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WO2022181572A1 - ＡｇＡｕＳ系化合物からなる半導体ナノ粒子 - Google Patents

ＡｇＡｕＳ系化合物からなる半導体ナノ粒子 Download PDF

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Publication number
WO2022181572A1
WO2022181572A1 PCT/JP2022/007096 JP2022007096W WO2022181572A1 WO 2022181572 A1 WO2022181572 A1 WO 2022181572A1 JP 2022007096 W JP2022007096 W JP 2022007096W WO 2022181572 A1 WO2022181572 A1 WO 2022181572A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
semiconductor nanoparticles
semiconductor
agaus
compound
chain carbon
Prior art date
Application number
PCT/JP2022/007096
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
司 鳥本
達矢 亀山
修平 常泉
夢三 渡辺
万里子 長谷川
弘規 佐藤
優輔 大嶋
Original Assignee
国立大学法人東海国立大学機構
田中貴金属工業株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 国立大学法人東海国立大学機構, 田中貴金属工業株式会社 filed Critical 国立大学法人東海国立大学機構
Priority to JP2023502414A priority Critical patent/JPWO2022181572A1/ja
Priority to KR1020237030881A priority patent/KR20230142792A/ko
Priority to EP22759608.7A priority patent/EP4299524A4/en
Priority to US18/278,832 priority patent/US20240150646A1/en
Priority to CN202280015993.2A priority patent/CN116867739A/zh
Publication of WO2022181572A1 publication Critical patent/WO2022181572A1/ja

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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K11/00—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials
    • C09K11/08—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing inorganic luminescent materials
    • C09K11/58—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing inorganic luminescent materials containing copper, silver or gold
    • C09K11/582—Chalcogenides
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y5/00—Nanobiotechnology or nanomedicine, e.g. protein engineering or drug delivery
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01G—COMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
    • C01G7/00—Compounds of gold
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C09K11/02—Use of particular materials as binders, particle coatings or suspension media therefor
    • C09K11/025—Use of particular materials as binders, particle coatings or suspension media therefor non-luminescent particle coatings or suspension media
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y20/00—Nanooptics, e.g. quantum optics or photonic crystals
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2004/00—Particle morphology
    • C01P2004/60—Particles characterised by their size
    • C01P2004/64—Nanometer sized, i.e. from 1-100 nanometer

Definitions

  • the present invention relates to semiconductor nanoparticles made of AgAuS-based compounds. More specifically, it relates to a semiconductor nanoparticle which is a ternary compound composed of Ag, Au, and S and has a novel structure.
  • Semiconductors exhibit a quantum confinement effect by forming nanoscale microparticles, and exhibit a bandgap that corresponds to the particle size. Therefore, by controlling the composition and particle diameter of the semiconductor nanoparticles to adjust the bandgap, it becomes possible to arbitrarily set the emission wavelength and the absorption wavelength. Semiconductor nanoparticles utilizing this property are also called quantum dots (QDs), and are expected to be utilized in various technical fields.
  • QDs quantum dots
  • semiconductor nanoparticles are being studied for their response to light-emitting elements and fluorescent substances used in display devices and bio-related substance detection marker substances.
  • the emission peak width of semiconductor nanoparticles is sufficiently narrower than that of organic dyes, and under irradiation with excitation light, the emission peak width of semiconductor nanoparticles is narrower than that of organic dyes. Stable. For this reason, it can be expected to be applied to light-emitting devices and the like.
  • semiconductor nanoparticles are also expected to be used for photoelectric conversion elements and light-receiving elements mounted in solar cells and optical sensors. In addition to being able to control the absorption wavelength by the particle size, it also has the characteristics of high quantum efficiency and high absorption coefficient. Owing to this property, semiconductor nanoparticles can contribute to miniaturization and thinning of semiconductor devices.
  • Specific structures of the semiconductor nanoparticles include binary compounds such as group 12-group 16 compound semiconductors such as CdS, CdSe, and CdTe, and group 14-group 16 compound semiconductors such as PbS and PbSe.
  • semiconductor nanoparticles composed of semiconductors and ternary compound semiconductors such as Group 11-Group 13-Group 16 compound semiconductors such as AgInTe 2 are known (Patent Documents 1 to 3).
  • the semiconductor nanoparticles which are being applied to the various uses described above, are still in the research stage, and the optimal ones, including their manufacturing methods, have not yet been found. Under such circumstances, there are many requests for the development of nanoparticles that apply novel compound semiconductors that have the above-mentioned unique properties due to the quantum confinement effect and have practical properties such as biocompatibility (low toxicity composition). .
  • the present invention has been made under the above background, and semiconductor nanoparticles made of a novel compound semiconductor, which has not been reported in the composition examples so far, have appropriate light emission and light absorption properties. Provided are semiconductor nanoparticles that also have biocompatibility.
  • the present invention for solving the above problems is a semiconductor nanoparticle composed of a semiconductor crystal of a compound containing Ag, Au, and S as essential constituent elements, wherein the total content of Ag, Au, and S in the compound is 95 mass. % or more.
  • Ag and Au are relatively chemically stable metals and have long been known as metals with biocompatibility. S is an essential element for living organisms and an element having biocompatibility. Therefore, AgAuS-based compound semiconductors can be expected to be applied to fluorescent materials used in the human body, such as markers and DNA chips.
  • the semiconductor nanoparticles according to the present invention are semiconductor nanoparticles made of a compound containing Ag, Au, and S as essential constituent elements.
  • the compound composed of Ag, Au, and S is an AgAuS ternary compound represented by the general formula Ag (nx) Au (ny) S (nz) .
  • n is any positive integer.
  • x, y, and z represent the ratio of the number of atoms of Ag, Au, and S in the compound, and are real numbers satisfying 0 ⁇ x, y, z ⁇ 1.
  • the atomic number ratios x and y of Ag and Au is 1/7 or more and 7 or less.
  • the atomic number ratio z of S is a real number that satisfies 0 ⁇ z ⁇ 1, but is preferably a real number that satisfies z ⁇ (x+y)/2.
  • the AgAuS - based compound in the present invention is Ag1Au7S4 , AgAu3S2 , Ag3Au5S4 , AgAuS , Ag5Au3S4 , Ag3AuS2 , Ag7AuS 4 is mentioned.
  • AgAuS-based compounds having these specific compositions are compounds having stoichiometric compositions in which nx, ny, and nz are integers. Not limited.
  • x/y is 0.3 or more and 3.6 or less. More preferably, x/(x+y) is a real number of 0.33 or more and 0.78 or less.
  • AgAuS, Ag 5 Au 3 S 4 , and Ag 3 AuS 2 satisfy these conditions as the AgAuS-based compounds having the stoichiometric compositions listed above. Semiconductor nanoparticles composed of these compounds have relatively high emission quantum yields and exhibit more effective properties as light-emitting devices and the like.
  • the semiconductor nanoparticles according to the present invention are composed of AgAuS-based compounds represented by Ag (nx) Au (ny) S (nz) .
  • This AgAuS-based compound is not necessarily composed of a single phase, and may be composed of a mixed phase.
  • AgAuS-based compounds (Ag3AuS2, etc.) having the above-described stoichiometric composition and AgAuS - based compounds not having a stoichiometric composition (Ag (nx) Au (ny) S (nz) : nx, ny, and nz are It may be a mixed phase with a real number that is not an integer within the above range).
  • the semiconductor nanoparticles according to the present invention are composed of semiconductor crystals of the compounds having the above-described composition, in which Ag, Au, and S are essential constituent elements.
  • This semiconductor crystal has a total content of Ag, Au and S of 95% by mass or more.
  • Ge, Si, Sn, Pb, O, Se, Te, and the like can be considered as elements that may be contained other than Ag, Au, and S, which are essential constituent elements. is acceptable.
  • the compound preferably has a total content of Ag, Au, and S of 99% by mass or more, more preferably 99.9% by mass or more.
  • the composition value of the compound here is the value of the semiconductor crystal itself in the semiconductor nanoparticle, and does not include the component of the protective agent described later.
  • the semiconductor nanoparticles according to the present invention preferably have an average particle size of 2 nm or more and 20 nm or less.
  • the particle size of semiconductor nanoparticles is related to the adjustment of the bandgap due to the quantum confinement effect. In order to exhibit suitable light emission/light absorption characteristics by adjusting the bandgap, it is preferable to set the average particle size as described above.
  • the average particle size of the semiconductor nanoparticles can be obtained by observing a plurality of particles (preferably 100 or more) with an electron microscope such as a TEM, measuring the particle size of each particle, and calculating the particle number average. can be done.
  • an alkylamine having an alkyl chain carbon number of 4 or more and 20 or less, an alkenylamine having an alkenyl chain carbon number of 4 or more and 20 or less, or an alkyl chain carbon number of 3 or more and 20 or less is used as a protective agent.
  • Semiconductor nanoparticles are often handled as a solution (also referred to as slurry or ink) in which the semiconductor nanoparticles are dispersed in an appropriate dispersion medium.
  • the protective agent is useful for suppressing aggregation of the semiconductor nanoparticles in the solution to make a uniform solution or the like.
  • the protective agent is added to the reaction system together with the raw materials in the process of synthesizing the AgAuS compound, and also acts to form nanoparticles having a suitable average particle size.
  • the alkylamine, alkenylamine, alkylcarboxylic acid, alkenylcarboxylic acid, alkanethiol, trialkylphosphine, trialkylphosphine oxide, triphenylphosphine, and triphenylphosphine oxide are applied singly or in combination. be able to.
  • the bandgap of semiconductor nanoparticles is adjusted by the quantum confinement effect, depending on their particle size, and the light absorption characteristics change.
  • the semiconductor nanoparticles according to the present invention preferably have an absorption edge wavelength of 600 nm or more on the long wavelength side of the absorption spectrum. As a result, the semiconductor nanoparticles have absorptivity and responsiveness to light in the visible region to the near infrared region.
  • the semiconductor nanoparticles according to the present invention By coating and supporting the semiconductor nanoparticles according to the present invention on an appropriate base material or carrier, they can be applied to the above-described various uses such as light-emitting devices.
  • this base material or carrier There are no particular restrictions on the configuration, shape and dimensions of this base material or carrier.
  • plate-shaped or foil/film substrates include glass, quartz, silicon, ceramics, metals, and the like.
  • granular/powder carriers include inorganic oxides such as ZnO, TiO 2 , WO 3 , SnO 2 , In 2 O 3 and Al 2 O 3 .
  • the semiconductor nanoparticles may be supported on the inorganic oxide carrier and further fixed to the substrate.
  • solutions, slurries, or inks in which semiconductor nanoparticles are dispersed in an appropriate dispersion medium are often used.
  • Chloroform, toluene, cyclohexane, hexane and the like can be used as a dispersion medium for this solution.
  • Various methods such as dipping and spin coating can be applied as the method of applying the solution of the semiconductor nanoparticles, and various methods such as the dropping method, the impregnation method, and the adsorption method can be applied as the method of carrying the semiconductor nanoparticles.
  • Semiconductor nanoparticles to which the AgAuS-based compound semiconductor according to the present invention is applied react Ag precursors, Au precursors, and, if necessary, S precursors, which are sulfur sources. It can be produced by mixing with a solvent and heating a reaction system comprising these at a temperature of 100°C or higher and 200°C or lower. As described above, in the reaction system, alkylamine having an alkyl chain carbon number of 4 to 20, alkenylamine having an alkenyl chain carbon number of 4 to 20, and alkyl chain carbon number of 3 to 20 are used as protective agents in the reaction system.
  • Alkylcarboxylic acid alkenylcarboxylic acid having 3 to 20 carbon atoms in the alkenyl chain, alkanethiol having 4 to 20 carbon atoms in the alkyl chain, trialkylphosphine having 4 to 20 carbon atoms in the alkyl chain, and It is preferable to add at least one of 4 to 20 trialkylphosphine oxide, triphenylphosphine, and triphenylphosphine oxide.
  • Ag salt or Ag complex and Au salt or Au complex are used as the raw material Ag precursor and Au precursor, respectively.
  • the Ag precursor and Au precursor are preferably salts or complexes containing monovalent Ag and monovalent Au.
  • a precursor containing trivalent Au can be used as for the Au precursor. This is because trivalent Au is reduced to monovalent Au by a solvent, a coexisting sulfur compound, or the like in the process of synthesizing semiconductor nanoparticles.
  • Suitable Ag precursors include silver acetate (Ag(OAc)), silver nitrate, silver carbonate, silver oxide, silver oxalate, silver chloride, silver iodide, silver(I) cyanide salts, and the like.
  • suitable Au precursors include Au resinate (C 10 H 18 Au 2 S 2 : CAS 68990-27-2), chloro(dimethylsulfide) gold (I) ((CH 3 ) 2 SAuCl), gold iodide (I), gold (I) sulfite, gold (III) chloride, gold (III) acetate, gold (I) cyanide, gold (III) cyanide, 1,10-phenanthroline gold (III), etc. is mentioned.
  • sulfur compounds that serve as S precursors include, in addition to elemental sulfur, compounds such as thiourea, alkylthiourea, thioacetamide, and alkanethiol, ⁇ -dithiones, dithiols, xanthates, diethyldithiocarbamate, and the like. can be applied. Even if the Ag complex or Au complex has a ligand containing an S atom, an S compound may be added.
  • the composition of the synthesized AgAuS-based compound (x, y in the general formula Ag (nx) Au (ny) S (nz) ) is adjusted by the mixing ratio (charge atomic ratio) of the Ag precursor and Au precursor It is possible.
  • the ratio of metal atoms contained in them (Ag:Au) is a:b
  • a:b is the atomic ratio is preferably set between 0.78:0.22 and 0.14:0.86.
  • the amount (c) of S in the reaction system is preferably 0.25 or more and 4 or less in atomic ratio with respect to the total number of atoms of Ag and Au in the reaction system.
  • the sulfur source even if excess S is present in the reaction system, it has little effect on the composition of the AgAuS-based compound.
  • the reaction system in the synthesis of semiconductor nanoparticles can be generated without a solvent, and a solvent may be used.
  • a solvent octadecene, tetradecane, oleic acid, oleylamine, dodecanethiol, or a mixture thereof can be applied.
  • the heating temperature (reaction temperature) of the reaction system composed of the Ag precursor, Au precursor, S precursor and protective agent should be 50°C or higher and 200°C or lower. If the temperature is less than 50°C, synthesis of the AgAuS-based compound is difficult to proceed. On the other hand, when the temperature exceeds 200° C., there is a problem that Au alone forms nanoparticles and a compound having a desired composition may not be produced.
  • the average particle size of the semiconductor nanoparticles increases as the reaction temperature rises, but within the above temperature range, it rarely exceeds the preferred average particle size.
  • a more preferable reaction temperature is 100° C. or higher and 165° C. or lower.
  • the heating time (reaction time) can be adjusted depending on the charged amount of the raw materials, but is preferably 1 minute or more and 60 minutes or less. It is preferable to stir the reaction system during the synthesis reaction of the semiconductor nanoparticles.
  • the reaction system is cooled as necessary and the semiconductor nanoparticles are recovered.
  • an alcohol ethanol, methanol, etc.
  • alcohol ethanol, methanol, etc.
  • the present invention provides semiconductor nanoparticles composed of AgAuS-based compounds.
  • the AgAuS-based compound has a novel composition as a component of semiconductor nanoparticles, it exhibits suitable optical characteristics when formed into nanoparticles.
  • the constituent elements thereof are biocompatible and low-toxic elements, they are expected to be applied not only to general semiconductor devices such as light-emitting devices but also to bio-utilizable markers and the like.
  • FIG. 3 is a diagram for explaining an outline of a manufacturing process of AgAuS semiconductor nanoparticles of the first and second embodiments; TEM image of AgAuS semiconductor nanoparticles manufactured in the first embodiment.
  • FIG. 4 is a graph showing the relationship between the charged atomic ratio a:b and the average particle diameter of AgAuS semiconductor nanoparticles produced in the first embodiment;
  • FIG. 4 is a view showing XRD diffraction patterns of AgAuS semiconductor nanoparticles produced in the first embodiment;
  • FIG. 4 is a graph showing measurement results of absorption spectra of AgAuS semiconductor nanoparticles produced in the first embodiment;
  • FIG. 4 is a diagram showing the emission spectrum measurement results of AgAuS semiconductor nanoparticles manufactured in the first embodiment;
  • FIG. 4 is a diagram showing measurement results of emission spectra of AgAuS semiconductor nanoparticles (long wavelength region) manufactured in the first embodiment;
  • FIG. 4 is a diagram showing the relationship between the charged atomic ratio a:b and the absorption edge wavelength of the AgAuS semiconductor nanoparticles produced in the first embodiment.
  • FIG. 4 is a diagram showing the relationship between the charge atomic ratio a:b and the emission quantum yield of the AgAuS semiconductor nanoparticles produced in the first embodiment.
  • FIG. 5 is a graph showing the relationship between the reaction temperature and the average particle size of AgAuS semiconductor nanoparticles produced in the second embodiment;
  • FIG. 10 is a graph showing measurement results of absorption spectra of AgAuS semiconductor nanoparticles produced in the second embodiment;
  • FIG. 5 is a diagram showing the relationship between the reaction temperature and the absorption edge wavelength of AgAuS semiconductor nanoparticles produced in the second embodiment
  • FIG. 10 is a diagram showing measurement results of emission spectra of AgAuS semiconductor nanoparticles manufactured in the second embodiment
  • FIG. 5 is a graph showing the relationship between reaction temperature and emission quantum yield of AgAuS semiconductor nanoparticles produced in the second embodiment
  • FIG. 10 shows XRD diffraction patterns of AgAuS semiconductor nanoparticles (reaction temperatures of 125° C., 150° C., and 165° C.) produced in the second embodiment;
  • FIG. 1 shows an outline of the manufacturing process of Ag (nx) Au (ny) S (nz) semiconductor nanoparticles in this embodiment.
  • Silver acetate (Ag(OAc)) as a raw material Ag precursor, Au resinate (C 10 H 18 Au 2 S 2 : see the following chemical formula) as an Au precursor, and 0.2 mmol of thiourea as an S precursor were weighed. 100 mm 3 of 1-dodecanethiol (DDT) as a protective agent and 2900 mm 3 of oleylamine (OLA) as a solvent were further added.
  • DDT 1-dodecanethiol
  • OVA oleylamine
  • the metal atom charge atomic ratio (a:b) of Ag:Au was adjusted while the total amount of silver acetate and Au resinate was 0.4 mmol.
  • a:b 1.0:0, 0.78:0.22, 0.60:0.40, 0.45:0.55, 0.33:0.67, 0.14 : 0.86, 0: 1.0 Ag (nx) Au (ny) S (nz) compounds were synthesized with seven different atomic ratios of charge.
  • each precursor, protective agent, solvent, and stirrer were placed in a test tube, and after purging with nitrogen three times, the reaction temperature was raised to 150° C. with a hot stirrer and stirred for 10 minutes while heating. After completion of the reaction, the mixture was allowed to cool for 30 minutes, transferred to a small test tube, and centrifuged at 4000 rpm for 5 minutes to separate the supernatant and the precipitate.
  • FIG. 2 shows a TEM image of the semiconductor nanoparticles produced in this embodiment (see the scale bar (10 nm) in each photograph for magnification). From each TEM image, it was confirmed that substantially spherical semiconductor nanoparticles were synthesized.
  • the average particle size of the semiconductor nanoparticles of each composition was measured and calculated.
  • the particle size was determined for all measurable semiconductor nanoparticles contained in the TEM image, and the average particle size and standard deviation were calculated.
  • the results are shown in FIG. Error bars in each plot indicate standard deviation. From FIG. 3, the average particle size of the semiconductor nanoparticles produced in this embodiment is in the range of 2 nm to 5 nm.
  • the atomic ratio (x:y:z) of the semiconductor nanoparticles produced in this embodiment does not completely match the charged atomic ratio (a:b) of the metal precursor, but it is a close value. I understand.
  • the cation/anion ratio ((x+y)/(2z)) showed a value of 0.78 to 0.95, and the semiconductor particles had a non-stoichiometric composition deficient in cations.
  • the total concentration of Ag, Au and S in the AgAuS compound was 100% by mass.
  • the semiconductor nanoparticles with a charge atomic ratio of 0:1.0 have peaks that match the diffraction pattern of Au 2 S.
  • a peak around 35 to 37° C. derived from the diffraction of Ag 2 S was observed in the semiconductor nanoparticles with a charge atomic ratio of 1.0:0, although there was some disagreement in the peaks on the high angle side. be.
  • the charge metal ratio (Ag:Au) a:b 0.78:0.22, 0.60:0.40, 0.45:0.55, 0.33:0. 67, 0.14:0.86, it was confirmed that the peak pattern gradually changed from Au 2 S to Ag 2 S as the Ag ratio increased and the Au ratio decreased. be.
  • the XRD analysis of this embodiment although it has not reached the determination of the structure and composition of the solid solution of the particles synthesized at each charged atomic ratio, and the determination of the composition and abundance when the mixture coexists, any It can be confirmed that particles with crystallinity could be synthesized even in the charged composition.
  • PMA-12 fluorescence spectrophotometer
  • an absolute PL quantum yield device (C9920-03, manufactured by Hamamatsu Photonics Co., Ltd.) was used to measure the emission quantum yield.
  • a multichannel spectrophotometer manufactured by Hamamatsu Photonics Co., Ltd., PMA-12 (model number: C10027-02 (wavelength range 350 to 1100 nm) and 10028-01 (wavelength range 900 to 1650 nm)
  • ICG indocyanine green
  • FIGS. 7 and 8 The emission spectra of the semiconductor nanoparticles of this embodiment measured and calculated as described above are shown in FIGS. 7 and 8.
  • FIG. 9 shows the relationship between the charge atomic ratio a:b of the semiconductor nanoparticles of this embodiment obtained from FIG. 6 and the absorption edge wavelength on the long wavelength side.
  • FIG. 10 shows the relationship between the charge atomic ratio a:b of the semiconductor nanoparticles of this embodiment and the emission quantum yield obtained from FIGS.
  • the absorption edge wavelength reaches a long wavelength region of 1100 nm or more, and it can be measured accurately. I didn't.
  • the emission quantum yield of the semiconductor nanoparticles of this embodiment is maximized when the charge atomic ratio a:b is around 0.60:0.40.
  • the semiconductor nanoparticles produced at the preferred atomic ratio of charge have an atomic ratio (x, y) of Ag and Au of 0.46 to 0.78 at x/(x+y), that is, x/ y is 0.85 to 3.5.
  • Second Embodiment In this embodiment, silver acetate and gold resinate are used, and the reaction temperature during synthesis is changed while fixing the charged atomic ratio (a:b) of metal atoms to 0.60:0.40. Then, semiconductor nanoparticles composed of Ag (nx) Au (ny) S (nz) compounds were produced, and the average particle size, absorption spectrum and emission spectrum were measured.
  • the manufacturing process of Ag (nx) Au (ny) S (nz) semiconductor nanoparticles is basically the same as in the first embodiment.
  • the total amount of silver acetate and Au resinate was set to 0.4 mmol, and the reaction system was formed by setting the atomic ratio a:b of the charged metals to 0.60:0.40. Then, semiconductor nanoparticles were produced under five reaction conditions of 100°C, 125°C, 150°C, 165°C, and 175°C.
  • FIG. 11 shows a TEM image of each semiconductor nanoparticle. From FIG. 11, it is confirmed that substantially spherical nanoparticles are produced in this embodiment as well.
  • FIG. 12 shows the relationship between the reaction temperature and the average particle size measured for each semiconductor nanoparticle. It can be seen that the particle size of the semiconductor nanoparticles increases as the reaction temperature rises. It is considered that this is due to the fact that crystal growth is promoted by the increase in reaction temperature.
  • FIG. 13 shows the measurement result of the absorption spectrum of the semiconductor nanoparticles of this embodiment.
  • FIG. 14 shows the relationship between the reaction temperature and the absorption edge wavelength on the long wavelength side obtained from the measurement result of the absorption spectrum. From FIG. 14, even if the reaction temperature changes, the absorption edge wavelength of the semiconductor nanoparticles is not greatly affected, nm and almost constant. It was confirmed that the semiconductor nanoparticles produced in this embodiment also had an absorption edge wavelength of 600 nm or more.
  • FIG. 15 shows the emission spectrum of the semiconductor nanoparticles of this embodiment. From FIG. 15, it can be seen that at a reaction temperature of 100 to 165° C., the emission peak wavelength of the semiconductor nanoparticles is 700 to 800 nm and hardly changes. At 175°C, no emission peak was detected.
  • FIG. 16 shows the relationship between the reaction temperature of the semiconductor nanoparticles of this embodiment and the emission quantum yield. According to FIG. 16, from 100° C. to 150° C., the emission quantum yield of the semiconductor nanoparticles obtained increased as the reaction temperature increased. On the other hand, when the reaction temperature was further increased to 165°C and 175°C, the emission quantum yield of the obtained semiconductor nanoparticles decreased.
  • FIG. 17 shows the diffraction pattern of each semiconductor nanoparticle. From FIG. 17, it was found that the semiconductor nanoparticles produced at 165° C. had higher crystallinity because each diffraction peak was sharper. When considered together with the measurement results of the average particle size, it is suggested that the promotion of crystal growth by raising the reaction temperature increases the crystallinity as the particle size of the semiconductor nanoparticles increases.
  • the semiconductor nanoparticles according to the present invention can be produced at a reaction temperature of 100° C. to 175° C., but from the viewpoint of the emission quantum yield, a more suitable reaction temperature is considered to be 165° C. or less.
  • the semiconductor nanoparticles made of the AgAuS-based compound according to the present invention and having a novel composition can exhibit good optical properties.
  • the AgAuS-based compound is a low-toxic compound having biocompatibility.
  • the semiconductor nanoparticles according to the present invention are applied to light-emitting elements and fluorescent materials used in display devices and bio-related substance detection marker substances, and to photoelectric conversion elements and light-receiving elements mounted in solar cells, optical sensors, and the like. There is expected.
  • semiconductor nanoparticles capable of exhibiting light emission and light absorption properties in the near-infrared region.
  • LIDAR Light Detection and Ranging
  • SWIR near-infrared
  • the semiconductor nanoparticles according to the present invention are expected to be applied to such photoelectric conversion devices that operate in the near-infrared region.

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Abstract

本発明は、必須の構成元素としてＡｇ、Ａｕ、Ｓを含む化合物の半導体結晶からなる半導体ナノ粒子である。この半導体ナノ粒子を構成するＡｇＡｕＳ系化合物は、Ａｇ、Ａｕ、Ｓの合計含有量が９５質量％以上である。また、前記化合物は一般式Ａｇ（ｎｘ）Ａｕ（ｎｙ）Ｓ（ｎｚ)で示されるＡｇＡｕＳ三元系化合物であるものが好ましい。前記式において、ｎは任意の正の整数である。ｘ、ｙ、zは、前記化合物中のＡｇ、Ａｕ、Ｓの各原子の原子数の割合を示し、０＜ｘ，ｙ，ｚ≦１となる実数である。また、ｘ／ｙは１／７以上７以下である。

Description

ＡｇＡｕＳ系化合物からなる半導体ナノ粒子
　本発明は、ＡｇＡｕＳ系化合物からなる半導体ナノ粒子に関する。詳しくは、Ａｇ、Ａｕ、Ｓで構成される三元系化合物であって、新規な構成を有する半導体ナノ粒子に関する。
　半導体は、ナノスケールの微小粒子とすることで量子閉じ込め効果を発現し、粒径に応じたバンドギャップを示す。そのため、半導体ナノ粒子の組成と粒径を制御してバンドギャップを調節することで、発光波長や吸収波長を任意に設定することができるようになる。この特性を利用した半導体ナノ粒子は、量子ドット（ＱＤ：Ｑｕａｎｔｕｍ Ｄｏｔ）とも称されており、様々な技術分野での活用が期待されている。
　例えば、半導体ナノ粒子は、ディスプレイ装置や生体関連物質検出用マーカー物質等に利用される発光素子、蛍光物質への応答が検討されている。上記の通り、半導体ナノ粒子は、粒径制御によって発光波長を自在に制御できることに加えて、半導体ナノ粒子の発光ピーク幅は有機色素に比べて十分に狭く、励起光照射下において有機色素よりも安定である。このことから発光素子等への応用が期待できる。
　また、半導体ナノ粒子は、太陽電池や光センサ等に搭載される光電変換素子や受光素子への利用も期待されている。粒子径による吸収波長が制御できることに加え、高い量子効率を有し吸光係数が高いという特性も有する。この特性により、半導体ナノ粒子は、半導体デバイスの小型化・薄型化に寄与し得る。
　そして、半導体ナノ粒子の具体的な構成としては、ＣｄＳ、ＣｄＳｅ、ＣｄＴｅ等の第１２族－第１６族化合物半導体や，ＰｂＳ、ＰｂＳｅ等の第１４族－第１６族化合物半導体といった二元系化合物半導体や、ＡｇＩｎＴｅ２等の第１１族－第１３族－第１６化合物半導体のような三元系化合物半導体で構成された半導体ナノ粒子が知られている（特許文献１～３）。
特開２００４－２４３５０７号公報 特開２００４－３５２５９４号公報 特開２０１７－０１４４７６号公報
　上記した各種用途に適用されつつある半導体ナノ粒子は、いまだ研究段階にあり、その製造方法を含め最適なものが見出されているわけではない。そうした中で、量子閉じ込め効果による上述した特異な性質を有し、且つ生体親和性（低毒性組成）等の実用面での特性を有する新規な化合物半導体を適用したナノ粒子の開発の要請は多い。本発明は、以上のような背景のもとになされたものであり、これまで報告された組成例にはない新規な化合物半導体からなる半導体ナノ粒子であって、適切に発光・吸光特性を有すると共に生体親和性も有する半導体ナノ粒子を提供する。
　上記課題を解決する本発明は、必須の構成元素としてＡｇ、Ａｕ、Ｓを含む化合物の半導体結晶からなる半導体ナノ粒子であって、前記化合物は、Ａｇ、Ａｕ、Ｓの合計含有量が９５質量％以上である半導体ナノ粒子である。
　従来の研究例において、ＡｇとＡｕは、それぞれが別々に半導体ナノ粒子の構成元素となることはあったが、Ａｇ及びＡｕの双方を含む三元系化合物半導体をナノ粒子化したときの特性に関する具体的な検討例はない。この点、本発明者等の検討によれば、ＡｇＡｕＳ系化合物半導体は、ナノ粒子化とＡｇ、Ａｕの組成の調整により好適な発光・吸光特性を発揮することが確認されている。
　また、Ａｇ及びＡｕは、いずれも化学的に比較的安定な金属であり、生体親和性を有する金属として古くから知られている。そして、Ｓは生体の必須元素であり生体親和性を有する元素である。よって、ＡｇＡｕＳ系化合物半導体は、マーカーやＤＮＡチップ等の人体へ使用される蛍光物質等への適用も期待できる。
　以下、本発明に係るＡｇＡｕＳ系化合物半導体からなる半導体ナノ粒子及びその製造方法について説明する。
Ａ　本発明に係る半導体ナノ粒子の構成
　上記の通り、本発明に係る半導体ナノ粒子は、Ａｇ、Ａｕ、Ｓを必須の構成元素とする化合物からなる半導体ナノ粒子である。このＡｇ、Ａｕ、Ｓで構成される化合物は、具体的には、一般式としてＡｇ（ｎｘ）Ａｕ（ｎｙ）Ｓ（ｎｚ)で表されるＡｇＡｕＳ三元系化合物である。このとき、ｎは任意の正の整数である。ｘ、ｙ、zは、化合物中のＡｇ、Ａｕ、Ｓの各原子の原子数の割合を示し、０＜ｘ，ｙ，ｚ≦１となる実数である。また、Ａｇ及びＡｕの原子数割合ｘ、ｙについて、ｘ／ｙは１／７以上７以下である。Ｓの原子数割合ｚは、上記のとおり、０＜ｚ≦１となる実数であるが、ｚ≧（ｘ＋ｙ）／２を具備する実数であることが好ましい。
　本発明におけるＡｇＡｕＳ系化合物は、より具体的には、Ａｇ１Ａｕ７Ｓ４、ＡｇＡｕ３Ｓ２、Ａｇ３Ａｕ５Ｓ４、ＡｇＡｕＳ、Ａｇ５Ａｕ３Ｓ４、Ａｇ３ＡｕＳ２、Ａｇ７ＡｕＳ４が挙げられる。これらの具体的組成のＡｇＡｕＳ系化合物は、ｎｘ、ｎｙ、ｎｚが整数である化学量論組成の化合物であるが、本発明の半導体ナノ粒子を構成する化合物は、こうした化学量論組成の化合物に限られない。
　また、Ａｇ、Ａｕの原子数割合ｘ、ｙについては、ｘ／ｙは０．３以上３．６以下であるものがより好ましい。また、ｘ／（ｘ＋ｙ）が０．３３以上０．７８以下の実数とであるものがより好ましい。上記で列記した化学量論組成のＡｇＡｕＳ系化合物としては、ＡｇＡｕＳ、Ａｇ５Ａｕ３Ｓ４、Ａｇ３ＡｕＳ２がこれらの条件に該当する。これらの化合物からなる半導体ナノ粒子は、発光量子収率が比較的高く、発光素子等としてより効果的な特性を示す。
　上述のとおり、本発明に係る半導体ナノ粒子はＡｇ（ｎｘ）Ａｕ（ｎｙ）Ｓ（ｎｚ)で表されるＡｇＡｕＳ系化合物で構成される。このＡｇＡｕＳ系化合物は、単一相で構成されているとは限らず、混合相で構成されていても良い。例えば、上記した化学量論組成のＡｇＡｕＳ系化合物（Ａｇ３ＡｕＳ２等）と、化学量論組成にないＡｇＡｕＳ系化合物（Ａｇ（ｎｘ）Ａｕ（ｎｙ）Ｓ（ｎｚ)：ｎｘ，ｎｙ，ｎｚは上記範囲内にある整数ではない実数）との混合相であっても良い。
　本発明に係る半導体ナノ粒子は、Ａｇ、Ａｕ、Ｓを必須の構成元素とした上記構成の化合物の半導体結晶で構成される。この半導体結晶は、Ａｇ、Ａｕ、Ｓの合計含有量が９５質量％以上である。必須構成元素であるＡｇ、Ａｕ、Ｓ以外に含まれる可能性のある元素としては、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｏ、Ｓｅ、Ｔｅ等が考えられ、これらの元素は５質量％未満であれば許容される。但し、化合物は、Ａｇ、Ａｕ、Ｓの合計含有量が９９質量％以上であることが好ましく、９９．９質量％以上がより好ましい。尚、ここでの化合物の組成値は、半導体ナノ粒子中の半導体結晶自体の値であり、後述する保護剤の成分は含まれない。
　本発明に係る半導体ナノ粒子は、平均粒径が２ｎｍ以上２０ｎｍ以下であるものが好ましい。半導体ナノ粒子の粒径は、量子閉じ込め効果によるバンドギャップの調整作用と関連する。バンドギャップの調整による好適な発光・光吸収特性を発揮する上では、前記の平均粒径とするのが好ましい。尚、半導体ナノ粒子の平均粒径は、複数（１００個以上が好ましい）の粒子をＴＥＭ等の電子顕微鏡により観察し、各粒子の粒径を測定して粒子数平均を算出することで得ることができる。
　また、本発明に係る半導体ナノ粒子は、保護剤として、アルキル鎖炭素数が４以上２０以下のアルキルアミン、アルケニル鎖炭素数が４以上２０以下のアルケニルアミン、アルキル鎖炭素数が３以上２０以下のアルキルカルボン酸、アルケニル鎖炭素数が３以上２０以下のアルケニルカルボン酸、アルキル鎖炭素数が４以上２０以下のアルカンチオール、アルキル鎖炭素数が４以上２０以下のトリアルキルホスフィン、アルキル鎖炭素数が４以上２０以下のトリアルキルホスフィンオキシド、トリフェニルホスフィン、トリフェニルホスフィンオキシドの少なくともいずれかが、粒子表面に結合されたものが好ましい。半導体ナノ粒子の取り扱いにあたっては、半導体ナノ粒子を適宜の分散媒に分散させた溶液（スラリー又はインクと称されることもある）とすることが多い。前記の保護剤は、溶液中で半導体ナノ粒子の凝集を抑制して均一な溶液等とするため有用である。また、保護剤は、ＡｇＡｕＳ化合物の合成工程で原料と共に反応系に添加されることで、好適な平均粒径のナノ粒子を形成する上でも作用する。尚、保護剤は、前記のアルキルアミン、アルケニルアミン、アルキルカルボン酸、アルケニルカルボン酸、アルカンチオール、トリアルキルホスフィン、トリアルキルホスフィンオキシド、トリフェニルホスフィン、トリフェニルホスフィンオキシドを単独又は複数組み合わせて適用することができる。
　これまで述べたとおり、半導体ナノ粒子はその粒径に応じて、量子閉じ込め効果によってバンドギャップが調整され、光吸収特性が変化する。本発明に係る半導体ナノ粒子においては、吸収スペクトルの長波長側の吸収端波長が６００ｎｍ以上となるものが好ましい。これにより、半導体ナノ粒子は、可視光領域から近赤外領域の光に対する吸収性・応答性を有する。
　本発明に係る半導体ナノ粒子を適宜の基材・担体に塗布・担持することで、発光素子等の上述した各種用途に応用することができる。この基材や担体の構成や形状・寸法には特に制限はない。板状又は箔・フィルム上の基材として、例えば、ガラス、石英、シリコン、セラミックスもしくは金属等が例示される。また、粒状・粉末状の担体として、ＺｎＯ、ＴｉＯ２、ＷＯ３、ＳｎＯ２、Ｉｎ２Ｏ３、Ａｌ２Ｏ３等の無機酸化物が例示される。また、半導体ナノ粒子を前記無機酸化物担体に担持し、更に、基材に固定しても良い。
　また、半導体ナノ粒子を基材・担体に塗布・担持する際には、上述したように、半導体ナノ粒子を適宜の分散媒に分散させた溶液・スラリー・インクが使用されることが多い。この溶液等の分散媒としては、クロロホルム、トルエン、シクロヘキサン、ヘキサン等が適用できる。そして、半導体ナノ粒子の溶液等の塗布方法としては、ディッピング、スピンコート法、また担持の方法としては、滴下法、含浸法、吸着法等の各種方法が適用できる。
Ｂ　本発明に係る半導体ナノ粒子の製造方法
　本発明に係るＡｇＡｕＳ系化合物半導体を適用する半導体ナノ粒子は、Ａｇ前駆体とＡｕ前駆体と、必要に応じて硫黄源であるＳ前駆体とを反応溶媒に混合し、これらからなる反応系を１００℃以上２００℃以下の温度で加熱することで製造可能である。尚、上記の通り、反応系には保護剤であるアルキル鎖炭素数が４以上２０以下のアルキルアミン、アルケニル鎖炭素数が４以上２０以下のアルケニルアミン、アルキル鎖炭素数が３以上２０以下のアルキルカルボン酸、アルケニル鎖炭素数が３以上２０以下のアルケニルカルボン酸、アルキル鎖炭素数が４以上２０以下のアルカンチオール、アルキル鎖炭素数が４以上２０以下のトリアルキルホスフィン、アルキル鎖炭素数が４以上２０以下のトリアルキルホスフィンオキシド、トリフェニルホスフィン、トリフェニルホスフィンオキシドの少なくともいずれかを添加することが好ましい。
　原料となるＡｇ前駆体及びＡｕ前駆体としては、それぞれ、Ａｇ塩又はＡｇ錯体と、Ａｕ塩又はＡｕ錯体が適用される。Ａｇ前駆体及びＡｕ前駆体は、1価のＡｇ、1価のＡｕを含む塩又は錯体が好ましい。但し、Ａｕ前駆体については、３価のＡｕを含む前駆体用いることができる。半導体ナノ粒子の合成過程で、溶媒や共存する硫黄化合物等により３価Ａｕが還元されて１価のＡｕとなるからである。また、Ａｇ前駆体及びＡｕ前駆体は、少なくともいずれかが硫黄（Ｓ）原子を含む配位子を有する錯体を適用することが好ましい。その場合、Ａｇ錯体及び／又はＡｕ錯体の配位子に含まれる硫黄原子をＡｇＡｕＳ系化合物の硫黄供給源とし、化合物を合成することができる。
　好適なＡｇ前駆体としては、酢酸銀（Ａｇ（ＯＡｃ））、硝酸銀、炭酸銀、酸化銀、シュウ酸銀、塩化銀、ヨウ化銀、シアン化銀(Ｉ)塩等が挙げられる。また、好適なＡｕ前駆体としては、Ａｕレジネート（Ｃ１０Ｈ１８Ａｕ２Ｓ２：ＣＡＳ６８９９０－２７－２）、クロロ(ジメチルスルフィド)金（Ｉ）（（ＣＨ３）２ＳＡｕＣｌ）、ヨウ化金（Ｉ）、亜硫酸金（Ｉ）塩、塩化金酸（ＩＩＩ）、酢酸金（ＩＩＩ）、シアン化金(Ｉ)塩、シアン化金（ＩＩＩ）塩、１,１０-フェナントロリン金（ＩＩＩ）等が挙げられる。また、Ｓ前駆体となる硫黄化合物としては、硫黄単体の他、チオ尿素、アルキルチオ尿素、チオアセトアミド、アルカンチオールといった化合物や、β－ジチオン類、ジチオール類、キサントゲン酸塩、ジエチルジチオカルバミド酸塩等の化合物が適用できる。尚、Ａｇ錯体、Ａｕ錯体がＳ原子を含む配位子を有する錯体であっても、Ｓ化合物を添加しても良い。
　ここで、合成されるＡｇＡｕＳ系化合物の組成（一般式Ａｇ（ｎｘ）Ａｕ（ｎｙ）Ｓ（ｎｚ)におけるｘ、ｙ）は、Ａｇ前駆体及びＡｕ前駆体の混合比（仕込み原子比）により調整可能である。好適なＡｇＡｕＳ系化合物を得るため、Ａｇ前駆体の仕込み量とＡｕ前駆体の仕込み量について、それらに含まれる金属原子の比率（Ａｇ：Ａｕ）をａ：ｂとすると、ａ：ｂを原子比で０．７８：０．２２～０．１４：０．８６の間で設定することが好ましい。また、反応系中のＳの量（ｃ）については、反応系におけるＡｇ及びＡｕの総原子数に対して原子比で０．２５以上４以下とするのが好ましい。但し、硫黄源については、余剰のＳが反応系にあったとしてもＡｇＡｕＳ系化合物の組成への影響は少ない。
　半導体ナノ粒子の合成における反応系は、無溶媒で生成することも可能であり、溶媒を使用しても良い。溶媒を使用する場合は、オクタデセン、テトラデカン、オレイン酸、オレイルアミン、ドデカンチオール、あるいはこれらの混合物等が適用できる。
　Ａｇ前駆体、Ａｕ前駆体、Ｓ前駆体及び保護剤で構成される反応系の加熱温度（反応温度）は、５０℃以上２００℃以下とする。５０℃未満ではＡｇＡｕＳ系化合物の合成が進行し難い。一方、２００℃を超えると、Ａｕが単独でナノ粒子を形成し所望の組成の化合物が生成されないおそれがある等の問題がある。半導体ナノ粒子の平均粒径は、反応温度の上昇と共に増大するが、前記温度範囲内であれば好適な平均粒径を超えることは少ない。より好適な反応温度は、１００℃以上１６５℃以下である。また、加熱時間（反応時間）は、原料の仕込み量によって調整可能であるが、１分以上６０分以下とするのが好ましい。尚、半導体ナノ粒子の合成反応中は、反応系を攪拌することが好ましい。
　半導体ナノ粒子の合成反応終了後は、必要に応じて反応系を冷却し、半導体ナノ粒子を回収する。このとき、非溶媒となるアルコール（エタノール、メタノール等）を添加してナノ粒子を沈殿させる、あるいは、遠心分離等により半導体ナノ粒子を沈殿させて回収し、更にアルコール（エタノール、メタノール等）等で一旦粒子を洗浄したのち、クロロホルムなどの良溶媒中に均一に分散させても良い。
　以上説明したように、本発明は、ＡｇＡｕＳ系化合物で構成される半導体ナノ粒子である。ＡｇＡｕＳ系化合物は、半導体ナノ粒子の構成成分として新規な組成であるが、ナノ粒子とすることで好適な光特性を発揮する。また、その構成元素は、生体親和性を有する低毒性な元素であることから、発光素子等の一般的な半導体デバイスに加えて、生体利用されるマーカー等への応用も期待できる。
第１、第２実施形態のＡｇＡｕＳ半導体ナノ粒子の製造工程の概略を説明する図。 第１実施形態で製造したＡｇＡｕＳ半導体ナノ粒子のＴＥＭ像。 第１実施形態で製造したＡｇＡｕＳ半導体ナノ粒子の仕込み原子比ａ：ｂと平均粒径との関係を示す図。 第１実施形態で製造したＡｇＡｕＳ半導体ナノ粒子のＸＲＤ回折パターンを示す図。 第１実施形態で製造したＡｇＡｕＳ半導体ナノ粒子（仕込み原子比ａ：b＝１：０）のＸＲＤ回折パターンを示す図。 第１実施形態で製造したＡｇＡｕＳ半導体ナノ粒子（仕込み原子比ａ：b＝０．６０：０．４０）のＸＲＤ回折パターンを示す図。 第１実施形態で製造したＡｇＡｕＳ半導体ナノ粒子（仕込み原子比ａ：b＝０：１）のＸＲＤ回折パターンを示す図。 第１実施形態で製造したＡｇＡｕＳ半導体ナノ粒子の吸収スペクトルの測定結果を示す図。 第１実施形態で製造したＡｇＡｕＳ半導体ナノ粒子の発光スペクトル測定結果を示す図。 第１実施形態で製造したＡｇＡｕＳ半導体ナノ粒子（長波長領域）の発光スペクトルの測定結果を示す図。 第１実施形態で製造したＡｇＡｕＳ半導体ナノ粒子の仕込み原子比ａ：ｂと吸収端波長との関係を示す図。 第１実施形態で製造したＡｇＡｕＳ半導体ナノ粒子の仕込み原子比ａ：ｂと発光量子収率との関係を示す図。 第２実施形態で製造したＡｇＡｕＳ半導体ナノ粒子のＴＥＭ像。 第２実施形態で製造したＡｇＡｕＳ半導体ナノ粒子の反応温度と平均粒径との関係を示す図。 第２実施形態で製造したＡｇＡｕＳ半導体ナノ粒子の吸収スペクトルの測定結果を示す図。 第２実施形態で製造したＡｇＡｕＳ半導体ナノ粒子の反応温度と吸収端波長との関係を示す図。 第２実施形態で製造したＡｇＡｕＳ半導体ナノ粒子の発光スペクトルの測定結果を示す図。 第２実施形態で製造したＡｇＡｕＳ半導体ナノ粒子の反応温度と発光量子収率との関係を示す図。 第２実施形態で製造したＡｇＡｕＳ半導体ナノ粒子（反応温度１２５℃、１５０℃、１６５℃）のＸＲＤ回折パターンを示す図。
第１実施形態：以下、本発明の実施形態について説明する。本実施形態では、Ａｇ前駆体とＡｕ前駆体の混合比を調整して各種組成のＡｇＡｕＳ系化合物（Ａｇ（ｎｘ）Ａｕ（ｎｙ）Ｓ（ｎｚ））からなる半導体ナノ粒子を製造した。そして、製造した半導体ナノ粒子について、ＴＥＭ観察及びＸＲＤ分析を行い平均粒径と結晶構造を確認した後、吸光スペクトル及び発光スペクトルの測定を行った。本実施形態におけるＡｇ（ｎｘ）Ａｕ（ｎｙ）Ｓ（ｎｚ）半導体ナノ粒子の製造工程の概略を図１に示す。
　原料となるＡｇ前駆体として酢酸銀（Ａｇ（ＯＡｃ））と、Ａｕ前駆体としてＡｕレジネート（Ｃ１０Ｈ１８Ａｕ２Ｓ２：下記化学式参照）と、Ｓ前駆体としてチオ尿素０．２ｍｍｏｌを秤量して試験管に入れ、更に、保護剤として１－ドデカンチオール（ＤＤＴ）１００ ｍｍ３と溶媒としてオレイルアミン（ＯＬＡ）２９００ ｍｍ３を加えた。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
　本実施形態では、酢酸銀とＡｕレジネートとの合計量を０．４ｍｍｏｌとしつつ、Ａｇ：Ａｕの金属原子仕込み原子比（ａ：ｂ）を調整した。本実施形態では、ａ：ｂ＝１．０：０、０．７８：０．２２、０．６０：０．４０、０．４５：０．５５、０．３３：０．６７、０．１４：０．８６、０：１．０
の７通りの仕込み原子比でＡｇ（ｎｘ）Ａｕ（ｎｙ）Ｓ（ｎｚ）化合物を合成することとした。そして、試験管に、各前駆体、保護剤、溶媒、および撹拌子を入れて３回窒素置換した後、ホットスターラーにより反応温度を１５０℃として１０分間加熱しながら撹拌した。反応終了後、３０分間放冷した後に小試験管に移し替えて、５分間４０００ｒｐｍで遠心分離を行い上澄み液と沈殿とを分離した。
　その後、上澄み液に非溶媒としてメタノールを４０００ｍｍ３加えて沈殿を生じさせ、５分間４０００ｒｐｍで遠心分離を行い、沈殿を回収した。この沈殿に更にエタノールを４０００ｍｍ３加えて分散させた後、同条件で遠心分離を行い、副生成物や溶媒を除去して精製した。これにより得られた沈殿（半導体ナノ粒子）をクロロホルム４０００ｍｍ３に分散させてＡｇＡｕＳ系化合物（Ａｇ（nx）Ａｕ（ny）Ｓ（nz））の半導体ナノ粒子の分散液を得た。この分散液をサンプル瓶に移し替えて窒素置換を行った後、遮光して冷蔵保管した。
［ＴＥＭ観察及び平均粒径の測定］
　製造した半導体ナノ粒子（ａ：ｂ＝１．０：０、０．７８：０．２２、０．６０：０．４０、０．４５：０．５５、０．３３：０．６７、０．１４：０．８６、０：１．０
）について、ＴＥＭ観察を行った。図２に、本実施形態で製造した半導体ナノ粒子のＴＥＭ像を示す（倍率は、各写真のスケールバー（１０ｎｍ）を参照）。各ＴＥＭ像から、略球形の半導体ナノ粒子が合成されたことが確認された。
　これらのＴＥＭ像に基づいて、各組成の半導体ナノ粒子の平均粒径を測定算出した。粒径測定においては、ＴＥＭ像に含まれている計測可能な半導体ナノ粒子を全てについて粒径を求め、平均粒径と標準偏差を算出した。その結果を図３に示す。各プロットのエラーバーは、標準偏差を示す。図３から、本実施形態で製造した半導体ナノ粒子の平均粒径は、２ｎｍ～５ｎｍの範囲にある。Ａｇ、Ａｕの割合に関してみると、ａ：b＝０：１の粒子（Ａｕ２Ｓ）は粒径が小さい傾向があるが、それ以外では顕著な差はない。
〔半導体ナノ粒子の組成分析］
　上記のＴＥＭ観察と共にＩＣＰ分析を行い、半導体ナノ粒子サンプルの組成分析を行った。ＩＣＰ分析は、測定装置はアジレント・テクノロジー株式会社製Ａｇｉｌｅｎｔ
５１１０を用い、マイクロウェーブ酸分解法にて前処理を行った後に、ＲＦパワー：１．２ｋＷ、プラズマガス流量：１２Ｌ/ｍｉｎ、補助ガス流量：１．０Ｌ/ｍｉｎで測定を行った。Ａｇ、Ａｕの仕込み原子比（ａ：ｂ）をａ：ｂ＝１．０：０、０．７８：０．２２、０．６０：０．４０、０．４５：０．５５、０．３３：０．６７、０．１４：０．８６、０：１．０とした７種の半導体ナノ粒子についての分析結果を表１に示す。表１から、本実施形態で製造した半導体ナノ粒子の原子比（ｘ：ｙ：ｚ）は、金属前駆体の仕込み原子比（ａ：ｂ）と完全一致はしていないものの、近い値であることがわかる。カチオン／アニオン比（（ｘ＋ｙ）／（２ｚ））は、０．７８～０．９５の値を示し、カチオンが欠乏した非化学量論組成からなる半導体粒子であった。尚、本実施形態で合成した半導体ナノ粒子は、ＡｇＡｕＳ化合物のＡｇ、Ａｕ、Ｓの合計濃度が１００質量％であった。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
［ＸＲＤ分析］
　各半導体ナノ粒子についてＸＲＤ分析を行った。ＸＲＤ分析装置は、株式会社リガク製Ｕｌｔｉｍａ ＩＶで、特性Ｘ線をＣｕＫα線とし、分析条件として１°／ｍｉｎ．とした。図４に本実施形態で製造した７種のナノ粒子の回折パターンを示す。更に、それらのうちＡｇ、Ａｕの仕込み原子比（ａ：ｂ）がａ：ｂ＝０：１．０、０．６０：０．４０、０：１．０の３種のナノ粒子の回折パターンを拡大したものを図５ａ～図５ｃに示す。図５cから、仕込み原子比０：１．０の半導体ナノ粒子ではＡｕ２Ｓの回折パターンと一致するピークが得られている。また、図５aより、仕込み原子比１．０：０の半導体ナノ粒子では高角度側のピークに一部不一致はあるものの、Ａｇ２Ｓの回折に由来する３５～３７℃付近のピークが観測される。一方、図５ｂを参照すると、仕込み原子比０．６０：０．４０の半導体ナノ粒子は、Ａｇ３ＡｕＳ２由来のピークに加えて、Ａｇ１．４３Ａｕ０．６６Ｓ由来のピークが観られた。このことから、この半導体ナノ粒子は、表１から化合物全体の組成はＡｇｎ（０．６８）Ａｕｎ（０．３２）Ｓｎ（０．６）（ｘ＝０．６８、ｙ＝０．３２、ｚ＝０．６０）となるが、Ａｇ３ＡｕＳ２とＡｇ１．４３Ａｕ０．６６Ｓとの混合相で構成されている可能性があると考察される。
　そして、図４を参照すると、仕込み金属比（Ａｇ：Ａｕ）ａ：ｂ＝０．７８：０．２２、０．６０：０．４０、０．４５：０．５５、０．３３：０．６７、０．１４：０．８６の半導体ナノ粒子において、Ａｇの比率が増大しＡｕの比率が減少するに従って、Ａｕ２ＳからＡｇ２Ｓへ徐々にピークパターンが変遷していることが確認される。本実施形態のＸＲＤ分析からは、各仕込み原子比で合成された粒子の固溶体の構造・組成の決定や、混合物が共存した場合のその組成と存在量の決定までには至っていないものの、いずれの仕込み組成においても結晶性のある粒子が合成できたことが確認できる。
［吸収スペクトル及び発光スペクトルの測定］
　次に、各半導体ナノ粒子について吸収スペクトル及び発光スペクトルを測定した。吸収スペクトルは、紫外可視分光光度計（アジレント・テクノロジー株式会社製、Ａｇｉｌｅｎｔ　８４５３製）を用いて、波長範囲を４００ｎｍ～１１００ｎｍ
として測定した。本実施形態の半導体ナノ粒子の吸収スペクトルの測定結果を図６に示す。
　発光スペクトルは、蛍光分光光度計（浜松ホトニクス株式会社製、ＰＭＡ－１２）を用い、励起波長を３６５ｎｍとして測定した。このとき、サンプルをクロロホルム溶液（ｎ＝１．４４２９）で３６５ｎｍでの吸光度が０．１となるように調整して測定を行った。
　また、発光量子収率の測定には、絶対ＰＬ量子収率装置（浜松ホトニクス株式会社製、Ｃ９９２０－０３）を用いた。発光が１０００ｎｍ以上の長波長に観測された場合には、マルチチャンネル分光測光装置（浜松ホトニクス株式会社製、ＰＭＡ－１２（型番：Ｃ１００２７－０２（波長範囲３５０～１１００ｎｍ）及び１００２８－０１（波長範囲９００～１６５０ｎｍ））を用いて発光スペクトルを測定した。このとき、サンプルをクロロホルム溶液（ｎ＝１．４４２９）で７００ｎｍでの吸光度が０．１となるように調整して測定を行った。励起光波長を７００ｎｍとして測定した。発光量子収率の算出は、蛍光分光光度計で計測された発光スペクトルについて、標準試料として近赤外発光有機蛍光色素であるインドシアニングリーン（ＩＣＧ：Φ＝１３．２％）のエタノール溶液（ｎ＝１．３６１８）の発光スペクトルを測定し、下記式により相対法によって各サンプルの発光量子収率を計算した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000003
　以上により測定及び算出された本実施形態の半導体ナノ粒子の発光スペクトルを図７及び図８に示す。そして、図６から得られた本実施形態の半導体ナノ粒子の仕込み原子比ａ：ｂと長波長側吸収端波長との関係を図９に示す。また、図７及び図８から得られた、本実施形態の半導体ナノ粒子の仕込み原子比ａ：ｂと発光量子収率との関係を図１０に示す。
　図９から、ａ：ｂ＝１．０：０（Ａｇ２Ｓ）及び０．７８：０．２２の半導体ナノ粒子では、吸収端波長は１１００ｎｍ以上の長波長域にまで達し、正確に測定できなかった。吸収端波長は、ａ：ｂ＝０．７８：０．２２よりもＡｇ割合が減少すると共に、一旦短波長側にシフトしａ：ｂ＝０．４５：０．５５のときに最も短波長（６６０ｎｍ）となった。これよりも更にＡｇ割合が減少すると、吸収端波長は再び長波長側にシフトし、ａ：ｂ＝０：１．０（Ａｕ２Ｓ）の粒子で９７０ｎｍになると見積もられた。本発明のＡｇ（ｎｘ）Ａｕ（ｎｙ）Ｓ（ｎｚ）で構成される半導体ナノ粒子では、吸収端波長が６００ｎｍ以上であることが確認された。
　また、図１０から、本実施形態の半導体ナノ粒子の発光量子収率は、仕込み原子比ａ：ｂ＝０．６０：０．４０近傍において最大となることがわかる。本発明のＡｇ(nx)Ａｕ(ny)Ｓ(nz)で構成される半導体ナノ粒子においては、ａ：ｂ＝１．０：０或いは０：１．０を参考例（Ａｇ２Ｓ又はＡｕ２Ｓ）とすると、ａ：ｂ=０．３３：０．６７～０．７８：０．２２で合成したものが特に好適であると考えられる。そして、表１から、前記好適な仕込み原子比で製造した半導体ナノ粒子は、Ａｇ、Ａｕの原子割合（ｘ、ｙ）がｘ／（ｘ＋ｙ）で０．４６～０．７８、即ち、ｘ／ｙが０．８５～３．５となっている。
第２実施形態：本実施形態では、酢酸銀と金レジネートを用い、金属原子の仕込み原子比（ａ：ｂ）を０．６０：０．４０に固定しつつ、合成時の反応温度を変化させてＡｇ（ｎｘ）Ａｕ（ｎｙ）Ｓ（ｎｚ）化合物で構成される半導体ナノ粒子を製造し、平均粒径の測定と吸収スペクトル及び発光スペクトルを測定した。Ａｇ(nx)Ａｕ(ny)Ｓ(nz)半導体ナノ粒子の製造工程は、基本的に第1実施形態と同じである。図１において、酢酸銀とＡｕレジネートとの合計量は０．４ｍｍｏｌとし、それぞれの金属仕込み原子比ａ：ｂを０．６０：０．４０にして反応系を形成した。そして、反応温度を１００℃、１２５℃、１５０℃、１６５℃、１７５℃の５通りの条件として半導体ナノ粒子を製造した。
［ＴＥＭ観察及び平均粒径の測定］
　各反応温度で製造した半導体ナノ粒子について、第１実施形態と同様にしてＴＥＭ観察を行った。図１１に、各半導体ナノ粒子のＴＥＭ像を示す。図１１から、本実施形態でも略球形のナノ粒子の生成が確認される。また、図１２に、反応温度と各半導体ナノ粒子について測定された平均粒径との関係を示す。反応温度の上昇に伴い半導体ナノ粒子の粒径が増大していることが伺える。これは、反応温度の上昇により、結晶成長が促進されることに起因すると考察される。
［吸収スペクトル及び発光スペクトルの測定］
　各半導体ナノ粒子について吸収スペクトル及び発光スペクトルを測定した。これらの測定方法は、第１実施形態と同様とした。
　本実施形態の半導体ナノ粒子の吸収スペクトルの測定結果を図１３に示す。また、吸収スペクトルの測定結果より得られた、反応温度と長波長側吸収端波長との関係を図１４に示す。図１４から、反応温度が変化しても、半導体ナノ粒子の吸収端波長は大きく影響されず、６５０～７５０
ｎｍとほぼ一定であった。本実施形態で製造した半導体ナノ粒子でも吸収端波長が６００ｎｍ以上であることが確認された。
　また、本実施形態の半導体ナノ粒子の発光スペクトルを図１５に示す。図１５から、１００～１６５℃の反応温度では、半導体ナノ粒子の発光ピーク波長は７００～８００nｍであり、ほとんど変化しないことがわかる。１７５℃では、発光ピークは検出されなかった。本実施形態の半導体ナノ粒子の反応温度と発光量子収率との関係を図１６に示す。図１６によれば、１００℃～１５０℃までは、反応温度が上昇するにつれて得られた半導体ナノ粒子の発光量子収率は増大した。一方、反応温度を１６５℃，１７５℃とさらに上昇させると、得られた半導体ナノ粒子の発光量子収率は逆に低下した。
［ＸＲＤ分析］
　更に、反応温度を１２５℃、１５０℃、１６５℃として得られた半導体ナノ粒子についてのＸＲＤ分析を行った。分析条件は第１実施形態と同じである。図１７には、各半導体ナノ粒子の回折パターンを示す。図１７から、１６５℃で製造された半導体ナノ粒子は、各回折ピークがシャープになったことから、より高い結晶性をもつことがわかった。上記の平均粒径の測定結果と併せて考察すると、反応温度の上昇による結晶成長の促進は、半導体ナノ粒子の粒径の増大と共に結晶性を高めることが示唆される。以上から、本発明に係る半導体ナノ粒子は、反応温度として１００℃～１７５℃で製造可能であるが、発光量子収率の観点からより好適な反応温度は１６５℃以下であると考えられる。
　以上説明したように、本発明に係るＡｇＡｕＳ系化合物からなり、新規な組成を有する半導体ナノ粒子は、良好な光特性を発揮し得る。また、ＡｇＡｕＳ系化合物は、生体親和性を有する低毒性な化合物である。本発明に係る半導体ナノ粒子は、ディスプレイ装置や生体関連物質検出用マーカー物質等に利用される発光素子、蛍光物質や、太陽電池や光センサ等に搭載される光電変換素子や受光素子への応用が期待される。
　また、本発明に基づけば、近赤外領域における発光・光吸収特性を発揮し得る半導体ナノ粒子を得ることもできる。近年、近赤外領域での応答性が重視される光電変換素子として、ＬＩＤＡＲ（Ｌｉｇｈｔ　Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ　ａｎｄ　Ｒａｎｇｉｎｇ）や近赤外線（ＳＷＩＲ）イメージセンサに適用される受光素子がある。本発明に係る半導体ナノ粒子は、こうした近赤外領域で作動する光電変換素子への応用が期待される。
 

Claims (7)

  1. 　必須の構成元素としてＡｇ、Ａｕ、Ｓを含む化合物の半導体結晶からなる半導体ナノ粒子であって、
    　前記化合物は、Ａｇ、Ａｕ、Ｓの合計含有量が９５質量％以上である半導体ナノ粒子。
  2. 　前記化合物は一般式Ａｇ（ｎｘ）Ａｕ（ｎｙ）Ｓ（ｎｚ)で示されるＡｇＡｕＳ三元系化合物である請求項１記載の半導体ナノ粒子。
    　ここで、ｎは任意の正の整数である。ｘ、ｙ、zは、前記化合物中のＡｇ、Ａｕ、Ｓの各原子の原子数の割合を示し、０＜ｘ，ｙ，ｚ≦１となる実数である。また、ｘ／ｙは１／７以上７以下である。
  3. 　ｚは、ｚ≧（ｘ＋ｙ）／２を満たす実数である請求項２記載の半導体ナノ粒子。
  4. 　ｘ／（ｘ＋ｙ）の値が０．３３以上０．７８以下の実数である請求項２又は請求項３記載の半導体ナノ粒子。
  5. 　平均粒径が、２ｎｍ以上２０ｎｍ以下である請求項１～請求項４のいずれかに記載の半導体ナノ粒子。
  6. 　保護剤として、アルキル鎖炭素数が４以上２０以下のアルキルアミン、アルケニル鎖炭素数が４以上２０以下のアルケニルアミン、アルキル鎖炭素数が３以上２０以下のアルキルカルボン酸、アルケニル鎖炭素数が３以上２０以下のアルケニルカルボン酸、アルキル鎖炭素数が４以上２０以下のアルカンチオール、アルキル鎖炭素数が４以上２０以下のトリアルキルホスフィン、アルキル鎖炭素数が４以上２０以下のトリアルキルホスフィンオキシド、トリフェニルホスフィン、トリフェニルホスフィンオキシドの少なくともいずれかが、表面に結合された請求項１～請求項５のいずれかに記載の半導体ナノ粒子。
  7. 　吸収スペクトルの長波長側吸収端波長が、６００ｎｍ以上である請求項１～請求項６のいずれかに記載の半導体ナノ粒子。

     
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