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WO2013017669A1 - Kompressorvorrichtung sowie eine damit ausgerüstete kühlvorrichtung und eine damit ausgerüstete kältemaschine - Google Patents

Kompressorvorrichtung sowie eine damit ausgerüstete kühlvorrichtung und eine damit ausgerüstete kältemaschine Download PDF

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Publication number
WO2013017669A1
WO2013017669A1 PCT/EP2012/065183 EP2012065183W WO2013017669A1 WO 2013017669 A1 WO2013017669 A1 WO 2013017669A1 EP 2012065183 W EP2012065183 W EP 2012065183W WO 2013017669 A1 WO2013017669 A1 WO 2013017669A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
compressor
compressor device
gas
working medium
gas volume
Prior art date
Application number
PCT/EP2012/065183
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Jens HÖHNE
Original Assignee
Pressure Wave Systems Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE102011080377.7A external-priority patent/DE102011080377B4/de
Priority claimed from DE201220100995 external-priority patent/DE202012100995U1/de
Application filed by Pressure Wave Systems Gmbh filed Critical Pressure Wave Systems Gmbh
Priority to EP12745677.0A priority Critical patent/EP2710263B1/de
Priority to JP2014523333A priority patent/JP6209160B2/ja
Publication of WO2013017669A1 publication Critical patent/WO2013017669A1/de
Priority to US14/168,140 priority patent/US10578099B2/en

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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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    • F04B45/00Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
    • F04B45/04Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B45/053Pumps having fluid drive
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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    • F04B41/06Combinations of two or more pumps
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    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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    • F04B35/00Piston pumps specially adapted for elastic fluids and characterised by the driving means to their working members, or by combination with, or adaptation to, specific driving engines or motors, not otherwise provided for
    • F04B35/01Piston pumps specially adapted for elastic fluids and characterised by the driving means to their working members, or by combination with, or adaptation to, specific driving engines or motors, not otherwise provided for the means being mechanical

Definitions

  • Compressor device and a cooling device equipped therewith and a refrigerating machine equipped therewith Compressor device and a cooling device equipped therewith and a refrigerating machine equipped therewith
  • the invention relates to a compressor device and a cooling device equipped therewith and a refrigeration machine equipped therewith.
  • pulse tube coolers or Gifford-McMahon coolers are used for cooling of magnetic resonance tomographs, cryopumps, etc.
  • Gas and in particular helium compressors are used in combination with rotary valves or rotary valves as shown in FIG. 11.
  • a helium compressor 130 is connected to a rotary valve 136 via a high pressure line 132 and a low pressure line 134.
  • the rotary valve 136 is connected via a gas line 138 to a cooling device 110 in the form of a Gifford-McMahon cooler or a pulse tube cooler.
  • the rotary valve 136 alternately the high and low pressure side of the gas compressor 130 is connected to the pulse tube cooler or the Gifford-McMahon cooler.
  • the rate at which compressed helium is introduced and re-exported to the cooling device 138 is in the range of 1 Hz.
  • a disadvantage of such cooling or compressor systems is that the rotary motorized valve 136 causes losses of approximately 50% of the input power of the compressor.
  • acoustic compressors or high-frequency compressors in which one or more pistons are caused by a magnetic field in linear resonant vibrations. These resonance frequencies are in the range of a few 10 Hz and are therefore not suitable for use with pulse tube coolers and Gifford McMahon coolers to produce very low temperatures in the range of less than 10 K suitable.
  • the compressor device is preferably divided by the compressor element into a first and a second gas volume.
  • the working medium expansion tank is connected via an open in the direction of the first gas volume check valve with the first gas volume - claim 3 - and directly via a gas line to the second gas volume - claim 4 -.
  • a fluid expansion tank are provided, which is connected via a fluid line directly to the second gas volume.
  • the balancing fluid in the fluid reservoir is not the working fluid but another gas or fluid.
  • an oil, in particular hydraulic oil can be used.
  • the manner of compression both in terms of time and in terms of the compressor pressure to the respective working medium be adjusted.
  • the compressor device according to the invention can be adapted to different working media, so that can be compressed with the compressor device a wide variety of gases.
  • the drive means may be mechanically or magnetically coupled to a plurality of compressor means. This leads to a reduction in costs, since only one drive device is necessary.
  • the compressed gas may be in the required frequency range for Gifford-McMahon coolers and pulse tube coolers are provided.
  • the use of high loss rotary valves is therefore unnecessary.
  • a particularly suitable electrohydrostatic drive device comprises a hydraulic cylinder in which a hydraulic piston is arranged linearly movable.
  • the hydraulic cylinder is acted upon by hydraulic fluid, which is supplied or removed via an electrically driven hydraulic pump.
  • the hydraulic piston of the hydraulic cylinder is mechanically, for. B. via a rigid rod, or magnetically coupled to the compressor element of the compressor device.
  • a compressor element both a membrane - claim 21 - or a piston - claims 15 and 16 - are used.
  • a linearly movable piston or a linear piston compressor is used due to the simple construction - claim 16.
  • the advantage of a membrane as a compressor element is that no piston running surface must be sealed.
  • the membrane is made of metal, as a result, the helium tightness can be ensured - claim 22.
  • the direction of movement of the hydraulic cylinder is controlled by the direction of rotation of the electric motor - claim 19.
  • An electrohydrostatic drive device suitable for the present invention is known, for example, from DE 10 2008 025 045 B4.
  • any desired movement, pressure and gas frequency change pattern can be transmitted to the compressor device via the hydraulic cylinder.
  • the gas exchange frequency can be adjusted independently of any resonance frequencies. In this way, the performance of a cooler to be operated with such a compressor device can be optimized and vibrations minimized. Claims 6 and 7.
  • the compression of the working fluid in the compressor device can be made according to any pattern, both in terms of time and the amount of pressure - claim. 7
  • the compressor device can be designed both as a conveying compressor device - claim 14, if it is used, for example, to drive a conventional chiller, or only compress a certain volume of gas and relax repeatedly. The latter is necessary, for example, when operating the aforementioned Gifford McMahon coolers and pulse tube coolers.
  • the advantageous embodiment of the invention according to claim 20 provides a cost-effective compressor device, since the coupling rod between the drive device and compressor device itself is designed as a compressor or displacer; a specially designed compressor element, which is connected to the coupling rod, is therefore unnecessary.
  • the compressor cylinder is designed so that its cross-section is only slightly larger than the cross section of the coupling rod.
  • the distance between the coupling rod and the inside of the compressor cylinder is as small as possible, but no seal between the coupling rod and the inside of the compression cylinder must be made.
  • the sealing and the inclusion of the working medium takes place through the O-ring or the implementation of the coupling rod in the compressor cylinder.
  • FIG. 1 is a schematic representation of the invention in a first embodiment in combination with a cooling device
  • FIG. 2 shows a second embodiment of the invention in combination with a conventional refrigerating machine
  • FIG. 3 shows a third embodiment of the compressor device according to the invention
  • FIG. 4 shows a fourth embodiment of the compressor device according to the invention
  • 5 shows a fifth embodiment of the compressor device
  • FIG. 6 shows a sixth embodiment of the compressor device
  • Fig. 1 1 is a schematic representation of a helium compressor device with rotary valve and a cooling device according to the prior art.
  • the compressor device 1 shows a first embodiment of the present invention with a compressor device 2 which is coupled to a cooling device 4.
  • the compressor device 2 in turn comprises a compressor device 6, which is driven by an electro-hydrostatic drive device 8.
  • the compressor device 6 comprises a gas-tight compressor cylinder 10 in which a compressor element 12 in the form of a piston is arranged to be linearly movable.
  • the piston 12 divides the compressor cylinder into a first and a second gas volume 14, 16.
  • a coupling rod 18 having first and second ends 20, 22 is connected to the piston 12 through its first end.
  • the coupling rod 18 is led out through a sealed passage 24 from the second gas volume 16 of the compressor cylinder 10, so that the second end 22 of the coupling rod 18 is outside of the second gas volume 16.
  • a working medium expansion tank 25 is connected via a first gas line 26 directly to the second gas volume 16 and via a second gas line 27 with a check valve 28 with connected to the first gas volume 14.
  • the check valve 28 is open in the direction of the first gas volume 14.
  • the drive of the compressor device 6 takes place through the electro-hydrostatic drive device 8.
  • the electro-hydrostatic drive device 8 comprises an electric motor 30 which drives a hydraulic pump 32.
  • the hydraulic pump 32 pumps hydraulic fluid via a first hydraulic line 34 into a hydraulic cylinder 36 in which a hydraulic piston 38 is arranged to be linearly movable.
  • the hydraulic piston 38 divides the hydraulic cylinder 36 into a first and a second partial volume 40, 42.
  • the first hydraulic line 34 opens into the first partial volume 40 and from the second partial volume 42 branches off a second hydraulic line 44, which leads back into the hydraulic pump 32.
  • the hydraulic piston 38 is reciprocated in the hydraulic cylinder 36.
  • the hydraulic piston 38 is connected to the second end 22 of the coupling rod 18, which projects into the second partial volume 42 via a liquid-tight passage 46.
  • the movement of the hydraulic piston 38 is transmitted to the piston 12, so that the gaseous working fluid in the first gas volume 14 of the compressor cylinder 10 is periodically compressed by the movement of the hydraulic piston 38 and the coupled thereto movement of the compressor piston 12.
  • This also allows the working pressure range of the compressor device 6 to be stabilized. The volume reduction of the working medium by cooling in the thus operated cooling device 4 can thus be compensated.
  • the first gas volume 14 of the compressor device 6 is connected to the cooling device 4 via a gas line 48.
  • the cooling device 4 is in this case a cooling device which uses periodically compressed gas for its operation.
  • the cooling device is for a Gifford-McMahon cooler or a pulse tube refrigerator.
  • FIG. 1 shows a second embodiment of the invention in which the compressor device 2 is designed as a working medium conveying compressor device and thus drives a thermodynamic cycle 50 of a heat pump or chiller.
  • the first gas volume 14 in the compressor cylinder 10 is connected via the gas line 48 to a condenser 52.
  • the gaseous working medium is condensed with the release of heat.
  • the liquid working medium is fed via a throttle 54 to an evaporator 56.
  • the liquid working medium is vaporized in the evaporator 56 while absorbing heat, and the gaseous working medium is returned to the first gas volume 14 in the compressor cylinder 10 via a gas line 58.
  • the gas exchange into and out of the first gas volume is controlled via a valve control device 60.
  • Fig. 3 shows a third embodiment of the invention with a compressor device 70, which differs from the compressor device 2 according to the first embodiment only in that the hydraulic cylinder 36 and the coupling rod 18 between the hydraulic piston 38 and the compressor element 12 in a common gas-tight envelope 72 are arranged.
  • the passage 24 of the coupling rod 18 from the second gas volume 16 and the passage 46 in the first part volume 40 of the hydraulic cylinder 36 within the gas-tight envelope 72 is arranged. In this way it is prevented that gaseous working medium can escape from the first gas volume 14 via the second gas volume 16 and the passage 24. This is particularly important when helium is used as the working medium since helium is very expensive.
  • the gas-tight envelope 72 also defines the working medium surge tank 25.
  • Fig. 4 shows a fourth embodiment of the invention - Compressor device 75 - which also reduces the problem of helium leakage.
  • the embodiment according to FIG. 4 differs from the embodiment according to FIG. 3 in that the gas-tight envelope 72 extends to the area between the drive device 8 and the compressor device. 6 is restricted.
  • the coupling rod 18, the liquid-tight passage 46 and the gas-tight passage 24 are disposed within the gas-tight envelope 72. Since the gas volume enclosed by the gas-tight envelope 72 is comparatively small, a separate working medium expansion tank 25 is provided in the embodiment according to FIG. 4.
  • Fig. 5 shows a fifth embodiment of the invention, which also reduces the problem of helium leakage.
  • 5 shows a compressor device 80 in which the hydraulic cylinder 36 is connected directly to the compressor cylinder 10 of the compressor device 6.
  • the junction of hydraulic cylinder 36 and compressor cylinder 10 is designed gas-tight with an O-ring 82. In this way, the rigid mechanical connection between hydraulic piston 38 and compressor element 12 - coupling rod 18 - also enclosed within a gas-tight envelope.
  • Fig. 6 shows a sixth embodiment of the invention.
  • the hydraulic cylinder 36 is connected directly to the compressor cylinder 10 and the junction of the hydraulic cylinder 36 and the compressor cylinder 10 is designed gas-tight with an O-ring 82.
  • the end of the coupling rod 18 projecting into the compressor cylinder 10 is designed as a compressor element; a separate compressor element is therefore unnecessary.
  • the compressor cylinder 10 defines only a first gas volume 14, which is periodically reduced and enlarged again.
  • the working medium expansion tank 25 is connected via the gas line 27 with check valve 28 with this gas volume 14.
  • the cross section or the inner diameter of the compressor cylinder 10 is only slightly larger than the cross section or outer diameter of the coupling rod 18.
  • the distance between the coupling rod 18 and inside of the compressor cylinder 10 is as small as possible, but no seal between the coupling rod 18 and the inside of the compression cylinder 10 done.
  • the sealing and the inclusion of the working medium takes place through the O-ring 82 in the implementation of the coupling rod 18 in the compressor cylinder 10.
  • Fig. 7 shows a compressor device 90 of a seventh embodiment of the invention, wherein the compressor device 90 is arranged separately from the drive device.
  • the protruding into the compressor cylinder 10 end of the coupling rod 18 is surrounded by a gas-tight bellows 92 which forms the compressor element of the compressor device 90 together with the protruding into the compressor cylinder 10 end of the coupling rod 18.
  • the bellows 92 is connected in a gastight manner to the inside of the compressor cylinder 10. In this way, the passage 24 for the coupling rod 18 in the compressor cylinder 10 must not be made gas-tight. The sealing of the gas volume to be compressed 14 takes place through the bellows 92.
  • the volume 96 within the bellows 92 must be connected directly to a further fluid expansion tank 98 via a gas line 94.
  • the balancing fluid in the fluid reservoir 98 is not the working fluid but another gas or fluid.
  • an oil, in particular hydraulic oil can be used.
  • Fig. 8 shows a compressor device 100 of an eighth embodiment of the invention.
  • the compressor device 100 differs from the compressor device 90 only in that at the end of the coupling rod 10, a compressor element in the form of a piston 12 is again arranged and the bellows 92 is connected to the compressor element 12.
  • the piston 12 divides the compressor cylinder 10 into the first and second gas volumes 14, 16 and the working medium balancing container 25 is connected via a gas line 26 directly to the second gas volume 16 and via the gas line 27 with check valve 28 to the first gas volume 14.
  • the gas volume 96 trapped by the bellows 92 must be connected to a surge tank 98 when the duct 24 is gas tight.
  • FIG. 9 shows a compressor device 110 of a ninth embodiment of the invention.
  • the compressor device 1 10 differs from the compressor device 6 according to FIG. 1 in that the compressor element is designed not as a piston but as a piston. tallmembran 1 12 is configured.
  • the end of the coupling rod 18 is centrally connected to the membrane 1 12.
  • the membrane 1 12 divides the compressor cylinder 10 into the first and second gas volumes 14, 16 and the working medium balancing container 25 is connected via a gas line 26 directly to the second gas volume 16 and via the gas line 27 with check valve 28 to the first gas volume 14.
  • the separated through the membrane 1 12 second gas volume 16 only needs to be connected to a surge tank 98 when the bushing 24 is gas-tight.
  • FIG. 10 shows a tenth embodiment of the invention with a compressor device 120.
  • a plurality of compressor devices in this case a first and a second compressor device 6-1, 6-2, are driven by a single electrohydraulic drive device 8.
  • the hydraulic piston 38 is mechanically coupled via a fork-shaped linkage 122 both to a first compressor element 12-1 of a first compressor cylinder 10-1 and to a second compressor element 12-2 in a second compressor cylinder 10-2.
  • a plurality of compressor devices 6-i and thus a plurality of cooling devices can be operated with an electro-hydrostatic drive device 8.
  • the hydraulic piston 38 and the compressor element 12 can also be magnetically coupled together.
  • the advantage of a magnetic coupling is that in the compressor cylinder 10 of the compressor device and the hydraulic cylinder 36 no implementation 24, 46 are required for the coupling rod 18, whereby the escape of helium from the compressor cylinder 10 is almost impossible.

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Abstract

Es wird eine Kompressorvorrichtung sowie eine damit ausgerüstete Kühlvorrichtung und eine damit ausgerüstete Kältemaschine bereitgestellt, die im Vergleich zu bekannten Kompressoreinrichtungen mit Drehventil mit geringeren Verlusten arbeitet. Durch die Kombination einer Verdichtereinrichtung, in der ein Arbeitsmedium durch ein sich hin und her bewegendes Verdichterelement periodisch verdichtet und wieder entspannt wird, mit einer Antriebseinrichtung, die mechanisch mit dem Verdichterelement gekoppelt ist, kann das verdichtete Gas im notwendigen Frequenzbereich für Gifford-McMahon-Kühler und Pulsrohrkühler bereitgestellt werden. Die Kopplung zwischen elektrohydrostatischer Antriebseinrichtung und Verdichterelement erfolgt über eine mechanische oder eine magnetische Kopplung. Die Verwendung von hohe Verluste erzeugenden Drehventilen erübrigt sich daher. Durch die Kombination der einfachen Ansteuerbarkeit eines Elektromotors und der Kraft einer Hydraulik ist es möglich, einen extrem effizienten Kompressor zu bauen, der aufgrund des Fehlens eines Drehventils bei der Verwendung mit Gifford-McMahon-Kühlern oder Pulsrohrkühlern zu einer erheblichen Verringerung der Verluste führt. Es wird daher eine sehr effiziente Kompressoreinrichtung bereit gestellt.

Description

Beschreibung
Kompressorvorrichtung sowie eine damit ausgerüstete Kühlvorrichtung und eine damit ausgerüstete Kältemaschine
Die Erfindung betrifft eine Kompressorvorrichtung sowie eine damit ausgerüstete Kühlvorrichtung und eine damit ausgerüstete Kältemaschine.
Zum Kühlung von Kernspintomographen, Kryo-Pumpen etc. werden Pulsrohrkühler oder Gifford-McMahon-Kühler eingesetzt. Hierbei kommen Gas- und insbesondere Heliumkompressoren in Kombination mit Rotations- bzw. Drehventilen zum Einsatz wie sie in Fig. 1 1 dargestellt ist. Ein Helium-Kompressor 130 wird über eine Hochdruckleitung 132 und eine Niederdruckleitung 134 mit einem Drehventil 136 verbunden. Ausgangsseitig wird das Drehventil 136 über eine Gasleitung 138 mit einer Kühlvorrichtung 1 10 in Form eines Gifford-McMahon-Kühlers oder eines Pulsrohrkühlers verbunden. Dabei wird über das Drehventil 136 abwechselnd die Hoch- bzw. Niederdruckseite des Gaskompressors 130 mit dem Pulsrohrkühler oder dem Gifford-McMahon-Kühler verbunden. Die Rate mit der verdichtetes Helium in die Kühlvorrichtung 138 eingeführt und wieder ausgeführt wird liegt im Bereich von 1 Hz. Nachteilig bei solchen Kühl- bzw. Kompressorsystemen ist, dass das motorisch angetriebene Drehventil 136 Verluste von ca. 50% der Eingangsleistung des Kompressors verursacht.
Es sind auch akustische Kompressoren oder Hochfrequenzkompressoren bekannt, bei denen ein oder mehrere Kolben durch ein Magnetfeld in lineare Resonanzschwingungen versetzt werden. Diese Resonanzfrequenzen liegen im Bereich von einigen 10 Hz und sind daher nicht für die Verwendung mit Pulsrohrkühlern und Gifford- McMahon-Kühlern zur Erzeugung sehr tiefer Temperaturen im Bereich kleiner 10 K geeignet.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung eine gegenüber der Kombination von Gaskompressor und Drehventil effizientere Kompressorvorrichtung anzugeben. Weiter ist es Aufgabe der Erfindung eine Kühlvorrichtung und eine Kältemaschine mit einer solchen Kompressorvorrichtung anzugeben.
Die Lösung dieser Aufgaben erfolgt durch die Merkmale des Anspruchs 1 , 24 bzw.
27.
Durch die Kombination einer Verdichtereinrichtung mit sich hin und her bewegendem Verdichterelement und einer damit magnetisch oder mechanisch gekoppelten Antriebseinrichtung wird eine einfache Alternative zu den üblich Kompressorvorrichtungen mit Drehventil geschaffen.
Durch die vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung nach Anspruch 2 mit einem Arbeitsmedium-Ausgleichsbehälter wird es möglich, dass das Verdichterelement nur in einer Bewegungsrichtung die Verdichtungsarbeit erbringen muss. Auch lässt sich damit der Arbeitsdruckbereich des Verdichters stabilisieren. Die Volumenverminderung des Arbeitsmediums durch Abkühlung in der damit betriebenen Kühlvorrichtung kann damit ausgeglichen werden.
Vorzugsweise wird hierzu die Verdichtereinrichtung durch das Verdichterelement in ein erstes und ein zweites Gasvolumen unterteilt. Der Arbeitsmedium- Ausgleichsbehälter ist über ein in Richtung erstes Gasvolumen offenes Rückschlagventil mit dem ersten Gasvolumen - Anspruch 3 - und direkt über eine Gasleitung mit dem zweiten Gasvolumen - Anspruch 4 - verbunden.
Alternativ zu Anspruch 4 kann gemäß Anspruch 5 ein Fluid-Ausgleichsbehälter vorgesehen werden, der über eine Fluid-Leitung direkt mit dem zweiten Gasvolumen verbunden ist. Das in dem Fluid-Ausgleichsbehälter befindliche Ausgleichsfluid ist nicht das Arbeitsmedium, sondern ein anderes Gas oder eine Flüssigkeit. Beispielsweise kann hierfür ein Öl, insbesondere Hydrauliköl verwendet werden.
Durch die Steuereinrichtung gemäß der vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung nach Anspruch 6 und 7 kann die Art und Weise der Verdichtung sowohl in zeitlicher Hinsicht als auch in Hinblick auf den Verdichterdruck an das jeweilige Arbeitsmedium angepasst werden. Damit kann die erfindungsgemäße Kompressorvorrichtung an unterschiedliche Arbeitsmedien angepasst werden, so dass sich unterschiedlichste Gase mit der Kompressorvorrichtung verdichten lassen.
Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung nach Anspruch 10 kann die Antriebseinrichtung mit einer Mehrzahl von Verdichtereinrichtungen mechanisch oder magnetisch gekoppelt sein. Dies führt zu einer Verringerung der Kosten, da nur eine Antriebseinrichtung nötig ist.
Durch die vorteilhafte hafte Ausgestaltung der Erfindung nach Anspruch 1 1 werden Leckagen verringert.
Durch die Kombination einer Verdichtereinrichtung, in der ein Arbeitsmedium durch ein Verdichterelement periodisch verdichtet und wieder entspannt wird, mit einer elektrohydrostatischen Antriebseinrichtung, die mechanisch mit dem Verdichterelement gekoppelt ist, gemäß Anspruch 17, kann das verdichtete Gas im notwendigen Frequenzbereich für Gifford-McMahon-Kühler und Pulsrohrkühler bereitgestellt werden. Die Kopplung zwischen elektrohydrostatischer Antriebseinrichtung und Verdichterelement erfolgt über eine mechanische oder eine magnetische Kopplung. Die Verwendung von hohe Verluste erzeugenden Drehventilen erübrigt sich daher. Durch die Kombination der einfachen Ansteuerbarkeit eines Elektromotors und der Kraft einer Hydraulik ist es möglich, einen extrem effizienten Kompressor zu bauen, der aufgrund des Fehlens eines Drehventils bei der Verwendung mit Gifford-McMahon-Kühlern oder Pulsrohrkühlern zu einer erheblichen Verringerung der Verluste führt. Es wird daher eine sehr effiziente Kompressoreinrichtung bereit gestellt.
Eine besonders geeignete elektrohydrostatische Antriebseinrichtung nach Anspruch 18 umfasst einen Hydraulikzylinder in der ein Hydraulikkolben linear beweglich angeordnet ist. Der Hydraulikzylinder wird mit Hydraulikfluid beaufschlagt, das über eine elektrisch angetriebene Hydraulikpumpe zu- bzw. abgeführt wird. Der Hydraulikkolben des Hydraulikzylinders ist mechanisch, z. B. über eine starre Stange, oder magnetisch mit dem Verdichterelement der Verdichtereinrichtung gekoppelt. Als Verdichterelement kann sowohl eine Membran - Anspruch 21 - oder ein Kolben - Ansprüche 15 und 16 - eingesetzt werden. Vorzugsweise wird aufgrund der einfachen Konstruktion ein linear beweglicher Kolben bzw. ein Linearkolbenverdichter eingesetzt - Anspruch 16. Der Vorteil einer Membran als Verdichterelement besteht darin, dass keine Kolbenlauffläche abgedichtet werden muss. Vorzugsweise besteht die Membran aus Metall, da hierdurch die Heliumdichtheit gewährleistet werden kann - Anspruch 22.
Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist die Bewegungsrichtung des Hydraulikzylinders durch die Drehrichtung des Elektromotors gesteuert - Anspruch 19.
Einefür die vorliegende Erfindung geeignete elektrohydrostatische Antriebseinrichtung ist beispielsweise aus der DE 10 2008 025 045 B4 bekannt.
Durch die elektrohydrostatische Antriebseinrichtung kann über den Hydraulikzylinder ein beliebiges Bewegungs-, Druck und Gaswechselfrequenzmuster auf die Verdichtereinrichtung übertragen werden. Die Gaswechselfrequenz kann unabhängig von irgendwelchen Resonanzfrequenzen frei eingestellt werden. Auf diese Weise kann die Leistung eines mit einer solchen Kompressoreinrichtung zu betreibenden Kühlers optimiert und Vibrationen minimiert werden - Anspruch 6 und 7.
Aufgrund der elektrisch betriebenen Hydraulikpumpe kann eine einfache elektronische Steuereinrichtung die Verdichtung des Arbeitsmediums in der Verdichtereinrichtung nach beliebigem Muster erfolgen, sowohl zeitlich als auch nach Höhe des Drucks - Anspruch 7.
Die Verdichtereinrichtung kann sowohl als fördernde Verdichtereinrichtung auslegt sein - Anspruch 14, wenn sie beispielsweise mit zum Antrieb einen herkömmlichen Kältemaschine genutzt wird, oder lediglich ein bestimmtes Gasvolumen wiederholt verdichten und entspannen. Letzteres ist z.B. bei Betrieb der bereits genannten Gifford- McMahon-Kühlern und Pulsrohrkühlern nötig. Die vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung nach Anspruch 20 stellt eine kostengünstige Kompressoreinrichtung bereit, da die Kopplungsstange zwischen Antriebseinrichtung und Verdichtereinrichtung selbst als Verdichter- oder Verdrängerelement ausgebildet ist; ein speziell ausgestaltetes Verdichterelement, das mit der Kopplungsstange verbunden ist, erübrigt sich daher. Hierbei ist der Verdichterzylinder so ausgestaltet, dass sein Querschnitt nur unwesentlich größer ist als der Querschnitt der Kopplungsstange. Der Abstand zwischen Kopplungsstange und Innenseite des Verdichterzylinders ist möglichst klein, jedoch muss keine Abdichtung zwischen Kopplungsstange und Innenseite des Verdichtungszylinders erfolgen. Die Abdichtung und der Einschluss des Arbeitsmediums erfolgt durch den O-Ring bzw. der Durchführung der Kopplungsstange in den Verdichterzylinder. Je geringer der Abstand zwischen Kopplungsstange und Innenseite des Verdichterzylinders und je größer der Hub der Kopplungsstange im Verdichterzylinder desto geringer ist das tote Volumen in der Verdichtereinrichtung und desto effizienter ist die Verdichtereinrichtung.
Die übrigen Unteransprüche beziehen sich auf weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung. Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung verschiedener Ausführungsformen.
Es zeigt:
Fig. 1 eine schematische Darstellung der Erfindung in einer ersten Ausführungsform in Kombination mit einer Kühleinrichtung,
Fig. 2 eine zweite Ausführungsform der Erfindung in Kombination mit einer herkömmlichen Kältemaschine,
Fig. 3 eine dritte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Kompressoreinrichtung,
Fig. 4 eine vierte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Kompressoreinrichtung, Fig. 5 eine fünfte Ausführungsform der Kompressoreinrichtung,
Fig. 6 eine sechste Ausführungsform der Kompressoreinrichtung,
Fig. 7 eine siebte Ausführungsform der Kompressoreinrichtung,
Fig. 8 eine achte Ausführungsform der Kompressoreinrichtung,
Fig. 9 eine neunte Ausführungsform der Kompressoreinrichtung,
Fig. 10 eine zehnte Ausführungsform der Kompressoreinrichtung, und
Fig. 1 1 eine schematische Darstellung einer Heliumkompressoreinrichtung mit Drehventil und einer Kühleinrichtung gemäß dem Stand der Technik.
Bei der Erläuterung der verschiedenen Ausführungsformen werden gleiche oder einander entsprechende Bauteile mit denselben Bezugszeichen versehen.
Fig. 1 zeigt eine erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung mit einer Kompressorvorrichtung 2, die mit einer Kühlvorrichtung 4 gekoppelt ist. Die Kompressorvorrichtung 2 wiederum umfasst eine Verdichtereinrichtung 6, die von einer elektro- hydrostatischen Antriebseinrichtung 8 angetrieben wird. Die Verdichtereinrichtung 6 umfasst einen gasdichten Verdichterzylinder 10 in dem ein Verdichterelement 12 in Form eines Kolbens linear beweglich angeordnet ist. Der Kolben 12 teilt den Verdichterzylinder in ein erstes und ein zweites Gasvolumen 14, 16. Durch die Bewegung des Kolbens 12 wird das erste Gasvolumen 14 mit einem Arbeitsgas, z. B. Helium, periodisch verdichtet und wieder entspannt. Eine Kopplungsstange 18 mit einem ersten und einem zweiten Ende 20, 22 ist durch ihr erstes Ende mit dem Kolben 12 verbunden. Die Kopplungsstange 18 wird durch eine abgedichtete Durchführung 24 aus dem zweiten Gasvolumen 16 des Verdichterzylinders 10 herausgeführt, so dass das zweite Ende 22 der Kopplungsstange 18 außerhalb des zweiten Gasvolumens 16 liegt. Ein Arbeitsmedium-Ausgleichsbehälter 25 ist über eine erste Gasleitung 26 direkt mit dem zweiten Gasvolumen 16 und über eine zweite Gasleitung 27 mit einem Rückschlagventil 28 mit dem ersten Gasvolumen 14 verbunden. Das Rückschlagventil 28 ist in Richtung erstes Gasvolumen 14 offen. Durch den Arbeitsmedium-Ausgleichsbehälter 25 kann das in dem zweiten Gasvolumen 16 befindliche Arbeitsmedium bei der Rückbewegung des Kolbens 12 in den Arbeitsmedium-Ausgleichsbehälter 25 strömen. Verdichterarbeit muss daher nur bei der Vorwärtsbewegung des Kolbens 12 und bei der Verdichtung des in dem ersten Gasvolumen 14 befindlichen Arbeitsmedium geleistet werden.
Der Antrieb der Verdichtereinrichtung 6 erfolgt durch die elektrohydrostatische Antriebseinrichtung 8. Die elektrohydrostatische Antriebseinrichtung 8 umfasst einen Elektromotor 30, der eine Hydraulikpumpe 32 antreibt. Die Hydraulikpumpe 32 pumpt Hydraulikflüssigkeit über eine erste Hydraulikleitung 34 in einen Hydraulikzylinder 36 in dem ein Hydraulikkolben 38 linear beweglich angeordnet ist. Der Hydraulikkolben 38 unterteilt den Hydraulikzylinder 36 in ein erstes und ein zweites Teilvolumen 40, 42. Die erste Hydraulikleitung 34 mündet in das erste Teilvolumen 40 und aus dem zweiten Teilvolumen 42 zweigt eine zweite Hydraulikleitung 44 ab, die zurück in die Hydraulikpumpe 32 führt. Durch entsprechende Ansteuerung des Elektromotors 30 und damit der Hydraulikpumpe 32 wird der Hydraulikkolben 38 in dem Hydraulikzylinder 36 hin- und herbewegt. Der Hydraulikkolben 38 ist mit dem zweiten Ende 22 der Kopplungsstange 18 verbunden, die über eine flüssigkeitsdichte Durchführung 46 in das zweite Teilvolumen 42 hineinragt. Damit wird die Bewegung des Hydraulikkolbens 38 auf den Kolben 12 übertragen, so dass das gasförmige Arbeitsmedium in dem ersten Gasvolumen 14 des Verdichterzylinders 10 durch die Bewegung des Hydraulikkolbens 38 und der damit gekoppelten Bewegung des Verdichterkolbens 12 periodisch verdichtet wird. Auch lässt sich damit der Arbeitsdruckbereich der Verdichtereinrichtung 6 stabilisieren. Die Volumenverminderung des Arbeitsmediums durch Abkühlung in der damit betriebenen Kühlvorrichtung 4 kann damit ausgeglichen werden.
Das erste Gasvolumen 14 der Verdichtereinrichtung 6 ist über eine Gasleitung 48 mit der Kühlvorrichtung 4 verbunden. Die Kühlvorrichtung 4 ist hierbei eine Kühlvorrichtung, die periodisch verdichtetes Gas zu ihrem Betrieb nutzt. Insbesondere ist die Kühlvorrichtung für ein Gifford-McMahon -Kühler oder ein Pulsrohrkühler. Bei der Ausführungsform der Erfindung nach Fig. 1 wird daher eine feste Gasmenge periodisch in dem ersten Gasvolumen 14 verdichtet und wieder entspannt. Fig. 2 zeigt eine zweite Ausführungsform der Erfindung bei der die Kompressorvorrichtung 2 als Arbeitsmedium fördernde Kompressorvorrichtung ausgebildet ist und damit einen thermodynamischen Kreisprozess 50 einer Wärmepumpe bzw. Kältemaschine antreibt. Das erste Gasvolumen 14 in dem Verdichterzylinder 10 ist über die Gasleitung 48 mit einem Kondensator 52 verbunden. In dem Kondensator 52 wird das gasförmige Arbeitsmedium unter Abgabe von Wärme kondensiert. Das flüssige Arbeitsmedium wird über eine Drossel 54 einem Verdampfer 56 zugeführt. Das flüssige Arbeitsmedium wird in dem Verdampfer 56 unter Aufnahme von Wärme verdampft und das gasförmige Arbeitsmedium wird über eine Gasleitung 58 wieder dem ersten Gasvolumen 14 in dem Verdichterzylinder 10 zugeführt. Der Gaswechsel in und aus dem ersten Gasvolumen wird über eine Ventilsteuereinrichtung 60 gesteuert.
Nachfolgend werden anhand der Fig. 3 bis 7 verschiedene Ausführungsformen und Varianten der Kompressorvorrichtung 2 erläutert.
Fig. 3 zeigt eine ein dritte Ausführungsform der Erfindung mit einer Kompressorvorrichtung 70, die sich von der Kompressorvorrichtung 2 gemäß der ersten Ausführungsform lediglich dadurch unterscheidet, dass der Hydraulikzylinder 36 sowie die Kopplungsstange 18 zwischen dem Hydraulikkolben 38 und dem Verdichterelement 12 in einer gemeinsamen gasdichten Hülle 72 angeordnet sind. Hierbei ist auch die Durchführung 24 der Kopplungsstange 18 aus dem zweiten Gasvolumen 16 und die Durchführung 46 in das erste Teilvolumen 40 des Hydraulikzylinders 36 innerhalb der gasdichten Hülle 72 angeordnet. Auf diese Weise wird verhindert, dass gasförmiges Arbeitsmedium aus dem ersten Gasvolumen 14 über das zweite Gasvolumen 16 und die Durchführung 24 austreten kann. Dies ist insbesondere wichtig, wenn als Arbeitsmedium Helium verwendet wird, da Helium sehr teuer ist. Die gasdichte Hülle 72 definiert auch den Arbeitsmedium-Ausgleichsbehälter 25.
Fig. 4 zeigt eine vierte Ausführungsform der Erfindung - Kompressorvorrichtung 75 - die ebenfalls das Problem der Heliumleckage verringert. Die Ausführungsform nach Fig. 4 unterscheidet sich von der Ausführungsform nach Fig. 3 dadurch, dass die gasdichte Hülle 72 auf den Bereich zwischen Antriebseinrichtung 8 und Verdichtereinrich- tung 6 eingeschränkt ist. Die Kopplungsstange 18, die flüssigkeitsdichte Durchführung 46 und die gasdichte Durchführung 24 sind innerhalb der gasdichten Hülle 72 angeordnet. Da das von der gasdichten Hülle 72 eingeschlossene Gasvolumen vergleichsweise klein ist, ist bei der Ausführungsform nach Fig. 4 ein getrennter Arbeitsmedium- Ausgleichsbehälter 25 vorgesehen.
Fig. 5 zeigt eine fünfte Ausführungsform der Erfindung, die ebenfalls das Problem der Heliumleckage verringert. Fig. 5 zeigt eine Kompressorvorrichtung 80, bei der der Hydraulikzylinder 36 direkt mit dem Verdichterzylinder 10 der Verdichtereinrichtung 6 verbunden ist. Die Verbindungsstelle von Hydraulikzylinder 36 und Verdichterzylinder 10 ist mit einem O-Ring 82 gasdicht ausgestaltet. Auf diese Weise ist die starre mechanische Verbindung zwischen Hydraulikkolben 38 und Verdichterelement 12 - Kopplungsstange 18 - ebenfalls innerhalb einer gasdichten Hülle eingeschlossen.
Fig. 6 zeigt eine sechste Ausführungsform der Erfindung. Auch bei Kompressorvorrichtung 84 gemäß der sechsten Ausführungsform der Erfindung ist der Hydraulikzylinder 36 direkt mit dem Verdichterzylinder 10 verbunden und die Verbindungsstelle von Hydraulikzylinder 36 und Verdichterzylinder 10 ist mit einem O-Ring 82 gasdicht ausgestaltet. Im Unterschied zu der fünften Ausführungsform der Erfindung nach Fig. 5 ist bei der sechsten Ausführungsform das in den Verdichterzylinder 10 hineinragende Ende der Kopplungsstange 18 als Verdichterelement ausgestaltet; ein getrenntes Verdichterelement erübrigt sich daher. Die Verdichterzylinder 10 definiert nur ein erstes Gasvolumen 14, das periodisch verkleinert und wieder vergrößert wird. Der Arbeitsmedium- Ausgleichsbehälter 25 ist über die Gasleitung 27 mit Rückschlagventil 28 mit diesem Gasvolumen 14 verbunden. Der Querschnitt bzw. der Innendurchmesser des Verdichterzylinders 10 ist nur unwesentlich größer ist als der Querschnitt bzw. Außendurchmesser der Kopplungsstange 18. Der Abstand zwischen Kopplungsstange 18 und Innenseite des Verdichterzylinders 10 ist möglichst klein, jedoch muss keine Abdichtung zwischen Kopplungsstange 18 und der Innenseite des Verdichtungszylinders 10 erfolgen. Die Abdichtung und der Einschluss des Arbeitsmediums erfolgt durch den O-Ring 82 in der Durchführung der Kopplungsstange 18 in den Verdichterzylinder 10. Je geringer der Abstand zwischen Kopplungsstange 18 und Innenseite des Verdichterzylinders 10 und je größer der Hub der Kopplungsstange 18 im Verdichterzylinder 10 desto ge- ringer ist das tote Volumen in der Verdichtereinrichtung 6 und desto effizienter ist die Verdichtereinrichtung 6.
Fig. 7 zeigt eine Verdichtereinrichtung 90 einer siebten Ausführungsform der Erfindung, wobei die Verdichtereinrichtung 90 getrennt von der Antriebseinrichtung angeordnet ist. Das in den Verdichterzylinder 10 hineinragende Ende der Kopplungsstange 18 ist von einem gasdichten Faltenbalg 92 umgeben, der zusammen mit dem in den Verdichterzylinder 10 hineinragende Ende der Kopplungsstange 18 das Verdichterelement der Verdichtereinrichtung 90 bildet. Der Faltenbalg 92 ist gasdicht mit der Innenseite des Verdichterzylinders 10 verbunden. Auf diese Weise muss die Durchführung 24 für die Kopplungsstange 18 in den Verdichterzylinder 10 nicht gasdicht ausgeführt werden. Die Abdichtung des zu verdichtenden Gasvolumens 14 erfolgt durch den Faltenbalg 92. Wenn allerdings die Durchführung 24 gasdicht ausgeführt ist, muss das Volumen 96 innerhalb des Faltenbalgs 92 über eine Gasleitung 94 direkt mit einem weiteren Fluid-Ausgleichsbehälter 98 verbunden werden. Das in dem Fluid-Ausgleichsbehälter 98 befindliche Ausgleichsfluid ist nicht das Arbeitsmedium, sondern ein anderes Gas oder eine Flüssigkeit. Beispielsweise kann hierfür ein Öl, insbesondere Hydrauliköl verwendet werden.
Fig. 8 zeigt eine Verdichtereinrichtung 100 einer achten Ausführungsform der Erfindung. Die Verdichtereinrichtung 100 unterscheidet sich von der Verdichtereinrichtung 90 lediglich dadurch, dass am Ende der Kopplungsstange 10 wieder ein Verdichterelement in Form eines Kolbens 12 angeordnet ist und der Faltenbalg 92 mit dem Verdichterelement 12 verbunden ist. Der Kolben 12 unterteilt den Verdichterzylinder 10 in das erste und zweite Gasvolumen 14, 16 und der Arbeitsmedium-Ausgleichsbehlter 25 ist über eine Gasleitung 26 direkt mit dem zweiten Gasvolumen 16 und über die Gasleitung 27 mit Rückschlagventil 28 mit dem ersten Gasvolumen 14 verbunden. Wiederum muss das durch den Faltenbalg 92 eingeschlossene Gasvolumen 96 mit einem Ausgleichsbehälter 98 verbunden sein, wenn die Durchführung 24 gasdicht ausgeführt ist.
Fig. 9 zeigt eine Verdichtereinrichtung 1 10 einer neunten Ausführungsform der Erfindung. Die Verdichtereinrichtung 1 10 unterscheidet sich von der Verdichtereinrichtung 6 gemäß Fig. 1 dadurch, dass das Verdichterelement nicht als Kolben, sondern als Me- tallmembran 1 12 ausgestaltet ist. Das Ende der Kopplungsstange 18 ist mittig mit der Membran 1 12 verbunden. Die Membran 1 12 unterteilt den Verdichterzylinder 10 in das erste und zweite Gasvolumen 14, 16 und der Arbeitsmedium-Ausgleichsbehlter 25 ist über eine Gasleitung 26 direkt mit dem zweiten Gasvolumen 16 und über die Gasleitung 27 mit Rückschlagventil 28 mit dem ersten Gasvolumen 14 verbunden. Das durch die Membran 1 12 abgetrennte zweite Gasvolumen 16 muss nur dann mit einem Ausgleichsbehälter 98 verbunden sein, wenn die Durchführung 24 gasdicht ausgeführt ist.
Fig. 10 zeigt eine zehnte Ausführungsform der Erfindung mit einer Kompressoreinrichtung 120. Bei der Kompressorvorrichtung 120 wird durch eine einzige elektrohyd- rostatische Antriebseinrichtung 8 eine Mehrzahl von Verdichtereinrichtungen, hier eine erste und eine zweite Verdichtereinrichtung 6-1 , 6-2, angetrieben. D. h. der Hydraulikkolben 38 ist sowohl mit einem ersten Verdichterelement 12-1 eines ersten Verdichterzylinders 10-1 als auch mit einem zweiten Verdichterelement 12-2 in einem zweiten Verdichterzylinder 10-2 mechanisch über ein gabelförmiges Gestänge 122 gekoppelt. Auf diese Weise können mit einer elektrohydrostatischen Antriebseinrichtung 8 mehrere Verdichtereinrichtungen 6-i und damit mehrere Kühlvorrichtungen betrieben werden.
Anstelle der starren mechanischen Kopplung über die Kopplungsstange 18 können der Hydraulikkolben 38 und das Verdichterelement 12 auch magnetisch miteinander gekoppelt werden. Der Vorteil einer magnetischen Kopplung besteht darin, dass in dem Verdichterzylinder 10 der Verdichtereinrichtung und dem Hydraulikzylinder 36 keine Durchführung 24, 46 für die Kopplungsstange 18 benötigt werden, wodurch der Austritt von Helium aus dem Verdichterzylinder 10 nahezu unmöglich wird.
Bezugszeichenliste:
2 Kompressorvorrichtung
4 Kühlvorrichtung
6 Verdichtereinrichtung
8 elektrohydrostatische Antriebseinrichtung
10 Verdichterzylinder Verdichterelement, Kolben erstes Gasvolumen
zweites Gasvolumen
Kopplungsstange
erstes Ende von 18
zweites Ende von 18
gasdichte Durchführung in 10 Arbeitsmedium-Ausgleichsbehälter erste Gasleitung
zweite Gasleitung
Rückschlagventil Elektromotor
Hydraulikpumpe
erste Hydraulikleitung
Hydraulikzylinder
Hydraulikkolben
erstes Teilvolumen in 28
zweites Teilvolumen in 28 zweite Hydraulikleitung
flüssigkeitsdichte Durchführung Gasleitung thermodynamischer Kreisprozess Kondensator
Drossel
Verdampfer
Gasleitung
Ventilsteuereinrichtung Kompressorvorrichtung
gasdichte Hülle 75 Kompressorvorrichtung
80 Kompressorvorrichtung
82 O-Ring
84 Kompressorvorrichtung
90 Verdichtereinrichtung
92 Faltenbalg
94 Gasleitung
96 Volumen innerhalb 92
98 Fluid-Ausgleichsbehälter
100 Verdichtereinrichtung
1 10 Verdichtereinrichtung
1 12 Membran
120 Kompressorvorrichtung
122 gabelförmiges Gestänge
10-1 erster Verdichterzylinder
10-2 zweiter Verdichterzylinder
12-1 erstes Verdichterelement
12-2 zweites Verdichterelement
130 Helium-Kompressor
132 Hochdruckleitung
134 Niederdruckleitung
136 Drehventil
138 Gasleitung
140 Kühlvorrichtung

Claims

Ansprüche
1 . Kompressorvorrichtung, mit
einer Verdichtereinrichtung (6; 90; 100) in der ein Arbeitsmedium durch ein sich hin und her bewegendes Verdichterelement (12; 92; 1 12) periodisch verdichtet wird, und
einer Antriebseinrichtung (8), die mechanisch oder magnetisch mit dem Verdichterelement (12; 92; 1 12) gekoppelt ist.
2. Kompressorvorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Verdichtereinrichtung (6; 90: 100) mit einem Arbeitsmedium-Ausgleichsbehälter (25) verbunden ist.
3. Kompressorvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Verdichterelement (12; 92; 1 12) die Verdichtereinrichtung (6; 90; 100) in ein erstes und ein zweites Gasvolumen (14, 16) teilt und dass der Arbeitsmedium- Ausgleichsbehälter (25) über ein in Richtung erstes Gasvolumen (14) offenes Rückschlagventil (28) mit dem ersten Gasvolumen (14) verbunden ist.
4. Kompressorvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Arbeitsmedium-Ausgleichsbehälter (25) direkt mit dem zweiten Gasvolumen (16) verbunden ist.
5. Kompressorvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Gasvolumen (16; 96; 16, 96) über eine Leitung (94) mit einem Fluid- Ausgleichsbehälter (98) verbunden ist.
6. Kompressorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebseinrichtung (8) eine Steuereinrichtung aufweist, mittels der die Verdichtung des Arbeitsmediums nach einem vorbestimmten Muster erfolgt.
7. Kompressorvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass sich das vorbestimmte Muster zeitlich ändert.
8. Kompressorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Verdichtereinrichtung (6; 90; 100) ein Filter nachgeschaltet ist.
9. Kompressorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Arbeitsmedium Helium ist.
10. Kompressorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebseinrichtung (8) eine Mehrzahl von Verdichtereinrichtungen (6-1 , 6-2) antreibt.
1 1 . Kompressorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebseinrichtung (8) und die Verdichtereinrichtung (6) jeweils ein gasdichtes Gehäuse (36, 10; 72,10) aufweisen und dass die beiden Gehäuse (36, 10; 72,10) gasdicht miteinander verbunden sind.
12. Kompressorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Verdichtereinrichtung (6; 90, ; 100) für einen Arbeitsfrequenzbereich zwischen 0,1 und 10 Hz und insbesondere für einen Arbeitsfrequenzbereich zwischen 0,5 und 5 Hz ausgelegt ist.
13. Kompressorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die mechanische Kopplung zwischen Antriebseinrichtung (8) und Verdichterelement (6; 90; 100) über eine starre Kolbenstange (18) erfolgt.
14. Kompressorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Verdichtereinrichtung (6; 90; 100) als fördernde Verdichtereinrichtung ausgebildet ist.
15. Kompressorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Verdichterelement eine Kolbeneinrichtung (12) um- fasst.
16. Kompressorvorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Verdichtereinrichtung (6; 90) ein Linearkolbenverdichter ist.
17. Kompressorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebseinrichtung (8) eine elektrohydrostatische Antriebseinrichtung ist.
18. Kompressorvorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die elektrohydrostatische Antriebseinrichtung (8) einen Elektromotor (30), eine durch den Elektromotor angetriebene Hydraulikpumpe (32), die mit einem Hydraulikzylinder (36) verbunden ist, in dem ein Hydraulikkolben (38) linearbeweglich angeordnet ist, wobei der Hydraulikkolben (38) mechanisch oder magnetisch mit dem Verdichterelement (12) der Verdichtereinrichtung (6) gekoppelt ist.
19. Kompressorvorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Bewegungsrichtung des Hydraulikzylinders (36) durch die Drehrichtung des Elektromotors (30) gesteuert ist.
20. Kompressorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebseinrichtung (8) über eine Kopplungstange (18) mechanisch mit der Verdichtereinrichtung (6; 90) verbunden ist, und dass das von der Antriebseinrichtung (8) abgewandte Ende der Kopplungsstange (18) als Verdichterelement ausgebildet ist.
21 . Kompressorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Verdichterelement (12) eine Membran (1 12) umfasst.
22. Kompressorvorrichtung nach Anspruch 21 , dadurch gekennzeichnet, dass die Membran (1 12) aus Metall besteht.
23. Kompressorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Verdichterelement einen Faltenbalg (92) umfasst.
24. Kühlvorrichtung mit einer Kompressorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche und einem Gifford-McMahon-Kühler oder einem Pulsrohrkühler, wobei die Verdichtereinrichtung (6; 90; 100) mit dem Gifford-McMahon-Kühler oder dem Pulsrohrkühler gekoppelt ist.
25. Kühlvorrichtung nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass die Verdichtereinrichtung (6) einen Hochdruckanschluss (102) aufweist und dass der Gifford-McMahon-Kühler oder der Pulsrohrkühler mit dem Hochdruckanschluss (102) der Verdichtereinrichtung (6; 90 ;100) verbunden ist.
26. Kühlvorrichtung nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass die Verdichtereinrichtung (6; 90; 100) einen Niederdruckanschluss (104) aufweist und dass der Gifford-McMahon-Kühler oder der Pulsrohrkühler mit dem Niederdruckanschluss (104) der Verdichtereinrichtung (6) verbunden ist.
27. Kompressorkältemaschine, insbesondere für herkömmliche Kühlschränke, mit einer Kompressorvorrichtung (2; 70; 75; 80; 84; 90; 120) nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 22, einem Verdampfer (56) und einem Kondensator (52).
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