[go: up one dir, main page]

CA2052508A1 - Methode de fabrication d'un dispositif supraconducteur a couche d'oxyde supraconducteur d'epaisseur reduite et dispositif supraconducteur ainsi fabrique - Google Patents

Methode de fabrication d'un dispositif supraconducteur a couche d'oxyde supraconducteur d'epaisseur reduite et dispositif supraconducteur ainsi fabrique

Info

Publication number
CA2052508A1
CA2052508A1 CA2052508A CA2052508A CA2052508A1 CA 2052508 A1 CA2052508 A1 CA 2052508A1 CA 2052508 A CA2052508 A CA 2052508A CA 2052508 A CA2052508 A CA 2052508A CA 2052508 A1 CA2052508 A1 CA 2052508A1
Authority
CA
Canada
Prior art keywords
superconducting
superconducting device
manufacturing
gate electrode
reduced thickness
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CA2052508A
Other languages
English (en)
Other versions
CA2052508C (fr
Inventor
Takao Nakamura
Hiroshi Inada
Michitomo Iiyama
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2259160A external-priority patent/JP2691065B2/ja
Priority claimed from JP2259157A external-priority patent/JP2599498B2/ja
Application filed by Individual filed Critical Individual
Publication of CA2052508A1 publication Critical patent/CA2052508A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of CA2052508C publication Critical patent/CA2052508C/fr
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N60/00—Superconducting devices
    • H10N60/20—Permanent superconducting devices
    • H10N60/205—Permanent superconducting devices having three or more electrodes, e.g. transistor-like structures 
    • H10N60/207—Field effect devices
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S505/00—Superconductor technology: apparatus, material, process
    • Y10S505/70—High TC, above 30 k, superconducting device, article, or structured stock
    • Y10S505/701—Coated or thin film device, i.e. active or passive
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S505/00—Superconductor technology: apparatus, material, process
    • Y10S505/725—Process of making or treating high tc, above 30 k, superconducting shaped material, article, or device
    • Y10S505/728—Etching

Landscapes

  • Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
CA002052508A 1990-09-28 1991-09-30 Methode de fabrication d'un dispositif supraconducteur a couche d'oxyde supraconducteur d'epaisseur reduite et dispositif supraconducteur ainsi fabrique Expired - Fee Related CA2052508C (fr)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2259160A JP2691065B2 (ja) 1990-09-28 1990-09-28 超電導素子および作製方法
JP2259157A JP2599498B2 (ja) 1990-09-28 1990-09-28 超電導素子および作製方法
JP259160/1990 1990-09-28
JP259157/1990 1990-09-28

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CA2052508A1 true CA2052508A1 (fr) 1992-03-29
CA2052508C CA2052508C (fr) 1997-03-25

Family

ID=26543995

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CA002052508A Expired - Fee Related CA2052508C (fr) 1990-09-28 1991-09-30 Methode de fabrication d'un dispositif supraconducteur a couche d'oxyde supraconducteur d'epaisseur reduite et dispositif supraconducteur ainsi fabrique

Country Status (4)

Country Link
US (2) US5407903A (fr)
EP (1) EP0478465B1 (fr)
CA (1) CA2052508C (fr)
DE (1) DE69115209T2 (fr)

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA2052970C (fr) * 1990-10-08 1996-07-02 Takao Nakamura Dispositif a supraconducteur comportant un canal d'oxyde supraconducteur extremement mince et methode de fabrication de ce dispositif
CA2054470C (fr) * 1990-10-30 1997-07-01 Takao Nakamura Methode servant a fabriquer un dispositif supraconducteur ayant une couche d'oxyde supraconductrice d'epaisseur reduite et dispositif supraconducteur ainsi construit
CA2054795C (fr) * 1990-11-01 1996-08-06 Hiroshi Inada Dispositif a canal fait d'une couche d'oxyde supraconducteur extremement mince et sa methode de fabrication
EP0534854B1 (fr) * 1991-09-24 1997-12-03 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Couche mince supraconducteur de matériau supraconducteur en oxyde, trajet supraconducteur du courant et dispositif supraconducteur utilisant la couche mince supraconducteur
EP0571633A1 (fr) * 1991-11-13 1993-12-01 Seiko Epson Corporation Element supraconducteur
DE69218348T2 (de) * 1991-11-30 1997-10-16 Sumitomo Electric Industries Supraleitendes Bauelement mit extrem dünnen supraleitenden Kanal und Herstellungsverfahren
DE69222512T2 (de) * 1991-12-13 1998-03-12 Sumitomo Electric Industries, Ltd., Osaka Supraleitendes Bauelement mit extrem dünnem supraleitendem Kanal aus supraleitendem Oxidmaterial
JPH05251776A (ja) * 1991-12-13 1993-09-28 Sumitomo Electric Ind Ltd 超電導素子およびその作製方法
US5552374A (en) * 1992-04-09 1996-09-03 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Oxide superconducting a transistor in crank-shaped configuration
JP3377853B2 (ja) * 1994-03-23 2003-02-17 ティーディーケイ株式会社 薄膜トランジスタの作製方法
JPH08227743A (ja) * 1995-02-20 1996-09-03 Sumitomo Electric Ind Ltd 酸化物超電導体用金属電極
US5994276A (en) * 1997-09-08 1999-11-30 Mcmaster University Composite high Tc superconductor film
US6613463B1 (en) * 1999-09-06 2003-09-02 International Superconductivity Technology Center Superconducting laminated oxide substrate and superconducting integrated circuit
FR2904663B1 (fr) * 2006-08-01 2012-02-03 Snecma Turbomachine a double flux a variation artificielle de sa section de col
CN102760697B (zh) 2011-04-27 2016-08-03 株式会社半导体能源研究所 半导体装置的制造方法
US9741918B2 (en) 2013-10-07 2017-08-22 Hypres, Inc. Method for increasing the integration level of superconducting electronics circuits, and a resulting circuit
US10158061B2 (en) * 2013-11-12 2018-12-18 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc Integrated superconductor device and method of fabrication
US9947441B2 (en) 2013-11-12 2018-04-17 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Integrated superconductor device and method of fabrication
WO2017040598A1 (fr) * 2015-08-31 2017-03-09 Massachusetts Institute Of Technology Systèmes et procédés pour milieu supraconducteur hybride
US10847706B2 (en) 2015-09-01 2020-11-24 Massachusetts Institute Of Technology Systems and methods for hybrid superconducting medium comprising first and second layers with different superconductor to induce a proximity effect between thereof
CN111755587B (zh) * 2019-03-26 2022-06-21 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 场效应超导纳米桥结及其结构和制备方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR910002311B1 (ko) * 1987-02-27 1991-04-11 가부시기가이샤 히다찌세이사꾸쇼 초전도 디바이스
JPS63308975A (ja) * 1987-06-11 1988-12-16 Toshiba Corp 電流制御素子
JPH0783144B2 (ja) * 1987-07-06 1995-09-06 株式会社日立製作所 酸化物超伝導体を用いたジヨセフソン素子
JPH01101676A (ja) * 1987-10-15 1989-04-19 Mitsubishi Electric Corp 超伝導トランジスタ
JPH01170080A (ja) * 1987-12-25 1989-07-05 Furukawa Electric Co Ltd:The 超電導ｆｅｔ素子
JPH01239886A (ja) * 1988-03-20 1989-09-25 Fujitsu Ltd 超電導受光素子
CA2052970C (fr) * 1990-10-08 1996-07-02 Takao Nakamura Dispositif a supraconducteur comportant un canal d'oxyde supraconducteur extremement mince et methode de fabrication de ce dispositif
US5274249A (en) * 1991-12-20 1993-12-28 University Of Maryland Superconducting field effect devices with thin channel layer

Also Published As

Publication number Publication date
US5434127A (en) 1995-07-18
DE69115209D1 (de) 1996-01-18
CA2052508C (fr) 1997-03-25
EP0478465B1 (fr) 1995-12-06
EP0478465A1 (fr) 1992-04-01
US5407903A (en) 1995-04-18
DE69115209T2 (de) 1996-08-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2052508A1 (fr) Methode de fabrication d'un dispositif supraconducteur a couche d'oxyde supraconducteur d'epaisseur reduite et dispositif supraconducteur ainsi fabrique
EP0480814B1 (fr) Dispositif supraconducteur avec un canal ultra-mince forme en matériau supraconducteur d'oxyde et procédé pour sa fabrication
CA2084394A1 (fr) Interconnexion multicouche supraconductrice formee d'un oxyde supraconducteur et sa methode de fabrication
US5416072A (en) Superconducting device having an thin superconducting channel formed of oxide superconducting material
EP0260673A3 (fr) Elément de matrice active et sa méthode de fabrication
CA2084174A1 (fr) Dispositif a superconduction comportant un canal superconducteur tres mince compose d'un materiau superconducteur oxyde et methode de fabrication
CA2020302A1 (fr) Substrat enduit d'une pellicule supraconductrice
CA2051778A1 (fr) Methode de fabrication d'un dispositif supraconducteur a couche d'oxyde supraconducteur d'epaisseur reduite, et dispositif supraconducteur ainsi fabrique
US5621223A (en) Superconducting device having a reduced thickness of oxide superconducting layer and method for manufacturing the same
CA2084556A1 (fr) Methode de fabrication de dispositifs a jonction de josephson a joint de grain artificiel
CA2052378A1 (fr) Dispositif a supraconducteur et sa methode de fabrication
EP0484232B2 (fr) Dispositif supraconducteur ayant un canal supraconducteur extrêmement court en matériau supraconducteur d'oxyde et méthode pour sa fabrication
US5408108A (en) Superconducting device having an extremely thin superconducting channel formed of oxide superconductor material
CA2084983A1 (fr) Dispositif supraconduteur comportant un canal extrement mince d'oxyde supraconducteur et methode de fabrication de ce dispositif
CA2047020A1 (fr) Substrat de dispositif supraconducteur
US5714767A (en) Method for manufacturing superconducting device having a reduced thickness of oxide superconducting layer and superconducting device manufactured thereby
CA2054596A1 (fr) Dispositif a oxyde supraconducteur
CA2050731A1 (fr) Dispositif a supraconducteur avec couche d'oxyde supraconducteur d'epaisseur reduite et methode de fabrication de celui-ci
CA2062709A1 (fr) Mince pellicule supraconductrice a au moins une zone isolee supraconductrice formee de matiere d'oxyde supraconductrice et methode de fabrication connexe
EP0546959B1 (fr) Dispositif supraconducteur avec un canal supraconducteur extrêmement mince formé par un matériau d'oxyde supraconducteur
EP0478463B1 (fr) Dispositif à supraconducteur avec un canal supraconducteur extrêmement mince formé d'un matériau d'oxyde supraconducteur
CA2065625A1 (fr) Procede de conception de pellicules minces en couche avec une couche supraconductrice
Tanaka et al. Substrate for Microwave Component
EP0893835A2 (fr) Dispositif supraconducteur à effet de champ à canal supraconducteur et procédé de fabrication
CA2047413A1 (fr) Dispositif supraconducteur a structure etagee, compose d'un film mince d'oxyde supraconducteur et d'un film d'isolant mince, et methode de fabrication de ce dispositif

Legal Events

Date Code Title Description
EEER Examination request
MKLA Lapsed