[go: up one dir, main page]

WO2008078481A1 - 弾性境界波装置 - Google Patents

弾性境界波装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2008078481A1
WO2008078481A1 PCT/JP2007/072559 JP2007072559W WO2008078481A1 WO 2008078481 A1 WO2008078481 A1 WO 2008078481A1 JP 2007072559 W JP2007072559 W JP 2007072559W WO 2008078481 A1 WO2008078481 A1 WO 2008078481A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
wave
dielectric element
boundary
expansion coefficient
velocity
Prior art date
Application number
PCT/JP2007/072559
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Hajime Kando
Original Assignee
Murata Manufacturing Co., Ltd.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co., Ltd. filed Critical Murata Manufacturing Co., Ltd.
Priority to EP07832289.8A priority Critical patent/EP2104228A4/en
Priority to JP2008550998A priority patent/JP4894861B2/ja
Publication of WO2008078481A1 publication Critical patent/WO2008078481A1/ja
Priority to US12/482,604 priority patent/US8049395B2/en

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/0222—Details of interface-acoustic, boundary, pseudo-acoustic or Stonely wave devices
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02007—Details of bulk acoustic wave devices
    • H03H9/02047—Treatment of substrates
    • H03H9/02055—Treatment of substrates of the surface including the back surface

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

　比較的簡単な構造で高次モードスプリアスを効果的に抑圧することが可能とされている弾性境界波装置を提供する。 　圧電体２と誘電体３との境界にＩＤＴ電極５が配置されており、圧電体２の上記境界と反対側の面に線熱膨張係数が圧電体２よりも小さい材料からなる低熱膨張率媒質層４が積層されており、前記圧電体２、誘電体３及び低熱膨張率媒質層４における弾性境界波伝搬方向における横波の音速が下記の式（１）を満たし、かつＩＤＴ電極５の波長をλとしたときに、誘電体における横波の音速／λが下記の式（２）を満たす、弾性境界波装置１。 　誘電体における横波の音速＜圧電体におけるＳＨ波の音速＜低熱膨張率媒質層における横波の音速…式（１） 　弾性境界波の応答周波数＜誘電体における横波の音速／λ＜高次モードの応答周波数…式（２）
PCT/JP2007/072559 2006-12-25 2007-11-21 弾性境界波装置 WO2008078481A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP07832289.8A EP2104228A4 (en) 2006-12-25 2007-11-21 EQUIPMENT WITH ELASTIC RIMS
JP2008550998A JP4894861B2 (ja) 2006-12-25 2007-11-21 弾性境界波装置
US12/482,604 US8049395B2 (en) 2006-12-25 2009-06-11 Boundary acoustic wave device

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006347575 2006-12-25
JP2006-347575 2006-12-25

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US12/482,604 Continuation US8049395B2 (en) 2006-12-25 2009-06-11 Boundary acoustic wave device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2008078481A1 true WO2008078481A1 (ja) 2008-07-03

Family

ID=39562274

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2007/072559 WO2008078481A1 (ja) 2006-12-25 2007-11-21 弾性境界波装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US8049395B2 (ja)
EP (1) EP2104228A4 (ja)
JP (1) JP4894861B2 (ja)
CN (1) CN101569100A (ja)
WO (1) WO2008078481A1 (ja)

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010004741A1 (ja) * 2008-07-11 2010-01-14 パナソニック株式会社 板波素子と、これを用いた電子機器
WO2010016246A1 (ja) * 2008-08-07 2010-02-11 パナソニック株式会社 弾性波素子とこれを用いた電子機器
WO2010052914A1 (ja) * 2008-11-10 2010-05-14 パナソニック株式会社 弾性波素子と、これを用いた電子機器
WO2011074464A1 (ja) * 2009-12-15 2011-06-23 株式会社村田製作所 弾性境界波装置
CN102484466A (zh) * 2009-09-11 2012-05-30 松下电器产业株式会社 弹性波元件与弹性波元件传感器
JPWO2010079575A1 (ja) * 2009-01-07 2012-06-21 株式会社村田製作所 弾性境界波装置
WO2013146374A1 (ja) * 2012-03-26 2013-10-03 株式会社村田製作所 弾性波装置及びその製造方法
JP2016519897A (ja) * 2013-04-08 2016-07-07 ソイテック 改良型の熱補償形表面弾性波デバイスおよび製造方法
KR20180074732A (ko) * 2015-10-20 2018-07-03 소이텍 복합 구조체 및 관련 제조 방법
WO2018151146A1 (ja) * 2017-02-16 2018-08-23 株式会社弾性波デバイスラボ 弾性波素子およびその製造方法
JPWO2018056210A1 (ja) * 2016-09-20 2018-09-20 日本碍子株式会社 複合基板，その製法及び電子デバイス
JP2019503627A (ja) * 2016-01-28 2019-02-07 コーボ ユーエス，インコーポレイティド スプリアスモード除去をもたらす誘導表面弾性波デバイス
JP2020188408A (ja) * 2019-05-16 2020-11-19 日本電波工業株式会社 弾性表面波素子、フィルタ回路及び電子部品
US11206007B2 (en) 2017-10-23 2021-12-21 Qorvo Us, Inc. Quartz orientation for guided SAW devices
JP2022025374A (ja) * 2020-07-29 2022-02-10 太陽誘電株式会社 弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ
US11451206B2 (en) 2015-07-28 2022-09-20 Qorvo Us, Inc. Methods for fabrication of bonded wafers and surface acoustic wave devices using same

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8470019B1 (en) * 2001-11-30 2013-06-25 Advanced Cardiovascular Systems, Inc. TiNxOy modified surface for an implantable device and a method of producing the same
WO2008120511A1 (ja) * 2007-03-29 2008-10-09 Murata Manufacturing Co., Ltd. 液中物質検出センサー
JP5041004B2 (ja) * 2007-10-23 2012-10-03 パナソニック株式会社 弾性境界波装置
JP2010068503A (ja) * 2008-08-13 2010-03-25 Seiko Epson Corp 弾性表面波素子
JP5187444B2 (ja) * 2009-07-17 2013-04-24 株式会社村田製作所 弾性表面波装置
KR101636901B1 (ko) * 2011-09-30 2016-07-06 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 탄성파 장치
CN104321966B (zh) * 2012-08-29 2016-03-02 株式会社村田制作所 弹性波装置
JP6447624B2 (ja) * 2014-03-14 2019-01-09 株式会社村田製作所 弾性波装置
WO2015156232A1 (ja) * 2014-04-11 2015-10-15 株式会社村田製作所 弾性波フィルタ装置
CN107005225B (zh) * 2014-12-25 2021-06-04 株式会社村田制作所 弹性波装置
DE102017012407B3 (de) 2017-05-24 2023-03-30 RF360 Europe GmbH SAW-Vorrichtung mit unterdrückten Störmodensignalen
DE102017111448B4 (de) 2017-05-24 2022-02-10 RF360 Europe GmbH SAW-Vorrichtung mit unterdrückten Störmodensignalen
CN116208895A (zh) * 2017-11-21 2023-06-02 日东电工株式会社 压电扬声器
JP6913619B2 (ja) * 2017-12-12 2021-08-04 株式会社村田製作所 マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路及び通信装置
CN112865742A (zh) * 2019-11-12 2021-05-28 迈感微电子(上海)有限公司 体声波谐振器

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0548383A (ja) * 1991-08-08 1993-02-26 Sumitomo Electric Ind Ltd 弾性表面波素子及びその製造方法
WO1998052279A1 (fr) 1997-05-12 1998-11-19 Hitachi, Ltd. Dispositif a onde elastique
JP2004186868A (ja) 2002-12-02 2004-07-02 Fujitsu Media Device Kk 弾性表面波素子、それを有する送信フィルタ及び受信フィルタ、並びにそれらを有するデュプレクサ
WO2004070946A1 (ja) 2003-02-10 2004-08-19 Murata Manufacturing Co., Ltd. 弾性境界波装置
JP2004343359A (ja) * 2003-05-14 2004-12-02 Fujitsu Media Device Kk 弾性表面波素子の製造方法
WO2005069485A1 (ja) * 2004-01-13 2005-07-28 Murata Manufacturing Co., Ltd. 弾性境界波装置
WO2005069486A1 (ja) 2004-01-19 2005-07-28 Murata Manufacturing Co., Ltd. 弾性境界波装置
WO2005099091A1 (ja) * 2004-04-08 2005-10-20 Murata Manufacturing Co., Ltd. 弾性境界波フィルタ
WO2006114930A1 (ja) * 2005-04-25 2006-11-02 Murata Manufacturing Co., Ltd. 弾性境界波装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0595249A (ja) 1991-10-02 1993-04-16 Tdk Corp 弾性表面波素子
EP0920129B1 (en) 1997-05-08 2006-12-27 Kabushiki Kaisha Toshiba Elastic boundary wave device and method of its manufacture
JP3090810U (ja) 2002-06-18 2002-12-26 財団法人工業技術研究院 層状表面音波フィルタの構造
JP4937605B2 (ja) * 2006-03-07 2012-05-23 太陽誘電株式会社 弾性境界波デバイス
JP4917396B2 (ja) * 2006-09-25 2012-04-18 太陽誘電株式会社 フィルタおよび分波器
CN101796727B (zh) * 2007-08-14 2016-04-27 太阳诱电株式会社 弹性边界波装置

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0548383A (ja) * 1991-08-08 1993-02-26 Sumitomo Electric Ind Ltd 弾性表面波素子及びその製造方法
WO1998052279A1 (fr) 1997-05-12 1998-11-19 Hitachi, Ltd. Dispositif a onde elastique
JP2004186868A (ja) 2002-12-02 2004-07-02 Fujitsu Media Device Kk 弾性表面波素子、それを有する送信フィルタ及び受信フィルタ、並びにそれらを有するデュプレクサ
WO2004070946A1 (ja) 2003-02-10 2004-08-19 Murata Manufacturing Co., Ltd. 弾性境界波装置
JP2004343359A (ja) * 2003-05-14 2004-12-02 Fujitsu Media Device Kk 弾性表面波素子の製造方法
WO2005069485A1 (ja) * 2004-01-13 2005-07-28 Murata Manufacturing Co., Ltd. 弾性境界波装置
WO2005069486A1 (ja) 2004-01-19 2005-07-28 Murata Manufacturing Co., Ltd. 弾性境界波装置
WO2005099091A1 (ja) * 2004-04-08 2005-10-20 Murata Manufacturing Co., Ltd. 弾性境界波フィルタ
WO2006114930A1 (ja) * 2005-04-25 2006-11-02 Murata Manufacturing Co., Ltd. 弾性境界波装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP2104228A4

Cited By (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2010004741A1 (ja) * 2008-07-11 2011-12-22 パナソニック株式会社 板波素子と、これを用いた電子機器
WO2010004741A1 (ja) * 2008-07-11 2010-01-14 パナソニック株式会社 板波素子と、これを用いた電子機器
US8482184B2 (en) 2008-07-11 2013-07-09 Panasonic Corporation Plate wave element and electronic equipment using same
WO2010016246A1 (ja) * 2008-08-07 2010-02-11 パナソニック株式会社 弾性波素子とこれを用いた電子機器
US8598968B2 (en) 2008-11-10 2013-12-03 Panasonic Corporation Elastic wave element and electronic device using the same
JPWO2010052914A1 (ja) * 2008-11-10 2012-04-05 パナソニック株式会社 弾性波素子と、これを用いた電子機器
CN102204094A (zh) * 2008-11-10 2011-09-28 松下电器产业株式会社 弹性波元件及使用了该弹性波元件的电子设备
WO2010052914A1 (ja) * 2008-11-10 2010-05-14 パナソニック株式会社 弾性波素子と、これを用いた電子機器
JPWO2010079575A1 (ja) * 2009-01-07 2012-06-21 株式会社村田製作所 弾性境界波装置
US9160299B2 (en) 2009-09-11 2015-10-13 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Acoustic wave element and acoustic wave element sensor
CN102484466A (zh) * 2009-09-11 2012-05-30 松下电器产业株式会社 弹性波元件与弹性波元件传感器
JPWO2011074464A1 (ja) * 2009-12-15 2013-04-25 株式会社村田製作所 弾性境界波装置
WO2011074464A1 (ja) * 2009-12-15 2011-06-23 株式会社村田製作所 弾性境界波装置
JPWO2013146374A1 (ja) * 2012-03-26 2015-12-10 株式会社村田製作所 弾性波装置及びその製造方法
CN104205631A (zh) * 2012-03-26 2014-12-10 株式会社村田制作所 弹性波装置及其制造方法
WO2013146374A1 (ja) * 2012-03-26 2013-10-03 株式会社村田製作所 弾性波装置及びその製造方法
US10096763B2 (en) 2012-03-26 2018-10-09 Murata Manufacturing Co., Ltd. Elastic wave device and method for manufacturing same
JP2016519897A (ja) * 2013-04-08 2016-07-07 ソイテック 改良型の熱補償形表面弾性波デバイスおよび製造方法
US11451206B2 (en) 2015-07-28 2022-09-20 Qorvo Us, Inc. Methods for fabrication of bonded wafers and surface acoustic wave devices using same
KR20180074732A (ko) * 2015-10-20 2018-07-03 소이텍 복합 구조체 및 관련 제조 방법
KR102671257B1 (ko) * 2015-10-20 2024-06-03 소이텍 복합 구조체 및 관련 제조 방법
JP2018537888A (ja) * 2015-10-20 2018-12-20 ソイテック 複合構造および関連する作製方法
JP2019503627A (ja) * 2016-01-28 2019-02-07 コーボ ユーエス，インコーポレイティド スプリアスモード除去をもたらす誘導表面弾性波デバイス
US11309861B2 (en) 2016-01-28 2022-04-19 Qorvo Us, Inc. Guided surface acoustic wave device providing spurious mode rejection
JP7051690B2 (ja) 2016-01-28 2022-04-11 コーボ ユーエス，インコーポレイティド スプリアスモード除去をもたらす誘導表面弾性波デバイス
KR102257664B1 (ko) * 2016-09-20 2021-05-31 엔지케이 인슐레이터 엘티디 복합 기판, 그 제조법 및 전자 디바이스
US10998881B2 (en) 2016-09-20 2021-05-04 Ngk Insulators, Ltd. Composite substrate, method for producing the same, and electronic device
KR20190039557A (ko) * 2016-09-20 2019-04-12 엔지케이 인슐레이터 엘티디 복합 기판, 그 제조법 및 전자 디바이스
JPWO2018056210A1 (ja) * 2016-09-20 2018-09-20 日本碍子株式会社 複合基板，その製法及び電子デバイス
JPWO2018151146A1 (ja) * 2017-02-16 2019-06-27 株式会社弾性波デバイスラボ 弾性波素子およびその製造方法
US11336255B2 (en) 2017-02-16 2022-05-17 Acoustic Wave Device Labo., Ltd. Acoustic wave element and method for manufacturing same
WO2018151146A1 (ja) * 2017-02-16 2018-08-23 株式会社弾性波デバイスラボ 弾性波素子およびその製造方法
US11206007B2 (en) 2017-10-23 2021-12-21 Qorvo Us, Inc. Quartz orientation for guided SAW devices
US11742826B2 (en) 2017-10-23 2023-08-29 Qorvo Us, Inc. Quartz orientation for guided SAW devices
JP2020188408A (ja) * 2019-05-16 2020-11-19 日本電波工業株式会社 弾性表面波素子、フィルタ回路及び電子部品
JP7292100B2 (ja) 2019-05-16 2023-06-16 ＮＤＫ ＳＡＷ ｄｅｖｉｃｅｓ株式会社 弾性表面波素子、フィルタ回路及び電子部品
JP2022025374A (ja) * 2020-07-29 2022-02-10 太陽誘電株式会社 弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ
JP7509598B2 (ja) 2020-07-29 2024-07-02 太陽誘電株式会社 弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ

Also Published As

Publication number Publication date
JP4894861B2 (ja) 2012-03-14
US8049395B2 (en) 2011-11-01
EP2104228A1 (en) 2009-09-23
CN101569100A (zh) 2009-10-28
EP2104228A4 (en) 2014-10-08
US20090236935A1 (en) 2009-09-24
JPWO2008078481A1 (ja) 2010-04-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2008078481A1 (ja) 弾性境界波装置
AU2003289100A1 (en) Elastic boundary wave device
KR101636901B1 (ko) 탄성파 장치
JP5720797B2 (ja) 弾性表面波装置
EP1722473A4 (en) RAND SOUND WAVE DEVICE
JP4811516B2 (ja) 弾性境界波装置
WO2006114930A1 (ja) 弾性境界波装置
PT1879688E (pt) Aplicação de energia sonora a um meio
WO2007138844A1 (ja) 弾性波装置
US7982365B2 (en) Elastic wave device and filter and electronic equipment using the device
JPWO2007138840A1 (ja) 弾性境界波装置
JP4760911B2 (ja) 弾性境界波装置
JP2011504830A5 (ja)
JPWO2009139108A1 (ja) 弾性境界波装置
WO2009057195A1 (ja) 弾性波素子、デュープレクサ、通信モジュール、および通信装置
JP5581739B2 (ja) 弾性境界波装置
EP2068442A4 (en) Boundary acoustic wave device
CN112702040B (zh) 单晶薄膜声表面波滤波器及降低基带提高带外抑制的方法
WO2008078496A1 (ja) 弾性波装置
WO2008031409A3 (de) Mit oberflächenwellen arbeitendes elektrisches bauelement
JP2006319887A (ja) 弾性境界波装置
AU6510599A (en) Liquid crystal polymer disk drive suspension assembly
WO2006116508A3 (en) High power ultrasonic transducer
WO2008111325A1 (ja) 弾性表面波装置
JP2004072204A5 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 200780048146.1

Country of ref document: CN

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 07832289

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2008550998

Country of ref document: JP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2007832289

Country of ref document: EP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE