TWI729044B - 移動感測器座標檢測系統 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種用於對一工件執行一操作之製造系統，其包括：一靜止工件支撐件，其經建構以支撐一工件；部分地環繞該工件支撐件之一硬質機械檢測元件支撐件，其具有用於自該工件之一第一側執行一操作之一第一裝置及用於自該工件之一第二側執行一操作之一第二裝置；及耦接至該檢測元件支撐件之一運動系統，其中該運動系統經建構以使該檢測元件支撐件在至少一個軸線上相對於該工件支撐件移動。

Description

移動感測器座標檢測系統 【相關申請案之交叉參考】

本申請案主張2015年12月8日申請之美國臨時申請案第62/264,453號之權益，該案以全文引用之方式併入本文中。

本文中所論述之實施方式大體上係關於用於對部件沿著多個軸線之多個側之同時量測及/或檢測的機器視覺檢測系統。更具體言之，本文中所論述之實施方式允許對部件之多個側之快速檢測，且允許部件在安裝於可移動橋狀物或台架上之感測器相對於該部件移動時置放於靜止夾具上，從而去除在檢測該部件時施加壓力至該部件自身以保持其靜止的需要。

為了視覺檢測大於攝影機之視野的部件，或為了使用雷射、接觸式探針或其他感測器來檢測部件，習慣將部件(例如，使用夾具、老虎鉗等)固定地緊固於在座標量測機器之載台上的硬質巢狀物或夾具中，且接著在一至五個運動軸線上相對於感測器(例如，攝影機、接觸式探針、雷射等)移動載台。耦接至載台的編碼器提供描述台且因此部件相對於感測器之位置的資訊。在對一個位置處之部件進行讀取(例如，藉由用接觸式探針接觸部件，藉由擷取部件在攝影機之視野內的影像等)之後，將部 件移動至新的位置且進行新的讀取。重複進行讀取及移動部件之程序(亦即，檢測程序)，直至可判定部件之總體大小。

座標量測機器通常利用橋狀物(亦稱為「台架」)設計以用於安裝一或多個感測器之目的。為了增大橋狀物之硬度以及確保感測器與部件相對於彼此保持穩定，習知橋狀物設計以所謂的「環形橋狀物」設計完全或部分地環繞固持部件之載台。藉由此種設計，將橋狀物一般性地固定，且載台相對於安裝在環式橋狀物上之感測器移動。

有時，安裝在台架或橋狀物上之感測器能夠沿著一個軸線有限運動，但用於移動部件之主要構件係藉由移動具有固定至載台的待量測部件之載台而實現。舉例而言，習知環形橋狀物設計由環形橋狀物構成，環形橋狀物具有安裝在Z軸運動軸線上、繼而安裝在橋狀物上之單個觸摸、攝影機或雷射感測器。

意欲用於安裝用於印刷電路板應用之無遮罩曝露系統的相關設計利用上部橋狀物將一個感測器或曝露系統安裝在部件上方，且接著將下部橋狀物置放於部件下方，該下部橋狀物具有安裝至其之額外感測器或曝露系統。在此設計中，上部橋狀物與下部橋狀物以機械方式彼此獨立，且必須執行自動校準程序，以在使安裝在一個載台上之感測器相對於安裝在另一載台上之感測器移動之前將安裝在此等橋狀物上之感測器對準。

然而，通常，存在待檢測之部件可能極薄且可撓的問題，且將此等部件緊固於硬質巢狀物或夾具內可能使該等部件機械性地變形。舉例而言，若吾人需要量測薄的扁平物件之平坦度，則吾人必須在該物件上施加某一壓力以將該物件充分地緊固於載台上之巢狀物或夾具內，以防止 部件隨著載台在檢測程序期間移動而移位。然而，最終施加在部件上以將其緊固於巢狀物或夾具內的壓力典型地導致部件之機械變形。

本發明之一實施方式可概括地特性化為一種用於對一工件執行一操作之製造系統，其中該系統包括：一靜止工件支撐件，其經建構以支撐一工件；部分地環繞該工件支撐件之一硬質機械檢測元件支撐件，其具有用於自該工件之一第一側執行一操作之一第一檢測元件及用於自該工件之一第二側執行一操作之一第二檢測元件；及耦接至該檢測元件支撐件之一運動系統，其中該運動系統經建構以使該檢測元件支撐件在至少一個軸線上相對於該工件支撐件移動。

本發明之另一實施方式可更嚴密地特性化為包括具有安裝在上臂及下臂上之感測器的一C形橋狀物或台架，及一固定架，在檢測程序期間，該固定架在工件處於其上時不移動，但該固定架可移動以加載及卸載工件。一旦檢測程序開始，部件即保持靜態，且接著感測器自上方、下方或上方及下方圍繞該工件移動。該等感測器可沿著x、y及z軸移動。該等感測器自身亦可關於其自有運動軸線旋轉。極似先前技術，在比較感測器位置與編碼器位置且進行總量測之情況下，編碼器可進行讀取。固持感測器之硬質結構呈部分環形橋狀物(或「C」形橋狀物)形式，使得硬質結構可處於固定架之上方及下方，從而留出出入口以供人加載及卸載該架、以供該架在可更換部件時移動以不擋道及回位或供機器人取放或其他自動化組件在就位時加載及卸載該架。本文中描述之實施方式提供此等優點，因為工件置放所在之架在檢測期間保持靜止，所以不需要對工件施加 壓力以保持其靜止。此允許檢測及量測可能過薄、過於易碎或以其他方式經受扭曲的多種工件，從而允許有效使用其他座標量測機器。

100:檢測系統

101:工件

102:底座

104:工件支撐件

106:提昇器

108:運動系統

108a:第一運動載台

108b:第二運動載台

110:檢測元件支撐件

112:第一檢測元件

114:第二檢測元件

116:系統支撐件

此等及其他特徵及優點將在結合隨附圖式考慮時經由參考以下詳細描述變得更易於理解及瞭解，其中：圖1說明根據本發明之一個實施方式之檢測機器的側視平面圖。

圖2說明圖1中所展示之檢測機器的前視平面圖。

在本文中參考隨附圖式來描述實例實施方式。除非以其他方式明確地陳述，否則在圖式中，組件、特徵、元件等的大小、位置等以及其間的任何距離未必依據比例，但為清楚起見進行放大。在圖式中，相同數字通篇指相同元件。因此，可能在參考其他圖式時描述相同或類似數字，即使該等數字在對應圖式中未提及亦未描述。又，即使未經參考數字指示之元件亦可參考其他圖式加以描述。

本文中所使用之術語僅出於描述特定實例實施方式之目的，且並不意欲為限制性的。除非另外定義，否則本文中所使用之所有術語(包括技術及科學術語)具有一般熟習此項技術者通常所理解之相同意義。如本文中所使用，除非上下文另外清晰地指示，否則單數形式「一」及「該」意欲亦包含複數形式。應認識到，術語「包含」在用於本說明書中時指定所陳述之特徵、整體、步驟、操作、元件及/或組件之存在，但並不排除一或多個其他特徵、整體、步驟、操作、元件、組件及/或其群組之存在或添加。除非另外指定，否則在敍述值範圍時，值範圍包括該範圍之 上限及下限兩者以及在其間的任何子範圍。除非另外指示，否則諸如「第一」、「第二」等術語僅用於區別一個元件與另一元件。舉例而言，一個節點可稱為「第一節點」，且類似地，另一節點可稱為「第二節點」，或反之亦然。

除非另外指示，否則術語「約」、「大約」等意謂量、大小、配方、參數及其他量及特性並非且不必為精確的，而視需要可為大致的及/或更大或更小，從而反映容限、轉換因素、捨入、量測誤差及其類似者，以及熟習此項技術者已知之其他因素。空間相對術語，諸如「下方」、「底下」、「下」、「上方」及「上」以及其類似者可在本文中為易於描述而用以描述一個元件或特徵與另一元件或特徵之關係，如圖式中所說明。應認識到，該等空間相對術語意欲涵蓋除圖式中所描繪之定向之外的不同定向。舉例而言，若將圖式中之物件翻轉，則描述為在其他元件或特徵「下方」或「底下」之元件將定向為在其他元件或特徵「上方」。因此，例示性術語「下方」可涵蓋上方及下方兩者之定向。物件可以其他方式定向(例如，旋轉90度或處於其他定向)，且本文中所使用之空間相對描述詞可相應地予以解譯。

參看圖1及圖2，諸如檢測系統100之檢測系統係安裝於底座102上，且包括工件支撐件104、提昇器106、運動系統108、檢測元件支撐件110、第一檢測元件112、第二檢測元件114及系統支撐件116。底座102可提供為適當地大塊且硬質之結構(例如，花崗石塊等)，用於以振動方式將檢測系統100之組件與外部環境隔離。雖然圖1及圖2說明檢測系統100包括兩個提昇器106之實施方式，但應瞭解，可省去一個提昇器106， 或檢測系統100可包含多於兩個的提昇器106。

工件支撐件104耦接至提昇器106，提昇器又配置於系統支撐件116上。工件支撐件104可提供為經建構以支撐一或多個工件之架、夾盤、板等。以101展示一例示性工件。在一個實施方式中，工件支撐件104經建構以支撐工件101，使得可自工件支撐件104上方(例如，藉由第一檢測元件112)及自工件支撐件104下方(例如，藉由第二檢測元件114)檢測工件101。相應地，支撐工件101的工件支撐件104之至少一部分可由一波長之光可透射的材料形成，第二檢測元件114對波長敏感(亦即，在第二檢測元件114包括諸如線掃描攝影機、矩陣陣列攝影機等光學感測器的情況下)。另外或替代地，工件支撐件104可包括曝露工件101以供第二檢測元件114檢測之一或多個開口。

視情況，一或多個夾具巢狀物(每一者在本文中亦稱為「夾具」)可與工件支撐件104一體地形成，或可拆卸地耦接至工件支撐件104。每一夾具巢狀物可經建構以將工件101固持、保留或以其他方式維持於預定空間定向及/或檢測系統100內之位置中。工件支撐件104可經建構以適應具有不同組態(例如用以固持具有不同實體組態、由不同材料製成之工件，或其類似者，或其任何組合)的多種夾具巢狀物。因此，當可拆卸地耦接至工件支撐件104時，不同夾具巢狀物可互換至檢測系統100中，從而增強檢測系統100之效用。對於夾具巢狀物與工件支撐件104一體地形成或者暫時耦接至工件支撐件104之情況，夾具巢狀物可被視為工件支撐件104之一部分。在一個實施方式中，夾具巢狀物可由一波長之光可透射的材料形成，第二檢測元件114對該波長敏感(例如，如上文所論述)。在另一實 施方式中，夾具巢狀物可包括曝露工件101以供第二檢測元件114檢測之一或多個開口。

耦接至提昇器106的工件支撐件104在檢測系統100內靜止(或至少實質上靜止)(例如，相對於檢測元件支撐件110)。由於工件支撐件104靜止，因此由工件支撐件104或夾具巢狀物支撐之任何工件在使用檢測系統進行之檢測程序期間並不移動(或不以顯著方式移動)。相應地，若工件101僅僅停置於工件支撐件104上(或在夾具巢狀物上或其內)，或若工件101以相對較輕之力在工件101上之相對較少位置、在工件101上之相對較小區域由工件支撐件104(或夾具巢狀物)固持，或其類似者或其任何組合，則工件101在檢測程序期間可保持適當地靜止。

運動系統108可包括第一運動載台108a及第二運動載台108b，且配置於系統支撐件116上，在工件支撐件104下方。第二運動載台108b配置於系統支撐件116上，且可提供為Y軸載台(例如，能夠賦予沿著Y軸之移動)。第一運動系統108a係由第二運動系統108b承載，且可提供為X軸載台(例如，能夠賦予沿著正交於Y軸之X軸的移動)。雖然圖1及圖2說明運動系統108包括兩個運動載台之實施方式，但應瞭解，運動系統108可僅包括單個運動載台(例如，第一運動載台108a、第二運動載台108b或完全不同之載台)或多於兩個之運動載台。雖然圖1及圖2說明運動系統108包括經建構以賦予沿著兩個正交軸線之移動的運動載台的實施方式，但應瞭解，運動系統108可包括經建構以賦予沿著一共同軸線之移動的運動載台。此外，雖然運動系統108已描述為僅包括線性運動載台，但應瞭解，運動系統108可另外或替代地包括一或多個旋轉載台(例如， 經建構以賦予圍繞平行於X軸、Y軸、正交於X軸及Y軸之Z軸的軸線或其類似者或其任何組合的移動)。

檢測元件支撐件110耦接至運動系統108，且相對於工件支撐件104可移動。舉例而言，在所說明實施方式中，檢測元件支撐件110耦接至第一運動載台108a，且因此可沿著X軸及Y軸相對於工件支撐件104移動。在一個實施方式中，檢測元件支撐件110提供為自運動系統108(例如，在工件支撐件104下方之位置)延伸且在位於工件支撐件104上方之末端處終止的部分環型橋狀物或「C形橋狀物」。如所例示性地說明，檢測元件支撐件110部分地圍繞工件支撐件104延伸，因此允許近接工件支撐件104、夾具巢狀物等，從而促進使操作人員或者機器人(例如，取放機器)能夠使用檢測系統100加載及卸載待檢測之工件。雖然所說明實施方式展示提供為具有固定形狀之單個整體結構的檢測元件支撐件110，但應瞭解，檢測元件支撐件110可提供為鉸接(例如，接合)結構，其具有相對於彼此可選擇性地定向且隨後以任何合適或所要方式鎖定在適當位置(例如，在區段之接合部)之區段(例如，串聯接合在一起)。

第一檢測元件112可耦接至檢測元件支撐件110之終端，在工件支撐件104上方。通常，檢測元件支撐件110經建構以使第一檢測元件112以充足距離懸置於工件支撐件104上方，使得當工件101由工件支撐件104支撐時，第一檢測元件112可在無不當損害或移動工件101的情況下相對於工件101移動。檢測元件支撐件110提供為適當硬質結構，使得若檢測元件支撐件110相對於工件支撐件104移動，則第一檢測元件112將至少相對於檢測元件支撐件110、第一運動載台108a、第二檢測元件114或其類似 者或其任何組合保持靜止(或至少實質上靜止)。雖然圖1及圖2說明其中僅一個感測器(亦即，第一檢測元件112)耦接至檢測元件支撐件110之終端，但應瞭解，多個感測器可耦接至檢測元件支撐件110之終端。

在所說明實施方式中，第二檢測元件114耦接至運動系統108(例如，在第一運動載台108a處)且與第一檢測元件112對準(例如，沿著Z軸)。然而，在另一實施方式中，第二檢測元件114沿著Z軸自第一檢測元件112偏移。在又一實施方式中，第二檢測元件114耦接至檢測元件支撐件110。在第二檢測元件114耦接至檢測元件支撐件112之情況下，檢測元件支撐件110可視情況在工件支撐件104下方進一步延伸，使得第二檢測元件114可與第一檢測元件112對準(例如，沿著Z軸)。雖然圖1及圖2說明其中僅一個感測器(亦即，第二檢測元件112)耦接至運動系統108，但應瞭解，多個感測器可耦接至運動系統108(例如，在第一運動載台108a處)、耦接至檢測元件支撐件110，或其類似者或其任何組合。

在一個實施方式中，諸如第一檢測元件112及第二檢測元件114之檢測元件相對於該等檢測元件所耦接至之結構不可移動(或至少實質上不可移動)。舉例而言，第一檢測元件112至少相對於檢測元件支撐件110實質上不可移動。同樣，第二檢測元件114可至少相對於第一運動載台108a實質上不可移動。然而，在另一實施方式中，檢測元件可以可移動方式耦接至檢測元件支撐件110或至耦接第一運動載台108a。舉例而言，檢測系統100可包括耦接於檢測元件支撐件110與第一檢測元件112之間的運動載台(例如，經建構以賦予沿著Z軸之移動的Z軸載台)。在另一實例中，檢測系統100可包括耦接於第一運動載台108a與第二檢測元件114之間的運 動載台(例如，Z軸載台)。包括如上文所論述之一或多個Z軸載台可促進用以檢測工件101之檢測系統100的微調，促進檢測元件相對於工件101的最佳置放，促進諸如攝影機或其類似者或其任何組合之檢測元件的聚焦。

本文中所提及之檢測元件中的任一者(例如，包括第一檢測元件112及第二檢測元件114)可提供為攝影機、照射光源、近接感測器、距離感測器、共焦顯微鏡，或其類似者或其任何組合。攝影機之實例包括數位攝影機(其具有由像素感測器矩陣陣列形成之影像感測器陣列，具有由像素感測器線陣列形成之影像感測器陣列)、紅外攝影機、高光譜攝影機、全光攝影機，或其類似者或其任何組合。照射光源之實例包括紅外光源、可見光光源、發光二極體(LED)、結構化光源，或其類似者或其任何組合。近接感測器或距離感測器之實例包括紅外近接感測器、超音波或近接或距離感測器、雷射測距儀、三角量測雷射、觸摸式探針，或其類似者或其任何組合。在一個實施方式中，配置於工件支撐件104上方及下方之檢測元件係相同的。在另一實施方式中，配置於工件支撐件104上方之至少一個檢測元件不同於配置於工件支撐件104下方之至少一個檢測元件。若第一檢測元件112及第二檢測元件114提供為諸如三角量測雷射之距離感測器，且若第一檢測元件112與第二檢測元件114在Z軸上相對於彼此對準，則工件101之厚度(亦即，如沿著Z軸所量測)可得以量測。在一個實施方式中，第一檢測元件112或第二檢測元件114中之一者提供為攝影機，且第二檢測元件114或第一檢測元件112中之另一者提供為照射光源。

雖然未展示，但檢測系統100可包括以通信方式耦接(例如，經由一或多個有線或無線通信連結)至運動系統108、第一檢測元件112 及第二檢測系統114中之一或多者的控制器。通常，該控制器包括經建構以在執行指令後即產生前述控制信號的一或多個處理器。處理器可提供為經建構以執行指令之可程式化處理器(例如，包括一或多個通用電腦處理器、微處理器、數位信號處理器，或其類似者或其任何組合)。可由處理器執行之指令可實施為軟體、韌體等，或為任何適合形式之電路，包括可程式化邏輯裝置(programmable logic device；PLD)、場可程式化閘陣列(field-programmable gate array；FPGA)、場可程式化物件陣列(field-programmable object array；FPOA)、特殊應用積體電路(application-specific integrated circuit；ASIC)(包括數位、類比及混合類比/數位電路)，或其類似者或其任何組合。指令之執行可在一個處理器上執行、分配在多個處理器中、跨一裝置內之處理器或跨裝置之網路並行地進行，或其類似者或其任何組合。在一個實施方式中，控制器包括諸如電腦記憶體之有形媒體，其可藉由處理器存取(例如，經由一或多個有線或無線通信連結)。如本文中所使用，「電腦記憶體」包括磁性媒體(例如，磁帶、硬碟機等)、光碟、揮發性或非揮發性半導體記憶體(例如，RAM、ROM、反及型快閃記憶體、反或型快閃記憶體、SONOS記憶體等)等，且可本端、遠端(例如，跨網路)或以其組合方式存取。通常，指令可儲存為電腦軟體(例如，可執行碼、檔案、指令等，程式庫檔案等)，其可易於由業內人士製作(根據本文中所提供之描述)，例如以C、C++、Visual Basic、Java、Python、Tel、Perl、Scheme、Ruby等編寫。電腦軟體通常儲存於藉由電腦記憶體輸送之一或多個資料結構中。

雖然未展示，但一或多個驅動器(例如，RF驅動器、伺服 驅動器、線驅動器、電源等)可以通信方式耦接至諸如第一運動載台108a及第二運動載台108b的一或多個組件之輸入端。在一個實施方式中，每一驅動器典型地包括控制器以通信方式耦接至之輸入，且控制器因此可操作以產生一或多個控制信號，控制信號可傳輸至與第一運動載台108a及第二運動載台108b相關聯的一或多個驅動器之輸入端。

在一個實施方式中，檢測工作程序(例如，描述待由運動系統108之一或多個運動載台賦予之移動、待由檢測元件中之一或多者執行之操作，或其類似者或其任何組合的指令)可儲存於控制器處(例如，在電腦記憶體內等)。在一個實施方式中，檢測系統可經操作以收集工件101上之特徵位置或瑕疵位置，且接著提供關於工件101之品質的報告，且指令工作程序可包括邏輯操作，使得某些操作(例如，運動、檢測等)係基於先前執行之操作的結果、基於收集之特徵位置的結果、基於收集之瑕疵位置的結果或其類似者或其任何組合而執行。舉例而言，若攝影機(例如，提供為耦接至檢測元件支撐件110之終端的檢測元件)以光學方式偵測可能的瑕疵，則檢測工作程序之邏輯分支可能命令檢測系統100以致使三角量測雷射(例如，亦提供為耦接至檢測元件支撐件110之末端的額外檢測元件)與可能瑕疵相對於彼此移動(例如，藉由驅動第一運動載台108a及第二運動載台108b中之一或多者)以判定可能瑕疵之高度。合格/不合格準則可基於雷射量測，但可能瑕疵之所有區域可使用攝影機來識別。有可能，工件101之一個側上的操作之結果可需要工件101之另一側上的操作(例如，驅動運動系統108以使檢測元件相對於工件101移動至可疑位置，等)。

在一個實施方式中，一或多個校準人工製品可置放於工件支撐件或夾具巢狀物中或上。一或多個校準人工製品(諸如厚度標準物、測試圖案之標線、梯度規、規塊、長度量棒、球板、孔板、測試件，或其類似者或其任何組合)可用於校準第一檢測元件112、第二檢測元件114或其任何組合。若諸如測試圖案之校準人工製品清楚且相對較薄，則來自架之上方及下方兩者的攝影機可使用同一人工製品獲得兩個攝影機之間的同心對準。使人工製品始終可供使用以再校準感測器之優點在於，若系統係用於溫度變化可能以其他方式干擾量測之區域中，則系統可將頻繁「自檢」校準作為檢測工作程序之部分。

對於需要沿著邊緣檢測之工件101(例如，具有朝向連接件之邊緣的印刷電路板，等)，安裝於夾具巢狀物上或架上的45度鏡可用以允許檢測元件檢測工件101之邊緣。雷射束及透鏡之光學路徑皆可以此方式轉向九十度。對於需要檢測、並非自工件101直接朝上或直接朝外之特徵，檢測元件中之一或多者可安裝於旋轉軸上(例如，以調整檢測元件之攻角以適應工件特徵)。

在一個實施方式中，一或多個製造裝置可耦接至檢測元件支撐件110、耦接至運動系統108等(例如，方式為前述檢測元件耦接至檢測元件支撐件110、耦接至運動系統108，等)。可使用之製造裝置的實例包括雷射系統(例如，用以對工件101進行標記、鑽孔、切割、焊接或以其他方式進行機器加工)、機械加工系統(例如，機械鑽機、刳刨機等)、施配系統，或其類似者或其任何組合。前文說明本發明之實施方式及實例，且不應解釋為對其之限制。雖然已參看圖式描述幾個特定實施方式及實例，熟習此項技術者將易於瞭解，對所揭示實施方式及實例以及其他實施方式 的諸多修改在不顯著背離本發明之新穎教示及優點的情況下為可能的。相應地，所有此等修改意欲包括於如申請專利範圍中所界定的本發明之範圍內。舉例而言，熟習此項技術者將瞭解，任何句子、段落、實例或實施方式之標的物可與其他句子、段落、實例或實施方式之一些或全部之標的物組合，除非此等組合彼此互斥。本發明之範圍因此應由以下申請專利範圍判定，且該等技術方案之等效物包括於本發明之範圍中。

100:檢測系統

101:工件

102:底座

104:工件支撐件

106:提昇器

108:運動系統

108a:第一運動載台

108b:第二運動載台

110:檢測元件支撐件

112:第一檢測元件

114:第二檢測元件

116:系統支撐件

Claims (13)

1. 一種用於對一工件執行一操作之製造系統，該系統包含：一靜止工件支撐件，其經建構以支撐一工件；一硬質機械檢測元件支撐件，其係部分地環繞該工件支撐件，且具有用於自該工件之一第一側執行一操作之一第一檢測元件及用於自該工件之一第二側執行一操作之一第二檢測元件；及一運動系統，其係耦接至該硬質機械檢測元件支撐件，其中該運動系統經建構以使該硬質機械檢測元件支撐件在至少一個軸線上相對於該工件支撐件移動；其中該檢測元件支撐件經提供為適當硬質結構，使得若該檢測元件支撐件相對於該工件支撐件移動，則該第一檢測元件將至少相對於該檢測元件支撐件、該運動系統、該第二檢測元件或其類似者或其任何組合保持靜止。
2. 如申請專利範圍第1項之系統，其中選自由該第一檢測元件及該第二檢測元件組成之群的至少一者為經建構以執行該工件之一品質評估之感測器。
3. 如申請專利範圍第2項之系統，其中該至少一感測器為經建構以使該工件成像之一數位攝影機。
4. 如申請專利範圍第2項之系統，其中選自由該第一檢測元件及該第二檢測元件組成之群的至少一者為經建構以偵測該工件上之一特定位置處的至少一個高度量測之高度感測器。
5. 如申請專利範圍第4項之系統，其中該第一檢測元件及該第二檢測元 件中之每一者為高度感測器，且其中該第一檢測元件配置於該第二檢測元件上方且與該第二檢測元件對準。
6. 如申請專利範圍第2項之系統，其進一步包含可拆卸地耦接至該工件支撐件之一夾具，其中該夾具經建構以固持該工件。
7. 如申請專利範圍第6項之系統，其進一步包含固定地安裝至該夾具之一校準人工製品。
8. 如申請專利範圍第2項之系統，其進一步包含固定地安裝至該工件支撐件之一校準人工製品。
9. 如申請專利範圍第2項之系統，其中在工作程序控制下的該至少一感測器中之一者之定位係由執行一先前檢測之該至少一感測器中之不同一者之結果規定。
10. 如申請專利範圍第2項之系統，其中在工作程序控制下的該至少一感測器中之一者之檢測方法之組態係由執行一先前檢測之該至少一感測器中之不同一者之結果規定。
11. 如申請專利範圍第2項之系統，其進一步包含經配置且經建構以將該至少一感測器之一視野重新引導朝向受檢測之該工件之邊緣的一鏡。
12. 如申請專利範圍第2項之系統，其中該工件支撐件含有至少一鏡以將該至少一感測器之一視野重新引導朝向受檢測之該工件之邊緣。
13. 如申請專利範圍第2項之系統，其中該至少一感測器係被安裝於一旋轉載台上以允許該至少一感測器以任何角度檢視受檢測之該工件之一特徵。

Images