WO2016051787A1 - ガラスパネルユニット、ガラスパネルユニットの仮組立て品、ガラスパネルユニットの組立て品、ガラスパネルユニットの製造方法 - Google Patents

Abstract

　本発明の課題は、排気口および排気管がなく、しかも断熱性能が良いガラスパネルユニットを得ることである。本発明に係るガラスパネルユニット（１０）は、仮組立て品（１００）に所定の処理を行って得られる組立て品（１１０）から分離された所定部分である。仮組立て品（１００）では、第１および第２ガラス基板（２００，３００）と枠体（４１０）とで囲まれた内部空間（５００）が仕切り（４２０）で第１空間（５１０）と第２空間（５２０）とに仕切られ、ガス吸着体（６０）が第１空間（５１０）内にある。所定の処理では、排気口（７００）、第２空間（５２０）および通気路（６００）を介して第１空間（５１０）を排気して真空空間（５０）とし、仕切り（４２０）を変形させて通気路（６００）を塞いで真空空間（５０）を囲むシール（４０）を形成する。所定部分は、第１および第２ガラス基板（２００，３００）の一部の第１および第２ガラスパネル（２０，３０）とシール（４０）と真空空間（５０）とガス吸着体（６０）とを備える。

Description

ガラスパネルユニット、ガラスパネルユニットの仮組立て品、ガラスパネルユニットの組立て品、ガラスパネルユニットの製造方法

　本発明は、ガラスパネルユニット、ガラスパネルユニットの仮組立て品、ガラスパネルユニットの組立て品、ガラスパネルユニットの製造方法に関する。

　文献１（国際公開第２０１３／１７２０３４号）は、複層ガラスを開示する。文献１に開示された複層ガラスでは、一対の板ガラス間に減圧された空間が形成されている。

　減圧された空間は、一対の板ガラス間の空間を真空ポンプで排気することで形成されている。一対の板ガラス間の空間を真空ポンプで排気するためには、予め一対のガラスパネルの一方に排気口を形成し、この排気口を真空ポンプの吸気口に排気管でつなぐ必要がある。

　文献１では、排気後、空間内に配置された領域形成材によって空間を分割して排気口が含まれない部分領域を形成している。その後、一対の板ガラスを切断して部分領域を切り出している。これによって、排気口および排気管がない複層ガラスを得ている。

　文献１では、部分領域を形成するためには領域形成材を加熱する必要がある。しかし、領域形成材が加熱されると、領域形成材からガスが放出されるおそれがある。部分領域が形成された後は、真空ポンプによって部分領域の真空度を改善することはできないから、領域形成材からのガスによって部分領域の真空度が悪くなるおそれがある。その結果、所望の断熱性能を有する複層ガラスが得られない場合があった。

　本発明が解決しようとする課題は、排気口および排気管がなく、しかも、断熱性能が良いガラスパネルユニットを得ることである。

　本発明に係る形態のガラスパネルユニットは、仮組立て品に所定の処理を行って得られる組立て品から分離される所定部分である。前記仮組立て品は、第１ガラス基板と、第２ガラス基板と、枠体と、内部空間と、仕切りと、通気路と、排気口と、ガス吸着体と、を備える。前記第２ガラス基板は、前記第１ガラス基板に対向するように配置される。前記枠体は、前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板との間に配置されて前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板とを気密に接合する。前記内部空間は、前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板と前記枠体とで囲まれた空間である。前記仕切りは、前記内部空間を第１空間と第２空間とに仕切る。前記通気路は、前記内部空間内に形成され、前記第１空間と前記第２空間とをつなぐ。前記排気口は、前記第２空間と外部空間とをつなぐ。前記ガス吸着体は、ゲッタを有し、前記第１空間内に配置される。前記所定の処理では、前記通気路と前記第２空間と前記排気口を介して前記第１空間を排気して前記第１空間を真空空間とする。前記所定の処理では、前記仕切りを変形させて前記通気路を塞いで前記真空空間を前記第２空間から分離する隔壁を形成することで前記枠体において前記真空空間に対応する部分と前記隔壁とから前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板とを気密に接合するとともに前記真空空間を囲むシールを形成する。前記所定部分は、前記第１ガラス基板のうち前記真空空間に対応する部分である第１ガラスパネルと、前記第２ガラス基板のうち前記真空空間に対応する部分である第２ガラスパネルと、前記シールと、前記真空空間と、前記ガス吸着体と、を備える。

　本発明に係る他の形態のガラスパネルユニットの仮組立て品は、上記ガラスパネルユニットを作製するための仮組立て品であって、第１ガラス基板と、前記第１ガラス基板に対向するように配置された第２ガラス基板と、前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板との間に配置されて前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板とを気密に接合する枠体と、前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板と前記枠体とで囲まれた内部空間と、前記内部空間を第１空間と第２空間とに仕切る仕切りと、前記内部空間内で前記第１空間と前記第２空間とをつなぐ通気路と、前記第２空間と外部空間とをつなぐ排気口と、前記第１空間内に配置され、ゲッタを有するガス吸着体と、を備える。

　本発明に係る他の形態のガラスパネルユニットの組立て品は、上記ガラスパネルユニットを作製するための組立て品であって、第１ガラス基板と、前記第１ガラス基板に対向するように配置された第２ガラス基板と、前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板との間に配置されて前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板とを気密に接合する枠体と、前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板と前記枠体とで囲まれた内部空間と、前記内部空間を真空空間と第２空間とに分離する隔壁と、前記第２空間と外部空間とをつなぐ排気口と、前記真空空間内に配置され、ゲッタを有するガス吸着体と、を備える。前記隔壁は、前記内部空間を第１空間と前記第２空間とに仕切る仕切りを、前記第１空間を前記内部空間内で前記第１空間と前記第２空間とをつなぐ通気路と前記第２空間と前記排気口とを介して排気して前記真空空間とした後に、前記通気路を塞ぐように変形させて得られる。

　本発明に係る他の形態のガラスパネルユニットの製造方法は、第１ガラス基板と、前記第１ガラス基板に対向するように配置された第２ガラス基板と、前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板との間に配置されて前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板とを気密に接合する枠体と、前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板と前記枠体とで囲まれた内部空間と、前記内部空間を第１空間と第２空間とに仕切る仕切りと、前記第１空間と前記第２空間とをつなぐ通気路と、前記第２空間と外部空間とをつなぐ排気口と、ゲッタを有するガス吸着体と、を備える仮組立て品を用意する組立工程と、前記第１空間を、前記通気路と前記第２空間と前記排気口とを介して排気して真空空間とし、前記仕切りを変形させて前記通気路を塞ぐ隔壁を形成することで前記枠体において前記真空空間に対応する部分と前記隔壁とから前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板とを気密に接合するとともに前記真空空間を囲むシールを形成して、組立て品を得る密閉工程と、前記組立て品から前記第２空間を有する部分を除去することで、前記真空空間を有する所定部分であるガラスパネルユニットを得る除去工程と、を備える。

本発明に係る一実施形態のガラスパネルユニットの概略断面図である。 上記実施形態のガラスパネルユニットの概略平面図である。 上記実施形態のガラスパネルユニットの仮組立て品の概略断面図である。 上記仮組立て品の概略平面図である。 上記実施形態のガラスパネルユニットの組立て品の概略平面図である。 上記実施形態のガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。 上記実施形態のガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。 上記実施形態のガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。 上記実施形態のガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。 上記実施形態のガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。 上記実施形態のガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。

　以下の開示は、ガラスパネルユニット、ガラスパネルユニットの仮組立て品、ガラスパネルユニットの組立て品、ガラスパネルユニットの製造方法に関し、特に、断熱用のガラスパネルユニット、ガラスパネルユニットの仮組立て品、ガラスパネルユニットの組立て品、ガラスパネルユニットの製造方法に関する。

　［１．実施形態］
　［１－１．構成］
　図１および図２は、本発明に係る一実施形態のガラスパネルユニット（ガラスパネルユニットの完成品）１０を示す。本実施形態のガラスパネルユニット１０は、真空断熱ガラスユニットである。真空断熱ガラスユニットは、少なくとも一対のガラスパネルを備える複層ガラスパネルの一種であって、一対のガラスパネル間に真空空間を有している。

　本実施形態のガラスパネルユニット１０は、第１ガラスパネル２０と、第２ガラスパネル３０と、シール４０と、真空空間５０と、ガス吸着体６０と、複数のスペーサ７０と、を備える。

　本実施形態のガラスパネルユニット１０は、図５に示される組立て品１１０から分離された所定部分である。具体的には、本実施形態のガラスパネルユニット１０は、図１１に示されるように、組立て品１１０から不要な部分１１を除去して得られる部分である。

　組立て品１１０は、図３および図４に示される仮組立て品１００に所定の処理を行うことによって得られる。

　仮組立て品１００は、第１ガラス基板２００と、第２ガラス基板３００と、枠体４１０と、内部空間５００と、仕切り４２０と、通気路６００と、排気口７００と、ガス吸着体６０と、複数のスペーサ７０と、を備える。

　第１ガラス基板２００は、第１ガラス基板２００の平面形状を定めるガラス板２１０と、コーティング２２０と、を備える。

　ガラス板２１０は、矩形状の平板であり、互いに平行な厚み方向の第１面（図３における下面）および第２面（図３における上面）を有する。ガラス板２１０の第１面および第２面はいずれも平面である。ガラス板２１０の材料は、たとえば、ソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラスである。

　コーティング２２０は、ガラス板２１０の第１面に形成される。コーティング２２０は、透明な赤外線反射膜である。なお、コーティング２２０は、赤外線反射膜に限定されず、所望の物理特性を有する膜であってもよい。

　第２ガラス基板３００は、第２ガラス基板３００の平面形状を定めるガラス板３１０を備える。ガラス板３１０は、矩形状の平板であり、互いに平行な厚み方向の第１面（図３における上面）および第２面（図３における下面）を有する。ガラス板３１０の第１面および第２面はいずれも平面である。

　ガラス板３１０の平面形状および平面サイズは、ガラス板２１０と同じである（つまり、第２ガラス基板３００の平面形状は、第１ガラス基板２００と同じである）。また、ガラス板３１０の厚みは、ガラス板２１０と同じである。ガラス板３１０の材料は、たとえば、ソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラスである。

　第２ガラス基板３００は、ガラス板３１０のみで構成されている。つまり、ガラス板３１０が第２ガラス基板３００そのものである。第２ガラス基板３００は、第１ガラス基板２００に対向するように配置される。具体的には、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とは、ガラス板２１０の第１面とガラス板３１０の第１面とが互いに平行かつ対向するように配置される。

　枠体４１０は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００との間に配置され、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを気密に接合する。これによって、枠体４１０と第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とで囲まれた内部空間５００が形成される。

　枠体４１０は、熱接着剤（第１軟化点を有する第１熱接着剤）で形成されている。第１熱接着剤は、たとえば、ガラスフリットである。ガラスフリットは、たとえば、低融点ガラスフリットである。低融点ガラスフリットは、たとえば、ビスマス系ガラスフリット、鉛系ガラスフリット、バナジウム系ガラスフリットである。

　枠体４１０は、矩形の枠状である。枠体４１０の平面形状は、ガラス板２１０，３１０と同じであるが、枠体４１０の平面サイズはガラス板２１０，３１０より小さい。枠体４１０は、第２ガラス基板３００の外周に沿って形成されている。つまり、枠体４１０は、第２ガラス基板３００上のほぼすべての領域を囲うように形成されている。

　第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とは、第１軟化点以上の所定温度（第１溶融温度）Ｔｍ１で枠体４１０の第１熱接着剤を一旦溶融させることで、枠体４１０によって気密に接合される。

　仕切り４２０は、内部空間５００内に配置される。仕切り４２０は、内部空間５００を、第１空間（排気空間）５１０と第２空間（通気空間）５２０とに仕切る。第１空間５１０は後に排気される空間であり、第２空間５２０は第１空間５１０の排気に使用される空間である。仕切り４２０は、第１空間５１０が第２空間５２０よりも大きくなるように、第２ガラス基板３００の中央よりも第２ガラス基板３００の長さ方向（図４における左右方向）の第１端側（図４における右端側）に形成される。

　仕切り４２０は、壁部４２１と、一対の遮断部４２２（第１遮断部４２２１および第２遮断部４２２２）と、を備える。壁部４２１は、第２ガラス基板３００幅方向（図４における上下方向）に沿って形成されている。ただし、壁部４２１の長さ方向の両端は、枠体４１０とは接触していない。一対の遮断部４２２は、壁部４２１の長さ方向の両端から、第２ガラス基板３００の長さ方向の第１端側に延びている。

　仕切り４２０は、熱接着剤（第２軟化点を有する第２熱接着剤）で形成されている。第２熱接着剤は、たとえば、ガラスフリットである。ガラスフリットは、たとえば、低融点ガラスフリットである。低融点ガラスフリットは、たとえば、ビスマス系ガラスフリット、鉛系ガラスフリット、バナジウム系ガラスフリットである。第２熱接着剤は、第１熱接着剤と同じであり、第２軟化点と第１軟化点は等しい。

　通気路６００は、内部空間５００内で第１空間５１０と第２空間５２０とをつなぐ。通気路６００は、第１通気路６１０と、第２通気路６２０と、を備える。第１通気路６１０は、第１遮断部４２２１と第１遮断部４２２１に対向する枠体４１０の部分との間に形成された空間である。第２通気路６２０は、第２遮断部４２２２と第２遮断部４２２２に対向する枠体４１０の部分との間に形成された空間である。

　排気口７００は、第２空間５２０と外部空間とをつなぐ孔である。排気口７００は、第２空間５２０および通気路６００を介して第１空間５１０を排気するために用いられる。したがって、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とは、第１空間５１０を排気するための排気路を構成する。排気口７００は、第２空間５２０と外部空間とをつなぐように第２ガラス基板３００に形成されている。具体的には、排気口７００は、第２ガラス基板３００の角部分に位置している。

　ガス吸着体６０は、第１空間５１０内に配置される。具体的には、ガス吸着体６０は、長尺の平板状であり、第２ガラス基板３００の長さ方向の第２端側（図５における左端側）に、第２ガラス基板３００の幅方向に沿って形成されている。つまり、ガス吸着体６０は、第１空間５１０（真空空間５０）の端に配置される。このようにすれば、ガス吸着体６０を目立たなくすることができる。また、ガス吸着体６０は、仕切り４２０および通気路６００から離れた位置にある。そのため、第１空間５１０の排気時に、ガス吸着体６０が排気を妨げる可能性を低くできる。

　ガス吸着体６０は、不要なガス（残留ガス等）を吸着するために用いられる。不要なガスは、たとえば、枠体４１０および仕切り４２０が加熱された際に、枠体４１０および仕切り４２０から放出されるガスである。

　ガス吸着体６０は、ゲッタを有する。ゲッタは、所定の大きさより小さい分子を吸着する性質を有する材料である。ゲッタは、たとえば、蒸発型ゲッタである。蒸発型ゲッタは、所定温度（活性化温度）以上になると、吸着された分子を放出する性質を有している。そのため、蒸発型ゲッタの吸着能力が低下しても、蒸発型ゲッタを活性化温度以上に加熱することで、蒸発型ゲッタの吸着能力を回復させることができる。蒸発型ゲッタは、たとえば、ゼオライトまたはイオン交換されたゼオライト（たとえば、銅イオン交換されたゼオライト）である。

　ガス吸着体６０は、このゲッタの粉体を備えている。具体的には、ガス吸着体６０は、ゲッタの粉体を含む液体（たとえばゲッタの粉体を液体に分散して得られた分散液や、ゲッタの粉体を液体に溶解させて得られた溶液）を塗布して固形化することにより形成される。この場合、ガス吸着体６０を小さくできる。したがって、真空空間５０が狭くてもガス吸着体６０を配置できる。

　複数のスペーサ７０は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００との間隔を所定間隔に維持するために用いられる。つまり、複数のスペーサ７０は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との距離を所望の値に維持するために使用される。

　複数のスペーサ７０は、第１空間５１０内に配置されている。具体的には、複数のスペーサ７０は、仮想的な矩形状の格子の交差点に配置されている。たとえば、複数のスペーサ７０の間隔は、２ｃｍである。ただし、スペーサ７０の大きさ、スペーサ７０の数、スペーサ７０の間隔、スペーサ７０の配置パターンは、適宜選択することができる。

　スペーサ７０は、上記所定間隔とほぼ等しい高さを有する円柱状である。たとえば、スペーサ７０は、直径が１ｍｍ、高さが１００μｍである。なお、各スペーサ７０は、角柱状や球状などの所望の形状であってもよい。

　スペーサ７０は、透明な材料を用いて形成される。ただし、各スペーサ７０は、十分に小さければ、不透明な材料を用いて形成されていてもよい。スペーサ７０の材料は、後述する第１溶融工程、排気工程、第２溶融工程において、スペーサ７０が変形しないように選択される。たとえば、スペーサ７０の材料は、第１熱接着剤の第１軟化点および第２熱接着剤の第２軟化点よりも高い軟化点（軟化温度）を有するように選択される。

　このような仮組立て品１００は、組立て品１１０を得るために、上記所定の処理に供される。

　上記所定の処理では、所定温度（排気温度）Ｔｅで、通気路６００、第２空間５２０、および排気口７００を介して第１空間５１０を排気して第１空間５１０を真空空間５０とする。排気温度Ｔｅは、ガス吸着体６０のゲッタの活性化温度より高くしている。これによって、第１空間５１０の排気とゲッタの吸着能力の回復とが同時に行える。

　また、上記所定の処理では、仕切り４２０を変形させて、通気路６００を塞ぐ隔壁４２を形成することで、真空空間５０を囲むシール４０を形成する（図５参照）。仕切り４２０は、第２熱接着剤を含んでいるから、第２軟化点以上の所定温度（第２溶融温度）Ｔｍ２で第２熱接着剤を一旦溶融させることで、仕切り４２０を変形させて隔壁４２を形成することができる。なお、第１溶融温度Ｔｍ１は、第２溶融温度Ｔｍ２より低くしている。これによって、枠体４１０で第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを接合する際に、仕切り４２０が変形して通気路６００が塞がれることを防止できる。

　仕切り４２０は、第１遮断部４２２１が第１通気路６１０を塞ぎ、第２遮断部４２２２が第２通気路６２０を塞ぐように、変形される。このようにして仕切り４２０を変形することで得られた隔壁４２は、真空空間５０を第２空間５２０から（空間的に）分離する。隔壁（第２部分）４２と枠体４１０において真空空間５０に対応する部分（第１部分）４１とが、真空空間５０を囲むシール４０を構成する。

　このようにして得られる組立て品１１０は、図５に示されるように、第１ガラス基板２００と、第２ガラス基板３００と、シール４０と、真空空間５０と、第２空間５２０と、ガス吸着体６０と、複数のスペーサ７０と、排気口７００と、を備える。

　真空空間５０は、上述したように、第２空間５２０、および排気口７００を介して第１空間５１０を排気することで形成される。換言すれば、真空空間５０は、真空度が所定値以下の第１空間５１０である。所定値は、たとえば、０．１Ｐａである。真空空間５０は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とシール４０とで完全に密閉されているから、第２空間５２０および排気口７００から分離されている。

　シール４０は、真空空間５０を完全に囲むとともに、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを気密に接合する。シール４０は、矩形の枠状であり、第１部分４１と、第２部分４２と、を有する。第１部分４１は、枠体４１０において真空空間５０に対応する部分である。つまり、第１部分４１は、枠体４１０において真空空間５０に面している部分である。第１部分４１は、略Ｕ字状であり、シール４０の四辺のうちの三辺を構成する。第２部分４２は、仕切り４２０を変形することで得られる隔壁である。第２部分４２は、Ｉ字状であり、シール４０の四辺のうちの残りの一辺を構成する。

　このような組立て品１１０は、図５に示される切断線９００に沿って切断され、図１１に示されるように、真空空間５０を有する部分（ガラスパネルユニット）１０と、第２空間５２０を有する部分（不要な部分）１１と、に分割される。

　不要な部分１１は、主に、第１ガラス基板２００のうち第２空間５２０に対応する部分２３０と、第２ガラス基板３００のうち第２空間５２０に対応する部分３２０と、枠体４１０のうち第２空間５２０に対応する部分４１１と、を含んでいる。なお、ガラスパネルユニット１０の製造コストを考慮すれば、不要な部分１１は小さいほうが好ましい。

　ガラスパネルユニット１０は、図１および図２に示されるように、第１ガラスパネル２０と、第２ガラスパネル３０と、シール４０と、真空空間５０と、ガス吸着体６０と、複数のスペーサ７０と、を備える。なお、シール４０と、真空空間５０と、ガス吸着体６０と、複数のスペーサ７０と、については、既に説明しているから、ここでは詳細には説明しない。

　第１ガラスパネル２０は、第１ガラス基板２００のうち真空空間５０に対応する部分である。第１ガラスパネル２０は、第１ガラスパネル２０の平面形状を定める本体２１と、コーティング２２と、を備える。

　本体２１は、第１ガラス基板２００のガラス板２１０のうち真空空間５０に対応する部分である。本体２１の材料は、ガラス板２１０と同じである。本体２１は、矩形状であり、互いに平行な厚み方向の第１面（図１における下面）および第２面（図１における上面）を有する。本体２１の第１面および第２面はいずれも平面である。

　コーティング２２は、本体２１の第１面に形成される。コーティング２２は、第１ガラス基板２００のコーティング２２０のうち真空空間５０に対応する部分である。コーティング２２の物理特性は、コーティング２２０と同じである。

　第２ガラスパネル３０は、第２ガラス基板３００のうち真空空間５０に対応する部分である。真空空間５０を形成するための排気口７００は、第２ガラス基板３００において第２空間５２０に対応する部分３２０に存在し、排気管８１０は部分３２０に接続されている。そのため、第２ガラスパネル３０には、排気管８１０が接続されておらず、排気口７００も存在していない。

　第２ガラスパネル３０は、第２ガラスパネル３０の平面形状を定める本体３１を備える。本体３１は、第２ガラス基板３００のガラス板３１０のうち真空空間５０に対応する部分である。したがって、本体３１の材料は、ガラス板３１０と同じである。

　本体３１は、矩形状であり、互いに平行な厚み方向の第１面（図１における上面）および第２面（図１における下面）を有する。本体３１の第１面および第２面はいずれも平面である。本体３１の平面形状は、本体２１と同じである（つまり、第２ガラスパネル３０の平面形状は、第１ガラスパネル２０と同じである）。

　第２ガラスパネル３０は、本体３１のみで構成されている。つまり、本体３１そのものが第２ガラスパネル３０である。

　第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とは、本体２１の第１面と本体３１の第１面とが互いに平行かつ対向するように配置されている。つまり、本体２１の第２面はガラスパネルユニット１０の外側に向けられ、本体２１の第１面はガラスパネルユニット１０の内側に向けられる。また、本体３１の第１面はガラスパネルユニット１０の内側に向けられ、本体３１の第２面はガラスパネルユニット１０の外側に向けられる。

　［１－２．製造方法］
　次に、本実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法について、図６～図１１を参照して説明する。

　本実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法は、準備工程と、組立工程と、密閉工程と、除去工程と、を有する。なお、準備工程は、省略してよい。

　準備工程は、仮組立て品１００を得るために、第１ガラス基板２００、第２ガラス基板３００、枠体４１０、仕切り４２０、内部空間５００、通気路６００、排気口７００、ガス吸着体６０、および複数のスペーサ７０を形成する工程である。準備工程は、第１～第６工程を有する。なお、第２～第５工程の順番は、適宜変更してもよい。

　第１工程は、第１ガラス基板２００および第２ガラス基板３００を形成する工程（基板形成工程）である。たとえば、第１工程では、第１ガラス基板２００および第２ガラス基板３００を作製する。また、第１工程では、必要に応じて、第１ガラス基板２００および第２ガラス基板３００を洗浄する。

　第２工程は、排気口７００を形成する工程である。第２工程では、第２ガラス基板３００に、排気口７００を形成する。また、第２工程では、必要に応じて、第２ガラス基板３００を洗浄する。

　第３工程は、枠体４１０および仕切り４２０を形成する工程（シール材形成工程）である。第３工程では、ディスペンサなどを利用して、枠体４１０の材料（第１熱接着剤）および仕切り４２０の材料（第２熱接着剤）を第２ガラス基板３００（ガラス板３１０の第１面）上に塗布する。そして、枠体４１０の材料および仕切り４２０の材料を乾燥させるとともに、仮焼成する。たとえば、枠体４１０の材料および仕切り４２０の材料が塗布された第２ガラス基板３００を４８０℃で２０分間加熱する。なお、第３工程では、仮焼成を行わずに、枠体４１０の材料および仕切り４２０の材料を乾燥させるだけでもよい。なお、第１ガラス基板２００を第２ガラス基板３００と一緒に加熱してもよい。つまり、第１ガラス基板２００を第２ガラス基板３００と同じ条件（４８０℃で２０分間）で加熱してもよい。これにより、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００との反りの差を低減できる。

　第４工程は、スペーサ７０を形成する工程（スペーサ形成工程）である。第４工程では、複数のスペーサ７０を予め形成しておき、チップマウンタなどを利用して、複数のスペーサ７０を、第２ガラス基板３００の所定位置に配置する。なお、複数のスペーサ７０は、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を利用して形成されていてもよい。この場合、複数のスペーサ７０は、光硬化性材料などを用いて形成される。あるいは、複数のスペーサ７０は、周知の薄膜形成技術を利用して形成されていてもよい。

　第５工程は、ガス吸着体６０を形成する工程（ガス吸着体形成工程）である。第５工程では、ゲッタの粉体が分散された溶液を第２ガラス基板３００の所定位置に塗布し、乾燥させることで、ガス吸着体６０を形成する。

　第１工程から第５工程が終了することで、図６に示されるような、枠体４１０、仕切り４２０、通気路６００、排気口７００、ガス吸着体６０、複数のスペーサ７０が形成された第２ガラス基板３００が得られる。

　第６工程は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを配置する工程（配置工程）である。第６工程では、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とは、ガラス板２１０の第１面とガラス板３１０の第１面とが互いに平行かつ対向するように配置される。

　組立工程は、仮組立て品１００を用意する工程である。具体的には、組立工程では、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを接合することで、仮組立て品１００を用意する。つまり、組立工程は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを枠体４１０により気密に接合する工程（第１溶融工程）である。

　第１溶融工程では、第１軟化点以上の所定温度（第１溶融温度）Ｔｍ１で第１熱接着剤を一旦溶融させることで、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを気密に接合する。具体的には、第１ガラス基板２００および第２ガラス基板３００は、溶融炉内に配置され、第１溶融温度Ｔｍ１で所定時間（第１溶融時間）ｔｍ１だけ加熱される（図９参照）。

　第１溶融温度Ｔｍ１および第１溶融時間ｔｍ１は、枠体４１０の第１熱接着剤によって第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とが気密に接合されるが、仕切り４２０によって通気路６００が塞がれることがないように、設定される。つまり、第１溶融温度Ｔｍ１の下限は、第１軟化点であるが、第１溶融温度Ｔｍ１の上限は、仕切り４２０によって通気路６００が塞がれることがないように設定される。たとえば、第１軟化点および第２軟化点が４３４℃である場合、第１溶融温度Ｔｍ１は、４４０℃に設定される。また、第１溶融時間ｔｍ１は、たとえば、１０分である。なお、第１溶融工程では、枠体４１０からガスが放出されるが、このガスはガス吸着体６０によって吸着される。なお、第１溶融工程では、枠体４１０の材料および仕切り４２０の材料が加熱される。したがって、第３工程で枠体４１０の材料および仕切り４２０の材料の仮焼成を行わなかった場合には、第１溶融工程において仮焼成が行われることになる（つまり、第１溶融工程が仮焼成の工程を兼ねることになる）。上述したように第３工程で仮焼成を省略すれば、ガラスパネルユニットの製造方法の工程数を少なくでき、また、仮焼成にかかる費用（たとえば光熱費）が必要ないから製造コストを低減できる。第３工程で仮焼成を行っていない場合、第３工程で仮焼成を行った場合と比較して、第１溶融工程において枠体４１０等から放出されるガスの量が増加する場合がある。このようなガスの量の増加という問題は、ガス吸着体６０の吸着能力を向上させる（たとえば、ガス吸着体６０のゲッタの量を増やせばよい）ことで解消できる。

　上述した組立工程（第１溶融工程）によって、図８に示される仮組立て品１００が得られる。

　密閉工程は、仮組立て品１００に上記所定の処理を行って組立て品１１０を得る工程である。密閉工程は、排気工程と、溶融工程（第２溶融工程）と、を有する。つまり、排気工程および第２溶融工程が上記所定の処理に相当する。

　排気工程は、所定温度（排気温度）Ｔｅで、第１空間５１０を、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して排気して真空空間５０とする工程である。

　排気は、たとえば、真空ポンプを用いて行われる。真空ポンプは、図８に示されるように、排気管８１０と、シールヘッド８２０と、により仮組立て品１００に接続される。排気管８１０は、たとえば、排気管８１０の内部と排気口７００とが連通するように第２ガラス基板３００に接合される。そして、排気管８１０にシールヘッド８２０が取り付けられ、これによって、真空ポンプの吸気口が排気口７００に接続される。

　第１溶融工程と排気工程と第２溶融工程とは、第１ガラス基板２００および第２ガラス基板３００（枠体４１０、仕切り４２０、通気路６００、排気口７００、ガス吸着体６０、複数のスペーサ７０が形成された第２ガラス基板３００）を溶融炉内に配置したまま行われる。そのため、排気管８１０は、少なくとも第１溶融工程の前に、第２ガラス基板３００に接合される。

　排気工程では、排気温度Ｔｅで所定時間（排気時間）ｔｅだけ、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して第１空間５１０を排気する（図９参照）。

　排気温度Ｔｅは、ガス吸着体６０のゲッタの活性化温度（たとえば、３５０℃）より高く、かつ、第１軟化点および第２軟化点（たとえば、４３４℃）より低く設定される。たとえば、排気温度Ｔｅは、３９０℃である。

　このようにすれば、枠体４１０および仕切り４２０は変形しない。また、ガス吸着体６０のゲッタが活性化し、ゲッタが吸着していた分子（ガス）がゲッタから放出される。そして、ゲッタから放出された分子（つまりガス）は、第１空間５１０、通気路６００、第２空間５２０、および、排気口７００を通じて排出される。したがって、排気工程では、ガス吸着体６０の吸着能力が回復する。

　排気時間ｔｅは、所望の真空度（たとえば、０．１Ｐａ以下の真空度）の真空空間５０が得られるように設定される。たとえば、排気時間ｔｅは、１２０分に設定される。

　第２溶融工程は、仕切り４２０を変形させて、通気路６００を塞ぐ隔壁４２を形成することで、真空空間５０を囲むシール４０を形成する工程である。第２溶融工程では、第２軟化点以上の所定温度（第２溶融温度）Ｔｍ２で第２熱接着剤を一旦溶融させることで、仕切り４２０を変形させて隔壁４２を形成する。具体的には、第１ガラス基板２００および第２ガラス基板３００は、溶融炉内で、第２溶融温度Ｔｍ２で所定時間（第２溶融時間）ｔｍ２だけ加熱される（図９参照）。

　第２溶融温度Ｔｍ２および第２溶融時間ｔｍ２は、第２熱接着剤が軟化し、通気路６００を塞ぐ隔壁４２が形成されるように設定される。第２溶融温度Ｔｍ２の下限は、第２軟化点（４３４℃）である。ただし、第２溶融工程では、第１溶融工程とは異なり、仕切り４２０を変形させることを目的としているから、第２溶融温度Ｔｍ２は、第１溶融温度（４４０℃）Ｔｍ１より高くしている。たとえば、第２溶融温度Ｔｍ２は、４６０℃に設定される。また、第２溶融時間ｔｍ２は、たとえば、３０分である。

　隔壁４２が形成されると、真空空間５０が第２空間５２０から分離される。そのため、真空ポンプで真空空間５０を排気することはできなくなる。第２溶融工程が終了するまでは、枠体４１０および隔壁４２が加熱されているから、枠体４１０および隔壁４２からガスが放出されることがある。しかしながら、枠体４１０および隔壁４２から放出されたガスは、真空空間５０内のガス吸着体６０に吸着される。そのため、真空空間５０の真空度が悪化することが防止される。つまり、ガラスパネルユニット１０の断熱性が悪くなることが防止される。

　第１溶融工程でも、枠体４１０および隔壁４２が加熱されているから、枠体４１０および隔壁４２からガスが放出されることがある。枠体４１０および隔壁４２から放出されたガスはガス吸着体６０に吸着されるから、第１溶融工程によってガス吸着体６０の吸着能力が低下している場合がある。しかしながら、排気工程では、ガス吸着体６０のゲッタの活性化温度以上の排気温度Ｔｅで第１空間５１０の排気を行い、これによって、ガス吸着体６０の吸着能力を回復させている。したがって、ガス吸着体６０は、第２溶融工程において、枠体４１０および隔壁４２から放出されたガスを十分に吸着できる。つまり、ガス吸着体６０が枠体４１０および隔壁４２から放出されたガスを十分に吸着できずに真空空間５０の真空度が悪化すること、を防止できる。

　また、第２溶融工程では、排気工程から継続して、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して第１空間５１０を排気する。つまり、第２溶融工程では、第２溶融温度Ｔｍ２で、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して第１空間５１０を排気しながら、仕切り４２０を変形させて通気路６００を塞ぐ隔壁４２を形成する。これによって、第２溶融工程中に、真空空間５０の真空度が悪化することがさらに防止される。ただし、第２溶融工程では、必ずしも、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して第１空間５１０を排気する必要はない。

　上述した密閉工程によって、図１０に示される組立て品１１０が得られる。

　除去工程は、組立て品１１０から第２空間５２０を有する部分１１を除去することで、真空空間５０を有する部分であるガラスパネルユニット１０を得る工程である。具体的には、溶融炉から取り出された組立て品１１０は、図５に示される切断線９００に沿って切断され、真空空間５０を有する所定部分（ガラスパネルユニット）１０と、第２空間５２０を有する部分（不要な部分）１１と、に分割される。なお、切断線９００の形状は、ガラスパネルユニット１０の形状によって定まる。ガラスパネルユニット１０は矩形状であるから、切断線９００は、隔壁４２の長さ方向に沿った直線となっている。

　上述した、準備工程、組立工程、密閉工程、および除去工程を経て、ガラスパネルユニット１０が得られる。

　［１－３．特徴］
　以上述べた本実施形態のガラスパネルユニット１０は、仮組立て品１００に所定の処理を行って得られる組立て品１１０から分離される所定部分である。仮組立て品１００は、第１ガラス基板２００と、第２ガラス基板３００と、枠体４１０と、内部空間５００と、仕切り４２０と、通気路６００と、排気口７００と、ガス吸着体６０と、を備える。第２ガラス基板３００は、第１ガラス基板２００に対向するように配置される。枠体４１０は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００との間に配置され第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを気密に接合する。内部空間５００は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００と枠体４１０とで囲まれた空間である。仕切り４２０は、内部空間５００を第１空間５１０と第２空間５２０とに仕切る。通気路６００は、内部空間５００内に形成され、第１空間５１０と第２空間５２０とをつなぐ。排気口７００は、第２空間５２０と外部空間とをつなぐ。ガス吸着体６０は、ゲッタを有し、第１空間５１０内に配置される。所定の処理では、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００を介して第１空間５１０を排気して第１空間５１０を真空空間５０とする。所定の処理では、仕切り４２０を変形させて通気路６００を塞いで真空空間５０を第２空間５２０から分離する隔壁４２を形成することで枠体４１０において真空空間５０に対応する部分と隔壁４２とからシール４０を形成する。シール４０は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを気密に接合するとともに真空空間５０を囲む。所定部分（ガラスパネルユニット）１０は、第１ガラス基板２００のうち真空空間５０に対応する部分である第１ガラスパネル２０と、第２ガラス基板３００のうち真空空間５０に対応する部分である第２ガラスパネル３０と、シール４０と、真空空間５０と、ガス吸着体６０と、を備える。

　また、ゲッタは、蒸発型ゲッタである。特に、ゲッタは、ゼオライト、または、イオン交換されたゼオライトである。

　また、ガス吸着体６０は、ゲッタの粉体を備える。ガス吸着体６０は、真空空間５０の端に配置される。

　また、ゲッタは、第１空間５１０を、通気路６００、第２空間５２０、および排気口７００を介して排気する際の温度（排気温度）Ｔｅよりも低い活性化温度を有する。

　また、枠体４１０は、第１軟化点を有する第１熱接着剤を含む。仕切り４２０は、第１軟化点以上の第２軟化点を有する第２熱接着剤を含む。第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とは、第１軟化点以上の第１溶融温度Ｔｍ１で第１熱接着剤を一旦溶融させることで、気密に接合される。仕切り４２０は、第２軟化点以上の第２溶融温度Ｔｍ２で第２熱接着剤を一旦溶融させることで変形される。

　また、第１溶融温度Ｔｍ１は、第２溶融温度Ｔｍ２よりも低い。

　また、ゲッタの活性化温度は、第１空間５１０を、通気路６００、第２空間５２０、および排気口７００を介して排気する際の温度（排気温度）Ｔｅよりも低い。第１軟化点、および第２軟化点は、第１空間５１０を、通気路６００、第２空間５２０、および排気口７００を介して排気する際の温度Ｔｅよりも高い。

　本実施形態のガラスパネルユニット１０を作製するための仮組立て品１００は、第１ガラス基板２００と、第２ガラス基板３００と、枠体４１０と、内部空間５００と、仕切り４２０と、通気路６００と、排気口７００と、ガス吸着体６０と、を備える。第２ガラス基板３００は、第１ガラス基板２００に対向するように配置される。枠体４１０は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００との間に配置され第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを気密に接合する。内部空間５００は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００と枠体４１０とで囲まれた空間である。仕切り４２０は、内部空間５００を第１空間５１０と第２空間５２０とに仕切る。通気路６００は、内部空間５００内に形成され、第１空間５１０と第２空間５２０とをつなぐ。排気口７００は、第２空間５２０と外部空間とをつなぐ。ガス吸着体６０は、ゲッタを有し、第１空間５１０内に配置される。

　本実施形態のガラスパネルユニット１０を作製するための組立て品１１０は、第１ガラス基板２００と、第２ガラス基板３００と、枠体４１０と、内部空間５００と、隔壁４２と、排気口７００と、ガス吸着体６０と、を備える。第２ガラス基板３００は、第１ガラス基板２００に対向するように配置される。枠体４１０は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００との間に配置され第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを気密に接合する。内部空間５００は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００と枠体４１０とで囲まれた空間である。隔壁４２は、内部空間５００を真空空間５０と第２空間５２０とに仕切る。排気口７００は、第２空間５２０と外部空間とをつなぐ。ガス吸着体６０は、ゲッタを有し、第１空間５１０内に配置される。隔壁４２は、内部空間５００を第１空間５１０と第２空間５２０とに仕切る仕切り４２０を、第１空間５１０を内部空間５００内で第１空間５１０と第２空間５２０とをつなぐ通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して排気して真空空間５０とした後に、通気路６００を塞ぐように変形させて得られる。

　以上述べた本実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法は、組立工程と、密閉工程と、除去工程と、を備える。組立工程では、仮組立て品１００を用意する。仮組立て品１００は、第１ガラス基板２００と、第２ガラス基板３００と、枠体４１０と、内部空間５００と、仕切り４２０と、通気路６００と、排気口７００と、ガス吸着体６０と、を備える。第２ガラス基板３００は、第１ガラス基板２００に対向するように配置される。枠体４１０は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００との間に配置され第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを気密に接合する。内部空間５００は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００と枠体４１０とで囲まれた空間である。仕切り４２０は、内部空間５００を第１空間５１０と第２空間５２０とに仕切る。通気路６００は、内部空間５００内に形成され、第１空間５１０と第２空間５２０とをつなぐ。排気口７００は、第２空間５２０と外部空間とをつなぐ。ガス吸着体６０は、ゲッタを有し、第１空間５１０内に配置される。密閉工程では、第１空間５１０を、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して排気して真空空間５０とし、仕切り４２０を変形させて通気路６００を塞ぐ隔壁４２を形成することで枠体４１０において真空空間５０に対応する部分と隔壁４２とから第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを気密に接合するとともに真空空間５０を囲むシール４０を形成して、組立て品１１０を得る。除去工程では、組立て品１１０から第２空間５２０を有する部分１１を除去することで、真空空間５０を有する所定部分であるガラスパネルユニット１０を得る。

　また、枠体４１０は、第１軟化点を有する第１熱接着剤を含む。仕切り４２０は、第１軟化点以上の第２軟化点を有する第２熱接着剤を含む。組立工程では、第１軟化点以上の第１溶融温度Ｔｍ１で第１熱接着剤を一旦溶融させることで、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを気密に接合する。密閉工程では、第２軟化点以上の第２溶融温度Ｔｍ２で第２熱接着剤を一旦溶融させることで、仕切り４２０を変形させて隔壁４２を形成する。第１溶融温度Ｔｍ１は、第２溶融温度Ｔｍ２よりも低い。

　また、密閉工程では、排気温度Ｔｅで、第１空間５１０を、通気路６００、第２空間５２０、および排気口７００を介して排気する。排気温度Ｔｅは、ゲッタの活性化温度よりも高い。

　また、排気温度Ｔｅは、第１溶融温度Ｔｍ１および第２溶融温度Ｔｍ２よりも低い。

　また、密閉工程では、第１空間５１０を、通気路６００、第２空間５２０、および排気口７００を介して排気しながら、仕切り４２０を変形させて隔壁４２を形成する。

　［２．変形例］
　上記実施形態では、ガラスパネルユニット（１０）は矩形状であるが、ガラスパネルユニット（１０）は、円形状や多角形状など所望の形状であってもよい。つまり、第１ガラスパネル（２０）、第２ガラスパネル（３０）、およびシール（４０）は、矩形状ではなく、円形状や多角形状など所望の形状であってもよい。なお、第１ガラス基板（２００）、第２ガラス基板（３００）、枠体（４１０）、および、隔壁（４２）のそれぞれの形状は、上記実施形態の形状に限定されず、所望の形状のガラスパネルユニット（１０）が得られるような形状であればよい。なお、ガラスパネルユニット（１０）の形状や大きさは、ガラスパネルユニット（１０）の用途に応じて決定される。

　また、第１ガラスパネル（２０）の本体（２１）の第１面および第２面はいずれも平面に限定されない。同様に、第２ガラスパネル（３０）の本体（３１）の第１面および第２面はいずれも平面に限定されない。

　また、第１ガラスパネル（２０）の本体（２１）と第２ガラスパネル（３０）の本体（３１）とは同じ平面形状および平面サイズを有していなくてもよい。また、本体（２１）と本体（３１）とは同じ厚みを有していなくてもよい。また、本体（２１）と本体（３１）とは同じ材料で形成されていなくてもよい。同様に、第１ガラス基板（２００）のガラス板（２１０）と第２ガラス基板（３００）のガラス板（３１０）とは同じ平面形状および平面サイズを有していなくてもよい。また、ガラス板（２１０）とガラス板（３１０）とは同じ厚みを有していなくてもよい。ガラス板（２１０）とガラス板（３１０）とは同じ材料で形成されていなくてもよい。

　また、シール（４０）は、第１ガラスパネル（２０）および第２ガラスパネル（３０）と同じ平面形状を有していなくてもよい。同様に、枠体（４１０）は、第１ガラス基板（２００）および第２ガラス基板（３００）と同じ平面形状を有していなくてもよい。

　また、第１ガラスパネル（２０）は、さらに、所望の物理特性を有して本体（２１）の第２面に形成されるコーティングを備えていてもよい。あるいは、第１ガラスパネル（２０）は、コーティング（２２）を備えていなくてもよい。つまり、第１ガラスパネル（２０）は、本体（２１）のみで構成されていてもよい。

　また、第２ガラスパネル（３０）は、さらに、所望の物理特性を有するコーティングを備えていてもよい。コーティングは、たとえば、本体（３１）の第１面および第２面にそれぞれ形成される薄膜の少なくとも一方を備えていればよい。コーティングは、たとえば、特定波長の光を反射する膜（赤外線反射膜、紫外線反射膜）などである。

　上記実施形態では、枠体（４１０）は、第１熱接着剤で形成されている。ただし、枠体（４１０）は、第１熱接着剤に加えて、芯材等の他の要素を備えていてもよい。つまり、枠体（４１０）は、第１熱接着剤を含んでいればよい。また、上記実施形態では、枠体（４１０）は、第２ガラス基板（３００）のほぼすべての領域を囲うように形成されている。しかしながら、枠体（４１０）は、第２ガラス基板（３００）上の所定の領域を囲うように形成されていればよい。つまり、枠体（４１０）は、第２ガラス基板（３００）のほぼすべての領域を囲うように形成されている必要はない。また、組立て品（１１０）は、２以上の枠体（４１０）を有していてもよい。つまり、組立て品（１１０）は、２以上の内部空間（５００）を有していてもよい。この場合、１つの組立て品（１１０）から２以上のガラスパネルユニット（１０）を得ることができる。

　上記実施形態では、仕切り（４２０）は、第２熱接着剤で形成されている。ただし、仕切り（４２０）は、第２熱接着剤に加えて、芯材等の他の要素を備えていてもよい。つまり、仕切り（４２０）は、第２熱接着剤を含んでいればよい。また、上記実施形態では、仕切り（４２０）はその両端が枠体（４１０）とは連結されていない。そして、仕切り（４２０）の両端と枠体（４１０）との隙間が、通気路（６１０，６２０）である。ただし、仕切り（４２０）は、その両端の一方のみが枠体（４１０）に連結されていなくてもよく、この場合、仕切り（４２０）と枠体（４１０）との間に一つの通気路（６００）が形成される。あるいは、仕切り（４２０）は、その両端が枠体（４１０）に連結されていてもよい。この場合、通気路（６００）は、仕切り（４２０）に形成された貫通孔であってもよい。あるいは、通気路（６００）は、仕切り（４２０）と第１ガラス基板（２００）との隙間であってもよい。あるいは、仕切り（４２０）は、間隔をあけて配置された２以上の仕切りで形成されていてもよい。この場合、通気路（６００）は、２以上の仕切りの隙間であってもよい。

　上記実施形態では、内部空間（５００）は、一つの第１空間（５１０）と一つの第２空間（５２０）とに仕切られている。ただし、内部空間（５００）は、１以上の第１空間（５１０）と１以上の第２空間（５２０）とに仕切られていてもよい。内部空間（５００）が２以上の第１空間（５１０）を有する場合、１つの組立て品（１１０）から２以上のガラスパネルユニット（１０）を得ることができる。

　上記実施形態では、第２熱接着剤は、第１熱接着剤と同じであり、第２軟化点と第１軟化点は等しい。ただし、第２熱接着剤は、第１熱接着剤と異なる材料であってもよい。たとえば、第２熱接着剤は、第１熱接着剤の第１軟化点と異なる第２軟化点を有していてもよい。ここで、第２軟化点は、第１軟化点より高いことが好ましい。この場合、第１溶融温度Ｔｍ１を、第１軟化点以上第２軟化点未満とすることができる。このようにすれば、第１溶融工程において、仕切り４２０が変形してしまうことを防止できる。

　また、第１接着剤および第２熱接着剤は、ガラスフリットに限定されず、たとえば、低融点金属や、ホットメルト接着材などであってもよい。

　上記実施形態では、枠体（４１０）、ガス吸着体（６０）、および仕切り（４２０）の加熱に溶融炉を利用している。しかしながら、加熱は、適宜の加熱手段で行うことができる。加熱手段は、たとえば、レーザや、熱源に接続された伝熱板などである。

　上記実施形態では、通気路（６００）は２つの通気路（６１０，６２０）を備えているが、通気路（６００）は、一つの通気路だけで構成されていてもよいし、３以上の通気路で構成されていてもよい。また、通気路（６００）の形状は、特に限定されない。

　上記実施形態では、排気口（７００）は、第２ガラス基板（３００）に形成されている。しかし、排気口（７００）は、第１ガラス基板（２００）のガラス板（２１０）に形成されていてもよいし、枠体（４１０）に形成されていてもよい。要するに、排気口（７００）は、不要な部分（１１）に形成されていればよい。

　上記実施形態では、ガス吸着体（６０）のゲッタは蒸発型ゲッタであるが、ゲッタは非蒸発型ゲッタであってもよい。非蒸発型ゲッタは、所定温度（活性化温度）以上になると、吸着された分子が内部に入り込むことで、吸着能力が回復する。ただし、蒸発型ゲッタとは異なり、吸着された分子を放出するわけではないので、非蒸発型ゲッタは、ある程度以上の分子を吸着すると、たとえ活性化温度以上に加熱されても、吸着能力が回復しなくなる。

　上記実施形態では、ガス吸着体（６０）は、長尺の平板状であるが、他の形状であってもよい。また、ガス吸着体（６０）は、必ずしも真空空間（５０）の端にある必要はない。また、上記実施形態では、ガス吸着体（６０）は、ゲッタの粉体を含む液体（たとえばゲッタの粉体を液体に分散して得られた分散液や、ゲッタの粉体を液体に溶解させて得られた溶液）を塗布することにより形成される。しかしながら、ガス吸着体（６０）は、基板と、基板に固着されたゲッタと、を備えていてもよい。このようなガス吸着体（６０）は、ゲッタの粉末を含む液体に基板を浸漬し、乾燥することで得ることができる。なお、基板は、所望の形状であってよく、たとえば、長尺の矩形状である。

　あるいは、ガス吸着体（６０）は、第２ガラス基板（３００）のガラス板（３１０）の表面（第１面）に全体的あるいは部分的に形成された膜であってもよい。このようなガス吸着体（６０）は、第２ガラス基板（３００）のガラス板（３１０）の表面（第１面）をゲッタの粉末を含む液体でコーティングすることで得ることができる。

　あるいは、ガス吸着体（６０）は、スペーサ（７０）に含まれていてもよい。たとえば、スペーサ（７０）を、ゲッタを含む材料で形成すれば、ガス吸着体（６０）を含むスペーサ（７０）を得ることができる。

　あるいは、ガス吸着体（６０）は、ゲッタで形成された固形物であってもよい。このようなガス吸着体（６０）は、比較大きく、第１ガラス基板（２００）と第２ガラス基板（３００）との間に配置できないことがある。この場合には、第２ガラス基板（３００）のガラス板（３１０）に凹所を形成して、この凹所にガス吸着体（６０）を配置すればよい。

　上記実施形態では、ガラスパネルユニット（１０）は複数のスペーサ（７０）を備えているが、ガラスパネルユニット（１０）は、一つのスペーサ（７０）を備えていてもよい。あるいは、ガラスパネルユニット（１０）は、スペーサ（７０）を備えていなくてもよい。

　［３．本発明に係る形態］
　以上述べた実施形態および変形例から明らかなように、本発明に係る第１の形態のガラスパネルユニット（１０）は、仮組立て品（１００）に所定の処理を行って得られる組立て品（１１０）から分離される所定部分（１０）であって、前記仮組立て品（１００）は、第１ガラス基板（２００）と、前記第１ガラス基板（２００）に対向するように配置された第２ガラス基板（３００）と、前記第１ガラス基板（２００）と前記第２ガラス基板（３００）との間に配置されて前記第１ガラス基板（２００）と前記第２ガラス基板（３００）とを気密に接合する枠体（４１０）と、前記第１ガラス基板（２００）と前記第２ガラス基板（３００）と前記枠体（４１０）とで囲まれた内部空間（５００）と、前記内部空間（５００）を第１空間（５１０）と第２空間（５２０）とに仕切る仕切り（４２０）と、前記内部空間（５００）内に形成され、前記第１空間（５１０）と前記第２空間（５２０）とをつなぐ通気路（６００）と、前記第２空間（５２０）と外部空間とをつなぐ排気口（７００）と、前記第１空間（５１０）内に配置され、ゲッタを有するガス吸着体（６０）と、を備える。前記所定の処理は、前記通気路（６００）と前記第２空間（５２０）と前記排気口（７００）を介して前記第１空間（５１０）を排気して前記第１空間（５１０）を真空空間（５０）とし、前記仕切り（４２０）を変形させて前記通気路（６００）を塞いで前記真空空間（５０）を前記第２空間（５２０）から分離する隔壁（４２）を形成することで前記枠体（４１０）において前記真空空間（５０）に対応する部分と前記隔壁（４２）とから前記第１ガラス基板（２００）と前記第２ガラス基板（３００）とを気密に接合するとともに前記真空空間（５０）を囲むシール（４０）を形成する処理である。前記所定部分（１０）は、前記第１ガラス基板（２００）のうち前記真空空間（５０）に対応する部分である第１ガラスパネル（２０）と、前記第２ガラス基板（３００）のうち前記真空空間（５０）に対応する部分である第２ガラスパネル（３０）と、前記シール（４０）と、前記真空空間（５０）と、前記ガス吸着体（６０）と、を備える。

　第１の形態によれば、排気口（７００）および排気管（８１０）がなく、しかも、断熱性能が良いガラスパネルユニット（１０）が得られる。

　本発明に係る第２の形態のガラスパネルユニット（１０）は、第１の形態との組み合わせにより実現される。第２の形態では、前記ゲッタは、蒸発型ゲッタである。

　第２の形態によれば、ガス吸着体（６０）の吸着能力を回復させることができる。

　本発明に係る第３の形態のガラスパネルユニット（１０）は、第２の形態との組み合わせにより実現される。第３の形態では、前記ゲッタは、ゼオライト、または、イオン交換されたゼオライトである。

　第３の形態によれば、ガス吸着体（６０）の元来の吸着能力を高くすることができる。

　本発明に係る第４の形態のガラスパネルユニット（１０）は、第１の形態との組み合わせにより実現される。第４の形態では、前記ゲッタは、非蒸発型ゲッタである。

　第４の形態によれば、ガス吸着体（６０）の吸着能力を回復させることができる。

　本発明に係る第５の形態のガラスパネルユニット（１０）は、第１～第４の形態のいずれか一つとの組み合わせにより実現される。第５の形態では、前記ガス吸着体（６０）は、前記ゲッタの粉体を備える。

　第５の形態によれば、ガス吸着体（６０）を小さくできる。したがって、真空空間（５０）が狭くてもガス吸着体（６０）を配置できる。

　本発明に係る第６の形態のガラスパネルユニット（１０）は、第１～第５の形態のいずれか一つとの組み合わせにより実現される。第６の形態では、前記ガス吸着体（６０）は、前記真空空間（５０）の端に配置される。

　第６の形態によれば、ガス吸着体（６０）を目立たなくすることができる。

　本発明に係る第７の形態のガラスパネルユニット（１０）は、第１～第６の形態のいずれか一つとの組み合わせにより実現される。第７の形態では、前記ゲッタは、前記第１空間（５１０）を、前記通気路（６００）、前記第２空間（５２０）、および前記排気口（７００）を介して排気する際の温度（排気温度）Ｔｅよりも低い活性化温度を有する。

　第７の形態によれば、第１空間（５１０）を、通気路（６００）、第２空間（５２０）、および排気口（７００）を介して排気する際に、ガス吸着体（６０）の吸着能力を回復させることができる。

　本発明に係る第８の形態のガラスパネルユニット（１０）は、第１～第６の形態のいずれか一つとの組み合わせにより実現される。第８の形態では、前記枠体（４１０）は、第１軟化点を有する第１熱接着剤を含む。前記仕切り（４２０）は、前記第１軟化点以上の第２軟化点を有する第２熱接着剤を含む。前記第１ガラス基板（２００）と前記第２ガラス基板（３００）とは、前記第１軟化点以上の第１溶融温度（Ｔｍ１）で前記第１熱接着剤を一旦溶融させることで、気密に接合される。前記仕切り（４２０）は、前記第２軟化点以上の第２溶融温度（Ｔｍ２）で前記第２熱接着剤を一旦溶融させることで変形される。前記第１溶融温度（Ｔｍ１）は、前記第２溶融温度（Ｔｍ２）よりも低い。

　第８の形態によれば、第１ガラス基板（２００）と第２ガラス基板（３００）とを気密に接合する際に仕切り（４２０）が変形して通気路（６００）が塞がれてしまう可能性を低くできる。

　本発明に係る第９の形態のガラスパネルユニット（１０）は、第１～第６の形態のいずれか一つとの組み合わせにより実現される。第９の形態では、前記枠体（４１０）は、第１軟化点を有する第１熱接着剤を含む。前記仕切り（４２０）は、前記第１軟化点以上の第２軟化点を有する第２熱接着剤を含む。前記第１ガラス基板（２００）と前記第２ガラス基板（３００）とは、前記第１軟化点以上の第１溶融温度（Ｔｍ１）で前記第１熱接着剤を一旦溶融させることで、気密に接合される。前記仕切り（４２０）は、前記第２軟化点以上の第２溶融温度（Ｔｍ２）で前記第２熱接着剤を一旦溶融させることで変形される。前記ゲッタの活性化温度は、前記第１空間（５１０）を、前記通気路（６００）、前記第２空間（５２０）、および前記排気口（７００）を介して排気する際の温度（排気温度）Ｔｅよりも低い。前記第１軟化点、および前記第２軟化点は、前記第１空間（５１０）を、前記通気路（６００）、前記第２空間（５２０）、および前記排気口（７００）を介して排気する際の温度（排気温度）Ｔｅよりも高い。

　第９の形態によれば、第１空間（５１０）を、通気路（６００）、第２空間（５２０）、および排気口（７００）を介して排気する際に、ガス吸着体（６０）の吸着能力を回復させることができ、しかも、仕切り（４２０）が変形して通気路（６００）が塞がれてしまう可能性を低くできる。

　本発明に係る第１０の形態のガラスパネルユニットの仮組立て品（１００）は、第１～第９の形態のいずれか一つのガラスパネルユニット（１０）を作製するための仮組立て品であって、第１ガラス基板（２００）と、前記第１ガラス基板（２００）に対向するように配置された第２ガラス基板（３００）と、前記第１ガラス基板（２００）と前記第２ガラス基板（３００）との間に配置されて前記第１ガラス基板（２００）と前記第２ガラス基板（３００）とを気密に接合する枠体（４１０）と、前記第１ガラス基板（２００）と前記第２ガラス基板（３００）と前記枠体（４１０）とで囲まれた内部空間（５００）と、前記内部空間（５００）を第１空間（５１０）と第２空間（５２０）とに仕切る仕切り（４２０）と、前記内部空間（５００）内で前記第１空間（５１０）と前記第２空間（５２０）とをつなぐ通気路（６００）と、前記第２空間（５２０）と外部空間とをつなぐ排気口（７００）と、前記第１空間（５１０）内に配置され、ゲッタを有するガス吸着体（６０）と、を備える。

　第１０の形態によれば、排気口（７００）および排気管（８１０）がなく、しかも、断熱性能が良いガラスパネルユニット（１０）を得ることができる。

　本発明に係る第１１の形態のガラスパネルユニットの組立て品（１１０）は、第１～第９の形態のいずれか一つのガラスパネルユニット（１０）を作製するための組立て品であって、第１ガラス基板（２００）と、前記第１ガラス基板（２００）に対向するように配置された第２ガラス基板（３００）と、前記第１ガラス基板（２００）と前記第２ガラス基板（３００）との間に配置されて前記第１ガラス基板（２００）と前記第２ガラス基板（３００）とを気密に接合する枠体（４１０）と、前記第１ガラス基板（２００）と前記第２ガラス基板（３００）と前記枠体（４１０）とで囲まれた内部空間（５００）と、前記内部空間（５００）を真空空間（５０）と第２空間（５２０）とに分離する隔壁（４２）と、前記第２空間（５２０）と外部空間とをつなぐ排気口（７００）と、前記真空空間（５０）内に配置され、ゲッタを有するガス吸着体（６０）と、を備える。前記隔壁（４２）は、前記内部空間（５００）を第１空間（５１０）と前記第２空間（５２０）とに仕切る仕切り（４２０）を、前記第１空間（５１０）を前記内部空間（５００）内で前記第１空間（５１０）と前記第２空間（５２０）とをつなぐ通気路（６００）と前記第２空間（５２０）と前記排気口（７００）とを介して排気して前記真空空間（５０）とした後に、前記通気路（６００）を塞ぐように変形させて得られる。

　第１１の形態によれば、排気口（７００）および排気管（８１０）がなく、しかも、断熱性能が良いガラスパネルユニット（１０）を得ることができる。

　本発明に係る第１２の形態のガラスパネルユニットの製造方法は、第１ガラス基板（２００）と、前記第１ガラス基板（２００）に対向するように配置された第２ガラス基板（３００）と、前記第１ガラス基板（２００）と前記第２ガラス基板（３００）との間に配置されて前記第１ガラス基板（２００）と前記第２ガラス基板（３００）とを気密に接合する枠体（４１０）と、前記第１ガラス基板（２００）と前記第２ガラス基板（３００）と前記枠体（４１０）とで囲まれた内部空間（５００）と、前記内部空間（５００）を第１空間（５１０）と第２空間（５２０）とに仕切る仕切り（４２０）と、前記第１空間（５１０）と前記第２空間（５２０）とをつなぐ通気路（６００）と、前記第２空間（５２０）と外部空間とをつなぐ排気口（７００）と、ゲッタを有するガス吸着体（６０）と、を備える仮組立て品（１００）を用意する組立工程と、前記第１空間（５１０）を、前記通気路（６００）と前記第２空間（５２０）と前記排気口（７００）とを介して排気して真空空間（５０）とし、前記仕切り（４２０）を変形させて前記通気路（６００）を塞ぐ隔壁（４２）を形成することで前記枠体（４１０）において前記真空空間（５０）に対応する部分と前記隔壁（４２）とから前記第１ガラス基板（２００）と前記第２ガラス基板（３００）とを気密に接合するとともに前記真空空間（５０）を囲むシール（４０）を形成して、組立て品（１１０）を得る密閉工程と、前記組立て品（１１０）から前記第２空間（５２０）を有する部分を除去することで、前記真空空間（５０）を有する所定部分（１０）であるガラスパネルユニットを得る除去工程と、を備える。

　第１２の形態によれば、排気口（７００）および排気管（８１０）がなく、しかも、断熱性能が良いガラスパネルユニット（１０）が得られる。

　本発明に係る第１３の形態のガラスパネルユニットの製造方法は、第１２の形態との組み合わせにより実現される。第１３の形態では、前記枠体（４１０）は、第１軟化点を有する第１熱接着剤を含む。前記仕切り（４２０）は、前記第１軟化点以上の第２軟化点を有する第２熱接着剤を含む。前記組立工程では、前記第１軟化点以上の第１溶融温度（Ｔｍ１）で前記第１熱接着剤を一旦溶融させることで、前記第１ガラス基板（２００）と前記第２ガラス基板（３００）とを気密に接合する。前記密閉工程では、前記第２軟化点以上の第２溶融温度（Ｔｍ２）で前記第２熱接着剤を一旦溶融させることで、前記仕切り（４２０）を変形させて前記隔壁（４２）を形成する。前記第１溶融温度（Ｔｍ１）は、前記第２溶融温度（Ｔｍ２）より低い。

　第１３の形態によれば、第１ガラス基板（２００）と第２ガラス基板（３００）とを気密に接合する際に仕切り（４２０）が変形して通気路（６００）が塞がれてしまう可能性を低くできる。

　本発明に係る第１４の形態のガラスパネルユニットの製造方法は、第１２の形態との組み合わせにより実現される。第１４の形態では、前記密閉工程では、排気温度（Ｔｅ）で、前記第１空間（５１０）を、前記通気路（６００）、前記第２空間（５２０）、および前記排気口（７００）を介して排気する。前記排気温度（Ｔｅ）は、前記ゲッタの活性化温度よりも高い。

　第１４の形態によれば、第１空間（５１０）を、通気路（６００）、第２空間（５２０）、および排気口（７００）を介して排気する際に、ガス吸着体（６０）の吸着能力を回復させることができる。

　本発明に係る第１５の形態のガラスパネルユニットの製造方法は、第１４の形態との組み合わせにより実現される。第１５の形態では、前記枠体（４１０）は、第１軟化点を有する第１熱接着剤を含む。前記仕切り（４２０）は、前記第１軟化点以上の第２軟化点を有する第２熱接着剤を含む。前記組立工程では、前記第１軟化点以上の第１溶融温度（Ｔｍ１）で前記第１熱接着剤を一旦溶融させることで、前記第１ガラス基板（２００）と前記第２ガラス基板（３００）とを気密に接合する。前記密閉工程では、前記第２軟化点以上の第２溶融温度（Ｔｍ２）で前記第２熱接着剤を一旦溶融させることで、前記仕切り（４２０）を変形させて前記隔壁（４２）を形成する。前記排気温度（Ｔｅ）は、前記第１溶融温度（Ｔｍ１）および前記第２溶融温度（Ｔｍ２）よりも低い。

　第１５の形態によれば、第１空間（５１０）を、通気路（６００）、第２空間（５２０）、および排気口（７００）を介して排気する際に仕切り（４２０）が変形して通気路（６００）が塞がれてしまう可能性を低くできる。

　本発明に係る第１６の形態のガラスパネルユニットの製造方法は、第１５の形態との組み合わせにより実現される。第１６の形態では、前記第１溶融温度（Ｔｍ１）は、前記第２溶融温度（Ｔｍ２）よりも低い。

　第１６の形態によれば、第１ガラス基板（２００）と第２ガラス基板（３００）とを気密に接合する際に仕切り（４２０）が変形して通気路（６００）が塞がれてしまう可能性を低くできる。

　本発明に係る第１７の形態のガラスパネルユニットの製造方法は、第１２～第１６の形態のいずれか一つとの組み合わせにより実現される。第１７の形態では、前記密閉工程では、前記第１空間（５１０）を、前記通気路（６００）、前記第２空間（５２０）、および前記排気口（７００）を介して排気しながら、前記仕切り（４２０）を変形させて前記隔壁（４２）を形成する。

　第１７の形態によれば、仕切り（４２０）を変形させて隔壁（４２）を形成する際に真空空間（５０）の真空度が悪化する可能性を低くできる。

Claims (17)

1. 　仮組立て品に所定の処理を行って得られる組立て品から分離される所定部分であって、
   　前記仮組立て品は、
   　　第１ガラス基板と、
   　　前記第１ガラス基板に対向するように配置された第２ガラス基板と、
   　　前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板との間に配置されて前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板とを気密に接合する枠体と、
   　　前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板と前記枠体とで囲まれた内部空間と、
   　　前記内部空間を第１空間と第２空間とに仕切る仕切りと、
   　　前記内部空間内に形成され、前記第１空間と前記第２空間とをつなぐ通気路と、
   　　前記第２空間と外部空間とをつなぐ排気口と、
   　　前記第１空間内に配置され、ゲッタを有するガス吸着体と、
   　を備え、
   　前記所定の処理は、
   　　前記通気路と前記第２空間と前記排気口を介して前記第１空間を排気して前記第１空間を真空空間とし、
   　　前記仕切りを変形させて前記通気路を塞いで前記真空空間を前記第２空間から分離する隔壁を形成することで前記枠体において前記真空空間に対応する部分と前記隔壁とから前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板とを気密に接合するとともに前記真空空間を囲むシールを形成する処理であり、
   　前記所定部分は、
   　　前記第１ガラス基板のうち前記真空空間に対応する部分である第１ガラスパネルと、
   　　前記第２ガラス基板のうち前記真空空間に対応する部分である第２ガラスパネルと、
   　　前記シールと、
   　　前記真空空間と、
   　　前記ガス吸着体と、
   　を備える、
   　ガラスパネルユニット。
2. 　前記ゲッタは、蒸発型ゲッタである、
   　請求項１に記載のガラスパネルユニット。
3. 　前記ゲッタは、ゼオライト、または、イオン交換されたゼオライトである、
   　請求項２に記載のガラスパネルユニット。
4. 　前記ゲッタは、非蒸発型ゲッタである、
   　請求項１に記載のガラスパネルユニット。
5. 　前記ガス吸着体は、前記ゲッタの粉体を備える、
   　請求項１～４のいずれか一項に記載のガラスパネルユニット。
6. 　前記ガス吸着体は、前記真空空間の端に配置される、
   　請求項１～５のいずれか一項に記載のガラスパネルユニット。
7. 　前記ゲッタは、前記第１空間を、前記通気路、前記第２空間、および前記排気口を介して排気する際の温度よりも低い活性化温度を有する、
   　請求項１～６のいずれか一項に記載のガラスパネルユニット。
8. 　前記枠体は、第１軟化点を有する第１熱接着剤を含み、
   　前記仕切りは、前記第１軟化点以上の第２軟化点を有する第２熱接着剤を含み、
   　前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板とは、前記第１軟化点以上の第１溶融温度で前記第１熱接着剤を一旦溶融させることで、気密に接合され、
   　前記仕切りは、前記第２軟化点以上の第２溶融温度で前記第２熱接着剤を一旦溶融させることで変形され、
   　前記第１溶融温度は、前記第２溶融温度よりも低い、
   　請求項１～６のいずれか一項に記載のガラスパネルユニット。
9. 　前記枠体は、第１軟化点を有する第１熱接着剤を含み、
   　前記仕切りは、前記第１軟化点以上の第２軟化点を有する第２熱接着剤を含み、
   　前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板とは、前記第１軟化点以上の第１溶融温度で前記第１熱接着剤を一旦溶融させることで、気密に接合され、
   　前記仕切りは、前記第２軟化点以上の第２溶融温度で前記第２熱接着剤を一旦溶融させることで変形され、
   　前記ゲッタの活性化温度は、前記第１空間を、前記通気路、前記第２空間、および前記排気口を介して排気する際の温度よりも低く、
   　前記第１軟化点、および前記第２軟化点は、前記第１空間を、前記通気路、前記第２空間、および前記排気口を介して排気する際の前記温度よりも高い、
   　請求項１～６のいずれか一項に記載のガラスパネルユニット。
10. 　請求項１～９のいずれか一つに記載のガラスパネルユニットを作製するための仮組立て品であって、
    　第１ガラス基板と、
    　前記第１ガラス基板に対向するように配置された第２ガラス基板と、
    　前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板との間に配置されて前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板とを気密に接合する枠体と、
    　前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板と前記枠体とで囲まれた内部空間と、
    　前記内部空間を第１空間と第２空間とに仕切る仕切りと、
    　前記内部空間内で前記第１空間と前記第２空間とをつなぐ通気路と、
    　前記第２空間と外部空間とをつなぐ排気口と、
    　前記第１空間内に配置され、ゲッタを有するガス吸着体と、
    　を備える、
    　ガラスパネルユニットの仮組立て品。
11. 　請求項１～９のいずれか一つに記載のガラスパネルユニットを作製するための組立て品であって、
    　第１ガラス基板と、
    　前記第１ガラス基板に対向するように配置された第２ガラス基板と、
    　前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板との間に配置されて前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板とを気密に接合する枠体と、
    　前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板と前記枠体とで囲まれた内部空間と、
    　前記内部空間を真空空間と第２空間とに分離する隔壁と、
    　前記第２空間と外部空間とをつなぐ排気口と、
    　前記真空空間内に配置され、ゲッタを有するガス吸着体と、
    　を備え、
    　前記隔壁は、前記内部空間を第１空間と前記第２空間とに仕切る仕切りを、前記第１空間を前記内部空間内で前記第１空間と前記第２空間とをつなぐ通気路と前記第２空間と前記排気口とを介して排気して前記真空空間とした後に、前記通気路を塞ぐように変形させて得られる、
    　ガラスパネルユニットの組立て品。
12. 　第１ガラス基板と、前記第１ガラス基板に対向するように配置された第２ガラス基板と、前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板との間に配置されて前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板とを気密に接合する枠体と、前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板と前記枠体とで囲まれた内部空間と、前記内部空間を第１空間と第２空間とに仕切る仕切りと、前記第１空間と前記第２空間とをつなぐ通気路と、前記第２空間と外部空間とをつなぐ排気口と、ゲッタを有するガス吸着体と、を備える仮組立て品を用意する組立工程と、
    　前記第１空間を、前記通気路と前記第２空間と前記排気口とを介して排気して真空空間とし、前記仕切りを変形させて前記通気路を塞ぐ隔壁を形成することで前記枠体において前記真空空間に対応する部分と前記隔壁とから前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板とを気密に接合するとともに前記真空空間を囲むシールを形成して、組立て品を得る密閉工程と、
    　前記組立て品から前記第２空間を有する部分を除去することで、前記真空空間を有する所定部分であるガラスパネルユニットを得る除去工程と、
    　を備える、
    　ガラスパネルユニットの製造方法。
13. 　前記枠体は、第１軟化点を有する第１熱接着剤を含み、
    　前記仕切りは、前記第１軟化点以上の第２軟化点を有する第２熱接着剤を含み、
    　前記組立工程では、前記第１軟化点以上の第１溶融温度で前記第１熱接着剤を一旦溶融させることで、前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板とを気密に接合し、
    　前記密閉工程では、前記第２軟化点以上の第２溶融温度で前記第２熱接着剤を一旦溶融させることで、前記仕切りを変形させて前記隔壁を形成し、
    　前記第１溶融温度は、前記第２溶融温度より低い、
    　請求項１２に記載のガラスパネルユニットの製造方法。
14. 　前記密閉工程では、排気温度で、前記第１空間を、前記通気路、前記第２空間、および前記排気口を介して排気し、
    　前記排気温度は、前記ゲッタの活性化温度よりも高い、
    　請求項１２に記載のガラスパネルユニットの製造方法。
15. 　前記枠体は、第１軟化点を有する第１熱接着剤を含み、
    　前記仕切りは、前記第１軟化点以上の第２軟化点を有する第２熱接着剤を含み、
    　前記組立工程では、前記第１軟化点以上の第１溶融温度で前記第１熱接着剤を一旦溶融させることで、前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板とを気密に接合し、
    　前記密閉工程では、前記第２軟化点以上の第２溶融温度で前記第２熱接着剤を一旦溶融させることで、前記仕切りを変形させて前記隔壁を形成し、
    　前記排気温度は、前記第１溶融温度および前記第２溶融温度よりも低い、
    　請求項１４に記載のガラスパネルユニットの製造方法。
16. 　前記第１溶融温度は、前記第２溶融温度よりも低い、
    　請求項１５に記載のガラスパネルユニットの製造方法。
17. 　前記密閉工程では、前記第１空間を、前記通気路、前記第２空間、および前記排気口を介して排気しながら、前記仕切りを変形させて前記隔壁を形成する、
    　請求項１２～１６のいずれか一つに記載のガラスパネルユニットの製造方法。

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