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WO2016015921A1 - Messanordnung zur reflexionsmessung - Google Patents

Messanordnung zur reflexionsmessung Download PDF

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Publication number
WO2016015921A1
WO2016015921A1 PCT/EP2015/063898 EP2015063898W WO2016015921A1 WO 2016015921 A1 WO2016015921 A1 WO 2016015921A1 EP 2015063898 W EP2015063898 W EP 2015063898W WO 2016015921 A1 WO2016015921 A1 WO 2016015921A1
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WO
WIPO (PCT)
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measuring
reflector
sample
light
measurement
Prior art date
Application number
PCT/EP2015/063898
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English (en)
French (fr)
Inventor
Jörg MARGRAF
Jens Mondry
Original Assignee
Carl Zeiss Microscopy Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss Microscopy Gmbh filed Critical Carl Zeiss Microscopy Gmbh
Priority to US15/328,523 priority Critical patent/US10054484B2/en
Priority to CN201580041617.0A priority patent/CN106574866B/zh
Publication of WO2016015921A1 publication Critical patent/WO2016015921A1/de

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Definitions

  • the invention relates to a measuring arrangement for
  • Generic measuring arrangements are used, for example, for the spectrometric examination of surfaces in order to determine properties such as color and / or gloss of the surface.
  • the color measurement is often done by a reflection measurement.
  • the reflectivity of a sample can be measured either by a relative measurement against a known and as time
  • a multi-channel measuring head which with a d / 8 ° measuring geometry, a combined measurement of color and surface effects with a relative measurement
  • Goniometric spectrometer whose optical system along an illumination reference channel provides different measurement angles by means of multiple illumination sources.
  • Closure mechanism includes an internal reference for measuring the reference parameters with closed opening.
  • a measuring interface occurs via contact elements in direct
  • an autonomous hand-held measuring device with relative measurement which comprises a plurality of illumination sources, which directs directed illumination light at different angles onto a measuring window.
  • the reflected light is processed by various arranged in the meter spectral and imaging receiver.
  • Mirror is arranged between sample and detector in the measuring beam path. When measuring without a sample, the detector must be moved consuming.
  • Absolute reflection can be measured by using compensation methods such as the VW or VN arrangement. With the different approaches This always ensures that the VW or VN arrangement.
  • Transfer function for the reference measurement and the measurement on the sample only differs by the reflectivity of the sample.
  • the VW configuration has proved useful in that the light is reflected twice on the sample and, accordingly, the square of the reflection can be measured directly.
  • some spectrometers are
  • Illumination channel a photosensitive sub-reception channel and a photosensitive main reception channel in one
  • the receive channels have different characteristic functions with respect to the distance sensitivity.
  • Method for quality control of, in particular, painted goniochromatic surfaces One or more of the parameters color, gloss, haze or others are determined.
  • two light sources and an optics and filter device are arranged in a housing such that the spectrally predetermined light at a 45 ° angle to the
  • Sample window hits.
  • the reflected light is transmitted via a light receiving device of an optical waveguide
  • measuring devices may be directed at different angles on the sample window.
  • Light detectors used to compensate for the measurement errors.
  • the object of the invention is to provide a robust
  • Example glass sheets, films or other web-shaped or large-area materials is suitable.
  • a measuring arrangement comprises, for the detection of an absolute reflection spectrum of a sample, first in a known manner a light source for generating measuring light, a homogenizer for producing a uniform one
  • the reflector directs the measurement light emitted by the light source and / or the light reflected from the sample to the receiver.
  • the receiver can be used in a known manner with a spectrometer be connected or directly form the input of a spectrometer. In the sense of an absolute
  • Reflection measurement is the reflector for both
  • Reference measurement as well as for a sample measurement positioned in an observation beam path.
  • the reflector is arranged both in the measuring position and in the reference position on the same side of the sample as the light source in order to supply the measuring light to the receiver.
  • either the light source or the measuring light can be spectrally tunable (monochromator) or / and the receiver can spectrally analyze the light (spectrometer).
  • the homogenizer is a hollow body which diffusely reflects on its inner surface (for example integrating sphere or integrating tube or freely designed ball-cylinder structure), which also comprises the light source, with a hollow body
  • the reflector is in the simplest case a plane mirror, but can be used in modified embodiments for specific
  • Applications also be an imaging mirror.
  • the receiver is preferably designed as an optical fiber bundle with an input optics, but can be modified in
  • Embodiments also be a single light guide with or without input optics, an inlet opening of a free-beam optic or an inlet opening of a spectrometer.
  • Receiver or a subordinate element converts the measuring light coming from the sample or the reflector into an electrical signal, which continues in a known manner
  • Test setups are passed by the light during both reference measurement and sample measurement, and incident and
  • the advantages of the invention can be seen in particular in that for very large samples (for example in the coating of large-area industrial glasses or films), a very inexpensive and robust measuring arrangement which is insensitive to a change in position of the sample can be realized. No part of the measurement setup has to be moved into or through the sample plane and the sample does not need to be removed from the sample plane for reference measurements.
  • components of the measuring arrangement can be placed in a truss arrangement and positioned there.
  • the measuring light emitted by the light source is first directed to a receiver via a reflector for referencing and the intensity of the received measuring light is determined. Will then a sample in the
  • the measuring arrangement can be used for the detection of the reflection spectra at different observation angles.
  • the reflector is preferably positionable in a first measuring position and a first reference position.
  • an illumination angle and an observation angle are set to be the same size in both first positions.
  • the reflector is additionally in a second and possibly further measuring and reference positions
  • a first variant of the particularly preferred embodiment with a very simple and robust construction is for
  • Reflector and the receiver arranged in a receiving plane which extends substantially parallel between the light source and the sample to a sample plane.
  • the reflector does not have to be folded (as would otherwise be the case in a VW measuring arrangement) from a plane below the sample into a plane above the sample, but can be positioned within the receiving plane.
  • the structure is compact and the adjusting mechanism for the reflector easy and inexpensive to produce. With a simple pivoting mechanism for the reflector this can from the first reference position to the first
  • the illumination and / or observation angles are to be varied, this can be achieved for example with a drive in a linear guide and a turning and / or tilting mechanism for the reflector.
  • the linear guide is included
  • Observation beam paths can be adjusted solely by the position and inclination of the reflector.
  • the reflector and the receiver are arranged inside the hollow body.
  • Light exit opening also serves as a measuring window, through which the reflected measuring light on the reflector for Receiver is directed. Depending on the inclination of the reflector, a lighting and viewing angle is set.
  • the light exit opening is preferably designed as a slot, thereby allowing the positioning of a circular measuring spot over a range of different
  • the further processing of the reflection data takes place in a known manner by means of a spectrometer to which the measuring light arriving in the receiver is transmitted.
  • 1 shows a first preferred embodiment of the invention for measuring specular samples in one
  • Fig. 2 the embodiment shown in Fig. 1 with the
  • 3 shows a second preferred embodiment of the invention for measuring specular samples with a fixed illumination angle
  • 4 shows a third preferred embodiment for measuring specular samples in modular construction
  • FIG. 5 shows a fourth preferred embodiment of the invention for measuring diffuse and specular samples in a schematic representation
  • Fig. 6 a fifth preferred embodiment of the invention with two rotatable reflectors
  • FIG. 7 shows possible measuring variants with the embodiment shown in FIG. 6
  • FIGs. 1 and 2 show schematic diagrams of a first preferred embodiment of the invention with a setting
  • FIG. 1 an illumination angle ⁇ , ⁇ of 8 ° is set, while FIG. 2 shows a set illumination angle 0L2 of 45 °.
  • the figure shows a) settings for a reference measurement and
  • Illumination angle adjustable from 0 ° to 65 ° and measurable.
  • Inner surface 02 includes a light source, not shown, and a light exit opening 03.
  • the advantage of using the Ulbrichtkugel 01 is that at each point of the
  • Light exit opening 03 is dimensioned accordingly.
  • a sample 04 is arranged at a distance from the integrating sphere 01 in a sample plane 05.
  • the sample 04 is a large-area sample such as industrial glass or foil or the like.
  • a reflector 0 6 and a receiver 07 are arranged in a plane extending substantially parallel to the sample plane 05 level 08.
  • the reflector 0 6 is adjustable in its inclination and arranged displaceable in the plane 08.
  • an observation beam path 0 9 is shown, which, viewed from the integrating sphere 01, also represents an illumination beam path.
  • the reflector 0 6 is set in each case for a reference measurement in terms of its position and inclination so that a certain angle of incidence of
  • Illumination beam path 0 9 is reflected and directed to the receiver 07.
  • the reflector 0 6 is each shifted in the plane 08 and changed in its inclination that a Fig. A) corresponding illumination angle oti, 0L2 is also set on the sample 04.
  • Fig. 3 shows a second preferred embodiment of
  • Illumination angle or observation angle is set. This embodiment is particularly suitable for integration into a fixed production environment when only measuring at a certain angle is required.
  • Measuring arrangement 11 comprises in this embodiment a
  • Lighting unit 12 with an integrating sphere 13th The
  • Integrating sphere 13 has a light exit opening 14.
  • the measuring arrangement 11 further comprises a reflector 1 6, which is arranged on a pivot arm 17.
  • the pivot arm 17 is by means of an unillustrated rotary drive from a Measuring position 18 in a reference position 19 (shown in phantom) pivotally.
  • Receiver 22 is routed. In this case, advantageously with a pivoting movement of the pivot arm 17 at the same time inclination and distance of the reflector 18 to the receiver 22nd
  • a pivot angle ⁇ of the pivot arm 17 is adjusted so that both in the measuring position 18 and in the reference position 19, the same illumination angle 0.3 is established with respect to a sample plane.
  • the receiver is fed in this embodiment by means of an optical waveguide 23 to a spectrometer for evaluation.
  • FIG. 4 shows a third embodiment of the invention in particular suitable for truss applications
  • Figure a) shows a measuring position and Figure b) a reference position.
  • the measuring arrangement comprises a first module 31 which is arranged in a first linear guide 32 and a
  • Lighting unit 33 with an integrating sphere 34 and a receiver module 36 which is disposed below the illumination module 34 includes.
  • the first module 31 comprises
  • Reflector module 38 provided with a reflector 39 and with its own drive 41 for linear adjustment of the reflector module 38 in a receiving plane.
  • This drive 41 can simultaneously serve for tilting and / or rotational adjustment of the reflector 39 in special embodiments via a gear or similar mechanism.
  • the first linear guide 32 is advantageously integrated in a truss arrangement and arranged above a sample 42 to be examined and in the production process.
  • the first module 31 and the reflector module 38 as parts of the invention
  • Measuring arrangement are positioned at a distance a to each other and the reflector 39 is folded in the direction of sample 42, so that a measuring position for measuring a 45 °
  • Lighting / Observation is set ( Figure a).
  • the illumination / observation beam path is dotted
  • Adjustable illumination angle For distance change and a distance c of the first module from a zero position 40 done.
  • the measurement of the distances can be done, for example, by absolutely coded scales, as is customary in such truss systems.
  • a distance b between the first module 31 and the reflector module 38 a reference position for a 45 ° measurement shown.
  • the reference measurement can be done at any time and stored in a device control.
  • a third additional module 44 is provided with its own drive 45 in a second linear guide 43, with the further a backside reflection measurement and
  • Add-on module over a distance d is set, whether the transmitted light from the sample 43 is not the receiver
  • the receiver signal consists only of the reflex of the upper side, the reflection of the upper side plus the twice transmitted light, or the reflection of the
  • the additional module 44 may also comprise only a single reflector in alternative embodiments, which can be positioned in height for the corresponding measurement purpose.
  • the reflection values of the mirrors must be known and are determined with the aid of the measuring arrangement itself.
  • Embodiment of the transmission measurement can be found in Figure 6. With a minimum possible number of linear guides and drives sequential measurements of the reflection to 75 ° illumination angle are possible. In addition are
  • FIG. 5 shows a fourth preferred embodiment of
  • a reflector 52 and a receiver 53 are arranged within an integrating sphere 51.
  • the illumination of a sample 54 takes place through a light exit opening 56.
  • the light exit opening 56 has an optimized shape.
  • the light exit opening 56 has an aperture 57, which in addition to the reflector tilting on the desired
  • Lighting angle tuned size of the illumination window 56 releases.
  • the receiver 53 is tilted so far laterally out of the vertical center plane of the ball that the spherical meridian opposite the reflector 52 is completely undisturbed as a measuring light source, e.g. about 20 °.
  • the reflector 52 is therefore tilted laterally by half the angle. See Fig. (F) in plan view.
  • Figure a) shows the illumination of sample 54 at an illumination and observation angle of 8 °, figure c) of 45 ° and figure e) of 60 °.
  • Figures b) and d) show the reference measurement settings of the reflector 52 for 8 ° and 45 ° illumination angles, respectively.
  • Fig. F) shows a plan view of the Ulbrichtkugel 51. In this illustration, the particular shape of
  • Fig. 6 shows a fifth preferred embodiment of
  • the measuring arrangement comprises two imaging off-axis mirrors 59, 62, which are rotatable about an optical axis of a light source 63 and a receiver 60 and thereby deflect the beam path.
  • the optical axes 64, 65 of receiver 60 and light source 63 are parallel to a plane in which a sample 66 is arranged,
  • the receiver 60 which may be, for example, a free-beam spectrometer, by means of a drive 58 of the
  • Reference measurement are performed, which determines the intensity of the light source 63 as a function of the device function.
  • the receiver 60 and the light source 63 are aligned at a suitable angle on a sample 66 (beam path 68, Fig. B), then the intensity of the light source 63 in dependence of
  • the specimen reflection as the searched size can now be easily calculated from the quotient of the specimen measurement and the reference measurement.
  • the intensity of the light source 63 and the dependence on the device function are shortened in the quotient and thus are omitted as unknown quantities.
  • the observation angle ⁇ on the sample 66 can be varied over the distance from the receiver 60 to the light source 63 or over the distance from the receiver 60 and the light source 63 to the sample 66.
  • the reflection properties of the mirror 69 must be known and can be regularly measured e.g. during maintenance by means of

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Messanordnung zur Erfassung eines absoluten Reflexionsspektrums einer Probe (04, 21, 42, 54, 66) in einem Produktionsprozess der Probe (04, 21, 42, 54). Sie umfasst eine Lichtquelle zur Erzeugung vom Messlicht, einen Homogenisator zur Erzeugung einer gleichmäßigen räumlichen Beleuchtungsstärkeverteilung des Messlichtes; einen beweglichen Reflektor (6, 16, 39, 52, 59,62) und einen Empfänger (07, 22, 37, 53) zum Einsammeln des von der Probe (04, 21, 42, 54) und/oder dem Reflektor (6, 16, 39, 52) reflektierten Messlichtes. Erfindungsgemäß ist der Reflektor (6, 16, 39, 52, 59, 62) sowohl für eine Referenzmessung, als auch für eine Probenmessung in einem Beobachtungsstrahlengang positioniert und auf der selben Seite der Probe (04, 21, 42, 4, 66) wie die Lichtquelle angeordnet, um das reflektierte Messlicht dem Empfänger (07, 22, 37, 53) zuzuführen.

Description

Messanordnung zur Reflexionsmessung
Die Erfindung betrifft eine Messanordnung zur
Reflexionsmessung mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Anspruchs 1.
Gattungsgemäße Messanordnungen werden zum Beispiel zur spektrometrischen Untersuchung von Oberflächen verwendet, um Eigenschaften, wie Farbe und/oder Glanz der Oberfläche zu bestimmen.
Die Farbmessung erfolgt häufig durch eine Reflexionsmessung. Das Reflexionsvermögen einer Probe kann entweder durch eine Relativmessung gegen einen bekannten und als zeitlich
unveränderlich angenommenen Reflexionsstandard oder durch eine Absolutmessung bei Verwendung eines geeigneten Strahlengangs realisiert werden.
Zur Farbmessung mit Standards sind beispielsweise drei international genormte Messgeometrien bekannt, die sich durch die Winkel, unter denen die Probe beleuchtet und betrachtet wird, kennzeichnen. Bei 45°/0° erfolgt die Beleuchtung im 45° Winkel und die Betrachtung erfolgt bei 0°. Bei 0°/d erfolgt die Beleuchtung bei 0° (senkrecht), das über eine
Photometerkugel (Ulbricht" Kugel) diffus reflektierte Licht wird an einer Stelle gemessen. Bei d/8° bzw. d/0° wird diffus über eine Photometerkugel beleuchtet und unter 8° bzw. 0° das von der Probe zurück geworfene Licht gemessen. Der individuelle Farbeindruck unter anderen als den
standardisierten Betrachtungswinkeln kann dabei unter
Umständen stark von der standardisierten Farbmessung
abweichen. Insbesondere bei reflektierenden und/oder speziell beschichteten Flächen können dabei blickwinkelabhängig
erhebliche Abweichungen in der Farbwahrnehmung entstehen.
Aus der DE 699 20 581 T2 ist ein Multikanal-Messkopf bekannt, der mit einer d/8° Messgeometrie eine kombinierte Messung von Färb- und Oberflächeneffekten mit einer Relativmessung
ermöglicht .
Die DE 60 2005 005 919 T2 beschreibt ein tragbares
goniometrisches Spektrometer dessen optisches System längs eines Beleuchtungsreferenzkanals verschiedene Messwinkel mittels mehrerer Beleuchtungsquellen bereitstellt. Ein
Verschlussmechanismus umfasst dabei eine internen Referenz zur Messung der Referenzparameter bei verschlossener Öffnung. Eine Messschnittstelle tritt über Kontaktelemente in direkte
Verbindung mit der zu messenden Probe, um eine senkrecht zur Messachse stehende Probeneben zu definieren.
Aus der DE 20 2012 010 549 Ul ist ein autonomes Handmessgerät mit Relativmessung bekannt, das mehrere Beleuchtungsquellen umfasst, die gerichtetes Beleuchtungslicht unter verschiedenen Winkeln auf ein Messfenster lenkt. Das reflektierte Licht wird durch verschiedene im Messgerät angeordnete spektrale und bildgebende Empfänger verarbeitet.
Die US 2005/015185 AI beschreibt ein Gerät zur Messung von absoluten Reflexionsspektren, bei denen ein schwenkbarer
Spiegel zwischen Probe und Detektor im Messstrahlengang angeordnet ist. Bei der Messung ohne Probe muss der Detektor aufwendig bewegt werden.
Die Messung der absolut gerichteten Reflexion kann durch den Einsatz von Kompensationsmethoden wie der VW- oder VN- Anordnung erfolgen. Bei den unterschiedlichen Lösungsansätzen wird dabei immer gewährleistet, dass sich die
Übertragungsfunktion für die Referenzmessung und die Messung an der Probe nur durch das Reflexionsvermögen der Probe unterscheidet .
Insbesondere zur genauen Absolutmessung von
hochreflektierenden Proben hat sich die VW-Konfiguration bewährt, bei der das Licht zweimal an der Probe reflektiert wird und entsprechend das Quadrat der Reflexion direkt gemessen werden kann. Für einige Spektrometer sind
entsprechende Messeinsätze verfügbar.
Der Nachteil der VW- oder VN-Anordnungen besteht vor allem darin, dass zum Umschalten zwischen Proben- und
Referenzmessung der Spiegel in zwei verschiedene Ebenen geklappt werden muss, zwischen denen die Probenebene
angeordnet ist. Solche Anordnungen sind für den Laboreinsatz konzipiert .
Die DE 10 2012 208 248 B3 beschreibt ein lichtleiterbasiertes absolut messendes Farbsensorsystem mit einer Kompensation einer Abstandsänderung der Probe. Dabei werden
Beleuchtungskanal, ein fotoempfindlicher Nebenempfangskanal und ein fotoempfindlicher Hauptempfangskanal in einem
dreiteiligen Faserbündel verwendet. Die Empfangskanäle weisen bezüglich der Abstandsempfindlichkeit unterschiedliche charakteristische Funktionen auf.
Aus der DE 199 50 588 B4 ist eine Vorrichtung und ein
Verfahren zur Qualitätskontrolle von insbesondere lackierten goniochromatischen Oberflächen. Es werden eine oder mehrere der Kenngrößen Farbe, Glanz, Glanzschleier oder andere bestimmt. Dazu werden in einem Gehäuse zwei Lichtquellen und eine Optik und Filtereinrichtung derart angeordnet, dass das spektral vorbestimmte Licht im 45°-Winkel auf das
Probenfenster trifft. Das reflektierte Licht wird über eine Lichtaufnahmeeinrichtung eines optischen Lichtleiters
empfangen und zu einer Messeinrichtung gelenkt. Mehrere solcher Messeinrichtungen können in verschiedenen Winkeln auf das Probenfenster gerichtet sein.
Bei industriellen Anwendungen erweist sich ein veränderlicher Probenort oftmals als problematisch für die absolute
Farbmessung. In solchen Anwendungen wird z. Bsp. mit einer
Überbelichtung der Probe (größerer Lichtfleckdurchmesser) eine Abstandsvariation der Probe kompensiert oder es werden
zusätzlich Abstandssensoren oder positionsempfindliche
Lichtdetektoren verwendet, um die Messfehler zu kompensieren.
Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine robuste
Messanordnung zur absoluten Reflexionsmessung an einer Probe bereit zu stellen, die insbesondere für die Inline-Messung im Produktionsprozess großer beschichteter Flächen, wie zum
Beispiel Glasscheiben, Folien oder anderer bahnförmiger oder großflächiger Materialien geeignet ist.
Die Aufgabe wird mit einer Messanordnung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.
Eine erfindungsgemäße Messanordnung umfasst zur Erfassung eines absoluten Reflexionsspektrums einer Probe zunächst in bekannter Weise eine Lichtquelle zur Erzeugung von Messlicht, einen Homogenisator zur Erzeugung einer gleichmäßigen
räumlichen Beleuchtungsstärkeverteilung des Messlichtes, einen beweglichen Reflektor und einen Empfänger. Der Reflektor leitet das von der Lichtquelle ausgesendete Messlicht und/oder das von der Probe reflektierte Licht zu dem Empfänger. Der Empfänger kann in bekannter Weise mit einem Spektrometer verbunden werden oder auch direkt den Eingang eines Spektrometers bilden. Im Sinne einer absoluten
Reflexionsmessung ist der Reflektor sowohl für eine
Referenzmessung, als auch für eine Probenmessung in einem Beobachtungsstrahlengang positioniert.
Erfindungsgemäß ist der Reflektor sowohl in der Messposition als auch in der Referenzposition auf der selben Seite der Probe angeordnet, wie die Lichtquelle, um das Messlicht dem Empfänger zuzuführen.
Die Messung der absoluten Reflexion ist dadurch
charakterisiert, dass sie ohne Zuhilfenahme einer bekannten Probe erfolgt.
Zur Auswertung der absoluten Reflexion kann entweder die Lichtquelle bzw. das Messlicht spektral durchstimmbar sein (Monochromator) oder/und der Empfänger das Licht spektral analysieren ( Spektrometer) .
Weiterhin ist es möglich, die Polarisationseigenschaften des Messlichts vor und/oder nach der Probe mittels
Polarisator/Analysator zu verändern. Vorzugsweise ist der Homogenisator ein an seiner Innenfläche diffus reflektierender Hohlkörper (z. Bsp. Ulbrichtkugel oder Ulbrichtröhre oder frei gestalteter Kugel-Zylinder-Aufbau) , der auch die Lichtquelle umfasst, mit einer
Lichtaustrittsöffnung, durch die das Messlicht auf die Probe gelangt. In dem diffus reflektierenden Hohlkörper wird an jedem Punkt dieselbe Strahlungsintensität in jede Richtung erzeugt, so dass je nach Einrichtung des
Beobachtungsstrahlenganges in einem bestimmen Bereich nahezu beliebige Beleuchtungs- und/oder Beobachtungswinkel realisierbar sind.
Der Reflektor ist im einfachsten Fall ein Planspiegel, kann aber in abgewandelten Ausführungsformen für spezielle
Anwendungen auch ein abbildender Spiegel sein.
Selbstverständlich können auch mehrere Reflektoren verwendet werden . Der Empfänger ist vorzugsweise als Lichtleiterbündel mit einer Eingangsoptik ausgeführt, kann aber in abgewandelten
Ausführungsformen auch ein Einzel-Lichtleiter mit oder ohne Eingangsoptik, eine Eintrittsöffnung einer Freistrahloptik oder eine Eintrittsöffnung eines Spektrometers sein. Der
Empfänger oder ein ihm nachgeordnetes Element wandelt das von der Probe bzw. dem Reflektor kommende Messlichts in ein elektrisches Signal um, das in bekannter Weise weiter
verarbeitet wird. Alle transmittierenden oder reflektierenden Teile des
Messaufbaus werden sowohl bei Referenzmessung als auch bei Probenmessung vom Licht passiert und Einfalls- und
Ausfallswinkel verändern dabei nicht ihren Betrag. Die Vorteile der Erfindung sind insbesondere darin zu sehen, dass für großflächige Proben (z. Bsp. bei der Beschichtung von großflächigen Industriegläsern oder Folien) eine gegenüber einer Lageänderung der Probe unempfindliche, sehr preiswerte und robuste Messanordnung realisiert werden kann. Kein Teil des Messaufbaus muss in oder durch die Probenebene bewegt werden und die Probe muss für Referenzmessungen nicht aus der Probenebene entfernt werden. In bevorzugten Ausführungsformen sind Komponenten der Messanordnung in einer Traversenanordnung platzierbar und dort positionierbar. Bei der Absolutmessung wird zunächst zur Referenzierung das von der Lichtquelle ausgesandte Messlicht über einen Reflektor zu einem Empfänger gelenkt und die Intensität des empfangenen Messlichtes ermittelt. Wird dann eine Probe in den
Strahlengang eingebracht und erneut die
(wellenlängenabhängige) Intensität des Messlichts ermittelt, lässt sich aus dem Verhältnis der beiden
(wellenlängenabhängigen) Messsignale die spektrale
Charakteristik der gemessenen Probe ermitteln.. Das Prinzip der Absolutmessung ist dem Fachmann bekannt, daher wird hier auf eine ausführliche Erläuterung verzichtet.
Vorteilhafterweise kann die Messanordnung für die Erfassung der Reflexionsspektren unter verschiedenen Beobachtungswinkeln verwendet werden.
Der Reflektor ist vorzugsweise in einer erstem Messposition und einer ersten Referenzposition positionierbar. Dabei sind in beiden ersten Positionen ein Beleuchtungswinkel und ein Beobachtungswinkel gleichgroß eingestellt.
Vorteilhafterweise ist der Reflektor zusätzlich in einer zweiten und ggf. weiteren Mess- und Referenzpositionen
positionierbar, so dass verschiedene Beleuchtungs- und
Beobachtungswinkel einstellbar sind. Damit lassen sich
gewollte oder ungewollte Unterschiede bei verschiedenen
Betrachtungswinkeln erkennen. Eine erste Variante der besonders bevorzugte Ausführungsform mit einem sehr einfachen und robusten Aufbau ist zur
Vermessung spekularen Proben geeignet. Dabei sind der
Reflektor und der Empfänger in einer Empfangsebene angeordnet, die sich im Wesentlichen zwischen der Lichtquelle und der Probe parallel zu einer Probenebene erstreckt.
Vorteilhafterweise muss der Reflektor hierbei nicht (wie sonst bei einer VW-Messanordnung) aus einer unterhalb der Probe liegenden Ebene in eine oberhalb der Probe liegenden Ebene geklappt werden, sondern kann innerhalb der Empfangsebene positioniert werden. Dadurch wird der Aufbau kompakt und der Stellmechanismus für den Reflektor einfach und kostengünstig herstellbar . Mit einer einfachen Schwenkmechanik für den Reflektor kann dieser von der ersten Referenzposition in die erste
Messposition für einen bestimmten Beleuchtungswinkel
positioniert werden. Sollen die Beleuchtungs- und/oder Beobachtungswinkel variiert werden, ist dies beispielsweise mit einem Antrieb in einer Linearführung und einem Dreh- und/oder Kippmechanismus für den Reflektor realisierbar. Die Linearführung ist dabei
vorzugsweise im Wesentlichen parallel zur Probenebene
ausgerichtet. Die verschiedenen Winkel der
Beobachtungsstrahlengänge lassen sich allein durch die Lage und Neigung des Reflektors einstellen.
Eine zweite Variante der besonders bevorzugte Ausführungsform ist zur Vermessung von diffus und spekular reflektierenden
Proben geeignet. In dieser Variante sind der Reflektor und der Empfänger innerhalb des Hohlkörpers angeordnet. Die
Lichtaustrittsöffnung dient hierbei auch als Messfenster, durch das das reflektierte Messlicht über den Reflektor zum Empfänger gelenkt wird. Je nach Neigung des Reflektors wird ein Beleuchtungs- und Betrachtungswinkel eingestellt.
Die Lichtaustrittsöffnung ist vorzugsweise als Langloch ausgeführt und erlaubt dadurch die Positionierung eines kreisrunden Messflecks über einen Bereich verschiedener
Messwinkel. Weitere Aspekte bei der vorteilhaften Gestaltung der Lichtaustrittsöffnung sind in DE 10 2013 219 830
beschrieben und in dieser Anmeldung vollumfänglich
eingeschlossen .
Die weitere Verarbeitung der Reflexionsdaten erfolgt in bekannter Weise mittels eines Spektrometers , an das das im Empfänger ankommende Messlicht übermittelt wird.
In vorteilhafter Weise können mittels eines Zusatzmoduls, welches unterhalb der Probenebene anzuordnen ist, auch
Transmissions- und Rückflächenreflexionseigenschaften der Probe ermittelt werden.
Einige bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung sind
nachfolgend anhand der Figuren näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1: eine erste bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zur Vermessung spekularer Proben in einer
Prinzipdarstellung mit einer Einstellung eines ersten Beleuchtungswinkels ;
Fig. 2: die in Fig. 1 gezeigte Ausführungsform mit der
Einstellung eines zweiten Beleuchtungswinkels;
Fig. 3: eine zweite bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zur Vermessung spekularer Proben mit einem festen Beleuchtungswinkel ; Fig. 4: eine dritte bevorzugte Ausführungsform zu Vermessung spekularer Proben in Modulbauweise;
Fig. 5: eine vierte bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zur Vermessung diffuser und spekularer Proben in einer Prinzipdarstellung;
Fig. 6: eine fünfte bevorzugte Ausführungsform der Erfindung mit zwei rotierbaren Reflektoren;
Fig. 7: mögliche Messvarianten mit der in Fig. 6
dargestellten Ausführungsform.
Fig. 1 und 2 zeigen Prinzipskizzen einer ersten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung mit einer Einstellung
verschiedener Beleuchtungswinkel a. In Fig. 1 ist dabei ein Beleuchtungswinkel α,ι von 8° eingestellt, während Fig. 2 einen eingestellten Beleuchtungswinkel 0L2 von 45° zeigt. Dabei zeigen Abbildung a) Einstellungen für eine Referenzmessung und
Abbildung b) Einstellungen für eine Probenmessung. In
sequentiellen Messungen sind mit dieser Anordnung
Beleuchtungswinkel von 0° bis 65° einstellbar und messbar.
Eine Ulbrichtkugel Ol mit einer diffus reflektierenden
Innenfläche 02 umfasst eine nicht dargestellte Lichtquelle und eine Lichtaustrittsöffnung 03. Der Vorteil der Verwendung der Ulbrichtkugel 01 besteht darin, dass am jedem Punkt der
Innenfläche 02 in jede Richtung dieselbe Lichtintensität reflektiert wird und somit jede Beleuchtungsrichtung auf einfache Weise erzeugt werden kann, sofern die
Lichtaustrittsöffnung 03 entsprechend dimensioniert ist. Eine Probe 04 ist in einem Abstand zur Ulbrichtkugel 01 in einer Probenebene 05 angeordnet. Die Probe 04 ist dabei eine großflächige Probe wie beispielsweise Industrieglas oder Folie oder Ähnliches. Ein Reflektor 0 6 und ein Empfänger 07 sind in einer im Wesentlichen parallel zur Probenebene 05 verlaufenden Ebene 08 angeordnet. Der Reflektor 0 6 ist in seiner Neigung verstellbar und in der Ebene 08 verlagerbar angeordnet.
Ausgehend vom Empfänger 07 ist ein Beobachtungsstrahlengang 0 9 dargestellt, welcher von der Ulbrichtkugel 01 aus gesehen auch einen Beleuchtungsstrahlengang darstellt.
In den Abbildungen a) ist der Reflektor 0 6 jeweils für eine Referenzmessung hinsichtlich seiner Lage und Neigung so eingestellt, dass ein bestimmter Einfallswinkel des
Beleuchtungsstrahlenganges 0 9 reflektiert und zum Empfänger 07 gelenkt wird.
In den Abbildungen b) ist der Reflektor 0 6 jeweils so in der Ebene 08 verschoben und in seiner Neigung verändert, dass ein Abb. a) entsprechender Beleuchtungswinkel oti , 0L2 auch auf der Probe 04 eingestellt ist.
Fig. 3 zeigt eine zweite bevorzugte Ausführungsform der
Erfindung, bei der in einfacher Weise ein fester
Beleuchtungswinkel bzw. Beobachtungswinkel eingestellt ist. Diese Ausführungsform ist besonders für die Integration in eine feste Produktionsumgebung geeignet, wenn nur die Messung unter einem bestimmten Winkel erforderlich ist. Eine
Messanordnung 11 umfasst in dieser Ausführungsform eine
Beleuchtungseinheit 12 mit einer Ulbrichtkugel 13 . Die
Ulbrichtkugel 13 weist eine Lichtaustrittsöffnung 14 auf. Die Messanordnung 11 umfasst weiterhin einen Reflektor 1 6 , der an einem Schwenkarm 17 angeordnet ist. Der Schwenkarm 17 ist mittels eines nicht darstellten Rotationsantriebes aus einer Messstellung 18 in eine Referenzstellung 19 (gestrichelt dargestellt) schwenkbar. Eine Probe 21 wird beabstandet zur Messanordnung 11 an dieser vorbeigeführt oder vor dieser positioniert, so dass aus der Lichtaustrittsöffnung 14 unter einem Beleuchtungswinkel von a,3=55° austretendes Messlicht auf die Probe 21 als Messfleck auftrifft, von dieser über den in der Messstellung 18 befindlichen Reflektor 16 zur einem
Empfänger 22 geleitet wird. Dabei werden vorteilhafterweise mit einer Schwenkbewegung des Schwenkarms 17 gleichzeitig Neigung und Abstand des Reflektors 18 zum Empfänger 22
eingestellt. Ein Schwenkwinkel ß des Schwenkarms 17 wird so eingestellt, dass sowohl in der Messstellung 18 als auch in er Referenzstellung 19 derselbe Beleuchtungswinkel 0,3 gegenüber einer Probenebene hergestellt ist. Der Empfänger ist in dieser Ausführungsform mit Hilfe eines Lichtwellenleiters 23 einem Spektrometer zur Auswertung zugeführt.
Die Figur 4 zeigt eine besonders für Traversenanwendungen geeignete dritte Ausführungsform der Erfindung in
Modulbauweise. Diese Form ist besonders geeignet für die
Anwendung zur direkten Überwachung der Materialeigenschaften in einem Produktionsprozess bahnförmiger Materialen oder
Materialien, die entlang einer Strecke im Prozess (z. B.
mittels eines Förderbandes) transportiert werden. Dies könnten beispielsweise Folienbeschichtungsanlagen sein,
Produktionsschienen großer Glasscheiben oder Ähnliches, sein. Dabei zeigt Abbildung a) eine Messstellung und Abbildung b) eine Referenzstellung. Diese Ausführungsform erlaubt
vorteilhafterweise eine automatisierte Vermessung/Scannen eines Probenortes unter frei wählbaren Betrachtungswinkeln (0 bis 65°) . Es sind hiermit normgerechte und nicht normierte Messanordnungen mit einer Messanordnung realisierbar. Die Messanordnung umfasst ein erstes Modul 31, welches ist in einer ersten Linearführung 32 angeordnet ist und eine
Beleuchtungseinheit 33 mit einer Ulbrichtkugel 34 und ein Empfängermodul 36, das unterhalb des Beleuchtungsmoduls 34 angeordnet ist beinhaltet. Das erste Modul 31 umfasst
weiterhin einen Antrieb 37.
In der ersten Linearführung 32 ist weiterhin ein
Reflektormodul 38 mit einem Reflektor 39 und mit einem eigenen Antrieb 41 zur Linearverstellung des Reflektormoduls 38 in einer Empfangsebene vorgesehen. Dieser Antrieb 41 kann in speziellen Ausführungsformen über ein Getriebe oder ähnlichen Mechanismus gleichzeitig zur Kipp- und/oder Drehverstellung des Reflektors 39 dienen. Die erste Linearführung 32 ist vorteilhafterweise in eine Traversenanordnung integriert und oberhalb einer zu untersuchenden und im Produktionsprozess befindlichen Probe 42 angeordnet. Das erste Modul 31 und das Reflektormodul 38 als Teile der erfindungsgemäßen
Messanordnung sind in einem Abstand a zueinander positioniert und der Reflektor 39 ist in Richtung Probe 42 geklappt, so dass eine Messposition zur Messung einer 45°
Beleuchtung/Beobachtung eingestellt ist (Abbildung a) . Der Beleuchtungs-/Beobachtungsstrahlengang ist punktiert
dargestellt. Durch Variation des Abstandes a und der Lage des Reflektors 39 sind nun sequentiell verschiedene
Beleuchtungswinkel einstellbar. Selbstverständlich kann zur Abstandsänderung auch ein Abstand c des ersten Moduls von einer Nullposition 40 erfolgen. Die Messung der Abstände kann, wie bei solchen Traversensystemen üblich beispielsweise durch absolut codierte Maßstäbe erfolgen.
In Abbildung b ist durch Kippen des Reflektors 39 und
Einstellen eines Abstandes b zwischen erstem Modul 31 und Reflektormodul 38 eine Referenzposition für eine 45°-Messung dargestellt. Die Referenzmessung kann jederzeit erfolgen und in einer Gerätesteuerung zwischengespeichert werden.
Unterhalb der Probe 42 ist in einer zweiten Linearführung 43 ein drittes Zusatzmodul 44 mit eigenem Antrieb 45 vorgesehen, mit dem weiterhin eine Rückseitenreflexionsmessung und
Transmissionsmessung möglich ist. Zu diesem Zweck sind hier drei Reflektoren 46, 47, 48 auf unterschiedlichen Niveaus angeordnet. Bei einer entsprechenden Positionierung des
Zusatzmoduls über einen Abstand d wird eingestellt, ob das von der Probe 43 transmittierte Licht dem Empfänger nicht
zugeführt (Reflektor 46 unterhalb des auftreffenden
Messlichtes) , zugeführt (Reflektor 47 unterhalb des
auftreffenden Messlichtes) oder mitsamt von der Unterseite der Probe 43 rückreflektierten Lichts zugeführt wird. So besteht das Empfängersignal je nach Einstellung des Abstandes d nur aus dem Reflex der Oberseite, dem Reflex der Oberseite plus des zweimal transmittierten Lichts, oder dem Reflex der
Oberseite, des zweimal transmittierten Lichts plus der
Mehrfachreflexion zwischen Unterseite der Probe 43 und dem Spiegel 48.
Das Zusatzmodul 44 kann in alternativen Ausführungsformen auch lediglich einen einzigen Reflektor umfassen der für den entsprechenden Messzweck in der Höhe positionierbar ist. Die Reflexionswerte der Spiegel müssen bekannt sein und werden mit Hilfe der Messanordnung selbst bestimmt. Eine weitere
Ausführungsform der Transmissionsmessung findet sich in Figur 6. Mit einer minimal möglichen Anzahl von Linearführungen und Antrieben sind sequentielle Messungen der Reflexion bis 75° Beleuchtungswinkel möglich. Zusätzlich sind
Rückseitenreflexions- und Transmissionsmessungen in bekannter Weise durchführbar. Fig. 5 zeigt eine vierte bevorzugte Ausführungsform der
Erfindung in einer Prinzipskizze. Bei dieser Ausführungsform sind innerhalb einer Ulbrichtkugel 51 ein Reflektor 52 und ein Empfänger 53 angeordnet. Die Beleuchtung einer Probe 54 erfolgt durch eine Lichtaustrittsöffnung 56 hindurch. Um einen großen Winkelbereich von Beleuchtungsrichtungen abzudecken, weist die Lichtaustrittsöffnung 56 eine optimierte Form auf. die Lichtaustrittsöffnung 56 weist eine Blende 57 auf, die neben der Reflektorkippung eine auf den gewünschten
Beleuchtungswinkel abgestimmte Größe des Beleuchtungsfensters 56 freigibt. Der Empfänger 53 ist so weit lateral aus der senkrechten Mittelebene der Kugel herausgekippt, dass der dem Reflektor 52 gegenüberliegende Kugelmeridian vollständig ungestört als Messlichtquelle zur Verfügung steht, z.B. um ca. 20 °. Der Reflektor 52 ist demzufolge um den halben Winkel lateral verkippt. Siehe Abb. (f) in Draufsicht.
Abbildung a) zeigt die Beleuchtung der Probe 54 unter einem Beleuchtungs- und Beobachtungswinkel von 8°, Abbildung c) von 45° und Abb. e) von 60°. Abbildungen b) und d) zeigen die Referenzmessungseinstellungen des Reflektors 52 für 8° bzw. 45° Beleuchtungswinkel. Abb. f) zeigt eine Draufsicht auf die Ulbrichtkugel 51. In dieser Darstellung ist die besonderen Form der
Lichtaustrittsöffnung 56 und die Neigung des Empfängers 53 erkennbar. Da das Ziel auch dieser Anordnung ist, dass das Messlicht sowohl bei der Referenzmessung (direkt) als auch bei der Probenmessung (über die Probe) für alle Messwinkel vom selben Areal der Lichtquelle (Ulbrichtkugel) stammt.
Fig. 6 zeigt eine fünfte bevorzugte Ausführungsform der
Erfindung in Abb. a) in einer Draufsicht und in Abb. b in einer Seitenansicht. Die Messanordnung umfasst zwei abbildende Off-Axis-Spiegel 59, 62, welche um eine optische Achse einer Lichtquelle 63 und eines Empfängers 60 rotierbar sind und dadurch den Strahlengang umlenken. Die optischen Achsen 64, 65 von Empfänger 60 und Lichtquelle 63 sind dabei parallel zu einer Ebene, in der eine Probe 66 angeordnet ist,
ausgerichtet .
Wird der Empfänger 60, welcher beispielsweise ein Freistrahl- spektrometer sein kann, mittels eines Antriebs 58 des
abbildenden Off-Axis-Spiegels 59 in Richtung der Lichtquelle 63 ausgerichtet, und wird die Lichtquelle 63 mittels eines Antriebes 61 des Off-Axis-Spiegels 62 auf den Empfänger 60 ausgerichtet (Strahlengang 67, Abb. b) , kann eine
Referenzmessung ausgeführt werden, welche die Intensität der Lichtquelle 63 in Abhängigkeit der Gerätefunktion bestimmt.
Werden Empfänger 60 und Lichtquelle 63 in geeignetem Winkel auf eine Probe 66 ausgerichtet (Strahlengang 68, Abb. b) , so kann die Intensität der Lichtquelle 63 in Abhängigkeit der
Gerätefunktion und der Reflexion der Probe 66 gemessen werden.
Die Probenreflexion als gesuchte Größe kann nun einfach aus dem Quotient von Probenmessung und Referenzmessung berechnet werden. Die Intensität der Lichtquelle 63 und die Abhängigkeit von der Gerätefunktion kürzen sich im Quotient und entfallen somit als unbekannte Größen. Somit wird das Prinzip einer Absolutmessung realisiert. Der Beobachtungswinkel γ auf die Probe 66 kann über den Abstand von Empfänger 60 zu Lichtquelle 63 oder über den Abstand von Empfänger 60 und Lichtquelle 63 zur Probe 66 variiert werden.
In Fig. 7 sind die Varianten der Reflexions- und
Transmissionsmessung zu der in Fig. 6 gezeigte Ausführungsform gezeigt. Wie in Fig. 4 bereits beschrieben, kann durch Einsatz eines Spiegels 69 auf der Rückseite der Probe 66 und geeignete Variation der Winkelstellung der Spiegel 59 und 62 neben
Reflexion (Fig. 7a) auch die Transmission (Fig. 7b) und die Reflexion der Probe 66 von der Rückseite aus (Fig. 7c) bestimmt werden. Die Referenzmessung (Fig. 7d) kann in
Anwesenheit der Probe 66 erfolgen, was im Produktionsprozess einen erheblichen Vorteil darstellt. Die Reflexionseigenschaften des Spiegels 69 müssen bekannt sein und können regelmäßig z.B. während einer Wartung mittels der
Messanordnung selbst aktualisiert werden.
Bezugs zeichenliste
01 Ulbrichtkugel 38 Reflektormodul
02 Innenfläche 39 Reflektor
03 Lichtaustrittsöffnung 40
04 Probe 41 Antrieb
05 Probenebene 42 Probe
06 Reflektor 43 Linearführung
07 Empfänger 44 Zusatzmodul
08 Ebene 45 Antrieb
09 Beobachtungsstrahlengang 46 Reflektor
10 47 Reflektor
11 Messanordnung 48 Reflektor
12 Beleuchtungseinheit
13 Ulbrichtkugel 51 Ulbrichtkugel
14 Lichtaustrittsöffnung 52 Reflektor
15 53 Empfänger
16 Reflektor 54 Probe
17 Schwenkarm 55
18 Messstellung 56 Lichtaustrittsöffnung
19 Referenzstellung 57 Blende
20 58 Antrieb
21 Probe 59 Off-Axis-Spiegel
22 Empfänger 60 Empfänger
23 Lichtwellenleiter 61 Antrieb
62 Off-Axis-Spiegel
31 Modul, erstes 63 Lichtquelle
32 Linearführung 64 optische Achse
33 Beleuchtungsmodul 65 optische Achse
34 Ulbrichtkugel 66 Probe
35 67 Strahlengang
36 Empfängermodule 68 Strahlengang
37 Antrieb 69 Spiegel

Claims

Patentansprüche
1. Messanordnung zur Erfassung eines absoluten
Reflexionsspektrums einer Probe (04, 21, 42, 54, 66) in einem Produktionsprozess der Probe (04, 21, 42, 54, 66) umfassend:
eine Lichtquelle zur Erzeugung vom Messlicht,
einen Homogenisator zur Erzeugung einer gleichmäßigen räumlichen Beleuchtungsstärkeverteilung des
Messlichtes ;
- einen beweglichen Reflektor (6, 16, 39, 52, 59,62) und einen Empfänger (07, 22, 37, 53) zum Einsammeln des von der Probe (04, 21, 42, 54, 66) und/oder dem Reflektor (6, 16, 39, 52) reflektierten Messlichtes,
dadurch gekennzeichnet, dass
- der Reflektor (6, 16, 39, 52, 59, 62) sowohl für eine
Referenzmessung, als auch für eine Probenmessung in einem Beobachtungsstrahlengang positioniert und auf der selben Seite der Probe (04, 21, 42, 54, 66) wie die Lichtquelle angeordnet ist, um das reflektierte Messlicht dem Empfänger (07, 22, 37, 53) zuzuführen.
2. Messanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass, der Homogenisator ein an seiner Innenfläche (02) diffus reflektierender Hohlkörper ist, der eine
Lichtaustrittsöffnung aufweist (03, 14, 56) und die
Lichtquelle umfasst.
3. Messanordnung nach Anspruch 1 oder 2 , dadurch
gekennzeichnet, dass der Reflektor (6, 16, 39, 52, 59, 62) in einer ersten Messposition und einer ersten
Referenzposition positionierbar ist, wobei jeweils derselbe Beleuchtungswinkel und Beobachtungswinkel eingestellt ist. Messanordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Reflektor (6, 16, 39, 52, 59, 62) an mindestens einer zweiten definierten Messpositionen positionierbar ist, um den Beobachtungsstrahlengang hinsichtlich des Beleuchtungswinkels und des Beobachtungswinkel zu
variieren, wobei zu der zweiten Messposition eine zweite definierte Referenzposition des Reflektors (6, 16, 39, 52, 59, 62) bestimmt ist, in die der Reflektor (6, 16, 39, 52, 59, 62) positionierbar ist.
Messanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Reflektor (6, 16, 39) und der Empfänger (07, 22, 37) in einer Empfangsebene (08) angeordnet sind, die sich im Wesentlichen zwischen der Lichtquelle und der Probe (04, 21, 42, 54, 66) parallel zu einer Probenebene erstreckt.
Messanordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass sich die erste Messposition und die erste
Referenzposition in der Empfangsebene (08) befinden.
Messanordnung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch
gekennzeichnet dass der Reflektor (16) mittels eines Schwenkantriebes von der ersten Messposition in die erste Referenzposition bewegbar ist.
Messanordnung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch
gekennzeichnet, dass der Reflektor (39) in einer
Linearführung (32) angeordnet ist und mittels eines
Linearantriebes und eines Dreh- oder Kippmechanismus innerhalb der Empfangsebene (08) in verschiedene
Messpositionen und Referenzpositionen positionierbar ist.
Messanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Reflektor (52) und der Empfänger (53) innerhalb des Hohlkörpers angeordnet sind.
10. Messanordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Reflektor mittels eines Dreh- oder
Kippmechanismus positionierbar ist.
11. Messkopf nach einem der Ansprüche 2 bis 10, dadurch
gekennzeichnet, dass die Form der Lichtaustrittsöffnung ein Langloch ist.
PCT/EP2015/063898 2014-08-01 2015-06-22 Messanordnung zur reflexionsmessung WO2016015921A1 (de)

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