AIAA 2002-3102 Modelling of Reactive Processes at SiC Surfaces in Rarefied Nonequilibrium Airflows M. Fertig, H.-H. Frühauf, M. Auweter-Kurtz 8th AIAA/ASME Joint Thermophysics and Heat Transfer Conference June 24–27, 2002, St. Louis, Missouri For permission to copy or republish, contact the American Institute of Aeronautics and Astronautics 1801 Alexander Bell Drive, Suite 500, Reston, VA 20191–4344 ✄✁ ✂✆☎✞✝✟✝✡✠✟☛✌☞ ✁✎✍✑✏ ☎✓✒✕✔✗✖✘✠✚✙✛☎ ✜ ✢✣✁✤✔✗☎✓✥✦✥✧☎✓✥ ✒★✖ ✩✤✠✫✪ ✩✄✬✭✢✮✍✯✒✰✔✗☎✱✥ ✠✡☛ ✏ ✒✕✢✣☎✳✲✴☎✓✂ ✵ ✁✎☛✆☎✱✶✤✬✷✠✟✝✟✠✹✸✴✢✺✠✡✬✴✻ ✼ ✠✹✢✾✽✿✁✞❀ ✥ ❁✕❂❄❃❆❅❈❇❊❉●❋■❍✚❏❑❆▲✣❂◆▼❖▲✾❂❆❃❆❇◗❘❚P ❙❆❯◗❘✡❱❳❲❑❚❁✕❂❆❨ ❘❬❩ ❅❭❉❪❅❈❇❖▼❖❫ ❘ ❇❴❉❪❵❜❛ ➈♠ ➈❢❪♠♣❞❜✇➋✇➉♦➋✈❖❝❡♠♣♦①➆r❢❪❞❈③❤♦①❢❤❢✮❥t❣✐❢❴❞❈➂❜➊❜❢❪q↕➂❜❥❧✇➋❦♥❣❿❥ts➙❢❴♠♣③❤♦r➏❜qr❦➀♠●❥t❣❿♠●s✉❢✾❣❿❣t❢❴❢❴♠♣❥✐✈✐❥❿✇➋❣✐♠♣❢✣✇①♦➋s❭③✫➆❜②④➌❤♠♣③⑥③⑥❞❜⑤❜❢❴✇➉③⑦➏✗✈❧❣t❞➍❢❪s❈❦⑨➌❤②➛✇◆⑧⑩❣✐③❿❝❷❞❜✇➋♦➉③⑥❶❄✇➋❣❿✈❧❸❺♠➎s❭②❜❹✟②❭➏➐❾➜✇❻②❼✈❧❣❿♠♣❢❪❞❜❥✐❦➑✇①➆r❽❭✇➋q❺❞❭➏❜❾⑩❢❪❢➝❣❿❥t❢●♠●⑧➜❦➀❣✐❸❜➂❜✇➉q➁➞❤❥t❢❴❢❴❹➍❥t③❷♠●✈❧♠♣❣✐❢❪➂❜➆❺❥❿❥ts ♠➎❢➃➈ ❦➑❢➓♠♣✇➋❥t➒✉✈❊❢❊③❧➔♣♠♣➣★➔♣③✟➔♥s♣➟➠→④➄➅❥t❞❜➣❚❢❪✇➋↔✦➂❜♦➋❢✾③❳s➎♠♣❣❧③⑥➆r❞❈❣❤♦①❢❴❢➇❦➀❥❧❥t❦➀♠●❢❊❣❿❾⑩♠♣❢❪❢❪♦➃②♣❥✐✇①❣t➏❜♠♣❥t❢❖♦➋⑤ ③❾ 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kinetics 10-2 ✆ ✁❿ ❤ 10 -3 SiC ❱ SiO2 10-4 0.001 0.002 0.003 1/TW [1/K] r➌ ❙➓➙✭❖ ➋❜➎✖➔ ➌➠➈ ➏↕➌➀➋➍➆➊✶ ➎ ❙❧❿❏➏ ➆✤❿❏➈✄➎❧➔♠❼❾➌➠➏➓❻✥➋❁➌➀➎✖➏ ➢↕➆➊➎❧❼➓❻✒❼❾➌➠❽ → ➀➌ ➋✬❘ ➎✖➏ ➅ ➃ ➌◆➧ ❻✒➏↕➡ ➃➅➌◆➨ ➩ ❻✒➋❬❻➉➋➍➎❧➋➍❻✒❽❯➢➓➆✤❿❏➐❁➐❁➄➓➆➊❿ ❧ ➎ ➇ ➎❧➇ ❻✒➋➍➎❧➔ ➠➌ ➈❬➏↕➌➀➋➍➆➊➎✶❧ ❙ ❿❏➏❉➙❷❺❙➒➓❿♠➔③❿❏❻✒➐❁➄➓➆➊❿❏➡➂➡➓❻✒➋❜❻ ❯➛✒ ❻ ➐❫➋❜❻✌✍✖❿❏➏ ➇◆➆➊➎✖➔ ➃ ➋➍❿✑❙ ❯ ❻✒➆➊➋✄➙ ✁✄✂☎✂✝✆✟✞ ✡✠ 10 0 ❤ ❸❽ 10-1 γO [-] ❴ ❬❴ measurement, SiC measurement, SiO2 SiC ❽ ❷ Langmuir-Hinshelwood kinetics ➙ ✖❺ 10-2 ✍❺ ❶⑩ 10-3 Eley-Rideal kinetics SiO2 10-4 ✥ ✖❺ ➀ 0.001 0.002 0.003 1/TW [1/K] r➌ ❙➓➙ ➋❜➎✖➔ ➌➠➈ ➎❂◗✙❘❚❙❧❿❏➏ ➆➊❿✥➈❍➎✖➔♠❼❾➌➠➏➅❻✒➋❁➌➀➎✖➏ ➢↕➆➊➎❧❼↕❻✥❼❾➌➠❽➠➌➀➋✬❘ ➎✖➏ ➃➅➌◆➧ ❻❧➏↕➡ ➃➅➌◆➨❳➩ ❻✥➋❥❻ ➋➍➎❧➋➍❻✒❽ ➢↕➆➊❿❏➐❁➐❁➄➓➆➊❿✽➎❧➇ ➂➎✒➇ ❻✥➋➍➎✖➔ ➌➠➈ ➎✛◗✙❘✙❙❧❿❏➏❉➙ ❺➛➒➓❿ ➔③❿❏❻✒➐❁➄➓➆➊❿❏➡❬➡➓❻✒➋➍❻❥❯❙❻❧➐ ➋❜❻✌✍✖❿❏➏❬➇❹➆➊➎✖➔ ➃ ➋❜❂ ❿ ❯❙❻✒➆➊➋✄➙ ☞☛✌✂✌✂✍✆✟✞ ✠ ❰❿Õ➎Ï❺á❺Ð✫á❺✃➉Ù❖❰tÓ➎✃❒Þ❼Ó➎❐➁Ø➁Õ➎➮rÜ➺❰❿➱tÐ❪Ð❴á➇ár➱tÓ●Ð❴õ➐Ù❊Ó➎➱tÐ❴Þ④Õ❭ï❺Ù❧❰t✃❒❐➁✃❻Ó❭Õ✉❐➁❰tÖ✫✃❻Ó❭✃⑩❐➃â Ð♣Ù❖â Ó❜Ð ➐Ù❊✃❻Ð❴❐❈❰tÖ➅❐❺Ð❴❮➎Ü❒Ð❴Ù❖❰❿✃❒❐❺❮❷❰❿Ï❺Ð ✎ ç è ç ❈è ✏ 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