap。按照此存储电容cap的状态，决定电流薄膜晶体管510的接通·断开状态。通过电流薄膜晶体管510的通道，从共同供给线505向像素电极511通过电流，进一步通过发光元件513向反射电极512通过电流。

由此，发光元件513发出与这些通过的电流量相应的光。

像素区域501A如去掉反射电极512和发光元件513状态的作为显示装置501的放大平面图的图9所示，平面状态是其长方形的像素电极511的四个边被信号线504、共同供给线505、扫描线503和省略图示的其他像素电极511用的扫描线503来包围配置的。

如此构成的显示装置501，利用上述的有机EL装置的制造方法来制造的，所以，比较低价、且大的画面全体中可以高精细来显示高品质的图像。

(电子仪器)

下面，说明：具备上述实施方式的电光学装置的电子仪器。图10A是表示移动电话机一例的立体图。

在图10A中，符号1000是表示移动电话机主体，符号1001是表示由上述实施方式的电光学装置所构成的显示部。

图10B是表示手表型电子仪器之一例的立体图。在图10B中，符号1100表示手表主体，符号1101表示由上述实施方式的电光学装置所构成的显示部。

图10C是表示文字处理器、个人计算机等的携带型信息处理装置之一例的立体图。在图10C中，符号1200表示信息处理装置，符号1202表示键盘等的输入部，符号1204表示信息处理装置的主体，符号1206表示由上述实施方式的电光学装置所构成的显示部。

在图10A、图10B和图10C中所示的电子仪器，具备上述实施方式的电子仪器，所以，即使显示部变为大画面，在其显示部可以高精细来显示高品质的图像。

另外，本发明的技术范围不限于上述的实施方式，不脱离本发明宗旨的范围内，可以加以种种变更；在实施方式中举出的具体的材料或层构成等只不过是一例，可以适当变更。例如，在上述实施方式中，作为电光学装置的一例举出了有机EL装置，但本发明不是限定于此，在等离子体显示装置、液晶装置等的各种电光学装置中，可以应用本发明；在滤色器的着色材料的涂敷等方面，也可以适用本发明。另外，有关本发明的液滴喷出方法的形成物不限于像素等，也可以利用有关本发明的液滴喷出方法来形成配线图案、电极、各种半导体元件等。

Claims (10)

1、一种液滴喷出方法，其中：

包括：对基板上的围堰所包围的绘图对象区域，一边使喷头扫描一边以一定间隔喷出液滴的工序，

所述绘图对象区域具有：位于所述绘图对象区域的外周侧的外周侧区域、和作为除了所述外周侧区域之外的区域的中央侧区域，

在所述中央侧区域，设置有不会弹落来自所述喷头的所述液滴的非喷出处。

2、根据权利要求1所述的液滴喷出方法，其中：

还包括生成与所述绘图对象区域对应的位映像的工序，

所述位映像分别具有沿着所述绘图区域的长边方向的多列，

所述非喷出处被设定在所述多列中除外侧的列之外的中央侧的至少一列。

3、根据权利要求2所述的液滴喷出方法，其中：

所述非喷出处被分散配置在所述中央侧的至少一列。

4、根据权利要求2所述的液滴喷出方法，其中：

所述中央侧的至少整个一列是所述非喷出处。

5、一种液滴喷出方法，其中：

包括：对基板上的围堰所包围的绘图对象区域，一边使喷头扫描一边以一定间隔喷出液滴的工序，

所述绘图对象区域具有：位于所述绘图对象区域的外周侧的外周侧区域、和作为除了所述外周侧区域之外的区域的中央侧区域，

在所述中央侧区域，设置有来自所述喷头的所述液滴的弹落量与其他处不同的不同喷出量处。

6、根据权利要求5所述的液滴喷出方法，其中：

还包括生成与所述绘图对象区域对应的位映像的工序，

所述位映像分别具有沿着所述绘图区域的长边方向的多列，

所述不同喷出量处被设定在所述多列中除外侧的列之外的中央侧的至少一列。

7、根据权利要求6所述的液滴喷出方法，其中：

所述不同喷出量处被分散配置在所述中央侧的至少一列。

8、根据权利要求6所述的液滴喷出方法，其中：

所述中央侧的至少整个一列是所述不同喷出量处。

9、一种电光学装置的制造方法，其中：

利用权利要求1至8所述的任意一种液滴喷出方法。

10、电子仪器，其中：

具备权利要求9所述的电光学装置制造方法来制造的电光学装置。

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