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WO2018151556A1 - Sample plate for maldi mass spectrometry and manufacturing method therefor - Google Patents

Sample plate for maldi mass spectrometry and manufacturing method therefor Download PDF

Info

Publication number
WO2018151556A1
WO2018151556A1 PCT/KR2018/001981 KR2018001981W WO2018151556A1 WO 2018151556 A1 WO2018151556 A1 WO 2018151556A1 KR 2018001981 W KR2018001981 W KR 2018001981W WO 2018151556 A1 WO2018151556 A1 WO 2018151556A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
metal
metal layer
dot
plate
mass spectrometry
Prior art date
Application number
PCT/KR2018/001981
Other languages
French (fr)
Korean (ko)
Inventor
김태만
안종록
김도훈
박한오
Original Assignee
(주)바이오니아
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from KR1020180018048A external-priority patent/KR101980863B1/en
Application filed by (주)바이오니아 filed Critical (주)바이오니아
Priority to EP18754311.1A priority Critical patent/EP3570314A4/en
Priority to JP2019544713A priority patent/JP7014809B2/en
Priority to CN201880012498.XA priority patent/CN110313050B/en
Priority to US16/483,908 priority patent/US11087965B2/en
Publication of WO2018151556A1 publication Critical patent/WO2018151556A1/en

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02Details
    • H01J49/04Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components
    • H01J49/0409Sample holders or containers
    • H01J49/0418Sample holders or containers for laser desorption, e.g. matrix-assisted laser desorption/ionisation [MALDI] plates or surface enhanced laser desorption/ionisation [SELDI] plates
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/40Concentrating samples

Definitions

  • the present invention relates to a sample plate for MALDI mass spectrometry, a method of manufacturing the same, and a MALDI mass spectrometry method using the same.
  • CI chemical ionization
  • ESI electro-spray ionization
  • SIMS secondary ion mass spectrometry
  • FD field desorption
  • FAB fast atom bombardment
  • APCI Atmospheric Pressure Chemical Ionization
  • MALDI Matrix Assisted Laser Desorption Ionization
  • MALDI is a method that can vaporize / ionize a polymer material without decomposition of a sample, and is generally known as a method that can be ideally applied to a biomass or a synthetic polymer that is large in mass and thermally unstable.
  • the principle of sampling in MALDI is called the dried droplet method, which mixes a laser-absorbing matrix and analyte in a solvent, and then dissolves it in a sample plate. D) and drying the solvent to produce a target, and then irradiating the laser to the target, the energy of the irradiated laser is transferred to the analyte through a crystallized matrix to ionize the analyte.
  • the ionized analyte molecules are accelerated into an electric field and reach a detector of a time-of-flight mass spectrometer (TOF-MS), where the mass-to-charge (m / z) ratio is small.
  • TOF-MS time-of-flight mass spectrometer
  • the mass of molecules (ions) is measured using the principle that ions reach the detector faster than ions with large mass-to-charge ratios.
  • MALDI can measure the molecular weight of materials with high molecular weight, such as polymers, proteins, peptides, and deoxyribonucleic acid (DNA), and can be analyzed even when several kinds of components are mixed instead of one. Samples can also be analyzed and the analysis time is short.
  • Korean Patent Registration No. 10-1204342 and Korean Patent Application Publication No. 10-2010-0051318 have been presented, but there is still a need for improvement of the aforementioned problem.
  • An object of the present invention is to provide a sample plate for MALDI mass spectrometry, which has excellent sensitivity and excellent reproducibility of the MALDI mass spectrum.
  • Another object of the present invention is to provide a method for producing a sample plate for MALDI mass spectrometry, which has excellent sensitivity and excellent reproducibility of the MALDI mass spectrum.
  • Another object of the present invention is to provide a MALDI mass spectrometry method using a sample plate for MALDI mass spectrometry, which has excellent sensitivity and excellent reproducibility of MALDI mass spectra.
  • the plastic insulating plate As the plastic insulating plate according to the present invention, the plastic insulating plate; And a metal dot formed on one surface of the plastic insulating plate to allow a sample to be loaded on the surface thereof.
  • the metal dot may be electrically connected to the sample plate voltage applying unit of the MALDI mass spectrometer.
  • the sample plate for MALDI mass spectrometry may further include one or two or more metal layers formed in contact with the side surfaces, the bottom surfaces, the top surfaces, or these surfaces of the plastic insulation plate, and the metal layers may include the metal dot. It may be electrically connected with the. In this case, the metal dot may be electrically connected to the sample plate voltage applying unit of the MALDI mass spectrometer through the metal layer during mass spectrometry.
  • the plastic insulating plate the plastic insulating plate; A metal dot formed on one surface of the plastic insulating plate to allow a sample to be loaded on a surface thereof; A lower metal layer formed on the other surface of the plastic insulating plate; And a metal dot via formed through the plastic insulating plate and electrically connected to the metal dot and the bottom metal layer.
  • the sample plate for MALDI mass spectrometry may further include an upper metal layer formed on one surface of the plastic insulation plate on which the metal dot is formed.
  • the upper metal layer may be electrically connected to the metal dot, or may not be electrically connected to the metal dot.
  • one surface of the plastic insulating plate on which the metal dot is formed may include an insulating part spaced apart from the metal dot and the upper metal layer; And a connection part adjacent to the insulating part and formed by contacting the metal dot and the upper metal layer, or the entire circumference of the metal dot and the upper metal layer may contact the insulating part.
  • one surface of the plastic insulation plate on which the metal dot is formed may be spaced apart from the entire circumference of the metal dot and the upper metal layer, and adjacent to the entire circumference of the metal dot. It may include; insulating portion surrounding it.
  • the sample plate for MALDI mass spectrometry may further include a metal layer via formed through the plastic insulating plate and electrically connected to the upper metal layer and the lower metal layer.
  • One surface of the formed plastic insulating plate may include an insulating portion surrounding the entire circumference of the metal dot and the upper surface metal layer and adjacent to the entire circumference of the metal dot.
  • the plastic insulating plate the plastic insulating plate; A metal dot formed on one surface of the plastic insulating plate; An upper metal layer formed on one surface of the plastic insulating plate on which the metal dots are formed and electrically connected to the metal dots; A lower metal layer formed on the other surface of the plastic insulating plate; And a metal layer via formed through the plastic insulating plate and electrically connected to the upper metal layer and the lower metal layer.
  • the plastic insulating plate the plastic insulating plate; A metal dot formed on one surface of the plastic insulating plate; An upper metal layer formed on one surface of the plastic insulating plate on which the metal dots are formed and electrically connected to the metal dots; And a side metal layer formed on a side surface of the plastic insulating plate and electrically connected to the upper metal layer.
  • the sample plate for MALDI mass spectrometry may further include a lower surface metal layer formed on the other surface of the plastic insulation plate and electrically connected to the upper surface metal layer.
  • one surface of the plastic insulating plate on which the metal dot is formed the entire circumference of the metal dot and the upper metal layer spaced apart, the insulating portion adjacent to surround the entire circumference of the metal dot; And a metal dot via formed through the plastic insulating plate and electrically connected to the metal dot and the bottom metal layer.
  • the metal dot may have a diameter of 100 ⁇ m to 5 mm.
  • the metal dot and the metal layer are independently of each other gold (Au), silver (Ag), copper (Cu), chromium (Cr), aluminum (Al), tungsten (W), zinc ( Zn), nickel (Ni), iron (Fe) and alloys thereof may include any one or two or more selected from.
  • the plastic insulating plate may have a hydrophobic surface property
  • the metal dot may have a hydrophilic surface property
  • the sample plate for MALDI mass spectrometry may further include a sample reservoir substrate attached to one surface of the plastic insulating plate, surrounding the metal dot, and provided with a through hole.
  • the sample reservoir substrate may be provided with a gas passage for discharging the inert gas to the through-hole.
  • the sample reservoir substrate may have a structure that can be attached to one surface of the plastic insulating plate.
  • Method for producing a sample plate for MALDI mass spectrometry forming a metal thin film on both sides of the plastic insulating plate; Forming a via penetrating the plastic insulating plate; And selectively etching both sides of the metal thin film of the plastic insulation plate to form a metal dot on one surface and a bottom metal layer on the other surface thereof.
  • the metal dot and the bottom metal layer may be electrically connected through vias.
  • Method for producing a sample plate for MALDI mass spectrometry forming a metal thin film on both sides of the plastic insulating plate; Selectively etching both sides of the metal thin film of the plastic insulating plate, forming a metal dot and an upper metal layer on one surface, and forming a lower metal layer on the other surface; And forming a metal thin film in contact with a side surface of the plastic insulating plate to form a side metal layer.
  • the metal dot and the top metal layer may be electrically connected, the top metal layer and the side metal layer may be electrically connected, and the side metal layer and the bottom metal layer may be electrically connected.
  • Method for producing a sample plate for MALDI mass spectrometry forming a metal thin film on both sides of the plastic insulating plate; Selectively etching both sides of the metal thin film of the plastic insulating plate, forming a metal dot and an upper metal layer on one surface, and forming a lower metal layer on the other surface; Forming a metal dot via or a metal layer via penetrating the plastic insulating plate; And forming a metal thin film in contact with a side surface of the plastic insulating plate to form a side metal layer.
  • the metal dot and the top metal layer are electrically connected, the top metal layer and the side metal layer are electrically connected, the side metal layer and the bottom metal layer are electrically connected, and the metal dot and the bottom metal layer are vias. It may be to be electrically connected through.
  • the mass of the sample to be analyzed by loading the sample to be analyzed on a metal dot of the MALDI mass spectrometry sample plate according to the present invention and irradiating a laser to desorb and ionize the sample. It may be to analyze.
  • the metal dot to be loaded with the sample to be analyzed and the metal wiring are separated from each other through a plastic insulating plate, and electrically connected to each other through a via or a metal part, thereby lasering the target (metal dot).
  • the MALDI mass spectrometry sample plate according to the present invention is capable of homogeneous heating of the sample to be analyzed, and thus has an effect of obtaining a reproducible MALDI mass spectrum when the laser is irradiated to the same spot several times.
  • FIG. 1 and 2 are cross-sectional and top views, respectively, of a side of a sample plate for MALDI mass spectrometry according to an aspect of the present invention.
  • FIGS. 5 and 6 are top views of the sample plate for MALDI mass spectrometry.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view of a side of a sample plate for MALDI mass spectrometry comprising a metal dot having a hydrophobic surface portion according to an aspect of the present invention.
  • FIGS. 8 and 9 are cross-sectional and top views, respectively, of a side of a sample plate for MALDI mass spectrometry provided with a sample reservoir substrate according to one aspect of the present invention.
  • FIG. 10 is a cross-sectional view and a perspective top view of a side of a sample plate for MALDI mass spectrometry comprising a sample reservoir substrate having a gas passage, in accordance with an aspect of the present invention.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view of a side surface of a sample plate for MALDI mass spectrometry further comprising a side metal layer on a side portion according to another embodiment of the present invention.
  • FIGS. 12 and 13 are top views of a sample plate for MALDI mass spectrometry further comprising a side metal layer at a side portion according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 14 shows an actual image of a sample plate for MALDI mass spectrometry according to an embodiment of the present invention, showing the front surface of the sample plate.
  • unit of% means weight% unless otherwise defined.
  • electrically connected refers to a case in which two objects to be electrically connected are directly connected to each other or indirectly connected to each other through separate connection means.
  • the plastic insulating plate As the plastic insulating plate according to the present invention, the plastic insulating plate; And a metal dot formed on one surface of the plastic insulating plate to allow a sample to be loaded on the surface thereof.
  • the metal dot may be electrically connected to the sample plate voltage applying unit of the MALDI mass spectrometer.
  • the sample plate for MALDI mass spectrometry may further include one or two or more metal layers formed in contact with the side surfaces, the bottom surfaces, the top surfaces, or these surfaces of the plastic insulation plate, and the metal layers may include the metal dot. It may be electrically connected with the. In this case, the metal dot may be electrically connected to the sample plate voltage applying unit of the MALDI mass spectrometer through the metal layer during mass spectrometry.
  • the sample plate for MALDI mass spectrometry may further include an upper metal layer formed on one surface of the plastic insulation plate on which the metal dot is formed.
  • the upper metal layer may be electrically connected to the metal dot, or may not be electrically connected to the metal dot.
  • one surface of the plastic insulating plate on which the metal dot is formed may include an insulating part spaced apart from the metal dot and the upper metal layer; And a connection part adjacent to the insulating part and formed by contacting the metal dot and the upper metal layer, or the entire circumference of the metal dot and the upper metal layer may contact the insulating part.
  • one surface of the plastic insulation plate on which the metal dot is formed may be spaced apart from the entire circumference of the metal dot and the upper metal layer, and adjacent to the entire circumference of the metal dot. It may include; insulating portion surrounding it.
  • the sample plate for MALDI mass spectrometry may further include a lower metal layer formed on the other surface of the plastic insulation plate.
  • the sample plate for MALDI mass spectrometry may further include a side metal layer formed on the side of the plastic insulating plate and electrically connected to the upper metal layer.
  • the MALDI mass spectrometry sample plate may further include a metal dot via formed through the plastic insulating plate and electrically connected to the metal dot and the bottom metal layer.
  • the MALDI mass spectrometry sample plate may further include a metal layer via formed through the plastic insulating plate and electrically connected to the upper metal layer and the lower metal layer.
  • sample plate for MALDI mass spectrometry which may be more preferable, will be described in detail as the first to third aspects.
  • this is only to distinguish the sample plate for MALDI mass spectrometry according to the present invention more effectively, whereby the present invention is not limited to a specific embodiment, or should be interpreted as different inventions.
  • the components described in each aspect are not separately described in other aspects, the components described in each aspect may be shared and applied to other aspects.
  • the sample plate for MALDI mass spectrometry of the first aspect according to an embodiment of the present invention, as shown in Figures 1 and 2, a plastic insulating plate; A metal dot formed on one surface of the plastic insulating plate to allow a sample to be loaded on a surface thereof; A lower metal layer formed on the other surface of the plastic insulating plate; And a metal dot via formed through the plastic insulating plate and electrically connected to the metal dot and the bottom metal layer.
  • the metal dot to be loaded with the sample to be analyzed and the bottom metal layer are separated from each other through a plastic insulating plate and electrically connected to each other through vias.
  • the transmitted (thermal) energy By reducing the transmitted (thermal) energy, the laser energy can be concentrated on the target, minimizing heat loss. Accordingly, the homogeneous heating of the sample to be analyzed is possible, so that the MALDI mass spectrum having excellent reproducibility can be obtained even when the laser is irradiated to the same spot several times.
  • MALDI mass spectrometry sample plate is formed on one surface of the plastic insulating plate on which the metal dot is formed, the upper metal layer electrically connected to the metal dot; Can be.
  • the potential of the plastic insulating plate is determined by surface charge, etc., so it is very easy to predict the electric field around it, and the uncertainty of the electric field due to the presence of the insulator around the metal dot is reduced. It can be expected that the electric field around the dot will be formed uniformly without distortion.
  • the upper metal layer may be electrically connected to the metal dot, or may not be electrically connected to the metal dot.
  • one surface of the plastic insulating plate on which the metal dot is formed is spaced apart from the metal dot and the upper metal layer therebetween. Insulating section; And a connection part adjacent to the insulating part and formed by contacting the metal dot and the upper metal layer, or the entire circumference of the metal dot and the upper metal layer may contact the insulating part.
  • the case including the insulation part and the connection part may be described as an example illustrated in FIG. 6. More specifically, the width of the connection portion may be 1 to 20% of the width of the insulation portion.
  • the entire circumference of the metal dot and the upper surface metal layer contact each other, the entire circumference of the metal dot may contact the metal layer or the metal dot may be integrated with the metal layer.
  • this is only a preferred example, and the present invention is not limited thereto.
  • one surface of the plastic insulation plate on which the metal dot is formed may have the entire circumference of the metal dot and the upper metal layer. Spaced apart, the insulating portion adjacent to surround the entire circumference of the metal dot; may include. The insulating portion may be spaced apart from the metal dot so as to surround the circumference thereof.
  • the insulating portion may have a circular shape, and may have a thickness of 0.2 to 20 mm, but the shape and size thereof are not limited thereto.
  • the insulating part may refer to an insulating layer that divides a region of the metal dot and the upper metal layer, or may mean a surface of the plastic insulating plate exposed to the outside of the sample plate.
  • the insulating portion refers to the surface of the plastic insulating plate exposed to the outside of the sample plate
  • the upper metal layer is not electrically connected to the lower metal layer, the sample plate for MALDI mass spectrometry of the second embodiment according to the present invention, Figure 4 (top In the bottom order in the first drawing)
  • the metal layer via is electrically connected to the upper metal layer and the lower surface metal layer and penetrated through the plastic insulating plate; may further include.
  • the upper metal layer and the metal dot are electrically connected to each other through the metal layer via without contacting the metal dot, thereby minimizing the transfer of thermal energy and easily applying voltage.
  • the sample plate for MALDI mass spectrometry of the second aspect is as shown in Fig. 3 (second drawing from top to bottom), Fig. 4 (first, second and fourth drawings from top to bottom).
  • plastic insulation plate A metal dot formed on one surface of the plastic insulating plate; An upper metal layer formed on one surface of the plastic insulating plate on which the metal dots are formed and electrically connected to the metal dots; A lower metal layer formed on the other surface of the plastic insulating plate; And a metal layer via formed through the plastic insulating plate and electrically connected to the upper metal layer and the lower metal layer.
  • the metal layer vias penetrating the plastic insulation plate are electrically connected to the upper metal layer and the lower metal layer.
  • the upper metal layer and the metal dot may have a structure electrically connected to each other.
  • the upper metal layer and the metal dot are sufficient to have an electrically connected structure.
  • the upper metal layer and the metal dot may be electrically connected to each other by contacting the upper metal layer, as shown in FIG. 6, and FIG.
  • the metal dot and the upper metal layer may be electrically connected to the metal dot via described above.
  • the sample plate using the metal matrix when the laser is irradiated to the target by placing the metal dot on which the sample to be analyzed and the lower surface metal layer are separated from each other through the plastic insulating plate and electrically connecting them through vias formed through the plastic insulating plate.
  • the laser energy can be concentrated on the target and the heat loss can be minimized. Accordingly, the homogeneous heating of the sample to be analyzed is possible, so that the MALDI mass spectrum having excellent reproducibility can be obtained even when the laser is irradiated to the same spot several times.
  • the upper metal layer and the metal dot may be in contact with and electrically connected to each other.
  • the entire circumference of the metal dot and the upper metal layer may contact each other, or one surface of the plastic insulating plate on which the metal dot is formed, An insulating part spaced apart from the metal dot and the upper metal layer; And a connection part adjacent to the insulation part and formed to be in contact with the metal dot and the upper metal layer.
  • the entire circumference of the metal dot and the upper surface metal layer contact each other, the entire circumference of the metal dot may contact the metal layer or the metal dot may be integrated with the metal layer.
  • the width of the connection portion may be 1 to 20% of the width of the insulation portion. However, this is only a preferred example, and the present invention is not limited thereto.
  • FIGS. 11 to 13, 3 third drawing in the order from the top to the bottom
  • FIG. 4 (2, 3, Fourth drawing) plastic insulation plate
  • a metal dot formed on one surface of the plastic insulating plate
  • An upper metal layer formed on one surface of the plastic insulating plate on which the metal dots are formed and electrically connected to the metal dots
  • And a side metal layer formed on a side surface of the plastic insulating plate and electrically connected to the upper metal layer.
  • the metal dot is electrically connected to the lower surface metal layer by the side metal layer formed on the side surface of the plastic insulating plate.
  • the side metal layer may be formed in contact with a side portion of the plastic insulation plate, specifically, the side surface of the plastic insulation plate.
  • the side metal layer may be formed in contact with the side surface of the bottom plastic insulator of the top metal layer, and as shown in FIG. 11 (the second drawing in the top to bottom order), It may be formed in contact with the side of the upper metal layer and the side of the plastic insulating plate.
  • the side metal layer may be formed on one side portion of the plastic insulation plate, and as shown in FIG.
  • a plurality of side metal layers may be formed on the plurality of side parts of the plastic insulation plate, respectively.
  • the size and shape of the side metal layer is not limited as long as voltage is applied and the objects can be electrically connected to each other.
  • the side metal layer may have various shapes and sizes such as a plate shape and a wire shape.
  • the side metal layer may be formed in an area of 0.1 to 10%, specifically 0.5 to 5%, with respect to the entire side of the plastic insulation plate.
  • this is only a preferred example, and the present invention is not limited thereto.
  • the upper metal layer electrically connected to the metal dot through the plastic insulating plate is electrically connected to the side metal layer formed on the side portion of the plastic insulating plate, so that when the laser is irradiated to the target, the upper metal layer is transferred to the inside of the plate compared with the sample plate using the metal matrix.
  • the laser energy can be concentrated on the target, minimizing heat loss. Accordingly, the homogeneous heating of the sample to be analyzed is possible, so that the MALDI mass spectrum having excellent reproducibility can be obtained even when the laser is irradiated to the same spot several times.
  • the MALDI mass spectrometry sample plate according to the third aspect of the present invention may further include a lower surface metal layer formed on the other surface of the plastic insulation plate and electrically connected to the upper surface metal layer in some cases. .
  • one surface of the plastic insulation plate on which the metal dot is formed may be spaced apart from the entire circumference of the metal dot and the upper metal layer, An insulation part adjacent to and surrounding the entire circumference of the dot; And a metal dot via formed through the plastic insulating plate and electrically connected to the metal dot and the bottom metal layer.
  • the bottom metal layer and the metal dot via may be used for the electrical connection between the metal dot and another metal layer, and the metal layer may be for connection with a voltage applying unit.
  • connection structure to the top metal layer electrically connected to the metal dot may be any structure in which they can be electrically connected.
  • the upper metal layer and the metal dot may be in direct contact with each other, and may be electrically connected to each other.
  • the upper metal layer and the metal dot may not be in contact with each other and may be indirectly connected through other connecting means.
  • the indirect electrical connection structure as shown in FIG. 4 (third view from top to bottom), the metal dot contacts the metal dot via, the metal dot via contacts the lower metal layer, and the lower metal layer contacts the side metal layer.
  • the upper metal layer and the metal dot may be indirectly electrically connected by the upper metal layer contacting the side metal layer.
  • the upper metal layer may be spaced apart from the metal dot, or may be positioned in contact with the metal dot.
  • the top metal layer may be located in contact with the entire circumference of the metal dot, that is, formed as a single metal plate (metal dot + top metal layer) without a plastic insulating plate or an insulating portion between the top metal layer and the metal dot. May be
  • the present invention may include various aspects, such as the first to third aspects, wherein components described in each aspect may be shared and applied to other aspects, even if there is a component that is not separately described in each aspect.
  • components described in each aspect may be shared and applied to other aspects, even if there is a component that is not separately described in each aspect.
  • the combination of the components for the sample plate for MALDI mass spectrometry according to the above-described example is specifically described as it is more preferable in the present invention, and other possible combinations of the aforementioned components may also be used as the configuration of the present invention. Of course it is included.
  • the via is for electrically connecting the metal dot and the metal layer, and may be formed in the through hole penetrating the plastic insulation plate, and the diameter and the shape of the via are not particularly limited as long as they can connect the metal dot and the metal layer. . Specifically, it may be desirable for the via diameter to be smaller than the diameter of the metal dot so that the metal dot can be stably bound to one surface of the plastic insulating plate. In one embodiment, the diameter of the via may be 10 ⁇ m to 1 mm, more preferably 50 to 500 ⁇ m, but is not limited thereto.
  • the via is not particularly limited as long as the via penetrates the plastic insulating plate to electrically connect the metal layer to the bottom metal layer.
  • the inner surface of the through hole penetrating the plastic insulation plate is coated with metal so that the metal layer is electrically connected to the bottom metal layer.
  • it may be in the form of a metal plug pressed into the through-hole.
  • the metal coating or the metal plug may be formed of the same or different metal as the lower metal layer, and may be, for example, a metal element material.
  • the via is gold (Au), silver (Ag), copper (Cu), chromium (Cr), aluminum (Al), tungsten (W), zinc (Zn), nickel (Ni), iron (Fe) And any one or two or more selected from these alloys and the like.
  • the via may include copper (Cu) or a copper alloy in terms of reducing costs while ensuring excellent electrical conductivity.
  • this is only a preferred example, and the present invention is not limited thereto.
  • the plastic insulating plate is an insulating plastic substrate, and is not particularly limited as long as it can relatively reduce heat transfer as compared to, for example, a metal dot, a lower metal layer, a via, and the like.
  • the plastic insulating plate may be epoxy, paper-phenolic resin, polyimide (PI), polyethylene terephthalate (PET), polyethylenenaphthalate (PEN), Polymethylmethacrylate (PMMA), polyetheretherketone (PEEK), polycarbonate (PC), polyethersulfone (PES), polyarylite or cyclic olefin copolymer It may be a substrate such as (cyclicolefincopolymer, COC), but is not limited thereto.
  • the thickness may be sufficient as the thickness of a commonly used sample plate that is not easily deformed while providing sufficient insulation, and in one embodiment may be 2 to 5 mm, but is not limited thereto.
  • the paper-phenolic resin substrate may mean that the phenol resin penetrates the paper and is manufactured by heating and compressing a plurality of sheets. However, this is only a preferred example, and the present invention is not limited thereto.
  • the metal dot is a portion in which an analyte sample to be mass analyzed is substantially loaded, and is a point where a laser is irradiated during MALDI analysis.
  • the metal dot may be formed in a required shape on one surface of the plastic insulating plate, and one or more metal dots may be formed on one surface of the plastic insulating plate, and when a plurality of metal dots are formed, periodic and regular arrangement Or aperiodic and irregular arrangements.
  • the material of the metal dot is a material that allows a sample to be analyzed in the art to be loaded, and is not particularly limited as long as it is an electrically conductive material, and may be, for example, a metal element material.
  • the metal dot may be gold (Au), silver (Ag), copper (Cu), chromium (Cr), aluminum (Al), tungsten (W), zinc (Zn), nickel (Ni), It may include any one or two or more selected from iron (Fe) and alloys thereof, but does not exclude other materials commonly used in the art.
  • the metal dot is a component that is loaded with the sample to be analyzed, and therefore, it is preferable to have an appropriate size so that the sample to be analyzed can be well aggregated, and similar to the sample to be analyzed.
  • the diameter of the metal dot may be 100 ⁇ m to 5 mm, specifically 100 ⁇ m to 2 mm, more specifically 300 ⁇ m to 1 mm.
  • the effect of aggregation of the target into the metal dot may be excellent, and heat dissipation is suppressed as the size of the metal dot is small, thereby minimizing heat loss. have.
  • the metal dot may be similar in nature to the sample or analyte sample solution, and the plastic insulating plate may have the opposite properties.
  • the plastic insulating plate or the metal layer to be described later may have a hydrophobic surface property, and the metal dot has a hydrophilic surface property to aggregate the analyte sample with the metal dot.
  • a plastic insulating plate is manufactured by using a hydrophobic polymer, or as shown in FIG. 7, after the substrate is manufactured, the surface is treated with a hydrophobic material to prepare a plastic insulating plate having hydrophobic surface properties. can do.
  • the surface of the metal dot may be treated with a hydrophilic material to prepare a metal dot having a hydrophilic surface.
  • the surface of the metal dot is a sample seating surface portion located in the center of the metal dot surface, as shown in Figure 7; And a hydrophobic surface portion surrounding the sample seating portion, wherein the hydrophobic surface portion may have a greater hydrophobicity than the sample seating surface portion.
  • the sample seating surface portion is a portion where the sample to be actually analyzed is seated, and the hydrophobic surface portion allows the sample to be analyzed to aggregate onto the sample seating surface portion.
  • the sample seating surface portion may have a diameter enough to allow the sample to be seated, for example, 100 ⁇ m or more and smaller than the diameter of the metal dot.
  • the hydrophobic surface portion may be formed on the surface of the upper metal layer. However, this is only a preferred example, and the present invention is not limited thereto.
  • the hydrophobic surface portion may be located in the insulating portion.
  • the hydrophobic surface portion tetrafluoroethylene, hexafluoropropylene, chlorotrifluoroethylene, trifluoroethylene, vinylidene fluoride, octafluorobutylene, pentafluorophenyl tri Fluorine-based compounds including any one or two or more selected from fluoroethylene, pentafluorophenylethylene, polymers including repeating units derived therefrom, fluorine-containing acrylate polymers and perfluoropolyethers; Silane compounds having an alkyl group including any one or two or more selected from alkyltrichlorosilane, alkyltrimethoxysilane, alkyltriethoxysilane, dichlorodialkylsilane and the like; Silicone oil containing a silane compound having an amine group and any one or more selected from dimethicone and methicone; Oxide / polymer nanocomposites including any one or more selected from manganes
  • the plastic insulating plate or the metal layer to be described later may have a hydrophilic surface property, and the metal dot has a hydrophobic surface property to aggregate the sample to be analyzed with a metal dot. Can be effective.
  • the voltage is finally applied to the metal dot to allow mass analysis, and various known methods or methods described below for applying the voltage to the metal dot may be used.
  • the MALDI mass spectrometer may include a voltage applying unit for applying a voltage to the sample plate, from which the voltage is applied to the metal dot. If you can, it's fine.
  • the voltage applying unit may be electrically connected to the metal dot of the sample plate for MALDI mass spectrometry according to the present invention, but may be electrically connected to the metal layer or via.
  • the voltage applying unit may be electrically connected in direct contact with any one or two or more selected from a metal dot via, a metal layer via, an upper metal layer, a lower metal layer, and a side metal layer. More preferably, when the voltage applying unit is electrically connected to the metal dot, it may be preferable to directly connect the metal layer.
  • the metal layer provides an electrical connection through the above-described structure so that the operation of the MALDI mass spectrometer can be more smoothly performed even though the metal dot is formed in a dot or a circular shape on one surface of the plastic insulating plate, and the metal layer is the MALDI mass.
  • the analysis equipment may be designed to be in contact with a voltage applying unit for applying a voltage to a sample plate.
  • the actual electrical connection with the metal dot may be through a via or a metal layer.
  • the lower metal layer may cover one end of the side via of the plastic insulation plate on which the lower metal layer is formed, or contact the side metal layer. It may be desirable to form.
  • the metal layer has a structure that is connected to a voltage applying part supplying voltage to the sample plate and connected to a metal dot through vias in the step of inserting and analyzing the sample plate into the mass spectrometer. The effect of minimizing the reproducibility deterioration due to the temperature variation according to the number of times of irradiation can be further improved.
  • the material of the metal layer may be used without particular limitation as long as it is known to have excellent electrical conductivity.
  • the metal layer may be a metal element material.
  • the metal layer is gold (Au), silver (Ag), copper (Cu), chromium (Cr), aluminum (Al), tungsten (W), zinc (Zn), nickel (Ni), iron (Fe) ) And alloys thereof, and the like. It may be more preferable that the metal layer includes copper (Cu) or a copper alloy in terms of reducing costs while ensuring excellent electrical conductivity.
  • this is only a preferred example, and the present invention is not limited thereto.
  • the "metal layer” is not limited in its form and may be, for example, in the form of a plate, specifically, in the form of a coating film.
  • the size of the 'metal dot', 'metal layer' referred to in the present specification may be appropriately adjusted according to the size, and is not particularly limited.
  • the average thickness thereof may be 10 ⁇ m to 200 ⁇ m, but the present invention is not limited thereto.
  • the size of the 'plastic insulating plate' referred to in the present specification may be appropriately adjusted according to the size, and is not greatly limited.
  • the average thickness thereof may be 0.5 mm to 3 mm, but the present invention is not limited thereto. .
  • the sample plate for MALDI mass spectrometry according to the present invention may further include an identification marking area adjacent to the circumference of the metal dot.
  • the metal dot region which is a region in which the sample is loaded, may be identified by the above-described insulation, and in order to make it difficult to further identify or supplement the region, an identification marking region adjacent to the circumference of the metal dot may be further provided. have.
  • This marking area can be performed by various known methods such as coating, painting and the like.
  • the sample plate for MALDI mass spectrometry is attached to one surface of the plastic insulating plate, as shown in Figure 8 to 10, the sample reservoir substrate having a through-hole surrounding the metal dot It may further include.
  • the sample reservoir substrate may have a form in which the inner surface of the through hole of the sample reservoir substrate is in contact with the circumference of the metal dot.
  • sample reservoir substrate may be provided, the sample solution may be directly deposited on the sample plate, and the sample may be loaded on the metal dot, thereby providing extremely uniform and detailed analysis. Samples can be sampled to ensure better reproducibility during mass spectrometry.
  • the sample reservoir substrate is loaded with the sample to be analyzed to form a target, and then separated from the sample plate for MALDI mass spectrometry for efficient laser irradiation during mass analysis, the sample leisure
  • the burr substrate may be detachable from one surface of the plastic insulating plate.
  • the sample reservoir substrate may not be particularly limited as long as the sample reservoir substrate is manufactured to have a desired shape, and may be any metal, metal oxide, ceramic, or polymer. Although a material may be used, it is preferable that the through hole has a hydrophobic surface property on its inner surface in order to enhance the effect of aggregating the sample to be analyzed with a metal dot. However, this is only a preferred example, and the present invention is not limited thereto.
  • the through-hole of the sample reservoir substrate is a shape in which the inner surface of the through-hole of the sample reservoir substrate is in contact with the circumference of the metal dot, and the shape of the through-hole itself is not particularly limited, and specifically, for example, a cylinder Shape or funnel shape or the like. However, this is only a preferred example, and the present invention is not limited thereto.
  • a gas passage for discharging the inert gas to the through hole may be provided have.
  • the gas passage is not limited to the shape, size, etc., if the gas can be transported through the through-hole, and also does not limit the number of passages, as an example of the gas passage is shown by the dotted line shown in the left figure of FIG. 10 is a perspective top view, which is a top view of a sample plate, and the gas passages shown are in a perspective state as dotted lines.
  • the inert gas may be helium (He), neon (Ne), nitrogen (N 2) or argon (Ar), but is not limited thereto.
  • the sample reservoir substrate may be provided with a magnet inside the sample reservoir substrate to be detachable from the sample plate for MALDI mass spectrometry, wherein the magnet is permanent It may mean a magnet.
  • an attachment aid may be further provided which is attached to the bottom surface of the sample plate for MALDI mass spectrometry, that is, the opposite surface of the surface to which the sample reservoir substrate is attached, and the attachment aid may also be provided with a magnet. .
  • Method for producing a sample plate for MALDI mass spectrometry forming a metal thin film on both sides of the plastic insulating plate; Forming a via penetrating the plastic insulating plate; And selectively etching both sides of the metal thin film of the plastic insulation plate to form a metal dot on one surface and a bottom metal layer on the other surface thereof.
  • the metal dot and the bottom metal layer may be electrically connected through vias.
  • Method for producing a sample plate for MALDI mass spectrometry forming a metal thin film on both sides of the plastic insulating plate; Selectively etching both sides of the metal thin film of the plastic insulating plate, forming a metal dot and an upper metal layer on one surface, and forming a lower metal layer on the other surface; And forming a metal thin film in contact with a side surface of the plastic insulating plate to form a side metal layer.
  • the metal dot and the top metal layer may be electrically connected, the top metal layer and the side metal layer may be electrically connected, and the side metal layer and the bottom metal layer may be electrically connected.
  • Method for producing a sample plate for MALDI mass spectrometry forming a metal thin film on both sides of the plastic insulating plate; Selectively etching both sides of the metal thin film of the plastic insulating plate, forming a metal dot and an upper metal layer on one surface, and forming a lower metal layer on the other surface; Forming a metal dot via or a metal layer via penetrating the plastic insulating plate; And forming a metal thin film in contact with a side surface of the plastic insulating plate to form a side metal layer.
  • the metal dot and the top metal layer are electrically connected, the top metal layer and the side metal layer are electrically connected, the side metal layer and the bottom metal layer are electrically connected, and the metal dot and the bottom metal layer are vias. It may be to be electrically connected through.
  • the sample plate for MALDI mass spectrometry may be manufactured based on a printed circuit board (PCB), that is, the metal layer and vias formed on the plastic insulating plate are used when manufacturing the printed circuit board. It may be formed through a conventional method.
  • PCB printed circuit board
  • the plastic insulating plate may be prepared from the same material as described above.
  • the method of forming the metal thin film may be a method commonly used in a printed circuit board (PCB) process, and for example, chemical vapor deposition, physical vapor deposition, or a mixture thereof may be used. More specific examples include electroless plating, electroplating, DC sputtering, magnetron sputtering, electron beam evaporation, thermal evaporation, thermal molecular vapor deposition, LMBE, Laser Molecular Beam Epitaxy, pulse Metal thin film in combination with one or more methods selected from laser deposition (PLD, PulsedLaser Deposition), vacuum deposition, atomic layer deposition (ALD) and plasma assisted chemical vapor deposition (PECVD) It may be formed, but is not necessarily limited thereto. At this time, the thickness of the metal thin film can be adjusted as desired, specifically, for example, may be 0.1 to 30 ⁇ m, but is not limited thereto.
  • the via is not particularly limited as long as the via penetrates the plastic insulating plate and can be electrically connected to the metal dot or the metal layer.
  • the via penetrates the plastic insulating plate. It may be formed by coating the inner surface of the through hole with a metal or pressing a metal plug into the through hole.
  • the method of forming the through hole is not particularly limited as long as it is commonly used in the art, and may be formed using, for example, drilling or laser direct ablation (LDA).
  • LDA laser direct ablation
  • the metal coating of the inner surface of the through hole is not particularly limited, but may be performed by electroless plating, electroplating, or sputtering, and the metal plug indentation fills the through hole with a conductive material.
  • the method may be performed by inserting a metal plug manufactured in the shape of a through hole into the through hole, but is not limited as long as it can fill the inner surface of the through hole or the entire through hole to enable electrical connection.
  • the metal coating or the metal plug may be the same or different metal as the metal layer, for example, may be a metal element material, and the like, and more specifically, gold (Au), silver (Ag), copper (Cu), and chromium ( It may include any one or two or more selected from Cr), aluminum (Al), tungsten (W), zinc (Zn), nickel (Ni), iron (Fe) and alloys thereof.
  • it may include copper (Cu) or a copper alloy in terms of reducing the cost.
  • the metal dot, the metal layer and the metal dot and the lower surface metal layer in each case, including the case where the metal dot and the lower metal layer should be electrically connected through the metal dot via, and the like. It is desirable to design the location and pattern of the vias in advance.
  • a method of forming a metal dot, a metal layer, etc. may be used without particular limitation as long as it is a method used in a PCB process.
  • a metal thin film of a region designed as a metal dot, a metal layer, etc. may be used through photolithography. After masking, the metal thin film of the unmasked region may be etched to form a metal dot, a metal layer, or the like.
  • the location and pattern of the bottom metal layer, the metal dot is preferably designed in advance to enable electrical connection.
  • the sample plate according to the present invention comprises a metal dot-via-bottom metal layer connection structure; Metal dot-via-bottom metal layer-side metal layer-top metal layer connection structure; Metal dot-top metal layer-side metal layer-bottom metal layer connection structure; Metal dot-top metal layer-metal layer via-bottom metal layer connection structure; It may have a connection structure of various aspects, such as, and the sample plate can be prepared by appropriately designing the position and pattern of the metal layer, the metal dot according to the connection structure of the various aspects.
  • the photolithography may be performed through a conventional method, and is not particularly limited, but may be applied to a dry film on a metal thin film, exposed and developed to mask a region designed with a metal dot or a metal layer. Can be.
  • the etching method is not particularly limited, but dry etching, wet etching, or a mixture thereof may be used.
  • the dry etching may be plasma etching or the like, and the wet etching may be etching using an etchant.
  • a process of removing the resist used for masking a specific region after forming a metal dot, a metal layer, or the like may be further performed.
  • the mass of the sample to be analyzed may be analyzed by loading the sample to be analyzed on a metal dot of a sample plate for MALDI mass spectrometry and irradiating a laser to desorb and ionize the sample.
  • 210 sample seating surface portion
  • 220 hydrophobic surface portion
  • 700 gas passage
  • 800 magnet
  • 900 hydrophobic surface portion

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Abstract

A sample plate for MALDI mass spectrometry, according to the present invention, enables separately positioning, by means of a plastic insulation plate, metal wiring and metal dots onto which an analyte sample is to be loaded, and electrically connecting same by means of a via or a metal portion, and thus the energy transferred into the plate when radiating a laser beam on the target (metal dots) may be reduced compared to a sample plate using a base metal, and thus laser energy may be concentrated on the target, and an effect may be achieved whereby heat loss is minimized.

Description

MALDI 질량분석용 시료 플레이트 및 이의 제조 방법Sample plate for MALDI mass spectrometry and its manufacturing method
본 발명은 MALDI 질량분석용 시료 플레이트와 이의 제조 방법, 및 이를 이용한 MALDI 질량분석 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a sample plate for MALDI mass spectrometry, a method of manufacturing the same, and a MALDI mass spectrometry method using the same.
1,900 년대 초에 질량분석법이 처음으로 사용되기 시작한 이래 다양한 이온화법이 발달되어 왔으며, 일반적으로 EI(Electron Impact)가 표준 이온화 방법으로 널리 사용되었다. 그러나 이 방법은 휘발성 시료에만 사용할 수 있으며, 열에 불안정한 시료에는 사용할 수 없는 단점을 가지고 있어, 이의 응용은 주로 유기 저분자에 한정되어 왔다.Since mass spectrometry was first used in the early 1900s, various ionization methods have been developed. In general, EI (Electron Impact) has been widely used as a standard ionization method. However, this method has the disadvantage that it can be used only for volatile samples and cannot be used for samples that are unstable to heat, and its application has been mainly limited to organic small molecules.
이러한 이유로 휘발성이 없거나 열 안정성이 없는 물질의 질량 분석을 위하여 CI(Chemical Ionization), ESI(Electro-Spray Ionization), SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometry), FD(Field Desorption), FAB(Fast Atom Bombardment), APCI(Atmospheric Pressure Chemical Ionization), MALDI(Matrix Assisted Laser Desorption Ionization) 등의 여러 가지 이온화 방법들이 개발되었다.For this reason, chemical ionization (CI), electro-spray ionization (ESI), secondary ion mass spectrometry (SIMS), field desorption (FD), fast atom bombardment (FAB), Several ionization methods have been developed, including Atmospheric Pressure Chemical Ionization (APCI) and Matrix Assisted Laser Desorption Ionization (MALDI).
그 중에서도 MALDI는 고분자 물질에 대해 시료의 분해 없이 기화/이온화가 가능한 방법으로 일반적으로 질량이 크고 열에 불안정한 생체 고분자나 합성 고분자에 매우 이상적으로 적용될 수 있는 방법으로 알려져 있다.Among them, MALDI is a method that can vaporize / ionize a polymer material without decomposition of a sample, and is generally known as a method that can be ideally applied to a biomass or a synthetic polymer that is large in mass and thermally unstable.
MALDI에서 샘플링(sampling)의 원리는 물방울 건조법(dried droplet method)이라 불리는 것으로, 레이저를 잘 흡수하는 물질(matrix)과 분석대상 물질(analyte)을 같이 섞어 용매에 녹인 후, 이를 시료 플레이트(sample plate)에 점적하고 용매를 건조하여 타겟(target)을 제작한 다음, 레이저를 타겟에 조사하면, 조사된 레이저의 에너지가 결정화된 매트릭스(matrix)를 통해 분석대상 물질로 전달되어 분석대상 물질을 이온화하고, 이온화 과정을 거친 분석대상 물질 분자들은 전기장으로 가속되어 비행시간형 질량분석기(TOF-MS; Time-of-Flight Mass Spectrometry)의 검출기에 도달하게 되는데, 이때 질량 대 전하(m/z)비가 작은 이온들이 질량 대 전하비가 큰 이온들에 비해 검출기를 빨리 도달하는 원리를 이용하여 분자(이온)의 질량을 측정한다.The principle of sampling in MALDI is called the dried droplet method, which mixes a laser-absorbing matrix and analyte in a solvent, and then dissolves it in a sample plate. D) and drying the solvent to produce a target, and then irradiating the laser to the target, the energy of the irradiated laser is transferred to the analyte through a crystallized matrix to ionize the analyte. As a result, the ionized analyte molecules are accelerated into an electric field and reach a detector of a time-of-flight mass spectrometer (TOF-MS), where the mass-to-charge (m / z) ratio is small. The mass of molecules (ions) is measured using the principle that ions reach the detector faster than ions with large mass-to-charge ratios.
MALDI는 고분자, 단백질, 펩타이드, DNA(deoxyribonucleic acid) 등 분자량이 큰 물질의 분자량 측정이 가능하고, 한 종류의 성분이 아닌 여러 종류의 성분이 혼재해 있어도 분석이 가능하며, 감도가 매우 민감하여 미량의 시료도 분석이 가능하고, 분석 시간이 짧은 등의 장점이 있다.MALDI can measure the molecular weight of materials with high molecular weight, such as polymers, proteins, peptides, and deoxyribonucleic acid (DNA), and can be analyzed even when several kinds of components are mixed instead of one. Samples can also be analyzed and the analysis time is short.
그러나 동일한 MALDI 질량분석기를 사용하고 동일한 분석대상 물질에 대한 질량 스펙트럼을 얻는다 하더라도, 타겟을 준비하는 방법, 타겟에 레이저가 도달하는 위치, 사용된 레이저의 파장, 레이저의 펄스 에너지, 레이저가 도달하는 지점(spot)의 크기, 동일한 지점에 레이저를 조사한 횟수 등에 따라 얻어지는 질량 스펙트럼 패턴이 동일하지 않은 것은 이미 널리 알려진 사실이다. 이러한 스펙트럼 패턴에 대한 재현성의 결여는 MALDI 질량분석법을 이용한 기초 연구, 정밀 분석, 표준화 등에 있어서 심각한 문제가 되고 있다.However, even if you use the same MALDI mass spectrometer and obtain mass spectra for the same analyte, how to prepare the target, where the laser reaches the target, the wavelength of the laser used, the pulse energy of the laser, and the point where the laser reaches It is well known that the mass spectral pattern obtained is not the same depending on the size of the spot, the number of times of laser irradiation on the same spot, and the like. The lack of reproducibility of such spectral patterns is a serious problem in basic research, precise analysis, and standardization using MALDI mass spectrometry.
이에, MALDI의 스펙트럼 패턴의 재현성을 개선할 수 있다면 그 응용성은 대폭 확대될 것으로 예상된다.Thus, if the reproducibility of the spectral pattern of MALDI can be improved, its applicability is expected to be greatly expanded.
MALDI 질량분석용 시료 플레이트에 대한 유사 문헌으로는, 대한민국 등록특허 제10-1204342호와 대한민국 공개특허공보 제10-2010-0051318호가 제시되어 있으나, 여전히 전술한 문제에 대한 개선이 필요하다.As similar documents for the sample plate for MALDI mass spectrometry, Korean Patent Registration No. 10-1204342 and Korean Patent Application Publication No. 10-2010-0051318 have been presented, but there is still a need for improvement of the aforementioned problem.
[특허문헌][Patent Documents]
한국등록특허공보 제10-1204342호 (2012.11.19.)Korea Patent Publication No. 10-1204342 (2012.11.19.)
한국공개특허공보 제10-2010-0051318호 (2010.05.17.)Korean Patent Publication No. 10-2010-0051318 (2010.05.17.)
본 발명의 목적은 감도가 우수하며, MALDI 질량 스펙트럼의 재현성이 우수한 MALDI 질량분석용 시료 플레이트를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a sample plate for MALDI mass spectrometry, which has excellent sensitivity and excellent reproducibility of the MALDI mass spectrum.
본 발명의 다른 목적은 감도가 우수하며, MALDI 질량 스펙트럼의 재현성이 우수한 MALDI 질량분석용 시료 플레이트의 제조 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a method for producing a sample plate for MALDI mass spectrometry, which has excellent sensitivity and excellent reproducibility of the MALDI mass spectrum.
본 발명의 다른 목적은 감도가 우수하며, MALDI 질량 스펙트럼의 재현성이 우수한 MALDI 질량분석용 시료 플레이트를 이용한 MALDI 질량분석 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a MALDI mass spectrometry method using a sample plate for MALDI mass spectrometry, which has excellent sensitivity and excellent reproducibility of MALDI mass spectra.
본 발명에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는, 플라스틱 절연판; 및 상기 플라스틱 절연판의 일면에 형성되며, 표면에 시료가 로딩되도록 하는 금속닷;을 포함한다. 이때 질량분석 시 상기 금속닷은 MALDI 질량분석기의 시료 플레이트 전압 인가부와 전기적으로 연결되는 것일 수 있다.MALDI mass spectrometry sample plate according to the present invention, the plastic insulating plate; And a metal dot formed on one surface of the plastic insulating plate to allow a sample to be loaded on the surface thereof. In this case, the metal dot may be electrically connected to the sample plate voltage applying unit of the MALDI mass spectrometer.
본 발명의 일 예에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는, 상기 플라스틱 절연판의 측면, 하면, 상면 또는 이들면에 접하여 형성되는 하나 또는 둘 이상의 금속층;을 더 포함할 수 있으며, 상기 금속층은 상기 금속닷과 전기적으로 연결된 것일 수 있다. 이때 질량분석 시 상기 금속층을 통해 금속닷이 MALDI 질량분석기의 시료 플레이트 전압 인가부와 전기적으로 연결되는 것일 수 있다.The sample plate for MALDI mass spectrometry according to an embodiment of the present invention may further include one or two or more metal layers formed in contact with the side surfaces, the bottom surfaces, the top surfaces, or these surfaces of the plastic insulation plate, and the metal layers may include the metal dot. It may be electrically connected with the. In this case, the metal dot may be electrically connected to the sample plate voltage applying unit of the MALDI mass spectrometer through the metal layer during mass spectrometry.
본 발명의 일 예에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는, 플라스틱 절연판; 상기 플라스틱 절연판의 일면에 형성되며, 표면에 시료가 로딩되도록 하는 금속닷; 상기 플라스틱 절연판의 타면에 형성되는 하면 금속층; 및 상기 플라스틱 절연판을 관통하여 형성되며, 상기 금속닷과 상기 하면 금속층과 접하여 전기적으로 연결되는 금속닷 비아;를 포함할 수 있다.MALDI mass spectrometry sample plate according to an embodiment of the present invention, the plastic insulating plate; A metal dot formed on one surface of the plastic insulating plate to allow a sample to be loaded on a surface thereof; A lower metal layer formed on the other surface of the plastic insulating plate; And a metal dot via formed through the plastic insulating plate and electrically connected to the metal dot and the bottom metal layer.
본 발명의 일 예에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는, 상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면에 형성되는 상면 금속층;을 더 포함할 수 있다.The sample plate for MALDI mass spectrometry according to an embodiment of the present invention may further include an upper metal layer formed on one surface of the plastic insulation plate on which the metal dot is formed.
본 발명의 일 예에 있어서, 상기 상면 금속층은 상기 금속닷과 접하여 전기적으로 연결되거나, 상기 금속닷과 이격하여 전기적으로 연결되지 않을 수 있다. 구체적인 일 예로, 상기 금속층이 상기 금속닷과 전기적으로 연결될 경우, 상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면은 상기 금속닷 및 상기 상면 금속층이 이격하여 이 사이에 형성되는 절연부; 및 상기 절연부와 인접하고, 상기 금속닷과 상기 상면 금속층이 접하여 형성되는 연결부;를 포함할 수 있거나, 또는 상기 금속닷의 전체 둘레와 상기 상면 금속층이 접할 수 있다. 구체적인 일 예로, 상기 금속층이 상기 금속닷과 전기적으로 연결되지 않을 경우, 상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면은 상기 금속닷의 전체 둘레 및 상기 상면 금속층이 이격하고, 상기 금속닷의 전체 둘레에 인접하여 이를 에워싸는 절연부;를 포함할 수 있다.In one example of the present invention, the upper metal layer may be electrically connected to the metal dot, or may not be electrically connected to the metal dot. As a specific example, when the metal layer is electrically connected to the metal dot, one surface of the plastic insulating plate on which the metal dot is formed may include an insulating part spaced apart from the metal dot and the upper metal layer; And a connection part adjacent to the insulating part and formed by contacting the metal dot and the upper metal layer, or the entire circumference of the metal dot and the upper metal layer may contact the insulating part. As a specific example, when the metal layer is not electrically connected to the metal dot, one surface of the plastic insulation plate on which the metal dot is formed may be spaced apart from the entire circumference of the metal dot and the upper metal layer, and adjacent to the entire circumference of the metal dot. It may include; insulating portion surrounding it.
본 발명의 일 예에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는, 상기 플라스틱 절연판을 관통하여 형성되며, 상기 상면 금속층 및 상기 하면 금속층과 접하여 전기적으로 연결되는 금속층 비아;를 더 포함할 수 있으며, 상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면은 상기 금속닷의 전체 둘레 및 상기 상면 금속층이 이격하고, 상기 금속닷의 전체 둘레에 인접하여 이를 에워싸는 절연부;를 포함할 수 있다.The sample plate for MALDI mass spectrometry according to an embodiment of the present invention may further include a metal layer via formed through the plastic insulating plate and electrically connected to the upper metal layer and the lower metal layer. One surface of the formed plastic insulating plate may include an insulating portion surrounding the entire circumference of the metal dot and the upper surface metal layer and adjacent to the entire circumference of the metal dot.
본 발명의 일 예에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는, 플라스틱 절연판; 상기 플라스틱 절연판의 일면에 형성되는 금속닷; 상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면에 형성되며, 상기 금속닷과 전기적으로 연결되는 상면 금속층; 상기 플라스틱 절연판의 타면에 형성되는 하면 금속층; 및 상기 플라스틱 절연판을 관통하여 형성되며, 상기 상면 금속층 및 상기 하면 금속층과 접하여 전기적으로 연결되는 금속층 비아;를 포함할 수 있다.MALDI mass spectrometry sample plate according to an embodiment of the present invention, the plastic insulating plate; A metal dot formed on one surface of the plastic insulating plate; An upper metal layer formed on one surface of the plastic insulating plate on which the metal dots are formed and electrically connected to the metal dots; A lower metal layer formed on the other surface of the plastic insulating plate; And a metal layer via formed through the plastic insulating plate and electrically connected to the upper metal layer and the lower metal layer.
본 발명의 일 예에 있어서, 상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면은, 상기 금속닷 및 상기 상면 금속층이 이격하여 이 사이에 형성되는 절연부; 및 상기 절연부와 인접하고, 상기 금속닷과 상기 상면 금속층이 접하여 형성되는 연결부;를 포함할 수 있거나, 상기 금속닷의 전체 둘레와 상기 상면 금속층이 접하는 것일 수 있다.In one embodiment of the present invention, one surface of the plastic insulating plate on which the metal dot is formed, the insulating portion formed between the metal dot and the upper metal layer spaced apart; And a connection part adjacent to the insulating part and formed by contacting the metal dot and the upper metal layer, or the entire circumference of the metal dot and the upper metal layer may be in contact with each other.
본 발명의 일 예에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는, 플라스틱 절연판; 상기 플라스틱 절연판의 일면에 형성되는 금속닷; 상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면에 형성되며, 상기 금속닷과 전기적으로 연결되는 상면 금속층; 및 상기 플라스틱 절연판의 측면에 형성되며, 상기 상면 금속층과 접하여 전기적으로 연결되는 측면 금속층;을 포함할 수 있다.MALDI mass spectrometry sample plate according to an embodiment of the present invention, the plastic insulating plate; A metal dot formed on one surface of the plastic insulating plate; An upper metal layer formed on one surface of the plastic insulating plate on which the metal dots are formed and electrically connected to the metal dots; And a side metal layer formed on a side surface of the plastic insulating plate and electrically connected to the upper metal layer.
본 발명의 일 예에 있어서, 상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면은, 상기 금속닷 및 상기 상면 금속층이 이격하여 이 사이에 형성되는 절연부; 및 상기 절연부와 인접하고, 상기 금속닷과 상기 상면 금속층이 접하여 형성되는 연결부;를 포함할 수 있거나, 상기 금속닷의 전체 둘레와 상기 상면 금속층이 접하는 것일 수 있다.In one embodiment of the present invention, one surface of the plastic insulating plate on which the metal dot is formed, the insulating portion formed between the metal dot and the upper metal layer spaced apart; And a connection part adjacent to the insulating part and formed by contacting the metal dot and the upper metal layer, or the entire circumference of the metal dot and the upper metal layer may be in contact with each other.
본 발명의 일 예에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는, 상기 플라스틱 절연판의 타면에 형성되며, 상기 상면 금속층과 접하여 전기적으로 연결되는 하면 금속층;을 더 포함할 수 있다.The sample plate for MALDI mass spectrometry according to an embodiment of the present invention may further include a lower surface metal layer formed on the other surface of the plastic insulation plate and electrically connected to the upper surface metal layer.
본 발명의 일 예에 있어서, 상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면은, 상기 금속닷의 전체 둘레 및 상기 상면 금속층이 이격하고, 상기 금속닷의 전체 둘레에 인접하여 이를 에워싸는 절연부; 및 상기 플라스틱 절연판을 관통하여 형성되며, 상기 금속닷과 상기 하면 금속층과 접하여 전기적으로 연결되는 금속닷 비아;를 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, one surface of the plastic insulating plate on which the metal dot is formed, the entire circumference of the metal dot and the upper metal layer spaced apart, the insulating portion adjacent to surround the entire circumference of the metal dot; And a metal dot via formed through the plastic insulating plate and electrically connected to the metal dot and the bottom metal layer.
본 발명의 일 예에 있어서, 상기 금속닷은 직경은 100 ㎛ 내지 5 mm일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the metal dot may have a diameter of 100 ㎛ to 5 mm.
본 발명의 일 예에 있어서, 상기 금속닷 및 상기 금속층은 서로 독립적으로 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu), 크롬(Cr), 알루미늄(Al), 텅스텐(W), 아연(Zn), 니켈(Ni), 철(Fe) 및 이들의 합금 중에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상을 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the metal dot and the metal layer are independently of each other gold (Au), silver (Ag), copper (Cu), chromium (Cr), aluminum (Al), tungsten (W), zinc ( Zn), nickel (Ni), iron (Fe) and alloys thereof may include any one or two or more selected from.
본 발명의 일 예에 있어서, 상기 플라스틱 절연판은 소수성 표면 성질을 가질 수 있으며, 상기 금속닷은 친수성 표면 성질을 가질 수 있다.In one embodiment of the present invention, the plastic insulating plate may have a hydrophobic surface property, the metal dot may have a hydrophilic surface property.
본 발명의 일 예에 있어서, 상기 금속닷의 표면은, 금속닷 표면 중심부에 위치하는 시료 안착 표면부; 및 상기 시료 안착부의 둘레를 감싸는 소수성 표면부;를 포함할 수 있으며, 상기 소수성 표면부는 상기 시료 안착 표면부보다 소수성이 큰 것일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the surface of the metal dot, the sample seating surface portion located in the center of the metal dot surface; And a hydrophobic surface portion surrounding the sample seating portion, wherein the hydrophobic surface portion may have a greater hydrophobicity than the sample seating surface portion.
본 발명의 일 예에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는, 상기 플라스틱 절연판의 일면에 부착되고, 상기 금속닷의 둘레를 둘러싸며, 관통홀이 구비된 시료 레저버 기판;을 더 포함할 수 있다.The sample plate for MALDI mass spectrometry according to an embodiment of the present invention may further include a sample reservoir substrate attached to one surface of the plastic insulating plate, surrounding the metal dot, and provided with a through hole.
본 발명의 일 예에 있어서, 상기 시료 레저버 기판은 관통홀로 비활성 가스를 배출할 수 있는 가스 통로가 구비된 것일 수 있다.In one example of the present invention, the sample reservoir substrate may be provided with a gas passage for discharging the inert gas to the through-hole.
본 발명의 일 예에 있어서, 상기 시료 레저버 기판은 상기 플라스틱 절연판의 일면에 탈부착이 가능한 구조를 가지 수 있다.In one embodiment of the present invention, the sample reservoir substrate may have a structure that can be attached to one surface of the plastic insulating plate.
본 발명의 일 예에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트의 제조 방법은, 플라스틱 절연판의 양면에 금속박막을 형성하는 단계; 상기 플라스틱 절연판을 관통하는 비아를 형성하는 단계; 및 상기 플라스틱 절연판의 양면의 금속박막을 선택적으로 식각하여, 일면에는 금속닷을 형성하고 타면에는 하면 금속층을 형성하는 단계;를 포함할 수 있다. 이때 상기 금속닷과 하면 금속층은 비아를 통해 전기적으로 연결되는 것일 수 있다.Method for producing a sample plate for MALDI mass spectrometry according to an embodiment of the present invention, forming a metal thin film on both sides of the plastic insulating plate; Forming a via penetrating the plastic insulating plate; And selectively etching both sides of the metal thin film of the plastic insulation plate to form a metal dot on one surface and a bottom metal layer on the other surface thereof. In this case, the metal dot and the bottom metal layer may be electrically connected through vias.
본 발명의 일 예에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트의 제조 방법은, 플라스틱 절연판의 양면에 금속박막을 형성하는 단계; 상기 플라스틱 절연판의 양면의 금속박막을 선택적으로 식각하여, 일면에는 금속닷 및 상면 금속층을 형성하고, 타면에는 하면 금속층을 형성하는 단계; 및 상기 플라스틱 절연판의 측면에 접하는 금속박막을 형성하여 측면 금속층을 형성하는 단계;를 포함할 수 있다. 이때 상기 금속닷과 상기 상면 금속층은 전기적으로 연결되고, 상기 상면 금속층과 상기 측면 금속층은 전기적으로 연결되며, 상기 측면 금속층과 상기 하면 금속층은 전기적으로 연결되는 것일 수 있다.Method for producing a sample plate for MALDI mass spectrometry according to an embodiment of the present invention, forming a metal thin film on both sides of the plastic insulating plate; Selectively etching both sides of the metal thin film of the plastic insulating plate, forming a metal dot and an upper metal layer on one surface, and forming a lower metal layer on the other surface; And forming a metal thin film in contact with a side surface of the plastic insulating plate to form a side metal layer. In this case, the metal dot and the top metal layer may be electrically connected, the top metal layer and the side metal layer may be electrically connected, and the side metal layer and the bottom metal layer may be electrically connected.
본 발명의 일 예에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트의 제조 방법은, 플라스틱 절연판의 양면에 금속박막을 형성하는 단계; 상기 플라스틱 절연판의 양면의 금속박막을 선택적으로 식각하여, 일면에는 금속닷 및 상면 금속층을 형성하고, 타면에는 하면 금속층을 형성하는 단계; 상기 플라스틱 절연판을 관통하는 금속닷 비아 또는 금속층 비아를 형성하는 단계; 및 상기 플라스틱 절연판의 측면에 접하는 금속박막을 형성하여 측면 금속층을 형성하는 단계;를 포함할 수 있다. 이때 상기 금속닷과 상기 상면 금속층은 전기적으로 연결되고, 상기 상면 금속층과 상기 측면 금속층은 전기적으로 연결되며, 상기 측면 금속층과 상기 하면 금속층은 전기적으로 연결되며, 상기 금속닷과 상기 하면 금속층은 비아를 거쳐 전기적으로 연결되는 것일 수 있다.Method for producing a sample plate for MALDI mass spectrometry according to an embodiment of the present invention, forming a metal thin film on both sides of the plastic insulating plate; Selectively etching both sides of the metal thin film of the plastic insulating plate, forming a metal dot and an upper metal layer on one surface, and forming a lower metal layer on the other surface; Forming a metal dot via or a metal layer via penetrating the plastic insulating plate; And forming a metal thin film in contact with a side surface of the plastic insulating plate to form a side metal layer. In this case, the metal dot and the top metal layer are electrically connected, the top metal layer and the side metal layer are electrically connected, the side metal layer and the bottom metal layer are electrically connected, and the metal dot and the bottom metal layer are vias. It may be to be electrically connected through.
본 발명의 일 예에 따른 MALDI 질량분석 방법은, 본 발명에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트의 금속닷 상에 분석대상 시료를 로딩하고 레이저를 조사하여 시료를 탈착 및 이온화시킴으로써 상기 분석대상 시료의 질량을 분석하는 것일 수 있다.MALDI mass spectrometry method according to an embodiment of the present invention, the mass of the sample to be analyzed by loading the sample to be analyzed on a metal dot of the MALDI mass spectrometry sample plate according to the present invention and irradiating a laser to desorb and ionize the sample. It may be to analyze.
본 발명에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는 플라스틱 절연판을 통해 분석대상 시료가 로딩될 금속닷과 금속배선을 서로 분리 위치시키고, 이들을 비아 또는 금속부를 통해 전기적으로 연결함으로써, 타겟(금속닷)에 레이저를 조사할 시 금속 모제를 사용한 시료 플레이트 대비 플레이트의 내부로 전달되는 에너지를 감소시켜 타겟으로 레이저 에너지를 집중시킬 수 있으며, 열 손실을 최소화할 수 있는 효과가 있다.In the MALDI mass spectrometry sample plate according to the present invention, the metal dot to be loaded with the sample to be analyzed and the metal wiring are separated from each other through a plastic insulating plate, and electrically connected to each other through a via or a metal part, thereby lasering the target (metal dot). When irradiating to the sample plate using the metal matrix to reduce the energy transmitted to the inside of the plate to focus the laser energy to the target, there is an effect that can minimize the heat loss.
이에 따라, 본 발명에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는는 분석대상 시료의 균질한 가열이 가능하여 동일한 지점에 여러 번 레이저를 조사할 시에 재현성이 우수한 MALDI 질량 스펙트럼을 얻을 수 있는 효과가 있다.Accordingly, the MALDI mass spectrometry sample plate according to the present invention is capable of homogeneous heating of the sample to be analyzed, and thus has an effect of obtaining a reproducible MALDI mass spectrum when the laser is irradiated to the same spot several times.
본 발명에서 명시적으로 언급되지 않은 효과라 하더라도, 본 발명의 기술적 특징에 의해 기대되는 명세서에서 기재된 효과 및 그 내재적인 효과는 본 발명의 명세서에 기재된 것과 같이 취급된다.Even if the effects are not explicitly mentioned in the present invention, the effects described in the specification and the inherent effects expected by the technical features of the present invention are treated as described in the specification of the present invention.
도 1 및 도 2는 각각 본 발명의 일 양태에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트의 측면에 대한 단면도 및 상면도이다.1 and 2 are cross-sectional and top views, respectively, of a side of a sample plate for MALDI mass spectrometry according to an aspect of the present invention.
도 3은 본 발명의 일 양태에 따른, 금속층을 포함하는 MALDI 질량분석용 시료 플레이트의 측면에 대한 단면도이며, 도 5 및 도 6은 상기 MALDI 질량분석용 시료 플레이트에 대한 상면도이다.3 is a cross-sectional view of a side surface of a sample plate for MALDI mass spectrometry including a metal layer according to an aspect of the present invention, and FIGS. 5 and 6 are top views of the sample plate for MALDI mass spectrometry.
도 7은 본 발명의 일 양태에 따른, 소수성 표면부를 갖는 금속닷을 포함하는 MALDI 질량분석용 시료 플레이트의 측면에 대한 단면도이다.7 is a cross-sectional view of a side of a sample plate for MALDI mass spectrometry comprising a metal dot having a hydrophobic surface portion according to an aspect of the present invention.
도 8 및 도 9는 각각 본 발명의 일 양태에 따른 시료 레저버 기판을 구비한 MALDI 질량분석용 시료 플레이트의 측면에 대한 단면도 및 상면도이다.8 and 9 are cross-sectional and top views, respectively, of a side of a sample plate for MALDI mass spectrometry provided with a sample reservoir substrate according to one aspect of the present invention.
도 10은 본 발명의 일 양태에 따른, 가스 통로가 구비된 시료 레저버 기판을 포함하는 MALDI 질량분석용 시료 플레이트의 측면에 대한 단면도 및 투시 상면도이다.10 is a cross-sectional view and a perspective top view of a side of a sample plate for MALDI mass spectrometry comprising a sample reservoir substrate having a gas passage, in accordance with an aspect of the present invention.
및 상면도이다. And top view.
도 11은 본 발명의 다른 일 양태에 따른, 측면부에 측면 금속층이 더 구비된 MALDI 질량분석용 시료 플레이트의 측면에 대한 단면도이다.11 is a cross-sectional view of a side surface of a sample plate for MALDI mass spectrometry further comprising a side metal layer on a side portion according to another embodiment of the present invention.
도 12 및 도 13은 본 발명의 다른 일 양태에 따른, 측면부에 측면 금속층이 더 구비된 MALDI 질량분석용 시료 플레이트의 상면도이다.12 and 13 are top views of a sample plate for MALDI mass spectrometry further comprising a side metal layer at a side portion according to another embodiment of the present invention.
도 14는 본 발명의 일 예에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트의 실제 이미지를 나타낸 것으로, 시료 플레이트의 전면을 나타낸 것이다.14 shows an actual image of a sample plate for MALDI mass spectrometry according to an embodiment of the present invention, showing the front surface of the sample plate.
이하 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트와 이의 제조 방법, 및 이를 이용한 MALDI 질량분석 방법을 상세히 설명한다.Hereinafter, a sample plate for MALDI mass spectrometry, a method for preparing the same, and a MALDI mass spectrometry method using the same will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 명세서에 기재되어 있는 도면은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서 본 발명은 제시되는 도면들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있으며, 상기 도면들은 본 발명의 사상을 명확히 하기 위해 과장되어 도시될 수 있다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The drawings described herein are provided by way of example in order to fully convey the spirit of the invention to those skilled in the art. Therefore, the present invention is not limited to the drawings presented and may be embodied in other forms, and the drawings may be exaggerated to clarify the spirit of the present invention.
본 명세서에서 사용되는 기술 용어 및 과학 용어에 있어서 다른 정의가 없다면, 이 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 통상적으로 이해하고 있는 의미를 가지며, 하기의 설명 및 첨부 도면에서 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 설명은 생략한다.Unless otherwise defined in the technical and scientific terms used herein, it has the meaning commonly understood by those of ordinary skill in the art to which this invention belongs, and the gist of the invention in the following description and the accompanying drawings. The description of well-known functions and configurations that may unnecessarily obscure them will be omitted.
본 명세서에서 사용되는 용어의 단수 형태는 특별한 지시가 없는 한 복수 형태도 포함하는 것으로 해석될 수 있다.As used herein, the singular forms “a”, “an” and “the” are intended to include the plural forms as well, unless the specification indicates otherwise.
본 명세서에서 특별한 언급 없이 사용된 %의 단위는 별 다른 정의가 없는 한 중량%를 의미한다.As used herein, unless stated otherwise, unit of% means weight% unless otherwise defined.
본 명세서에서, ‘전기적으로 연결’이라 함은 전기적으로 연결되는 두 대상이 서로 접촉하여 직접적으로 연결되는 경우 또는 두 대상이 별도의 연결 수단을 통하여 간접적으로 연결되는 경우를 의미한다.In the present specification, the term "electrically connected" refers to a case in which two objects to be electrically connected are directly connected to each other or indirectly connected to each other through separate connection means.
본 발명에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는, 플라스틱 절연판; 및 상기 플라스틱 절연판의 일면에 형성되며, 표면에 시료가 로딩되도록 하는 금속닷;을 포함한다. 이때 질량분석 시 상기 금속닷은 MALDI 질량분석기의 시료 플레이트 전압 인가부와 전기적으로 연결되는 것일 수 있다.MALDI mass spectrometry sample plate according to the present invention, the plastic insulating plate; And a metal dot formed on one surface of the plastic insulating plate to allow a sample to be loaded on the surface thereof. In this case, the metal dot may be electrically connected to the sample plate voltage applying unit of the MALDI mass spectrometer.
본 발명의 일 예에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는, 상기 플라스틱 절연판의 측면, 하면, 상면 또는 이들면에 접하여 형성되는 하나 또는 둘 이상의 금속층;을 더 포함할 수 있으며, 상기 금속층은 상기 금속닷과 전기적으로 연결된 것일 수 있다. 이때 질량분석 시 상기 금속층을 통해 금속닷이 MALDI 질량분석기의 시료 플레이트 전압 인가부와 전기적으로 연결되는 것일 수 있다.The sample plate for MALDI mass spectrometry according to an embodiment of the present invention may further include one or two or more metal layers formed in contact with the side surfaces, the bottom surfaces, the top surfaces, or these surfaces of the plastic insulation plate, and the metal layers may include the metal dot. It may be electrically connected with the. In this case, the metal dot may be electrically connected to the sample plate voltage applying unit of the MALDI mass spectrometer through the metal layer during mass spectrometry.
본 발명의 일 예에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는, 상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면에 형성되는 상면 금속층;을 더 포함할 수 있다.The sample plate for MALDI mass spectrometry according to an embodiment of the present invention may further include an upper metal layer formed on one surface of the plastic insulation plate on which the metal dot is formed.
본 발명의 일 예에 있어서, 상기 상면 금속층은 상기 금속닷과 접하여 전기적으로 연결되거나, 상기 금속닷과 이격하여 전기적으로 연결되지 않을 수 있다. In one example of the present invention, the upper metal layer may be electrically connected to the metal dot, or may not be electrically connected to the metal dot.
구체적인 일 예로, 상기 금속층이 상기 금속닷과 전기적으로 연결될 경우, 상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면은 상기 금속닷 및 상기 상면 금속층이 이격하여 이 사이에 형성되는 절연부; 및 상기 절연부와 인접하고, 상기 금속닷과 상기 상면 금속층이 접하여 형성되는 연결부;를 포함할 수 있거나, 또는 상기 금속닷의 전체 둘레와 상기 상면 금속층이 접할 수 있다.As a specific example, when the metal layer is electrically connected to the metal dot, one surface of the plastic insulating plate on which the metal dot is formed may include an insulating part spaced apart from the metal dot and the upper metal layer; And a connection part adjacent to the insulating part and formed by contacting the metal dot and the upper metal layer, or the entire circumference of the metal dot and the upper metal layer may contact the insulating part.
구체적인 일 예로, 상기 금속층이 상기 금속닷과 전기적으로 연결되지 않을 경우, 상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면은 상기 금속닷의 전체 둘레 및 상기 상면 금속층이 이격하고, 상기 금속닷의 전체 둘레에 인접하여 이를 에워싸는 절연부;를 포함할 수 있다.As a specific example, when the metal layer is not electrically connected to the metal dot, one surface of the plastic insulation plate on which the metal dot is formed may be spaced apart from the entire circumference of the metal dot and the upper metal layer, and adjacent to the entire circumference of the metal dot. It may include; insulating portion surrounding it.
본 발명의 일 예에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는, 상기 플라스틱 절연판의 타면에 형성되는 하면 금속층;을 더 포함할 수 있다.The sample plate for MALDI mass spectrometry according to an embodiment of the present invention may further include a lower metal layer formed on the other surface of the plastic insulation plate.
본 발명의 일 예에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는, 상기 플라스틱 절연판의 측면에 형성되며, 상기 상면 금속층과 접하여 전기적으로 연결되는 측면 금속층;을 더 포함할 수 있다.The sample plate for MALDI mass spectrometry according to an embodiment of the present invention may further include a side metal layer formed on the side of the plastic insulating plate and electrically connected to the upper metal layer.
본 발명의 일 예에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는, 상기 플라스틱 절연판을 관통하여 형성되며, 상기 금속닷과 상기 하면 금속층과 접하여 전기적으로 연결되는 금속닷 비아;을 더 포함할 수 있다.The MALDI mass spectrometry sample plate according to an embodiment of the present invention may further include a metal dot via formed through the plastic insulating plate and electrically connected to the metal dot and the bottom metal layer.
본 발명의 일 예에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는, 상기 플라스틱 절연판을 관통하여 형성되며, 상기 상면 금속층 및 상기 하면 금속층과 접하여 전기적으로 연결되는 금속층 비아;를 더 포함할 수 있다.The MALDI mass spectrometry sample plate according to an embodiment of the present invention may further include a metal layer via formed through the plastic insulating plate and electrically connected to the upper metal layer and the lower metal layer.
이하 보다 바람직할 수 있는 본 발명에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트에 대하여 제1 양태 내지 제3 양태로서 구체적으로 설명한다. 하지만 이는 본 발명에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트를 보다 효과적으로 설명하기 위해 구분하는 것일 뿐, 이에 의해 본 발명이 특정 양태에 제한되어 해석되거나, 서로 다른 발명으로서 해석되어서는 아니 된다. 또한 각 양태에 서술된 구성요소가 다른 양태에서 별도로 설명되지 않았다 하더라도, 각 양태에서 설명한 구성요소는 다른 양태에도 공유 및 적용될 수 있음은 물론이다.Hereinafter, a sample plate for MALDI mass spectrometry according to the present invention, which may be more preferable, will be described in detail as the first to third aspects. However, this is only to distinguish the sample plate for MALDI mass spectrometry according to the present invention more effectively, whereby the present invention is not limited to a specific embodiment, or should be interpreted as different inventions. In addition, although the components described in each aspect are not separately described in other aspects, the components described in each aspect may be shared and applied to other aspects.
본 발명의 일 예에 따른 제1 양태의 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는, 도 1 및 도 2에서와 같이, 플라스틱 절연판; 상기 플라스틱 절연판의 일면에 형성되며, 표면에 시료가 로딩되도록 하는 금속닷; 상기 플라스틱 절연판의 타면에 형성되는 하면 금속층; 및 상기 플라스틱 절연판을 관통하여 형성되며, 상기 금속닷과 상기 하면 금속층과 접하여 전기적으로 연결되는 금속닷 비아;를 포함할 수 있다.The sample plate for MALDI mass spectrometry of the first aspect according to an embodiment of the present invention, as shown in Figures 1 and 2, a plastic insulating plate; A metal dot formed on one surface of the plastic insulating plate to allow a sample to be loaded on a surface thereof; A lower metal layer formed on the other surface of the plastic insulating plate; And a metal dot via formed through the plastic insulating plate and electrically connected to the metal dot and the bottom metal layer.
이처럼, 플라스틱 절연판을 통해 분석대상 시료가 로딩될 금속닷과 하면 금속층을 서로 분리 위치시키고, 이들을 비아를 통해 전기적으로 연결함으로써, 타겟에 레이저를 조사할 시 금속 모제를 사용한 시료 플레이트 대비 플레이트의 내부로 전달되는 (열)에너지를 감소시켜 타겟으로 레이저 에너지를 집중시킬 수 있으며, 열 손실을 최소화할 수 있다. 이에 따라, 분석대상 시료의 균질한 가열이 가능하여 동일한 지점에 여러 번 레이저를 조사할 시에도 재현성이 우수한 MALDI 질량 스펙트럼을 얻을 수 있다.As such, the metal dot to be loaded with the sample to be analyzed and the bottom metal layer are separated from each other through a plastic insulating plate and electrically connected to each other through vias. By reducing the transmitted (thermal) energy, the laser energy can be concentrated on the target, minimizing heat loss. Accordingly, the homogeneous heating of the sample to be analyzed is possible, so that the MALDI mass spectrum having excellent reproducibility can be obtained even when the laser is irradiated to the same spot several times.
본 발명에 따른 제1 양태의 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는, 도 3에서와 같이, 상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면에 형성되며, 상기 금속닷과 전기적으로 연결되는 상면 금속층;을 더 포함할 수 있다. 상기 상면 금속층이 형성될 경우, 플라스틱 절연판의 전위는 표면전하 등에 의해서 결정되므로 주위의 전기장을 예측하기 매우 용이하고, 금속닷의 주변에 절연체가 존재함으로 인한 전기장(electric field)의 불확실성을 줄여, 금속닷 주위의 전기장이 왜곡 없이 균일하게 형성되는 것을 예측할 수 있다.MALDI mass spectrometry sample plate according to the first aspect of the present invention, as shown in Figure 3, is formed on one surface of the plastic insulating plate on which the metal dot is formed, the upper metal layer electrically connected to the metal dot; Can be. When the upper metal layer is formed, the potential of the plastic insulating plate is determined by surface charge, etc., so it is very easy to predict the electric field around it, and the uncertainty of the electric field due to the presence of the insulator around the metal dot is reduced. It can be expected that the electric field around the dot will be formed uniformly without distortion.
본 발명에 따른 제1 양태의 MALDI 질량분석용 시료 플레이트에서, 상기 상면 금속층은 상기 금속닷과 접하여 전기적으로 연결되거나, 상기 금속닷과 이격하여 전기적으로 연결되지 않을 수 있다.In the MALDI mass spectrometry sample plate of the first aspect of the present invention, the upper metal layer may be electrically connected to the metal dot, or may not be electrically connected to the metal dot.
상기 제1 양태의 구체적인 일 예로, 상기 금속층이 상기 금속닷과 전기적으로 연결될 경우, 도 6과 같이, 상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면은 상기 금속닷 및 상기 상면 금속층이 이격하여 이 사이에 형성되는 절연부; 및 상기 절연부와 인접하고, 상기 금속닷과 상기 상면 금속층이 접하여 형성되는 연결부;를 포함할 수 있거나, 또는 상기 금속닷의 전체 둘레와 상기 상면 금속층이 접할 수 있다. 비제한적인 일 예로, 상기 절연부 및 상기 연결부를 포함하는 경우는 도 6에 도시된 일 예로 설명될 수 있다. 보다 구체적인 예로, 상기 연결부의 넓이는 상기 절연부의 넓이에 대하여 1 내지 20%일 수 있다. 비제한적인 일 예로, 상기 금속닷의 전체 둘레와 상기 상면 금속층이 접하는 경우, 금속닷의 전체 둘레와 금속층이 맞닿거나 금속닷과 금속층이 일체화된 것일 수 있다. 하지만 이는 바람직한 일 예일 뿐, 본 발명이 이에 제한되지 않음은 물론이다.As a specific example of the first embodiment, when the metal layer is electrically connected to the metal dot, as shown in FIG. 6, one surface of the plastic insulating plate on which the metal dot is formed is spaced apart from the metal dot and the upper metal layer therebetween. Insulating section; And a connection part adjacent to the insulating part and formed by contacting the metal dot and the upper metal layer, or the entire circumference of the metal dot and the upper metal layer may contact the insulating part. As a non-limiting example, the case including the insulation part and the connection part may be described as an example illustrated in FIG. 6. More specifically, the width of the connection portion may be 1 to 20% of the width of the insulation portion. As a non-limiting example, when the entire circumference of the metal dot and the upper surface metal layer contact each other, the entire circumference of the metal dot may contact the metal layer or the metal dot may be integrated with the metal layer. However, this is only a preferred example, and the present invention is not limited thereto.
상기 제1 양태의 다른 구체적인 일 예로, 상기 금속층이 상기 금속닷과 전기적으로 연결되지 않을 경우, 도 5와 같이, 상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면은 상기 금속닷의 전체 둘레 및 상기 상면 금속층이 이격하고, 상기 금속닷의 전체 둘레에 인접하여 이를 에워싸는 절연부;를 포함할 수 있다. 상기 절연부는 금속닷과 이격하여 이의 둘레를 둘러싸도록 하는 형태라면 무방하며, 예컨대 원형일 수 있고, 그 두께가 0.2 내지 20 mm일 수 있으나, 이에 그 형태 및 그 크기가 제한되지 않음은 물론이다. 상기 절연부는 금속닷과 상면 금속층의 영역을 구분하는 절연막을 의미하거나, 시료 플레이트 외부로 노출된 플라스틱 절연판의 표면을 의미할 수 있다. 상기 절연부가 시료 플레이트 외부로 노출된 플라스틱 절연판의 표면을 의미할 경우, 상면 금속층은 하면 금속층과 전기적으로 연결되지 않으므로, 본 발명에 따른 제2 양태의 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는, 도 4(상단에서 하단 순서로 1 번째 도면)에서와 같이, 상면 금속층 및 하면 금속층과 접하여 전기적으로 연결되고 플라스틱 절연판에 관통 형성되는 금속층 비아;를 더 포함할 수 있다. 이를 만족할 경우, 도 5에서와 같이 상면 금속층이 금속닷과 접하지 않고도 금속층 비아를 통해 상면 금속층과 금속닷이 서로 전기적으로 연결되어 열에너지의 전달은 최소화하면서 전압의 인가는 용이할 수 있다.As another specific example of the first embodiment, when the metal layer is not electrically connected to the metal dot, as shown in FIG. 5, one surface of the plastic insulation plate on which the metal dot is formed may have the entire circumference of the metal dot and the upper metal layer. Spaced apart, the insulating portion adjacent to surround the entire circumference of the metal dot; may include. The insulating portion may be spaced apart from the metal dot so as to surround the circumference thereof. For example, the insulating portion may have a circular shape, and may have a thickness of 0.2 to 20 mm, but the shape and size thereof are not limited thereto. The insulating part may refer to an insulating layer that divides a region of the metal dot and the upper metal layer, or may mean a surface of the plastic insulating plate exposed to the outside of the sample plate. When the insulating portion refers to the surface of the plastic insulating plate exposed to the outside of the sample plate, the upper metal layer is not electrically connected to the lower metal layer, the sample plate for MALDI mass spectrometry of the second embodiment according to the present invention, Figure 4 (top In the bottom order in the first drawing), the metal layer via is electrically connected to the upper metal layer and the lower surface metal layer and penetrated through the plastic insulating plate; may further include. When this is satisfied, as shown in FIG. 5, the upper metal layer and the metal dot are electrically connected to each other through the metal layer via without contacting the metal dot, thereby minimizing the transfer of thermal energy and easily applying voltage.
본 발명의 일 예에 따른 제2 양태의 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는, 도 3(상단에서 하단 순서로 2 번째 도면), 도 4(상단에서 하단 순서로 1, 2, 4 번째 도면)에서와 같이, 플라스틱 절연판; 상기 플라스틱 절연판의 일면에 형성되는 금속닷; 상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면에 형성되며, 상기 금속닷과 전기적으로 연결되는 상면 금속층; 상기 플라스틱 절연판의 타면에 형성되는 하면 금속층; 및 상기 플라스틱 절연판을 관통하여 형성되며, 상기 상면 금속층 및 상기 하면 금속층과 접하여 전기적으로 연결되는 금속층 비아;를 포함할 수 있다.The sample plate for MALDI mass spectrometry of the second aspect according to an embodiment of the present invention is as shown in Fig. 3 (second drawing from top to bottom), Fig. 4 (first, second and fourth drawings from top to bottom). Like, plastic insulation plate; A metal dot formed on one surface of the plastic insulating plate; An upper metal layer formed on one surface of the plastic insulating plate on which the metal dots are formed and electrically connected to the metal dots; A lower metal layer formed on the other surface of the plastic insulating plate; And a metal layer via formed through the plastic insulating plate and electrically connected to the upper metal layer and the lower metal layer.
즉, 제2 양태의 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는, 도 3(상단에서 하단 순서로 2번째 도면)에서와 같이, 플라스틱 절연판을 관통 형성하는 금속층 비아가 상면 금속층 및 하면 금속층과 접하여 전기적으로 연결되고, 상면 금속층 및 금속닷이 전기적으로 연결된 구조를 가질 수 있다. 이때 상면 금속층과 금속닷은 전기적으로 연결된 구조를 가지면 족하며, 예를 들어, 도 6과 같이 상면 금속층과 금속닷이 접하여 전기적으로 연결된 구조일 수 있고, 도 3(상단에서 하단 순서로 1번째 도면)과 같이 금속닷 및 상면 금속층이 전술한 금속닷 비아에 접하여 전기적으로 연결된 구조일 수도 있다.That is, in the MALDI mass spectrometry sample plate of the second aspect, as shown in FIG. 3 (second from top to bottom), the metal layer vias penetrating the plastic insulation plate are electrically connected to the upper metal layer and the lower metal layer. The upper metal layer and the metal dot may have a structure electrically connected to each other. In this case, the upper metal layer and the metal dot are sufficient to have an electrically connected structure. For example, the upper metal layer and the metal dot may be electrically connected to each other by contacting the upper metal layer, as shown in FIG. 6, and FIG. The metal dot and the upper metal layer may be electrically connected to the metal dot via described above.
이처럼, 플라스틱 절연판을 통해 분석대상 시료가 로딩될 금속닷과 하면 금속층을 서로 분리 위치시키고, 이들을 플라스틱 절연판에 관통 형성된 비아를 통해 전기적으로 연결함으로써, 타겟에 레이저를 조사할 시 금속 모제를 사용한 시료 플레이트 대비 플레이트의 내부로 전달되는 (열)에너지를 감소시켜 타겟으로 레이저 에너지를 집중시킬 수 있으며, 열 손실을 최소화할 수 있다. 이에 따라, 분석대상 시료의 균질한 가열이 가능하여 동일한 지점에 여러 번 레이저를 조사할 시에도 재현성이 우수한 MALDI 질량 스펙트럼을 얻을 수 있다.As such, the sample plate using the metal matrix when the laser is irradiated to the target by placing the metal dot on which the sample to be analyzed and the lower surface metal layer are separated from each other through the plastic insulating plate and electrically connecting them through vias formed through the plastic insulating plate. By reducing the (heat) energy delivered to the interior of the contrast plate, the laser energy can be concentrated on the target and the heat loss can be minimized. Accordingly, the homogeneous heating of the sample to be analyzed is possible, so that the MALDI mass spectrum having excellent reproducibility can be obtained even when the laser is irradiated to the same spot several times.
비제한적인 일 에로, 상면 금속층과 금속닷은 접하여 전기적으로 연결될 수 있으며, 예를 들어, 상기 금속닷의 전체 둘레와 상기 상면 금속층이 접하는 것일 수 있거나, 상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면은, 상기 금속닷 및 상기 상면 금속층이 이격하여 이 사이에 형성되는 절연부; 및 상기 절연부와 인접하고, 상기 금속닷과 상기 상면 금속층이 접하여 형성되는 연결부;를 포함할 수 있다. 비제한적인 일 예로, 상기 금속닷의 전체 둘레와 상기 상면 금속층이 접하는 경우, 금속닷의 전체 둘레와 금속층이 맞닿거나 금속닷과 금속층이 일체화된 것일 수 있다. 비제한적인 일 예로, 도 6에 도시된 일 예와 같이, 상기 연결부의 넓이는 상기 절연부의 넓이에 대하여 1 내지 20%일 수 있다. 하지만 이는 바람직한 일 예일 뿐, 본 발명이 이에 제한되지 않음은 물론이다.In one non-limiting example, the upper metal layer and the metal dot may be in contact with and electrically connected to each other. For example, the entire circumference of the metal dot and the upper metal layer may contact each other, or one surface of the plastic insulating plate on which the metal dot is formed, An insulating part spaced apart from the metal dot and the upper metal layer; And a connection part adjacent to the insulation part and formed to be in contact with the metal dot and the upper metal layer. As a non-limiting example, when the entire circumference of the metal dot and the upper surface metal layer contact each other, the entire circumference of the metal dot may contact the metal layer or the metal dot may be integrated with the metal layer. As a non-limiting example, as shown in FIG. 6, the width of the connection portion may be 1 to 20% of the width of the insulation portion. However, this is only a preferred example, and the present invention is not limited thereto.
본 발명의 일 예에 따른 제3 양태의 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는, 도 11 내지 도 13, 도 3(상단에서 하단 순서로 3번째 도면) 및 도 4(상단에서 하단 순서로 2, 3, 4번째 도면) 플라스틱 절연판; 상기 플라스틱 절연판의 일면에 형성되는 금속닷; 상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면에 형성되며, 상기 금속닷과 전기적으로 연결되는 상면 금속층; 및 상기 플라스틱 절연판의 측면에 형성되며, 상기 상면 금속층과 접하여 전기적으로 연결되는 측면 금속층;을 포함할 수 있다.The sample plate for MALDI mass spectrometry of the third embodiment according to an embodiment of the present invention is shown in FIGS. 11 to 13, 3 (third drawing in the order from the top to the bottom), and FIG. 4 (2, 3, Fourth drawing) plastic insulation plate; A metal dot formed on one surface of the plastic insulating plate; An upper metal layer formed on one surface of the plastic insulating plate on which the metal dots are formed and electrically connected to the metal dots; And a side metal layer formed on a side surface of the plastic insulating plate and electrically connected to the upper metal layer.
상기 제3 양태에서는 금속닷은 플라스틱 절연판 측면부에 형성된 측면 금속층에 의해 하면 금속층과 전기적으로 연결된다. 상기 측면 금속층은 플라스틱 절연판의 측면부, 구체적으로 플라스틱 절연판의 측면에 접하여 형성될 수 있다. 구체적으로, 도 11(상단에서 하단 순서로 1번째 도면)과 같이, 측면 금속층은 상면 금속층의 하면 플라스틱 절연체의 측면에 접하여 형성 수 있고, 도 11(상단에서 하단 순서로 2번째 도면)과 같이, 상면 금속층의 측면 및 플라스틱 절연판의 측면에 접하여 형성될 수도 있다. 또한 도 12에서와 같이, 측면 금속층은 플라스틱 절연판의 일 측면부에 형성될 수 있으며, 도 13에서와 같이, 복수의 측면 금속층이 플라스틱 절연판의 복수의 측면부에 각각 형성될 수도 있다. 이때 측면 금속층의 크기 및 형상은 전압이 인가되고 전기적으로 각 대상들을 연결할 수 있을 정도라면 제한되지 않으며, 예를 들어 판형상, 와이어 형상 등 다양한 형상 및 크기를 가질 수 있다. 일 예로, 열에너지의 전달을 보다 최소화할 수 있는 측면에서, 측면 금속층은 플라스틱 절연판의 전체 측면에 대하여 0.1 내지 10%, 구체적으로 0.5 내지 5%의 면적으로 형성되는 것이 바람직할 수 있다. 또한 열에너지의 전달을 보다 최소화할 수 있는 측면에서, 다수의 측면 금속층이 플라스틱 절연판의 측면에 보다 작은 단위 크기로 형성되는 것이 바람직할 수 있다. 하지만 이는 바람직한 일 예일 뿐, 본 발명이 이에 제한되지 않음은 물론이다.In the third aspect, the metal dot is electrically connected to the lower surface metal layer by the side metal layer formed on the side surface of the plastic insulating plate. The side metal layer may be formed in contact with a side portion of the plastic insulation plate, specifically, the side surface of the plastic insulation plate. Specifically, as shown in FIG. 11 (first drawing in the top to bottom order), the side metal layer may be formed in contact with the side surface of the bottom plastic insulator of the top metal layer, and as shown in FIG. 11 (the second drawing in the top to bottom order), It may be formed in contact with the side of the upper metal layer and the side of the plastic insulating plate. In addition, as shown in FIG. 12, the side metal layer may be formed on one side portion of the plastic insulation plate, and as shown in FIG. 13, a plurality of side metal layers may be formed on the plurality of side parts of the plastic insulation plate, respectively. In this case, the size and shape of the side metal layer is not limited as long as voltage is applied and the objects can be electrically connected to each other. For example, the side metal layer may have various shapes and sizes such as a plate shape and a wire shape. For example, in terms of minimizing the transfer of thermal energy, the side metal layer may be formed in an area of 0.1 to 10%, specifically 0.5 to 5%, with respect to the entire side of the plastic insulation plate. In addition, in terms of minimizing the transfer of thermal energy, it may be preferable that a plurality of side metal layers are formed in a smaller unit size on the side of the plastic insulation plate. However, this is only a preferred example, and the present invention is not limited thereto.
이처럼, 플라스틱 절연판을 통해 금속닷과 전기적으로 연결된 상면 금속층이 플라스틱 절연판의 측면부에 형성된 측면 금속층과 접하여 전기적으로 연결됨으로써, 타겟에 레이저를 조사할 시 금속 모제를 사용한 시료 플레이트 대비 플레이트의 내부로 전달되는 (열)에너지를 감소시켜 타겟으로 레이저 에너지를 집중시킬 수 있으며, 열 손실을 최소화할 수 있다. 이에 따라, 분석대상 시료의 균질한 가열이 가능하여 동일한 지점에 여러 번 레이저를 조사할 시에도 재현성이 우수한 MALDI 질량 스펙트럼을 얻을 수 있다.As such, the upper metal layer electrically connected to the metal dot through the plastic insulating plate is electrically connected to the side metal layer formed on the side portion of the plastic insulating plate, so that when the laser is irradiated to the target, the upper metal layer is transferred to the inside of the plate compared with the sample plate using the metal matrix. By reducing the (heat) energy, the laser energy can be concentrated on the target, minimizing heat loss. Accordingly, the homogeneous heating of the sample to be analyzed is possible, so that the MALDI mass spectrum having excellent reproducibility can be obtained even when the laser is irradiated to the same spot several times.
본 발명의 일 예에 따른 제3 양태의 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는, 경우에 따라, 상기 플라스틱 절연판의 타면에 형성되며, 상기 상면 금속층과 접하여 전기적으로 연결되는 하면 금속층;을 더 포함할 수 있다.The MALDI mass spectrometry sample plate according to the third aspect of the present invention may further include a lower surface metal layer formed on the other surface of the plastic insulation plate and electrically connected to the upper surface metal layer in some cases. .
본 발명의 일 예에 따른 제3 양태의 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는, 경우에 따라, 상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면은, 상기 금속닷의 전체 둘레 및 상기 상면 금속층이 이격하고, 상기 금속닷의 전체 둘레에 인접하여 이를 에워싸는 절연부; 및 상기 플라스틱 절연판을 관통하여 형성되며, 상기 금속닷과 상기 하면 금속층과 접하여 전기적으로 연결되는 금속닷 비아;를 포함할 수 있다.In the MALDI mass spectrometry sample plate according to the third aspect of the present invention, in some cases, one surface of the plastic insulation plate on which the metal dot is formed may be spaced apart from the entire circumference of the metal dot and the upper metal layer, An insulation part adjacent to and surrounding the entire circumference of the dot; And a metal dot via formed through the plastic insulating plate and electrically connected to the metal dot and the bottom metal layer.
제3 양태에서, 하면 금속층 및 금속닷 비아는 금속닷과 다른 금속층과의 전기적 연결을 위해 사용될 수 있으며, 이러한 금속층은 전압 인가부와의 연결을 위한 것일 수도 있다.In a third aspect, the bottom metal layer and the metal dot via may be used for the electrical connection between the metal dot and another metal layer, and the metal layer may be for connection with a voltage applying unit.
상기 제3 양태에서, 금속닷과 전기적으로 연결된 상면 금속층에 대한 연결 구조는 이들이 전기적으로 연결될 수 있는 구조라면 무방하다. 구체적인 일 예로, 도 6과 같이 상면 금속층과 금속닷이 직접적으로 접하여 전기적으로 연결된 구조일 수 있거나, 상면 금속층과 금속닷이 접하지 않고 다른 연결 수단을 통하여 간접적인 전기적 연결 구조를 통한 것일 수도 있다. 상기 간접적인 전기적 연결 구조의 예로, 도 4(상단에서 하단 순서로 3번째 도면)과 같이, 금속닷이 금속닷 비아와 접하고, 금속닷 비아가 하면 금속층과 접하며, 하면 금속층이 측면 금속층과 접함으로써, 측면 금속층과 접하는 상면 금속층에 의해, 상면 금속층과 금속닷이 간접적으로 전기적 연결된 구조일 수 있다.In the third aspect, the connection structure to the top metal layer electrically connected to the metal dot may be any structure in which they can be electrically connected. As a specific example, as shown in FIG. 6, the upper metal layer and the metal dot may be in direct contact with each other, and may be electrically connected to each other. Alternatively, the upper metal layer and the metal dot may not be in contact with each other and may be indirectly connected through other connecting means. As an example of the indirect electrical connection structure, as shown in FIG. 4 (third view from top to bottom), the metal dot contacts the metal dot via, the metal dot via contacts the lower metal layer, and the lower metal layer contacts the side metal layer. The upper metal layer and the metal dot may be indirectly electrically connected by the upper metal layer contacting the side metal layer.
전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트에서, 상면 금속층은 금속닷과 이격되어 위치할 수도 있고, 금속닷과 접하여 위치할 수 있다. 비제한적인 일 예로, 상면 금속층은 금속닷의 전체 둘레에 접하여 위치할 수 있으며, 즉, 상면 금속층과 금속닷 사이에는 플라스틱 절연판 또는 절연부가 위치하지 않고 하나의 금속판(금속닷+상면 금속층)으로서 형성될 수도 있다.As described above, in the MALDI mass spectrometry sample plate according to the present invention, the upper metal layer may be spaced apart from the metal dot, or may be positioned in contact with the metal dot. As a non-limiting example, the top metal layer may be located in contact with the entire circumference of the metal dot, that is, formed as a single metal plate (metal dot + top metal layer) without a plastic insulating plate or an insulating portion between the top metal layer and the metal dot. May be
전술한 바와 같이, 본 발명은 제1 내지 제3 양태와 같은 다양한 양태를 포함할 수 있으며, 이때 각 양태에서 별도로 설명하지 않은 구성요소가 있더라도, 각 양태에서 설명한 구성요소는 다른 양태에도 공유 및 적용될 수 있음은 물론이다. 즉, 전술한 일 예에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트에 대한 구성요소의 조합은 본 발명에서 보다 바람직한 것임에 따라 구체적으로 설명한 것으로, 이 외에 언급한 각 구성요소들의 가능한 조합 또한 본 발명의 구성으로서 포함되는 것은 물론이다.As described above, the present invention may include various aspects, such as the first to third aspects, wherein components described in each aspect may be shared and applied to other aspects, even if there is a component that is not separately described in each aspect. Of course it can. That is, the combination of the components for the sample plate for MALDI mass spectrometry according to the above-described example is specifically described as it is more preferable in the present invention, and other possible combinations of the aforementioned components may also be used as the configuration of the present invention. Of course it is included.
상기 비아는 금속닷과 금속층을 전기적으로 연결하여 주기 위한 것으로, 플라스틱 절연판을 관통하는 관통홀의 내부에 형성될 수 있으며, 금속닷과 금속층을 연결해줄 수 있다면, 비아의 직경 및 형상은 특별히 한정하진 않는다. 구체적으로, 안정적으로 금속닷이 플라스틱 절연판의 일면에 결착될 수 있도록 금속닷의 직경 대비 상대적으로 비아의 직경이 작은 것이 바람직할 수 있다. 일 구체예로, 비아의 직경은 10 ㎛ 내지 1 mm일 수 있으며, 보다 좋게는 50 내지 500 ㎛일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.The via is for electrically connecting the metal dot and the metal layer, and may be formed in the through hole penetrating the plastic insulation plate, and the diameter and the shape of the via are not particularly limited as long as they can connect the metal dot and the metal layer. . Specifically, it may be desirable for the via diameter to be smaller than the diameter of the metal dot so that the metal dot can be stably bound to one surface of the plastic insulating plate. In one embodiment, the diameter of the via may be 10 μm to 1 mm, more preferably 50 to 500 μm, but is not limited thereto.
상기 비아는 플라스틱 절연판을 관통하여, 금속닷과 하면 금속층을 전기적으로 연결할 수 있는 형태라면 특별히 한정하진 않으나, 금속닷과 하면 금속층이 전기적으로 연결되도록, 플라스틱 절연판을 관통하는 관통홀의 내면이 금속으로 코팅되거나 또는 관통홀에 금속 플러그가 압입된 형태인 것일 수 있다.The via is not particularly limited as long as the via penetrates the plastic insulating plate to electrically connect the metal layer to the bottom metal layer. However, the inner surface of the through hole penetrating the plastic insulation plate is coated with metal so that the metal layer is electrically connected to the bottom metal layer. Or it may be in the form of a metal plug pressed into the through-hole.
이때 금속 코팅 또는 금속 플러그는 하면 금속층과 동일 또는 상이한 금속으로 형성된 것일 수 있으며, 예를 들면 금속 원소 물질 등일 수 있다. 보다 구체적인 일 예로, 비아는 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu), 크롬(Cr), 알루미늄(Al), 텅스텐(W), 아연(Zn), 니켈(Ni), 철(Fe) 및 이들의 합금 등에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상을 포함하여 형성된 것일 수 있다. 또한 비아는 우수한 전기전도성을 확보하면서도, 비용을 절감하는 측면에서 구리(Cu) 또는 구리 합금을 포함하는 것이 좋을 수 있다. 하지만 이는 바람직한 일 예일 뿐, 본 발명이 이에 제한되지 않음은 물론이다.In this case, the metal coating or the metal plug may be formed of the same or different metal as the lower metal layer, and may be, for example, a metal element material. As a more specific example, the via is gold (Au), silver (Ag), copper (Cu), chromium (Cr), aluminum (Al), tungsten (W), zinc (Zn), nickel (Ni), iron (Fe) And any one or two or more selected from these alloys and the like. In addition, the via may include copper (Cu) or a copper alloy in terms of reducing costs while ensuring excellent electrical conductivity. However, this is only a preferred example, and the present invention is not limited thereto.
상기 플라스틱 절연판은 절연성을 가지는 플라스틱 기판으로서, 예를 들어 금속닷, 하면 금속층, 비아 등과 비교하여 열전달을 상대적으로 감소시킬 수 있는 것이라면 특별히 한정되지 않다. 이의 비제한적인 일 예로, 플라스틱 절연판은 에폭시(epoxy), 종이-페놀수지(phenolic resin), 폴리이미드(polyimide, PI), 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethyleneterephthalate, PET), 폴리에틸렌나프탈레이트(polyethylenenaphthalate, PEN), 폴리메틸메타아크릴레이트(polymethylmethacrylate, PMMA), 폴리에테르에테르케톤(polyetheretherketone, PEEK), 폴리카보네이트(polycarbonate, PC), 폴리에테르술폰(polyethersulfone, PES), 폴리아릴라이트(polyarylite) 또는 사이클릭올레핀코폴리머(cyclicolefincopolymer, COC) 등의 기판일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 그 두께는 충분한 절연성을 제공하면서도, 쉽게 변형되지 않을 정도의 통상적으로 이용되는 시료 플레이트의 두께 정도면 족하며, 일 구체예로 2 내지 5 mm일 수 있나, 이에 제한되는 것은 아니다. 이때 상기 종이-페놀수지 기판은 종이 바탕에 페놀 수지를 침투시키고, 이를 여러 장 겹쳐 가열 및 압축하여 제조된 것을 의미할 수 있다. 하지만 이는 바람직한 일 예일 뿐, 본 발명이 이에 제한되지 않음은 물론이다.The plastic insulating plate is an insulating plastic substrate, and is not particularly limited as long as it can relatively reduce heat transfer as compared to, for example, a metal dot, a lower metal layer, a via, and the like. As one non-limiting example, the plastic insulating plate may be epoxy, paper-phenolic resin, polyimide (PI), polyethylene terephthalate (PET), polyethylenenaphthalate (PEN), Polymethylmethacrylate (PMMA), polyetheretherketone (PEEK), polycarbonate (PC), polyethersulfone (PES), polyarylite or cyclic olefin copolymer It may be a substrate such as (cyclicolefincopolymer, COC), but is not limited thereto. The thickness may be sufficient as the thickness of a commonly used sample plate that is not easily deformed while providing sufficient insulation, and in one embodiment may be 2 to 5 mm, but is not limited thereto. In this case, the paper-phenolic resin substrate may mean that the phenol resin penetrates the paper and is manufactured by heating and compressing a plurality of sheets. However, this is only a preferred example, and the present invention is not limited thereto.
상기 금속닷은 질량을 분석하고자하는 분석대상 시료가 실질적으로 로딩되는 부분으로, MALDI 분석 시 레이저가 조사되는 지점이다. 금속닷은 상기 플라스틱 절연판의 일면에 요구 형태로 형성될 수 있고, 플라스틱 절연판의 일면에 금속닷이 하나 또는 둘 이상으로 형성될 수 있으며, 금속닷이 복수 개로 형성될 시, 주기적 및 규칙적인 배열 형태 또는 비주기적 및 비규칙적인 배열 형태를 가질 수 있다.The metal dot is a portion in which an analyte sample to be mass analyzed is substantially loaded, and is a point where a laser is irradiated during MALDI analysis. The metal dot may be formed in a required shape on one surface of the plastic insulating plate, and one or more metal dots may be formed on one surface of the plastic insulating plate, and when a plurality of metal dots are formed, periodic and regular arrangement Or aperiodic and irregular arrangements.
본 발명의 일 예에 따른 상기 금속닷의 재질은, 당업계에서 분석대상 시료가 로딩될 수 있도록 하는 재료로, 전기가 통하는 전도성 물질이라면 특별히 제한되지 않으며, 예를 들어 금속 원소 물질 등일 수 있다. 비제한적인 일 예로, 상기 금속닷은 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu), 크롬(Cr), 알루미늄(Al), 텅스텐(W), 아연(Zn), 니켈(Ni), 철(Fe) 및 이들의 합금 등에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상을 포함하는 것일 수 있으나, 당업계에서 통상적으로 사용되는 다른 재료를 배제하는 것은 아니다.The material of the metal dot according to an embodiment of the present invention is a material that allows a sample to be analyzed in the art to be loaded, and is not particularly limited as long as it is an electrically conductive material, and may be, for example, a metal element material. As a non-limiting example, the metal dot may be gold (Au), silver (Ag), copper (Cu), chromium (Cr), aluminum (Al), tungsten (W), zinc (Zn), nickel (Ni), It may include any one or two or more selected from iron (Fe) and alloys thereof, but does not exclude other materials commonly used in the art.
상기 금속닷은 앞서 언급한 바와 같이, 분석대상 시료가 로딩되는 구성 요소임에 따라, 분석대상 시료가 잘 응집할 수 있도록 적정 크기를 가지는 것이 좋으며, 아울러 분석대상 시료와 성질이 유사한 것이 바람직하다.As mentioned above, the metal dot is a component that is loaded with the sample to be analyzed, and therefore, it is preferable to have an appropriate size so that the sample to be analyzed can be well aggregated, and similar to the sample to be analyzed.
일 구체예로, 금속닷의 직경은 100 ㎛ 내지 5 mm, 구체적으로 100 ㎛ 내지 2 mm, 보다 구체적으로 300 ㎛ 내지 1 mm일 수 있다. 이와 같은 범위에서 분석대상 시료 용액을 점적하여 타겟을 형성할 시, 타겟이 금속닷으로 응집되는 효과가 우수할 수 있으며, 금속닷의 크기가 작음에 따라 열방출이 억제되어 열 손실을 최소화할 수 있다.In one embodiment, the diameter of the metal dot may be 100 μm to 5 mm, specifically 100 μm to 2 mm, more specifically 300 μm to 1 mm. When forming a target by dropping the sample solution to be analyzed in such a range, the effect of aggregation of the target into the metal dot may be excellent, and heat dissipation is suppressed as the size of the metal dot is small, thereby minimizing heat loss. have.
아울러 분석대상 시료가 금속닷으로 응집되는 효과를 더욱 높이기 위해, 금속닷은 분석대상 시료 또는 분석대상 시료 용액과 성질이 유사하고, 플라스틱 절연판은 이와 반대되는 성질을 갖는 것이 바람직할 수 있다.In addition, in order to further increase the effect of the sample to be aggregated into the metal dot, the metal dot may be similar in nature to the sample or analyte sample solution, and the plastic insulating plate may have the opposite properties.
비제한적인 일 예로, 분석대상 시료 용액이 친수성일 경우, 플라스틱 절연판 또는 후술하는 금속층은 소수성 표면 성질을 가질 수 있으며, 상기 금속닷은 친수성 표면 성질을 가지는 것이 분석대상 시료를 금속닷으로 응집시킴에 있어 효과적일 수 있다. 이를 위해, 플라스틱 절연판 제조 시, 소수성을 가진 고분자를 이용하여 플라스틱 절연판을 제조하거나, 도 7에 도시된 바와 같이, 기판 제조 후 그 표면을 소수성 물질로 표면 처리하여 소수성 표면 성질을 갖는 플라스틱 절연판을 제조할 수 있다. 반대로, 금속닷의 경우, 친수성 물질로 그 표면을 처리하여 친수성 표면을 갖는 금속닷을 제조할 수 있다.As a non-limiting example, when the sample solution to be analyzed is hydrophilic, the plastic insulating plate or the metal layer to be described later may have a hydrophobic surface property, and the metal dot has a hydrophilic surface property to aggregate the analyte sample with the metal dot. Can be effective. To this end, in the manufacture of a plastic insulating plate, a plastic insulating plate is manufactured by using a hydrophobic polymer, or as shown in FIG. 7, after the substrate is manufactured, the surface is treated with a hydrophobic material to prepare a plastic insulating plate having hydrophobic surface properties. can do. In contrast, in the case of a metal dot, the surface of the metal dot may be treated with a hydrophilic material to prepare a metal dot having a hydrophilic surface.
보다 바람직할 수 있는 일 예로, 상기 금속닷의 표면은 도 7에 도시된 바와 같이, 금속닷 표면 중심부에 위치하는 시료 안착 표면부; 및 상기 시료 안착부의 둘레를 감싸는 소수성 표면부;를 포함할 수 있으며, 상기 소수성 표면부는 상기 시료 안착 표면부보다 소수성이 큰 것일 수 있다. 상기 시료 안착 표면부는 실제 분석대상 시료가 안착되는 부분으로, 상기 소수성 표면부에 의해 분석대상 시료가 시료 안착 표면부로 응집될 수 있도록 한다. 상기 시료 안착 표면부의 직경은 시료가 안착될 수 있을 정도라면 무방하며, 예컨대 100 ㎛ 이상이고 금속닷의 직경보다 작은 것일 수 있다. 또한 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 소수성 표면부는 상기 상면 금속층의 표면에도 형성될 수 있다. 하지만 이는 바람직한 일 예일 뿐, 본 발명이 이에 제한되지 않음은 물론이다.As a more preferable example, the surface of the metal dot is a sample seating surface portion located in the center of the metal dot surface, as shown in Figure 7; And a hydrophobic surface portion surrounding the sample seating portion, wherein the hydrophobic surface portion may have a greater hydrophobicity than the sample seating surface portion. The sample seating surface portion is a portion where the sample to be actually analyzed is seated, and the hydrophobic surface portion allows the sample to be analyzed to aggregate onto the sample seating surface portion. The sample seating surface portion may have a diameter enough to allow the sample to be seated, for example, 100 μm or more and smaller than the diameter of the metal dot. In addition, as shown in Figure 9, the hydrophobic surface portion may be formed on the surface of the upper metal layer. However, this is only a preferred example, and the present invention is not limited thereto.
또한 본 발명의 일 예에 있어서, 상면 금속층과 금속닷 사이에 플라스틱 절연판 등의 절연부가 있을 경우에, 도 7에서와 같이, 상기 소수성 표면부는 상기 절연부에도 위치할 수 있다.In addition, in one embodiment of the present invention, when there is an insulating portion such as a plastic insulating plate between the upper metal layer and the metal dot, as shown in Figure 7, the hydrophobic surface portion may be located in the insulating portion.
본 발명의 일 예에 있어서, 상기 소수성 표면부는 테트라플루오로에틸렌, 헥사플루오로프로필렌, 클로로트리플루오로에틸렌, 트리플루오로에틸렌, 비닐리덴플루오로라이드, 옥타플루오로부틸렌, 펜타플루오로페닐 트리플루오로에틸렌, 펜타플루오로페닐에틸렌, 이들로부터 유도된 반복 단위를 포함한 중합체, 플루오르 함유 아크릴레이트 중합체 및 퍼플루오로폴리에테르 등에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상을 포함하는 불소계 화합물; 알킬트리클로로실란, 알킬트리메톡시실란, 알킬트리에톡시실란 및 디클로로디알킬실란 등에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상을 포함하는 알킬기를 가지는 실란계 화합물; 아민기를 가지는 실란계 화합물 및 디메티콘 및 메티콘 등에서 선택되는 어느 하나 이상을 포함하는 실리콘 오일; 초소수성을 나타내는 망간 산화물/폴리스티렌(MnO2/PS) 나노 복합체 및 아연 산화물/폴리스티렌(ZnO/PS) 나노 복합체 등에서 선택되는 어느 하나 이상을 포함하는 산화물/고분자 나노 복합체; 탄소나노튜브를 포함하는 조성물; 및 실리카 나노 코팅제; 등에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상을 포함할 수 있다. 하지만 이는 바람직한 일 예일 뿐, 본 발명이 이에 제한되지 않음은 물론이다.In one embodiment of the invention, the hydrophobic surface portion tetrafluoroethylene, hexafluoropropylene, chlorotrifluoroethylene, trifluoroethylene, vinylidene fluoride, octafluorobutylene, pentafluorophenyl tri Fluorine-based compounds including any one or two or more selected from fluoroethylene, pentafluorophenylethylene, polymers including repeating units derived therefrom, fluorine-containing acrylate polymers and perfluoropolyethers; Silane compounds having an alkyl group including any one or two or more selected from alkyltrichlorosilane, alkyltrimethoxysilane, alkyltriethoxysilane, dichlorodialkylsilane and the like; Silicone oil containing a silane compound having an amine group and any one or more selected from dimethicone and methicone; Oxide / polymer nanocomposites including any one or more selected from manganese oxide / polystyrene (MnO 2 / PS) nanocomposites and zinc oxide / polystyrene (ZnO / PS) nanocomposites exhibiting superhydrophobicity; A composition comprising carbon nanotubes; And silica nano coatings; It may include any one or two or more selected from. However, this is only a preferred example, of course, the present invention is not limited thereto.
비제한적인 일 예로, 분석대상 시료 용액이 소수성일 경우, 상기 플라스틱 절연판 또는 후술하는 금속층은 친수성 표면 성질을 가질 수 있으며, 상기 금속닷은 소수성 표면 성질을 가지는 것이 분석대상 시료를 금속닷으로 응집시킴에 있어 효과적일 수 있다.As a non-limiting example, when the sample solution to be analyzed is hydrophobic, the plastic insulating plate or the metal layer to be described later may have a hydrophilic surface property, and the metal dot has a hydrophobic surface property to aggregate the sample to be analyzed with a metal dot. Can be effective.
전술한 바와 같이, 분석대상 시료가 매우 좁은 영역에 응집되어 높은 집적도를 가질 시, 적은 용량의 시료로도 높은 감도로 질량 분석이 가능할 수 있으며, 재현성이 우수한 MALDI 질량 스펙트럼을 얻을 수 있다.As described above, when the sample to be analyzed is agglomerated in a very narrow region and has a high degree of integration, mass analysis can be performed with high sensitivity even with a small volume of sample, and MALDI mass spectrum having excellent reproducibility can be obtained.
본 발명에서는 금속닷에 전압이 인가됨으로써 최종적으로 질량분석이 가능하며, 이 금속닷에 전압을 인가하기 위한 다양한 공지된 방법 또는 후술하는 방법이 사용될 수 있다. 구체적인 일 예를 들어 설명하면, MALDI 질량분석 장비의 작동이 가능할 수 있도록, MALDI 질량분석기는 시료 플레이트에 전압을 인가하기 위한 전압 인가부를 포함할 수 있으며, 이 전압 인가부로부터 금속닷에 전압이 인가될 수 있도록 하면 무방하다. 금속닷에 전압이 인가될 수 있도록 하는 구체적 수단의 예로, 상기 전압 인가부가 본 발명에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트의 금속닷에 직접 접촉하여 전기적으로 연결될 수도 있으나, 금속층 또는 비아에 전기적으로 연결되어 전압 인가부가 금속닷에 직접 연결되지 않도록 하는 것이 바람직할 수 있다. 구체적인 일 예로, 상기 전압 인가부가 금속닷 비아, 금속층 비아, 상면 금속층, 하면 금속층 및 측면 금속층 중에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상과 직접 접촉하여 전기적으로 연결될 수 있다. 보다 바람직하게는 전압 인가부가 금속닷과 전기적으로 연결된 하면 금속층과 직접 연결되는 것이 좋을 수 있다.In the present invention, the voltage is finally applied to the metal dot to allow mass analysis, and various known methods or methods described below for applying the voltage to the metal dot may be used. As a specific example, to enable the operation of the MALDI mass spectrometer, the MALDI mass spectrometer may include a voltage applying unit for applying a voltage to the sample plate, from which the voltage is applied to the metal dot. If you can, it's fine. As an example of a specific means for allowing a voltage to be applied to the metal dot, the voltage applying unit may be electrically connected to the metal dot of the sample plate for MALDI mass spectrometry according to the present invention, but may be electrically connected to the metal layer or via. It may be desirable to ensure that the voltage applying portion is not directly connected to the metal dot. As a specific example, the voltage applying unit may be electrically connected in direct contact with any one or two or more selected from a metal dot via, a metal layer via, an upper metal layer, a lower metal layer, and a side metal layer. More preferably, when the voltage applying unit is electrically connected to the metal dot, it may be preferable to directly connect the metal layer.
상기 금속층은 금속닷이 플라스틱 절연판의 일면에 점 또는 원형 형태로 형성됨에도 불구하고 MALDI 질량분석 장비의 작동이 보다 원활하게 가능할 수 있도록 전술한 구조를 통해 전기적인 연결을 제공하는 것으로, 금속층은 MALDI 질량분석 장비 중 시료 플레이트에 전압을 인가하기 위한 전압 인가부와 접하도록 설계된 것일 수 있다. 아울러, 실질적인 금속닷과의 전기적인 연결은 비아 또는 금속층을 통하는 것일 수 있는 바, 일 예로, 하면 금속층은 하면 금속층이 형성되는 플라스틱 절연판의 면측 비아의 일단을 커버하거나 측면 금속층과 접하도록 그 패턴이 형성되는 것이 바람직할 수 있다. 비제한적인 일 예로, 하면 금속층이 비아의 일단과 연결되지 않거나 측면 금속층과 접하지 않을 경우, 금속닷에 전압을 인가하기 까다로울 수 있어 MALDI 질량분석이 어려울 수 있으므로, 즉, 비제한적인 일 예에 따르면, 하면 금속층은 시료 플레이트를 질량분석기에 삽입 분석하는 단계에서 시료 플레이트에 전압을 공급하는 전압 인가부와 연결되고 비아를 통해서 금속닷과 연결되는 구조를 갖는 것임에 따라, 보다 정밀한 질량분석 및 레이조 조사 횟수에 따른 온도 편차에 의한 재현성 저하를 최소화할 수 있는 효과가 보다 향상될 수 있다.The metal layer provides an electrical connection through the above-described structure so that the operation of the MALDI mass spectrometer can be more smoothly performed even though the metal dot is formed in a dot or a circular shape on one surface of the plastic insulating plate, and the metal layer is the MALDI mass. The analysis equipment may be designed to be in contact with a voltage applying unit for applying a voltage to a sample plate. In addition, the actual electrical connection with the metal dot may be through a via or a metal layer. For example, the lower metal layer may cover one end of the side via of the plastic insulation plate on which the lower metal layer is formed, or contact the side metal layer. It may be desirable to form. As a non-limiting example, MALDI mass spectrometry can be difficult to apply voltage to the metal dot if the metal layer is not connected to one end of the via or in contact with the side metal layer, that is, in one non-limiting example According to the present invention, the metal layer has a structure that is connected to a voltage applying part supplying voltage to the sample plate and connected to a metal dot through vias in the step of inserting and analyzing the sample plate into the mass spectrometer. The effect of minimizing the reproducibility deterioration due to the temperature variation according to the number of times of irradiation can be further improved.
상기 금속층의 재질은 전기전도성이 우수하다고 알려진 것이라면 특별히 한정하지 않고 사용할 수 있는데, 예를 들면 금속 원소 물질 등일 수 있다. 보다 구체적인 일 예로, 금속층은 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu), 크롬(Cr), 알루미늄(Al), 텅스텐(W), 아연(Zn), 니켈(Ni), 철(Fe) 및 이들의 합금 등에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상을 포함할 수 있다. 우수한 전기전도성을 확보하면서도, 비용을 절감하는 측면에서 금속층은 구리(Cu) 또는 구리 합금을 포함하는 것이 보다 바람직할 수 있다. 하지만 이는 바람직한 일 예일 뿐, 본 발명이 이에 제한되지 않음은 물론이다.The material of the metal layer may be used without particular limitation as long as it is known to have excellent electrical conductivity. For example, the metal layer may be a metal element material. As a more specific example, the metal layer is gold (Au), silver (Ag), copper (Cu), chromium (Cr), aluminum (Al), tungsten (W), zinc (Zn), nickel (Ni), iron (Fe) ) And alloys thereof, and the like. It may be more preferable that the metal layer includes copper (Cu) or a copper alloy in terms of reducing costs while ensuring excellent electrical conductivity. However, this is only a preferred example, and the present invention is not limited thereto.
본 명세서에서 언급되는 ‘금속층’은 그 형태에 있어서 제한되지 않으며 예컨대 막(plate) 형태, 구체적으로 코팅막의 형태를 가질 수 있다.As used herein, the "metal layer" is not limited in its form and may be, for example, in the form of a plate, specifically, in the form of a coating film.
본 명세서에서 언급되는 ‘금속닷’, ‘금속층’의 크기는 규모에 따라 적절히 조절될 수 있으므로 크게 제한되지 않으며, 예컨대 이들의 평균두께는 10 ㎛ 내지 200 ㎛일 수 있으나, 이에 본 발명이 제한되지 않음은 물론이다. 또한 본 명세서에서 언급되는 ‘플라스틱 절연판’의 크기는 규모에 따라 적절히 조절될 수 있으므로 크게 제한되지 않으며, 예컨대 이의 평균두께는 0.5 mm 내지 3 mm일 수 있으나, 이에 본 발명이 제한되지 않음은 물론이다.The size of the 'metal dot', 'metal layer' referred to in the present specification may be appropriately adjusted according to the size, and is not particularly limited. For example, the average thickness thereof may be 10 μm to 200 μm, but the present invention is not limited thereto. Of course not. In addition, the size of the 'plastic insulating plate' referred to in the present specification may be appropriately adjusted according to the size, and is not greatly limited. For example, the average thickness thereof may be 0.5 mm to 3 mm, but the present invention is not limited thereto. .
본 발명에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는 금속닷의 둘레와 인접하는 식별용 마킹 영역을 더 포함할 수 있다. 전술한 절연부에 의해 시료가 로딩되는 영역인 금속닷 영역이 식별될 수 있고, 이러한 영역의 식별이 어렵거나 이를 더 보완하기 위해, 금속닷의 둘레와 인접하는 식별용 마킹 영역이 더 구비될 수 있다. 이 마킹 영역은 코팅, 페인팅 등의 공지된 다양한 방법으로 수행될 수 있다.The sample plate for MALDI mass spectrometry according to the present invention may further include an identification marking area adjacent to the circumference of the metal dot. The metal dot region, which is a region in which the sample is loaded, may be identified by the above-described insulation, and in order to make it difficult to further identify or supplement the region, an identification marking region adjacent to the circumference of the metal dot may be further provided. have. This marking area can be performed by various known methods such as coating, painting and the like.
본 발명의 일 예에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는, 도 8 내지 도 10에서와 같이, 상기 플라스틱 절연판의 일면에 부착되며, 상기 금속닷의 둘레를 둘러싸는 관통홀이 구비된 시료 레저버 기판을 더 포함할 수 있다. 이때, 시료 레저버 기판은, 금속닷의 둘레와 이격 위치하도록 금속닷의 둘레를 둘러싸는 금속층과는 달리, 시료 레저버 기판의 관통홀의 내면과 금속닷의 둘레가 맞닿는 형태일 수 있다.The sample plate for MALDI mass spectrometry according to an embodiment of the present invention is attached to one surface of the plastic insulating plate, as shown in Figure 8 to 10, the sample reservoir substrate having a through-hole surrounding the metal dot It may further include. In this case, unlike the metal layer surrounding the circumference of the metal dot to be spaced apart from the circumference of the metal dot, the sample reservoir substrate may have a form in which the inner surface of the through hole of the sample reservoir substrate is in contact with the circumference of the metal dot.
이처럼, 시료 레저버 기판을 가질 수 있음에 따라, 시료 플레이트에 직접적으로 분석대상 시료 용액을 점적하고, 금속닷 상에 분석대상 시료를 로딩할 수 있는 장점이 있으며, 이를 통해 극히 균일하고 세밀하게 분석대상 시료를 샘플링할 수 있음에 따라 질량 분석 시 더욱 우수한 재현성을 확보할 수 있다.As such, since the sample reservoir substrate may be provided, the sample solution may be directly deposited on the sample plate, and the sample may be loaded on the metal dot, thereby providing extremely uniform and detailed analysis. Samples can be sampled to ensure better reproducibility during mass spectrometry.
본 발명의 일 예에 있어서, 상기 시료 레저버 기판은 분석대상 시료를 로딩하여 타겟을 형성한 후, 질량 분석 시 효율적인 레이저 조사를 위해 MALDI 질량분석용 시료 플레이트로부터 분리되는 것이 바람직함에 따라, 시료 레저버 기판은 상기 플라스틱 절연판의 일면에 탈부착이 가능한 것일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the sample reservoir substrate is loaded with the sample to be analyzed to form a target, and then separated from the sample plate for MALDI mass spectrometry for efficient laser irradiation during mass analysis, the sample leisure The burr substrate may be detachable from one surface of the plastic insulating plate.
이처럼, 시료 레저버 기판은 차후 MALDI 질량분석용 시료 플레이트로부터 분리되는 것임에 따라, 원하는 형태를 가지도록 제조된 것이라면 특별히 그 재료를 한정하지 않을 수 있으며, 금속, 금속산화물, 세라믹 또는 고분자 등의 어떤 재료를 사용해도 무방하나, 관통홀은 금속닷으로의 분석대상 시료 응집 효과를 높이기 위해 그 내면이 소수성 표면 성질을 갖는 것이 바람직하다. 하지만 이는 바람직한 일 예일 뿐, 본 발명이 이에 제한되지 않음은 물론이다.As such, since the sample reservoir substrate is separated from the MALDI mass spectrometry sample plate, the sample reservoir substrate may not be particularly limited as long as the sample reservoir substrate is manufactured to have a desired shape, and may be any metal, metal oxide, ceramic, or polymer. Although a material may be used, it is preferable that the through hole has a hydrophobic surface property on its inner surface in order to enhance the effect of aggregating the sample to be analyzed with a metal dot. However, this is only a preferred example, and the present invention is not limited thereto.
또한 앞서 언급한 바와 같이, 시료 레저버 기판의 관통홀은 시료 레저버 기판의 관통홀의 내면과 금속닷의 둘레가 맞닿는 형태라면, 관통홀 자체의 형상은 특별히 한정하지 않으며, 구체적으로 예를 들면 원기둥 형상 또는 깔때기 형상 등일 수 있다. 하지만 이는 바람직한 일 예일 뿐, 본 발명이 이에 제한되지 않음은 물론이다.In addition, as mentioned above, the through-hole of the sample reservoir substrate is a shape in which the inner surface of the through-hole of the sample reservoir substrate is in contact with the circumference of the metal dot, and the shape of the through-hole itself is not particularly limited, and specifically, for example, a cylinder Shape or funnel shape or the like. However, this is only a preferred example, and the present invention is not limited thereto.
아울러 본 발명의 일 예에 따른 시료 레저버 기판은, 도 10에서와 같이, 관통홀로 투입된 분석대상 시료 용액에서 용매를 빠르게 건조하기 위하여, 관통홀로 비활성 가스를 배출할 수 있는 가스 통로가 구비될 수 있다. 가스 통로는 관통홀로 가스를 운송할 수 있다면 그 형상, 크기 등을 제한하지 않으며, 통로의 수 또한 제한하지 않으며, 이의 일 예로서 상기 가스 통로로, 도 10의 좌측 도면에 도시된 점선으로 표시하였으며, 도 10의 좌측 도면은 투시 상면도로, 시료 플레이트의 상면도이며, 도시된 가스 통로는 점선으로서 투시된 상태이다. 이때 비활성 가스는 헬륨(He), 네온(Ne), 질소(N2) 또는 아르곤(Ar) 등일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.In addition, the sample reservoir substrate according to an embodiment of the present invention, as shown in Figure 10, in order to quickly dry the solvent in the sample solution to be injected into the through hole, a gas passage for discharging the inert gas to the through hole may be provided have. The gas passage is not limited to the shape, size, etc., if the gas can be transported through the through-hole, and also does not limit the number of passages, as an example of the gas passage is shown by the dotted line shown in the left figure of FIG. 10 is a perspective top view, which is a top view of a sample plate, and the gas passages shown are in a perspective state as dotted lines. In this case, the inert gas may be helium (He), neon (Ne), nitrogen (N 2) or argon (Ar), but is not limited thereto.
또한 본 발명의 일 예에 따른 시료 레저버 기판은, 도 10에서와 같이, MALDI 질량분석용 시료 플레이트로부터 탈부착이 가능할 수 있도록 시료 레저버 기판의 내부에 자석이 구비될 수 있으며, 이때 자석은 영구 자석을 의미하는 것일 수 있다. 이를 위해, MALDI 질량분석용 시료 플레이트의 바닥면, 즉 시료 레저버 기판이 부착되는 면의 대향면과 결착되는 부착 보조장비가 더 구비될 수 있으며, 이 부착 보조장비 또한 자석이 구비된 것일 수 있다. 이 부착 보조장비 상에 MALDI 질량분석용 시료 플레이트를 결착시키고, 부착 보조장비에 구비된 자석의 변위를 조절함으로써, 부착 보조장비에 구비된 자석과 시료 레저버 기판에 구비된 자석이 서로 끌어당기거나 또는 끌어당기지 않도록 조절하여, 시료 레저버 기판이 MALDI 질량분석용 시료 플레이트에 탈착 또는 부착되도록 할 수 있다. 하지만 이는 바람직한 일 예일 뿐, 본 발명이 이에 제한되지 않음은 물론이다. In addition, the sample reservoir substrate according to an embodiment of the present invention, as shown in Figure 10, may be provided with a magnet inside the sample reservoir substrate to be detachable from the sample plate for MALDI mass spectrometry, wherein the magnet is permanent It may mean a magnet. To this end, an attachment aid may be further provided which is attached to the bottom surface of the sample plate for MALDI mass spectrometry, that is, the opposite surface of the surface to which the sample reservoir substrate is attached, and the attachment aid may also be provided with a magnet. . By attaching the sample plate for MALDI mass spectrometry on the attachment aid and adjusting the displacement of the magnet provided in the attachment aid, the magnet provided in the attachment aid and the magnet in the sample reservoir substrate are attracted to each other. Alternatively, the sample reservoir substrate may be detached or attached to the sample plate for MALDI mass spectrometry. However, this is only a preferred example, and the present invention is not limited thereto.
이하, 본 발명에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트의 제조 방법을 상세히 설명한다. 하지만 이는 본 발명에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트의 제조 방법을 일 구체예를 들어 효과적으로 설명하기 위한 것일 뿐, 이에 의해 본 발명이 특정 양태에 제한되어 해석되어서는 안 된다. 또한 후술하는 ALDI 질량분석용 시료 플레이트의 제조 방법에 대한 각 구성요소가 전술한 ALDI 질량분석용 시료 플레이트의 구성요소와 공유 및 적용될 수 있음은 물론이다.Hereinafter, a method of manufacturing a sample plate for MALDI mass spectrometry according to the present invention will be described in detail. However, this is only for effectively explaining a method for producing a sample plate for MALDI mass spectrometry according to the present invention by way of example, whereby the present invention is limited to a specific embodiment should not be interpreted. In addition, each component of the method for producing a sample plate for ALDI mass spectrometry described below can be shared and applied to the components of the above-described ALDI mass spectrometry sample plate.
본 발명의 일 양태에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트의 제조 방법은, 플라스틱 절연판의 양면에 금속박막을 형성하는 단계; 상기 플라스틱 절연판을 관통하는 비아를 형성하는 단계; 및 상기 플라스틱 절연판의 양면의 금속박막을 선택적으로 식각하여, 일면에는 금속닷을 형성하고 타면에는 하면 금속층을 형성하는 단계;를 포함할 수 있다. 이때 상기 금속닷과 하면 금속층은 비아를 통해 전기적으로 연결되는 것일 수 있다.Method for producing a sample plate for MALDI mass spectrometry according to an aspect of the present invention, forming a metal thin film on both sides of the plastic insulating plate; Forming a via penetrating the plastic insulating plate; And selectively etching both sides of the metal thin film of the plastic insulation plate to form a metal dot on one surface and a bottom metal layer on the other surface thereof. In this case, the metal dot and the bottom metal layer may be electrically connected through vias.
본 발명의 일 양태에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트의 제조 방법은, 플라스틱 절연판의 양면에 금속박막을 형성하는 단계; 상기 플라스틱 절연판의 양면의 금속박막을 선택적으로 식각하여, 일면에는 금속닷 및 상면 금속층을 형성하고, 타면에는 하면 금속층을 형성하는 단계; 및 상기 플라스틱 절연판의 측면에 접하는 금속박막을 형성하여 측면 금속층을 형성하는 단계;를 포함할 수 있다. 이때 상기 금속닷과 상기 상면 금속층은 전기적으로 연결되고, 상기 상면 금속층과 상기 측면 금속층은 전기적으로 연결되며, 상기 측면 금속층과 상기 하면 금속층은 전기적으로 연결되는 것일 수 있다.Method for producing a sample plate for MALDI mass spectrometry according to an aspect of the present invention, forming a metal thin film on both sides of the plastic insulating plate; Selectively etching both sides of the metal thin film of the plastic insulating plate, forming a metal dot and an upper metal layer on one surface, and forming a lower metal layer on the other surface; And forming a metal thin film in contact with a side surface of the plastic insulating plate to form a side metal layer. In this case, the metal dot and the top metal layer may be electrically connected, the top metal layer and the side metal layer may be electrically connected, and the side metal layer and the bottom metal layer may be electrically connected.
본 발명의 일 양태에 따른 MALDI 질량분석용 시료 플레이트의 제조 방법은, 플라스틱 절연판의 양면에 금속박막을 형성하는 단계; 상기 플라스틱 절연판의 양면의 금속박막을 선택적으로 식각하여, 일면에는 금속닷 및 상면 금속층을 형성하고, 타면에는 하면 금속층을 형성하는 단계; 상기 플라스틱 절연판을 관통하는 금속닷 비아 또는 금속층 비아를 형성하는 단계; 및 상기 플라스틱 절연판의 측면에 접하는 금속박막을 형성하여 측면 금속층을 형성하는 단계;를 포함할 수 있다. 이때 상기 금속닷과 상기 상면 금속층은 전기적으로 연결되고, 상기 상면 금속층과 상기 측면 금속층은 전기적으로 연결되며, 상기 측면 금속층과 상기 하면 금속층은 전기적으로 연결되며, 상기 금속닷과 상기 하면 금속층은 비아를 거쳐 전기적으로 연결되는 것일 수 있다.Method for producing a sample plate for MALDI mass spectrometry according to an aspect of the present invention, forming a metal thin film on both sides of the plastic insulating plate; Selectively etching both sides of the metal thin film of the plastic insulating plate, forming a metal dot and an upper metal layer on one surface, and forming a lower metal layer on the other surface; Forming a metal dot via or a metal layer via penetrating the plastic insulating plate; And forming a metal thin film in contact with a side surface of the plastic insulating plate to form a side metal layer. In this case, the metal dot and the top metal layer are electrically connected, the top metal layer and the side metal layer are electrically connected, the side metal layer and the bottom metal layer are electrically connected, and the metal dot and the bottom metal layer are vias. It may be to be electrically connected through.
구체적인 일 예시로, MALDI 질량분석용 시료 플레이트는 인쇄회로기판(PCB; printed circuit board)을 기반으로 제조된 것일 수 있는데, 즉, 상기 플라스틱 절연판에 형성되는 금속층 및 비아는 인쇄회로기판 제조 시 사용되는 통상적인 방법을 통해 형성된 것일 수 있다.As a specific example, the sample plate for MALDI mass spectrometry may be manufactured based on a printed circuit board (PCB), that is, the metal layer and vias formed on the plastic insulating plate are used when manufacturing the printed circuit board. It may be formed through a conventional method.
먼저, 플라스틱 절연판의 양면에 금속박막을 형성하는 단계에 대하여 설명하며, 이때 플라스틱 절연판은 앞서 설명한 바와 동일한 재료로부터 준비된 것일 수 있다.First, the step of forming a metal thin film on both sides of the plastic insulating plate will be described, wherein the plastic insulating plate may be prepared from the same material as described above.
본 발명에 있어 금속박막의 형성 방법은 인쇄회로기판(PCB; printed circuit board) 공정 상 통상적으로 사용되는 방법일 수 있으며, 예를 들면, 화학적 증착, 물리적 증착 또는 이들을 혼합하여 사용할 수 있다. 보다 구체적인 일 예로, 무전해도금, 전기도금, DC 스퍼터링 (DC sputtering), 마그네트론스퍼터링, 전자빔증착법(Ebeam evaporation), 열증착법(Thermal evaporation), 레이저분자빔증착법(LMBE, Laser Molecular Beam Epitaxy), 펄스레이저증착법(PLD, PulsedLaser Deposition), 진공 증착법, 원자층 증착법(ALD, Atomic Layer Deposition) 및 플라즈마 도움 화학적 증착법(PECVD, Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 등에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 방법을 병행하여 금속박막을 형성할 수 있으며, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 이때, 금속박막의 두께는 목적하는 바대로 조절 가능하며, 구체적으로 예를 들면, 0.1 내지 30 ㎛일 수 있으나, 이에 제한되지는 않는다.In the present invention, the method of forming the metal thin film may be a method commonly used in a printed circuit board (PCB) process, and for example, chemical vapor deposition, physical vapor deposition, or a mixture thereof may be used. More specific examples include electroless plating, electroplating, DC sputtering, magnetron sputtering, electron beam evaporation, thermal evaporation, thermal molecular vapor deposition, LMBE, Laser Molecular Beam Epitaxy, pulse Metal thin film in combination with one or more methods selected from laser deposition (PLD, PulsedLaser Deposition), vacuum deposition, atomic layer deposition (ALD) and plasma assisted chemical vapor deposition (PECVD) It may be formed, but is not necessarily limited thereto. At this time, the thickness of the metal thin film can be adjusted as desired, specifically, for example, may be 0.1 to 30 ㎛, but is not limited thereto.
다음으로, 상기 플라스틱 절연판을 관통하는 비아를 형성하는 단계에 대하여 설명한다.Next, a step of forming a via penetrating the plastic insulating plate will be described.
본 발명의 일 예에 있어, 비아는 플라스틱 절연판을 관통하여, 금속닷 또는 금속층과 전기적으로 연결할 수 있는 형태라면 특별히 한정하진 않으나, 플라스틱 절연판을 관통하는 관통홀을 형성한 후, 플라스틱 절연판을 관통하는 관통홀의 내면을 금속으로 코팅하거나 또는 관통홀에 금속 플러그를 압입하여 형성될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the via is not particularly limited as long as the via penetrates the plastic insulating plate and can be electrically connected to the metal dot or the metal layer. However, after forming the through hole penetrating the plastic insulating plate, the via penetrates the plastic insulating plate. It may be formed by coating the inner surface of the through hole with a metal or pressing a metal plug into the through hole.
본 발명의 일 예에 있어, 관통홀의 형성 방법은 당업계에서 통상적으로 사용되는 것이라면 특별히 한정하지 않으며, 예를 들면, 드릴링 또는 LDA(Laser Direct Ablation) 방식을 사용하여 형성할 수 있다.In one example of the present invention, the method of forming the through hole is not particularly limited as long as it is commonly used in the art, and may be formed using, for example, drilling or laser direct ablation (LDA).
본 발명의 일 예에 있어, 관통홀 내면의 금속 코팅은 특별히 한정되는 것은 아니나, 무전해도금, 전기도금 또는 스퍼터링 등의 방법을 통해 수행될 수 있으며, 금속 플러그 압입은 전도성 물질을 관통홀에 채우거나, 관통홀의 형상으로 제조된 금속 플러그를 관통홀에 삽입하는 방법을 통해 수행될 수 있으나, 전기적 연결이 가능하도록 그 관통홀의 내면 또는 관통홀 전체를 채울 수 있는 방법이라면 제한하지 않는다.In one embodiment of the present invention, the metal coating of the inner surface of the through hole is not particularly limited, but may be performed by electroless plating, electroplating, or sputtering, and the metal plug indentation fills the through hole with a conductive material. Alternatively, the method may be performed by inserting a metal plug manufactured in the shape of a through hole into the through hole, but is not limited as long as it can fill the inner surface of the through hole or the entire through hole to enable electrical connection.
이때, 금속 코팅 또는 금속 플러그는 금속층과 동일 또는 상이한 금속일 수 있으며, 예를 들면 금속 원소 물질 등일 수 있고, 보다 구체적인 일 예로, 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu), 크롬(Cr), 알루미늄(Al), 텅스텐(W), 아연(Zn), 니켈(Ni), 철(Fe) 및 이들의 합금 등에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상을 포함할 수 있다. 바람직하게, 우수한 전기전도성을 확보하면서도, 비용을 절감하는 측면에서 구리(Cu) 또는 구리 합금을 포함할 수 있다.In this case, the metal coating or the metal plug may be the same or different metal as the metal layer, for example, may be a metal element material, and the like, and more specifically, gold (Au), silver (Ag), copper (Cu), and chromium ( It may include any one or two or more selected from Cr), aluminum (Al), tungsten (W), zinc (Zn), nickel (Ni), iron (Fe) and alloys thereof. Preferably, while securing excellent electrical conductivity, it may include copper (Cu) or a copper alloy in terms of reducing the cost.
구체적인 일 양태로, 비아를 형성하기 위한 관통홀을 형성하기 전에, 금속닷과 하면 금속층은 금속닷 비아를 통해 전기적으로 연결되어야 하는 경우 등을포함하여, 각 양태의 경우에, 금속닷, 금속층 및 비아의 위치와 패턴을 미리 설계하는 것이 바람직하다.In one specific embodiment, before forming the through-holes for forming the vias, the metal dot, the metal layer and the metal dot and the lower surface metal layer in each case, including the case where the metal dot and the lower metal layer should be electrically connected through the metal dot via, and the like. It is desirable to design the location and pattern of the vias in advance.
다음으로, 플라스틱 절연판의 양면의 금속박막을 선택적으로 식각하는 단계에 대하여 설명한다.Next, a step of selectively etching the metal thin films on both sides of the plastic insulating plate will be described.
본 발명의 일 예에 있어, 금속닷, 금속층 등의 형성 방법은 PCB 공정 시 사용되는 방법이면 특별한 한정하지 않고 사용할 수 있으며, 일 예로 포토리소그래피를 통해 금속닷, 금속층 등으로 설계된 영역의 금속박막을 마스킹한 후 마스킹되지 않은 영역의 금속박막을 식각하여 금속닷, 금속층 등을 형성할 수 있다. In one example of the present invention, a method of forming a metal dot, a metal layer, etc. may be used without particular limitation as long as it is a method used in a PCB process. For example, a metal thin film of a region designed as a metal dot, a metal layer, etc. may be used through photolithography. After masking, the metal thin film of the unmasked region may be etched to form a metal dot, a metal layer, or the like.
이때, 앞서 설명한 바와 같이, 하면 금속층, 금속닷의 위치 및 패턴은 전기적 연결이 가능하도록 미리 설계됨이 바람직하다. 예를 들어 본 발명에 따른 시료 플레이트는 금속닷-비아-하면 금속층 연결 구조; 금속닷-비아-하면 금속층-측면 금속층-상면 금속층 연결 구조; 금속닷-상면 금속층-측면 금속층-하면 금속층 연결 구조; 금속닷-상면 금속층-금속층 비아-하면 금속층 연결 구조; 등의 다양한 양태의 연결 구조를 가질 수 있으며, 이러한 다양한 양태의 연결 구조에 따라 금속층, 금속닷의 위치 및 패턴을 적절히 설계하여 시료 플레이트를 제조할 수 있다.At this time, as described above, the location and pattern of the bottom metal layer, the metal dot is preferably designed in advance to enable electrical connection. For example, the sample plate according to the present invention comprises a metal dot-via-bottom metal layer connection structure; Metal dot-via-bottom metal layer-side metal layer-top metal layer connection structure; Metal dot-top metal layer-side metal layer-bottom metal layer connection structure; Metal dot-top metal layer-metal layer via-bottom metal layer connection structure; It may have a connection structure of various aspects, such as, and the sample plate can be prepared by appropriately designing the position and pattern of the metal layer, the metal dot according to the connection structure of the various aspects.
본 발명의 일 예에 있어, 포토리소그래피는 통상적인 방법을 통해 수행될 수 있으며, 특별히 한정하진 않으나, 금속박막 상에 드라이 필름을 부착하고 노광 및 현상하여, 금속닷, 금속층으로 설계된 영역을 마스킹할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the photolithography may be performed through a conventional method, and is not particularly limited, but may be applied to a dry film on a metal thin film, exposed and developed to mask a region designed with a metal dot or a metal layer. Can be.
본 발명의 일 예에 있어, 식각 방법은 특별히 한정하진 않으나, 건식 식각, 습식 식각 또는 이들을 혼합하여 사용할 수 있다. 구체적인 일 예로, 건식 식각은 플라즈마 식각 등일 수 있으며, 습식 식각을 식각액을 통한 식각일 수 있다.In one example of the present invention, the etching method is not particularly limited, but dry etching, wet etching, or a mixture thereof may be used. As a specific example, the dry etching may be plasma etching or the like, and the wet etching may be etching using an etchant.
또한, 금속닷, 금속층 등을 형성한 후 특정 영역의 마스킹에 사용된 레지스트를 제거하는 공정이 더 수행될 수 있음은 물론이다.In addition, a process of removing the resist used for masking a specific region after forming a metal dot, a metal layer, or the like may be further performed.
이와 같이 제조된 MALDI 질량분석용 시료 플레이트를 이용하여 통상적인 MALDI 질량분석 방법에 따라, 분석시료 대상의 질량을 분석할 수 있다. 구체적으로, MALDI 질량분석용 시료 플레이트의 금속닷 상에 분석대상 시료를 로딩하고 레이저를 조사하여 시료를 탈착 및 이온화시킴으로써 상기 분석대상 시료의 질량을 분석할 수 있다.Using the MALDI mass spectrometry sample plate thus prepared, it is possible to analyze the mass of the analyte sample according to a conventional MALDI mass spectrometry method. Specifically, the mass of the sample to be analyzed may be analyzed by loading the sample to be analyzed on a metal dot of a sample plate for MALDI mass spectrometry and irradiating a laser to desorb and ionize the sample.
이상에서 본 발명의 바람직한 양태를 설명하였으나, 본 발명은 다양한 변화와 변경 및 균등물을 사용할 수 있으며, 상기 양태를 적절히 변형하여 동일하게 응용할 수 있음이 명확하다. 따라서 상기 기재 내용은 하기 특허청구범위의 한계에 의해 정해지는 본 발명의 범위를 한정하는 것이 아니다.Although the preferred embodiment of the present invention has been described above, it is clear that the present invention may use various changes, modifications, and equivalents, and that the above embodiments may be appropriately modified and applied in the same manner. Accordingly, the above description does not limit the scope of the invention as defined by the limitations of the following claims.
[부호의 설명][Description of the code]
100: 플라스틱 절연판, 200 : 금속닷,100: plastic insulation plate, 200: metal dot,
210 : 시료 안착 표면부, 220 : 소수성 표면부,210: sample seating surface portion, 220: hydrophobic surface portion,
300: 하면 금속층, 400(410) : 금속닷 비아,300: bottom metal layer, 400 (410): metal dot via,
420 : 금속층 비아, 500(510) : 상면 금속층,420: metal layer via, 500 (510): top metal layer,
520: 측면 금속층, 600: 시료 레저버 기판,520: side metal layer, 600: sample reservoir substrate,
700: 가스 통로, 800: 자석, 900 : 소수성 표면부700: gas passage, 800: magnet, 900: hydrophobic surface portion

Claims (23)

  1. 플라스틱 절연판; 및Plastic insulation plate; And
    상기 플라스틱 절연판의 일면에 형성되며, 표면에 시료가 로딩되도록 하는 금속닷;A metal dot formed on one surface of the plastic insulating plate to allow a sample to be loaded on a surface thereof;
    을 포함하며,Including;
    질량분석 시 상기 금속닷은 MALDI 질량분석기의 시료 플레이트 전압 인가부와 전기적으로 연결되는 MALDI 질량분석용 시료 플레이트.The metal dot is a MALDI mass spectrometry sample plate electrically connected to the sample plate voltage applying unit of the MALDI mass spectrometer during mass spectrometry.
  2. 제1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는,The MALDI mass spectrometry sample plate,
    상기 플라스틱 절연판의 측면, 하면, 상면 또는 이들면에 접하여 형성되는 하나 또는 둘 이상의 금속층;One or more metal layers formed on side surfaces, bottom surfaces, upper surfaces of the plastic insulating plates, or in contact with these surfaces;
    을 더 포함하며,More,
    상기 금속층은 상기 금속닷과 전기적으로 연결되며,The metal layer is electrically connected to the metal dot,
    질량분석 시 상기 금속층을 통해 금속닷이 MALDI 질량분석기의 시료 플레이트 전압 인가부와 전기적으로 연결되는 MALDI 질량분석용 시료 플레이트.The sample plate for MALDI mass spectrometry that the metal dot is electrically connected to the sample plate voltage applying unit of the MALDI mass spectrometer through the metal layer during mass spectrometry.
  3. 플라스틱 절연판;Plastic insulation plate;
    상기 플라스틱 절연판의 일면에 형성되며, 표면에 시료가 로딩되도록 하는 금속닷;A metal dot formed on one surface of the plastic insulating plate to allow a sample to be loaded on a surface thereof;
    상기 플라스틱 절연판의 타면에 형성되는 하면 금속층; 및A lower metal layer formed on the other surface of the plastic insulating plate; And
    상기 플라스틱 절연판을 관통하여 형성되며, 상기 금속닷과 상기 하면 금속층과 접하여 전기적으로 연결되는 금속닷 비아;A metal dot via formed through the plastic insulating plate and electrically connected to the metal dot and the bottom metal layer;
    를 포함하는 MALDI 질량분석용 시료 플레이트.MALDI mass spectrometry sample plate comprising a.
  4. 제3항에 있어서,The method of claim 3,
    상기 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는,The MALDI mass spectrometry sample plate,
    상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면에 형성되는 상면 금속층;An upper metal layer formed on one surface of the plastic insulation plate on which the metal dot is formed;
    을 더 포함하는 MALDI 질량분석용 시료 플레이트.MALDI mass spectrometry sample plate further comprising.
  5. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein
    상기 상면 금속층은 상기 금속닷과 접하여 전기적으로 연결되거나, 상기 금속닷과 이격하여 전기적으로 연결되지 않으며,The upper metal layer is not electrically connected to the metal dot or spaced apart from the metal dot,
    상기 금속층이 상기 금속닷과 전기적으로 연결될 경우, 상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면은 상기 금속닷 및 상기 상면 금속층이 이격하여 이 사이에 형성되는 절연부; 및 상기 절연부와 인접하고, 상기 금속닷과 상기 상면 금속층이 접하여 형성되는 연결부;를 포함하거나, 또는 상기 금속닷의 전체 둘레와 상기 상면 금속층이 접하며,When the metal layer is electrically connected to the metal dot, one surface of the plastic insulating plate on which the metal dot is formed is an insulating part spaced apart from the metal dot and the upper metal layer; And a connection part adjacent to the insulating part and formed by contacting the metal dot and the upper metal layer, or the entire circumference of the metal dot and the upper metal layer are in contact with each other.
    상기 금속층이 상기 금속닷과 전기적으로 연결되지 않을 경우, 상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면은 상기 금속닷의 전체 둘레 및 상기 상면 금속층이 이격하고, 상기 금속닷의 전체 둘레에 인접하여 이를 에워싸는 절연부;를 포함하는 MALDI 질량분석용 시료 플레이트.When the metal layer is not electrically connected to the metal dot, one surface of the plastic insulating plate on which the metal dot is formed is insulated from the entire circumference of the metal dot and the upper metal layer, and surrounded and surrounded by the entire circumference of the metal dot. MALDI mass spectrometry sample plate comprising a.
  6. 제5항에 있어서,The method of claim 5,
    상기 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는,The MALDI mass spectrometry sample plate,
    상기 플라스틱 절연판을 관통하여 형성되며, 상기 상면 금속층 및 상기 하면 금속층과 접하여 전기적으로 연결되는 금속층 비아;A metal layer via formed through the plastic insulating plate and electrically connected to the upper metal layer and the lower metal layer;
    를 더 포함하며,More,
    상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면은 상기 금속닷의 전체 둘레 및 상기 상면 금속층이 이격하고, 상기 금속닷의 전체 둘레에 인접하여 이를 에워싸는 절연부;를 포함하며,One surface of the plastic insulating plate on which the metal dot is formed, the entire circumference of the metal dot and the upper metal layer spaced apart, the insulating portion adjacent to the entire circumference of the metal dot; includes;
  7. 플라스틱 절연판;Plastic insulation plate;
    상기 플라스틱 절연판의 일면에 형성되는 금속닷;A metal dot formed on one surface of the plastic insulating plate;
    상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면에 형성되며, 상기 금속닷과 전기적으로 연결되는 상면 금속층;An upper metal layer formed on one surface of the plastic insulating plate on which the metal dots are formed and electrically connected to the metal dots;
    상기 플라스틱 절연판의 타면에 형성되는 하면 금속층; 및A lower metal layer formed on the other surface of the plastic insulating plate; And
    상기 플라스틱 절연판을 관통하여 형성되며, 상기 상면 금속층 및 상기 하면 금속층과 접하여 전기적으로 연결되는 금속층 비아;A metal layer via formed through the plastic insulating plate and electrically connected to the upper metal layer and the lower metal layer;
    를 포함하는 MALDI 질량분석용 시료 플레이트.MALDI mass spectrometry sample plate comprising a.
  8. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein
    상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면은,One surface of the plastic insulating plate on which the metal dot is formed,
    상기 금속닷 및 상기 상면 금속층이 이격하여 이 사이에 형성되는 절연부; 및An insulating part spaced apart from the metal dot and the upper metal layer; And
    상기 절연부와 인접하고, 상기 금속닷과 상기 상면 금속층이 접하여 형성되는 연결부;A connection part adjacent to the insulation part and formed to be in contact with the metal dot and the upper metal layer;
    를 포함하거나, 상기 금속닷의 전체 둘레와 상기 상면 금속층이 접하는 MALDI 질량분석용 시료 플레이트.A MALDI mass spectrometry sample plate comprising or in contact with the entire circumference of the metal dot and the upper metal layer.
  9. 플라스틱 절연판;Plastic insulation plate;
    상기 플라스틱 절연판의 일면에 형성되는 금속닷;A metal dot formed on one surface of the plastic insulating plate;
    상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면에 형성되며, 상기 금속닷과 전기적으로 연결되는 상면 금속층; 및An upper metal layer formed on one surface of the plastic insulating plate on which the metal dots are formed and electrically connected to the metal dots; And
    상기 플라스틱 절연판의 측면에 형성되며, 상기 상면 금속층과 접하여 전기적으로 연결되는 측면 금속층;A side metal layer formed on a side surface of the plastic insulating plate and electrically connected to the upper metal layer;
    을 포함하는 MALDI 질량분석용 시료 플레이트.Sample plate for MALDI mass spectrometry comprising a.
  10. 제9항에 있어서,The method of claim 9,
    상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면은,One surface of the plastic insulating plate on which the metal dot is formed,
    상기 금속닷 및 상기 상면 금속층이 이격하여 이 사이에 형성되는 절연부; 및An insulating part spaced apart from the metal dot and the upper metal layer; And
    상기 절연부와 인접하고, 상기 금속닷과 상기 상면 금속층이 접하여 형성되는 연결부;A connection part adjacent to the insulation part and formed to be in contact with the metal dot and the upper metal layer;
    를 포함하거나, 상기 금속닷의 전체 둘레와 상기 상면 금속층이 접하는 MALDI 질량분석용 시료 플레이트.A MALDI mass spectrometry sample plate comprising or in contact with the entire circumference of the metal dot and the upper metal layer.
  11. 제9항에 있어서,The method of claim 9,
    상기 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는,The MALDI mass spectrometry sample plate,
    상기 플라스틱 절연판의 타면에 형성되며, 상기 상면 금속층과 접하여 전기적으로 연결되는 하면 금속층;A lower metal layer formed on the other surface of the plastic insulating plate and electrically connected to the upper metal layer;
    을 더 포함하는 MALDI 질량분석용 시료 플레이트.MALDI mass spectrometry sample plate further comprising.
  12. 제11항에 있어서,The method of claim 11,
    상기 금속닷이 형성된 플라스틱 절연판의 일면은,One surface of the plastic insulating plate on which the metal dot is formed,
    상기 금속닷의 전체 둘레 및 상기 상면 금속층이 이격하고, 상기 금속닷의 전체 둘레에 인접하여 이를 에워싸는 절연부; 및An insulation part spaced apart from the entire circumference of the metal dot and the upper surface metal layer and adjacent to the entire circumference of the metal dot; And
    상기 플라스틱 절연판을 관통하여 형성되며, 상기 금속닷과 상기 하면 금속층과 접하여 전기적으로 연결되는 금속닷 비아;A metal dot via formed through the plastic insulating plate and electrically connected to the metal dot and the bottom metal layer;
    를 포함하는 MALDI 질량분석용 시료 플레이트.MALDI mass spectrometry sample plate comprising a.
  13. 제2항 내지 제12항에서 선택되는 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 2 to 12,
    상기 금속닷은 직경이 100 ㎛ 내지 5 mm인 MALDI 질량분석용 시료 플레이트.The metal dot has a diameter of 100 ㎛ to 5 mm MALDI mass spectrometry sample plate.
  14. 제2항 내지 제12항에서 선택되는 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 2 to 12,
    상기 금속닷 및 상기 금속층은 서로 독립적으로 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu), 크롬(Cr), 알루미늄(Al), 텅스텐(W), 아연(Zn), 니켈(Ni), 철(Fe) 및 이들의 합금 중에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상을 포함하는 MALDI 질량분석용 시료 플레이트.The metal dot and the metal layer are independently of each other gold (Au), silver (Ag), copper (Cu), chromium (Cr), aluminum (Al), tungsten (W), zinc (Zn), nickel (Ni), Sample plate for MALDI mass spectrometry comprising at least one selected from iron (Fe) and alloys thereof.
  15. 제2항 내지 제12항에서 선택되는 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 2 to 12,
    상기 플라스틱 절연판은 소수성 표면 성질을 가지며, 상기 금속닷은 친수성 표면 성질을 가지는 MALDI 질량분석용 시료 플레이트.The plastic insulating plate has a hydrophobic surface property, the metal dot has a hydrophilic surface property sample plate for MALDI mass spectrometry.
  16. 제2항 내지 제12항에서 선택되는 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 2 to 12,
    상기 금속닷의 표면은,The surface of the metal dot,
    금속닷 표면 중심부에 위치하는 시료 안착 표면부; 및A sample seating surface portion located at the center of the metal dot surface; And
    상기 시료 안착부의 둘레를 감싸는 소수성 표면부;A hydrophobic surface portion surrounding the sample seating portion;
    를 포함하며,Including;
    상기 소수성 표면부는 상기 시료 안착 표면부보다 소수성이 큰 것인 MALDI 질량분석용 시료 플레이트.MALDI mass spectrometry sample plate wherein the hydrophobic surface portion is greater hydrophobic than the sample seating surface portion.
  17. 제2항 내지 제12항에서 선택되는 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 2 to 12,
    상기 MALDI 질량분석용 시료 플레이트는,The MALDI mass spectrometry sample plate,
    상기 플라스틱 절연판의 일면에 부착되고, 상기 금속닷의 둘레를 둘러싸며, 관통홀이 구비된 시료 레저버 기판;A sample reservoir substrate attached to one surface of the plastic insulating plate, surrounding a circumference of the metal dot, and having a through hole;
    을 더 포함하는 MALDI 질량분석용 시료 플레이트.MALDI mass spectrometry sample plate further comprising.
  18. 제2항 내지 제12항에서 선택되는 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 2 to 12,
    상기 시료 레저버 기판은 관통홀로 비활성 가스를 배출할 수 있는 가스 통로가 구비된 것인 MALDI 질량분석용 시료 플레이트.The sample reservoir substrate MALDI mass spectrometry sample plate is provided with a gas passage for discharging the inert gas through the through-hole.
  19. 제18항에 있어서,The method of claim 18,
    상기 시료 레저버 기판은 상기 플라스틱 절연판의 일면에 탈부착이 가능한 것인 MALDI 질량분석용 시료 플레이트.The sample reservoir substrate MALDI mass spectrometry sample plate that can be attached to one side of the plastic insulating plate.
  20. 플라스틱 절연판의 양면에 금속박막을 형성하는 단계;Forming a metal thin film on both sides of the plastic insulating plate;
    상기 플라스틱 절연판을 관통하는 비아를 형성하는 단계; 및Forming a via penetrating the plastic insulating plate; And
    상기 플라스틱 절연판의 양면의 금속박막을 선택적으로 식각하여, 일면에는 금속닷을 형성하고 타면에는 하면 금속층을 형성하는 단계;Selectively etching the metal thin films on both sides of the plastic insulation plate to form a metal dot on one surface and a bottom metal layer on the other surface;
    를 포함하며,Including;
    상기 금속닷과 하면 금속층은 비아를 통해 전기적으로 연결되는 MALDI 질량분석용 시료 플레이트의 제조 방법.The metal dot and the bottom metal layer is a method of manufacturing a sample plate for MALDI mass spectrometry is electrically connected via vias.
  21. 플라스틱 절연판의 양면에 금속박막을 형성하는 단계;Forming a metal thin film on both sides of the plastic insulating plate;
    상기 플라스틱 절연판의 양면의 금속박막을 선택적으로 식각하여, 일면에는 금속닷 및 상면 금속층을 형성하고, 타면에는 하면 금속층을 형성하는 단계; 및Selectively etching both sides of the metal thin film of the plastic insulating plate, forming a metal dot and an upper metal layer on one surface, and forming a lower metal layer on the other surface; And
    상기 플라스틱 절연판의 측면에 접하는 금속박막을 형성하여 측면 금속층을 형성하는 단계;Forming a side metal layer by forming a metal thin film in contact with a side surface of the plastic insulating plate;
    를 포함하며,Including;
    상기 금속닷과 상기 상면 금속층은 전기적으로 연결되고, 상기 상면 금속층과 상기 측면 금속층은 전기적으로 연결되며, 상기 측면 금속층과 상기 하면 금속층은 전기적으로 연결되는 MALDI 질량분석용 시료 플레이트의 제조 방법.And the metal dot and the upper metal layer are electrically connected, the upper metal layer and the side metal layer are electrically connected, and the side metal layer and the lower metal layer are electrically connected.
  22. 플라스틱 절연판의 양면에 금속박막을 형성하는 단계; Forming a metal thin film on both sides of the plastic insulating plate;
    상기 플라스틱 절연판의 양면의 금속박막을 선택적으로 식각하여, 일면에는 금속닷 및 상면 금속층을 형성하고, 타면에는 하면 금속층을 형성하는 단계;Selectively etching both sides of the metal thin film of the plastic insulating plate, forming a metal dot and an upper metal layer on one surface, and forming a lower metal layer on the other surface;
    상기 플라스틱 절연판을 관통하는 금속닷 비아 또는 금속층 비아를 형성하는 단계; 및Forming a metal dot via or a metal layer via penetrating the plastic insulating plate; And
    상기 플라스틱 절연판의 측면에 접하는 금속박막을 형성하여 측면 금속층을 형성하는 단계;Forming a side metal layer by forming a metal thin film in contact with a side surface of the plastic insulating plate;
    를 포함하며,Including;
    상기 금속닷과 상기 상면 금속층은 전기적으로 연결되고, 상기 상면 금속층과 상기 측면 금속층은 전기적으로 연결되며, 상기 측면 금속층과 상기 하면 금속층은 전기적으로 연결되며,The metal dot and the top metal layer are electrically connected, the top metal layer and the side metal layer are electrically connected, and the side metal layer and the bottom metal layer are electrically connected,
    상기 금속닷과 상기 하면 금속층은 비아를 거쳐 전기적으로 연결되는 MALDI 질량분석용 시료 플레이트의 제조 방법.And the metal dot and the bottom metal layer are electrically connected to each other via vias.
  23. 제2항 내지 제12항에서 선택되는 어느 한 항의 MALDI 질량분석용 시료 플레이트의 금속닷 상에 분석대상 시료를 로딩하고 레이저를 조사하여 시료를 탈착 및 이온화시킴으로써 상기 분석대상 시료의 질량을 분석하는, MALDI 질량분석 방법.The mass of the sample to be analyzed is loaded by loading the sample to be analyzed on a metal dot of the MALDI mass spectrometry sample plate selected from any one of claims 2 to 12 and irradiating a laser to desorb and ionize the sample. MALDI mass spectrometry method.
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