TWI796673B - 微流體裝置 - Google Patents
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Abstract
本揭露提供了一種微流體裝置，包含底板、介電潤濕晶片、電路板、介電薄膜以及馬達。介電潤濕晶片設置於底板上，電路板設置在介電潤濕晶片上，電路板包含電路區電性連接介電潤濕晶片，以及簍空區相鄰於電路區，且露出介電潤濕晶片。介電薄膜設置於電路板的簍空區上，並覆蓋露出的介電潤濕晶片。馬達設置於底板下方，馬達的一端具有磁性結構，使磁性結構可移動地靠近或遠離底板。
Description
本揭露是有關於一種微流體裝置。
為了製作微小卻擁有多項功能元件的整合系統，微機電系統(Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS)甚至是奈米機電系統(Nano-Electro-Mechanical Systems, NEMS)技術的發展，也應用在生醫檢測上。微型全分析系統(Micro-Total Analysis Systems, μ-TAS)的概念與實驗室晶片(lab-on-a-chip, LOC)挑戰現有大型的檢測系統，將各種功能性的系統包括進樣、混合、反應、偵測等整合於同一晶片上。
然而，目前的晶片開發成本昂貴，不利於普及。因此，如何開發低成本的可拋棄式晶片，現有技術實有待改善的必要。
本揭露之一實施方式的目的在於提供一種微流體裝置，其中介電潤濕晶片為低成本的可拋棄式晶片。
本揭露之一實施方式提供了一種微流體裝置，包含底板、介電潤濕晶片、電路板、介電薄膜以及馬達。介電潤濕晶片設置於底板上，電路板設置在介電潤濕晶片上，電路板包含電路區電性連接介電潤濕晶片，以及簍空區相鄰於電路區，且露出介電潤濕晶片。介電薄膜設置於電路板的簍空區上，並覆蓋露出的介電潤濕晶片。馬達設置於底板下方，馬達的一端具有磁性結構，使磁性結構可移動地靠近或遠離底板。
在一些實施方式中，介電潤濕晶片包含紙基晶片。
在一些實施方式中，介電潤濕晶片上包含晶片基板以及導電層，導電層設置於晶片基板上，導電層具有複數電極線。
在一些實施方式中，各電極線的一端為電極單元。
在一些實施方式中，各電極單元的圖形呈指叉式圖形。
在一些實施方式中，這些電極線的材質包含奈米銀。
在一些實施方式中，介電薄膜的材質包含鐵氟龍、石臘膜或其組合。
在一些實施方式中，電路區圍繞簍空區。
在一些實施方式中，電路區圍繞簍空區，電路區鄰近簍空區的區域設有複數引腳，這些引腳電性連接介電潤濕晶片的導電層。
在一些實施方式中，微流體裝置更包含複數磁鐵，這些磁鐵的一部分位於電路板的這些引腳之上，這些磁鐵的另一部分位於介電潤濕晶片之下以磁性吸附，使這些引腳緊密貼合導電層。
在一些實施方式中，微流體裝置更包含疏水層，設置於介電薄膜上。
在一些實施方式中，疏水層的材質包含矽油。
在一些實施方式中，底板具有孔洞，孔洞位置對應簍空區。
在一些實施方式中，微流體裝置更包含支撐片設置於介電潤濕晶片與底板之間。
在一些實施方式中，馬達為伺服馬達。
為使本揭露的敘述更加詳盡與完備，下文針對本發明的實施態樣與具體實施例提出說明性的描述，但這並非實施或運用本發明具體實施例的唯一形式。以下所揭露的各實施例，在有益的情形下可相互組合或取代，也可在一實施例中附加其他的實施例，而無須進一步的記載或說明。在以下描述中，將詳細敘述許多特定細節，以使讀者能夠充分理解以下的實施例。然而，亦可在無此等特定細節之情況下實踐本發明之實施例。
另外，空間相對用語，如「下」、「上」等，是用以方便描述一元件或特徵與其他元件或特徵在圖式中的相對關係。這些空間相對用語旨在包含除了圖式中所示之方位以外，裝置在使用或操作時的不同方位。裝置可被另外定位（例如旋轉90度或其他方位），而本文所使用的空間相對敘述亦可相對應地進行解釋。
於本文中，除非內文中對於冠詞有所特別限定，否則『一』與『該』可泛指單一個或多個。將進一步理解的是，本文中所使用之『包含』、『包括』、『具有』及相似詞彙，指明其所記載的特徵、區域、整數、步驟、操作、元件與/或組件，但不排除其所述或額外的其一個或多個其它特徵、區域、整數、步驟、操作、元件、組件，與/或其中之群組。
以下列舉數個實施例及實驗例以更詳盡闡述本發明之微流體裝置，然其僅為例示說明之用，並非用以限定本發明，本發明之保護範圍當以後附之申請專利範圍所界定者為準。
請參閱第1圖及第2圖所示，第1圖繪示本揭露之一些實施方式之微流體裝置的立體示意圖，第2圖繪示本揭露之一實施方式之微流體裝置的立體分解圖。本揭露之一實施方式提供一種微流體裝置100，包括底板110、介電潤濕晶片120、電路板130、介電薄膜140、疏水層150、馬達160、以及複數磁鐵170。
底板110包括孔洞111以及複數個穿孔112。在一些實施例中，孔洞111設置於底板110的中央。在一些實施例中，這些穿孔112設置在孔洞111的周圍。在一實施例中，這些穿孔112的數量為四個，各穿孔112呈長方形狀，並依序圍繞在孔洞111周圍，且相鄰的兩個穿孔112彼此垂直排列；換言之，四個穿孔112在俯視下呈口字型排列。在一些實施例中，底板110的材質包括壓克力、聚碳酸酯、丙烯酸系物或其組合。
請同時參閱第3圖所示，第3圖繪示本揭露之一些實施方式之微流體裝置的俯視圖。介電潤濕晶片120設置於底板110上，介電潤濕晶片120包含紙基晶片。介電潤濕晶片120包括晶片基板121以及導電層122，導電層122設置於晶片基板121上。導電層122具有複數電極線123。各電極線123的一端為電極單元124。在一些實施方式中，這些電極線包括，但不限於氧化銦錫、銀、鋅、銅、金、鉑、鎢、鋁或上述金屬合金。在一些實施方式中，這些電極線為奈米銀，奈米銀的分散液或「墨水」可含有添加劑及黏合劑以控制黏度、腐蝕、黏著性及分散性。適宜添加劑及黏合劑之實例包含(但不限於)羧甲基纖維素(CMC)、2-羥乙基纖維素(HEC)、羥丙基甲基纖維素(HPMC)、甲基纖維素(MC)、聚乙烯醇(PVA)、三丙二醇(TPG)、及黃原膠(XG)；及表面活性劑，例如乙氧基化物、烷氧基化物、環氧乙烷及環氧丙烷及其共聚物、磺酸鹽、硫酸鹽、二磺酸鹽、磺基琥珀酸鹽、磷酸酯及含氟表面活性劑(例如，DuPont之Zonyl
®)。
請同時參閱第4圖所示，第4圖繪示本揭露之一些實施方式之電極單元的示意圖。在一些實施例中，各電極單元124的圖形呈指叉式圖形，例如卍字形指叉式圖形。為了獲得有效的介電潤濕晶片120制動，電極之間的間隙D與類方形電極的寬度W之比越小越好，因為液滴接觸角變化會隨D/W 比值減小而更容易變小，使液滴更容易制動。在一些實施例中，電極間隙D為0.1 mm至1 mm，例如：0.2 mm、0.3 mm、0.4 mm、0.5 mm、0.6 mm、0.7 mm、0.8 mm、0.9 mm、或此等值中任意兩者之間的任何值，其D/W 比約為1%至20%，例如：2%、3%、4%、5%、6%、7%、8%、9%、10%、11%、12%、13%、14%、15%、16%、17%、18%、19%、或此等值中任意兩者之間的任何值。
在一些實施例中，這些電極線123的材質包含奈米銀。在一些實施例中，紙基晶片印刷製程中，晶片基板包括但不限於光面標籤紙，以奈米銀作為導電墨水，電極圖形可以繪圖軟體設計後，以噴墨印表機印製。印製晶片出來之後，經燒結烘烤直到墨水乾燥後，即獲得拋棄式的紙基晶片。
電路板130設置在介電潤濕晶片120上，電路板130包括電路區131以及簍空區132。電路區131電性連接介電潤濕晶片120，在一些實施例中，電路區131圍繞簍空區132，電路區131鄰近簍空區132的區域設有複數引腳133，這些引腳133電性連接介電潤濕晶片120的導電層122。簍空區132相鄰於電路區131，且露出介電潤濕晶片120。底板110的孔洞111位置對應簍空區132。
介電薄膜140設置於電路板130的簍空區132上，並覆蓋露出的介電潤濕晶片120。介電薄膜的材質包括，但不限於鐵氟龍、石臘膜或其組合。在一些實施方式中，石臘膜進行多次拉伸，為求能均勻的拉伸蠟膜，在對向拉伸的情況下，同一面向的膜必須受力平均的進行拉扯。
疏水層150設置於介電薄膜140上。疏水層的材質包括，但不限於矽油。在一些實施方式中，為確保石蠟膜與導電層122之間能緊密貼附，將使用少量矽油(黏度350cSt；介電常數為2.2 至2.8)作為介質，擦拭在導電層122表面上藉以增加其密合性。
請同時參閱第5圖所示，第5圖繪示本揭露之一些實施方式之馬達作動的示意圖。馬達160設置於底板110下方，馬達160的一端具有磁性結構161，使磁性結構161可移動地靠近或遠離底板110。在一些實施例中，馬達160為伺服馬達，其上的轉軸具有與轉軸垂直的橫桿，橫桿的一端設有磁性結構161。本文中，「磁性結構」包括永久磁鐵與非永久磁鐵。永久磁鐵是指能夠長期保持其磁性的磁鐵，也就是日常生活所使用的一般磁鐵，如天然的磁石(磁鐵礦)和人造磁鐵(如鐵中加入鋁、鎳、鈷等合金元素的鋁鎳鈷合金)等。非永久磁鐵例如電磁鐵，是可以電流來產生磁力的裝置。在一些實施例中，磁性結構161為有效吸附磁性奈米顆粒，例如直徑6 mm與高6 mm的圓柱強力永久磁鐵。在一些實施例中，磁性結構161為電磁鐵，例如直徑6 mm與高6 mm的圓柱電磁鐵。
請在參閱回第2圖與第3圖，這些磁鐵170的一部分位於電路板130的這些引腳133之上，這些磁鐵170的另一部分位於介電潤濕晶片120之下以磁性吸附，使這些引腳133緊密貼合導電層122。在一些實施例中，這些磁鐵170的數量為八個，四個磁鐵170分別在電路板130的這些引腳133的四個區域上，另外四個磁鐵170分別位於四個穿孔112內。換言之，這四個穿孔112分別對應於這些引腳133的四個區域，上面四個磁鐵170與下面四個磁鐵170相對應磁性吸附，使這些引腳133緊密貼合導電層122。
在另一些實施方式中，請參閱第6圖所示，第6圖繪示本揭露之另一實施方式之微流體裝置的立體分解圖。微流體裝置100更包括支撐片180。支撐片180設置於介電潤濕晶片120與底板110之間，以穩定與支撐具軟性的介電潤濕晶片120的結構。在一些實施例中，支撐片180可選自硬質材質，包括，但不限於蓋玻片。
雖然下文中利用一系列的操作或步驟來說明在此揭露之方法，但是這些操作或步驟所示的順序不應被解釋為本發明的限制。例如，某些操作或步驟可以按不同順序進行及/或與其它步驟同時進行。此外，並非必須執行所有繪示的操作、步驟及/或特徵才能實現本發明的實施方式。此外，在此所述的每一個操作或步驟可以包含數個子步驟或動作。
本揭露另提供一種使用微流體裝置100檢測樣品的方法。請參閱第7圖，第7圖繪示本揭露之一些實施方式之電極線的示意圖。為使平台能適用三明治磁性奈米顆粒輔助表面增強拉曼標籤免疫法之實驗，微流體裝置100的單元電極124，設計符合實驗需求之十字形電極圖形。每個電極及移動路徑的功能，分別為磁性奈米顆粒(magnetic nanoparticles, MNPs) 探針試劑導入區A1、樣品/清洗試劑/奈米聚集團粒子探針230 (nanoaggregate-embedded beads, NAEBs，內層由多顆金奈米粒子與拉曼reporter 分子所組成) 探針試劑導入區A2、試劑液滴合併區A3、液滴混合通道A4、MNPs 聚集緩衝區A5、廢液蒐集區A6。
使用微流體裝置100前，先以一層薄矽油(低黏度約5 cSt)擦拭石蠟膜(介電潤濕晶片120)表面進行疏水處理，以減少液滴與石蠟膜之間的摩擦力。請同時參閱第8圖，第8圖繪示本揭露之一些實施方式之待測目標物檢測檢測流程的示意圖。對於目標物210(如標的蛋白質)的檢測，將於微流體裝置100上使用自動化流程控制軟體，以磁性奈米顆粒探針220 (表面修飾帶有一級抗體)及奈米聚集團粒子探針230 (表面修飾帶有二級抗體，辨識一級抗體)。
將位於導入區A2待測的目標物210液滴與位於導入區A1的磁性奈米顆粒探針220液滴移至合併區A3合併，並於液滴混合通道A4來回充分混合一段時間再回到合併區A3，確保磁性奈米顆粒探針220能與待測的目標物210進行特異性鍵結。接著，升起磁鐵240 (即，同磁性結構161)吸附聚集鍵結目標物210的磁性奈米顆粒探針220於液滴底部，並將上清液移至廢液蒐集區A6。接著，以位於導入區的A2去離子水移入位於合併區A3的鍵結目標物210的磁性奈米顆粒探針220回溶。接著，將位於緩衝區A5的奈米聚集團粒子探針230液滴移入合併區A3充分混合一段時間，確保奈米聚集團粒子探針230能再與鍵結目標物210的磁性奈米顆粒探針220進行特異性鍵結，形成奈米聚集團粒子探針230鍵結具有目標物210的磁性奈米顆粒探針220 (NAEBs-目標物-MNPs)的三明治複合物。接著，升起磁鐵240聚集三明治複合物於液滴底部，並將未成功鍵結的奈米聚集團粒子探針230至廢液區A6，便可對聚集在合併區A3的三明治複合物進行拉曼光譜檢測。
具體流程請參閱第9圖，第9圖繪示本揭露之一些實施方式之待測目標物檢測之流程圖，待測目標物檢測流程300具體說明如下。步驟302：先經由實線箭頭的方向進行待測的目標物210液滴與磁性奈米顆粒探針220液滴鍵結形成複合物。步驟304：於液滴混合通道A4來回混合複合物，如來回15次。步驟306：以磁鐵240聚集複合物。步驟308：合併區A3聚集複合物。步驟310：移除上清液。步驟312：降下磁鐵240。步驟314：以去離子水回溶合併區A3的複合物。步驟316：於液滴混合通道A4來回混合複合物，如來回15次。步驟318：將複合物液滴與緩衝液混合，如2×PBS。步驟320：於液滴混合通道A4來回混合複合物，如來回5次。重複步驟306至316。進入虛線步驟，步驟322：將複合物液滴與奈米聚集團粒子探針230液滴混合，形成三明治複合物。重複步驟304至312，留下的三明治複合物。步驟324：以拉曼光譜儀檢測。
本揭露的一些實施方式中，使用奈米銀導電墨水搭配商用噴墨印表機及相片紙，開發了成本較為低廉的介電潤濕晶片，介電層及疏水層的選擇，可使用石蠟膜與矽油(5 cSt)構建而成。使用Arduino連接印刷電路板佈局(PCB layout)製作的控制電路及晶片載具便可以完成儀器架設，其驅動電壓只須160 Vrms，與傳統黃光室製作的電潤濕晶片效能並無差別。本揭露的介電潤濕晶片擁有大量製造、用完及丟的特性，且每一介電潤濕晶片使用次數可來回移動液滴至少兩百次。
雖然本揭露已以實施方式揭露如上，然其並非用以限定本揭露，任何熟習此技藝者，在不脫離本揭露之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾，因此本揭露之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
100:微流體裝置
110:底板
111:孔洞
112:穿孔
120:介電潤濕晶片
121:晶片基板
122:導電層
123:電極線
124:電極單元
130:電路板
131:電路區
132:簍空區
133:引腳
140:介電薄膜
150:疏水層
160:馬達
161:磁性結構
170:磁鐵
180:支撐片
210:目標物
220:磁性奈米顆粒探針
230:奈米聚集團粒子探針
240:磁鐵
300:檢測流程
302~324:步驟
A1:導入區
A2:導入區
A3:合併區
A4:液滴混合通道
A5:緩衝區
A6:廢液蒐集區
D:間隙
W:寬度
當結合附圖閱讀以下詳細描述時，本揭露的各種態樣將最易於理解。應注意的是，根據行業標準操作規程，各種特徵結構可能並非按比例繪製。事實上，為了論述之清晰性，可以任意地增大或減小各種特徵結構之尺寸。為讓本發明之上述和其他目的、特徵、優點與實施例能更明顯易懂，所附圖式之說明如下：
第1圖繪示本揭露之一些實施方式之微流體裝置的立體示意圖。
第2圖繪示本揭露之一實施方式之微流體裝置的立體分解圖。
第3圖繪示本揭露之一些實施方式之微流體裝置的俯視圖。
第4圖繪示本揭露之一些實施方式之電極單元的示意圖。
第5圖繪示本揭露之一些實施方式之馬達作動的示意圖。
第6圖繪示本揭露之另一實施方式之微流體裝置的立體分解圖。
第7圖繪示本揭露之一些實施方式之電極線的示意圖。
第8圖繪示本揭露之一些實施方式之待測目標物檢測流程的示意圖。
第9圖繪示本揭露之一些實施方式之待測目標物檢測之流程圖。
100:微流體裝置
130:電路板
133:引腳
160:馬達
170:磁鐵
Claims (12)
- 一種微流體裝置，包含：一底板；一介電潤濕晶片，設置於該底板上，該介電潤濕晶片上包含：一晶片基板，以及一導電層，設置於該晶片基板上，該導電層具有複數電極線；一電路板，設置在該介電潤濕晶片上，該電路板包含：一電路區，電性連接該介電潤濕晶片；以及一簍空區，相鄰於該電路區，且露出該介電潤濕晶片，其中該電路區圍繞該簍空區，該電路區鄰近該簍空區的區域設有複數引腳，該些引腳電性連接該介電潤濕晶片的該導電層；一介電薄膜，設置於該電路板的該簍空區上，並覆蓋露出的該介電潤濕晶片；一馬達，設置於該底板下方，該馬達的一端具有一磁性結構，使該磁性結構可移動地靠近或遠離該底板；以及複數磁鐵，該些磁鐵的一部分位於該電路板的該些引腳之上，該些磁鐵的另一部分位於該介電潤濕晶片之下以磁性吸附，使該些引腳緊密貼合該導電層。
- 如請求項1所述之微流體裝置，其中該介電潤濕晶片包含紙基晶片。
- 如請求項1所述之微流體裝置，其中各該電極線的一端為電極單元。
- 如請求項3所述之微流體裝置，其中各電極單元的圖形呈指叉式圖形。
- 如請求項1所述之微流體裝置，其中該些電極線的材質包含奈米銀。
- 如請求項1所述之微流體裝置，其中該介電薄膜的材質包含鐵氟龍、石臘膜或其組合。
- 如請求項1所述之微流體裝置，其中該電路區圍繞該簍空區。
- 如請求項1所述之微流體裝置，更包含一疏水層，設置於該介電薄膜上。
- 如請求項8所述之微流體裝置，其中該疏水層的材質包含矽油。
- 如請求項1所述之微流體裝置，其中該底板具有一孔洞，該孔洞位置對應該簍空區。
- 如請求項1所述之微流體裝置，更包含一支撐片設置於該介電潤濕晶片與該底板之間。
- 如請求項1所述之微流體裝置，其中該馬達為伺服馬達。
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Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20130008789A1 (en) * | 2007-07-13 | 2013-01-10 | The Board of Trustree of the Leland Stanford Junior University | Method and apparatus using electric field for improved biological assays |
| TW201643430A (zh) * | 2015-04-24 | 2016-12-16 | 梅薩生物科技股份有限公司 | 流體測試卡匣 |
| US20190168223A1 (en) * | 2017-09-01 | 2019-06-06 | Miroculus Inc. | Digital microfluidics devices and methods of using them |
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