CN100346177C - 防水型宽带高增透薄膜及其制备方法 - Google Patents
防水型宽带高增透薄膜及其制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN100346177C CN100346177C CNB2005101104564A CN200510110456A CN100346177C CN 100346177 C CN100346177 C CN 100346177C CN B2005101104564 A CNB2005101104564 A CN B2005101104564A CN 200510110456 A CN200510110456 A CN 200510110456A CN 100346177 C CN100346177 C CN 100346177C
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sol
- film
- sio
- preparation
- reflection film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 11
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 20
- IJOOHPMOJXWVHK-UHFFFAOYSA-N chlorotrimethylsilane Chemical compound C[Si](C)(C)Cl IJOOHPMOJXWVHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 18
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 claims abstract description 15
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 claims abstract description 13
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 claims abstract description 12
- 239000005051 trimethylchlorosilane Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000012986 modification Methods 0.000 claims abstract description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 claims abstract description 5
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 claims description 12
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 claims description 12
- 229960000935 dehydrated alcohol Drugs 0.000 claims description 10
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 7
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 7
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 7
- 229960004756 ethanol Drugs 0.000 claims description 5
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims description 5
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 claims description 4
- ATRRKUHOCOJYRX-UHFFFAOYSA-N Ammonium bicarbonate Chemical compound [NH4+].OC([O-])=O ATRRKUHOCOJYRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910000013 Ammonium bicarbonate Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 235000012538 ammonium bicarbonate Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000001099 ammonium carbonate Substances 0.000 claims description 3
- 238000006555 catalytic reaction Methods 0.000 claims description 3
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 229920005553 polystyrene-acrylate Polymers 0.000 claims 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 claims 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 150000002009 diols Chemical class 0.000 claims 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims 1
- -1 polyethylene Polymers 0.000 claims 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 37
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 abstract description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 5
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 abstract description 4
- 230000004927 fusion Effects 0.000 abstract description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 2
- 239000012788 optical film Substances 0.000 abstract description 2
- 238000004088 simulation Methods 0.000 abstract description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 abstract 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 10
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 7
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 6
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 5
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 4
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 4
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N silicic acid Chemical compound O[Si](O)(O)O RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000604 Polyethylene Glycol 200 Polymers 0.000 description 1
- 229920002565 Polyethylene Glycol 400 Polymers 0.000 description 1
- YGZSVWMBUCGDCV-UHFFFAOYSA-N chloro(methyl)silane Chemical compound C[SiH2]Cl YGZSVWMBUCGDCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 230000002431 foraging effect Effects 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- JLFNLZLINWHATN-UHFFFAOYSA-N pentaethylene glycol Chemical compound OCCOCCOCCOCCOCCO JLFNLZLINWHATN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
本发明属光学薄膜材料技术领域,具体为一种新型防水性能良好且能实现多窗口宽带增透薄膜及其制备方法。该薄膜通过sol-gel法形成SiO2溶胶,加入聚苯乙烯(PS)或聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA),旋涂镀膜后经三甲基氯硅烷、正己烷表面改性而成。与以往各类保护膜相比该保护膜不仅实现了宽带增透,掺入PS或PMMA都可以在351nm,527nm和1054nm有高的透光率,最高值均超过了98%,而且具有良好的防水性能,接触角均达到了100°-110°,是极佳的KDP晶体防水增透膜的候选替换材料,可在高能核聚变模拟实验的超激光系统中获得应用。
Description
技术领域
本发明属光学薄膜材料技术领域,具体为一种新型的SiO2防水型宽带高增透膜及其制备方法。
技术背景
惯性约束聚变(ICF)以高功率脉冲激光为研究手段,采用sol-gel法制备的SiO2增透膜具有高损伤阈值和较低的折射率等优良特性,在高功率激光领域具有诱人的应用前景。但是SiO2增透膜的孔表面羟基是活性物理吸附中心,极易吸附环境中的水汽,不具有疏水的性能,吸附了水气的微孔二氧化硅膜可能继续发生缩合反应并导致孔结构的崩溃,从而影响气体的分离效果,限制了其在水蒸气环境中的应用,成为工业应用的瓶颈,由于受空气中潮气的影响,其使用寿命也较短,我国对sol-gel二氧化硅防水增透膜的研究工作已取得了不少的技术进步,但是还不能很好地在实现多窗口增透的同时实现防水性能,大大限制了其应用。
早在1992年,Floch和Belleville就通过在增透膜的外面再镀制一层含氟材料借此增加膜层的疏水性,该法原料价格昂贵,且制备过程比较复杂。我国目前也有用sol-gel法制备SiO2膜后,通过表面改性使其获得疏水性能,但此方法制备出的膜并不具有多窗口增透的性能;也有发明用聚甲基丙烯酸甲酯或聚苯乙烯与SiO2溶胶混合后镀膜,实现了多窗口增透的性能,但其不具有防水性。
发明内容
本发明的目的在于提供一种防水性好,而且同时多窗口宽带增透的二氧化硅薄膜及其制备方法。
本发明提出的防水能够实现良好防水同时多窗口宽带增透的二氧化硅薄膜,是一种经过表面改性的M-SiO2薄膜,即先由sol-gel法制备SiO2溶胶,原料为正硅酸乙酯(TEOS)、无水乙醇(C2H5OH)和聚乙二醇(PEG),各组分的质量百分含量分别为正硅酸乙酯:6-9%,无水乙醇:55-70%,其余为聚乙二醇,在碱性条件下催化;将所得的SiO2溶胶陈化;然后将溶入乙醚的聚合物M与SiO2溶胶混合均匀,用旋涂法成膜;并由三甲基氯硅烷、正己烷进行表面改性而成,其中,M为聚苯乙烯(PS)或聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)。
本发明中,聚合物M的分子量在4000-10000为更好。
由本发明提出的防水增透膜可实现良好的防水性能,接触角为100-110之间;同时实现了宽带高透光,在351nm,527nm和1054nm最高透光率均超过了98%。该光学薄膜可成为KDP晶体防水增透膜的替换材料,并可在高能核聚变模拟实验的超强激光系统中获得应用。
本发明提出的M-SiO2防水增透膜的制备方法如下:首先用sol-gel法制备SiO2溶胶,原料为正硅酸乙酯(TEOS)、无水乙醇(C2H5OH)和聚乙二醇(PEG),各组分的质量百分含量分别为正硅酸乙酯:6-9%,无水乙醇:55-70%,其余为聚乙二醇,在碱性条件下催化;将所得的SiO2溶胶陈化;然后将溶入乙醚的聚合物M与SiO2溶胶混合均匀,用旋涂法成膜;之后用三甲基氯硅烷和正己烷进行表面改性;最后,膜层在150-300℃下热处理5-9小时。
本发明中,所说碱性催化使用氨水(NH4OH)或碳酸氢铵(NH4HCO3),其用量为SiO2溶胶体系质量的1-5%,调节体系的PH值为8-8.5。
具体实施方式
下面进一步介绍本发明的具体实施方式,并通过举例予以说明。
本发明的制备操作步骤如下:
1、按上述的质量百分比量取正硅酸乙酯,无水乙醇,PEG400(或PEG200)、氨水(或碳酸氢铵),,并将之混合;
2、在25-35℃将混合溶液搅拌3-6小时;
3、回流,回流温度为50-65℃,回流时间为6-9小时,得SiO2溶胶;
4、将SiO2溶胶陈化7-10天,然后将溶入乙醚的PS或PMMA与SiO2溶胶混合均匀;
5、旋涂成膜,旋涂转速为1000-4000rpm/s;
6、表面改性,把镀好的薄膜在表面干燥之后浸入含三甲基氯硅烷8-15%左右的正己烷溶液中,浸泡12-16小时,再浸入乙醇中老化12-48小时。
7、将膜层热处理,在150-300℃处理5-9h,即可得到所需防水增透膜。
实施例1:
防水增透膜的组成以质量百分比表示为:正硅酸乙酯7.0%,氨水2.0%,无水乙醇62.5%,聚乙二醇(400)28.5%,加入分子量约为5000的PS,PS占二氧化硅溶胶质量的0.07%,将原料(除PS)混合后在30℃搅拌3小时,回流使溶液PH值保持在8.5左右,溶胶陈化7天后将溶入乙醚的PS与溶胶混合,用旋涂法成膜,转速为1100rpm/s,旋涂1min,把镀好的薄膜在表面干燥之后浸入含三甲基氯硅烷10%的正己烷溶液中,浸泡14小时,再浸入乙醇中老化28小时,取出自然干燥,最后在150℃热处理5小时即可获得所要的PS-SiO2薄膜。该薄膜的接触角为105.4°,在351nm,527nm和1054nm的透光率均超过98%。
实施例2:
防水增透膜的组成以质量百分比表示为:正硅酸乙酯7.6%,氨水1.2%,无水乙醇68.0%,聚乙二醇(400)23.2%,加入分子量约为10000的PS,PS占二氧化硅溶胶质量的0.05%,将原料(除PS)混合后在35℃搅拌4小时,回流使溶液PH值保持在8.5左右,溶胶陈化10天后将溶入乙醚的PS与溶胶混合,用旋涂法成膜,转速为2000rpm/s,旋涂1min,把镀好的薄膜在表面干燥之后浸入含三甲基氯硅烷12%的正己烷溶液中,浸泡15小时,再浸入乙醇中老化30小时,取出自然干燥,最后在200℃热处理8h即可获得所要的PS-SiO2薄膜。该薄膜的接触角为105.4°,在351nm,527nm和1054nm的透光率均超过98%。
实施例3:
防水增透膜的组成以质量百分比表示为:正硅酸乙酯8.0%;氨水1.5%;无水乙醇65.0%;聚乙二醇(400)25.5%;PMMA 0.25%,将原料(除PMMA)混合后在40℃搅拌3小时,回流使溶液PH值保持在8.0左右,溶胶陈化8天后将溶入乙醚的PMMA与溶胶混合,用旋涂法成膜,转速4000rpm/s,旋涂1min,把镀好的薄膜在表面干燥之后浸入含三甲基氯硅烷8%的正己烷溶液中,浸泡16小时,再浸入乙醇中老化25小时,取出自然干燥,并在250℃热处理7h即可获得所要的PMMA-SiO2薄膜。该薄膜的接触角为106.3°,在351nm,527nm和1054nm的透光率均超过98%。
Claims (5)
1.一种防水型宽带高增透薄膜,先由sol-gel法制备SiO2溶胶,原料为正硅酸乙酯、无水乙醇和聚乙二醇,在碱性条件下催化,各组分的质量百分含量为正硅酸乙酯:6-9%,无水乙醇:55-70%,其余为聚乙二醇,将所得的SiO2溶胶陈化,然后将溶入乙醚的聚合物M与SiO2溶胶混合均匀,用旋涂法成膜;其特征在于成膜后经三甲基氯硅烷、正己烷表面改性而成的M-SiO2薄膜,接触角为100-110,其中,M为聚苯乙烯或聚甲基丙烯酸甲酯。
2.一种防水型宽带高增透薄膜,其特征在于所述聚合物M的分子量为4000-10000。
3.根据权利要求1所述的防水型宽带高增透薄膜的制备方法,其制备步骤如下:首先用sol-gel法制备SiO2溶胶,原料为正硅酸乙酯、无水乙醇和聚乙二醇,在碱性条件下催化,各组分的质量百分含量为正硅酸乙酯:6-9%,无水乙醇:55-70%,其余为聚乙二醇;将所得的SiO2溶胶陈化,然后将溶入乙醚的聚合物M与SiO2溶胶混合均匀,用旋涂法成膜;其特征在于成膜后用三甲基氯硅烷、正己烷进行表面改性;最后,膜层在150-300℃下热处理5-9小时;这里,聚合物M为聚苯乙烯或聚甲基丙烯酸甲酯。
4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于所说碱性催化使用氨水或碳酸氢铵,用量为SiO2溶胶体系质量的1-5%,调节体系的PH值为8-8.5。
5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于所说表面改性的步骤如下:把镀好的薄膜在表面干燥之后浸入含三甲基氯硅烷8-15%的正己烷溶液中,浸泡12-16小时,再浸入乙醇中老化12-48小时。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNB2005101104564A CN100346177C (zh) | 2005-11-17 | 2005-11-17 | 防水型宽带高增透薄膜及其制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNB2005101104564A CN100346177C (zh) | 2005-11-17 | 2005-11-17 | 防水型宽带高增透薄膜及其制备方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1794015A CN1794015A (zh) | 2006-06-28 |
CN100346177C true CN100346177C (zh) | 2007-10-31 |
Family
ID=36805567
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNB2005101104564A Expired - Fee Related CN100346177C (zh) | 2005-11-17 | 2005-11-17 | 防水型宽带高增透薄膜及其制备方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN100346177C (zh) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101995589B (zh) * | 2009-08-14 | 2013-03-13 | 比亚迪股份有限公司 | 一种二氧化硅增透膜的制备方法 |
CN102153292B (zh) * | 2010-12-27 | 2013-10-16 | 上海师范大学 | 一种高透过纳米二氧化硅减反射薄膜及其制备方法和应用 |
CN103771728B (zh) * | 2012-10-22 | 2016-06-01 | 中国科学院理化技术研究所 | 在可见光与近红外光区域具有增透性质的涂层的制备方法及超疏水涂层 |
CN103022252A (zh) * | 2012-12-22 | 2013-04-03 | 蚌埠玻璃工业设计研究院 | 一种太阳能电池减反射膜的制备方法 |
CN103630950A (zh) * | 2013-11-01 | 2014-03-12 | 无锡海特新材料研究院有限公司 | 新型防水减反射膜材料 |
CN107311464A (zh) * | 2017-07-10 | 2017-11-03 | 苏州新吴光电科技有限公司 | 防眩多孔复合膜的制备方法及使用该复合膜的防眩玻璃 |
CN116947469B (zh) * | 2023-08-18 | 2024-12-27 | 萍乡学院 | 一种水致透明与防雾型多孔陶瓷及其制备方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1304050A (zh) * | 2000-03-10 | 2001-07-18 | 中国科学院山西煤炭化学研究所 | 高抗激光损伤阈值疏水增透二氧化硅膜的制备方法 |
JP2002088304A (ja) * | 2000-09-13 | 2002-03-27 | Ube Nitto Kasei Co Ltd | シリカ系コーティング剤、シリカ薄膜の製造方法およびシリカ薄膜 |
US6511721B1 (en) * | 1999-08-04 | 2003-01-28 | Tomoegawa Paper Co., Ltd. | Anti-reflective material |
US20030185975A1 (en) * | 2002-03-26 | 2003-10-02 | Ben-Zu Wan | Process for preparing low-dielectric-constant silica film |
CN1553219A (zh) * | 2003-12-18 | 2004-12-08 | 同济大学 | 纳米多孔二氧化硅光学薄膜的制备方法 |
-
2005
- 2005-11-17 CN CNB2005101104564A patent/CN100346177C/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6511721B1 (en) * | 1999-08-04 | 2003-01-28 | Tomoegawa Paper Co., Ltd. | Anti-reflective material |
CN1304050A (zh) * | 2000-03-10 | 2001-07-18 | 中国科学院山西煤炭化学研究所 | 高抗激光损伤阈值疏水增透二氧化硅膜的制备方法 |
JP2002088304A (ja) * | 2000-09-13 | 2002-03-27 | Ube Nitto Kasei Co Ltd | シリカ系コーティング剤、シリカ薄膜の製造方法およびシリカ薄膜 |
US20030185975A1 (en) * | 2002-03-26 | 2003-10-02 | Ben-Zu Wan | Process for preparing low-dielectric-constant silica film |
CN1553219A (zh) * | 2003-12-18 | 2004-12-08 | 同济大学 | 纳米多孔二氧化硅光学薄膜的制备方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1794015A (zh) | 2006-06-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8277899B2 (en) | Porous films by backfilling with reactive compounds | |
JP5109108B2 (ja) | シリカエアロゲル膜の製造方法 | |
US20240218144A1 (en) | Cellulosic gels, films and composites including the gels, and methods of forming same | |
CN107629491B (zh) | 一种用于柔性衬底的介孔SiO2耐磨增透涂层及制备方法 | |
WO2016104762A1 (ja) | シリコーン多孔体およびその製造方法 | |
CN100346177C (zh) | 防水型宽带高增透薄膜及其制备方法 | |
CN103739210B (zh) | 一种二氧化钛薄膜及其制备方法 | |
JP6365751B1 (ja) | 酸化ケイ素薄膜形成用バインダー液および塗工液の製造方法 | |
CN107555807A (zh) | 一种制备耐摩擦疏水二氧化硅增透膜的方法 | |
JP7218539B2 (ja) | 表面被覆層形成用塗工液及び多孔質ケイ素積層体 | |
GB2424382A (en) | Antireflective coatings | |
CN106477909A (zh) | 一种用十二烷基三乙氧基硅烷制备疏水SiO2增透膜的方法 | |
CN110408070B (zh) | 一种高阈值耐刮擦高透射率的基频激光薄膜及其制备方法 | |
CN100340872C (zh) | 一种多窗口宽带增透PMMA-SiO2薄膜及其制备方法 | |
CN107193063A (zh) | 一种同时提高SiO2增透膜疏水性和疏油性的方法 | |
CN107540241A (zh) | 一种用苯基三乙氧基硅烷制备折射率可控的疏水二氧化硅增透膜的方法 | |
KR102174467B1 (ko) | 반사방지용 코팅 조성물 | |
CN111673860A (zh) | 一种修复古建筑糟朽木构的复合材料及其制备方法和应用 | |
JP2012116894A (ja) | 酸化亜鉛分散液とプライマー層形成用塗布液および高耐久性uvカットプラスチック基材 | |
JP2007320780A (ja) | 赤外線カット膜が形成された透明物品 | |
JP5609109B2 (ja) | 反射増強膜の製造方法、反射増強膜及び反射増強膜形成用塗料 | |
CN110066119A (zh) | 基于溶胶凝胶法的二氧化硅减反膜表面改性方法 | |
JP2009084476A (ja) | コーティング用組成物及びその製造方法、並びに該コーティング用組成物からなる塗膜 | |
CN109401173B (zh) | 一种高性能真空增透膜及其制备方法 | |
JP4868432B2 (ja) | メソポーラスシリカ構造体の製造方法、並びに、メソポーラスシリカ構造体及びそれを有する液晶素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C17 | Cessation of patent right | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20071031 Termination date: 20101117 |