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ATA5262000A - Verfahren und einrichtung zum auftragen einer flüssigen substanz - Google Patents

Verfahren und einrichtung zum auftragen einer flüssigen substanz

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ATA5262000A
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Esec Trading Ag
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/6715Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like

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AT0052600A 1999-04-12 2000-03-28 Verfahren und einrichtung zum auftragen einer flüssigen substanz AT412536B (de)

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AT0052600A AT412536B (de) 1999-04-12 2000-03-28 Verfahren und einrichtung zum auftragen einer flüssigen substanz
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