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WO2015110250A3 - Verfahren zum abbilden eines objektes und optikvorrichtung - Google Patents

Verfahren zum abbilden eines objektes und optikvorrichtung Download PDF

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WO2015110250A3
WO2015110250A3 PCT/EP2015/000034 EP2015000034W WO2015110250A3 WO 2015110250 A3 WO2015110250 A3 WO 2015110250A3 EP 2015000034 W EP2015000034 W EP 2015000034W WO 2015110250 A3 WO2015110250 A3 WO 2015110250A3
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WO
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optical
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image
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PCT/EP2015/000034
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Markus Morrin
Hendrik Spahr
Gereon Hüttmann
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Euroimmun Medizinische Labordiagnostika Ag
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Publication date
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Publication of WO2015110250A3 publication Critical patent/WO2015110250A3/de

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Abstract

Beschrieben sind ein Verfahren und eine Optikvorrichtung zum Abbilden eines innerhalb eines dreidimensionalen Probenbereichs (101) befindlichen Objektes (103), umfassend die folgenden Schritte: a) Ermitteln, zumindest an einem lateralen Punkt (119), eines Tiefenprofils (1375) des Probenbereichs (101) mittels optischer Kurzkohärenz-Interferometrie; b) Erkennen eines Peaks (1353) in dem Tiefenprofil, der von einer Reflexion an einem Objektpunkt (120) herrührt; c) Bestimmen einer optische-Weglänge-Position (1354) des Peaks (1353), welche die optische Weglänge des Objektpunktes (120) von einem Referenzpunkt (136) repräsentiert; d) Berechnen, basierend auf der optische-Weglänge-Position (1354) und zumindest einer vorbekannten optischen Eigenschaft (n) des Probenbereichs (101), einer geometrische-Weglänge-Position des Objektpunktes, welche eine geometrische Weglänge (gWI) des Objektpunktes (120) von dem Referenzpunkt (136) repräsentiert; e) Fokussieren eines Mikroskops (111) auf den Objektpunkt (120) basierend auf der geometrische-Weglänge-Position (gWI) zum Abbilden des Objektes (103).
PCT/EP2015/000034 2014-01-23 2015-01-12 Verfahren zum abbilden eines objektes und optikvorrichtung WO2015110250A2 (de)

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EP14000231.2 2014-01-23
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DE102014002584.5A DE102014002584A1 (de) 2014-01-23 2014-02-26 Verfahren zum Abbilden eines Obiektes und Optikvorrichtung

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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102014217328A1 (de) * 2014-08-29 2016-03-03 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren und eine Vorrichtung zur Bildgebung in der Mikroskopie
DE102015117824B4 (de) * 2015-10-20 2017-06-29 Carl Zeiss Meditec Ag Vorrichtung und Verfahren zum Einstellen eines Fokusabstands in einem optischen Beobachtungsgerät
DE102017105928B4 (de) 2017-03-20 2024-08-14 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Mikroskop und Verfahren zum Abbilden eines Objektes
EP3396430B1 (de) * 2017-04-27 2023-08-16 Euroimmun Medizinische Labordiagnostika AG Optische abtastanordnung und verfahren
EP3418789A1 (de) 2017-06-20 2018-12-26 Euroimmun Medizinische Labordiagnostika AG Verfahren und mikroskopiesystem zum aufnehmen eines bildes
DE102017223014A1 (de) 2017-12-18 2019-06-19 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verfahren zur Bestimmung der Dicke einer Probenhalterung im Strahlengang eines Mikroskops
US20210333396A1 (en) * 2020-04-23 2021-10-28 Duke University 3d sensing depth camera

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102589463B (zh) * 2012-01-10 2014-01-15 合肥工业大学 二维和三维一体化成像测量系统

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10009217A1 (de) * 1999-03-16 2000-09-21 Zeiss Carl Fa Verfahren zur optischen Bestimmung charakteristischer Größen von optischen Komponenten und Vorrichtungen hierfür
GB2355310A (en) * 1999-09-28 2001-04-18 Ocular Sciences Ltd White light interferometer
DE10319182B4 (de) * 2003-04-29 2008-06-12 Carl Zeiss Jena Gmbh Verfahren und Anordnung zur Bestimmung der Fokusposition bei der Abbildung einer Probe
US7342641B2 (en) * 2005-02-22 2008-03-11 Nikon Corporation Autofocus methods and devices for lithography
DE102006027836B4 (de) 2006-06-16 2020-02-20 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Mikroskop mit Autofokuseinrichtung
DE102008041284B4 (de) 2008-05-07 2010-05-27 Carl Zeiss Surgical Gmbh Ophthalmo-Operationsmikroskopsystem mit OCT-Messeinrichtung
DE102008029479A1 (de) * 2008-06-20 2009-12-24 Carl Zeiss Meditec Ag Kurzkohärenz-Interferometerie zur Abstandsmessung
EP2191893B1 (de) 2008-11-19 2019-03-06 Euroimmun Medizinische Labordiagnostika AG Analyseverfahren und Vorrichtungen für biologische Reaktionen zwischen einer flüssigen und einer festen Phase
DE102010033249A1 (de) 2010-08-03 2012-02-09 Carl Zeiss Microlmaging Gmbh Autofokussystem
DE102010035104A1 (de) 2010-08-23 2012-04-05 Euroimmun Medizinische Labordiagnostika Ag Vorrichtung und Verfahren zur automatischen Fokussierung für die Mikroskopie schwach leuchtender Substrate
DE102011003807A1 (de) * 2011-02-08 2012-08-09 Leica Microsystems Cms Gmbh Mikroskop mit Autofokuseinrichtung und Verfahren zur Autofokussierung bei Mikroskopen
DE102013202349B3 (de) * 2013-02-13 2013-12-19 Polytec Gmbh Kohärenzrasterinterferometer und Verfahren zur ortsaufgelösten optischen Vermessung der Höhengeometriedaten eines Objekts
DE102014001481A1 (de) 2013-10-28 2015-04-30 Euroimmun Medizinische Labordiagnostika Ag Verbesserte Vorrichtung und Verfahren für Reaktionen zwischen einer festen und einer flüssigen Phase

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102589463B (zh) * 2012-01-10 2014-01-15 合肥工业大学 二维和三维一体化成像测量系统

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
AARON D AGUIRRE ET AL: "High speed optical coherence microscopy with autofocus adjustment and a miniaturized endoscopic imaging probe References and links", OPTICS EXPRESS, vol. 18, no. 5, 17 February 2010 (2010-02-17), pages 1178 - 1181, XP055150171, Retrieved from the Internet <URL:http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC2908909/pdf/oe-18-5-4222.pdf> [retrieved on 20141031] *
QI B ET AL: "Dynamic focus control in high-speed optical coherence tomography based on a microelectromechanical mirror", OPTICS COMMUNICATIONS, NORTH-HOLLAND PUBLISHING CO. AMSTERDAM, NL, vol. 232, no. 1-6, 1 March 2004 (2004-03-01), pages 123 - 128, XP004489607, ISSN: 0030-4018, DOI: 10.1016/J.OPTCOM.2004.01.015 *

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