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CN100401456C - 放电管和使用放电管的闪光装置和照相机 - Google Patents

放电管和使用放电管的闪光装置和照相机 Download PDF

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CN100401456C
CN100401456C CNB028051629A CN02805162A CN100401456C CN 100401456 C CN100401456 C CN 100401456C CN B028051629 A CNB028051629 A CN B028051629A CN 02805162 A CN02805162 A CN 02805162A CN 100401456 C CN100401456 C CN 100401456C
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silanol
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Abstract

放电管既能承受大的电输入又能小型化。该放电管实现了小型照相用闪频装置和照相用相机。该放电管包括：封入有稀有气体的和壁厚为0.2mm至0.6mm的玻璃壳、分别设置在玻璃壳中的两端的一对主电极和形成在玻璃壳的外表面上的触发电极、以及在玻璃壳的内面上形成的由壁厚为0.05μm至0.11μm的二氧化硅组成的覆盖膜。在主电极之间输入以玻璃壳的内容积为基准的电功率0.90Ws/mm3以下的电功率。

Description

放电管和使用放电管的闪光装置和照相机
技术领域
本发明涉及作为照相摄影用的人工光源使用的放电管，特别是涉及相对用于发光的电输入的耐久性优良的放电管和用该放电管的闪光装置和照相机。
背景技术
内装在照相摄影用的闪光装置或照相机内等作为人工光源使用的放电管为了具有便携性而要求发光量大。该放电管在玻璃管的两端密封阳极和阴极的一对主电极的玻璃壳内封入稀有气体，并通过把电输入供给该一对主电极之间进行放电发光。
众所周知，电输入越大，该发光量越大，为了满足上述要求，也可以通过使玻璃壳变小使电输入变大。然而在相对玻璃壳的电输入上是有限度的，一旦施加超过限度的输入因玻璃壳在非常少的发生次数下就发生裂纹或破裂，所以不能施加超过需要的电输入。
作为通过提高该玻璃壳的强度增加对电输入的耐久性的放电管可以参看日本特许的特开昭62-206761号公报。该放电管具有在玻璃壳内表面上形成的二氧化硅薄膜，因此，虽然不使用特别高强度的石英管也能提高相对用于发光的电输入的玻璃壳的强度。
然而，对输入放电管的电输入强度而言，考虑各种因素后只简单地通过在玻璃壳内表面上形成二氧化硅薄膜，是不能得到用于提高玻璃壳强度的放电管的。
另外，最近的放电管要求小型化，如果使玻璃壳的强度提高，当然能使放电管小型化，还能使装入该放电管使用的照相用闪光装置和照相机小型化。
发明内容
放电管既能耐大的电输入，也能小型化。该放电管实现了小型照相用闪光装置和照相用照相机。该放电管包括：封入有稀有气体的和壁厚为0.2mm至0.6mm的玻璃壳、分别设置在玻璃壳中两端上的一对主电极和形成在玻璃壳的外表面上的触发电极、以及形成在玻璃壳的内面上的由壁厚为0.05μm至0.11μm的二氧化硅组成的覆盖膜。在主电极上输入以玻璃壳的内容积为基准的电功率0.90Ws/mm3以下的电功率。
本发明方案1是一种放电管，包括：封入有稀有气体的、在两端分别具有密封部分的壁厚为0.2mm至0.6mm的玻璃壳，分别设置在上述玻璃壳的上述密封部分上的一对主电极，形成在上述玻璃壳的外表面上的触发电极，除上述玻璃壳的上述密封部分，形成在上述玻璃壳的内表面上的由厚度为0.05μm至0.11μm的二氧化硅组成的覆盖膜；在上述主电极之间输入以上述玻璃壳的内容积为基准的电功率0.90Ws/mm3以下的电功率。
本发明方案2是一种放电管，包括：封入有稀有气体的和壁厚为0.2mm至0.6mm的玻璃壳，分别设置在上述玻璃壳中两端上的一对主电极，形成在上述玻璃壳的外表面上的触发电极，覆盖上述触发电极的外表面形成的由厚度为0.05μm至0.11μm的二氧化硅组成的覆盖膜；在上述主电极之间输入以上述玻璃壳的内容积为基准的电功率0.90Ws/mm3以下的电功率。
本发明方案3是一种放电管，包括：封入有稀有气体的和壁厚为0.2mm至0.6mm的玻璃壳，分别设置在上述玻璃壳中两端上的主电极，形成在上述玻璃壳的外表面上的触发电极，除上述玻璃壳的上述两端部分，覆盖上述触发电极而形成的、壁厚为0.05μm至0.11μm的二氧化碳组成的覆盖膜；在上述主电极之间输入以上述玻璃壳的内容积为基准的电功率0.90Ws/mm3以下的电功率。
本发明方案4是一种放电管的制造方法，包括：在在厚度为0.2μm至0.6μm玻璃管的外表面上形成触发电极的工序，除上述玻璃壳的两端，在上述玻璃管的内面上和上述触发电极的外面上的至少一方上形成硅烷醇覆盖膜的工序，使具有上述硅烷醇覆盖膜的上述玻璃管的温度从第一温度上升到比上述第一温度高的第二温度后，通过烧结上述硅烷醇覆盖膜，由厚度为0.05μm至0.11μm的二氧化硅组成的覆盖膜的二氧化硅组成的覆盖膜的工序，在上述玻璃管的上述两端分别密封一对主电极形成玻璃壳并在上述玻璃壳内封入稀有气体的工序，在所述主电极之间输入以所述玻璃壳的内容积为基准的电功率为0.90Ws/mm3以下的电功率。
本发明方案5是一种放电管的制造方法，包括：在内部封入稀有气体并在两端部密封有一对主电极的玻璃壳的外表面上的除上述主电极的密封部分上形成触发电极的工序，形成覆盖上述触发电极的硅烷醇覆盖膜的工序，使具有上述硅烷醇覆盖膜的上述玻璃壳的温度上升，烧结上述硅烷醇覆盖膜，由厚度为0.05μm至0.11μm的二氧化硅组成的覆盖膜的工序。
本发明方案6是一种闪光装置，包括：如方案1、3或5所述的任何一项的放电管，装有上述放电管并反射上述放电管所发光的反射伞，被电源充电并向上述放电管供给能量的电容器，将触发电压供给上述放电管的触发电路。
本发明方案7是一种照相机，包括：如方案1、3或5任何一项所述的放电管，装有上述放电管并反射上述放电管所发光的反射伞，被电源充电并向上述放电管供给能量的电容器，将触发电供给上述放电管的触发电路。
附图说明
图1是本发明实施方式1的放电管的剖面图。
图2是本发明实施方式1的放电管局部放大剖面图
图3是本发明实施方式1的放电管主电极的局部放大剖面图
图4是表示用于形成在实施方式的放电管内面上的保护覆盖膜的涂敷硅烷醇溶液的覆盖膜的方法的剖面图
图5是实施方式1的放电管的发光试验电路图
图6是说明实施方式的放电管与现有技术的放电管的性能比较试验的放电管概略图。
图7是装入实施方式1的放电管的反射伞的立体图。
图8是本发明实施方式2的闪光装置的立体图。
图9是本发明实施方式3的照相机的立体图。
图10是为本发明实施方式4的放电管的剖面图。
图11是在图10中所示的放电管的11-11线的纵剖视图。
图12是本发明实施方式5的放电管的剖面图。
图13是图12中所示的放电管的13-13线的纵剖视图。
图14A是表示就实施方式5的放电管在玻璃管内表面上形成触发电极的方法的剖面图。
图14B是表示就实施方式5的放电管在玻璃管内表面上形成触发电极的导电覆盖膜和二氧化硅的保护覆盖膜的方法的剖面图。
具体实施方式
(实施方式1)
图1是本发明实施方式1的放电管的剖面图。放电管包括由硼硅酸硬质玻璃制成的玻璃壳1和密封在玻璃壳两端部上的主电极2、3。主电极2是连接在后述的供给发光能量主放电电容器的低压侧上的阴极，由金属体4和烧结体5构成。主电极3是在连接在上述主放电电容器高压侧上的阳极。金属体4密封在玻璃壳1的端部上构成主电极2并是用于发光的电功率输入的导入线。烧结金属体5通过铆接或焊接等安装在定位在玻璃壳1内的金属体4的前端部上构成电极2，焊珠玻璃6将金属体4密封在玻璃壳1的端部上，焊珠玻璃7将构成主电极的金属体3密封在玻璃壳的端部上，所述主电极同时是密封在玻璃壳1的端部上输入用于发光的电功率的导线。形成在玻璃壳1内的透光性良好的二氧化硅的保护覆盖膜8如图2所示，在玻璃壳1的内面上涂成薄层后在高温下烧制而成。在玻璃壳的内部9封入规定量的例如氙气的稀有气体。用于激励放电管放电的高压触发电压供给触发电极，该触发电极由公知的锡或铟等氧化金属组成的透明的覆盖膜形成。
构成主电极2烧结金属体5通过将例如钽和铌的细粉末的混合金属粉末加压成形后在1500℃程度的高温下烧制成。金属体4也可是钨或钴等单一金属，但也可如图3所示那样，用作为高融点金属钨形成定位在玻璃壳1内的部分11，使向玻璃壳外突出通过焊接镍等容易加工的金属与施加电功率的金属体12接合。
主电极3也可以用接合钨和钴等的单一金属或如图3所示那样的钨和镍的金属体构成。
下面参照图4说明由以上构成制成的放电管的保护覆盖膜8的形成方法。
首先将玻璃管15的一端浸渍在已放入混合溶液14的容器13中的硅烷醇溶液14中，所述混合溶液14是已放入在容器13中的硅烷醇、甲醇、醋酸乙酯、乙醇等的混合溶液。通过连接在玻璃管15的另一端上的图中未示出的真空泵将硅烷醇溶液沿箭头方向吸引，使硅烷醇溶液14一直上升到除去密封主电极2、3中任一个的主电极的部分的规定位置，在玻璃管15的内面上涂敷硅烷醇溶液14。然后把玻璃管15从溶液中取出，如果排除玻璃管15内部的硅烷醇溶液，则就在玻璃管内表面上形成变成二氧化硅的保护覆盖膜的硅烷醇溶液的涂敷膜(以下称为硅烷醇覆盖膜)。在表1中示出了硅烷醇溶液的一例。
表1
  硅烷醇[Si(OH)<sub>4</sub>]甲醇[CH<sub>3</sub>OH]醋酸甲酯[CH<sub>3</sub>COOCH<sub>3</sub>]乙醇[C<sub>2</sub>H<sub>5</sub>OH]醋酸乙酯[CH<sub>3</sub>COOC<sub>2</sub>H<sub>5</sub>]五氧化二磷[P<sub>2</sub>O<sub>5</sub>]   13wt％26wt％25.8wt％24wt％11wt％0.2wt％
因为浸渍在硅烷醇溶液中的玻璃管15的下端部分是密封在另一主电极的部分，所以有必要将该部分保护覆盖膜除去，在密封该另一主电极的上述下端的覆盖膜形成不要部分上的硅烷醇覆盖膜除去方法可以用刷子擦掉，也可以用下述方法除去。
在硅烷醇覆盖膜涂敷后使空气或氮气流入玻璃管内，使硅烷醇干燥后，将玻璃管的涂敷覆盖膜不要部分浸渍在例如作为硅烷醇覆盖膜除去剂的氢氧化钠的30％水溶液或氢氧化钙30％水溶液或氟化氢酸2％水溶液中短时间例如数秒程度。或者在硅烷醇覆盖膜干燥后在约为150℃的温度下定位烧制硅烷醇覆盖膜后，将上述不要的覆盖膜部分浸渍在氟化氢酸5％水溶液或氟化铵的10％水溶液中短时间例如2至5秒程度除去，再用水洗该覆盖膜除去部分。
如上所述那样做，在除去硅烷醇覆盖膜的不要部分后，将玻璃管15放入容器内，使其慢慢上升到150℃并维持在第一阶段的除去硅烷醇覆盖膜的不要部分后，将玻璃管15放入容器内，使其慢慢上升到150℃的温度15分至30分程度，然后，接着使其慢慢上升到第二阶段的约300℃，并在维持300℃的温度15分至30分的程度后，使其慢慢上升到第三阶段的约600℃至650℃的高温。如果维持600℃至650℃的温度例如约30分程度，就通过烧制二氧化硅覆盖膜在玻璃管上形成保护覆盖膜。
这样一来，使温度低温至高温分阶段地上升，最好通过维持第一至第三阶段的温度数十分钟，制成保护覆盖膜8。在把玻璃管突然放入高温例如650℃的高温容器中烧制因在硅烷醇覆盖膜上产生细裂纹而不是优选的。保护覆盖膜8的分阶段的烧制温度和在各阶段维持时间可以根据硅烷醇覆盖膜的厚度适当调整。
这样形成的二氧化硅保护覆盖膜8的厚度，可以通过例如改变硅烷醇溶液的浓度或调整在硅烷醇覆盖膜涂敷后从玻璃管排出的硅烷醇溶液的排出速度。
硅烷醇覆盖膜的涂敷也可以通过结合管预先连接图中未示出的固定保持的玻璃管和已装入硅烷醇的容器，通过使硅烷醇溶液的容器上下动来使玻璃管内的硅烷醇溶液上下涂敷在玻璃管上。
在这样形成有二氧化硅保护覆盖膜的玻璃管15的外表面上形成例如由透明的锡或铟等的氧化金属的公知的透明导电性覆盖膜制成的触发电极10。然后在玻璃管15的两端部上密封上述的主电极2、3，同时在玻璃管内封入必要量的氙等稀有气体完成放电管。
在由以上构成的本实施方式的放电管中，如图6所示，在玻璃壳1上下班使用内径(
Figure C0280516200101
)为
Figure C0280516200102
的硼硅酸玻璃材料，在玻璃壳1内封入氙的稀有气体(100KPa)，在密封在玻璃壳1上的在图1中所示的主电极2、3之间的放电间隔(L)是26mm。在玻璃壳1的内面上形成的上述二氧化硅的保护覆盖膜8，在玻璃壳1的外周面上形成触发电极10。使玻璃壳1的壁厚(
Figure C0280516200103
)在作为实用的下限的0.2mm至0.6mm的范围内变化和使形成在玻璃管内表面上的保护覆盖膜二氧化硅(SiO2)的膜厚在0.03μm至0.13μm内变化组合来制作各10只。
在这些玻璃壳1内形成的二氧化硅的覆盖膜的膜厚通过俄歇电子分析测定玻璃管测定，在固定二氧化硅覆盖膜的膜厚形成条件例如硅烷醇溶液浓度后在相同的壁厚玻璃管内制作二氧化硅膜厚相同的二氧化硅覆盖膜。用各个玻璃管制作按上述规格的放电管。
另外，在按本实施方式的硼硅酸玻璃材料的玻璃管的内面上没有覆盖膜的现有技术的放电管的玻璃壳内封入氙稀有气体(100KPa)。使与密封在玻璃壳中的本实施方式相同的两个主电极的放电间隔为26mm，然后与按本实施方式同样的规格分别制作10个。
然后按图5所示的电路图对本实施方式和现有技术的放电管进行发光试验。图5的发光电路是照相用闪光装置的基本电路。主放电电容器17被直流电源16充电，将作为发光能的电功率供给用于评价测定的放电管X。触发电路18将用于激发放电管X的触发电压供给触发电极。
测定时，使主放电电容器17的容量值固定为1.540μf，通过改变其充电电压使电输入变化。另外使放电管发光间隔固定为30秒，使其进行2000次的发光，测定2000次发光后的光量变化相对初始光量值的变化，其结果示在表2中。
表2
Figure C0280516200111
Figure C0280516200121
在表中现有技术样品栏中记载的“不能测定”表示在2000次的发光中途上全部10个样品因玻璃壳的破损和断裂等不能发光而不能进行比光量的测定。另外，例如在用0.4mm的壁厚的玻璃壳0.85Ws/mm3的输入能量的情况下记载为比光量80(n＝4)，是表示10个样品中有6个样品在2000次发光中途不能发光，只有4个能发光到2000次，其平均值为80％的比光量值。
在本实施方式的比光量栏中记载n＝6、5...的数值表示与现有技术产品同样的数据，也就是说，在电输入为0.92Ws/mm3的场合，例如在玻璃壳壁厚为0.2mm，二氧化硅的膜厚为0.03μm的样品上记载比光量为75(n＝6)。这就如上述那样表示，发光到2000次的样品数为6个，其比光量的平均值为75％，因此表示4个在发光到2000次中为发光不合格。另外，在比光量的数值栏中没有记载(n＝...)是表示各比光量的数值是样品数n＝10个的平均值。
从表2中可以看出，本实施方式的放电管在输入功率为0.92Ws/mm3，玻璃壳的壁厚0.2mm，二氧化硅的膜厚分别为0.03μm、0.05μm、0.08μm的放电管在光到2000次的中途变成发光不合格，分别发生为4、5、2个。玻璃壳的壁厚0.4mm的样品，二氧化硅的膜厚为0.03μm、0.05μm在发光到2000次上变成发光不合格，分别发生3、2个。
然而，当输入功率变成分别为0.90Ws/mm3、0.85Ws/mm3时玻璃壳的厚度0.2mm至0.6mm的放电管，即使二氧化硅的膜厚薄成0.03μm，也都发光到2000次。
在比光量为0.90Ws/mm3的输入时，玻璃壳的厚度2mm的放电管，二氧化硅的膜厚分别为0.03μm、0.13μm的样品的比光量为87％、90％与其它的0.05μm至0.11μm的膜厚的样品相比是低的。这个倾向对壁厚0.4mm、0.6mm的玻璃壳的样品也是相同的，结果表示二氧化硅的薄厚无论过薄还是过厚发光量都会下降。关于这点在电输入为0.85Ws/mm3的情况下就0.2mm至0.6mm的玻璃壳全部也是同样的。
作为放电管即使在1000、2000次的多次数的发光后，相对初始光量的比光量作为使用在照相用闪光装置和照相用照相机上的放电管如果相对初始值的比光量为90％以上，则在实用上也没有问题。
从以上说明可以看出，当考虑在壁厚为0.2mm至0.6mm的玻璃壳的放电管上的电输入，作为保护覆盖膜的二氧化硅的膜厚的实际使用的最佳条件时，在电输入为0.92Ws/mm3的情况下，玻璃壳分别为0.2mm、0.4mm的放电管发光不良，从发光寿命的观点上看，该电输入在实用上不是优选的。因此从发光寿命的观点上看，根据电输入认为0.90Ws/mm3以下为该输入条件。
根据发光量在认为上述的2000次发光的比光量为90％以上的条件下，二氧化硅的膜厚最好为0.05μm至0.11μm。
另外，虽然现有技术的放电管仅壁厚只要为0.6mm的玻璃管的样品在0.90Ws/mm3以下也能免强地发光，但当变成为0.92Ws/mm3的电输入时，0.6mm壁厚的玻璃壳样品却全部不能发光到2000次。在0.6mm的壁厚的玻璃壳的样品上输入0.90Ws/mm3的样品的比光量为85％，在相同的玻璃壳的样品上输入0.85Ws/mm3的样品的比光量为87％。这些比光量是作为在上述的实际中使用时的实用的比光量值的90％以下，与任何相同输入条件的本实施方式相比，比光量是低的。
这样一来，本实施方式的放电管与现有的样品相比可以确认即使在比光量任何值中都是优良的。
下面为了在现有技术的放电管上得到与本实施方式同样的发光量而使用图6放电概略图说明哪些的尺寸是必要的。
表3示出了为了得到同样的光量所必需的玻璃壳的外径和内径、电极间距离、电极间距离部分的容积、封入气体压力和电输入。在本实施方式的放电管中，设涂敷在玻璃壳的内面上的二氧化硅的膜厚为0.05μm。而电输入示出了相对玻璃壳的单位体积的值。在现有技术中的样品的电输入表示在主电极间施加使1.540μf的主放电电容器充电到340v的充电能量时的相对内容积的换算电功率。本实施方式的样品的电输入表示使1.540μf的主放电电容器充电到355v的充电能量施加在主电极间时的相对内容积的换算功率。
表3
  内径φ1mm   外径φ2mm   电极间距离L(mm)   容积mm<sup>3</sup>   容积比％   气体压力(KPa)   电输入(Ws/mm<sup>3</sup>)
  现有技术样品   2.3   3.5   29.5   283.7   100   100   0.72
  实施方式   2.3   3.0   26.0   183.7   64.8   100   0.90
如从表3中清楚看到那样，本实施方式的放电管使用壁厚0.35mm的玻璃壳，通在该玻璃壳内涂敷0.05μm的二氧化硅的覆盖膜，通过输入0.90Ws/mm3可以得到与现有技术的放电管同样的光量。在现有技术和本实施方式的主电极间(距离)的部分的容积
Figure C0280516200141
与现有技术的极电管容积283.7mm3相对应，本实施方式的放电管是183.7mm3。因此作为容积比，本实施方式的放电管的容积是现有技术的64.8％，比其小35.2％。该容积比对包括放电管的电极密封部的全部体积比也是同样的。电极和玻璃壳的密封部的容积与放电管的规格和生产方法的依赖关系大，在现有技术的放电管和本实施方式的样品上几乎没有差别。小型化重要的是主电极间的部分的容积。因此本实施方式的放电管可以作得比现有技术的放电管相当的小。
放电管在装入照相用闪光装置和照相用照相机中时，首先装入内面反射效率高的反射伞中。图7是装入放电管的反射伞的立体图。为了使在铝和树脂制的反射伞19的装入放电管20的内面上高效率反射光，而进行利用例如蒸镀银的反射层。在反射伞19的前面为了调整来自放电管20的发光特性而安装透光树脂制的发光面板21。
反射伞19的大小与装入放电管的大小相关，因此装入上述的已被小型化的实施方式的放电管的反射伞也随仅放电管上小型化的容积的减少确实小型化。另外，也能使装入这些放电管使用的闪光装置和照相机也随放电管和反射伞的小型化的尺寸而小型化。
(实施方式2)
图8是本实施方式2的照相用闪光装置22的立体图，
在闪光装置22上装入用图5的发光试验电路的直流电源，主放电电容器用于使触发电路等的放电管发光所必要的电路和部件以及图7所示的放电管和反射伞。因为如上述那样放电管和反射伞是小型的，所以本实施方式中的照相用闪光装置也伴随其小型化而小型化。闪光装置22包括用图7表示的发光板21和用于安装在照相用照相机上的安装部23。
(实施方式3)
图9是装入本发明的放电管构成的实施方式3的照相用照相机的立体图。照相机24包括：透镜25、安装在装入有放电管的反射伞的前面上的上述发光面板26、测距器27、快门按钮28和图中未示出的其它操作开关和电路。该照相机也可以是使用银盐胶片的照相机和在CCD等的记录媒体上进行电子记录的所谓数码呆照照相机的任何一种。
图8和图9的照相用闪光装置和照相用照相机随着放电管的反射伞变成小型而小型化，在便携性上更优秀。
另外，即使为了增加新的功能而需要空间的场合，也没有必要使闪光装置和照相用照相机本体的容积加大。该照相机可以确保相当于使放电管和反射伞小型化的容积部分的容积空间，所以可以有效活用该容间。
(实施方式4)
图10是本发明实施方式4的放电管的剖面图。
图11是图10的放电管的11-11线的剖面图，在这两个图中，凡与实施方式1的放电管相同标号的零部件的功能相同，并省略基说明。
图10和图11中所示的本实施方式的放电管包括作为形成在玻璃管壳1的外周面上的上述透明导电覆盖膜的触发电极29和覆盖触发电极29的外表面上的二氧化硅保护覆盖膜30。
触发电极29和二氧化硅保护覆盖膜30具体地以下述方式形成。
首先在密封有作为阴极的主电极2和作为阳极的主电极3的玻璃管的密封部分的内外面上涂敷由氧化铝硅酸盐矿物和水的混合液或氧化铝和水的混合液组成的绝缘性的掩膜材料并干燥。在其后，将涂敷该覆盖材料的玻璃管装在约600℃的高温炉中，将锡和乙醇的氯化溶液或铟和乙醇的氯化溶液朝向在该高温炉内的加热状态的玻璃管喷射成雾状。借此在玻璃管的外周面的规定范围(除去对应阳极3和阴极2的密封部分的位置的部分)上形成透明的氧化锡或氧化铟的导电覆盖膜的触发电极29。
接着，为了使硅烷醇溶液不进入玻璃管内而闭塞玻璃管的下端部。使在涂敷上述掩膜材料的状态下形成有触发电极29的玻璃管从闭塞的下端部浸渍在表1的硅烷醇溶液中，一直浸渍到上端部的掩膜位置。然后从硅烷醇溶液中向上拉玻璃管，在触发电极29的外周面上涂敷硅烷醇覆盖膜。
接着如上述那样，把形成有硅烷醇覆盖膜的玻璃管放入高温炉中使温度分阶段上升烧制硅烷醇覆盖膜，覆盖触发电极29地形成保护覆盖膜30。
接着，通过刷操作等除去从高温电炉中取出并在形成有保护覆盖膜30的玻璃管的电极2、3的密封部分涂敷的掩膜材料后，在玻璃管1的外周面上形成由触发电极29和保护覆盖膜30形成二层结构的覆盖膜。
然后，把在放电管的一端上具有阴极电极2、触发电极29和保护覆盖膜30的玻璃管1，在安装有玻璃珠7的阳极电极3从另一开口嵌插的状态，装入在规定的排气·密封容器中。密封阴极电极并只嵌插阳极电极3的玻璃管在吸引除去其中不纯气体后，导入必要压力的氙气，在内部充满氙气。在该状态下，阳极3通过珠玻璃7融接密封在玻璃壳1的开口部分上，完成本实施方式的放电管。
触发电极29和二氧化硅保护覆盖膜30也可象以下那样形成。将阴极电极2和阳极电极3的两主电极密封在玻璃壳上，然后用上述掩膜材料涂敷作为在封入有稀有气体的玻璃壳1上的触发电极29和二氧化硅的保护覆盖膜30的不要部分的两主电极2、3的密封部分。
接着，首先在玻璃壳1的外周面上形成由透明的导电覆盖膜组成的触发电极29。再覆盖触发电极29地层叠由二氧化硅组成的保护覆盖膜30。然后除去主电极2、3的密封部分的掩膜材料。因此实施方式4的放电管与实施方式1的放电管一样，即使玻璃壳1细直径化、薄壁化，也可经通过保护覆盖膜30抑制玻璃壳1的裂纹发生。另外，例如即使发生微小裂纹也能通过保护覆盖膜30抑制裂纹扩大。可以确实防止象现有技术那样裂纹发生直接与玻璃壳的破损相关。从而可以使玻璃壳1的强度显著提高，可以使放电管长寿命和小型化。
实施方式4的放电管虽然与实施方式1同样，作为阴极电极的主电极2由金属体和烧结金属体构成，但也可以只用与阳极电极3同样的金属体构成。
另外，通过在照相用闪光装置和照相用照相机上使用实施方式4的放电管，可以使闪光装置和照相机小型化。
在实施方式4的放电管中，通过将玻璃管浸渍在硅烷醇溶液和在玻璃管上连续高温烧制，在玻璃壳1的触发电极29的表面上形成保护覆盖膜30，保护覆盖膜30不限于上述方法，也可以用所谓的化学蒸镀(CVD)法，通过把玻璃管放置在硅烷醇溶液的蒸气气氛中使触发电极29层的表面上层叠硅烷醇覆盖膜，通过继续进行上述的烧制处理形成。
(实施方式5)
图12是实施方式5的放电管的剖面图，图13是图12的玻璃管13-13线上的剖面图。凡与实施方式1、4的放电管附加同样符号的零部件具有相同的功能，并省略其说明。
在实施方式4的放电管中，在玻璃壳外周面上层叠形成触发电极和保护覆盖膜，而在实施方式5的放电管中，在玻璃壳1的内周面上层叠形成触发电极31和保护覆盖膜32。
现在说明触发电极和保护覆盖膜的形成方法。图14A和图14B是形成触发电极31和二氧化硅保护覆盖膜32的方法的说明图。图14A表示在玻璃壳1内的内周面上形成触发电极31的方法，而且图14B表示覆盖触发电极31的上面地形成二氧化硅保护覆盖膜32的方法。
首先在玻璃管33的例如密封阳极电极3的部分上涂敷上述绝缘的掩膜材料的覆盖膜。
接着，将涂敷有掩膜材料的玻璃管33把密封阳极电极3的端部作为下方，如图14A所示那样浸渍在已放入在第一容器34的锡或铟和乙醇的氯化溶液35中。在该状态下通过与玻璃管的上部结合的未图示的真空泵使玻璃管33内减压。然后如图14A所示那样，使第一容器34内的氯化溶液35上升到玻璃管33的内，将玻璃管33的内周面浸渍在氯化溶液35中，直到密封阴极电极2的部分的位置。
接着，通过使玻璃管33恢复到常压使氯化溶液35下降，在内周面上涂敷氯化溶液35的薄膜。然后通过将玻璃管33装在约600℃的高温炉中，对氯化溶液35的薄膜进行烧制处理，借此在玻璃管33的内周面的规定范围形成由透明的氧化锡或氧化铟的覆盖膜组成的触发电极31。
使在内周面上已形成触发电极31的玻璃管33在被第二容器36充满的表1的硅烷醇溶液37中，浸渍已涂有掩膜材料状态的玻璃管33的阳极电极3侧。接着通过利用连接在玻璃管上未示出的真空泵的吸引处理，使硅烷醇如图14B所示那样在玻璃管33内上升到密封阴极电极2的部分的上方，以便覆盖触发电极31。
接着，玻璃管33内的硅烷醇溶液37因使玻璃管33内恢复到常压而下降，借此覆盖形成在玻璃管33内周面上的触发电极31地涂敷硅烷醇覆盖膜，将已涂敷硅烷醇的玻璃管装入高温炉中，只要在与实施方式相同的步骤中升温烧制就可形成二氧化硅的保护覆盖膜32。
接着，用刷子等除去从高温炉取出的玻璃管33的在密封阳极的端部上形成的掩膜的涂敷膜。因为这样形成的保护覆盖膜32如图12和图13所示那样覆盖触发电极31全部，所以可以确实在阳极电极3和阴极电极2与触发电极31之间形成保护覆盖膜32。
然后，通过珠玻璃6将阴极电极2密封在玻璃管33的端部，形成有触发电极31和保护覆盖膜32的玻璃管33在安装珠玻璃7后的阳极电极3从另一开口嵌插的状态下装入在规定的排气密封容器中。通过排气密封容器吸引除去其中的不纯气体后，通过导入氙等稀有气体到规定压力使氙气充满内部。在该状态下，通过珠玻璃7将阳极电极3融接密封在玻璃管33开口部分，完成图12中所示的实施方式5的放电管。
实施方式5的放电管如以上所述，在内部封入有规定压力的氙等稀有气体的玻璃壳1的内周面上形成由透明的导电性覆盖膜构成的触发电极31。在玻璃壳1的内端设置互相对置的一对主电极(阳极电极3和阴极电极2)因为在触发电极31的内周面上还层叠由绝缘性能优良的二氧化硅制成的保护覆盖膜32，所以使玻璃壳1强度提高。因此可以抑制因施加用于发光的电输入时的冲击引起玻璃壳1的裂纹发生例如微小裂纹也能抑制扩大，从而可以确实防止与玻璃壳1的破损相关的损坏。因此使玻璃壳1强度提高的本实施方式的放电管与现有技术的放电管相比，可以小型化和细直径化。
除上述之外，实施方式5的放电管在玻璃壳内设置触发电极31，还用保护覆盖膜32被覆该电极。因此，可以防止在供给高压的触发电极时，形成在玻璃壳1上的触发电极与主电极间的短路。因此，可以确实防止因其短路引起的放电管不发光。
在实施方式5的放电管中，通过与实施方式同样地在规定的温度下加热处理在触发电极上形成有硅烷醇覆盖膜的玻璃管33来形成保护覆盖膜32，借此用简单的操作就可以制造形成有覆盖保护覆盖膜触发电极32的放电管。
虽然实施方式5的放电管的阴极电极的主电极2由金属体和烧制金属体形成，但也可以只由作为主电极阳极同样的金属形成。
在使用实施方式5的放电管构成的照相用闪光装置中，因为在供给高压触发电压时，在触发电极与阳极电极或阴极电极之间不放电短路，所以可以确实防止因放电管的不发光而引起不能正常摄影的问题。
在以上所述的实施方式1、4、5的放电管中，在玻璃壳的内部或外部形成的保护覆盖膜在把形成玻璃壳的玻璃管浸渍在硅烷醇溶液中后通过分阶段的升温烧制该覆盖膜。在玻璃壳上形成的二氧化硅保护覆盖膜不限于上述方法，也可以通过把玻璃管放置在硅烷醇溶液的蒸气气氛中通过使硅酸醇在玻璃管的内外表面上层叠硅烷醇覆盖膜的所谓化学蒸镀(CVD)法涂敷硅烷醇覆盖膜。通过对硅烷醇覆盖膜进行上述的烧制处理可以在玻璃壳上形成保护覆盖膜。
虽然，在实施方式1中用厚度表示二氧化硅保护覆盖膜的形成状态，但也可以不用厚度而通过其重量表示。在表4中示出了二氧化硅的覆盖膜厚度与重量的对比。测定未形成保护覆盖膜的玻璃管或玻璃壳的重量，接着通过上述的俄歇电子分析测定在该玻璃管或玻璃壳上形成的保护覆盖膜的厚度，同时只要计量出该玻璃管或玻璃壳的重量，就能计算出对应氧化硅保护覆盖膜的厚度的重量。
表4
  SiO<sub>2</sub>覆盖膜的厚度(μm)   SiO<sub>2</sub>覆盖膜的重量(μg/mm<sup>2</sup>)
  0.050.080.11   0.350.500.60
工业实用性
按照本发明的放电管包括：封入有稀有气体的和壁厚为0.2mm至0.6mm的玻璃壳、分别设置在上述玻璃壳中的两端的一对主电极、形成在上述玻璃壳的外表面上的触发电极、形成在上述玻璃壳的内表面上并由壁厚为0.05μm至0.11μm的二氧化碳组成的覆盖膜；在上述主电极之间输入以上述玻璃壳的内容积为基准的电功率0.90Ws/mm3以下的电功率。
该放电管因为具有在上述条件下的保护覆盖膜，而能抑制随着上述电输入发生的裂纹，即使发生裂纹也不会使裂纹扩大，另外，该放电管还能充分耐2000次的多次发光即使只发那么多次发光，与初始光数量相比，也能发光量不降低地稳定发光。
另外，因为玻璃壳强度高度加强实用化，所以与现有技术的放电管相比，可以相当地减少总的体积，还可以将使用该放电管的照相用闪光装置和照相用照相机小型化，并可以提供实用性更高的照相用闪光装置和照相用照相机。

Claims (21)

1.一种放电管，包括：
封入有稀有气体的、在两端分别具有密封部分的、壁厚为0.2mm至0.6mm的玻璃壳，
分别设置在上述玻璃壳的上述密封部分上的一对主电极，
形成在上述玻璃壳的外表面上的触发电极，
除上述玻璃壳的上述密封部分之外，形成在上述玻璃壳的内表面上的由厚度为0.05μm至0.11μm的二氧化硅组成的覆盖膜；
在上述主电极之间输入以上述玻璃壳的内容积为基准的电功率0.90Ws/mm3以下的电功率。
2.如权利要求1所述的放电管，其特征在于：
在上述玻璃壳上除上述密封部分之外涂敷硅烷醇覆盖膜，并且使上述玻璃壳的温度阶段地上升，对上述硅烷醇覆盖膜进行烧结，而形成上述覆盖膜。
3.如权利要求1所述的放电管，其特征在于：
上述覆盖膜的重量是0.35μg/mm2至0.60μg/mm2。
4.如权利要求1所述的放电管，其特征在于：
上述主电极中至少一方包括：
密封在上述玻璃壳内的钨金属体，
连接在上述钨金属体上的镍金属体，
定位在上述玻璃壳的内部和配置在上述钨金属体的前端上的烧结金属体，
上述镍金属体位于上述玻璃壳的外部。
5.如权利要求1所述的放电管，其特征在于：
在所述密封部分形成于上述玻璃壳之前的、两端开口的玻璃管上，形成硅烷醇覆盖膜，并且对上述硅烷醇覆盖膜进行烧结，而形成上述覆盖膜。
6.如权利要求5所述的放电管，其特征在于：
通过使上述硅烷醇覆盖膜从第一温度到第二温度分阶段地上升烧结而形成上述覆盖膜。
7.如权利要求5所述的放电管，其特征在于：
在烧成上述硅烷醇覆盖膜之前，把上述硅烷醇覆盖膜的密封上述玻璃壳的上述主电极部分浸渍在硅烷醇除去液中，进行洗净除去，而形成上述覆盖膜。
8.如权利要求7所述的放电管，其特征在于：
上述硅烷醇除去液是氢氧化钠、氢氧化钙、氟化氢和氟化铵中的一种水溶液。
9.一种放电管的制造方法，包括：
在厚度为0.2μm至0.6μm的玻璃管的外表面上形成触发电极的工序，
除上述玻璃管的两端，在上述玻璃管的内面上形成硅烷醇覆盖膜的工序，
使具有上述硅烷醇覆盖膜的上述玻璃管的温度从第一温度上升到比上述第一温度高的第二温度后、烧结上述硅烷醇覆盖膜、形成由厚度为0.05μm至0.11μm的二氧化硅组成的覆盖膜的工序，
在上述玻璃管的上述两端分别密封一对主电极形成玻璃壳并在上述玻璃壳内封入稀有气体的工序，
在所述主电极之间输入以所述玻璃壳的内容积为基准的电功率为0.90Ws/mm3以下的电功率。
10.如权利要求9所述的方法，其特征在于：形成上述覆盖膜的工序包括使上述硅烷醇覆盖膜从上述第一温度到上述第二温度分阶段地上升的工序。
11.如权利要求9所述的方法，其特征在于：还包括：在形成由二氧化硅构成的上述覆盖膜的工序之前，将上述硅烷醇覆盖膜的、把上述玻璃管的上述主电极进行密封的部分浸渍在硅烷醇除去液中洗净除去的工序。
12.如权利要求11所述的方法，其特征在于：上述硅烷醇除去液是氢氧化钠、氢氧化钙、氟化氢和氟化铵中的一种水溶液。
13.如权利要求9所述的方法，其特征在于：上述主电极中的至少一方包括：连接钨金属体与镍金属体而形成的金属体和设置在上述钨金属体的前端部上的烧结金属体，
在上述玻璃管两端上密封的工序包括：把上述烧结金属体定位在上述玻璃壳的内部并将上述钨金属体的至少一部分密封在上述玻璃壳内，并且使上述镍金属体位于上述玻璃壳之外的工序。
14.一种闪光装置，包括：
如权利要求1所述的放电管，
装有上述放电管并反射上述放电管所发光的反射伞，
被电源充电并向上述放电管供给能量的电容器，
将触发电压供给上述放电管的触发电路。
15.如权利要求14所述的闪光装置，其特征在于：
上述覆盖膜的重量是0.35μg/mm2至0.60μg/mm2。
16.如权利要求14所述的闪光装置，其特征在于：
上述主电极的至少一方包括：
密封在上述玻璃壳上的钨金属体，
连接在上述钨金属体上的镍金属体，
定位在上玻璃壳内部并配置在上钨金属体的前端上的烧结金属体，
并且上述镍金属体位于上述玻璃壳外部。
17.如权利要求19所述的闪光装置，其特征在于：
在密封上述玻璃壳之前的玻璃壳的所述内面上形成硅烷醇覆盖膜，并且对上述硅烷醇覆盖膜烧结，而形成上述覆盖膜。
18.一种照相机，包括：
如权利要求1所述的放电管，
装有上述放电管并反射上述放电管所发光的反射伞，
被电源充电并向上述放电管供给能量的电容器，
将触发电供给上述放电管的触发电路。
19.如权利要求18所述的照相机，其特征在于：
上述覆盖膜的重量是0.35μg/mm2至0.60μg/mm2。
20.如权利要求18所述的照相机，其特征在于：
上述主电极的至少一方包括：
密封在上述玻璃壳上的钨金属体，
连接在上述钨金属体上的镍金属体，
定位在上玻璃壳内部并配置在上钨金属体的前端上的烧结金属体，
并且上述镍金属体位于上述玻璃壳外部。
21.如权利要求18所述的照相机，其特征在于：
在密封上述玻璃壳之前的玻璃管上形成硅烷醇覆盖膜，并对上述硅烷醇覆盖膜进行烧结，而形成上述覆盖膜。
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