TWM513272U - 壓電泵 - Google Patents

Description

壓電泵

本新型是有關於一種壓電泵，且特別是有關於一種能夠抑制逆流且提升供輸效率的壓電泵。

壓電泵是一種新型的流體驅動器，其無需附加驅動電機，僅透過電陶瓷的逆壓電效應便能使壓電振子產生變形，再依據前述變形產生泵腔的容積變化以實現流體輸出，或者透過壓電振子產生波動來傳輸流體，因此壓電泵已逐漸取代傳統泵而廣泛地應用於電子、生醫、航太、汽車以及石化等產業。

一般來說，壓電泵是由壓電振子以及泵體所組成，其中當通電至壓電振子時，壓電振子會在電場作用下徑向壓縮，並於其內部產生拉應力而彎曲變形。當壓電振子正向彎曲時，泵體的腔室(以下稱泵腔)的容積便會增大，使得泵腔內的壓力減小，以令流體自入口流入泵腔。另一方面，當壓電振子向反向彎曲時，泵腔的容積減小，使得泵腔內的壓力增大，以令泵腔內的流體被擠壓而自出口排出。因此，如何在壓電振子的作動下使流體保持自入口流入泵腔，再從泵腔自出口排出的流動，而不會發生逆流的 狀況，便成為當前亟待解決的問題之一。

本新型提供一種壓電泵，其可抑制流體逆流以提高流體輸出效率。

本新型的一種壓電泵，包括一壓電元件、一振動片、一閥件及一導流件。振動片包括一中央區、一周圍區、一第一凹槽、一擋止部、至少一限位壁及至少一貫槽。中央區對應於壓電元件，振動片以中央區貼附於壓電元件。周圍區環繞中央區。第一凹槽凹陷於中央區的遠離壓電元件的表面。擋止部與限位壁凸出於第一凹槽，貫槽位在中央區與周圍區之間且連通於第一凹槽。閥件貼附於振動片的周圍區的遠離壓電元件的表面，且包括至少一非直線形穿槽。振動片的擋止部在閥件上的投影籠罩非直線形穿槽。導流件貼附於閥件的遠離振動片的表面，且包括一第二凹槽、至少一流道及至少一貫孔。第二凹槽與流道凹陷於導流件的朝向閥件的表面。流道連通於第二凹槽與貫孔，第二凹槽在閥件所在的平面上的投影籠罩非直線形穿槽。當壓電元件被一特定頻率的驅動電壓驅動時，振動片與閥件對應地共振，而使得振動片的中央區與閥件對應於中央區的區域具有最大的振幅。

在本新型的一實施例中，上述的壓電元件包括一穿孔，振動片包括一第三凹槽，第三凹槽凹陷於中央區的靠近壓電元件的表面上且對應於穿孔的位置。

在本新型的一實施例中，上述的振動片包括多個臂部，分別連接於中央區與周圍區，這些臂部以一直線或是一弧線的形式延伸。

在本新型的一實施例中，上述的閥件包括多個貫穿溝，導流件包括多個溝漕，貫穿溝與溝漕的位置分別對應於臂部的位置，以供臂部伸入。

在本新型的一實施例中，上述的閥件包括一第四凹槽，第四凹槽凹陷於閥件朝向導流件的表面，且第四凹槽對應於第二凹槽。

在本新型的一實施例中，上述的流道的口徑從貫孔至第二凹槽呈現出漸縮的趨勢。

在本新型的一實施例中，上述的振動片包括多個限位壁，這些限位壁圍繞擋止部，各限位壁投影在閥件上的形狀包括弧形、長條形、圓形、正方形、環形或是不規則形，或者，振動片包括一個限位壁，限位壁的形狀是環形且圍繞擋止部。

在本新型的一實施例中，上述的擋止部投影在閥件上的形狀包括圓形、橢圓形、多邊形或是不規則形。

在本新型的一實施例中，上述的各非直線形穿槽的形狀包括弧形、U形、多邊形的一部分或是不規則形。

基於上述，本新型的壓電泵的壓電元件在通電之後會上下移動，除了直接帶動振動片之外，壓電元件被輸入特定頻率的驅動電壓，可以使振動片與閥件發生了振動片的中央區與閥件對 應於中央區的區域能夠有最大的振幅的共振模態，而加大振動片與閥件的振動幅度，更能帶動流體通過。詳細地說，當壓電元件往遠離導流件的方向移動時，振動片的中央區遠離於閥片，擋止部與限位壁會與閥件拉開一小段距離，而使得流體從導流件的貫孔、流道、第二凹槽、非直線形穿槽被引導至閥件與振動片的第一凹槽之間的空間。非直線形穿槽的設計可使得流體在通過非直線形穿槽時，非直線形穿槽會因共振振動張開而增加開口大小，因而降低流阻並提升通氣率。當壓電元件回位並往靠近導流件的方向移動時，位在閥件與振動片的第一凹槽之間的流體會從振動片的貫槽中被擠出，且振動片的中央區朝向閥片靠近，非直線型穿槽會因共振振動而恢復平面的狹縫狀態，非直線型穿槽的開口變小，因而流阻增加，再者，凸出於第一凹槽的擋止部會抵靠在閥件上，遮蔽非直線形穿槽，流體便不易從非直線形穿槽流到導流件的第二凹槽。換句話說，此時閥片與導流件之間的流路的流阻漸增而暫時地關閉，以達到抑制流體發生逆流的狀況。此外，振動片在朝向閥件的表面設有限位壁可限制振動片在往閥件的方向移動的幅度，也就是說，振動片往遠離閥片方向移動的幅度會大於靠近閥片方向移動的幅度，而使得流體以單一方向從導流件的貫孔進入壓電泵，經過流道、第二凹槽、非直線形穿槽、第一凹槽而從貫槽離開壓電泵。

為讓本新型的上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。

100‧‧‧壓電泵

110‧‧‧壓電元件

112‧‧‧穿孔

120‧‧‧振動片

121、121a~121c‧‧‧中央區

122、122a~122c‧‧‧周圍區

123‧‧‧第一凹槽

124、124a、124b‧‧‧擋止部

125、125a、125b、125c‧‧‧限位壁

126‧‧‧貫槽

127‧‧‧第三凹槽

128、128a~128c‧‧‧臂部

130、130a、130g‧‧‧閥件

132、132a~132h‧‧‧非直線形穿槽

134‧‧‧貫穿溝

136a‧‧‧第四凹槽

140、140a‧‧‧導流件

142、142a‧‧‧第二凹槽

144‧‧‧流道

146‧‧‧貫孔

148‧‧‧溝漕

150‧‧‧第一黏著層

160‧‧‧第二黏著層

圖1是依照本新型的一實施例的一種壓電泵的爆炸示意圖。

圖2是圖1的另一視角的示意圖。

圖3是圖1的壓電泵在組合後的剖面示意圖。

圖4是圖3的局部放大示意圖。

圖5是依照本新型的另一實施例的一種壓電泵的局部剖面示意圖。

圖6至圖8是圖1的壓電泵在作動時的剖面示意圖。

圖9A至圖9H是本新型的其他實施例的多種壓電泵的閥片的局部示意圖。

圖10A至圖10C是本新型的其他實施例的多種壓電泵的振動片的臂部的局部示意圖。

圖11A至圖11C是本新型的其他實施例的多種壓電泵的振動片的限位壁的局部示意圖。

圖12A至圖12B是本新型的其他實施例的多種壓電泵的振動片的擋止部的局部示意圖。

圖13是習知的壓電泵與圖1的壓電泵的流率比較示意圖。

圖1是依照本新型的一實施例的一種壓電泵的爆炸示意 圖。圖2是圖1的另一視角的示意圖。圖3是圖1的壓電泵在組合後的剖面示意圖。圖4是圖3的局部放大示意圖。請參閱圖1至圖4，本實施例的壓電泵100包括一壓電元件110、一振動片120、一閥件130及一導流件140。

在本實施例中，壓電元件110的外輪廓形狀為圓形且呈現片狀，壓電元件110包括一穿孔12，位在壓電元件110的中央。當然，在其它實施例中，壓電元件110的外輪廓可為圓形、橢圓形、三角形、方形、六角形或是其他多邊形等，壓電元件110的形狀並不以此為限制。

振動片120包括一中央區121、一周圍區122、一第一凹槽123(標示於圖2)、一擋止部124(標示於圖2)、至少一限位壁125(標示於圖2)、至少一貫槽126、一第三凹槽127及多個臂部128。在本實施例中，振動片120的材質可包括銅、不鏽鋼或其他適當的金屬或合金，具有可撓曲的特性，但振動片120的材質不以此為限制。

中央區121為振動片120上對應於壓電元件110的區域，振動片120以中央區121貼附於壓電元件110。周圍區122環繞中央區121。如圖2所示，第一凹槽123凹陷於中央區121的遠離壓電元件110的表面，也就是圖面上的下表面。

如圖2所示，擋止部124與限位壁125凸出於第一凹槽123。在本實施例中，振動片120包括四個限位壁125，限位壁125呈弧形且圍繞擋止部124。在本實施例中，擋止部124、限位壁125 與周圍區122位在相同的平面上，但在其他實施例中，擋止部124與限位壁125也可以略低或是略高於周圍區122所在的平面。

在本實施例中，振動片120包括多個貫槽126，貫槽126呈弧形而環繞中央區121，各貫槽126位在中央區121與周圍區122之間且連通於第一凹槽123。

在本實施例中，這些臂部128呈弧形而環繞中央區121。這些臂部128分別連接於中央區121與周圍區122，更明確地說，臂部128的兩端連接於中央區121，且壁部128的中間連接於周圍區122。

請回到圖1，第三凹槽127凹陷於中央區121的靠近壓電元件110的表面上且對應於穿孔112的位置。振動片120透過中央區121具有第三凹槽127的設計，而降低中央區121的厚度，如此一來，其後在進行上下振動時，中央區121可以具有比較大的擺動幅度。當然，在其他實施例中，振動片120也可以省略第三凹槽127的設計。

閥件130貼附於振動片120的周圍區122的遠離壓電元件110的表面(振動片120的下表面)，也就是說，振動片120會配置於壓電元件110與閥件130之間。閥件130包括位在中央的至少一非直線形穿槽132及環繞於非直線形穿槽132的多個貫穿溝134。在本實施例中，振動片120的擋止部124在閥件130上的投影籠罩非直線形穿槽132，也就是說，非直線形穿槽132的位置對應於擋止部124的位置。此外，貫穿溝134的位置對應於振動 片120的臂部128，用以提供空間給臂部128，以使臂部128在振動時能夠穿入貫穿槽134而具有較大的振動幅度。閥件130的材質可包括銅、不鏽鋼或其他適當的金屬或合金，其具可撓性，但閥片130的材質並不以此為限制。

當然，閥件130的設計並不以此為限制。圖5是依照本新型的另一實施例的一種壓電泵的局部剖面示意圖。請參閱圖5，在本實施例中，閥件130a還包括一第四凹槽136a，凹陷於閥件130a朝向導流件140a的表面，且第四凹槽136a對應於第二凹槽142a。第四凹槽136a是用來降低閥件130a的中間部分的厚度，此設計可使得閥件130a與壓電元件110之間產生共振時，較薄的中間部分可以具有比較大的擺動幅度。

請回到圖1，導流件140貼附於閥件130的遠離振動片120的表面(閥件130的下表面)，換句話說，閥件130配置於振動片120與導流件140之間。導流件140包括一第二凹槽142、至少一流道144、至少一貫孔146及多個溝漕148。第二凹槽142凹陷於導流件140的朝向閥件130的表面(導流件140的上表面)，第二凹槽142在閥件130所在的平面上的投影籠罩非直線形穿槽132。

流道144凹陷於導流件140的上表面，且流道144連通於第二凹槽142與貫孔146。在本實施例中，導流件140包括四個流道144與四個貫孔146，但導流件140的流道144與貫孔146的數量並不以此為限制。這些流道144以第二凹槽142為中心呈 現放射狀，且流道144的口徑從貫孔146至第二凹槽142呈現出漸縮的趨勢，而使得流經流道144的流體容易流入第二凹槽142且難以流出貫孔146的單向抑制設計，以達到控制流體在流道144內的流向的功能。

溝漕148的位置對應於臂部128的位置，與閥件130的貫穿溝134相似地，溝槽148可用來供臂部128伸入，而使臂部128能夠具有更大的振動幅度。此外，在本實施例中，導流件140的材質可包括銅、不鏽鋼或其他適當的金屬或合金，但導流件140的材質並不以此為限制。

下面將進一步地解釋壓電泵100在作動時壓電元件110、振動片120、閥件130、導流件140之間的相對位置。圖6至圖8是圖1的壓電泵在作動時的剖面示意圖。需說明的是，為了方便觀看流體在壓電泵100內的流動路徑，特意加厚位於振動片120與閥件130之間的一第一黏著層150以及閥件130與導流件140之間的一第二黏著層160。並且，圖7與圖6分別是圖1的壓電泵100在向下與向上的變形量最大時的示意圖。

首先，請先參閱圖6，在圖6中，壓電泵100位在初始位置，此時，壓電元件110、振動片120、閥件130、導流件140呈現尚未彎曲的水平狀態。當壓電泵100開始作動時，可藉由電路控制而使壓電元件110移動，連帶地帶動振動片120移動。除了壓電元件110直接帶動振動片120之外，在本實施例中，壓電泵100的振動片120與閥件130還能夠與壓電元件110共振，因此， 壓電元件110只要以特定頻率小電場的驅動便能夠使振動片120與閥件130產生大幅度的振動。此共振可使得振動片120與閥件130之間的空間具有更大的變化性。相對於振動片120與閥件130沒有共振的狀況，壓電泵100的振動片120與閥件130受壓電元件110共振的影響，可增加20%以上的振幅，而增加了壓電泵100的作動效益。

更詳細地說，在操作此壓電泵100時，透過對壓電元件110提供一特定頻率的驅動電壓來驅動壓電元件110(例如在壓電片110的直徑約是8公厘至22公厘之間的尺寸時，施以20kHz至30kHz的驅動電壓)，振動片120的中央區121除了被壓電元件110帶動而往遠離導流件140的方向(也就是圖面上的上方)移動之外，振動片120也會對應壓電元件110的振動頻率而產生共振，因此，振動片120會產生更大的振動幅度。閥片130也會對應壓電元件110的振動頻率而產生共振。由於閥片130是黏附到導流件140在第二凹槽142以外的區域，閥片130在未黏著到導流件140的部位會受到共振而上下振動。在本實施例中，振動片120與閥件130的共振模態是可以使得振動片120的中央區121與閥件130對應於中央區121的區域產生最大的振幅，而使壓電元件110從圖6的狀態改變成圖7的狀態。

在圖7中，振動片120上移，閥片130受到共振的影響而對應地下移，使得振動片120的中央區121遠離於閥片130，振動片120的第一凹槽123與閥片130之間的空間變大，壓力因此 變小，而使得外界流體從導流件140的貫孔146、流道144、第二凹槽142、非直線形穿槽132被引導至閥件130與振動片120的第一凹槽123之間的空間。

接著，振動片120下移逐漸回到如圖6的位置。再來，振動片120持續下移，而呈現出如圖8所示的下凹形式。在圖7逐漸振動至圖6與圖8的過程中，由於振動片120的第一凹槽123與閥片130之間的空間逐漸變小，而使得此空間內的壓力變大，原本位在振動片120的第一凹槽123與閥片130之間的流體就會被擠壓而往振動片120的貫槽126移動而流出於壓電泵100。

在圖8中可見，在振動片120呈現下凹時，位在振動片120的下表面的擋止部124會抵靠在閥件130上，遮蔽非直線形穿槽132，原本位在振動片120的第一凹槽123與閥片130之間的流體便不能從非直線形穿槽132流到導流件140的第二凹槽142。換句話說，此時閥片130與導流件140之間的流路暫時地關閉，以抑制流體發生逆流的狀況。

值得一提的是，在本實施例中，當振動片120位在圖8的狀態時，位在振動片120的下表面的限位壁125會接觸到閥件130，被閥件130侷限而不能夠繼續向下。也就是說，壓電泵100藉由在振動片120的朝向閥件130的表面設有限位壁125可限制振動片120在往閥件130的方向移動的幅度，而使得振動片120在上下振動的過程中，振動片120往遠離閥片130方向移動的幅度(也就是如圖7中向上凸出的幅度)會大於靠近閥片130方向 移動的幅度(也就是如圖8中向下凹的幅度)。此設計可使得流體較傾向從導流件140的貫孔146，沿著流道144、第二凹槽142、非直線形穿槽132被吸入於振動片120的第一凹槽123與閥片130之間的空間，而使流體沿單一方向流動。

另外，由於閥件130的非直線形穿槽132是呈現弧形等非直線或是非圓形的設計，當流體在通過非直線形穿槽132時，閥件130在非直線形穿槽旁132的部位(也就是閥件130上呈現出類似於舌片的部位)會張開而增加通氣開口大小。換句話說，流體在通過閥件130的面積會大於非直線形穿槽132本身的面積，而使流體能夠更順暢地通過閥件130。

藉由上述的配置，當振動片120上移時，流體可以快速地進入振動片120的第一凹槽123與閥片130之間的空間；當振動片120下移時，擋止部124抵住閥片130的非直線形穿槽132，而使流體不會向下回流。換句話說，經壓電元件110往覆地帶動振動片120上下振動(重複圖6、圖7、圖6、圖8的位置)，且振動片120與閥件對應地共振，可使得流體高效率地以單一方向從導流件140的貫孔146進入壓電泵100，經過流道144、第二凹槽142、非直線形穿槽132、第一凹槽123而從貫槽126離開壓電泵100。

需說明的是，雖然在上面的實施例中，閥片130的非直線形穿槽132只有一個且呈現弧形，但閥片130的非直線形穿槽132的數量與形狀並不以此為限制。圖9A至圖9H是本新型的其 他實施例的多種壓電泵的閥片的局部示意圖。請先參閱圖9A與圖9B，非直線形穿槽132a、132b由多條直線所構成，也就是說，非直線形穿槽132a、132b的形狀為多邊形的一部分。例如在圖9A中，非直線形穿槽132a由兩條連接的直線所形成，在圖9B中，非直線形穿槽132b由三條兩兩連接的直線所形成。當然，非直線形穿槽132a、132b並不僅限於是由兩條或是三條線段連接所形成的。

在圖9C與圖9D中，非直線形穿槽132c、132d的數量為多個，更明確地說，非直線形穿槽132c、132d的數量分別為兩個與四個。圖9E、圖9F與圖9C、圖9D的差異在於非直線形穿槽132e、132f的弧形的方向。圖9E與圖9F的非直線形穿槽132e、132f的弧形方向相反於圖9C與圖9D的非直線形穿槽132c、132d的弧形方向。在圖9G中，非直線形穿槽132g的形狀是U形，而使得非直線形穿槽132g所圍繞的閥片130g的區域類似於舌片的形狀。圖9H與圖9G的差異在於，各非直線形穿槽132h的形狀是U形的其中一部分。當然，上面僅是舉出其中一部分的非直線形穿槽132a~132h的形狀，非直線形穿槽的形狀也可以是不規則的形狀或是上面這些形狀的組合，並不以圖示為限制。

此外，在前述的實施例中，臂部128呈弧形而環繞中央區121，臂部128的兩端連接於中央區121，且壁部128的中間連接於周圍區122，但臂部128的形式並不以此為限制。此處提供其他種類的振動片的臂部的形式以供參考。圖10A至圖10C是本新 型的其他實施例的多種壓電泵的振動片的臂部的局部示意圖。請參閱圖10A，臂部128a位在中央區121a外且以放射狀的形式而直線延伸，臂部128a的一端連接於中央區121a，另一端連接於周圍區122a。在圖10B中，臂部128b呈弧形而環繞中央區121b，臂部128b的一端連接於中央區121b，另一端連接於周圍區122b。在圖10C中，一部分的臂部128c如同圖1的臂部128，臂部128c呈弧形而環繞中央區121c，臂部128c的兩端連接於中央區121c，且壁部128c的中間連接於周圍區122c。另一部分的臂部128c如同圖10A的臂部128a，臂部128c位在中央區121c外且以放射狀的形式而直線延伸，臂部128c的一端連接於中央區121c，另一端連接於周圍區122c。當然，上面僅是舉出其中一部分的臂部128a~128c的形狀，臂部的形狀也可以是不規則的形狀或是上面這些形狀的組合，並不以圖示為限制。

在前述的實施例中，振動片120包括四個限位壁125，限位壁125呈弧形，但限位壁125的數量與形式並不以此為限制。此處提供其他種類的限位壁的形式以供參考。圖11A至圖11C是本新型的其他實施例的多種壓電泵的振動片的限位壁的局部示意圖。在圖11A中，限位壁125a的形狀為長條形，在圖11B中，限位壁125b的形狀為圓形。在圖11C中，限位壁125c的數量只有一個且形狀為圓環形，但在其他實施例中，也可以是多個不同直徑的環狀限位壁125c。或者，在其他實施例中，限位壁的形狀也可以是正方形或是不規則形，並不以圖面為限制。

在前述的實施例中，擋止部124投影在閥件120上的形狀為圓形，但擋止部124的形狀並不以此為限制。圖12A至圖12B是本新型的其他實施例的多種壓電泵的振動片的擋止部的局部示意圖。在圖12A中，擋止部124a的形狀為四邊形，在圖12B中，擋止部124b的形狀為六邊形。當然，在其他實施例中，擋止部的形狀也可以是橢圓形、其他的多邊形或是不規則形，並不以圖面為限制。

圖13是習知的壓電泵與圖1的壓電泵的流率比較示意圖。請參閱圖13，習知的壓電泵每分鐘可以輸出的流體的流量約是160毫升，本實施例的壓電泵每分鐘可以輸出的流量約是230毫升，也就是說，相較於習知的壓電泵，本實施例的壓電泵在流量上可以有每分鐘70毫升的增益，成長了接近四成的比率。

綜上所述，本新型的壓電泵的壓電元件在通電之後會上下移動，除了直接帶動振動片之外，壓電元件被輸入特定頻率的驅動電壓，可以使振動片與閥件發生了振動片的中央區與閥件對應於中央區的區域能夠有最大的振幅的共振模態，而加大振動片與閥件的振動幅度，更能帶動流體通過。詳細地說，當壓電元件往遠離導流件的方向移動時，振動片的中央區遠離於閥片，擋止部與限位壁會與閥件拉開一小段距離，而使得流體從導流件的貫孔、流道、第二凹槽、非直線形穿槽被引導至閥件與振動片的第一凹槽之間的空間。非直線形穿槽的設計可使得流體在通過非直線形穿槽時，非直線形穿槽會因共振振動張開而增加開口大小， 因而降低流阻並提升通氣率開口。當壓電元件回位並往靠近導流件的方向移動時，位在閥件與振動片的第一凹槽之間的流體會從振動片的貫槽中被擠出，且振動片的中央區朝向閥片靠近，非直線型穿槽會因共振振動而恢復平面的狹縫狀態，非直線型穿槽的開口變小，因而流阻增加，再者，凸出於第一凹槽的擋止部會抵靠在閥件上，遮蔽非直線形穿槽，流體便不易從非直線形穿槽流到導流件的第二凹槽。換句話說，此時閥片與導流件之間的流路的流阻漸增而暫時地關閉，以達到抑制流體發生逆流的狀況。此外，振動片在朝向閥件的表面設有限位壁可限制振動片在往閥件的方向移動的幅度，也就是說，振動片往遠離閥片方向移動的幅度會大於靠近閥片方向移動的幅度，而使得流體以單一方向從導流件的貫孔進入壓電泵，經過流道、第二凹槽、非直線形穿槽、第一凹槽而從貫槽離開壓電泵。

雖然本新型已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本新型，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本新型的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，故本新型的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。

100‧‧‧壓電泵

110‧‧‧壓電元件

112‧‧‧穿孔

120‧‧‧振動片

121‧‧‧中央區

122‧‧‧周圍區

126‧‧‧貫槽

127‧‧‧第三凹槽

128‧‧‧臂部

130‧‧‧閥件

132‧‧‧非直線形穿槽

134‧‧‧貫穿溝

140‧‧‧導流件

142‧‧‧第二凹槽

144‧‧‧流道

148‧‧‧溝漕

Claims (9)

1. 一種壓電泵，包括：一壓電元件；一振動片，包括一中央區、一周圍區、一第一凹槽、一擋止部、至少一限位壁及至少一貫槽，其中該中央區對應於該壓電元件，該振動片以該中央區貼附於該壓電元件，該周圍區環繞該中央區，該第一凹槽凹陷於該中央區的遠離該壓電元件的表面，該擋止部與該至少一限位壁凸出於該第一凹槽，該至少一貫槽位在該中央區與該周圍區之間且連通於該第一凹槽；一閥件，貼附於該振動片的該周圍區的遠離該壓電元件的表面，且包括至少一非直線形穿槽，其中該振動片的該擋止部在該閥件上的投影籠罩該至少一非直線形穿槽；以及一導流件，貼附於該閥件的遠離該振動片的表面，且包括一第二凹槽、至少一流道及至少一貫孔，其中該第二凹槽與該至少一流道凹陷於該導流件的朝向該閥件的表面，該至少一流道連通於該第二凹槽與該至少一貫孔，該第二凹槽在該閥件所在的平面上的投影籠罩該至少一非直線形穿槽，當該壓電元件被一特定頻率的驅動電壓驅動時，該振動片與該閥件對應地共振，而使得該振動片的該中央區與該閥件對應於該中央區的區域具有最大的振幅。
2. 如申請專利範圍第1項所述的壓電泵，其中該壓電元件包括一穿孔，該振動片包括一第三凹槽，該第三凹槽凹陷於該中央區的靠近該壓電元件的表面上且對應於該穿孔的位置。
3. 如申請專利範圍第1項所述的壓電泵，其中該振動片包括多個臂部，分別連接於該中央區與該周圍區，該些臂部以一直線或是一弧線的形式延伸。
4. 如申請專利範圍第3項所述的壓電泵，其中該閥件包括多個貫穿溝，該導流件包括多個溝漕，該些貫穿溝與該些溝漕的位置分別對應於該些臂部的位置，以供該些臂部伸入。
5. 如申請專利範圍第1項所述的壓電泵，其中該閥件包括一第四凹槽，該第四凹槽凹陷於該閥件朝向該導流件的表面，且該第四凹槽對應於該第二凹槽。
6. 如申請專利範圍第1項所述的壓電泵，其中該至少一流道的口徑從該貫孔至該第二凹槽呈現出漸縮的趨勢。
7. 如申請專利範圍第1項所述的壓電泵，其中該振動片包括多個該限位壁，該些限位壁圍繞該擋止部，各該限位壁投影在該閥件上的形狀包括弧形、長條形、圓形、正方形、環形或是不規則形，或者，該振動片包括一個該限位壁，該限位壁的形狀是環形且圍繞該擋止部。
8. 如申請專利範圍第1項所述的壓電泵，其中該擋止部投影在該閥件上的形狀包括圓形、橢圓形、多邊形或是不規則形。
9. 如申請專利範圍第1項所述的壓電泵，其中各該非直線形穿槽的形狀包括弧形、U形、多邊形的一部分或是不規則形。