WO2015110250A3 - Verfahren zum abbilden eines objektes und optikvorrichtung - Google Patents
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Abstract
Beschrieben sind ein Verfahren und eine Optikvorrichtung zum Abbilden eines innerhalb eines dreidimensionalen Probenbereichs (101) befindlichen Objektes (103), umfassend die folgenden Schritte: a) Ermitteln, zumindest an einem lateralen Punkt (119), eines Tiefenprofils (1375) des Probenbereichs (101) mittels optischer Kurzkohärenz-Interferometrie; b) Erkennen eines Peaks (1353) in dem Tiefenprofil, der von einer Reflexion an einem Objektpunkt (120) herrührt; c) Bestimmen einer optische-Weglänge-Position (1354) des Peaks (1353), welche die optische Weglänge des Objektpunktes (120) von einem Referenzpunkt (136) repräsentiert; d) Berechnen, basierend auf der optische-Weglänge-Position (1354) und zumindest einer vorbekannten optischen Eigenschaft (n) des Probenbereichs (101), einer geometrische-Weglänge-Position des Objektpunktes, welche eine geometrische Weglänge (gWI) des Objektpunktes (120) von dem Referenzpunkt (136) repräsentiert; e) Fokussieren eines Mikroskops (111) auf den Objektpunkt (120) basierend auf der geometrische-Weglänge-Position (gWI) zum Abbilden des Objektes (103).
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