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CN100333908C - 喷出装置、材料涂覆方法、滤色片基板的制造方法 - Google Patents

喷出装置、材料涂覆方法、滤色片基板的制造方法 Download PDF

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CN100333908C CNB2005100043239A CN200510004323A CN100333908C CN 100333908 C CN100333908 C CN 100333908C CN B2005100043239 A CNB2005100043239 A CN B2005100043239A CN 200510004323 A CN200510004323 A CN 200510004323A CN 100333908 C CN100333908 C CN 100333908C
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Abstract

本发明提供喷出装置、材料涂覆方法、滤色片基板的制造方法，在利用向Y轴方向的一个方向的相对移动，多个第1喷出喷嘴的至少一个到达与被喷出部对应的区域的情况下，从所述至少一个第1喷出喷嘴中喷出具有流动性的材料的第1液滴，以在所述被喷出部上涂覆所述材料。此外，在利用向所述一个方向的相对移动，所述多个第2喷出喷嘴的至少一个到达与所述被喷出部对应的区域的情况下，从所述至少一个第2喷出喷嘴中喷出所述材料的第2液滴，以在所述被喷出部上涂覆所述材料。因此，本发明可以缩短涂覆工序的时间。

Description

喷出装置、材料涂覆方法、滤色片基板的制造方法
技术领域
本发明涉及将具有流动性的材料涂覆在工件(基体)上的喷出装置及材料涂覆方法，特别涉及适于滤色片基板等的制造的喷出装置及材料涂覆方法。
背景技术
已知有用于滤色片、电致发光显示装置等的制造中的喷墨装置(例如参照专利文献1)。
[专利文献1]特开2002-221616号公报
具有流动性的材料或液状的材料包括对应涂覆的材料赋予流动性的溶剂。由此，为了将所需的厚度的材料(溶液中的溶质或分散在溶剂中的物质)设于被喷出部上而必要的液状的材料的体积有时就会超过被喷出部所能够收容的体积。在此种情况下，为了使液状的材料不从被喷出部中溢出，喷墨装置要缩小在1次的主扫描的期间内向被喷出部喷出的液状的材料的液滴的体积，并且将主扫描的次数设为多次。这是因为，这样的话，在被喷出部中，因液状的材料的喷出而增加的溶剂的每单位时间的体积就会小于从液状的材料中气化的溶剂的每单位时间的体积。
但是，在所述方法中，由于对一个被喷出部进行多次主扫描，因此在涂覆工序中花费很多时间。
发明内容
本发明是鉴于所述问题而完成的，其目的在于提供一种缩短涂覆工序的时间的喷出装置、材料涂覆方法、滤色片基板的制造方法。
本发明的喷出装置，具备：放置使被喷出部位于沿着X轴方向的第1范围内的基体的台架；按照多个第1喷嘴遍及所述第1范围分布的方式构成的第1喷头部按照多个第2喷嘴遍及所述第1范围分布的方式构成的第2喷头部，其在沿着与所述X轴方向正交的Y轴方向与所述第1喷头部相距第1距离并且位置相对于所述第1喷头部被固定；使所述第1喷头部及所述第2喷头部的组、放置了所述基体的所述台架的至少一方相对于另一方沿所述Y轴方向移动的扫描部。此外，在利用向所述Y轴方向的相对移动，使所述多个第1喷嘴的至少一个到达了与所述被喷出部对应的区域的情况下，按照向所述被喷出部涂覆具有流动性的材料的方式，从所述至少一个第1喷嘴中喷出所述材料的第1液滴，在利用向所述Y轴方向的相对移动，使所述多个第2喷嘴的至少一个到达了与所述被喷出部对应的区域的情况下，按照向所述被喷出部涂覆具所述材料的方式，从所述至少一个第2喷嘴中喷出所述材料的第2液滴。
利用所述构成而获得的效果之一是，在1个扫描期间(例如台架的向Y轴方向的1次的相对移动)当中，不会使液状的材料从被喷出部中溢出，可以涂覆必需的体积的材料(溶质或被分散的物质)。由此，就可以缩短涂覆工序所必需的时间。
本发明的某个方式中，多个所述被喷出部遍及所述第1范围分布，在利用所述相对移动，使所述多个第1喷嘴到达了与所述多个被喷出部对应的区域的各处的情况下，按照向各个被喷出部涂覆所述材料的方式，从对应的第1喷嘴喷出所述第1液滴，在利用所述相对移动，使所述多个第2喷嘴到达了与所述多个被喷出部对应的区域的各处的情况下，按照向所述多个被喷出部分别涂覆所述材料的方式，从对应的第2喷嘴喷出所述第2液滴。
利用所述构成而获得的效果之一是，在1个扫描期间(例如台架106的向Y轴方向的1次相对移动)当中，就可以向一个基体(例如在后面成为滤色片基板的基板)的多个被喷出部的各自上，涂覆所需量的体积的液状的材料。
本发明的某个方式中，所述扫描部使放置了所述基体的所述台架沿所述Y轴方向的一个方向移动。
利用所述构成而获得的效果之一是，从所述第1喷头部及第2喷头部中的液状的材料的喷出稳定化。这是因为，由于第1喷头部及第2喷头部不需要相对于喷出装置移动，因此就不会产生对液状的材料的液滴的喷出造成影响的振动。
更理想的是，所述扫描部使放置了所述基体的所述台架以大致相等的速度移动。
利用所述构成而获得的效果之一是，很容易控制液状的材料的喷出时序。
更理想的是，所述扫描部使所述台架沿所述Y轴方向从第1位置移动至第2位置，在所述台架位于第1位置的情况下，所述基体被放置在所述台架上，直到所述台架到达第2位置后，结束所述材料向所述基体的全部的所述被喷出部的涂覆。
利用所述构成而获得的效果之一是，可以将多个喷出装置配置为直线状。
本发明的材料涂覆方法包括：将在沿着X轴方向的第1范围内设有被喷出部的基体放置在台架上的步骤A；相对于按照多个第1喷嘴遍及所述第1范围分布的方式构成的第1喷头部和作为按照多个第2喷嘴遍及所述第1范围分布的方式构成的第2喷头部使放置了所述基体的所述台架的相对位置向所述Y轴方向的一个方向变化的步骤B，其中，第2喷头部沿着与所述X轴方向正交的Y轴方向与所述第1喷头部相距第1距离并且位置相对于所述第1喷头部被固定；在所述多个第1喷嘴的一个到达了与所述被喷出部对应的区域的情况下，按照向所述被喷出部涂覆具有流动性的材料的方式，从所述一个第1喷嘴喷出所述材料的第1液滴的步骤C；在所述多个第2喷嘴的一个到达了与所述被喷出部对应的区域的情况下，按照向所述被喷出部涂覆所述材料的方式，从所述一个第2喷嘴喷出所述材料的第2液滴的步骤D。
利用所述构成而获得的效果之一是，在1个扫描期间(例如台架的向Y轴方向的1次的相对移动)当中，不会使液状的材料从被喷出部中溢出，可以涂覆必需的体积的材料(溶质或被分散的物质)。由此，就可以缩短涂覆工序所必需的时间。
本发明可以用各种方式实施，例如，可以用滤色片基板的制造方法、电致发光显示装置的制造方法、等离子体显示装置的制造方法或布线制造方法的方式来实施。
附图说明
图1是表示实施方式1的喷出装置的示意图。
图2是表示从实施方式1到7的喷出装置的喷头的底面的示意图。
图3(a)及(b)是表示从实施方式1到7的喷出装置的喷头的结构的示意图。
图4是实施方式1到7的喷出装置的控制部的功能方框图。
图5(a)及(b)是表示从实施方式1到7的喷出装置的喷头驱动部的示意图。
图6是实施方式1的2个喷头部的示意图。
图7是表示实施方式1的涂覆工序的示意图。
图8是表示实施方式1的涂覆工序的示意图。
图9是实施方式2的2个喷头部的示意图。
图10是表示实施方式2的喷头组的示意图。
图11是表示实施方式3的2个喷头部当中的一个的示意图。
图12是表示实施方式3的喷头组的示意图。
图13(a)是表示实施方式4的基体的截面的示意图，(b)是表示实施方式4的基体的上面的示意图。
图14是表示实施方式4的滤色片制造装置的示意图。
图15是表示实施方式4的喷出装置的示意图。
图16是表示实施方式4的涂覆工序的示意图。
图17是表示实施方式4的滤色片基板的制造方法的示意图。
图18(a)是表示实施方式5的基体的截面的示意图，(b)是表示实施方式5的基体的俯视面的示意图。
图19是表示实施方式5的电致发光显示装置的示意图。
图20是表示实施方式5的喷出装置的示意图。
图21(a)～(d)是表示实施方式5的电致发光显示装置的制造方法的示意图。
图22(a)是表示实施方式6的基体的截面的示意图，(b)是表示实施方式6的基体的俯视面的示意图。
图23是表示实施方式6的等离子体显示装置的一部分的示意图。
图24是表示实施方式6的喷出装置的示意图。
图25(a)～(c)是表示实施方式6的等离子体显示装置的制造方法的一部分的示意图。
图26是表示利用实施方式6的制造方法制造的等离子体显示装置的截面的示意图。
图27(a)是表示实施方式7的基体的截面的示意图，(b)是表示实施方式7的基体的俯视面的示意图。
图28是表示实施方式7的图像显示装置的制造装置的示意图。
图29是表示实施方式7的喷出装置的示意图。
图30是表示实施方式7的图像显示装置的制造方法的示意图。
图31是表示实施方式7的图像显示装置的制造方法的示意图。
图32是表示实施方式7的图像显示装置的制造方法的示意图。
图33是表示基体上的被喷出部和扫描范围的关系的示意图。
图中：1、2、3、4-制造装置，1A～8B-喷嘴列，10-滤色片基板，10A、10L-基体，GS-基础台架(grand stage)，14A-第1支撑结构体，14B-第2支撑结构体，18L-被喷出部，18R、18G、18B-被喷出部，100、100R、100G、100B-喷出装置，101A、101B-液罐，102-喷出扫描部，106-台架，103A、103C、103E-第1喷头部，103B、103D、103F-第2喷头部，108-位置控制装置，110A、110B-管道，111-液状的材料，111R、111G、111B-滤色片材料，111FR、111FG、111FB-滤色片层，112-控制部，114-喷头，114G-喷头组，116A-喷嘴列，116B-喷嘴列，118-喷嘴，118R1-第1基准喷嘴，118R2-第2基准喷嘴，118T-喷出喷嘴，124-振子，124A、124B-电极，124C-压电元件，126-振动板，127-喷出部，128-喷嘴平板，129-贮液室，131-孔，200R、200G、200B-喷出装置，211R、211G、211B-发光材料，300R、300G、300B-喷出装置，311R、311G、311B-荧光材料，311FR、311FG、311FB-荧光层，411-导电性薄膜材料。
具体实施方式
下面将以下述的顺序对本实施方式进行说明。
A.喷出装置的整体构成
B.喷头
C.控制部
D.喷头部
E.涂覆工序
(A.喷出装置的整体构成)
图1所示的喷出装置100具备2个液罐101A、101B、管道110A、管道110B、喷出扫描部102。液罐101A、101B都储存有液状的材料111。管道110A、110B分别从液罐101A、101B向喷出扫描部102供给液状的材料111。
喷出扫描部102具备台架106、第1喷头部103A、第2喷头部103B、扫描部、基础台架GS、控制部112。
第1喷头部103A及第2喷头部103B都被按照向台架106侧喷出液状的材料111的液滴的方式构成。第1喷头部103A、第2喷头部103B被相互沿Y轴方向分离特定的距离YK。另外，第2喷头部103B的位置被相对于第1喷头部103A固定。此外，扫描部使第1喷头部103A及第2喷头部103B的组与台架的至少一方相对于另一方沿Y轴方向相对移动。
这里，本说明书的Y轴方向与第1喷头部103A及第2喷头部103B的组和台架106的某一方相对于另一方相对移动的方向一致。另外，本说明书中，Z轴方向是第1喷头部103A及第2喷头部103B喷出液状的材料111的液滴的方向，本实施方式中与地球的重力加速度的方向一致。X轴方向是与此种Y轴方向及Z轴方向都垂直的方向。此外，规定X轴方向、Y轴方向及Z轴方向的XYZ坐标系的假想的原点被固定在喷出装置100的基准部分上。
另外，在本说明书中，所谓X坐标、Y坐标及Z坐标是指此种XYZ坐标系的坐标。而且，所述的假想的原点不仅是固定在基准部分上，而且还可以固定在台架106上，也可以固定在第1喷头部103A或第2喷头部103B上。
本实施方式中，扫描部具有位置控制装置108、第1支撑结构体14A、第2支撑结构体14B。
位置控制装置108使台架106移动。本实施方式中，位置控制装置108根据来自控制部112的信号，沿着Y轴方向使台架106移动。另外，位置控制装置108还具有绕着与Z轴平行的轴使台架106旋转的作用。
更具体来说，位置控制装置108具备沿Y轴方向延伸的一对线性马达、沿Y轴方向延伸的一对Y轴导轨、Y轴气动滑块、θ台。一对线性马达及一对Y轴导轨位于基础台架GS上。另一方面，Y轴气动滑块被一对Y轴导轨可以移动地支撑。此外，Y轴气动滑块因一对线性马达的作用而沿着一对Y轴导轨在Y轴方向上移动。Y轴气动滑块由于借助θ台而与台架106的里面连接，因此台架106就与Y轴气动滑块一起沿Y轴方向移动。θ台具有马达，其使台架106绕与Z轴平行的轴旋转。
第1支撑结构体14A支撑第1喷头部103A。更具体来说，第1支撑结构体14A按照使第1喷头部103A从基础台架GS沿Z轴方向离开特定的距离的方式，保持第1喷头部103A。另一方面，第2支撑结构体14B支撑第2喷头部103B。更具体来说，第2支撑结构体14B按照使第2喷头部103B从基础台架GS沿Z轴方向离开特定的距离的方式，保持第1喷头部103A。
第1支撑结构体14A及第2支撑结构体14B分别具有2个支撑部、被2个支撑部支撑的固定部。2个支撑部按照在基础台架GS上夹持台架106的方式设置，并且各自沿Z轴方向延伸。固定部被按照从基础台架GS沿Z轴方向拉开距离而设置的方式，与2个支撑部连接。此外，固定部按照使第1喷头部103A或第2喷头部103B的喷出喷嘴118T(图2)朝向基础台架GS侧的方式，保持第1喷头部103A或第2喷头部103B。
第1支撑结构体14A的固定部还具有绕着与Z轴方向平行的轴使第1喷头部103A旋转的自由度。该自由度被用于对第1喷头部103A进行微调的情况。但是，在进行后述的喷出工序期间，固定部按照使第1喷头部103A不旋转的方式来固定第1喷头部103A。第2支撑结构体14B的固定部也与第1支撑结构体14A相同地固定第2喷头部103B。
本实施方式中，第1支撑结构体14A及第2支撑结构体14B的位置被相对于基础台架GS(或喷出装置100)固定。由此，第1喷头部103A的位置和第2喷头部103B的位置也被相对于基础台架GS固定。由于第1喷头部103A和第2喷头部103B被相对于相同基准固定，因此第1喷头部103A和第2喷头部103B的相对位置关系就保持一定。所以，第2喷头部103B的位置被相对于第1喷头部103A固定。
本实施方式中，第1喷头部103A及第2喷头部103B被相对于喷出装置固定。另一方面，台架106沿Y轴方向移动。这样，第1喷头部103A及第2喷头部103B的相对于台架106的相对位置就会变化。如果形成此种构成，则由于使第1喷头部103A、第2喷头部103B一直静止即可，因此后述的喷头114就可以稳定地喷出液状的材料111。这是因为，由于喷头114不移动，因此就不会产生由喷头114的移动引起的振动，其结果是，就不会向喷头114内的液状的材料111传导多余的振动。
(B.喷头)
图2所示的喷头114是第1喷头部103A及第2喷头部103B所具有的多个喷头的一个。图2表示喷头114的底面。喷头114具有沿X轴方向排列的多个喷嘴118。这些多个喷头118被按照喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP约为70μm的方式配置。这里，所谓“喷头114的X方向的喷嘴间距HXP”相当于将喷头114的喷嘴118的全部从与X轴方向正交的方向向X轴上投影而得的多个喷嘴像间的间距。
本实施方式中，喷头114的多个喷嘴118都形成沿X轴方向延伸的喷嘴列116A、喷嘴列116B。喷嘴列116A、喷嘴列116B沿Y轴方向相邻。此外，在喷嘴列116A及喷嘴列116B的各自中，90个喷嘴118以一定间隔沿X轴方向排成一列。本实施方式中，该一定间隔约为140μm。即，喷嘴列116A的喷嘴间距LNP及喷嘴列116B的喷嘴间距LNP都为大约140μm。
喷嘴列116B的位置相对于喷嘴列116A的位置，以喷嘴间距LNP的一半的长度(大约70μm)向X轴方向的正方向(图2的右侧方向)错开。由此，喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP为喷嘴列116A(或喷嘴列116B)的喷嘴间距LNP的一半的长度(大约70μm)。
所以，喷头114的X轴方向的喷嘴线密度是喷嘴列116A(或喷嘴列116B)的喷嘴线密度的2倍。而且，本说明书中，所谓“X轴方向的喷嘴线密度”相当于将多个喷嘴从与X轴方向正交的方向向X轴上投影而得的多个喷嘴像的每单位长度上的数目。
当然，喷头114所包含的喷嘴列的数目并不限定于2个。喷头114也可以包含M个喷嘴列。这里，M为1以上的自然数。在喷头114包含M个喷嘴列的情况下，在M个喷嘴列的各自中，多个喷嘴118以喷嘴间距HXP的M倍的长度的间距排列。其中，在M为2以上的自然数的情况下，相对于M个喷嘴列当中的一个，另外的(M-1)个喷嘴列以喷嘴间距HXP的i倍的长度没有重复地沿X轴方向错开。这里，i为从1到(M-1)的自然数。
这样，由于喷嘴列116A及喷嘴列116B分别由90个喷嘴118构成，因此1个喷头114就具有180个喷嘴118。其中，喷嘴列116A的两端的各5个喷嘴被设定为“暂停喷嘴”。这样，从这20个“暂停喷嘴”中就不会喷出液状的材料111。由此，喷头114的180喷嘴118当中的160个喷嘴118作为喷出液状的材料111的喷嘴118发挥作用。本说明书中，也将这160个喷嘴118表记为“喷出喷嘴118T”。
而且，1个喷头114的喷嘴118的数目并不被限定于180个。也可以在1个喷头114中设置360个喷嘴。该情况下，喷嘴列116A及116B分别也可以由180个喷嘴118构成。另外，本发明中，喷出喷嘴118T的数目并不限定于160个。也可以在1个喷头114上设置P个喷出喷嘴。这里，P为2以上的自然数，只要是喷头116的全部喷嘴数以下即可。
本说明书中，为了达到说明喷头114间的相对位置关系的目的，将各个喷头114的160个喷出喷嘴118T当中的X坐标最小的喷出喷嘴118T标记为“第1基准喷嘴118R1”。同时，将160个喷出喷嘴118T当中的X坐标最大的喷出喷嘴118T标记为“第2基准喷嘴118R2”。在图2的情况下，从喷嘴列116A的左侧开始第6个喷嘴118由于是X坐标最小的喷出喷嘴118T，因此该喷嘴是第1基准喷嘴118R1。另一方面，从喷嘴列116B的右侧开始第6个喷嘴118由于是X坐标最大的喷出喷嘴118T，因此该喷嘴是第2基准喷嘴118R2。而且，由于对于全部的喷头114，“第1基准喷嘴118R1”和“第2基准喷嘴118R2”的组的指定的方法相同即可，因此“第1基准喷嘴118R1”的位置及“第2基准喷嘴118R2”的位置也可以不是所述的位置(图2的位置)。
如图3(a)及(b)所示，各个喷头114为喷墨喷头。更具体来说，各个喷头114具备振动板126、喷嘴平板128。在振动板126和喷嘴平板128之间，设有总是填充有从液罐101A或液罐101B(图1)经过孔131而供给的液状的材料111的贮液室129。
另外，在振动板126和喷嘴平板128之间，设有多个隔壁122。此外，由振动板126、喷嘴平板128、一对隔壁122包围的部分为腔室120。由于腔室120被与喷嘴118对应地设置，因此腔室120的数目与喷嘴118的数目相同。液状的材料111从贮液室129经过位于一对隔壁122之间的供给口130而向腔室120供给。
在振动板126上，与各个腔室120对应地设有振子124。振子124包括压电元件124C、夹持压电元件124C的一对电极124A、124B。通过向该一对电极124A、124B之间施加驱动电压，就会从对应的喷嘴118中喷出液状的材料111。而且，按照从喷嘴118沿Z轴方向喷出液状的材料111的方式，调整喷嘴118的形状。
这里，本说明书中所谓“液状的材料111”是指具有能够从喷嘴中喷出的粘度的材料。此时，不管材料是水性还是油性。只要具有能够从喷嘴中喷出的流动性(粘度)即可，即使混入固体物质，只要作为整体还是流体即可。
控制部112(图1)也可以被按照向多个振子124分别提供相互独立的信号的方式构成。即，从喷嘴118中喷出的材料111的体积也可以根据来自控制部112的信号而被每个喷嘴118进行控制。此种情况下，从各个喷嘴118中喷出的材料111的体积也可以在0p1～42pl(皮升)之间变动。另外，控制部112也可以如后述所示，设定在涂覆扫描期间进行喷出动作的喷嘴118和不进行喷出动作的喷嘴118。
本说明书中，也将包括1个喷嘴118、与喷嘴118对应的腔室120、与腔室120对应的振子124的部分表记为“喷出部127”。根据该表记，1个喷头114就具有与喷嘴118的数目相同数目的喷出部127。喷出部127也可以不具有压电元件，而具有电热转换元件。即，喷出部127也可以具有利用电热转换元件造成的材料的热膨胀而喷出材料的构成。
(C.控制部)
下面，对控制部112的构成进行说明。如图4所示，控制部112具备输入缓冲存储器200、存储机构202、处理部204、扫描驱动部206、喷头驱动部208。缓冲存储器200和处理部204被可以相互通信地连接。处理部204和存储机构202被可以相互通信地连接。处理部204和扫描驱动部206被可以相互通信地连接。处理部204和喷头驱动部206被可以相互通信地连接。另外，扫描驱动部206与位置控制装置108被可以相互通信地连接。同样地，喷头驱动部208与多个喷头114分别被可以相互通信地连接。
输入缓冲存储器200从外部信息处理装置接收用于进行液状的材料111的液滴的喷出的喷出数据。喷出数据包括表示基体上的全部的被喷出部的相对位置的数据、表示在全部的被喷出部上将液状的材料111涂覆至所需的厚度而必需的喷出的次数的数据、指定暂停喷嘴的数据、指定喷出喷嘴118T当中的进行喷出的喷嘴的数据、指定喷出喷嘴118T当中的不进行喷出的喷嘴的数据。输入缓冲存储器200将喷出数据向处理部204提供，处理部204将喷出数据存储在存储机构202中。图4中，存储机构202为RAM。
处理部204基于存储机构202内的喷出数据，将表示喷嘴118相对于被喷出部的相对位置的数据提供给扫描驱动部206。扫描驱动部206将与该数据和后述的喷出周期EP(图5)对应的驱动信号提供给位置控制装置108。其结果是，喷头114相对于被喷出部进行相对扫描。另一方面，处理部204基于存储在存储机构202中的喷出数据、喷出周期EP，将指定每个喷出时序的喷嘴118的开·关的选择信号SC提供给喷头驱动部208。喷头驱动部208基于选择信号SC，将液状的材料111的喷出中所必需的喷出信号ES提供给喷头114。其结果是，从喷头114的对应的喷嘴118中，液状的材料111形成液滴而喷出。
控制部112也可以是包括CPU、ROM、RAM、总线的计算机。该情况下，控制部112的所述功能由被计算机执行的软件程序实现。当然，控制部112也可以利用专用的电路(硬件)来实现。
下面对控制部112的驱动部208的构成和功能进行说明。
如图5(a)所示，喷头驱动部208具有1个驱动信号生成部203、多个模拟开关AS。如图5(b)所示，驱动信号生成部203生成驱动信号DS。驱动信号DS的电位相对于基准电位L随时间而变化。具体来说，驱动信号DS包括以喷出周期EP循环的多个喷出波形P。这里，喷出波形P与为了从喷嘴118中喷出1个液滴而应当向对应的振子124的一对电极间施加的驱动电压波形对应。
驱动信号DS被提供给模拟开关AS的各个输入端子。各个模拟开关AS与各个喷出部127对应地设置。即，模拟开关AS的数目和喷出部127的数目(即喷嘴118的数目)相同。
处理部204将表示喷嘴118的开·关的选择信号SC提供给各个模拟开关AS。这里，选择信号SC(图5的SC1～SC7)能够对于每个模拟开关AS独立地取得高电平及低电平的某一个状态。另一方面，模拟开关AS与驱动信号DS和选择信号SC对应地，向振子124的电极124A提供喷出信号ES(图5的ES1～ES7)。具体来说，在选择信号SC为高电平的情况下，模拟开关AS作为喷出信号ES向电极124A传递驱动信号DS。另一方面，在选择信号SC为低电平的情况下，模拟开关AS所输出的喷出信号ES就变为基准电位L。当向振子124的电极124A提供驱动信号DS时，则从与该振子124对应的喷嘴118中喷出液状的材料111。而且，向各个振子124的电极124B赋予基准电位L。
图5(b)所示的例子中，在2个喷出信号ES1、ES2的各自中，按照以喷出周期EP的2倍的周期2EP来呈现喷出波形P的方式，在2个选择信号SC1、SC2的各自中设定高电平的期间和低电平的期间。这样，就会从对应的2个喷嘴118的各自中，以周期2EP喷出液状的材料111。另外，向与这2个喷嘴118对应的振子124分别平行地提供来自共同的驱动信号生成部203的共同的驱动信号DS。由此，就会从2个喷嘴118中以大致相同的时序喷出液状的材料111。
另一方面，在选择信号SC1、SC2变为高电平的期间，图5(b)的选择信号SC3的电平由于被维持为低电平，因此在对应的喷出信号ES3中就不呈现喷出波形P。具体来说，喷出信号ES3被维持为基准电平L。由此，即使在驱动信号DS中显现出喷出波形P，也不会从与选择信号SC3对应的喷嘴118中喷出液状的材料111。
利用以上的构成，喷出装置100根据提供给控制部112的喷出数据，进行液状的材料111的涂覆扫描。
(D.喷头部)
如图6所示，第1喷头部103A从第2喷头部103B沿Y轴方向离开特定的距离YK。图6的情况下，第1喷头部103A的Y坐标大于第2喷头部103B的Y坐标。而且，所述特定的距离YK也是第1喷头部103A中具有最大的Y坐标的喷嘴列和第2喷头部103B中具有最大的Y坐标的喷嘴列之间的距离。
首先，对第1喷头部103A的喷头114的相对位置关系进行说明。
多个喷头114构成分别沿X轴方向延伸的3个喷头列HL。3个喷头列沿Y轴方向相邻。在各个喷头列HL中，相同数目的喷头114以一定的间隔排列。
为了说明上的方便，将图6的最下侧的喷头列HL所包含的多个喷头114从图6的左侧开始依次表记为喷头A11、喷头A12、喷头A13、～喷头A1N。另外，将图6的正中的喷头列HL所包含的喷头114从图6的左侧开始表记为喷头A21、喷头A22、喷头A23、～喷头A2N。此外，将图6的最上侧的喷头列HL所包含的多个喷头114从图6的左侧开始表记为喷头A31、喷头A32、喷头A33、～喷头A3N。而且，N是正的整数，表示喷头列中所含的喷头114的数目。
喷头A21的第1基准喷嘴118R1的位置从喷头A11的第2基准喷嘴118R2的位置开始，以喷嘴间距HXP(大约70μm)的长度，沿X轴方向的正的方向(图6的右侧方向)错开。喷头A31的第1基准喷嘴118R1的位置从喷头A21的第2基准喷嘴118R2的位置开始，以喷嘴间距HXP(大约70μm)的长度，向X轴方向的正的方向(图6的右侧方向)错开。喷头A12的第1基准喷嘴118R1的位置从喷头A31的第2基准喷嘴118R2的位置开始，以喷嘴间距HXP(大约70μm)的长度，向X轴方向的正的方向(图6的右侧方向)错开。
另外，第1喷头部103A的其他的喷头间的相对位置关系也与所述喷头A11、喷头A21、喷头A31、喷头A12之间的相对位置关系相同。
根据以上的情况，在第1范围EXT中，喷出喷嘴118T按照X轴方向的喷嘴间距为喷嘴间距HXP的方式分布。这里所谓“第1范围EXT”，在本实施方式中，是沿着X轴方向的范围，在第1喷头部103A中是由位于最外侧的2个喷出喷嘴118T之间规定的范围。其中，第1范围EXT中，也包含位于它们最外侧的2个喷出喷嘴118T。
下面，为了说明上的方便，将第2喷头部103B的喷头114表记为喷头B11～B3N。第2喷头部103B的喷头B11～B3N的配置图案与第1喷头部103A的喷头A11～A3N的配置图案相同。即，第2喷头部103B的喷出喷嘴118T的配置图案与第1喷头部103A的喷出喷嘴118T的配置图案相同。
根据以上的情况，在第2喷头部103B中，在第1范围EXT中，喷出喷嘴118T也按照X轴方向的喷嘴间距达到喷嘴间距HXP的方式分布。此外，具有共同的X坐标的2个喷出喷嘴118T逐个位于第1喷头部103A和第2喷头部103B。
(E.涂覆工序)
在参照图7及图8的同时，作为本实施方式的涂覆工序，对在条纹状的被喷出部18L上涂覆液状的材料111的工序进行说明。
在本实施方式的喷出装置100中，台架106在进行向1个基体10L上的被喷出部18L上涂覆液状的材料111的工序(涂覆工序)时，从接收区域向取出区域，沿Y轴方向移动1次。
在台架106位于接收区域的情况下，利用第1机械手的抓叉，将应当涂覆液状的材料111的基体10L放置在台架106上。此时，按照使条纹状的被喷出部18L的长边方向与X轴方向一致的方式，将基体10L相对于喷出装置100定位。在基体10L被相对于喷出装置100定位后，台架106从接收区域向取出区域，沿Y轴方向开始移动。
此后，第1喷头部103A通过与被喷出部18L对应的区域。在第1喷头部103A通过与被喷出部18L对应的区域期间内，第1喷头部103A从各个喷出喷嘴118T中向被喷出部18L喷出液状的材料111的第1液滴。其结果是，液状的材料111的液滴分别命中在第1范围EXT内以喷嘴间距HXP排列的多个命中位置上。命中的各个液滴从各自的命中位置开始涂覆展开。
这样，如图7(a)所示，在被喷出部18L中填充液状的材料111。在第1喷头部103A通过与被喷出部18L对应的区域后，到第2喷头部103B进入与该被喷出部18L对应的区域为止，液状的材料111中所含的溶剂挥发，仅要涂覆的材料(溶质或被溶剂分散了的材料)残留在被喷出部18L。其结果是，如图7(b)所示，被喷出部18L的液状的材料111的体积减少。
在第1喷头部103A通过了与被喷出部18L对应的区域后，第2喷头部103B通过与被喷出部18L对应的区域。在第2喷头部103B通过与被喷出部18L对应的区域期间内，第2喷头部103B分别从喷出喷嘴118T向被喷出部18L喷出液状的材料111的第2液滴。其结果是，液状的材料111的液滴分别命中在第1范围EXT内以喷嘴间距HXP排列的多个命中位置。第2喷头部103B的多个命中位置与第1喷头部103A的多个命中位置大致相同。命中的液滴分别从各自的命中位置开始涂覆展开。其结果是，被喷出部18L的整体被液状的材料111覆盖。
其结果是，如图7(c)所示，再次在被喷出部18L中填充液状的材料111。其后，通过使向被喷出部18L喷出的液状的材料111干燥，使液状的材料111的溶剂气化，如图7(d)所示，在被喷出部18L中涂覆所必需的体积的材料。
在第2喷头部103B通过了与被喷出部18L对应的区域后，台架106到达取出区域而停止。此后，利用第2机械手的2个抓叉，将经过了涂覆工序的基体10L从台架106上提起。
下面，更具体地说明图7所示的工序。如图8所示，台架106沿Y轴方向移动。这样，第1喷头部103A的第1列的喷头列HL中所含的多个喷头114的喷嘴列116A即到达与被喷出部18L对应的区域。此后，这些喷头114的喷嘴列116A向被喷出部18L喷出液状的材料111的第1液滴。这样，如图8的标记A1的右侧所示，多个第1液滴命中在被喷出部18L上以喷嘴间距LNP(大约140μm)排列的多个命中位置SBD。命中的液滴从命中位置SBD开始涂覆展开。
这里，在图8的标记A1的右侧，仅与喷嘴列116A的两端的喷出喷嘴118T对应的命中位置SBD被用黑圆圈表示，与其他的喷出喷嘴118T对应的命中位置SBD的图示被省略。在以下的从标记A2到标记A12中，也同样地仅将所对应的喷嘴列的两端的喷出喷嘴118T的命中位置SBD作为代表性的命中位置SBD图示。
然后，第1列的喷头列HL所含的多个喷头114的喷嘴列116B到达与被喷出部18L对应的区域。此后这些喷嘴列116B向被喷出部18L喷出液状的材料111的第1液滴。这样，就如图8的标记A2的右侧所示，第1液滴分别命中在被喷出部18L上以喷嘴间距LNP(大约140μm)排列的多个命中位置SBD上。其中，喷嘴列116A的命中位置SBD和喷嘴列116B的命中位置SBD大约错开70μm。由此，利用喷嘴列116A和喷嘴列116B，第1液滴就分别命中在被喷出部18L上以喷嘴间距HXP的间隔排列的多个命中位置SBD。
其后，从第2列的喷头列HL所含的喷头114、第3列的喷头列所含的喷头114中，也同样地喷出液状的材料111的第1液滴。这样，液状的材料111的第1液滴就分别命中遍及被喷出部18L的第1范围而以喷嘴间距HXP排列的多个命中位置SBD(从图8的标记A3到A6)。
然后，第2喷头部103B到达与被喷出部18L对应的区域。第2喷头部103B的喷出喷嘴118T的配置图案与第1喷头部103A的喷出喷嘴118T的配置图案相同。由此，液状的材料111的第2液滴就命中与对应于第1喷头部103A的命中位置SBD相同的命中位置LBD上(从图8的标记A7到A12)。
利用此种涂覆工序，通过台架106沿Y轴方向仅移动1次，就可以在被喷出部18L上涂覆所需的体积的液状的材料111。
液状的材料111为了获得所需的流动性而含有溶剂。由此，就会有与用于涂覆在被喷出部18L上的特定材料(溶质或被溶剂分散了的材料)的体积对应的液状的材料111的体积大于被喷出部18L能够收容的体积的情况。
在此种情况下，在1个扫描期间内可以向被喷出部喷出的液状的材料111的体积就受到限制。由此，在此种情况下，需要对被喷出部进行多个扫描期间，结果在涂覆工序中就花费较多时间。
根据本实施方式，在1个扫描期间(例如从台架106的起点开始到终点为止的沿着Y轴的1次的相对移动)当中，第1喷头部103A和第2喷头部103B拉开时间间隔地与被喷出部18L的相同位置重合。这里，在从第1喷头部103A向被喷出部18L喷出液滴的时刻开始到第2喷头部103B向该被喷出部18L喷出液滴的时刻为止的期间中，溶剂从先命中的液状的材料111中气化，液状的材料111的体积收缩。根据以上的情况，即使来自1个喷头的液滴的体积较小，也可以在1个扫描期间内将多个液滴向被喷出部19L的相同位置喷出。根据以上的情况，在1个扫描期间内，就不会使液状的材料从被喷出部18L中溢出，而可以将必需量的液状的材料111涂覆在被喷出部18L上。
所述的条纹状的被喷出部18L的例子之一是在电子设备中用于形成金属布线的部分。所以，本实施方式的喷出装置100就可以被应用于通过喷出液状的布线材料而制造电子设备的金属布线的布线制造装置中。例如，可以被应用于在后述的等离子体显示装置50(图25～26)的支撑基板52上形成地址电极54的布线制造装置中。
(实施方式2)
本实施方式的喷出装置的构成除了第1喷头部103C的喷出喷嘴118T的配置图案和第2喷头部103D的喷出喷嘴118T的配置图案与实施方式1的配置图案不同这一点以外，与实施方式1的喷出装置100的构成相同。
如图9及图10所示，第1喷头部103C从第2喷头部103D开始沿Y轴方向以特定的距离YK分离。图9的情况下，第1喷头部103C的Y坐标大于第2喷头部103D的Y坐标。而且，所述特定的距离YK也是第1喷头部103C中具有最大的Y坐标的喷嘴列和第2喷头部103D中具有最大的Y坐标的喷嘴列之间的距离。
下面，首先对第1喷头部103C的喷头114的相对位置关系进行说明
如图9所示，第1喷头部103C具有多个喷头组114G。多个喷头组114G构成沿X轴方向延伸的1列。
各个喷头组114G由沿Y轴方向相邻的4个喷头114构成。此外，按照喷头组114G的X轴方向的喷嘴间距GXP达到喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP的1/4倍的长度的方式，在喷头组114中配置1个喷头114。更具体来说，在喷头组114G中，相对于1个喷头114的第1基准喷嘴118R1的X坐标，另一个喷头114的第1基准喷嘴118R1的X坐标以喷嘴间距HXP的j/4倍的长度，沿X轴方向没有重复地错开。这里，j是1～3的自然数。由此，喷头组114G的X轴方向的喷嘴间距GXP是喷嘴间距HXP的1/4倍。
本实施方式中，由于喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP大约为70μm，因此喷头组114G的X轴方向的喷嘴间距GXP为其1/4倍即大约17.5μm。这里，“喷头组114G的X轴方向的喷嘴间距GXP”相当于将喷头组114G的所有喷嘴118从与X轴方向正交的方向向X轴上投影而得的多个喷嘴像间的间距。
当然，喷头组114G所包含的喷头114的数目并不限定于4个。喷头组114G也可以由N个喷头114构成。这里，N为2以上的自然数。在喷头组114G由N个喷头114构成的情况下，按照喷嘴间距GXP达到喷嘴间距HXP的1/N倍的长度的方式，在喷头组114G中配置N个喷头114即可。或者，相对于N个喷头114的一个的第1基准喷嘴118R1的X坐标，其他的(N-1)个喷头114的基准喷嘴118的X坐标以喷嘴间距HXP的j/N倍的长度没有重复地错开即可。而且，该情况下，j是从1到(N-1)的自然数。
下面，对本实施方式的喷头114的相对位置关系进行更具体的说明。
首先，为了使说明简单化，将图9及图10的最左侧的喷头组114G中所含的4个喷头114从上面开始分别表记为喷头1141、喷头1142、喷头1143、喷头1144。同样地，将从图9及图10的左侧开始的第2个喷头组114G中所含的4个喷头114从上面开始分别表记为喷头1145、喷头1146、喷头1147、喷头1148。
此外，如图10所示，将喷头1141的喷嘴列116A、116B表记为喷嘴列1A、1B，将喷头1142的喷嘴列116A、116B表记为喷嘴列2A、2B，将喷头1143的喷嘴列116A、116B表记为喷嘴列3A、3B，将喷头1144的喷嘴列116A、116B表记为喷嘴列4A、4B。同样，将喷头1145的喷嘴列116A、116B表记为喷嘴列5A、5B，将喷头1146的喷嘴列116A、116B表记为喷嘴列6A、6B，将喷头1147的喷嘴列116A、116B表记为喷嘴列7A、7B，将喷头1148的喷嘴列116A、116B表记为喷嘴列8A、8B。
这些喷嘴列1A～8B分别实际上由90个喷嘴118构成。此外，如上所述，在各个喷嘴列1A～8B中，这90个喷嘴沿着X轴方向排列。其中，图10中为了说明上的方便，将各个喷嘴列1A～8B按照由4个喷出喷嘴118T(喷嘴118)构成的方式描绘。另外，在图9及图10中，喷嘴列1A的最左侧的喷嘴118为喷头1141的第1基准喷嘴118R1，喷嘴列2A的最左侧的喷嘴118为喷头1142的第1基准喷嘴118R1，喷嘴列3A的最左侧的喷嘴118为喷头1143的第1基准喷嘴118R1，喷嘴列4A的最左侧的喷嘴118为喷头1144的第1基准喷嘴118R1，喷嘴列5A的最左侧的喷嘴118为喷头1145的第1基准喷嘴118R1。而且，图9及图10的左侧方向为X轴方向的负的方向。
喷头1141的第1基准喷嘴118R1的X坐标和喷头1142的第1基准喷嘴118R1的X坐标的差的绝对值为喷嘴间距LNP的1/4倍的长度、即喷嘴间距HXP的1/2倍的长度。图9及图10的例子中，喷头1141的第1基准喷嘴118R1的位置相对于喷头1142的第1基准喷嘴118R1的位置，以喷嘴间距LNP的1/4倍的长度，向X轴的负的方向(图9及图10的左侧方向)错开。但是，喷头1141的相对于喷头1142错开的方向也可以是X轴方向的正的方向(图9及图10的右侧方向)。
喷头1143的第1基准喷嘴118R1的X坐标和喷头1144的第1基准喷嘴118R1的X坐标的差的绝对值为喷嘴间距LNP的1/4倍的长度、即喷嘴间距HXP的1/2倍的长度。图9及图10的例子中，喷头1143的第1基准喷嘴118R1的位置相对于喷头1144的第1基准喷嘴118R1的位置，以喷嘴间距LNP的1/4倍的长度，向X轴的负的方向(图9及图10的左侧方向)错开。但是，喷头1143的相对于喷头1144错开的方向也可以是X轴方向的正的方向(图9及图10的右侧方向)。
喷头1142的第1基准喷嘴118R1的X坐标和喷头1143的第1基准喷嘴118R1的X坐标的差的绝对值为喷嘴间距LNP的1/8倍或3/8倍的长度、即喷嘴间距HXP的1/4倍或3/4倍的长度。图9及图10的例子中，喷头1142的第1基准喷嘴118R1的位置相对于喷头1143的第1基准喷嘴118R1的位置，以喷嘴间距LNP的1/8倍的长度即17.5μm，向X轴的正的方向(图9及图10的右侧方向)错开。但是，喷头1142的相对于喷头1143错开的方向也可以是X轴方向的负的方向(图9及图10的左侧方向)。
本实施方式中，朝向Y轴方向的负的方向(图面的下方向)，喷头1141、1142、1143、1144以该顺序排列。但是，沿Y轴方向排列的这4个喷头114的顺序也可以不是本实施方式的顺序。具体来说，只要是喷头1141和喷头1142沿Y轴方向相邻，并且喷头1143和喷头1144沿Y轴方向相邻即可。
利用所述配置，在喷嘴列1A的最左侧的喷嘴118的X坐标和喷嘴列1B的最左侧的喷嘴118的X坐标之间，集中了喷嘴列2A的最左侧的喷嘴118的X坐标、喷嘴列3A的最左侧的喷嘴118的X坐标、喷嘴列4A的最左侧的喷嘴118的X坐标。同样，在喷嘴列1B的最左侧的喷嘴118的X坐标和从喷嘴列1A的左侧开始第2个喷嘴118的X坐标之间，集中了喷嘴列2B的最左侧的喷嘴118的X坐标、喷嘴列3B的最左侧的喷嘴118的X坐标、喷嘴列4B的最左侧的喷嘴118的X坐标。在喷嘴列1A的其他喷嘴118的X坐标和喷嘴列1B的其他喷嘴118的X坐标之间，也同样地集中了喷嘴列2A(或2B)的喷嘴118的X坐标、喷嘴列3A(或3B)的喷嘴118的X坐标、喷嘴列4A(或4B)的喷嘴118的X坐标。
更具体来说，利用所述的配置，喷嘴列1B的最左侧的喷嘴118的X坐标大致与喷嘴列1A的最左侧的喷嘴118的X坐标和从喷嘴列1A的左侧开始第2个喷嘴118的X坐标的中间一致。此外，喷嘴列2A的最左侧的喷嘴118的X坐标大致与喷嘴列1A的最左侧的喷嘴118的X坐标和喷嘴列1B的最左侧的喷嘴118的X坐标的中间一致。喷嘴列2B的最左侧的喷嘴118的X坐标大致与从喷嘴列1A的左侧开始的第2个喷嘴118的X坐标和喷嘴列1B的最左侧的喷嘴118的X坐标的中间一致。喷嘴列3A的最左侧的喷嘴118的X坐标大致与喷嘴列1A的最左侧的喷嘴118的X坐标和喷嘴列2A的最左侧的喷嘴118的X坐标的中间一致。喷嘴列3B的最左侧的喷嘴118的X坐标大致与喷嘴列1B的最左侧的喷嘴118的X坐标和喷嘴列2B的最左侧的喷嘴118的X坐标的中间一致。喷嘴列4A的最左侧的喷嘴118的X坐标大致与喷嘴列1B的最左侧的喷嘴118的X坐标和喷嘴列2A的最左侧的喷嘴118的X坐标的中间一致。喷嘴列4B的最左侧的喷嘴118的X坐标大致与从喷嘴列1A的左侧开始的第2个喷嘴118的X坐标和喷嘴列2B的最左侧的喷嘴118的X坐标的中间一致。
图9及图10的从左侧开始的第2个喷头组114G的喷头1145、1146、1147、1148的配置，即构形(configuration)，也与喷头1141、1142、1143、1144的配置相同。
下面，基于喷头1145和喷头1141之间的相对位置关系，对沿X轴方向相邻的2个喷头组114G之间的相对位置关系进行说明。
喷头1145的第1基准喷嘴118R1的位置从喷头1141的第1基准喷嘴118R1的位置开始，以喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP和喷头114的喷出喷嘴118T的数目的乘积的长度，向X轴方向的正的方向错开。本实施方式中，由于喷嘴间距HXP大约为70μm，并且1个喷头114的喷出喷嘴118T的数目为160个，因此喷头1145的第1基准喷嘴118R1的位置从喷头1141的第1基准喷嘴118R1的位置开始，向X轴方向的正的方向错开11.2mm(70μm×160)。但是，由于在图9及图10中，为了说明上的方便，喷头1141的喷出喷嘴118T的数目为8个，因此喷头1145的第1基准喷嘴118R1的位置被按照从喷头1141的基准喷嘴1141的位置开始错开560μm(70μm×8)的方式描绘。
由于喷头1141和喷头1145被如上配置，因此喷嘴列1A的最右侧的喷出喷嘴118T的X坐标和喷嘴列5A的最左侧的喷出喷嘴118T的X坐标错开了喷嘴间距LNP的量。由此，2个喷头组114G整体的X轴方向的喷嘴间距为喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP的1/4倍。
在第1喷头部103C中，沿Y轴方向相邻的其他的4个喷头114间的相对位置关系与所述4个喷头114间的相对位置关系相同。另外，沿X轴方向相邻的其他2个喷头组114G间的相对位置关系也与所述2个喷头组114G间的相对位置关系相同。
根据以上的情况，在第1范围EXT中，喷出喷嘴118T按照X轴方向的喷嘴间距达到喷嘴间距HXP的大约1/4倍的长度、即17.5μm的方式分布。这里，所谓“第1范围EXT”在本实施方式中是沿着X轴方向的范围，是由在第1喷头部103C中位于最外侧的2个喷出喷嘴118T之间规定的范围。其中，在第1范围EXT中，还包括位于最外侧的这2个喷出喷嘴118T。
如图9所示，第2喷头部103D的喷头114的配置图案与第1喷头部103C的喷头114(图10中为1141～1148)的配置图案相同。即，第2喷头部103D的喷出喷嘴118T的配置图案与第1喷头部103C的喷出喷嘴118T的配置图案相同。
根据以上的情况，在第2喷头部103D中，在第1范围EXT中，喷出喷嘴118T也按照X轴方向的喷嘴间距达到喷嘴间距HXP的大约1/4倍的长度的方式分布。此外，具有共同的X坐标的2个喷出喷嘴118T逐个位于第1喷头部103C和第2喷头部103D。
作为本实施方式的涂覆工序，对在条纹状的被喷出部上涂覆液状的材料111的工序进行说明。
在本实施方式的喷出装置100中，台架106在进行向1个基体上的被喷出部上涂覆液状的材料111的工序(涂覆工序)时，从接收区域向取出区域沿Y轴方向移动1次。
在台架106位于接收区域的情况下，利用第1机械手的抓叉，将应当涂覆液状的材料的基体放置在台架106上。此时，按照使条纹状的被喷出部的长边方向与X轴方向一致的方式，将基体相对于喷出装置100定位。在基体被相对于喷出装置100定位后，台架106从接收区域向取出区域，沿Y轴方向开始移动。
此后，第1喷头部103C通过与被喷出部对应的区域。在第1喷头部103C通过与被喷出部对应的区域期间内，第1喷头部103C从各个喷出喷嘴118T中向被喷出部喷出液状的材料的第1液滴。其结果是，液状的材料的第1液滴分别命中在第1范围EXT内以喷嘴间距HXP的1/4倍排列的多个命中位置上。命中的第1液滴分别从各自的命中位置开始涂覆展开。
在第1喷头部103C通过了与被喷出部对应的区域后，第2喷头部103D通过与被喷出部对应的区域。在第2喷头部103D通过与被喷出部对应的区域期间内，第2喷头部103D分别从喷出喷嘴118T向被喷出部喷出液状的材料的第2液滴。其结果是，液状的材料的第2液滴分别命中在第1范围EXT内以喷嘴间距HXP的1/4倍排列的多个命中位置。第2喷头部103D的多个命中位置与第1喷头部103C的多个命中位置大致相同。命中的第2液滴分别从各自的命中位置开始涂覆展开。其结果是，被喷出部的整体被液状的材料覆盖。
在第2喷头部103D通过了与被喷出部对应的区域后，台架106到达取出区域而停止。此后，利用第2机械手的2个抓叉，将经过了涂覆工序的基体从台架106上提起。
(实施方式3)
本实施方式的喷出装置的构成除了第1喷头部103E的喷出喷嘴118T的配置图案和第2喷头部103F的喷出喷嘴118T的配置图案与实施方式2的配置图案不同这一点以外，均与实施方式2的喷出装置100的构成相同。
在所述的实施方式2的第1喷头部103E中，多个喷头组114G构成沿着X方向延伸的一列(图9及图10)。本实施方式中，如图11及图12所示，多个喷头组114G构成分别沿着X轴方向延伸的多个列GL(本实施方式中为3列)。多个列沿Y轴方向相邻。
各个喷头组114G的4个喷头114的相对位置关系与实施方式2中说明的相对位置关系相同。由此，各个喷头114G的X轴方向的喷嘴间距GXP为喷嘴间距HXP的大约1/4倍的长度。
如图11及图12所示，在第1喷头部103E中，2维地排列所述的实施方式2中说明的喷头组114G。其结果是，作为第1喷头部103E的整体的X轴方向的喷嘴间距为喷嘴间距GXP、即喷嘴间距HXP的大约1/4倍的长度。
为了说明上的方便，将图11的最上侧的列中所含的喷头组114G从图11的左侧开始依次表记为喷头组G11、喷头组G12、喷头组G13、～喷头组G1L。另外，将图1的正中的列中所含的喷头组114G从图11的左侧开始表记为喷头组G21、喷头组G22、喷头组G23、～喷头组G2L。此外，将图11的最下侧的列中所含的喷头组114G从图11的左侧开始表记为喷头组G31、喷头组G32、喷头组G33、～喷头组G3L。而且，L为正的整数，表示列中所含的喷头组114的数目。而且，图11及图12的左侧方向为X轴方向的负的方向。
在各个喷头组114G中，将具有最小的X坐标的喷出喷嘴118T表记为第3基准喷嘴R3，将喷头组114G的具有最大的X坐标的喷出喷嘴118T表记为第4基准喷嘴R4。
如图12所示，正中的列的左端的喷头组G21的第3基准喷嘴R3的位置从最上侧的列的左端的喷头组G11的第4基准喷嘴R4的位置开始，以喷嘴间距GXP的长度(大约17.5μm)向X轴方向的正的方向错开。
另一方面，最下侧的列的左端的喷头组G31的第3基准喷嘴R3的位置从正中的列的左端的喷头组G21的第4基准喷嘴R4的位置开始，以喷嘴间距GXP的长度(大约17.5μm)向X轴方向的正的方向错开。
同样，从最上侧的列的左侧开始第2个喷头组G12的第3基准喷嘴R3的位置从最下侧的列的左端的喷头组G31的第4基准喷嘴R4的位置开始，以喷嘴间距GXP的长度(大约17.5μm)向X轴方向的正的方向错开。
第1喷头部103E的其他的喷头组之间的相对位置关系也与喷头组G11、G21、G31、G12的相对位置关系相同。所以，第1喷头部103E的整体的X轴方向的喷嘴间距为喷嘴间距GXP、即喷嘴间距HXP的大约1/4倍的长度。
根据以上的情况，在第1范围EXT中，喷出喷嘴118T按照X轴方向的喷嘴间距达到喷嘴间距GXP的方式分布。这里所谓第1范围EXT在本实施方式中，是沿着X轴方向的范围，是由在第1喷头部103E中位于最外侧的2个喷出喷嘴118T之间规定的范围。其中，在第1范围EXT中，还包括位于最外侧的这2个喷出喷嘴118T。
第2喷头部103F具有与第1喷头部103E的喷头组114的数目相同的喷头组。此外，第2喷头部103F的多个喷头组114G之间的相对位置关系与第1喷头组的多个喷头组114之间的相对位置关系相同。由此，第1喷头部103F的喷出喷嘴118T的配置图案与第1喷头部103E的喷出喷嘴118T的配置图案相同。
根据以上的情况，具有共同的X坐标的2个喷出喷嘴118T逐个位于第1喷头部103E和第2喷头部103F。另外，在第2喷头部103F中，在第1范围EXT中，喷出喷嘴118T也按照X轴方向的喷嘴间距达到喷嘴间距GXP的方式分布。
(实施方式4)
对将本发明应用于滤色片基板的制造装置的例子进行说明。
图13(a)及(b)所示的基体10A是经过后述的制造装置1(图14)的处理后成为滤色片基板10的基板。基体10A具有被配置成矩阵状的多个被喷出部18R、18G、18B。
具体来说，基体10A包括具有透光性的支撑基板12、形成于支撑基板12上的黑矩阵14、形成于黑矩阵14上的围堰16。黑矩阵14由具有遮光性的材料制成。此外，黑矩阵14和黑矩阵14上的围堰16被按照由矩阵状的多个透光部分即矩阵状的多个象素区域规定的方式位于支撑基板12上。
在各个象素区域中，被支撑基板12、黑矩阵14及围堰16规定的凹部与被喷出部18R、被喷出部18G、被喷出部18B对应。被喷出部18R是应当形成仅透过红的波长区域的光线的过滤层111FR的区域，被喷出部18G是应当形成仅透过绿的波长区域的光线的过滤层111FG的区域，被喷出部18B是应当形成仅透过蓝的波长区域的光线的过滤层111FB的区域。
图13(b)所示的基体10A位于与X轴方向和Y轴方向两者平行的假想平面上。此外，多个被喷出部18R、18G、18B所形成的矩阵的行方向及列方向分别与X轴方向及Y轴方向平行。在基体10A中，被喷出部18R、被喷出部18G及被喷出部18B沿Y轴方向以该顺序周期性地排列。另一方面，被喷出部18R之间沿X轴方向拉开特定的一定间隔而排成1列，另外，被喷出部18G之间沿X轴方向拉开特定的一定间隔而排成1列，此外，被喷出部18B之间沿X轴方向拉开特定的一定间隔而排成1列。而且，X轴方向及Y轴方向相互正交。
而且，被喷出部18R、18G、18B沿X轴方向分布的范围集中在第1范围EXT内(图9)。
被喷出部18R之间的沿着Y轴方向的间隔LRY即间距大约为560μm。该间隔与被喷出部18G之间的沿着Y轴方向的间隔LGY相同，也与被喷出部18B之间的沿着Y轴方向的间隔LBY相同。另外，被喷出部18R的平面图像为具有相互正交的长轴方向和短轴方向的形状。本实施方式中，被喷出部18R的平面图像为由长边和短边确定的近似矩形。具体来说，被喷出部18R的Y轴方向的长度大约为100μm，X轴方向的长度大约为300μm。被喷出部18G及被喷出部18B也具有与被喷出部18R相同的形状·大小。被喷出部之间的所述间隔及被喷出部的所述大小在40英寸左右的大小的高清晰度电视中，与对应于相同颜色的象素区域之间的间隔或大小对应。
图14所示的制造装置1是向图13的基体10A的被喷出部18R、18G、18B上分别喷出对应的滤色片材料的装置。具体来说，制造装置1具备向全部被喷出部18R上涂覆滤色片材料111R的喷出装置100R、使被喷出部18R上的滤色片材料111R干燥的干燥装置150R、向全部被喷出部18G上涂覆滤色片材料111G的喷出装置100G、使被喷出部18G上的滤色片材料111G干燥的干燥装置150G、向全部被喷出部18B上涂覆滤色片材料111B的喷出装置100B、使被喷出部18B上的滤色片材料111B干燥的干燥装置150B、对滤色片材料111R、111G、111B再次进行加热(后烘烤)的烤炉160、在被加热了的滤色片材料111R、111G、111B的层上设置保护膜20的喷出装置100C、使保护膜20干燥的干燥装置150C、对干燥了的保护膜20再次加热而硬化的硬化装置165。另外，制造装置1还具备以喷出装置100R、干燥装置150R、喷出装置100G、干燥装置150G、喷出装置100B、干燥装置150B、喷出装置100C、干燥装置150C、硬化装置165的顺序传送基体10A的多个传送装置170。多个传送装置170分别具有抓叉部、使抓叉部上下移动的驱动部、自行部。
图15所示的喷出装置100R的构成与实施方式2的喷出装置的构成基本上相同。但是，取代液罐101A、101B和管道110A、110B，喷出装置100R具备液状的滤色片材料111R用的2个液罐101R和2个管道110R，在这一点上，喷出装置100R的构成与喷出装置100的构成不同。而且，对于喷出装置100R的构成要素当中的与实施方式1的构成要素或实施方式2的构成要素相同的部分，使用相同的参照符号，并将重复的说明省略。
喷出装置100G的构成、喷出装置100B的构成、喷出装置100C的构成都基本上与喷出装置100R的结构相同。但是，取代喷出装置100R的液罐101R和管道110R，喷出装置100G具备滤色片材料111G用的液罐和管道，在这一点上，喷出装置100G的构成与喷出装置100R的构成不同。同样，取代液罐101R和管道110R，喷出装置100B具备滤色片材料111B用的液罐和管道，在这一点上，喷出装置100B的构成与喷出装置100R的构成不同。另外，取代液罐101R和管道110R，喷出装置100C具备保护膜材料用的液罐和管道，在这一点上，喷出装置100C的构成与喷出装置100R的构成不同。而且，本实施方式的液状的滤色片材料111R、111G、111B为本发明的液状的材料的一个例子。
下面，对喷出装置100R的动作进行说明。喷出装置100R向在基体10A上成矩阵状配置的多个被喷出部18R喷出相同的材料(即滤色片材料111R)。而且，如实施方式5～7中说明所示，基体10A也可以置换为电致发光显示装置用的基板，还可以置换为等离子体显示装置用的背面基板，还可以置换为具备电子发射元件的图像显示装置的基板。
图16的基体10A被按照使被喷出部18R的长边方向及短边方向分别与X轴方向及Y轴方向一致的方式，保持在台架106上。
首先，在扫描期间开始之前，控制部112根据喷出数据，按照使几个喷嘴118的X坐标集中在被喷出部18R的X坐标范围中的方式，使第1喷头部103C及第2喷头部103D或喷头组114G相对于基体10A沿X轴方向相对移动。所谓被喷出部18R的X坐标范围是指由被喷出部18R的两端的X坐标决定的范围。本实施方式中，被喷出部18R的长边的长度大约为300μm，喷头组114G的X轴方向的喷嘴间距GXP为17.5μm。由此，喷头组114G的16个或17个喷嘴118落入1个被喷出部18R的X坐标范围。在扫描期间内，从X坐标范围外的喷嘴118中不会喷出一点儿滤色片材料111R。
但是，本实施方式中所谓“扫描期间”是指，如图33所示，第1喷头部103E的一边沿着Y轴方向从扫描范围134的一端E1(或另一端E2)直到另一端E2(或一端E1)，相对于台架106而进行1次相对移动的期间。所谓“扫描范围134”是指，为了在基体10A的全部的被喷出部18R上涂覆材料，第1喷头部103C及第2喷头部103D的组相对于台架106进行相对移动的范围，全部的被喷出部18R被扫描范围134覆盖。本实施方式中，第1喷头部103C及第2喷头部103D在1个扫描期间内沿扫描范围134移动。
而且，根据情况的不同，用语“扫描范围”有时指1个喷嘴118(图2)相对于台架106进行相对移动的范围，有时指1个喷嘴列116A(116B)(图2)相对移动的范围，有时指1个喷头114(图2)相对移动的范围。
另外，所谓第1喷头部103C、第2喷头部103D、喷头组114G(图9)、喷头114(图2)或喷嘴118(图2)相对移动是指，它们相对于台架106、基体10A或被喷出部18R的相对位置改变。由此，本说明书中，即使是第1喷头部103C、第2喷头部103D、喷头组114G、喷头114或喷嘴118相对于喷出装置100R静止，而仅台架106移动的情况，也表记为第1喷头部103C、第2喷头部103D、喷头组114G、喷头114或喷嘴118相对于台架106、基体10A或被喷出部18R相对移动。另外，有时也将相对扫描或相对移动、与材料的喷出的组合表记为“涂覆扫描”。
控制部112按照每个喷出周期EP(图5(b))的整数倍的时间间隔，1个喷嘴118与沿着Y轴方向排列的被喷出部18R重合的方式，决定第1喷头部103C及第2喷头部103D相对于台架106的相对移动的速度。这样，包括该1个喷嘴118的喷嘴列的其他的喷嘴118也在每个喷出周期EP的整数倍的时间间隔中，与各个被喷出部18R重合。本实施方式中，由于被喷出部18R的Y轴方向的间距为LRY(图13(b))，因此当将第1喷头部103C(或第2喷头部103D)相对于台架106的相对移动的速度设为V时，则V＝LRY/(k·EP)。这里，k为整数。而且，由于喷出周期EP基本上一定，因此相对移动的速度V为匀速。
当扫描期间开始时，则从扫描范围134的一端E1朝向Y轴方向的正的方向(图16的纸面上侧方向)，台架106开始相对移动。这样，参照图10说明的喷嘴列1A、1B、2A、2B、3A、3B、4A、4B就以该顺序进入与被喷出部18R对应的区域。而且，扫描期间内，喷头组114G的X坐标不变化。
图16所示的例子的情况下，当喷嘴列1A进入与某一个被喷出部18R对应的区域时，从喷嘴列1A的左侧开始的第2个喷嘴118和从左侧开始第3个喷嘴118中，喷出滤色片材料111。继而，当喷嘴列1B进入与该1个被喷出部18R对应的区域时，则从喷嘴列1B的最左侧的喷嘴118和从左侧开始的第2个喷嘴中，喷出滤色片材料111R。
其后，当喷嘴列2A进入与该1个被喷出部18R对应的区域时，从喷嘴列2A的最左侧的喷嘴118和从左侧开始第2个喷嘴118中，喷出滤色片材料111R。然后，当喷嘴列2B进入与该1个被喷出部18R对应的区域时，则从喷嘴列2B的最左侧的喷嘴118和从左侧开始的第2个喷嘴118中，喷出滤色片材料111R。
此后，当喷嘴列3A进入与该1个被喷出部18R对应的区域时，从喷嘴列3A的最左侧的喷嘴118和从左侧开始第2个喷嘴118中，喷出滤色片材料111R。然后，当喷嘴列3B进入与该1个被喷出部18R对应的区域时，则从喷嘴列3B的最左侧的喷嘴118和从左侧开始的第2个喷嘴118中，喷出滤色片材料111R。
继而，当喷嘴列4A进入与该1个被喷出部18R对应的区域时，从喷嘴列4A的最左侧的喷嘴118和从左侧开始第2个喷嘴118中，喷出滤色片材料111R。然后，当喷嘴列4B进入与该1个被喷出部18R对应的区域时，则从喷嘴列4B的最左侧的喷嘴118和从左侧开始的第2个喷嘴118中，喷出滤色片材料111R。
根据本实施方式，喷头组114G的X轴方向的喷嘴间距GXP是1个喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP的大约1/4，由此，在1个扫描期间内，更多的喷嘴118与1个被喷出部重合。
在被喷出部18R内滤色片材料111R所命中的位置的顺序如果是从图16的左侧开始以P1、P6、P4、P8、P3、P7、P5、P9、P2排列的位置之内，则以P1(P2)、P3、P4、P5、P6、P7、P8、P9的顺序命中。而且，滤色片材料111R的液滴基本上同时命中P1和P2。
即，根据本实施方式，滤色片材料111R的液滴命中已经被液滴覆盖的1个位置的中间位置。由此，后来命中的液滴就会与在相对于自身的命中位置对称的2个位置上先命中的2个液滴接触。由此，就会在后来命中的液滴上作用朝相反的2个方向的力，其结果是，后来命中的液滴从其命中位置开始成对称的形状展开。由于该理由，根据本实施方式的涂覆工序，很难产生滤色片材料111R的涂覆不均。
另一方面，如图16所示，在扫描期间内，喷嘴列1A的最左侧的喷嘴118、从喷嘴列2A的右侧开始的第2个喷嘴118、从喷嘴列3A的右侧开始的第2个喷嘴118、从喷嘴列4A的右侧开始的第2个喷嘴118，与被喷出部18R一次也不会重合。所以，从这些喷嘴中不会进行任何的滤色片材料111R的喷出。
以上对在被喷出部18R上涂覆滤色片材料111R的工序进行了说明。
以下，对直到利用制造装置1获得滤色片基板10的一连串的工序进行说明。
首先，依照以下的顺序制成图13的基体10A。首先，利用溅射法或蒸镀法，在支撑基板12上形成金属薄膜。其后，利用光刻工序从该金属薄膜中形成格子状的黑矩阵14。黑矩阵14的材料的例子为金属铬或氧化铬。而且，基板12为具有相对于可见光具有透光性的基板，例如玻璃基板。然后，按照覆盖支撑基板12及黑矩阵14的方式，涂覆由负型的感光性树脂组合物制成的光刻胶层。此后，在该光刻胶层上密接被制成了矩阵图案形状的掩模薄膜的同时，将该光刻胶层曝光。其后，通过用蚀刻处理将光刻胶层的未曝光部分除去，获得围堰16。利用以上的工序，得到基体10A。
而且，也可以取代围堰16，使用由树脂黑制成的围堰。此时，就不需要金属薄膜(黑矩阵14)，围堰层变为仅1层。
然后，利用大气压下的氧等离子体处理，使基体10A亲液化。利用该处理，由支撑基板12、黑矩阵14、围堰16所规定的各个凹部(象素区域的一部分)的支撑基板12的表面、黑矩阵14的表面、围堰16的表面就会呈现亲液性。另外，其后，对基体10A进行以四氟化甲烷为处理气体的等离子体处理。利用使用了四氟化甲烷的等离子体处理，将各个凹部的围堰16的表面进行氟化处理(处理成疏液性)，通过该操作使围堰16的表面呈现疏液性。而且，利用使用了四氟化甲烷的等离子体处理，虽然先前被赋予了亲液性的支撑基板12的表面及黑矩阵14的表面丧失了一些的亲液性，但是即使这样这些表面也维持亲液性。像这样，通过对由支撑基板12、黑矩阵14、围堰16规定的凹部的表面实施特定的表面处理，凹部的表面即成为被喷出部18R、18G、18B。
而且，根据支撑基板12的材质、黑矩阵14的材质及围堰16的材质，即使不进行如上所述的表面处理，也可以获得呈现所需的亲液性及疏液性的表面。在此种情况下，即使不实施所述表面处理，由支撑基板12、黑矩阵14、围堰16规定的凹部的表面也可为被喷出部18R、18G、18B。
形成了被喷出部18R、18G、18B的基体10A被传送装置170向喷出装置100R的台架106搬运。此外，如图17(a)所示，喷出装置100R按照在被喷出部18R的全部上形成滤色片材料111R的层的方式，从喷头114(图9)中喷出滤色片材料111R。
具体来说，首先，第1喷头部103C位于与某个被喷出部18R对应的区域。这样，喷出装置100R就从第1喷头部103C的各个喷出喷嘴118T中将滤色片材料111R的第1液滴向该被喷出部18R喷出。接在第1喷头部103C之后，第2喷头部103D位于与该被喷出部18R对应的区域。此后，从第2喷头部103D中向该被喷出部18R喷出滤色片材料111R的第2液滴。
本实施方式中，在使台架106沿Y轴方向进行1次相对移动的期间中，在被喷出部18R的全部上，涂覆所需量的液状的滤色片材料111R。这是因为，被喷出部18R的全部分布在第1范围EXT内。
另外，由于第1喷头部103C的喷出喷嘴118T和第2喷头部103D的对应的喷出喷嘴118T在1次的扫描期间中与被喷出部18R的相同位置重合，因此即使来自1个喷出喷嘴118T的滤色片材料111R的液滴的体积较小，也可以在1次的扫描期间中增大涂覆在被喷出部18R上的滤色片材料111R的体积。
在基体10A的被喷出部18R的全部上形成了滤色片材料111R的层的情况下，传送装置170使基体10A位于干燥装置150R内。此后，通过使被喷出部18R上的滤色片材料111R完全干燥，而在被喷出部18R上获得滤色片层111FR。
然后，传送装置170使基体10A位于喷出装置100G的台架106上。此后，如图17(b)所示，喷出装置100G按照在被喷出部18G的全部上形成滤色片材料111G的层的方式，从喷头114中(图9)喷出滤色片材料111G。
具体来说，首先，第1喷头部103C位于与某个被喷出部18G对应的区域。这样，喷出装置100G就从第1喷头部103C的各个喷出喷嘴118T中将滤色片材料111G的第1液滴向该被喷出部18G喷出。接在第1喷头部103C之后，第2喷头部103D位于与该被喷出部18G对应的区域。此后，从第2喷头部103D中向该被喷出部18G喷出滤色片材料111G的第2液滴。
在基体10A的被喷出部18G的全部上形成了滤色片材料111G的层的情况下，传送装置170使基体10A位于干燥装置150G内。此后，通过使被喷出部18G上的滤色片材料111G完全干燥，而在被喷出部18G上获得滤色片层111FG。
然后，传送装置170使基体10A位于喷出装置100B的台架106上。此后，如图17(c)所示，喷出装置100B按照在被喷出部18B的全部上形成滤色片材料111B的层的方式，从喷头114中(图9)喷出滤色片材料111B。
具体来说，首先，第1喷头部103C位于与某个被喷出部18G对应的区域。这样，喷出装置100B就从第1喷头部103C的各个喷出喷嘴118T中将滤色片材料111B的第1液滴向该被喷出部18B喷出。接在第1喷头部103C之后，第2喷头部103D位于与该被喷出部18B对应的区域。此后，从第2喷头部103D中向该被喷出部18B喷出滤色片材料111B的第2液滴。
在基体10A的被喷出部18B的全部上形成了滤色片材料111B的层的情况下，传送装置170使基体10A位于干燥装置150B内。此后，通过使被喷出部18B上的滤色片材料111B完全干燥，而在被喷出部18B上获得滤色片层111FB。
然后，传送装置170使基体10A位于烤炉160内。其后，烤炉160对滤色片层111FR、111FG、111FB进行再次加热(后烘烤)。
然后，传送装置170使基体10A位于喷出装置100的台架106上。此后，喷出装置100C按照覆盖滤色片层111FR、111FG、111FB及围堰16而形成保护膜20的方式，喷出液状的保护膜材料。在形成了覆盖滤色片层111FR、111FG、111FB及围堰16的保护膜20后，传送装置170使基体10A位于烤炉150C内。此后，在烤炉150C使保护膜20完全干燥后，通过硬化装置165加热保护膜20而完全硬化，基体10A即成为滤色片基板10。
(实施方式4的变形例)
图14所示的制造装置1也可以还具有检查装置和补涂用喷出装置。例如也可以在对于1个基体10A的干燥装置150B的工序结束后到喷出装置100C的工序开始的期间，按照使该基体10A以检查装置的工序、补涂用喷出装置的工序的顺序来接受这二个工序的方式，来构成制造装置1。这里，所谓检查装置是指，检查是否在被喷出部18R、18G、18B的全部上适当地涂覆了滤色片材料111R、111G、111B的装置。另外，所谓补涂用喷出装置是指，根据检查装置的检查结果，向未被适当地涂覆的被喷出部18R、18G、18B再次喷出对应的滤色片材料的装置。
由于制造装置1还包括这2个装置，因而滤色片基板的成品率进一步提高。
进行检查装置的工序和补涂用喷出装置的工序的时序如果是烤炉160的后烘烤的前阶段，则更为理想。但是，如果是喷出装置160C的保护膜20的涂覆前，则检查装置的工序和补涂用喷出装置的工序插入哪个阶段中都可以实施。另外，例如也可以在喷出装置100R的工序、喷出装置100G的工序及喷出装置100B的工序的各自之后不久，分别插入检查装置的工序和补涂用喷出装置的工序的组对。
(实施方式5)
下面，对将本发明应用于电致发光显示装置的制造装置的例子进行说明。
图18(a)及(b)所示的基体30A是利用后述的制造装置2(图19)的处理而成为电致发光显示装置30(例如有机EL显示装置)的基板。基体30A具有被配置为矩阵状的多个被喷出部38R、38G、38B。
具体来说，基体30A具有支撑基板32、形成于支撑基板32上的电路元件层34、形成于电路元件层34上的多个象素电极36、形成于多个象素电极36之间的围堰40。支撑基板是对可见光有透光性的基板，例如为玻璃基板。多个象素电极36分别是对可见光具有透光性的电极，例如为ITO(Indium-Tin Oxide)电极。另外，多个象素电极36在电路元件层34上被配置为矩阵状，分别规定象素区域。此外，围堰40具有格子状的形状，分别包围多个象素电极35。另外，围堰40由形成于电路元件层34上的无机物围堰40A和位于无机物围堰40A上的有机物围堰40B构成。
电路元件层34是具有在支撑基板32上沿特定的方向延伸的多个扫描电极、按照覆盖多个扫描电极的方式形成的绝缘膜42、位于绝缘膜42上并且沿与多个扫描电极延伸的方向正交的方向延伸的多个信号电极、位于扫描电极及信号电极的交点附近的多个开关元件44、按照覆盖多个开关元件44的方式形成的聚亚酰胺等的层间绝缘膜45的层。各个开关元件44的门电极44G及源电极44S被分别与对应的扫描电极及对应的信号电极电连接。多个象素电极36位于层间绝缘膜45上。在层间绝缘膜45上，在与各开关元件44的漏电极44D对应的部位上设有通孔44V，借助该通孔44V，形成开关元件44和对应的象素电极36之间的电连接。另外，各个开关元件44位于与围堰40对应的位置上。即，当从与图13(b)的纸面垂直的方向观察时，多个开关元件44各自的位置被围堰40覆盖。
基体30A的被象素电极36和围堰40规定的凹部(象素区域的一部分)与被喷出部38R、被喷出部38G、被喷出部38B对应。被喷出部38R是应当形成发出红的波长区域的光线的发光层211FR的区域，被喷出部38G是应当形成发出绿的波长区域的光线的发光层211FG的区域，被喷出部38B是应当形成发出蓝的波长区域的光线的发光层211FB的区域。
图18(b)所示的基体30A位于与X轴方向和Y轴方向两者平行的假想平面上。此外，多个被喷出部38R、38G、38B所形成的矩阵的行方向及列方向分别与X轴方向及Y轴方向平行。在基体30A中，被喷出部38R、被喷出部38G、被喷出部38B沿Y轴方向以该顺序周期性地排列。另一方面，被喷出部38R之间沿X轴方向拉开特定的一定间隔而排成1列，另外，被喷出部38G之间沿X轴方向拉开特定的一定间隔而排成1列，同样，被喷出部38B之间沿X轴方向拉开特定的一定间隔而排成1列。而且，X轴方向及Y轴方向相互正交。
而且，被喷出部38R、38G、38B沿X轴方向分布的范围集中在第1范围EXT内(图9)。
被喷出部38R之间的沿着Y轴方向的间隔LRY即间距大约为560μm。该间隔与被喷出部38G之间的沿着Y轴方向的间隔LGY相同，与被喷出部38B之间的沿着Y轴方向的间隔LBY也相同。另外，被喷出部38R的平面图像为由长边和短边决定的矩形。具体来说，被喷出部38R的Y轴方向的长度约为100μm，X轴方向的长度约为300μm。被喷出部38G及被喷出部38B也具有与被喷出部38R相同的形状·大小。被喷出部之间的所述间隔及被喷出部的所述大小在40英寸左右的大小的高清晰度电视中，与对应于相同颜色的象素区域之间的间隔或大小对应。
图19所示的制造装置2是向图18的基体30A的被喷出部38R、38G、38B的各自上喷出对应的发光材料的装置。制造装置2具备向被喷出部38R的全部涂覆发光材料211R的喷出装置200R、使被喷出部38R上的发光材料211R干燥的干燥装置250R、向被喷出部38G的全部涂覆发光材料211G的喷出装置200G、使被喷出部38G上的发光材料211G干燥的干燥装置250G、向被喷出部38B的全部涂覆发光材料211B的喷出装置200B、使被喷出部38B上的发光材料211B干燥的干燥装置250B。另外，制造装置2还具备以喷出装置200R、干燥装置250R、喷出装置200G、干燥装置250G、喷出装置200B、干燥装置250B的顺序传送基体30A的多个传送装置270。多个传送装置270各自具有抓叉部、使抓叉部上下移动的驱动部、自行部。
图20所示的喷出装置200R具备保持液状的发光材料211R的2个液罐201R、2个管道210R、经过2个管道210R从2个液罐201R中供给发光材料211R的喷出扫描部102。喷出扫描部102的构成与实施方式2的喷出扫描部的构成相同。而且，在喷出装置200中，对于与实施方式1的构成要素或实施方式2的构成要素相同的构成要素使用相同的参照符号，并且将重复的说明省略。另外，喷出装置200G的构成和喷出装置200B的构成都基本上与喷出装置200R的结构相同。但是，取代液罐201R和管道210R，喷出装置200G具备发光材料211G用的液罐和管道，在这一点上，喷出装置200G的构成与喷出装置200R的构成不同。同样，取代液罐201R和管道210R，喷出装置200B具备发光材料211B用的液罐和管道，在这一点上，喷出装置200B的构成与喷出装置200R的构成不同。而且，本实施方式的液状的发光材料211R、211B、211G为本发明的液状的材料的一个例子。
对使用了制造装置2的电致发光显示装置30的制造方法进行说明。首先，使用公知的制膜技术和图案处理技术，制造图18所示的基体30A。
然后，利用大气压下的氧等离子体处理，使基体30A亲液化。利用该处理，使由象素电极36和围堰40所规定的各个凹部(象素区域的一部分)的象素电极36的表面、无机物围堰40A的表面及有机物围堰40B的表面呈现亲液性。另外，其后，对基体30A进行以四氟化甲烷为处理气体的等离子体处理。利用使用了四氟化甲烷的等离子体处理，将各个凹部的有机物围堰40B的表面进行氟化处理(处理为疏液性)，通过该操作使有机物围堰40B的表面呈现疏液性。而且，利用使用了四氟化甲烷的等离子体处理，虽然先前被赋予了亲液性的象素电极36的表面及无机物围堰40A的表面丧失了一些亲液性，但是即使这样也维持亲液性。像这样，通过对由象素电极36和围堰40规定的凹部的表面实施特定的表面处理，凹部的表面成为被喷出部38R、38G、38B。
而且，根据象素电极36的材质、无机物围堰40A的材质及有机物围堰40B的材质，即使不进行如上所述的表面处理，也可以获得呈现所需的亲液性及疏液性的表面。在此种情况下，即使不实施所述表面处理，由象素电极36和围堰40规定的凹部的表面也可为被喷出部38R、38G、38B。
这里，在实施了表面处理的多个象素电极36的各自上，也可以形成对应的空穴输送层37R、37G、37B(图21)。空穴输送层37R、37G、37B如果位于象素电极36和后述的发光层211RF、211GF、211BF之间，则电致发光显示装置的发光效率就会提高。在多个象素电极36的各自之上设置空穴输送层37R、37G、37B的情况下，由空穴输送层37R、37G、37B和围堰40规定的凹部就与被喷出部38R、38G、38B对应。
而且，也可以利用喷墨法形成空穴输送层37R、37G、37B(图21)。此时，将含有用于形成空穴输送层37R、37G、37B的材料的溶液在各象素区域上分别涂覆特定量，其后通过使之干燥，就可以形成空穴输送层。
形成了被喷出部38R、38G、38B的基体30A被传送装置270向喷出装置200R的台架106搬运。此外，如图21(a)所示，喷出装置200R按照在被喷出部38R的全部上形成发光材料211R的层的方式，从喷头114(图9)中喷出发光材料211R。
具体来说，首先，第1喷头部103C位于与某个被喷出部38R对应的区域。这样，喷出装置200R就从第1喷头部103C的各个喷出喷嘴118T中将发光材料211R的第1液滴向该被喷出部38R喷出。接在第1喷头部103C之后，第2喷头部103D位于与该被喷出部38R对应的区域。此后，从第2喷头部103D中向该被喷出部38R喷出发光材料211R的第2液滴。
本实施方式中，在使台架106沿Y轴方向进行1次相对移动的期间中，在被喷出部38R的全部上，涂覆所需量的液状的发光材料211R。这是因为，被喷出部38R的全部分布在第1范围EXT内。
另外，由于第1喷头部103C的喷出喷嘴118T和第2喷头部103D的对应的喷出喷嘴118T在1次的扫描期间中与被喷出部38R内的相同位置重合，因此即使来自一个喷出喷嘴118T的发光材料211R的液滴的体积较小，也可以增大在1次的扫描期间中涂覆在被喷出部38R上的发光材料211R的体积。
在基体30A的被喷出部38R的全部上形成了发光材料211R的层的情况下，传送装置270使基体30A位于干燥装置250R内。此后，通过使被喷出部38R上的发光材料211R完全干燥，而在被喷出部38R上获得发光层211FR。
然后，传送装置270使基体30A位于喷出装置200G的台架106上。此后，如图21(b)所示，喷出装置200G按照在被喷出部38G的全部上形成发光材料211G的层的方式，从喷头114中(图9)喷出发光材料211G。
具体来说，首先，第1喷头部103C位于与某个被喷出部38G对应的区域。这样，喷出装置200G就从第1喷头部103C的各个喷出喷嘴118T中将发光材料211G的第1液滴向该被喷出部38G喷出。接在第1喷头部103C之后，第2喷头部103D位于与该被喷出部38G对应的区域。此后，从第2喷头部103D中向该被喷出部38G喷出发光材料211G的第2液滴。
在基体30A的被喷出部38G的全部上形成了发光材料211G的层的情况下，传送装置270使基体30A位于干燥装置250G内。此后，通过使被喷出部38G上的发光材料211G完全干燥，而在被喷出部38G上获得发光层211FG。
然后，传送装置270使基体30A位于喷出装置200B的台架106上。此后，如图21(c)所示，喷出装置200B按照在被喷出部38B的全部上形成发光材料211B的层的方式，从喷头114中(图9)喷出发光材料211B。
具体来说，首先，第1喷头部103C位于与某个被喷出部38G对应的区域。这样，喷出装置200B就从第1喷头部103C的各个喷出喷嘴118T中将发光材料211B的第1液滴向该被喷出部38B喷出。接在第1喷头部103C之后，第2喷头部103D位于与该被喷出部38B对应的区域。此后，从第2喷头部103D中向该被喷出部38B喷出发光材料211B的第2液滴。
在基体30A的被喷出部38B的全部上形成了发光材料211B的层的情况下，传送装置270使基体30A位于干燥装置250B内。此后，通过使被喷出部38B上的发光材料211B完全干燥，而在被喷出部38B上获得发光层211FB。
如图21(d)所示，然后，按照覆盖发光层211FR、211FG、211FB及围堰40的方式设置对置电极46。对置电极46作为阴极发挥作用。
其后，通过将密封基板48和基体30A在相互的周边部粘接，就获得如图21(d)所示的电致发光显示装置30。而且，在密封基板48和基体30A之间封入惰性气体49。
在电致发光显示装置30中，从发光层211FR、211FG、211FB中发出的光经过象素电极36、电路元件层34、支撑基板32射出。像这样经过电路元件层34而射出光的电致发光显示装置被称为底发射型的显示装置。
(实施方式6)
对将本发明应用于等离子体显示装置的背面基板的制造装置的例子进行说明。
图22(a)及(b)所示的基体50A是利用后述的制造装置3(图23)的处理而成为等离子体显示装置的背面基板50B的基板。基体50A具有被配置为矩阵状的多个被喷出部58R、58G、58B。
具体来说，基体50A包括支撑基板52、以条状形成于支撑基板52上的多个地址电极54、按照覆盖地址电极54的方式形成的电介质玻璃层56、具有格子状的形状并且规定多个象素区域的隔壁60。多个象素区域成矩阵状设置，多个象素区域所形成的矩阵的列分别与多个地址电极54的各个对应。此种基体50A是利用公知的丝网印刷技术形成的。
基体50A的各个象素区域中，被电介质玻璃层56及隔壁60规定的凹部，与被喷出部58R、被喷出部58G、被喷出部58B对应。被喷出部58R是应当形成发出红的波长区域的光线的荧光层311FR的区域，被喷出部58G是应当形成发出绿的波长区域的光线的荧光层311FG的区域，被喷出部58B是应当形成发出蓝的波长区域的光线的荧光层311FB的区域。
图22(b)所示的基体50A位于与X轴方向和Y轴方向两者平行的假想平面上。此外，多个被喷出部58R、58G、58B所形成的矩阵的行方向及列方向分别与X轴方向及Y轴方向平行。在基体50A中，被喷出部58R、被喷出部58G、被喷出部58B沿Y轴方向以该顺序周期性地排列。另一方面，被喷出部58R之间沿X轴方向拉开特定的一定间隔而排成1列，另外，被喷出部58G之间沿X轴方向拉开特定的一定间隔而排成1列，同样，被喷出部58B之间沿X轴方向拉开特定的一定间隔而排成1列。而且，X轴方向及Y轴方向相互正交。
而且，被喷出部58R、58G、58B沿X轴方向分布的范围集中在第1范围EXT内(图9)。
被喷出部58R之间的沿着Y轴方向的间隔LRY即间距大约为560μm。该间隔与被喷出部58G之间的沿着Y轴方向的间隔LGY相同，与被喷出部58B之间的沿着Y轴方向的间隔LBY也相同。另外，被喷出部58R的平面图像为由长边和短边决定的矩形。具体来说，被喷出部58R的Y轴方向的长度约为100μm，X轴方向的长度约为300μm。被喷出部58G及被喷出部58B也具有与被喷出部58R相同的形状·大小。被喷出部之间的所述间隔及被喷出部的所述大小在40英寸左右的大小的高清晰度电视中，与对应于相同颜色的象素区域之间的间隔或大小对应。
图23所示的制造装置3是向图22的基体50A的被喷出部58R、58G、58B的各自上喷出对应的荧光材料的装置。制造装置3具备向被喷出部58R的全部涂覆荧光材料311R的喷出装置300R、使被喷出部58R上的荧光材料311R干燥的干燥装置350R、向被喷出部58G的全部涂覆荧光材料311G的喷出装置300G、使被喷出部58G上的荧光材料311G干燥的干燥装置350G、向被喷出部58B的全部涂覆荧光材料311B的喷出装置300B、使被喷出部58B上的荧光材料311B干燥的干燥装置350B。另外，制造装置3还具备以喷出装置300R、干燥装置350R、喷出装置300G、干燥装置350G、喷出装置300B、干燥装置350B的顺序传送基体50A的多个传送装置370。多个传送装置370各自具有抓叉部、使抓叉部上下移动的驱动部、自行部。
图24所示的喷出装置300R具备保持液状的荧光材料311R的2个液罐301R、2个管道310R、经过2个管道310R从2个液罐301R中供给荧光材料311R的喷出扫描部102。喷出扫描部102的构成与实施方式2的喷出扫描部的构成基本相同。而且，在喷出装置300R中，对于与实施方式1的构成要素或实施方式2的构成要素相同的构成要素使用相同的参照符号，将重复的说明省略。
喷出装置300G的构成和喷出装置300B的构成都基本上与喷出装置300R的结构相同。但是，取代液罐301R和管道310R，喷出装置300G具备荧光材料311G用的液罐和管道，在这一点上，喷出装置300G的构成与喷出装置300R的构成不同。同样，取代液罐301R和管道310R，喷出装置300B具备荧光材料311B用的液罐和管道，在这一点上，喷出装置300B的构成与喷出装置300R的构成不同。而且，本实施方式的液状的荧光材料311R、311B、311G为发光材料的一种，与本发明的液状的材料对应。
对使用了制造装置3的等离子体显示装置的制造方法进行说明。首先，使用公知的丝网印刷技术，在支撑基板52上，形成多个地址电极54、电介质玻璃层56、隔壁60，制造图22所示的基体50A。
然后，利用大气压下的氧等离子体处理，使基体50A亲液化。利用该处理，使由隔壁60及电介质玻璃层56所规定的各个凹部(象素区域的一部分)的隔壁60的表面、电介质玻璃层56的表面呈现亲液性，它们的表面成为被喷出部58R、58G、58B。而且，根据材质，即使不进行如上所述的表面处理，也可以获得呈现所需的亲液性的表面。在此种情况下，即使不实施所述表面处理，由隔壁60、电介质玻璃层56规定的凹部的表面也可为被喷出部58R、58G、58B。
形成了被喷出部58R、58G、58B的基体50A被传送装置370向喷出装置300R的台架106搬运。此外，如图25(a)所示，喷出装置300R按照在被喷出部58R的全部上形成荧光材料311R的层的方式，从喷头114(图9)中喷出荧光材料311R。
具体来说，首先，第1喷头部103C位于与某个被喷出部58R对应的区域。这样，喷出装置300R就从第1喷头部103C的各个喷出喷嘴118T中将荧光材料311R的第1液滴向该被喷出部58R喷出。接在第1喷头部103C之后，第2喷头部103D位于与该被喷出部58R对应的区域。此后，从第2喷头部103D中向该被喷出部58R喷出荧光材料311R的第2液滴。
本实施方式中，在使台架106沿Y轴方向进行1次相对移动的期间中，在被喷出部58R的全部上，涂覆所需量的液状的荧光材料311R。这是因为，被喷出部58R的全部分布在第1范围EXT内。
另外，由于第1喷头部103C的喷出喷嘴118T和第2喷头部103D的对应的喷出喷嘴118T在1次的扫描期间中与被喷出部58R内的相同位置重合，因此即使来自一个喷出喷嘴118T的荧光材料311R的液滴的体积较小，也可以增大在1次的扫描期间中涂覆在被喷出部58R上的发光材料311R的体积。
在基体50A的被喷出部58R的全部上形成了荧光材料311R的层的情况下，传送装置370使基体50A位于干燥装置350R内。此后，通过使被喷出部58R上的荧光材料311R完全干燥，而在被喷出部58R上获得荧光层311FR。
然后，传送装置370使基体50A位于喷出装置300G的台架106上。此后，如图25(b)所示，喷出装置300G按照在被喷出部58G的全部上形成荧光材料311G的层的方式，从喷头114中(图9)喷出荧光材料311G。
具体来说，首先，第1喷头部103C位于与某个被喷出部58G对应的区域。这样，喷出装置300G就从第1喷头部103C的各个喷出喷嘴118T中将荧光材料311G的第1液滴向该被喷出部58G喷出。接在第1喷头部103C之后，第2喷头部103D位于与该被喷出部58G对应的区域。此后，从第2喷头部103D中向该被喷出部58G喷出荧光材料311G的第2液滴。
在基体50A的被喷出部58G的全部上形成了荧光材料311G的层的情况下，传送装置370使基体50A位于干燥装置350G内。此后，通过使被喷出部58G上的荧光材料311G完全干燥，在被喷出部58G上获得荧光层311FG。
然后，传送装置370使基体50A位于喷出装置300B的台架106上。此后，如图25(c)所示，喷出装置300B按照在被喷出部58B的全部上形成荧光材料311B的层的方式，从喷头114中(图9)喷出荧光材料311B。
具体来说，首先，第1喷头部103C位于与某个被喷出部58G对应的区域。这样，喷出装置300B就从第1喷头部103C的各个喷出喷嘴118T中将荧光材料311B的第1液滴向该被喷出部58B喷出。接在第1喷头部103C之后，第2喷头部103D位于与该被喷出部58B对应的区域。此后，从第2喷头部103D中向该被喷出部58B喷出荧光材料311B的第2液滴。
在基体50A的被喷出部58B的全部上形成了荧光材料311B的层的情况下，传送装置370使基体50A位于干燥装置350B内。此后，通过使被喷出部58B上的荧光材料311B完全干燥，而在被喷出部58B上获得荧光层311FB。
利用以上的工序，基体50A即成为等离子体显示装置的背面基板50B。
然后，如图26所示，将背面基板50B和前面基板50C利用公知的方法粘贴，获得等离子体显示装置50。前面基板50C具有玻璃基板68、在玻璃基板68上被相互平行地形成了图案的显示电极66A及显示扫描电极66B、按照覆盖显示电极66A及显示扫描电极66B的方式形成的电介质玻璃层64、形成于电介质玻璃层64上的MgO保护层62。背面基板50B和前面基板50C被按照使背面基板50B的地址电极54和前面基板50C的显示电极66A·显示扫描电极66B相互正交的方式对正。在被各隔壁60包围的单元(象素区域)中，以特定的压力封入放电气体69。
(实施方式7)
下面，对将本发明应用于由电子发射元件的图像显示装置的制造装置的例子进行说明。
图27(a)及(b)所示的基体70A是利用后述的制造装置4(图28)的处理，而成为图像显示装置的电子源基板70B的基板。基体70A具有被配置为矩阵状的多个被喷出部78。
具体来说，基体70A具备基体72、位于基体72上的钠扩散防止层74、位于钠扩散防止层74上的多个元件电极76A、76B、位于多个元件电极76A上的多个金属布线79A、位于多个元件电极76B上的多个金属布线79B。多个金属布线79A分别具有沿Y轴方向延伸的形状。另一方面，多个金属布线79B分别具有沿X轴方向延伸的形状。由于在金属布线79A和金属布线79B之间形成有绝缘膜75，因此金属布线79A和金属布线79B被电绝缘。
包括1对元件电极76A及元件电极76B的部分与1个象素区域对应。1对元件电极76A及元件电极76B相互拉开特定的间隔而在钠扩散防止层74上方相对向。与某个象素区域对应的元件电极76A被与对应的金属布线79A电连接。另外，与该象素区域对应的元件电极76B被与对应的金属布线79B电连接。而且，本说明书中，将使基体72和钠扩散防止层74合在一起的部分表记为支撑基板。
在基体70A的各个象素区域中，元件电极76A的一部分、元件电极76B的一部分、在元件电极76A和元件电极76B之间露出的钠扩散防止层74，与被喷出部78对应。更具体来说，被喷出部78是应当形成导电性薄膜411F(图31)的区域，导电性薄膜411F被按照覆盖元件电极76A的一部分、元件电极76B的一部分、元件电极76A、76B之间的间隙的方式形成。如图27(b)中虚线所示，本实施方式的被喷出部78的平面形状为圆形。像这样，本发明的被喷出部的平面形状也可以是由X坐标范围和Y坐标范围决定的圆形。
图27(b)所示的基体70A位于与X轴方向和Y轴方向两者平行的假想平面上。此外，多个被喷出部78所形成的矩阵的行方向及列方向分别与X轴方向及Y轴方向平行。即，在基体70A中，多个被喷出部78沿X轴方向及Y轴方向排列。而且，X轴方向及Y轴方向相互正交。
而且，被喷出部78沿X轴方向分布的范围集中在第1范围EXT内(图9)。
被喷出部78之间的沿着Y轴方向的间隔LRY即间距大约为190μm。另外，被喷出部78的X轴方向的长度(X坐标范围的长度)约为100μm，Y轴方向的长度(Y坐标范围的长度)也约为100μm。被喷出部78之间的所述间隔及被喷出部的所述大小在40英寸左右的大小的高清晰度电视中，与象素区域之间的间隔或大小对应。
图28所示的制造装置4是向图27的基体70A的被喷出部78的各自上喷出导电性薄膜材料411的装置。具体来说，制造装置4具备向被喷出部78的全部涂覆导电性薄膜材料411的喷出装置400、使被喷出部78上的导电性薄膜材料411干燥的干燥装置450。另外，制造装置4还具备以喷出装置400、干燥装置450的顺序传送基体70A的传送装置470。传送装置470具有抓叉部、使抓叉部上下移动的驱动部、自行部。
图29所示的喷出装置400具备保持液状的导电性薄膜材料411的2个液罐401、2个管道410、经过2个管道410从2个液罐401中供给导电性薄膜材料411的喷出扫描部102。喷出扫描部102的构成与实施方式2的喷出扫描部的构成基本上相同。而且，对于喷出装置400R的构成要素当中的与实施方式1的构成要素或实施方式2的构成要素相同的构成要素使用相同的参照符号，省略重复的说明。
本实施方式中，液状的导电性薄膜材料411为有机钯溶液。此外，本实施方式的液状的导电性薄膜材料411为本发明的液状的材料的一个例子。
对使用了制造装置4的图像显示装置的制造方法进行说明。首先，在由钠玻璃等形成的基体72上形成以SiO2为主成分的钠扩散防止层74。具体来说，通过使用溅射法在基体72上形成厚度1μm的SiO2膜，来获得钠扩散防止层74。然后，在钠扩散防止层74上，利用溅射法或真空蒸镀法形成厚度5nm的钛层。此外，使用光刻技术及蚀刻技术，从该钛层中，形成多对相互以特定的距离分离的1对元件电极76A及元件电极76B。
其后，通过使用丝网印刷技术，在钠扩散防止层74及镀铬元件电极76A上，涂覆Ag糊而煅烧，形成沿Y轴方向延伸的多条金属布线79A。然后，通过使用丝网印刷技术，在各金属布线79A的一部分上涂覆玻璃糊而煅烧，形成绝缘膜75。此后，通过使用丝网印刷技术，在钠扩散防止层74及多个元件电极76B上涂覆Ag糊而煅烧，形成沿X轴方向延伸的多条金属布线79B。而且，在制作金属布线79B的情况下，按照使金属布线79B经由绝缘膜75而与金属布线79A交叉的方式涂覆Ag糊。利用如上的工序，即获得图27所示的基体70A。
然后，利用大气压下的氧等离子体处理，将基体70A亲液化。利用该处理，元件电极76A的表面的一部分、元件电极76B的表面的一部分、在元件电极76A和元件电极76B之间露出的支撑基板的表面就被亲液化。这样，它们的表面可成为被喷出部78。而且，根据材质，即使不进行如上所述的表面处理，也可以获得呈现所需的亲液性的表面。在此种情况下，即使不实施所述表面处理，元件电极76A的表面的一部分、元件电极76B的表面的一部分、在元件电极76A和元件电极76B之间露出的钠扩散防止层74的表面也可成为被喷出部78。
形成了被喷出部78的基体70A被传送装置470向喷出装置400的台架106搬运。此外，如图30所示，喷出装置400按照在被喷出部78的全部上形成导电性薄膜411F的方式，从喷头114(图9)中喷出导电性薄膜材料411。
具体来说，首先，第1喷头部103C位于与某个被喷出部78对应的区域。这样，喷出装置400就从第1喷头部103C的各个喷出喷嘴118T中将导电性薄膜材料411的第1液滴向该被喷出部78喷出。接在第1喷头部103C之后，第2喷头部103D位于与该被喷出部78对应的区域。此后，从第2喷头部103D中向该被喷出部78喷出导电性薄膜材料411的第2液滴。
本实施方式中，在使台架106沿Y轴方向进行1次相对移动的期间中，在被喷出部78的全部上，涂覆所需量的液状的导电性薄膜材料411。这是因为，被喷出部78的全部分布在第1范围EXT内。
另外，由于第1喷头部103C的喷出喷嘴118T和第2喷头部103D的对应的喷出喷嘴118T在1次的扫描期间中与被喷出部78内的相同位置重合，因此即使来自一个喷出喷嘴118T的导电性薄膜材料411的液滴的体积较小，也可以增大在1次的扫描期间中涂覆在被喷出部78上的导电性薄膜材料411的体积。
本实施方式中，按照命中被喷出部78上的导电性薄膜材料411的液滴的直径处于60μm～80μm的范围的方式，控制部112向喷头114发出信号。在基体70A的被喷出部78的全部上形成了导电性薄膜材料411的层的情况下，传送装置470使基体70A位于干燥装置450内。此后，通过使被喷出部78上的导电性薄膜材料411完全干燥，在被喷出部78上获得以氧化钯为主成分的导电性薄膜411F。这样，在各个象素区域中，就形成覆盖元件电极76A的一部分、元件电极76B的一部分、在元件电极76A和元件电极76B之间露出的钠扩散防止层74的导电性薄膜411F。
然后，通过在元件电极76A及元件电极76B之间，加上脉冲状的特定的电压，就在导电性薄膜411F的一部分上形成电子发射部411D。而且，最好元件电极76A及元件电极76B间的电压的施加即使在有机物气氛下及真空条件下也可分别进行。这是因为，这样来自电子发射部411D的电子发射效率就会进一步提高。元件电极76A、对应的元件电极76B、设置了电子发射部411D的导电性薄膜411F为电子发射元件。另外，各个电子发射元件与各个象素区域对应。
利用以上的工序，如图31所示，基体70A即成为电子源基板70B。
然后，如图32所示，将电子源基板70B和前面基板70C利用公知的方法粘贴，即获得图像显示装置70。前面基板50C具有玻璃基板82、矩阵状地位于玻璃基板68上的多个荧光部84、覆盖多个荧光部84的金属平板86。金属平板86作为用于加速来自电子发射部411D的电子束的电极发挥作用。电子源基板70B和前面基板70C被按照使多个电子发射元件分别与多个荧光部84相对向的方式对正。另外，电子源基板70B和前面基板70C之间被保持真空状态。
而且，具备所述的电子发射元件的图像显示装置70也被称为SED(Surface-Conduction Electron-Emitter Display)或FED(Field EmissionDisplay)。另外，本说明书中，有时也将液晶显示装置、电致发光显示装置、等离子体显示装置、利用了电子发射元件的图像显示装置等表记为电光学装置。这里，本说明书中所说的所谓“电光学装置”并不限定于利用双折射性的变化、旋光性的变化、光散射性的变化等光学的特性的变化(所谓的电光学效应)的装置，而指根据信号电压的施加而将光射出、透过或反射的所有装置。

Claims (10)

1.一种喷出装置，具备：
放置使被喷出部位于沿着X轴方向的第1范围内的基体的台架，
按照多个第1喷嘴遍及所述第1范围分布的方式构成的第1喷头部，
按照多个第2喷嘴遍及所述第1范围分布的方式构成的第2喷头部，其在与所述X轴方向正交的Y轴方向上与所述第1喷头部相距第1距离并且位置相对于所述第1喷头部被固定，
使所述第1喷头部及所述第2喷头部的组、与放置了所述基体的所述台架中的至少一方相对于另一方沿所述Y轴方向相对移动的扫描部，其特征是：
在通过向所述Y轴方向的相对移动、使所述多个第1喷嘴的至少一个到达了与所述被喷出部对应的区域的情况下，从所述至少一个第1喷嘴中喷出所述材料的第1液滴，以向所述被喷出部涂覆具有流动性的材料，
在通过向所述Y轴方向的相对移动、使所述多个第2喷嘴的至少一个到达了与所述被喷出部对应的区域的情况下，从所述至少一个第2喷嘴中喷出所述材料的第2液滴，以向所述被喷出部涂覆所述材料。
2.根据权利要求1所述的喷出装置，其特征是：
多个所述被喷出部遍及所述第1范围，
在通过所述相对移动、使所述多个第1喷嘴到达了与所述多个被喷出部对应的各个区域的情况下，从对应的第1喷嘴喷出所述第1液滴，以向各个被喷出部涂覆所述材料，
在通过所述相对移动、使所述多个第2喷嘴到达了与所述多个被喷出部对应的各个区域的情况下，从对应的第2喷嘴喷出所述第2液滴，以向所述多个被喷出部分别涂覆所述材料。
3.根据权利要求1所述的喷出装置，其特征是：所述扫描部使放置了所述基体的所述台架向所述Y轴方向的一个方向移动。
4.根据权利要求1所述的喷出装置，其特征是：所述扫描部使放置了所述基体的所述台架以大致相等的速度移动。
5.根据权利要求3所述的喷出装置，其特征是：所述扫描部使所述台架沿所述Y轴方向从第1位置移动至第2位置，在所述台架位于第1位置的情况下，所述基体被放置在所述台架上，所述材料向所述基体的全部的所述被喷出部的涂覆直到所述台架到达第2位置结束。
6.一种材料涂覆方法，其特征是，包括：
将基体放置在台架上的步骤A，其中所述基体的被喷出部位于沿着X轴方向的第1范围内；
使放置了所述基体的所述台架相对于第1喷头部和第2喷头部的相对位置向所述Y轴方向的一个方向变化的步骤B，其中所述第1喷头部按照多个第1喷嘴遍及所述第1范围分布的方式构成，所述第2喷头部按照多个第2喷嘴遍及所述第1范围分布的方式构成，所述第2喷头部，在与所述X轴方向正交的Y轴方向上与所述第1喷头部相距第1距离并且位置相对于所述第1喷头部被固定；
在所述多个第1喷嘴中的一个到达了与所述被喷出部对应的区域的情况下，从所述一个第1喷嘴喷出所述材料的第1液滴，以向所述被喷出部涂覆具有流动性的材料的步骤C；
在所述多个第2喷嘴中的一个到达了与所述被喷出部对应的区域的情况下，从所述一个第2喷嘴喷出所述材料的第2液滴，以向所述被喷出部涂覆所述材料的步骤D。
7.一种滤色片基板的制造方法，其特征是，包括：
将基体放置在台架上的步骤A，其中，所述基体的被喷出部位于沿着X轴方向的第1范围内；
使放置了所述基体的所述台架相对于第1喷头部和第2喷头部的相对位置向所述Y轴方向的一个方向变化的步骤B，其中所述第1喷头部按照多个第1喷嘴遍及所述第1范围分布的方式构成，所述第2喷头部按照多个第2喷嘴遍及所述第1范围分布的方式构成，所述第2喷头部，在与所述X轴方向正交的Y轴方向上与所述第1喷头部相距第1距离并且位置相对于所述第1喷头部被固定；
在所述多个第1喷嘴中的一个到达了与所述被喷出部对应的区域的情况下，从所述一个第1喷嘴喷出所述滤色片材料的第1液滴，以向所述被喷出部涂覆具有流动性的所述滤色片材料的步骤C；
在所述多个第2喷嘴中的一个到达了与所述被喷出部对应的区域的情况下，从所述一个第2喷嘴喷出所述滤色片材料的第2液滴，以向所述被喷出部涂覆所述滤色片材料的步骤D。
8.一种电致发光显示装置的制造方法，其特征是，包括：
将基体放置在台架上的步骤A，其中，所述基体的被喷出部位于沿着X轴方向的第1范围内；
使放置了所述基体的所述台架相对于第1喷头部和第2喷头部的相对位置向所述Y轴方向的一个方向变化的步骤B，其中所述第1喷头部按照多个第1喷嘴遍及所述第1范围分布的方式构成，所述第2喷头部按照多个第2喷嘴遍及所述第1范围分布的方式构成，所述第2喷头部，在与所述X轴方向正交的Y轴方向上与所述第1喷头部相距第1距离并且位置相对于所述第1喷头部被固定；
在所述多个第1喷嘴中的一个到达了与所述被喷出部对应的区域的情况下，从所述一个第1喷嘴喷出所述发光材料的第1液滴，以向所述被喷出部涂覆具有流动性的发光材料的步骤C；
在所述多个第2喷嘴中的一个到达了与所述被喷出部对应的区域的情况下，从所述一个第2喷嘴喷出所述发光材料的第2液滴，以向所述被喷出部涂覆所述发光材料的步骤D。
9.一种等离子体显示装置的制造方法，其特征是，包括：
将基体放置在台架上的步骤A，其中，所述基体的被喷出部位于沿着X轴方向的第1范围内；
使放置了所述基体的所述台架相对于第1喷头部和第2喷头部的相对位置向所述Y轴方向的一个方向变化的步骤B，其中所述第1喷头部按照多个第1喷嘴遍及所述第1范围分布的方式构成，所述第2喷头部按照多个第2喷嘴遍及所述第1范围分布的方式构成，所述第2喷头部，在与所述X轴方向正交的Y轴方向上与所述第1喷头部相距第1距离并且位置相对于所述第1喷头部被固定；
在所述多个第1喷嘴中的一个到达了与所述被喷出部对应的区域的情况下，从所述一个第1喷嘴喷出所述荧光材料的第1液滴，以向所述被喷出部涂覆具有流动性的荧光材料的步骤C；
在所述多个第2喷嘴中的一个到达了与所述被喷出部对应的区域的情况下，从所述一个第2喷嘴喷出所述荧光材料的第2液滴，以向所述被喷出部涂覆所述荧光材料的步骤D。
10.一种布线制造方法，其特征是，包括：
将基体放置在台架上的步骤A，其中，所述基体的被喷出部位于沿着X轴方向的第1范围内；
使放置了所述基体的所述台架相对于第1喷头部和第2喷头部的相对位置向所述Y轴方向的一个方向变化的步骤B，其中所述第1喷头部按照多个第1喷嘴遍及所述第1范围分布的方式构成，所述第2喷头部按照多个第2喷嘴遍及所述第1范围分布的方式构成，所述第2喷头部，在与所述X轴方向正交的Y轴方向上与所述第1喷头部相距第1距离并且位置相对于所述第1喷头部被固定；
在所述多个第1喷嘴中的一个到达了与所述被喷出部对应的区域的情况下，从所述一个第1喷嘴喷出所述导电性材料的第1液滴，以向所述被喷出部涂覆具有流动性的导电性材料的步骤C；
在所述多个第2喷嘴中的一个到达了与所述被喷出部对应的区域的情况下，从所述一个第2喷嘴喷出所述导电性材料的第2液滴，以向所述被喷出部涂覆所述导电性材料的步骤D。
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