WO2022114222A1

WO2022114222A1 - 中空糸膜モジュールの洗浄方法

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Publication number: WO2022114222A1
Application number: PCT/JP2021/043885
Authority: WO
Inventors: 大祐岡村; 豊五條; 勇司木村
Original assignee: 旭化成株式会社
Priority date: 2020-11-30
Filing date: 2021-11-30
Publication date: 2022-06-02
Also published as: JP2023101418A; JPWO2022114222A1; US20230271140A1; US20240009628A1

Abstract

濁質成分を含む原水をろ過するための中空糸膜を含む中空糸膜モジュールの洗浄方法であって、前記中空糸膜に堆積した濁質成分を除去する、第１洗浄工程と、少なくとも、前記中空糸膜の原水側に気体を通過させる、エアスクラビング処理を行う、第２洗浄工程とをこの順に含み、前記第１洗浄工程において、洗浄前に前記中空糸膜モジュール内に存際していた水のうち、前記中空糸膜モジュール容量の５０体積％以上が除去される、中空糸膜モジュールの洗浄方法。

Description

中空糸膜モジュールの洗浄方法

　本発明は、濁質成分を含む原水をろ過するために用いられる、中空糸膜モジュールの洗浄方法に関する。

　懸濁水である河川水、湖沼水、伏流水、工業用水原水、下水、下水二次処理水、工業排水、家庭排水、屎尿、海水等の原水を処理する工程において、膜ろ過が利用されることが多い。

　膜ろ過法の利点は、
　　（１）得られる水質の除濁レベルが高く、かつ安定しており、したがって、得られる水の安全性が高いこと、
　　（２）ろ過装置の設置スペースが小さくてすむこと、
　　（３）自動運転が容易であること、
等である。

　膜ろ過による除濁操作には、主として中空糸状の限外ろ過膜、精密ろ過膜（平均細孔径数ｎｍから数百ｎｍの範囲）等が用いられている。
　中空糸膜としては、合成樹脂から成る多孔質有機膜が多用されている。例えば、特許文献１には、ポリフッ化ビニリデン系多孔質膜が記載されており、これを中空糸膜として用いることが開示されている。

　上記のような原水を膜ろ過すると、原水に含まれる濁質成分（無機物及び有機物）は、ろ過膜で阻止されて、除去される。このような原水のろ過を継続すると、ろ過膜には、原水中の濁質成分が堆積し、濃度分極、ケーク層を形成し、或いは膜の目詰まりが発生する。その結果、ろ過の継続に伴って、透過流速は低下して行く。
　そのため、原水の膜ろ過処理においては、膜を定期的に洗浄することが行われている。

　ろ過中空糸膜モジュールの洗浄方法として、例えば、中空糸膜のろ過水側から原子側に液体を流す、逆流洗浄（逆洗）が知られている。或いは、液体で満たされた状態の中空糸膜モジュールの下方から上方へ圧縮気体を供給して、中空糸を揺り動かして、中空糸間に堆積した濁質成分を除去する、エアスクラビングが知られている。
　また、特許文献２には、モジュールのケーシング内の中空糸膜の側方又は下方に気泡ノズルを配置して、逆洗とノズルからの気体噴出とを同時に行う洗浄方法が開示されている。
　更に、特許文献３には、モジュールの原水側から気体を導入すると同時に、中空糸膜のろ過水側から原水側に気体又は液体を通過させる洗浄方法が開示されている。

特開２０１１－１６８７４１号公報特開昭６０－１９００２号公報特許第３９４８５９３号公報

　特許文献２及び３の技術は、中空糸膜に堆積した濁質成分を除去するために、有効な手法であり、中空糸膜モジュールを用いる原水ろ過の安定運転に資するものである。
　しかしながら、特許文献２及び３に代表される従来技術の洗浄方法は、中空糸膜モジュールを長期間使用する場合のプロセス設計の観点から見た場合、洗浄効率が未だ不十分である。

　すなわち、中空糸膜モジュールの寿命を１０年と想定した場合、ろ過プラントの規模は、１０年後の中空糸膜モジュールのろ過性能を基準として設定される。例えば、中空糸膜モジュールの１０年後の性能が、初期性能の６０％であれば、必要なろ過量を６０％のろ過性能で割り付けて、中空糸膜モジュールの数が決定されることになる。この場合、当該ろ過プラントの初期性能は、必要量の１６７％（＝１００／０．６）となり、６７％相当分が過剰な設備設計となってしまう。
　ここで、洗浄効率を向上して、中空糸膜モジュールの１０年後の性能を、例えば初期性能の９０％に向上できれば、ろ過プラントの初期性能を、必要量の１１１％（＝１００／０．９）に抑制でき、設備設計の過剰分を１１％に抑えることが可能となる。

　そこで、本発明の目的は、第１に、中空糸膜モジュールを長期間使用した場合のろ過性能の低下が極めて抑制された、中空糸膜モジュールの洗浄方法を提供することである。

　また、多孔質膜を用いて、洗浄工程を伴うろ過運転を行うと、経時的にろ過性能が減少し、或いは、中空糸膜の寿命に影響を及ぼすという問題がある。
　そこで、本発明の目的は、第２に、多孔質中空糸膜を用いるろ過運転が、洗浄工程を伴う場合に、洗浄効率に優れ、ろ過性能の経時的劣化が抑制され、かつ、中空糸膜及びこれを含むモジュールの寿命を損なわない、中空糸膜モジュールを提供することである。

　本発明は、以下のとおりである。
　《態様１》濁質成分を含む原水をろ過するための中空糸膜を含む中空糸膜モジュールの洗浄方法であって、
　前記中空糸膜に堆積した濁質成分を除去する、第１洗浄工程と、
　少なくとも、前記中空糸膜の原水側に気体を通過させる、エアスクラビング処理を行う、第２洗浄工程と
をこの順に含み、
　前記第１洗浄工程において、洗浄前に前記中空糸膜モジュール内に存際していた水のうち、前記中空糸膜モジュール容量の５０体積％以上が除去される、
中空糸膜モジュールの洗浄方法。
　《態様２》前記第１洗浄工程が、以下の（Ａ１）～（Ａ３）のうちの少なくとも１つの処理を行う工程である、態様１に記載の中空糸膜モジュールの洗浄方法：
　　（Ａ１）前記中空糸膜のろ過水側から原水側に水を通過させる、逆流洗浄処理；
　　（Ａ２）前記中空糸膜の原水側に水を通過させる、フラッシング処理；及び
　　（Ａ３）中空糸膜モジュール内の液体を排出させる、ドレイン処理。
　《態様３》前記第１洗浄工程において、前記中空糸膜に堆積した濁質成分の７質量％以上を除去する、態様１又は２に記載の中空糸膜モジュールの洗浄方法。
　《態様４》前記第２洗浄工程が、以下６（Ｂ１）～（Ｂ３）のいずれかを行う工程である、態様１又は２に記載の中空糸膜モジュールの洗浄方法：
　　（Ｂ１）前記中空糸膜の原水側に気体を通過させる、エアスクラビング処理のみを行う工程；
　　（Ｂ２）前記中空糸膜の原水側に気体を通過させる、エアスクラビング処理と、前記中空糸膜のろ過水側から原水側に水を通過させる、逆流洗浄処理とを同時に行う工程；及び
　　（Ｂ３）前記中空糸膜の原水側に気体を通過させる、エアスクラビング処理と、前記中空糸膜の原水側に水を通過させる、フラッシング処理とを同時に行う工程。
　《態様５》前記第１洗浄工程及び前記第２洗浄工程の後に、
　前記濁質成分を前記中空糸膜モジュールの外部に排出させる第３洗浄工程を更に含む、
態様１～４のいずれか一項に記載の中空糸膜モジュールの洗浄方法。
　《態様６》　前記第３洗浄工程が、以下の（Ｃ１）及び（Ｃ２）のうちの少なくとも１つの処理を行う工程である、態様５に記載の中空糸膜モジュールの洗浄方法：
　　（Ｃ１）前記中空糸膜の原水側に水を通過させる、フラッシング処理；及び
　　（Ｃ２）前記中空糸膜のろ過水側から原水側に水を通過させる、逆流洗浄処理。
　《態様７》前記中空糸膜モジュールが、
　　複数本の中空糸膜から成る中空糸膜束と、
　　前記中空糸膜束が収納されたハウジングと、
　　前記中空糸膜束の両端部と前記ハウジングとを接着固定する、接着固定部と、
　　前記中空糸膜モジュールの外部と前記中空糸膜の外側空間とを連通する導入口と、
　　前記中空糸膜モジュールの外部と前記中空糸膜の内側空間とを連通するろ過水口と、
　　前記中空糸膜モジュールの外部と前記中空糸膜の外側空間とを連通する洗浄用排出口と
を備えている、態様１～６のいずれか一項に記載の中空糸膜モジュールの洗浄方法。
　《態様８》前記中空糸膜が、精密ろ過（ＭＦ）膜又は限外ろ過（ＵＦ）膜である、態様７に記載の中空糸膜モジュールの洗浄方法。
　《態様９》前記接着固定部が、
　　前記中空糸膜の一方の端部において、前記中空糸膜同士、及び前記中空糸膜束と前記ハウジングの内壁とを樹脂材によって接着固定する第１接着固定層と、
　　前記中空糸膜の他方の端部において、前記中空糸膜同士及び前記中空糸膜束と前記ハウジングの内壁とを樹脂材によって接着固定する第２接着固定層と
を備えている、
態様７又は８に記載の中空糸膜モジュールの洗浄方法。
　《態様１０》複数本の中空糸膜から成る中空糸膜束と、
　前記中空糸膜束が収納されたハウジングと、
　前記中空糸膜束の両端部と前記ハウジングとを接着固定する、接着固定部と
を備えた中空糸膜モジュールであって、
　前記中空糸膜は、精密ろ過（ＭＦ）膜又は限外ろ過（ＵＦ）膜であり、
　前記接着固定部は、
　　前記中空糸膜の一方の端部において、前記中空糸膜同士、及び前記中空糸膜束と前記ハウジングの内壁とを樹脂材によって接着固定する第１接着固定層と、
　　前記中空糸膜の他方の端部において、前記中空糸膜同士及び前記中空糸膜束と前記ハウジングの内壁とを樹脂材によって接着固定する第２接着固定層と
を備え、
　前記中空糸膜モジュールは、
　　前記中空糸膜モジュールの外部と前記中空糸膜の外側の空間とを連通する導入口、
　　前記中空糸膜モジュールの外部と前記中空糸膜の内側の空間とを連通するろ過水口、及び
　　前記中空糸膜モジュールの外部と前記中空糸膜の外側の空間とを連通する洗浄用排出口
を備え、
　以下の条件（Ａ）、（Ｂ）、及び（Ｃ）：
　　（Ａ）前記中空糸膜の断面積の合計が、前記ハウジングの内部断面積に占める割合として表される、中空糸膜の充填率が、３８％以下であること；
　　（Ｂ）前記中空糸膜の外径が、１．１ｍｍ以下であること；及び
　　（Ｃ）前記中空糸膜の合計膜面積が、７０ｍ^２以上であること；
のすべてを満たす、中空糸膜モジュール。
　《態様１１》前記中空糸膜の有効長が１．６ｍ以上である、態様１０に記載の中空糸膜モジュール。
　《態様１２》前記中空糸膜モジュールの前記接着固定部に、中空糸膜の配置を規制するための規制部材がない、態様１０又は１１に記載の中空糸膜モジュール。
　《態様１３》前記第１接着固定層において、前記中空糸膜の中空部が開口しており、
　前記第２接着固定層において、前記中空糸膜の中空部が封止されている、
態様１２に記載の中空糸膜モジュール。
　《態様１４》前記第２接着固定層が、前記第２接着固定層を貫通する孔を有する、態様１０～１３のいずれか一項に記載の中空糸膜モジュール。
　《態様１５》前記態様１０～１４のいずれか一項に記載の中空糸膜モジュールを用いて、原水をろ過する、ろ過方法であって、
　前記ろ過方法は、
　　外圧ろ過により、前記中空糸膜に原水を通過させてろ過してろ過水を得る、ろ過工程；及び
　　前記ろ過工程の後に行われる、洗浄工程
を含み、
　前記洗浄工程が、態様１～６のいずれか一項に記載の洗浄方法である、
ろ過方法。
　《態様１６》前記態様１０～１４のいずれか一項に記載の中空糸膜モジュールを用いて、原水をろ過する、ろ過方法であって、
　前記ろ過方法は、
　　外圧ろ過により、前記中空糸膜に原水を通過させてろ過してろ過水を得る、ろ過工程；及び
　　前記ろ過工程の後に行われる、洗浄工程
を含み、
　前記洗浄工程は、
　逆流洗浄又はフラッシングを行う第１洗浄工程、及び第２洗浄工程をこの順に含み、
　前記第２洗浄工程は、
　　前記中空糸膜の内側から外側に、前記ろ過水を通過させる逆流洗浄、又は原水を前記導入口から導入し、前記洗浄用排出口から排出するフラッシングと、
　　気泡を含む原水を前記導入口から導入し、前記洗浄用排出口から排出して、前記気泡によって中空糸膜を揺らす、エアスクラビングと
を組み合わせて行って、前記中空糸膜の外側表面を洗浄する、逆流洗浄－エアスクラビング同時洗浄、又はフラッシング－エアスクラビング同時洗浄
を行う、
ろ過方法。
　《態様１７》
　前記第１洗浄工程及び第２洗浄工程の後に、第３洗浄工程を更に含み、
　前記第３洗浄工程が、以下の（Ｃ１）及び（Ｃ２）のうちの少なくとも１つの処理を行う工程である、態様１６に記載の中空糸膜モジュールの洗浄方法：
　　（Ｃ１）前記中空糸膜の原水側に水を通過させる、フラッシング処理；及び
　　（Ｃ２）前記中空糸膜のろ過水側から原水側に水を通過させる、逆流洗浄処理。
　《態様１８》
　前記洗浄工程の後に、前記導入口又は前記洗浄用排出口から前記中空糸膜の外側及び中空部の洗浄排液を排出する、排出工程を含む、
態様１６又は１７に記載のろ過方法。
　《態様１９》
　前記排出工程は、前記導入口又は前記洗浄用排出口に圧縮空気を導入して、前記洗浄排
液を強制的に排出する工程である、態様１８に記載のろ過方法。
　《態様２０》
　前記原水の平均濁度が１０度以上である、態様１６～１９のいずれか一項に記載のろ過方法。

　本発明によると、中空糸膜モジュールを長期間使用した場合のろ過性能の低下が極めて抑制された、中空糸膜モジュールの洗浄方法が提供される。

本発明の中空糸膜モジュールの洗浄方法が適用される中空糸膜モジュールの構造の一例を示す模式断面図である。本発明の中空糸膜モジュールの洗浄方法を実施するための、ろ過システムの一例のフロー図である。

　本発明の中空糸膜モジュールの洗浄方法は、
　　濁質成分を含む原水をろ過するための中空糸膜を含む中空糸膜モジュールの洗浄方法であって、
　　前記中空糸膜に堆積した濁質成分を除去する、第１洗浄工程と、
　　少なくとも、前記中空糸膜の原水側に気体を通過させる、エアスクラビング処理を行う、第２洗浄工程と
をこの順に含み、
　　前記第１洗浄工程において、洗浄前に前記中空糸膜モジュール内に存際していた水のうち、前記中空糸膜モジュール容量の５０体積％以上が除去される、
中空糸膜モジュールの洗浄方法である。

　《中空糸膜モジュール》
　原水の膜ろ過では、単位容積当たりの膜面積が大きく、ろ過効率が高いことから、複数本の中空糸をケーシング内に充填した、中空糸膜モジュールが好ましく使用されている。
　中空糸膜モジュールには、原水を中空糸膜の外表面側に供給して内表面側に通過させてろ過する外圧式ろ過中空糸膜モジュールと、原水を中空糸膜の内表面側に供給して外表面側に通過させてろ過する内圧式ろ過中空糸膜モジュールとが知られている。このうち、外圧式ろ過中空糸膜モジュールは、内圧式ろ過中空糸膜モジュールに比べて、単位容積当たりの有効膜面積が大きいため、造水コストの削減が求められる分野、例えば浄水製造の過程で利用されている。

　本発明の中空糸膜モジュールの洗浄方法は、外圧式ろ過中空糸膜モジュールに適用したときに、本発明が所期する有利な効果が、最大限に発揮される。
　本発明の洗浄方法が適用される中空糸膜モジュールは、
　　複数本の中空糸膜から成る中空糸膜束と、
　　中空糸膜束が収納されたハウジングと、
　　中空糸膜束の両端部とハウジングとを接着固定する、接着固定部と、
　　中空糸膜モジュールの外部と中空糸膜の外側空間とを連通する導入口と、
　　中空糸膜モジュールの外部と中空糸膜の内側空間とを連通するろ過水口と、
　　中空糸膜モジュールの外部と中空糸膜の外側空間とを連通する洗浄用排出口と
を備えている、
中空糸膜モジュールであることが好ましい。

　上記の接着固定部は、
　　中空糸膜の一方の端部において、中空糸膜同士、及び中空糸膜束とハウジングの内壁とを樹脂材によって接着固定する第１接着固定層と、
　　中空糸膜の他方の端部において、中空糸膜同士及び中空糸膜束とハウジングの内壁とを樹脂材によって接着固定する第２接着固定層と
を備えていてよい。

　本発明の洗浄方法が適用される中空糸膜モジュールは、好ましくは、
　複数本の中空糸膜から成る中空糸膜束と、
　中空糸膜束が収納されたハウジングと、
　中空糸膜束の両端部とハウジングとを接着固定する、接着固定部と
を備えた中空糸膜モジュールであって、
　中空糸膜は、精密ろ過（ＭＦ）膜又は限外ろ過（ＵＦ）膜であり、
　接着固定部は、
　　中空糸膜の一方の端部において、中空糸膜同士、及び中空糸膜束とハウジングの内壁とを樹脂材によって接着固定する第１接着固定層と、
　　中空糸膜の他方の端部において、中空糸膜同士及び中空糸膜束とハウジングの内壁とを樹脂材によって接着固定する第２接着固定層と
を備え、
　中空糸膜モジュールは、
　　中空糸膜モジュールの外部と中空糸膜の外側の空間とを連通する導入口、
　　中空糸膜モジュールの外部と中空糸膜の内側の空間とを連通するろ過水口、及び
　　中空糸膜モジュールの外部と中空糸膜の外側の空間とを連通する洗浄用排出口
を備えている、中空糸膜モジュールである。

　本実施形態の洗浄方法が適用される中空糸膜モジュールは、以下の条件（Ａ）、（Ｂ）、及び（Ｃ）：
　　（Ａ）中空糸膜の断面積の合計が、ハウジングの内部断面積に占める割合として表される、中空糸膜の充填率が、３８％以下であること；
　　（Ｂ）中空糸膜の外径が、１．１ｍｍ以下であること；及び
　　（Ｃ）中空糸膜の合計膜面積が、７０ｍ^２以上であること；
のすべてを満たすことが、特に好ましい。条件（Ａ）、（Ｂ）、及び（Ｃ）のすべてを満たす中空糸膜モジュールは、洗浄工程において第１洗浄工程を行わなくてもよく、第１洗浄工程を行わなくても高い洗浄効果が得られる。

〈中空糸膜束〉
　本実施形態の中空糸膜モジュールにおける中空糸膜束は、複数本の中空糸膜から成り、ハウジングに収納されて使用される。
　中空糸膜束中の中空糸膜の本数は、ハウジングに収納されたときに、所定の充填率を満たすように適宜設定されることが好ましい。中空糸膜束中の中空糸膜の本数は、例えば、１，０００本以上１００，０００本以下であり、２，０００本以上５０，０００本以下、３，０００本以上４０，０００本以下、又は５，０００本以上３０，０００本以下であってもよい。

（中空糸膜）
　本実施形態の中空糸膜モジュールにおける中空糸膜は、精密ろ過（ＭＦ）膜又は限外ろ過（ＵＦ）膜である。
　したがって、中空糸膜の平均細孔径は、１ｎｍ（０．００１μｍ）以上１０μｍ以下であり、１０ｎｍ（０．０１μｍ）以上７００ｎｍ（０．７μｍ）以下であることが好ましく、２０ｎｍ（０．０２μｍ）以上６００ｎｍ（０．６μｍ）以下がより好ましい。平均細孔径が３０ｎｍ（０．０３μｍ）以上４００ｎｍ（０．４μｍ）以下であれば、分離性能は十分であり、孔の連通性も確保できる。
　中空糸膜の平均細孔径は、ＡＳＴＭ：Ｆ３１６－８６に規定されている平均孔径（ｍｅａｎ　ｆｌｏｗ　ｐｏｒｅ　ｓｉｚｅ）の測定方法（別称：ハーフドライ法）により、測定できる。

　中空糸膜の表面開口率は２５～６０％であることが好ましく、より好ましくは２５～５０％であり、更に好ましくは２５～４５％である。この表面開口率は、中空糸膜の面のうちの、原水を接触する側の面（好ましくは、中空糸膜の外側面）の表面開口率である。中空糸膜において、原水と接触する側の面の表面開口率が２５％以上であれば、膜の目詰まり、及び膜の表面が擦過されることによる透水性能の劣化を抑制できるため、ろ過安定性を高めることができる。他方、表面開口率が高すぎると、要求される分離性能を発揮できないおそれがある。
　中空糸膜の表面開口率は、中空糸膜の外側表面の電子顕微鏡写真から求めることができる。
　具体的には、中空糸膜表面の電子顕微鏡写真を、表面に開口している孔部分と、非孔部分とに、黒白２値化して各部分の面積を求め、得られた各部分の面積を下記数式に代入することにより、求めることができる。
　　開口率［％］＝１００×（孔部分面積）／｛（孔部分面積）＋（非孔部分面積）｝
　表面開口率の算出に用いる電子顕微鏡写真の倍率は、中空糸膜の外側表面に開口する孔の形状が、明確に認識できる程度に大きくすることが好ましい。一方で、視野面積をできるだけ大きくして、できるだけ平均化された表面開口率を知る観点からは、過度に大きい倍率は不適当である。
　これらの観点から、電子顕微鏡写真の倍率は、中空糸膜の外側表面に開口する孔の累積中位径（面積累積値５０％に相当する孔径）に応じて、例えば以下のように設定することができる：
　　累積中位径が１～１０μｍ程度のとき　倍率１，０００～５，０００倍
　　累積中位径が０．１～１μｍ程度のとき　５，０００～２０，０００倍
　　累積中位径が０．０３～０．１μｍ程度のとき　１０，０００～５０，０００倍である。
　黒白２値化処理は、電子顕微鏡写真又はそのコピーを用いて、市販の画像解析システムによって行ってもよい。

　中空糸膜の空孔率は、好ましくは５０～８０％であり、より好ましくは５５～６５％である。この空孔率が５０％以上であることにより、透水性能が高く、他方、８０％以下であることにより、機械的強度を高くすることができる。
　中空糸膜の内径は、好ましくは０．１０～１．００ｍｍであり、より好ましくは０．３０～０．８０ｍｍである。
　中空糸膜の外径は、１．１０ｍｍ以下であり、好ましくは０．３～１．０５ｍｍであり、より好ましくは０．５～１．００ｍｍである。
　中空糸膜の膜厚は、好ましくは８０～１，０００μｍであり、より好ましくは１００～３００μｍである。膜厚が８０μｍ以上であれば、膜の強度が確保でき、他方、１０００μｍ以下であれば、膜抵抗による圧損を抑制できる。

（中空糸膜の素材（材質））
　本実施形態の中空糸膜モジュールにおける中空糸膜は、合成樹脂製の多孔質膜から成ることが好ましい。
　本実施形態における中空糸膜を構成する樹脂は、好ましくは熱可塑性樹脂であり、ポリオレフィンがより好ましい。
　ポリオレフィンとしては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリビニルアルコール、エチレン－ビニルアルコール共重合体、及びフッ素樹脂、並びにこれらの混合物が挙げられる。上記フッ素樹脂としては、フッ化ビニリデン樹脂（ＰＶＤＦ）、クロロトリフルオロエチレン樹脂、テトラフルオロエチレン樹脂、エチレン－テトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、エチレン－モノクロロトリフルオロエチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、エチレン－クロロトリフルオロエチレン共重合体、ポリフッ化ビニリデン（ヘキサフルオロプロピレンのドメインを含んでもよい）、及びヘキサフルオロプロピレン樹脂、並びにこれら樹脂の混合物から成る群から選ばれるものが挙げられる。
　本実施形態における中空糸膜を構成する樹脂としては、ポリオレフィンの中でも、フッ素樹脂が特に好ましい。

　これらの樹脂は、取り扱い性に優れ、かつ強靱であるため、中空糸膜の素材として優れる。これらの中でも、フッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレン、ヘキサフルオロプロピレン、エチレン、テトラフルオロエチレン、及びクロロトリフルオロエチレンから成る群から選択される１種のホモポリマー、若しくは前記群から選択される２種以上のコポリマー、又は、前記ホモポリマーと前記コポリマーとの混合物は、機械的強度、化学的強度（耐薬品性）に優れ、かつ成形性が良好であるために好ましい。より具体的には、ポリフッ化ビニリデン、フッ化ビニリデン－ヘキサフルオロプロピレン共重合体、エチレン－テトラフルオロエチレン共重合体、エチレン－クロロトリフルオロエチレン共重合体等のフッ素樹脂が好ましい。

　また、本実施形態における中空糸膜を構成する熱可塑性樹脂は、球晶構造ではなく、３次元網目構造を有していることが好ましい。中空糸膜が、３次元網目構造を有する熱可塑性樹脂によって構成されていることにより、中空糸膜の内表面から外表面までの細孔の連通性を、より良好にすることができる。

（中空糸膜の物性）
　中空糸膜の引張破断伸度の初期値は、６０％以上であることが好ましく、より好ましくは８０％以上であり、更に好ましくは１００％以上であり、特に好ましくは１２０％以上である。
　中空糸膜の圧縮強度は０．２ＭＰａ以上であることが好ましく、より好ましくは０．３～１．０ＭＰａであり、更に好ましくは０．４～１．０ＭＰａである。

（中空糸膜の製造方法）
　本実施形態における中空糸膜は、公知の方法、又はこれに当業者による適宜の変更を加えた方法により、製造することができる。
　本実施形態における中空糸膜は、例えば、原料の熱可塑性樹脂を含む溶融混錬物の押出成形によって製造することができる。

〈ハウジング〉
　本実施形態の中空糸膜モジュールにおけるハウジングは、中空糸膜束を収納する。
　ハウジングと、中空糸膜束とが、後述の接着固定部によって固定されて、中空糸膜モジュールとなった後、モジュール内は中空糸膜の外側空間と中空糸膜の内側空間とに分割され、これらの空間が中空糸膜を介して接する構造を有することになる。

　本実施形態におけるハウジングは、導入口、ろ過水口、及び洗浄用排出口を備える。これらの導入口、ろ過水口、及び洗浄用排出口は、後述の接着固定部によってハウジングと中空糸膜束とが固定された後、中空糸膜モジュールの導入口、ろ過水口、及び洗浄用排出口として、それぞれ、以下の機能を有することになる。
　　導入口：モジュールの外部と中空糸膜の外側空間とを連通する機能
　　ろ過水口：モジュールの外部と中空糸膜の内側空間とを連通する機能
　　洗浄用排出口：モジュールの外部と中空糸膜の外側空間とを連通する機能

　ハウジングは、中空糸膜束を収納するための第１筒状部材と、接着固定部を配置するための第２筒状部材とを有していてよい。第２筒状部材は、好ましくは第１筒状部材の両端に配置される。
　第２筒状部材は、上記の導入口、ろ過水口、及び洗浄用排出口を有していてよい。
　第２筒状部材は、好ましくは、中空糸膜モジュールのろ過液を取り出す側に配置され、ろ過水口及び洗浄用排出口を有する第２筒状部材Ａと、中空糸膜モジュールの原水を導入する側に配置され、導入口を有する第２筒状部材Ｂとから成っていてよい。
　ハウジングの第１筒状部材の内径は、好ましくは１７０ｍｍ以上であり、より好ましくは１９０ｍｍ以上であり、好ましくは２５０ｍｍ以下であり、より好ましくは２３０ｍｍ以下である。第１筒状部材の外径は、例えば、１７０ｍｍ以上３００ｍｍ以下であってよい。第１筒状部材の長さは、中空糸膜の所望の有効長に応じて適宜設定されてよく、例えば、１．０ｍ以上３．０ｍ以下であってよく、１．５ｍ以上２．０ｍ以下が好ましい。
　ハウジングの第２筒状部材の内径は、第１筒状部材の内径よりも太くてよく、好ましくは１８０ｍｍ以上であり、より好ましくは２００ｍｍ以上であり、好ましくは２８０ｍｍ以下であり、より好ましくは２５０ｍｍ以下である。第２筒状部材の外径は、例えば、１８０ｍｍ以上３３０ｍｍ以下であってよい。第２筒状部材の長さは、適宜に設定されてよく、例えば、０．２ｍ以上１．０ｍ以下であってよい。

　ハウジングの材質は、成形性、コスト、機械的耐久性、化学的耐久性等の観点から適宜に設定されてよく、例えば、ステンレス、ＡＢＳ、ＰＶＣ、ナイロン、ＰＳＦ、ＰＥ、ＰＰ、ＰＰＥ等から選択される材料から成ることが好ましい。

〈中空糸膜束とハウジングとの固定〉
　本実施形態の中空糸膜モジュールにおいて、中空糸膜束とハウジングとは、接着固定部によって固定される。

〈接着固定部〉
　本実施形態の中空糸膜モジュールにおける接着固定部は、中空糸膜束の両端部とハウジングとを接着固定する機能を有する。
　この接着固定部は、
　　中空糸膜の一方の端部において、中空糸膜同士、及び中空糸膜束とハウジングの内壁とを樹脂材によって接着固定する第１接着固定層と、
　　中空糸膜の他方の端部において、中空糸膜同士及び中空糸膜束とハウジングの内壁とを樹脂材によって接着固定する第２接着固定層と
を備える。

　接着工程部の第１接着固定層及び第２接着固定層を構成する材料は、樹脂材である。この樹脂材としては、例えば、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂等が例示できる。

　中空糸膜モジュールの接着固定部内に、中空糸膜の配置を規制するための規制部材を設けてもよい。しかしながら、接着固定部内には、規制部材がない方が、中空糸膜の実質的な存在密度が小さくなり、原水中の濁質を排出し易くなるため、好ましい。

（第１接着固定層）
　第１接着固定層は、中空糸膜の一方の端部において、前記中空糸膜同士、及び前記中空糸膜束と前記ハウジングの内壁とを接着固定する機能を有する。
　第１接着固定層は、第２筒状部材Ａの内部に配置されてよい。好ましくは、第１接着固定層は、第２筒状部材Ａの内部において、ろ水口と洗浄用排出口とを遮断するように配置され、第２筒状部材Ａの内部を、ろ水口側の空間と、洗浄用排出口の空間とに分割している。
　そして、第１接着固定層では、中空糸膜の中空部が開口していることが好ましい。
　以上のことによって、
　　中空糸膜の内側空間は、第２筒状部材Ａの内部のろ水口側の空間を介して、中空糸膜モジュールの外部に連通し、かつ、
　　中空糸膜の外側空間は、第２筒状部材Ａの内部の洗浄用排出口側の空間を介して、中空糸膜モジュールの外部に連通することになる。したがって、中空糸膜の外側空間内の洗浄排液等、及び中空糸膜の内側空間内のろ過水を、それぞれ別個に、中空糸膜モジュールの外部に取り出すことができることになる。

（第２接着固定層）
　第２接着固定層は、中空糸膜の他方の端部（第１接着固定層と逆側の端部）において、中空糸膜同士、及び中空糸膜束とハウジングの内壁とを接着固定する機能を有する。
　第２接着固定層は、第２筒状部材Ｂの内部に配置されてよい。
　第２接着固定層は、第２接着固定層を貫通する孔を有することが好ましい。
　そして、第２接着固定層では、中空糸膜の中空部が封止されていることが好ましい。
　以上のことによって、中空糸膜の外側空間は、第２筒状部材Ｂの内部の空間、及び第２接着固定層を貫通する孔を介して、中空糸膜モジュールの外部に連通することになる。したがって、中空糸膜モジュールの外部から、中空糸膜の外側に、原水等を導入することが可能になる。
　第２接着固定層が有する孔の直径は、好ましくは５以上３０ｍｍ以下であり、孔の個数は、好ましくは５以上１００個以下である。孔の形状としては、例えば、円形、楕円形、矩形、多角形等、及びこれらの組合せから選択できる他、不定形でもよい。

（中空糸膜モジュールの形態）
　本実施形態の中空糸膜モジュールは、以下の条件（Ａ）、（Ｂ）、及び（Ｃ）：
　　（Ａ）中空糸膜の断面積の合計が、ハウジングの内部断面積に占める割合として表される、中空糸膜の充填率が、３８％以下であること；
　　（Ｂ）中空糸膜の外径が、１．１ｍｍ以下であること；及び
　　（Ｃ）中空糸膜モジュールの膜面積が、７０ｍ^２以上であること；
のすべてを満たすことが好ましい。

　上記において、「中空糸膜の充填率」とは「全中空糸膜断面積／ハウジング内断面積」によって算出される中空糸膜断面積の割合のことであり、ここでの中空糸膜断面積とは、膜の中空部を含む断面積の総和を指す。また、ハウジングが、第１筒状部材と第２筒状部材とから成る場合には、「ハウジング内断面積」とは、中空糸膜束を収納する第１筒状部材の内側の断面積を指す。

　本実施形態の中空糸膜モジュールでは、外径が１．１ｍｍ以下の比較的細い中空糸膜を用いることが好ましい。このことにより、中空糸膜の充填率を３８％と低くしても、中空糸膜束の合計の膜面積を大きくできる。また、中空糸膜の充填率を３８％以下と低くすることにより、濁質の排出性が向上され、大きな膜面積が確保できる点で、有利である。

　中空糸膜の充填率は、濁質排出性の観点から、３８％以下であることが好ましく、より好ましくは３７％以下である。中空糸膜の充填率は、好ましくは３０％以上であり、より好ましくは３５％以上である。
　中空糸膜の有効長としては、ろ過効率の観点から、好ましくは１．５ｍ以上であり、より好ましくは１．６ｍ以上であり、更に好ましくは１．７ｍ以上であり、特に好ましくは１．８ｍ以上である。中空糸膜の有効長とは、ろ過に寄与する中空糸膜の長さをいい、中空糸膜のうちの、第１接着固定層と第２接着固定層との間に露出している長さの平均値を意味する。
　中空糸膜の合計膜面積は、７０ｍ^２以上であることが好ましく、より好ましくは８０ｍ^２以上であり、更に好ましくは９０ｍ^２以上である。本実施形態の中空糸膜モジュールは、中空糸膜の合計膜面積が大きいので、ろ過効率が高い利点を有する。中空糸膜の合計膜面積とは、ろ過に寄与する中空糸膜の膜面積（有効膜面積）の合計をいい、中空糸膜のうち、第１接着固定層と第２接着固定層との間に露出している部分の外側面積の合計をいう。

　本実施形態の中空糸膜モジュールは、フットプリントが大きい。
　本明細書において、「フットプリント」とは、中空糸膜の合計膜面積を、モジュールの第１筒状部材の断面積で割り付けた値として定義される。
　このフットプリントが大きい中空糸膜モジュールは、少ない設置面積で大容量の水を処理できることになり、好ましい。
　本実施形態の中空糸膜モジュールのフットプリントは、好ましくは２，５００ｍ^２／ｍ^２以上であり、より好ましくは２，６００ｍ^２／ｍ^２以上であり、更に好ましくは２，７００ｍ^２／ｍ^２以上であり、特には２，８００ｍ^２／ｍ^２以上であり、２，９００ｍ^２／ｍ^２以上又は３，０００ｍ^２／ｍ^２以上であってもよい。
　しかしながら、中空糸膜の充填率を所定の範囲内とすべき要請を満たすため、フットプリントは、好ましくは５，０００ｍ^２／ｍ^２以下であり、より好ましくは４，５００ｍ^２／ｍ^２以下であり、更に好ましくは４，０００ｍ^２／ｍ^２以下であり、特に３，５００ｍ^２／ｍ^２以下であってもよい。

〈中空糸膜モジュールの製造方法〉
　本実施形態の中空糸膜モジュールは、例えば、以下のような方法によって製造することができる。
　先ず、所定の本数の中空糸膜を束として整え、中空糸膜束を作製する。続いて、中空糸膜束を垂直に吊るし、下側端部を切りそろえる。更に、周長を規定するために、中空糸膜束の外周をテープで固定する。その後、中空糸膜その下側端面に、接着剤、例えばウレタン樹脂を含侵させて硬化させ、中空糸膜束を、所定の直径にて固定するとともに、下側端面の中空部を封止する。

　次に、中空糸膜束が挿入された第１筒状部材の両端に、第２筒状部材Ａ及び第２筒状部材Ｂを接合することにより、ハウジングが形成されるとともに、その内部に中空糸膜束が収納される。このとき、中空糸膜束の中空部が封止された側が、第２筒状部材Ａ側に位置するように挿入される。
　第１筒状部材に第２筒状部材Ａを接合するとき、第２筒状部材Ａの内部に、整流筒を設置してもよい。
　また、中空糸膜束の端部のうち、第２接着固定層の形成が予定される位置に、第２接着固定層を貫通する孔を形成するための柱状部材が挿入される。柱状部材の直径及び数は、孔の所望の直径及び数に応じて設定される。

　次いで、ハウジングの両端に、それぞれ、ポッティング材（例えばウレタン樹脂）を注入する。そして、ポッティング材が注入されたハウジングを、水平方向に回転させて遠心接着を行って、接着固定部（第１接着固定層及び第２接着固定層）を形成する。
　接着固定部が形成された後に、孔を形成するための柱状部材を取り除いて、貫通孔を形成する。
　そして、第１接着固定層の端部を切断して、中空糸膜束のろ過水口側の端部を開口させることにより、本実施形態の中空糸膜モジュールを得ることができる。

　図１に、本実施形態の中空糸膜モジュールの洗浄方法が好適に適用される、外圧式ろ過中空糸膜モジュールの構造の一例を、模式断面図として示した。
　図１の中空糸膜モジュール（１００）は、
　　複数本の中空糸膜（１１）から成る中空糸膜束（１０）と、
　　中空糸膜束（１０）が収納されたハウジング（３０）と、
　　中空糸膜束（１０）の両端部とハウジング（３０）とを接着固定する、接着固定部（２０）と、
　　中空糸膜モジュール（１００）の外部と中空糸膜（１１）の外側空間（４２）とを連通する導入口（１）と、
　　中空糸膜モジュール（１００）の外部と中空糸膜（１１）の内側空間（４１）とを連通するろ過水口（２）と、
　　中空糸膜モジュール（１００）の外部と中空糸膜（１１）の外側空間（４２）とを連通する洗浄用排出口（３）と
を備えている。

　ハウジング（３０）は、中空糸膜束（１０）を収納するための第１筒状部材（３１）と、接着固定部（２０）を配置するための２つの第２筒状部材（３２Ａ、３２Ｂ）とを有しており、これら２つの２筒状部材は、第１筒状部材（３１）の両端に配置されている。
　第２筒状部材は、
　　中空糸膜モジュール（１００）のろ過水を取り出す側に配置され、ろ過水口（２）及び洗浄用排出口（３）を有する第２筒状部材Ａ（３２Ａ）と、
　　中空糸膜モジュール（１００）の原水を導入する側に配置され、導入口（１）を有する第２筒状部材Ｂ（３２Ｂ）と
から成っている。しかしながら、導入口（１）、ろ過水口（２）、及び洗浄用排出口（３）の配置位置は、この態様に限られない。

　接着固定部（２０）は、
　　中空糸膜（１１）の一方の端部において、中空糸膜（１１）同士、及び中空糸膜束（１０）とハウジング（３０）の第２筒状部材Ａ（３２Ａ）の内壁とを樹脂材によって接着固定する第１接着固定層（２１）と、
　　中空糸膜（１１）の他方の端部において、中空糸膜（１１）同士及び中空糸膜束（１０）とハウジング（３０）の第２筒状部材Ｂ（３２Ｂ）の内壁とを樹脂材によって接着固定する第２接着固定層（２２）と
を備えている。

　第１接着固定層（２１）は、第２筒状部材Ａ（３２Ａ）の内部に、ろ過水口（２）と洗浄用排出口（３）とを遮断するように配置され、第２筒状部材Ａ（３２Ａ）の内部を、ろ過水口（２）側の空間と、洗浄用排出口（３）側の空間とに分割している。
　そして、第１接着固定層（２１）では、中空糸膜（１１）の中空部が開口している。
　以上のことによって、
　　中空糸膜（１１）の内側空間は、第２筒状部材Ａ（３２Ａ）内部のろ過水口（２）側の空間を介して、中空糸膜モジュール（１００）の外部に連通し、かつ、
　　中空糸膜（１１）の外側空間は、第２筒状部材Ａ（３２Ａ）内部の洗浄用排出口（３）側の空間を介して、中空糸膜モジュール（１００）の外部に連通することになる。したがって、中空糸膜（１１）の外側空間内の洗浄排液等、及び中空糸膜（１１）の内側空間内のろ過水を、それぞれ別個に、中空糸膜モジュール（１００）の外部に取り出すことができることになる。

　第２接着固定層（２２）は、第２筒状部材Ｂ（３２Ｂ）の内部に配置されている。
　第２接着固定層（２２）は、第２接着固定層（２２）を貫通する孔を有している。
　そして、第２接着固定層（２２）では、中空糸膜（１１）の中空部が封止されている。
　以上のことによって、中空糸膜（１１）の外側空間は、第２筒状部材Ｂ（３２Ｂ）の内部の空間、及び第２接着固定層（２２）を貫通する孔を介して、中空糸膜モジュール（１００）の外部に連通することになる。したがって、中空糸膜モジュール（１００）の外部から、中空糸膜（１１）の外側に、原水等を導入することが可能になる。

　図１の中空糸膜モジュール（１００）は、ハウジング（３０）のうちの第２筒状部材Ａの内部に、任意的な部材である整流筒（５０）を、更に有している。
　なお、図１において、中空糸膜（１１）の有効長を規定する、第１接着固定層（２１）と第２接着固定層（２２）との間の距離は、符号「Ｌ」で示されている。

　《中空糸膜モジュールの洗浄方法》
　本発明の中空糸膜モジュールの洗浄方法は、
　　濁質成分を含む原水をろ過するための中空糸膜を含む中空糸膜モジュールの洗浄方法であって、
　　中空糸膜に堆積した濁質成分を除去する、第１洗浄工程と、
　　少なくとも、中空糸膜の原水側に気体を通過させる、エアスクラビング処理を行う、第２洗浄工程と
をこの順に含む。

　第１洗浄工程は、以下の（Ａ１）～（Ａ３）のうちの少なくとも１つの処理を行う工程であることが好ましい。
　　（Ａ１）中空糸膜のろ過水側から原水側に水を通過させる、逆流洗浄（逆洗）処理；
　　（Ａ２）中空糸膜の原水側に水を通過させる、フラッシング処理；及び
　　（Ａ３）中空糸膜モジュール内の液体を排出させる、ドレイン処理。

　第２洗浄工程は、第１洗浄工程による、中空糸膜からの濁質成分の除去の完璧を期し、好ましくはモジュール外に除去する工程である。
　第２洗浄工程では、少なくとも、エアスクラビング処理が行われる。
　第２洗浄工程は、以下の（Ｂ１）～（Ｂ３）のいずれかを行う工程であることが好ましい。
　　（Ｂ１）エアスクラビング処理のみを行う工程；
　　（Ｂ２）エアスクラビング処理と逆流洗浄（逆洗）処理とを同時に行う工程；及び
　　（Ｂ３）エアスクラビング処理とフラッシング処理とを同時に行う工程。

　第１洗浄工程及び第２洗浄工程の後に、第１洗浄工程及び第２洗浄工程で除去された濁質を、中空糸膜モジュール内の外に排出させる、第３洗浄工程を更に含んでいてもよい。

　本発明の中空糸膜モジュールの洗浄方法は、当該中空糸膜モジュールによって原水をろ過する、ろ過工程に引き続いて行われることが予定されている。好ましくは、ろ過工程と、本発明の中空糸膜モジュールの洗浄方法の各洗浄工程とを、繰り返して行うことにより、中空糸膜モジュールを長期間連続的に運転することが予定されている。
　ろ過工程を停止して洗浄工程を開始するタイミングは、適宜に設定されてよい。例えば、ろ過工程を開始または再開した後、予め定められた所定の時間が経過したときに、ろ過工程を停止して、洗浄工程を開始してよい。或いは、ろ過工程の透水性能が予め設定された所定の値に達したときに、ろ過工程を停止して、洗浄工程を開始してよい。

　以下、先ず、ろ過工程、及び本発明の中空糸膜モジュールの洗浄方法の第１～第３洗浄工程で行われる、逆流洗浄（逆洗）処理、フラッシング処理、及びエアスクラビング処理のそれぞれについて説明し、次いで、本発明の中空糸膜モジュールの洗浄方法における第１～第３洗浄工程について説明する。

　なお、本明細書では、逆洗を「ＢＷ」、フラッシングを「ＦＬ」、ドレインを「ＤＬ」、エアスクラビングを「ＡＳ」、逆洗とエアスクラビングとの同時実施（逆洗－エアスクラビング同時洗浄）を「ＡＳＢＷ」、フラッシングとエアスクラビングとの同時実施（フラッシング－エアスクラビング同時洗浄）を「ＡＳＦＬ」として参照することがある。

　〈ろ過工程〉
　ろ過工程は、中空糸膜の原水側に原水を提供し、中空糸膜により原水中の不溶分を捕捉し、中空糸膜のろ過水側にろ過水を浸みださせて、ろ過水を得る、工程である。中空糸膜モジュールが外圧式ろ過中空糸膜モジュールである場合、中空糸膜の外側から原水を提供して、外圧ろ過によって中空糸膜に原水を通過させて、ろ過水を得る。本実施形態の中空糸膜モジュールでは、モジュールの下側から原水を導入して外圧ろ過をする方式による方が、濁質を排出し易いので好ましい。

　ろ過工程における原水としては、特に制限はなく、典型的には、ろ過工程によって除去し得る懸濁物質を含む水であり、例えば、自然水、廃水、工程プロセス液等、及びこれらの処理水が挙げられる。
　自然水としては、河川水、湖沼水、地下水、海水が例として挙げられる。廃水としては下水、工場廃水である。工程プロセス液とは、食品、医薬品、半導体製造等の分野において、有価物と非有価物とを分離する前の混合液を指す。これらの原水には、μｍオーダー、又はこれ以下の微細な有機物及び無機物、並びに有機無機混合物の１種以上から成る濁質（腐植コロイド、有機質コロイド、粘土、細菌等）、細菌・藻類由来の高分子物質等が含まれていてよい。

　原水の水質は、濁度及び／又は有機物濃度によって規定できる。濁度及び有機物濃度は、いずれも、瞬間値ではなく、平均値として評価される。
　濁度を基準とすると、原水は、濁度１未満の低濁水、濁度１以上１０未満の中濁水、濁度１０以上５０未満の高濁水、濁度５０以上の超高濁水等に区分される。
　有機物濃度（全有機炭素濃度（Ｔｏｔａｌ　Ｏｒｇａｎｉｃ　Ｃａｒｂｏｎ（ＴＯＣ））：ｍｇ／Ｌ）を基準とすると、原水は、１未満の低ＴＯＣ水、１以上４未満の中ＴＯＣ水、４以上８未満の高ＴＯＣ水、８以上の超高ＴＯＣ水等に区分される。
　一般的には、濁度及び／又はＴＯＣの高い水ほど、多孔質ろ過膜を目詰まりさせ易い。そのため、本実施形態におけるろ過工程に供給される原水の平均濁度が１０度以上である方が、本実施形態の中空糸膜モジュールの性能を好適に発揮できるため、好ましい。

　中空糸膜モジュールが外圧式ろ過中空糸膜モジュールである場合、本実施形態のろ過工程は、例えば、原水を、中空糸膜モジュールの導入口から中空糸膜の外側空間に導入し、中空糸膜の肉厚部分を通過させたろ過液として、中空糸膜の内側表面から染み出させ、中空糸膜の内側空間のろ過液を、中空糸膜モジュールの排出口から取り出すことによって行われることが好ましい。
　ろ過液の流量は、膜面積１ｍ^２あたり、１時間当たりの流量（Ｌ）で表される透過流速（ＬＭＨ、又はＬ／［ｍ^２・ｈ］）として、１０～５００ＬＭＨとすることが好ましく、より好ましくは２０ＬＭＨ以上、４０ＬＭＨ以上、又は５０ＬＭＨ以上２００ＬＭＨ以下であり、更に好ましくは４０ＬＭＨ以上、５０ＬＭＨ以上、又は７５ＬＭＨ以上１５０ＬＭＨ以下である。

　〈逆流洗浄処理：ＢＷ〉
　逆流洗浄（逆洗）処理は、中空糸膜のろ過水側から原水側に水を通過させる洗浄である。中空糸膜モジュールが外圧式ろ過中空糸膜モジュールである場合、中空糸膜の内側から外側に水を通過させる。
　逆洗処理によって、中空糸膜の肉厚部の細孔内に堆積した懸濁物質を、中空糸膜の原水側（外圧式ろ過中空糸膜モジュールの場合、中空糸膜の外側）に押し出すことができる。
　中空糸膜のろ過水側から原水側に通過させる水は、例えば、ろ過水であってよい。
　逆洗処理を行うときの水（好ましくはろ過水）の流量は、透過流速として、ろ過工程の透過流速の０．１～３倍が好ましく、より好ましくは０．３～３倍であり、更に好ましくは０．５～３倍であり、特に０．７～３倍が好ましい。

　〈フラッシング処理：ＦＬ〉
　フラッシング処理は、中空糸膜の原水側に水を通過させる洗浄方法である。中空糸膜モジュールが外圧式ろ過中空糸膜モジュールである場合、中空糸膜の外側表面上に水を通過させる。
　このフラッシング処理によって、中空糸膜の原水側表面に付着している懸濁物質を、押し流すことができる。
　フラッシング処理において中空糸膜の原水側に通過させる水の量は、中空糸膜モジュール内に入る水の量に対して、０．３～３倍の量とすることが好ましく、０．５～２倍の量とすることがより好ましい。

　〈ドレイン処理：ＤＬ〉
　ドレイン処理は、中空糸膜モジュールの内部に残存する洗浄排液を排出する工程である。
　ドレイン処理を行うことにより、中空糸膜モジュール内の懸濁物質を、効果的に除去できる。
　ドレイン処理は、例えば、中空糸膜モジュールの洗浄用排出口から圧縮空気を導入することによって、行うことができる。これにより、中空糸膜モジュール内部に残存する洗浄排液を、モジュールの下部から強制的に排出させることができる。
　ドレイン処理後に中空糸膜モジュール内に残存する水の量は、中空糸膜モジュール内に入る水の量に対して、０．７倍以下の量とすることが好ましく、より好ましくは０．５倍以下の量とすることであり、更に好ましくは０．３倍以下の量とすることである。

　〈エアスクラビング処理：ＡＳ〉
　エアスクラビング処理は、圧縮空気を、中空糸膜モジュールの導入口から導入し、洗浄用排出口から排出して、空気（気泡）によって中空糸膜を揺らす洗浄方法である。
　エアスクラビング処理の際に、中空糸膜モジュールに導入される圧縮空気の量は、中空糸膜モジュールのハウジングの断面積１ｍ^２当たり、０．００１～０．１０１５～１０００Ｎｍ^３／ｈであることが好ましく、より好ましくは７５～５００Ｎｍ^３／ｈであり、更に好ましくは１５０～４００Ｎｍ^３／ｈであり、特に好ましくは１７０～４００Ｎｍ^３／ｈであり、更に、２００～３５０Ｎｍ^３／ｈ、又は２００～３００Ｎｍ^３／ｈであってもよい。

　〈第１洗浄工程〉
　第１洗浄工程では、中空糸膜に堆積した濁質成分を除去する。
　第１洗浄工程では、上記したとおり、（Ａ１）逆洗処理、（Ａ２）フラッシング処理、及び（Ａ３）ドレイン処理のうちの少なくとも１つの処理が行われることが好ましい。
　第１洗浄工程が（Ａ１）逆洗処理によって行われるとき、その実施時間は、例えば１０～１２０秒であり、好ましくは１５～６０秒である。
　第１洗浄工程が（Ａ２）フラッシング処理によって行われるとき、その実施時間は、例えば１０～１２０秒であり、好ましくは１５～６０秒である。
　第１洗浄工程が（Ａ３）ドレイン処理によって行われるとき、（Ａ３）ドレイン処理は、中空糸膜モジュール内の水の量が、上述の量に減るまで行われることが好ましい。

　この第１洗浄工程では、中空糸膜に堆積した濁質成分（ＳＳ）の除去率は、７質量％以上が好ましく、８質量％以上がより好ましく、１０質量％以上が更に好ましく、１２質量％以上、１５質量％以上、１８質量％以上、又は２０質量％以上であってもよい。
　濁質成分の除去率は、ろ過工程において中空糸膜モジュールに持ち込まれた濁質成分量（持ち込みＳＳ量）に対する、第１洗浄工程によって除去されたＳＳ量の比（百分率）として表される。持ち込みＳＳ量は、原水に含まれる濁質成分量と、ろ過水に含まれる濁質成分量との差分、及びろ過工程の実施時間から算出することができる。

　〈第２洗浄工程〉
　第２洗浄工程は、第１洗浄工程による、中空糸膜からの濁質成分の除去の完璧を期し、好ましくはモジュール外に除去する工程である。
　第２洗浄工程では、少なくとも、エアスクラビング処理が行われる。
　第２洗浄工程は、以下の（Ｂ１）～（Ｂ３）のいずれかを行う工程であることが好ましい。
　　（Ｂ１）エアスクラビング処理のみを行う工程（ＡＳ）；
　　（Ｂ２）エアスクラビング処理と逆洗処理とを同時に行う工程（ＡＳＢＷ）；及び
　　（Ｂ３）エアスクラビング処理とフラッシング処理とを同時に行う工程（ＡＳＦＬ）。

　第２洗浄工程が、（Ｂ１）エアスクラビング処理のみを行う工程（ＡＳ）であるとき、その実施時間は、例えば１０～１２０秒であり、好ましくは１５～６０秒である。
　第２洗浄工程が、（Ｂ２）エアスクラビング処理と逆洗処理とを同時に行う工程（ＡＳＢＷ）であるとき、その実施時間は、例えば１０～１２０秒であり、好ましくは１５～６０秒である。
　第２洗浄工程が、（Ｂ３）エアスクラビング処理とフラッシング処理とを同時に行う工程（ＡＳＦＬ）であるとき、その実施時間は、例えば１０～１２０秒であり、好ましくは１５～６０秒である。

　〈第３洗浄工程〉
　第３洗浄工程は、第１洗浄工程及び第２洗浄工程の後に、任意的に行われる工程である。
　この第３洗浄工程は、第１洗浄工程及び第２洗浄工程で除去された濁質成分を、中空糸膜モジュールの外部に排出する工程である。
　第３洗浄工程では、以下の（Ｃ１）及び（Ｃ２）のうちの少なくとも１つの処理が行われる：
　　（Ｃ１）前記中空糸膜の原水側に水を通過させる、フラッシング処理；及び
　　（Ｃ２）前記中空糸膜のろ過水側から原水側に水を通過させる、逆洗処理。

　第３洗浄工程において、（Ｃ１）フラッシング処理を行う場合、中空糸膜の原水側に通過させる水の量は、中空糸膜モジュール内に入る水の量に対して、０．３～３倍の量とすることが好ましく、０．５～２倍の量とすることがより好ましい。
　第３洗浄工程において、（Ｃ２）逆洗処理を行う場合の水量は、透過流速として、ろ過工程の透過流速の０．１～３倍が好ましく、より好ましくは０．３～３倍である。
　第３洗浄工程を行う場合、その実施時間は、好ましくは１０～１２０秒であり、より好ましくは１５～６０秒である。

　（排出工程）
　本実施形態のろ過方法では、洗浄工程の後に、中空糸膜モジュールの内部に残存する洗浄排液を排出する、排出工程を実施してもよく、そうすることが好ましい。
　洗浄工程の後に、排出工程を行うことにより、中空糸膜モジュール内の懸濁物質を、より効果的に排出できる。
　排出工程は、例えば、中空糸膜モジュールの洗浄用排出口から圧縮空気を導入することによって、行うことができる。これにより、中空糸膜モジュール内部に残存する洗浄排液を、モジュールの下部から強制的に排出させることができる。
　排出工程後に、中空糸膜モジュールの重量は、当該中空糸膜モジュールの初期乾燥重量の１．７０倍以下であることが好ましく、より好ましくは１．６０倍以下であり、更に好ましくは１．５５倍以下である。

《有利な効果》
　本実施形態のろ過方法では、所定のろ過工程、及び洗浄工程、並びに好ましくは排出工程から成るサイクルを、２万回繰り返した後の中空糸膜の糸切れの本数を、中空糸膜モジュール内部の全中空糸膜の本数の、０．５％以下に留めることができる。本実施形態の好ましい態様では、上記のサイクルを、１０万回、又は２０万回繰り返しても、中空糸膜の糸切れの本数が、全中空糸膜の本数の０．５％以下とすることができる。

（透水性能の維持性）
　本実施形態の中空糸膜モジュールは、所定のろ過工程、及び洗浄工程、並びに好ましくは記排出工程から成るサイクルをｎ－１回繰り返し、ｎ回目のろ過工程を行った後の中空糸膜モジュールの透水性能Ｌｎと、その直後にｎ回目の洗浄工程を行い、更にｎ＋１回目のろ過工程を行った後の中空糸膜モジュールの透水性能Ｌｎ＋１とが、下記数式：
　　１０５％≧（Ｌｎ＋１／Ｌｎ）×１００≧８０％
の関係を満たすことが好ましい。
　本明細書において、透水性能とは、ろ過フラックス［ＬＭＨ］をその時の圧力［ｋＰａ］で除した値［ＬＭＨ／ｋＰａ］である。

《中空糸膜モジュールの洗浄方法の実施態様》
　本発明の中空糸膜モジュールの洗浄方法は、適当なろ過システムに組み込まれた上述の中空糸膜モジュールに対して、好ましくはろ過工程に引き続いて行うことができる。
　図２に、本発明の中空糸膜モジュールの洗浄方法を実施するための、ろ過システムの一例のフロー図を示した。

　図２のろ過システム（１０００）は、本実施形態の中空糸膜モジュール（１００）、原液タンク（２００）、ストレイナー（２１０）、原水タンク（３００）、ろ過水タンク（４００）、及びコンプレッサ（５００）が、バルブが適宜に配置された配管によって接続された構成を有する。図２では、送液のためのポンプ、各タンクに通常設置されるドレイン配管、薬液洗浄用の薬液タンク及びこれに伴う配管、運転状況チェックのためのセンサ等は省略されている。
　図２のろ過システム（１０００）を用いて、所定のろ過工程及び洗浄工程を含む、本実施形態のろ過方法を、例えば、以下のように行うことができる。

　《ろ過工程（Ｆ）》
　ろ過工程では、中空糸膜モジュール中の中空糸膜に、原水を通過させてろ過して、ろ過水を得る。
　図２のろ過システム（１０００）では、懸濁水、工程プロセス液等の原液を、一旦、原液タンク（２００）に貯蔵した後、ストレイナー（２１０）にて粗ろ過したろ過水を、本実施形態のろ過方法における原水として用いている。原水は、原水タンク（３００）に貯蔵される。
　原水タンク（３００）中の原水は、原水送液バルブ（Ｖ１）を介して、導入口（１）から中空糸膜モジュール（１００）に導入され、中空糸膜の外側から中空糸膜の肉厚部分を通過してろ過され、中空糸膜の内側空間に、ろ過水として浸み出す。中空糸膜の内側空間に浸み出したろ過水は、ろ過水口（２）及びろ過水送液バルブ（Ｖ２）を介して、ろ過水タンク（４００）に貯蔵される。

　《洗浄工程》
　洗浄工程では、第１洗浄工程及び第２洗浄工程がこの順に行われ、任意的に更に第３洗浄工程が行ってよい。
　第１洗浄工程では、（Ａ１）逆洗処理（ＢＷ）、（Ａ２）フラッシング処理（ＦＬ）、及び（Ａ３）ドレイン処理（ＤＬ）のうちの少なくとも１つの処理が行われる。
　第２洗浄工程では、（Ｂ１）エアスクラビング処理（ＡＳ）、（Ｂ２）逆洗－エアスクラビング同時洗浄（ＡＳＢＷ）、又は（Ｂ３）フラッシング－エアスクラビング同時洗浄（ＡＳＦＬ）が行われる。
　任意的な第３洗浄工程では、（Ｃ１）フラッシング処理（ＦＬ）及び（Ｃ２）逆洗処理（ＢＷ）のうちの少なくとも１つの処理が行われる。
　以下、図２のろ過システム（１０００）を用いて、逆洗（ＢＷ）、フラッシング処理（ＦＬ）、ドレイン処理（ＤＬ）、エアスクラビング処理（ＡＳ）、逆洗－エアスクラビング同時洗浄（ＡＳＢＷ）、及びフラッシング－エアスクラビング同時洗浄（ＡＳＦＬ）を実施する方法について説明する。

　〈逆洗（ＢＷ）〉
　ＢＷでは、中空糸膜モジュール中の中空糸膜の内側から外側に、ろ過水を通過させる。
　この場合、ろ過水タンク（４００）内のろ過水が、逆洗用バルブ（Ｖ３）を介して、ろ過水口（２）から中空糸膜モジュール（１００）に導入され、中空膜の内側から中空糸膜の肉厚部分を通過して、中空糸膜の外側空間に浸み出す。この過程で、中空糸膜の肉厚部の細孔内に堆積した懸濁物質は、中空糸膜の外側に押し出されることにより、中空糸膜の洗浄が行われる。
　中空糸膜の外側空間に浸み出したろ過水は、下記のいずれかの方法で排出することができる：
　　洗浄用排出口（３）及び洗浄用排出バルブ（Ｖ５）を介して、系外に排出する方法；
　　導入口（１）及び洗浄排液ドレインバルブ（Ｖ４）を介して、系外に排出する方法；並びに
　　洗浄用排出口（３）及び洗浄用排出バルブ（Ｖ５）を介して系外に排出するとともに、導入口（１）及び洗浄排液ドレインバルブ（Ｖ４）を介して系外に排出る方法。

　〈フラッシング処理（ＦＬ）〉
　ＦＬでは、中空糸膜の外側に原水を通過させて、中空糸膜の外側表面に付着している懸濁物質を押し流して洗浄する。
　ＦＬでは、原水タンク（３００）内の原水は、原水送液バルブ（Ｖ１）を介して導入口（１）から中空糸膜モジュール（１００）に導入された後、中空糸膜の外側空間を通過して、洗浄用排出口（３）及び洗浄排液排出バルブ（Ｖ５）を介して、系外に排出される。

　〈ドレイン処理（ＤＬ）〉
　ＤＬでは、中空糸膜モジュールの内部に残存する洗浄排液を排出する。
　このＤＬは、下記のいずれかの方法で行うことができる：
　　ドレイン処理用圧縮空気バルブ（Ｖ７）を介して、中空糸膜モジュール（１００）の洗浄用排出口（３）から導入した圧縮空気を、中空糸膜モジュールの内部に残存する洗浄排液とともに、導入口（１）及び洗浄排液ドレインバルブ（Ｖ４）を介して、系外に排出する方法；並びに
　　中空糸膜モジュールの内部に残存する洗浄排液を、自重により、洗浄排液ドレインバルブ（Ｖ４）を介して、系外に排出する方法。

　〈エアスクラビング処理（ＡＳ）〉
　ＡＳでは、圧縮空気を導入口から導入し洗浄用排出口から排出して、中空糸膜の外側を通過する空気（気泡）によって中空糸膜を揺らす。
　ＡＳでは、コンプレッサ（５００）によって圧縮された空気が、ＡＳ用バルブ（Ｖ６）を介して導入口（１）から中空糸膜モジュール（１００）に導入され、中空糸膜の外側空間を通過して、洗浄用排出口（３）及び洗浄排液排出バルブ（Ｖ５）を介して、系外に排出される。

　〈逆洗－エアスクラビング同時洗浄（ＡＳＢＷ）〉
　ＡＳＢＷでは、上述のＢＷとＡＳとを同時に行う。すなわち、ろ過水タンク（４００）内のろ過水が、逆洗用バルブ（Ｖ３）を介してろ過水口（２）から中空糸膜モジュール（１００）に導入され、導入口（１）及び洗浄排液ドレインバルブ（Ｖ４）を介して、系外に排出されるとともに、コンプレッサ（５００）による圧縮空気が、ＡＳ用バルブ（Ｖ６）を介して導入口（１）から中空糸膜モジュール（１００）に導入され、洗浄用排出口（３）及び洗浄排液排出バルブ（Ｖ５）を介して、系外に排出される。

　〈フラッシング－エアスクラビング同時洗浄（ＡＳＦＬ）〉
　ＡＳＦＬでは、上述のＦＬとＡＳとを同時に行う。すなわち、原水タンク（３００）内の被処理液が、原水送液バルブ（Ｖ１）を介して導入口（１）から中空糸膜モジュール（１００）に導入された後、洗浄用排出口（３）及び洗浄排液排出バルブ（Ｖ５）を介して、系外に排出されるとともに、コンプレッサ（５００）による圧縮空気が、ＡＳ用バルブ（Ｖ６）を介して導入口（１）から中空糸膜モジュール（１００）に導入され、洗浄用排出口（３）及び洗浄排液排出バルブ（Ｖ５）を介して、系外に排出される。

　《排出工程》
　本発明の中空糸膜モジュールの洗浄方法では、洗浄工程の後に、中空糸膜モジュールの内部に残存する洗浄排液を排出する、排出工程を行ってもよい。
　図２のろ過システム（１０００）を用いる場合、排出工程は、排出工程用圧縮空気バルブ（Ｖ７）を介して、中空糸膜モジュール（１００）の洗浄用排出口（３）から導入した圧縮空気を、中空糸膜モジュールの内部に残存する洗浄排液とともに、導入口（１）及び洗浄排液ドレインバルブ（Ｖ４）を介して、系外に排出することにより、行うことができる。

　《中空糸膜モジュール》
　本発明の別の観点によると、多孔質中空糸膜を用いるろ過運転が、洗浄工程を伴う場合に、洗浄効率に優れ、ろ過性能の経時的劣化が抑制され、かつ、中空糸膜及びこれを含むモジュールの寿命を損なわない、中空糸膜モジュールが提供される。

　このような中空糸膜モジュールは、
　複数本の中空糸膜から成る中空糸膜束と、
　前記中空糸膜束が収納されたハウジングと、
　前記中空糸膜束の両端部と前記ハウジングとを接着固定する、接着固定部と
を備えた中空糸膜モジュールであって、
　前記中空糸膜は、精密ろ過（ＭＦ）膜又は限外ろ過（ＵＦ）膜であり、
　前記接着固定部は、
　　前記中空糸膜の一方の端部において、前記中空糸膜同士、及び前記中空糸膜束と前記ハウジングの内壁とを樹脂材によって接着固定する第１接着固定層と、
　　前記中空糸膜の他方の端部において、前記中空糸膜同士及び前記中空糸膜束と前記ハウジングの内壁とを樹脂材によって接着固定する第２接着固定層と
を備え、
　前記中空糸膜モジュールは、
　　前記中空糸膜モジュールの外部と前記中空糸膜の外側の空間とを連通する導入口、
　　前記中空糸膜モジュールの外部と前記中空糸膜の内側の空間とを連通するろ過水口、及び
　　前記中空糸膜モジュールの外部と前記中空糸膜の外側の空間とを連通する洗浄用排出口
を備え、
　以下の条件（Ａ）、（Ｂ）、及び（Ｃ）：
　　（Ａ）前記中空糸膜の断面積の合計が、前記ハウジングの内部断面積に占める割合として表される、中空糸膜の充填率が、３８％以下であること；
　　（Ｂ）前記中空糸膜の外径が、１．１ｍｍ以下であること；及び
　　（Ｃ）前記中空糸膜の合計膜面積が、７０ｍ^２以上であること；
のすべてを満たす、中空糸膜モジュールである。

　この中空糸膜モジュールにおける中空糸膜の有効長は、１．６ｍ以上であることが好ましい。
　中空糸膜モジュールの接着固定部には、中空糸膜の配置を規制するための規制部材がないことが好ましい。
　また、第１接着固定層では中空糸膜の中空部が開口しており、第２接着固定層では中空糸膜の中空部が封止されていることが好ましい。
　更に、第２接着固定層が、第２接着固定層を貫通する孔を有することが好ましい。
　上記の中空糸膜モジュールのその他の態様については、本発明の洗浄方法が適用される中空糸膜モジュールの説明として上記した記載を援用できる。

　《ろ過方法》
　本発明の更に別の観点によると、上記の中空糸膜モジュールを用いて行うろ過方法が提供される。
　このろ過方法は、
　上記の中空糸膜モジュールを用いて、原水をろ過する、ろ過方法であって、
　前記ろ過方法は、
　　外圧ろ過により、前記中空糸膜に原水を通過させてろ過してろ過水を得る、ろ過工程；及び
　　前記ろ過工程の後に行われる、洗浄工程
を含み、
　前記洗浄工程は、
　逆流洗浄又はフラッシングを行う第１洗浄工程、及び第２洗浄工程をこの順に含み、
　前記第２洗浄工程は、
　　前記中空糸膜の内側から外側に、前記ろ過水を通過させる逆流洗浄、又は原水を前記導入口から導入し、前記洗浄用排出口から排出するフラッシングと、
　　気泡を含む原水を前記導入口から導入し、前記洗浄用排出口から排出して、前記気泡によって中空糸膜を揺らす、エアスクラビングと
を組み合わせて行って、前記中空糸膜の外側表面を洗浄する、逆流洗浄－エアスクラビング同時洗浄、又はフラッシング－エアスクラビング同時洗浄
を行う、
ろ過方法である。このろ過方法では、洗浄工程において第１洗浄工程を行わなくてもよく、第１洗浄工程を行わなくても高い洗浄効果が得られる。

　上記ろ過方法において、第１洗浄工程及び第２洗浄工程の後に、第３洗浄工程を更に含んでいてよい。
　この第３洗浄工程は、以下の（Ｃ１）及び（Ｃ２）のうちの少なくとも１つの処理を行う工程であってよい：
　　（Ｃ１）中空糸膜の原水側に水を通過させる、フラッシング処理；及び
　　（Ｃ２）中空糸膜のろ過水側から原水側に水を通過させる、逆流洗浄処理。

　上記ろ過方法では、洗浄工程の後に、導入口又は洗浄用排出口から中空糸膜の外側及び中空部の洗浄排液を排出する、排出工程を含むことが好ましい。
　この排出工程は、導入口又は洗浄用排出口に圧縮空気を導入して、洗浄排液を強制的に排出する工程であることが好ましい。
　そして、上記の中空糸膜モジュールによってろ過される原水の平均濁度は、１０度以上であることが、中空糸膜モジュールの性能を好適に発揮できるため、好ましい。

《中空糸膜モジュール》
　以下の実施例及び比較例では、旭化成（株）製の中空糸状のろ過膜（限外ろ過膜、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）製、外径１．２ｍｍ、内径０．７ｍｍ、長さ２ｍ、膜の平均孔径０．０８μｍ）６，６００本を束ねて、ＡＢＳ製のケーシング（長さ２ｍ、直径６インチ、円筒形）に収納して作製された、外圧式中空糸膜モジュール（合計膜面積５０ｍ^２）を用いた。

《試験方法》
　原水として、濁質成分として浮遊物質（ＳＳ）を含む河川表流水を用いた。この河川表流水のＳＳ量は０．０２４ｇ／Ｌ、ＴＯＣ（全有機炭素量）は０．００３ｇ／Ｌであった。
　中空糸膜モジュールの中空糸膜外側空間に、原水を、膜面積１ｍ^２当たり、１日当たりの流量として、２．４ｍ^３／ｍ^２／日（＝５，０００Ｌ／ｈｒ）にて供給し、かつ排出水側に原水を流さない、定流量外圧全量ろ過方式で、３０分間のろ過運転を行った。
　次いで、各実施例又は比較例所定の洗浄を行った。
　以上の３０分間のろ過運転、及び所定の洗浄から成るサイクルを繰り返して、１２か月間の運転を行った。

　１２か月後、膜間差圧を測定し、リーク検査を行った。
　更に、次亜塩素酸ナトリウムと水酸化ナトリウムとの混合水溶液、及びクエン酸水溶液を順次に用いて、１２か月運転後の中空糸膜モジュールの薬品洗浄を行った後に、透水量を測定し、未使用の中空糸膜モジュールの透水量と比較した。
　なお、比較例４及び５については、１２か月間の安定運転が行えなかったため、安定運転が不可能になった時点で運転を停止して、その時点における膜間差圧を測定した。
　また、実施例及び第１洗浄工程を行った比較例については、運転開始後第１回目洗浄時の第１洗浄工程によって除去されたＳＳ量を測定し、持ち込みＳＳ量に対する除去率（質量％）を算出した。３０分のろ過運転の間に、原水から中空糸膜モジュールに持ち込まれるＳＳ量は、６０ｇである（５，０００Ｌ／ｈｒ×０．５ｈｒ×０．０２４ｇ／Ｌ＝６０ｇ）

《実施例Ａ１》
　実施例Ａ１では、
　　第１洗浄工程として、ろ過水による逆流洗浄処理を行い、
　　次いで、第２洗浄工程として、ろ過水による逆流洗浄処理と、空気によるエアスクラビング処理とを、同時に行い、
　　その後、第３洗浄工程として、原水によるフラッシング処理を行う
方法により、洗浄した。各工程の洗浄条件は、以下のとおりである。
　〈第１洗浄工程〉
　　逆流洗浄処理：ろ過水側から原水側へ、ろ過水を２，０００Ｌ／ｈｒの流量で通過させる処理
　　第１洗浄工程実施時間：３０秒間
　〈第２洗浄工程〉
　　逆流洗浄処理：ろ過水側から原水側へ、ろ過水を２．０００Ｌ／ｈｒの流量で通過させる処理
　　エアスクラビング：原水側に、空気を５Ｎｍ^３／ｈｒの流量で通過させる処理
　　第２洗浄工程実施時間：１分間
　〈第３洗浄工程〉
　　フラッシング処理：原水側に、原水を３ｍ^３／ｈｒの流量にて通過させる処理
　　第３洗浄工程実施時間：１分間
　実施例Ａ１の第１洗浄工程では、洗浄前に中空糸膜モジュール内に存在した水のうち、当該モジュールの容量（ホールドアップ量）の５０体積％が、ろ過水によって置換された。

《実施例Ａ２》
　実施例Ａ２では、第１洗浄工程として、原水によるフラッシングを行い、その後、実施例Ａ１と同じ条件にて、第２洗浄工程及び第３洗浄工程を行う方法により、洗浄した。第１洗浄工程の洗浄条件は、以下のとおりである。
　〈第１洗浄工程〉
　　フラッシング処理：原水側に、原水を３，０００Ｌ／ｈｒの流量で通過させる処理
　　第１洗浄工程実施時間：３０秒間
　実施例Ａ２の第１洗浄工程では、洗浄前に中空糸膜モジュール内に存在した水のうち、当該モジュールの容量（ホールドアップ量）の７０体積％が、原水によって置換された。

《実施例Ａ３》
　実施例Ａ３では、第１洗浄工程として、空気によるドレイン処理を３０秒間行い、その後、実施例Ａ１と同じ条件にて、第２洗浄工程及び第３洗浄工程を行う方法により、洗浄した。第１洗浄工程の洗浄条件は、以下のとおりである。
　〈濁質除去工程〉
　　ドレイン処理：中空糸膜モジュール内の水のうち、当該モジュールの容量（ホールドアップ量）の５０体積％を排出する処理

《実施例Ａ４》
　実施例Ａ４では、第１洗浄工程として、ろ過水による逆流洗浄処理を行い、次いで、第２洗浄工程として、空気によるエアスクラビング処理を行い、その後、実施例Ａ１と同じ条件にて、第３洗浄工程を行う方法により、洗浄した。第１洗浄工程及び第２洗浄工程の洗浄条件は、以下のとおりである。
　〈第１洗浄工程〉
　　逆流洗浄処理：ろ過水側から原水側へ、ろ過水を２，０００Ｌ／ｈｒの流量で通過させる処理
　　第１洗浄工程実施時間：３０秒間
　〈第２洗浄工程〉
　　エアスクラビング処理：原水側に、空気を５Ｎｍ^３／ｈｒの流量で通過させる処理
　　第２洗浄工程実施時間：１分間
　実施例Ａ４の第１洗浄工程では、洗浄前に中空糸膜モジュール内に存在した水のうち、当該モジュールの容量（ホールドアップ量）の５０体積％が、ろ過水によって置換された。

《実施例Ａ５》
　実施例Ａ５では、第１洗浄工程として、ろ過水による逆流洗浄を行い、次いで、第２洗浄工程として、原水によるフラッシング処理と、空気によるエアスクラビング処理とを同時に行い、その後実施例Ａ１と同じ条件にて、第３洗浄工程を行う方法により、洗浄した。第１洗浄工程及び第２洗浄工程の洗浄条件は、以下のとおりである。
　〈第１洗浄工程〉
　　逆流洗浄処理：ろ過水側から原水側へ、ろ過水を２，０００Ｌ／ｈｒの流量で通過させる処理
　　第１洗浄工程実施時間：３０秒間
　〈第２洗浄工程〉
　　原水フラッシング処理：原水側に、原水を３，０００Ｌ／ｈｒの流量で通過させる処理
　　エアスクラビング処理：原水側に、空気を５Ｎｍ^３／ｈｒの流量で通過させる処理
　　第２洗浄工程実施時間：１分間
　実施例Ａ５の第１洗浄工程では、洗浄前に中空糸膜モジュール内に存在した水のうち、当該モジュールの容量（ホールドアップ量）の５０体積％が、ろ過水によって置換された。

《比較例Ａ１》
　比較例Ａ１では，第１洗浄工程及び第２洗浄工程の条件を、それぞれ、以下のように変更した他は、実施例Ａ２と同様にして、洗浄を行った。第１洗浄工程及び第２洗浄工程の洗浄条件は、以下のとおりである。
　〈第１洗浄工程〉
　　フラッシング処理：原水側に、原水を３，０００Ｌ／ｈｒの流量で通過させる処理
　　第１洗浄工程実施時間：１０秒間
　〈第２洗浄工程〉
　　逆流洗浄処理：ろ過水側から原水側へ、ろ過水を２，０００Ｌ／ｈｒの流量で通過させる処理
　　エアスクラビング：原水側に、空気を５Ｎｍ^３／ｈｒの流量で通過させる処理
　　第２洗浄工程実施時間：１分間
　比較例Ａ１の第１洗浄工程では、洗浄前に中空糸膜モジュール内に存在した水のうち、当該モジュールの容量（ホールドアップ量）の３０体積％が、原水によって置換された。

《比較例Ａ２》
　比較例Ａ２では，第１洗浄工程及び第２洗浄工程の条件を、それぞれ、以下のように変更した他は、実施例Ａ２と同様にして、洗浄を行った。第１洗浄工程及び第２洗浄工程の洗浄条件は、以下のとおりである。
　〈第１洗浄工程〉
　　フラッシング処理：原水側に、原水を３，０００Ｌ／ｈｒの流量で通過させる処理
　　第１洗浄工程実施時間：１５秒間
　〈第２洗浄工程〉
　　逆流洗浄処理：ろ過水側から原水側へ、ろ過水を２，０００Ｌ／ｈｒの流量で通過させる処理
　　エアスクラビング処理：原水側に、空気を５Ｎｍ^３／ｈｒの流量で通過させる処理
　　第２洗浄工程実施時間：１分間
　比較例Ａ２の第１洗浄工程では、洗浄前に中空糸膜モジュール内に存在した水のうち、当該モジュールの容量（ホールドアップ量）の４０体積％が、原水によって置換された。

《比較例Ａ３》
　比較例Ａ３では、
　　第１洗浄工程を行わず、
　　第２洗浄工程として、空気によるエアスクラビング処理を行い、
　　その後、第３洗浄工程として、原水によるフラッシング処理を行う
方法により、洗浄した。各工程の洗浄条件は、以下のとおりである。
　〈第２洗浄工程〉
　　エアスクラビング処理：原水側に、空気を５Ｎｍ^３／ｈｒの流量で通過させる処理
　　第２洗浄工程実施時間：１分間
　〈第３洗浄工程〉
　　フラッシング処理：原水側に、原水を３ｍ^３／ｈｒの流量にて通過させる処理
　　第３洗浄工程実施時間：１分間

《比較例Ａ４》
　比較例Ａ４では、第１洗浄工程を行わず、実施例Ａ１と同じ条件にて第２洗浄工程及び第３洗浄工程のみを行う方法により、洗浄した。

《比較例Ａ５》
　比較例Ａ５では、第１洗浄工程を行わず、実施例Ａ５と同じ条件にて第２洗浄工程及び第３洗浄工程のみを行う方法により、洗浄した。

《比較例Ａ６》
　比較例Ａ６では、以下の条件にて第１洗浄工程及び第３洗浄工程のみを行い、第２洗浄工程を行わない方法により、洗浄した。第１洗浄工程及び第３洗浄工程の洗浄条件は、以下のとおりである。
　〈第１洗浄工程〉
　　逆流洗浄処理：ろ過水側から原水側へ、ろ過水を１，０００Ｌ／ｈｒの流量で通過させる処理
　　第１洗浄工程実施時間：１分間
　〈第３洗浄工程〉
　　フラッシング処理：原水側に、原水を３Ｎｍ^３／ｈｒの流量にて通過させる処理
　　第３洗浄工程実施時間：１分間
　この第１洗浄工程の逆流洗浄処理により、洗浄前に中空糸膜モジュール内に存在した水のうち、当該モジュールの容量（ホールドアップ量）の７０体積％が、ろ過水によって置換された。
　しかしながら、この比較例Ａ６では、本発明所定の第２洗浄工程を行っていない点に留意されたい。

《比較例Ａ７》
　比較例Ａ７では、以下の条件にて第１洗浄工程のみを行い、第２洗浄工程及び第３洗浄工程を行わない方法により、洗浄した。第１洗浄工程の洗浄条件は、以下のとおりである。
　〈第１洗浄工程〉
　　フラッシング処理：原水側に、原水を１．２ｍ^３／ｈｒの流量にて通過させる処理
　　第１洗浄工程実施時間：１分間
　この第１洗浄工程の原水フラッシング処理により、洗浄前に中空糸膜モジュール内に存在した水のうち、当該モジュールの容量（ホールドアップ量）の８０体積％が、原水によって置換された。
　しかしながら、この比較例Ａ７では、本発明所定の第２洗浄工程を行っていない点に留意されたい。

　上記実施例及び比較例の結果を、表１に示した。
　表１では、逆流洗浄処理を「ＢＷ」、原水によるフラッシング処理を「ＦＬ」、ドレイン処理を「ＤＬ」、エアスクラビング処理を「ＡＳ」、逆洗とエアスクラビングとの同時実施（逆洗－エアスクラビング同時洗浄）を「ＡＳＢＷ」、フラッシングとエアスクラビングとの同時実施（フラッシング－エアスクラビング同時洗浄）を「ＡＳＦＬ」と表記した。

　以下の実施例及び比較例における評価は、以下の手法により行った。
＜濁質排出性試験＞
　濁質排出性試験では、ろ過工程において中空糸膜モジュールに持ち込まれた濁質成分の総和（原水中の濁度×ろ過液量）が、洗浄工程においてどれだけ排出されたかを調べた。
　例えば、運転シーケンスを、Ｆ（２８．５分）－ＡＳＢＷ（１分）－ＦＬ（０．５分）とし、原水の濁度を１０ＮＴＵ、ろ過液量を１０ｍ^３／ｈｒ、逆洗水量を１０ｍ^３／ｈｒ、ＦＬ水量を１０ｍ^３／ｈｒとして運転したときに、ＡＳＢＷ時の排出水の平均濁度が２００ＮＴＵ、ＦＬ時の排出水の平均濁度が５０ＮＴＵであった場合、濁質排出性は、以下のように算出される。
　　［｛（１×２００×１０）＋（０．５×５０×１０）｝／（２８．５×１０×１０）］×１００＝７９％

＜擦過耐久性試験＞
　中空糸膜に濁質が堆積した状態でエアスクラビングを実施すると、濁質とともに中空糸膜同士が擦れて、中空糸膜の細孔が閉塞して、透水量が減少する場合がある。そこで、洗浄工程にエアスクラビングを含むろ過運転の加速試験を行い、透水量の保持率を調べ、擦過耐久性の指標とした。
　原水濁度を１０ＮＴＵに設定し、運転シーケンスの１サイクルを、Ｆ（１分）－ＡＳＢＷ（１分）－ＦＬ（０．５分）の加速運転条件として、１０，０００サイクルのろ過運転実施前後の中空糸膜モジュールの純水透水量の保持率を算出した。

＜回収率＞
　回収率は、ろ過工程で得たろ過水量から洗浄工程で消費されたろ過水量を差し引き、１サイクルで設定したろ過ＦＬＵＸ（透過流速）の何％がろ過水として確保できたかを示す指標である。
　例えば、運転シーケンスの１サイクルを、Ｆ（２８．５分）－ＡＳＢＷ（１分）－ＦＬ（０．５分）とし、ろ過ＦＬＵＸを１０ｍ^３／ｈｒ、逆洗水量を８ｍ^３／ｈｒとしたとき、回収率は、以下のように算出される。
　　［｛（２８．５×１０÷６０）―（１×８÷６０）｝／（３０×１０÷６０）］×１００＝９２％

　（実施例Ｂ１：参考例）
　ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビリニデン）製中空糸膜（旭化成（株）製）１６，５００本を２．３ｍの長さで束ね、垂直に吊るし、下側端面を切断することによって面をそろえた。次に周長が１７０ｍｍになるように、メンディングテープで膜束の円周に全周に渡って貼付した。さらにウレタン樹脂３００ｇを混合吐出機で測り取り、膜束の下面に３０秒浸漬させて、すぐに離した。この後、４時間室温放置して膜束の下面に含侵したウレタン樹脂を硬化させ、中空部を封止した。こうしてできた膜束を、中空糸膜束を収納するための第１筒状部材（パイプ内径２００ｍｍ）、及及び内径２１６ｍｍの整流筒が内側に装着された第２筒状部材（パイプ内径２１８ｍｍ）を有する、ハウジング内に挿入した。
　ここで用いた中空糸膜は、平均細孔径０．１μｍ、内径０．６ｍｍ、外径０．９５ｍｍである。

　次いで、第１筒状部材側の中空糸膜束の端部（第１接着固定層）における、貫通孔形成予定位置に、柱状部材（直径１１ｍｍ）４０本を挿入した。

　次いで、ポッティング材導入用チューブを取り付けた接着固定部形成用容器をハウジングの両端に固定した状態で、回転させながら、ポッティング材をハウジングの第１筒状部材内及び第２筒状部材内に注入した。ポッティング材としては、２液性熱硬化型ウレタン樹脂（サンユレック（株）製、ＳＡ－６３３０Ａ２／ＳＡ－６３３０Ｂ５（商品名））を用いた。ポッティング材の硬化反応が進行して流動化が停止した時点で遠心機の回転を停止して、ハウジングを取り出し、オーブン中で５０℃に加熱して、ウレタン樹脂をキュアした。

　その後、ハウジングの第２筒状部材側の膜束端部を切断して、接着前の段階で封止した側の中空糸膜の中空部を開口させた。一方、第１筒状部材側の第１接着固定部から柱状部材を取り除いて複数の貫通孔を形成した。なお、本中空糸膜モジュールの膜有効長は２．０ｍである。

　製造した中空糸膜モジュールの充填率は、３７．２％であった。

　製造した中空糸膜モジュールの端面における接着固定部について、ＪＩＳ　Ｋ７２１５に準拠して測定したＤ硬度は、５５Ｄであった。なお、接着固定部のＤ硬度測定は、荷重保持時間を１０秒とし、硬度の値は、端面の接着固定部から無作為に選んだ５点の平均値である。

　次いで、図２に示したろ過システムに、上記で得られた中空糸膜モジュールを、中空糸膜の中空部が開口した側を上にして取り付け、濁質排出性試験、及び擦過耐久性試験を行った。

　濁質排出性は、以下の設定の運転によって調べた。
　　運転シーケンス：Ｆ（２８．５分）－ＡＳＢＷ（１分）－ＦＬ（０．５分）を、この順に設定
　　原水の濁度: １０ＮＴＵ
　　ろ過ＦＬＵＸ：１００ＬＭＨ
　　逆洗ＦＬＵＸ：８０ＬＭＨ
　　ＦＬ流量：３ｍ^３／ｈｒ
　その結果、ＡＳＢＷ時の排出水の平均濁度は２５０ＮＴＵであり、ＦＬ時の排出水の平均濁度は１８０ＮＴＵであった。また、モジュールに持込まれた濁質のうち、排除された濁質の質量割合（濁質排除率）は、８０質量％であった。

　擦過耐久性は、以下の設定の運転によって調べた。
　　運転シーケンス：Ｆ（１分）－ＡＳＢＷ（１分）－ＦＬ（０．５分）を、この順に設定
　　原水濁度：１２０ＮＴＵ
　　ろ過ＦＬＵＸ：１００ＬＭＨ
　　逆洗ＦＬＵＸ：８０ＬＭＨ
　　ＦＬ流量：３ｍ^３／ｈｒ
　上記条件下で１０，０００サイクル運転後の中空糸膜モジュールの純水透水量と、初期の純水透水量とを比較して、透水量保持率を求めたところ、透水量保持率は８０％であった。

　なお、表２中の「フットプリント」は、「ＳＳ除去率」は、運転開始後第１回目洗浄時の第１洗浄工程によって除去されたＳＳ量を測定し、持ち込みＳＳ量に対する除去率（質量％）を示す値である。また、「回収率」とは、ろ過ＦＬＵＸのうち、ろ過水として確保できた液量の占める割合を、質量％単位で示した値である。

　（実施例Ｂ２～Ｂ８及び比較例Ｂ１～Ｂ７）
　膜モジュールの仕様、及び試験条件を、それぞれ、表２のとおりとした他は、実施例Ｂ１と同様にして、膜モジュールを作製して、濁質排出性試験、及び擦過耐久性試験を行った。
　なお、実施例Ｂ２及びＢ３は、参考例である。
　結果を、表２にまとめた。

　上記の実施例及び比較例において、原水としては、浄水場の砂ろ過逆洗排水を希釈して、表２に示した濁度に調整したものを用いた。

　１　　導入口
　２　　ろ過水口
　３　　洗浄用排出口
　１０　　中空糸膜束
　１１　　中空糸膜
　２０　　接着固定部
　２１　　第１接着固定層
　２２　　第２接着固定層
　３０　　ハウジング
　３１　　第１筒状部材
　３２Ａ　　第２筒状部材Ａ
　３２Ｂ　　第２筒状部材Ｂ
　４１　　中空糸の内側空間
　４２　　中空糸の外側空間
　５０　　整流筒
　１００　　中空糸膜モジュール
　２００　　原液タンク
　２１０　　ストレイナー
　３００　　原水タンク
　４００　　ろ過水タンク
　５００　　コンプレッサ
　１０００　　ろ過システム
　Ｖ１　　原水送液バルブ
　Ｖ２　　ろ過水送液バルブ
　Ｖ３　　逆洗用バルブ
　Ｖ４　　洗浄排液ドレインバルブ
　Ｖ５　　洗浄排液排出バルブ
　Ｖ６　　エアスクラビング用バルブ
　Ｖ７　　ドレイン処理用圧縮空気バルブ

Claims

　濁質成分を含む原水をろ過するための中空糸膜を含む中空糸膜モジュールの洗浄方法であって、
　前記中空糸膜に堆積した濁質成分を除去する、第１洗浄工程と、
　少なくとも、前記中空糸膜の原水側に気体を通過させる、エアスクラビング処理を行う、第２洗浄工程と
をこの順に含み、
　前記第１洗浄工程において、洗浄前に前記中空糸膜モジュール内に存際していた水のうち、前記中空糸膜モジュール容量の５０体積％以上が除去される、
中空糸膜モジュールの洗浄方法。
　前記第１洗浄工程が、以下の（Ａ１）～（Ａ３）のうちの少なくとも１つの処理を行う工程である、請求項１に記載の中空糸膜モジュールの洗浄方法：
　　（Ａ１）前記中空糸膜のろ過水側から原水側に水を通過させる、逆流洗浄処理；
　　（Ａ２）前記中空糸膜の原水側に水を通過させる、フラッシング処理；及び
　　（Ａ３）中空糸膜モジュール内の液体を排出させる、ドレイン処理。
　前記第１洗浄工程において、前記中空糸膜に堆積した濁質成分の７質量％以上を除去する、請求項１又は２に記載の中空糸膜モジュールの洗浄方法。
　前記第２洗浄工程が、以下６（Ｂ１）～（Ｂ３）のいずれかを行う工程である、請求項１又は２に記載の中空糸膜モジュールの洗浄方法：
　　（Ｂ１）前記中空糸膜の原水側に気体を通過させる、エアスクラビング処理のみを行う工程；
　　（Ｂ２）前記中空糸膜の原水側に気体を通過させる、エアスクラビング処理と、前記中空糸膜のろ過水側から原水側に水を通過させる、逆流洗浄処理とを同時に行う工程；及び
　　（Ｂ３）前記中空糸膜の原水側に気体を通過させる、エアスクラビング処理と、前記中空糸膜の原水側に水を通過させる、フラッシング処理とを同時に行う工程。
　前記第１洗浄工程及び前記第２洗浄工程の後に、
　前記濁質成分を前記中空糸膜モジュールの外部に排出させる第３洗浄工程を更に含む、
請求項１～４のいずれか一項に記載の中空糸膜モジュールの洗浄方法。
　前記第３洗浄工程が、以下の（Ｃ１）及び（Ｃ２）のうちの少なくとも１つの処理を行う工程である、請求項５に記載の中空糸膜モジュールの洗浄方法：
　　（Ｃ１）前記中空糸膜の原水側に水を通過させる、フラッシング処理；及び
　　（Ｃ２）前記中空糸膜のろ過水側から原水側に水を通過させる、逆流洗浄処理。
　前記中空糸膜モジュールが、
　　複数本の中空糸膜から成る中空糸膜束と、
　　前記中空糸膜束が収納されたハウジングと、
　　前記中空糸膜束の両端部と前記ハウジングとを接着固定する、接着固定部と、
　　前記中空糸膜モジュールの外部と前記中空糸膜の外側空間とを連通する導入口と、
　　前記中空糸膜モジュールの外部と前記中空糸膜の内側空間とを連通するろ過水口と、
　　前記中空糸膜モジュールの外部と前記中空糸膜の外側空間とを連通する洗浄用排出口と
を備えている、請求項１～６のいずれか一項に記載の中空糸膜モジュールの洗浄方法。
　前記中空糸膜が、精密ろ過（ＭＦ）膜又は限外ろ過（ＵＦ）膜である、請求項７に記載の中空糸膜モジュールの洗浄方法。
　前記接着固定部が、
　　前記中空糸膜の一方の端部において、前記中空糸膜同士、及び前記中空糸膜束と前記ハウジングの内壁とを樹脂材によって接着固定する第１接着固定層と、
　　前記中空糸膜の他方の端部において、前記中空糸膜同士及び前記中空糸膜束と前記ハウジングの内壁とを樹脂材によって接着固定する第２接着固定層と
を備えている、
請求項７又は８に記載の中空糸膜モジュールの洗浄方法。
　複数本の中空糸膜から成る中空糸膜束と、
　前記中空糸膜束が収納されたハウジングと、
　前記中空糸膜束の両端部と前記ハウジングとを接着固定する、接着固定部と
を備えた中空糸膜モジュールであって、
　前記中空糸膜は、精密ろ過（ＭＦ）膜又は限外ろ過（ＵＦ）膜であり、
　前記接着固定部は、
　　前記中空糸膜の一方の端部において、前記中空糸膜同士、及び前記中空糸膜束と前記ハウジングの内壁とを樹脂材によって接着固定する第１接着固定層と、
　　前記中空糸膜の他方の端部において、前記中空糸膜同士及び前記中空糸膜束と前記ハウジングの内壁とを樹脂材によって接着固定する第２接着固定層と
を備え、
　前記中空糸膜モジュールは、
　　前記中空糸膜モジュールの外部と前記中空糸膜の外側の空間とを連通する導入口、
　　前記中空糸膜モジュールの外部と前記中空糸膜の内側の空間とを連通するろ過水口、及び
　　前記中空糸膜モジュールの外部と前記中空糸膜の外側の空間とを連通する洗浄用排出口
を備え、
　以下の条件（Ａ）、（Ｂ）、及び（Ｃ）：
　　（Ａ）前記中空糸膜の断面積の合計が、前記ハウジングの内部断面積に占める割合として表される、中空糸膜の充填率が、３８％以下であること；
　　（Ｂ）前記中空糸膜の外径が、１．１ｍｍ以下であること；及び
　　（Ｃ）前記中空糸膜の合計膜面積が、７０ｍ^２以上であること；
のすべてを満たす、中空糸膜モジュール。
　前記中空糸膜の有効長が１．６ｍ以上である、請求項１０に記載の中空糸膜モジュール。
　前記中空糸膜モジュールの前記接着固定部に、中空糸膜の配置を規制するための規制部材がない、請求項１０又は１１に記載の中空糸膜モジュール。
　前記第１接着固定層において、前記中空糸膜の中空部が開口しており、
　前記第２接着固定層において、前記中空糸膜の中空部が封止されている、
請求項１２に記載の中空糸膜モジュール。
　前記第２接着固定層が、前記第２接着固定層を貫通する孔を有する、請求項１０～１３のいずれか一項に記載の中空糸膜モジュール。
　前記請求項１０～１４のいずれか一項に記載の中空糸膜モジュールを用いて、被ろ過液をろ過する、ろ過方法であって、
　前記ろ過方法は、
　　外圧ろ過により、前記中空糸膜に被ろ過液を通過させてろ過してろ過水を得る、ろ過工程；及び
　　前記ろ過工程の後に行われる、洗浄工程
を含み、
　前記洗浄工程が、請求項１～６のいずれか一項に記載の洗浄方法である、
ろ過方法。
　前記請求項１０～１４のいずれか一項に記載の中空糸膜モジュールを用いて、被ろ過液をろ過する、ろ過方法であって、
　前記ろ過方法は、
　　外圧ろ過により、前記中空糸膜に被ろ過液を通過させてろ過してろ過水を得る、ろ過工程；及び
　　前記ろ過工程の後に行われる、洗浄工程
を含み、
　前記洗浄工程は、
　逆流洗浄又はフラッシングを行う第１洗浄工程、及び第２洗浄工程をこの順に含み、
　前記第２洗浄工程は、
　　前記中空糸膜の内側から外側に、前記ろ過水を通過させる逆流洗浄、又は被ろ過液を前記導入口から導入し、前記洗浄用排出口から排出するフラッシングと、
　　気泡を含む被ろ過液を前記導入口から導入し、前記洗浄用排出口から排出して、前記気泡によって中空糸膜を揺らす、エアスクラビングと
を組み合わせて行って、前記中空糸膜の外側表面を洗浄する、逆流洗浄－エアスクラビング同時洗浄、又はフラッシング－エアスクラビング同時洗浄
を行う、
ろ過方法。
　前記第１洗浄工程及び第２洗浄工程の後に、第３洗浄工程を更に含み、
　前記第３洗浄工程が、以下の（Ｃ１）及び（Ｃ２）のうちの少なくとも１つの処理を行う工程である、請求項１６に記載の中空糸膜モジュールの洗浄方法：
　　（Ｃ１）前記中空糸膜の原水側に水を通過させる、フラッシング処理；及び
　　（Ｃ２）前記中空糸膜のろ過水側から原水側に水を通過させる、逆流洗浄処理。
　前記洗浄工程の後に、前記導入口又は前記洗浄用排出口から前記中空糸膜の外側及び中空部の洗浄排液を排出する、排出工程を含む、
請求項１６又は１７に記載のろ過方法。
　前記排出工程は、前記導入口又は前記洗浄用排出口に圧縮空気を導入して、前記洗浄排液を強制的に排出する工程である、請求項１８に記載のろ過方法。
　前記被ろ過液の平均濁度が１０度以上である、請求項１６～１９のいずれか一項に記載のろ過方法。