[go: up one dir, main page]

WO2007087936A3 - Vorrichtung und verfahren zur detektion einer substanz in einer flüssigkeit - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zur detektion einer substanz in einer flüssigkeit Download PDF

Info

Publication number
WO2007087936A3
WO2007087936A3 PCT/EP2006/069827 EP2006069827W WO2007087936A3 WO 2007087936 A3 WO2007087936 A3 WO 2007087936A3 EP 2006069827 W EP2006069827 W EP 2006069827W WO 2007087936 A3 WO2007087936 A3 WO 2007087936A3
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
substance
resonant frequency
temperature
piezoelectric layer
liquid
Prior art date
Application number
PCT/EP2006/069827
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
WO2007087936A2 (de
Inventor
Jan Weber
Original Assignee
Siemens Ag
Jan Weber
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Ag, Jan Weber filed Critical Siemens Ag
Publication of WO2007087936A2 publication Critical patent/WO2007087936A2/de
Publication of WO2007087936A3 publication Critical patent/WO2007087936A3/de

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/02Analysing fluids
    • G01N29/036Analysing fluids by measuring frequency or resonance of acoustic waves
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/02Indexing codes associated with the analysed material
    • G01N2291/025Change of phase or condition
    • G01N2291/0256Adsorption, desorption, surface mass change, e.g. on biosensors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/02Indexing codes associated with the analysed material
    • G01N2291/028Material parameters
    • G01N2291/02881Temperature

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
  • Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)

Abstract

Die Erfindung gibt eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Detektion einer Substanz in einer Flüssigkeit an. Die Vorrichtung umfasst mindestens ein piezoakustisches Resonatorelement (30; 40) mit mindestens einer piezoelektrischen Schicht (310, 320; 410), an der piezoelektrischen Schicht anliegenden Elektroden (311, 312; 321, 322; 411, 412) und mindestens einem Oberflächenabschnitt (2a), der für die Anlagerung der zu detektierenden Substanz aus der Flüssigkeit eingerichtet ist, wobei das piezoakustische Resonatorelement (30; 40) derart beschaffen ist, dass durch Anlegen einer Spannung mittels der Elektroden an die piezoelektrische Schicht (310, 320; 410) eine Volumenschwingung der piezoelektrischen Schicht mit Resonanzfrequenz angeregt wird, die sich in Abhängigkeit der Masse der angelagerten, zu detektierenden Substanz ändert, Eine Auswerteeinrichtung (3) ist zur Ermittlung eines Anlagerungskennwerts anhand der gemessenen Resonanzfrequenz vorgesehen. Erfindungsgemäß umfasst die Vorrichtung ferner eine Einrichtung (4) zur Ermittlung eines Temperatureinflusses auf die Resonanzfrequenz durch Messung bei mindestens zwei unterschiedlichen Schwingungen, von denen eine erste Schwingung einer Massen- und Temperaturabhängigkeit und eine zweite Schwingung im Wesentlichen ausschließlich einer Temperaturabhängigkeit unterliegt, wobei die Auswerteeinrichtung (3) zur Ermittlung eines Anlagerungskennwerts dazu eingerichtet ist, anhand der Messwerte der mindestens zwei Messungen einen temperaturunabhängigen Anlagerungskennwert zu bestimmen.
PCT/EP2006/069827 2006-01-31 2006-12-18 Vorrichtung und verfahren zur detektion einer substanz in einer flüssigkeit WO2007087936A2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102006004449.5 2006-01-31
DE200610004449 DE102006004449A1 (de) 2006-01-31 2006-01-31 Vorrichtung und Verfahren zur Detektion einer Substanz in einer Flüssigkeit

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2007087936A2 WO2007087936A2 (de) 2007-08-09
WO2007087936A3 true WO2007087936A3 (de) 2008-04-10

Family

ID=38282029

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2006/069827 WO2007087936A2 (de) 2006-01-31 2006-12-18 Vorrichtung und verfahren zur detektion einer substanz in einer flüssigkeit

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE102006004449A1 (de)
WO (1) WO2007087936A2 (de)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102005043037B4 (de) * 2005-09-09 2009-04-09 Siemens Ag Vorrichtung mit piezoakustischem Resonatorelement, Verfahren zu dessen Herstellung und Verfahren zur Ausgabe eines Signals in Abhängigkeit einer Resonanzfrequenz
DE102007047153A1 (de) * 2007-10-02 2009-04-30 Siemens Ag Feuchtigkeitssensor mit Nanoröhren-Schicht, die an einen BAW-Resonator gekoppelt ist, und Verfahren zur Detektion von Wasser in einem Fluid unter Verwendung des Feuchtigkeitssensors
DE102007047156A1 (de) * 2007-10-02 2009-04-23 Siemens Ag Feuchtigkeitssensor mit hygroskopischer Keramikschicht und Verfahren zur Detektion von Wasser in einem Fluid unter Verwendung des Feuchtigkeitssensors
DE102007047155A1 (de) * 2007-10-02 2009-04-30 Siemens Ag Feuchtigkeitssensor mit hygroskopischer Keramikschicht, die an einen BAW-Resonator gekoppelt ist, und Verfahren zur Detektion von Wasser in einem Fluid unter Verwendung des Feuchtigkeitssensors
DE102011076193A1 (de) * 2010-10-01 2012-04-05 Siemens Aktiengesellschaft Bestimmen einer Materialeigenschaft einer Dünnschicht eines Materials
DE102015225470A1 (de) * 2015-12-16 2017-06-22 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zur Detektion und Substanzdetektor
DE102016205293A1 (de) * 2016-03-31 2017-10-05 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zur Detektion zumindest einer Substanz und Substanzdetektor
CN112834570B (zh) * 2020-12-30 2023-09-22 中国航空工业集团公司金城南京机电液压工程研究中心 一种基于自激式压电元件的气液两相检测装置及方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5686779A (en) * 1995-03-01 1997-11-11 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army High sensitivity temperature sensor and sensor array
US5744902A (en) * 1995-05-16 1998-04-28 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Chemical and biological sensor based on microresonators
WO2003012988A2 (de) * 2001-07-30 2003-02-13 Infineon Technologies Ag Piezoelektrische resonatorvorrichtung mit akustischem reflektor
US6955787B1 (en) * 2003-10-11 2005-10-18 William Paynter Hanson Integrated biological and chemical sensors

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6668618B2 (en) * 2001-04-23 2003-12-30 Agilent Technologies, Inc. Systems and methods of monitoring thin film deposition
US7468608B2 (en) * 2002-07-19 2008-12-23 Siemens Aktiengesellschaft Device and method for detecting a substance of a liquid

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5686779A (en) * 1995-03-01 1997-11-11 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army High sensitivity temperature sensor and sensor array
US5744902A (en) * 1995-05-16 1998-04-28 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Chemical and biological sensor based on microresonators
WO2003012988A2 (de) * 2001-07-30 2003-02-13 Infineon Technologies Ag Piezoelektrische resonatorvorrichtung mit akustischem reflektor
US6955787B1 (en) * 2003-10-11 2005-10-18 William Paynter Hanson Integrated biological and chemical sensors

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JOHN R VIG ET AL: "Chemical Sensor Based on Quartz Microresonators", JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, IEEE SERVICE CENTER, PISCATAWAY, NJ, US, vol. 5, no. 2, June 1996 (1996-06-01), pages 139 - 140, XP011034707, ISSN: 1057-7157 *

Also Published As

Publication number Publication date
DE102006004449A1 (de) 2007-08-09
WO2007087936A2 (de) 2007-08-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2007087936A3 (de) Vorrichtung und verfahren zur detektion einer substanz in einer flüssigkeit
CA2759896C (en) Fluid density measurement device
WO2007021663A3 (en) Method and system for monitoring structural damage
US8695405B2 (en) Bearing, arrangement for determining properties of a lubricant in a bearing and method for determining properties of a lubricant in a bearing
WO2008077574A3 (de) Verfahren zum betrieb eines messgerätes vom vibrationstyp sowie messgerät vom vibrationstyp selbst
JP5140724B2 (ja) 水晶振動子及びこれを使用した測定方法
US10267702B2 (en) Force sensor with compensation
WO2009056270A3 (de) Verfahren zum betreiben einer dichtemessvorrichtung und vorrichtung zur dichtemessung
WO2008040305A3 (de) Identifikation einer probe in einem behälter, z.b. im check-in bereich bei der reisegastabfertigung, durch bestimmung der resonanzfrequenz und der güte eines dielektrischen resonators, an dem der behälter angeordnet wird
ATE487132T1 (de) Vorrichtung mit piezoakustischem resonatorelement und deren verwendung zur ausgabe eines signals in abhängigkeit einer resonanzfrequenz
EP1508802A3 (de) Vorrichtung und Methode zur Bestimmung der Masse einer zu bestimmenden Substanz, enthaltend ein vibrierendes Element mit einem Adsorptionsfilm
WO2008110746A3 (en) Measuring apparatus
Yenuganti et al. Quartz crystal microbalance for viscosity measurement with temperature self-compensation
FR2808880A1 (fr) Procede et appareil de mesure de la viscosite et de la viscoelasticite d'un liquide
ATE439583T1 (de) Zweifrequenz-messmethode für einen oberflächenwellensensor, sowie oberflächenwellensensor und biosensor mit mittel zur durchmischung der analyseflüssigkeit
US20090064766A1 (en) Method and device for measuring the viscosity of non-newtonian liquids, in particular engine operating materials
JP2004521359A (ja) 粘度センサの信号を評価する装置
JP4646813B2 (ja) バイオセンサ計測システム、粘性率測定方法、および微量質量測定方法
US20150153208A1 (en) Thermal, flow measuring device and method for operating a thermal, flow measuring device
US9140668B2 (en) Device and method for detecting at least one substance
Shiraishi et al. Development of PMMA-based gas sensor and its evaluation using a VOC dilution flow system
ATE384260T1 (de) Erfassen eines umwelteinflusses durch änderung der leitfähigkeit der sensorschicht eines piezoelektrischen sensors
US9032797B2 (en) Sensor device and method
EP2241880A3 (de) Quarzsensor und Abtastvorrichtung
FR2863701B1 (fr) Procede de compensation d'une anisotropie dans un capteur de rotation inertiel a cloche vibrante

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 06841421

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2