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TWI496732B - 供工具利用之緩衝儲存和運輸裝置 - Google Patents

供工具利用之緩衝儲存和運輸裝置 Download PDF

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TWI496732B
TWI496732B TW099125106A TW99125106A TWI496732B TW I496732 B TWI496732 B TW I496732B TW 099125106 A TW099125106 A TW 099125106A TW 99125106 A TW99125106 A TW 99125106A TW I496732 B TWI496732 B TW I496732B
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TW
Taiwan
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transporter
workpiece
workpiece container
buffer
transport
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TW099125106A
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English (en)
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TW201124332A (en
Inventor
Fatula, Jr
Pablo Gonzalez
Kevin Tzou
John Brooks Greene
Roumen Iliev Deyanov
Robert Carlson
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
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Filing date
Publication date
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Description

供工具利用之緩衝儲存和運輸裝置
此申請案在35 U.S.C.§119(e)之下對在7/31/2009提出的美國臨時專利申請案第61/273,139號主張優先權，其整個內容係據此以引用的方式併入本文中。
此專利申請案大致上有關在上頭的運輸系統(OHT)中之工件容器的緩衝儲存及運送。
運輸裝置(例如機械支臂)被組構成於一直立之方向中在軌道上行進，以接近OHT中之架子及載入通口。該運輸裝置可包括一起重機，以將容器舉起及放入該等架子及載入口與送出該等架子及載入口。
一運輸機件被組構成在製造設備中之緩衝器內運輸工件容器，包括：一運輸器，其被組構成在二軌道上行進，其中該運輸器包括(i)被組構成舉起及降低一或多個工件容器之平皮帶起重機件，及(ii)被組構成捕捉及釋放該一或多個工件容器之夾持器機件；一工件容器，其被組構成儲存一或多個工件；一緩衝器，其具有被組構成固持該一或多個工件容器的一或多個儲存架子及被組構成供以在上頭的運輸車輛交換工件容器的多個輸入/輸出架子， 該多個輸入/輸出架子，係被配列成排列於前述緩衝器寬度方向，該儲存架子係被配列於該輸入/輸出架子的下方，該緩衝器，係更具有：在每一儲存架子與每一輸入/輸出架子上方及該運輸器行進之載入口上方且該緩衝器之基底；及一升降器，被組構成在諸位準之間運動該運輸器，其具有一機台，該機台設有二機台軌道，以支撐在諸位準之間運動的期間之具有工件容器之運輸器，且被配置成在延伸於該緩衝器之寬度方向且諸位準上，與該機架軌道對齊，而具有用於對齊在每一輸入/輸出架子上方及在載入口上方且該緩衝器的基底的該機架軌道與該等機台軌道之對齊能力；該運輸機件，係更具有：一支撐件，其被組構成使該緩衝器位於製程工具的一或多個載入口上方，及一控制機件，其被組構成：引導該運輸器，在儲存架子或輸入/輸出架子與該升降器之機台之間、及該升降器之機台與載入口位置之間運動，而運輸工件容器；引導該升降器，以由位準至位準地運動，而運動該運輸器之機台；同步化該升降器、運輸器、及工件容器之運動，與一在製造設備內管理工件容器之運動的工件容器運動系統交換指令。
在此專利申請案、包括此摘要段落中所敘述之特色的任何二個或更多特色可被組合，以形成在此專利申請案中未特別地敘述之具體實施例。
一或多個範例之細節係在下面所附圖面及敘述中提出。進一步特色、態樣、及優點將由該敘述、該等圖面、 及該等申請專利範圍變得明顯。
參考圖1，該緩衝器01之正面圖被顯示。該緩衝器01係一用於工件容器之儲存的裝置。所顯示之範例具有用於6個工件容器之儲存空間。其被設計成裝在該半標準OHT運輸煙囪內。亦即，OHT(在上頭的運輸系統)車輛將經過該製程工具之載入口上方的空間放下或拾取一工件容器。該緩衝器具有設有窗口05及鉸鏈09的二出入門02及03。該等出入門被用於打開該緩衝器，以允許手動地移去工件容器。其具有一圍繞該電子元件及機件區域之維修門04。該緩衝器之狀態被顯示在一燈面板06上。該緩衝器包括經由緊急斷電互鎖裝置08迅速地關掉該機械手臂之能力及經由電力斷路器07關掉電力。
該緩衝器被圍繞，以為人類提供安全性及提供該等工件容器之地震保護。
連接至該OHT系統係經由亦可被用作儲存架子之二雙向通口10及11所提供。這些通口具有用於該OHT以存放工件容器之輸入通口以及輸出通口兩者的作用，該OHT可在此輸出通口取回工件容器。
在其他執行過程中，該緩衝器01包括各種數目之架子位準，例如2、3或4個位準。另一執行過程具有單一行之架子相對如所顯示之二行之架子。
圖2說明緩衝器01之後視圖，並已移除該後面板。這 是由該製程工具進入該製程步道所觀看之視圖。該升降器機台31由位準至位準地運動該運輸器裝置50。在此所顯示之緩衝器具有4個位準。該中間二位準係用於工件容器儲存。該頂部位準係用於工件容器儲存及/或用於工件容器之由該OHT輸入或容器之輸出至該OHT。該底部位準係用於該工件容器之運輸至該製程工具之載入口及由該製程工具之載入口運輸離開。
該運輸器裝置50之由位準至位準地運動係藉由使用一升降器所完成，該升降器包括一在導引機件上行進及於直立動作中經由一動作機件被驅動之機台31，這被說明於稍後圖面中。
該機台與該運輸器導軌21及在每一位準上之運輸器支撐軌道24對齊，以允許該運輸器行進離開該等可運動導軌及支撐軌道至其他位置，該等軌道係該升降器機台的一部份。一工件容器45可存在於每一儲存位置、輸入/輸出位置、或每一載入口位置中。於所顯示之特定執行過程中，該運輸器可運動至藉由該等下軌道所限制之6個內部位置加上該升降器機台以及外部載入口位置的任何一位置。
當該升降器機台未與該運輸器所坐落之位準適當地對齊時，一整合式安全裝置30防止該運輸器行進離開該等軌道進入該升降器煙囪。該OHT車輛能將工件容器降低至該頂部架子10及11的其中之一。
該運輸器裝置50於該左-右方向或X方向中沿著該等軌道20及21行進。譬如，當該緩衝器係由圖1所示正面圖觀 看時，該X軸包括沿著該緩衝器之寬度的方向。該Y軸包括該緩衝器的深度中之方向。該Z軸包括高度中之方向。
圖3說明緩衝器01之後方視圖的更多細部，並已移除該後方面板。該升降器機台31被顯示在一將不允許該運輸器裝置50在該架子之下運動離開該等軌道至該機台上之中介位置。一擋門35被用作一額外之安全裝置，以防止該工件容器經過該升降器行落下及離開該緩衝器之底部。當該擋門被關上時，維修及其他人類工作可在該緩衝器下方於該工具及載入口上進行，而沒有安全性風險。
該升降器機件具有一線性軸承導引件32及一升降器滾珠螺桿33，以於諸位準之間運動該升降器機台。用於該升降器34之驅動馬達係位在該升降器行之頂部及旋轉該升降器滾珠螺桿，造成該升降器機台31改變位準。該升降器機台31於該Z方向中沿著該導引件32上下橫越一路徑。此路徑被稱為該升降器通道。交替之動作機件及Z軸動作機件係可能的，包括皮帶驅動器、導螺桿、線性馬達、齒條及小齒輪、電纜、鏈條等，以及為可能包括雙“V”軸承/滑車導引件、線性桿棒導引件、無軸承之軸襯導引件、及滾輪導引件的交替導引機件。
典型之動作包括在該Z方向中運動該升降器機台31，以與該等軌道24及21對齊，而允許該運輸器裝置50在該X方向中由一側面位置運動至該機台上。該升降器機台31係接著在該Z方向中運動至用於該運動之適當位準。該運輸器裝置50接著於該X方向中由該機台運動至該適當之架 子。在此點，該運輸器能接著拾取或存放一工件容器45及行進回至該升降器機台31。該機台係接著在該Z方向中運動至該適當之位準，且該運輸器裝置50在該X方向中運動至該適當之架子或載入口位置。該運輸器裝置50接著存放或拾取該工件容器45至該架子或載入口。
一擋門35安全裝置防止工件容器45掉出該緩衝器01。此擋門打開，以允許該運輸器裝置50進入或離開該緩衝器01或接近至阻擋該緩衝器01進入或離開。
圖4說明該緩衝器01之後方視圖，並使該後方面板25及側面板26位在適當位置中。該運輸器裝置50係位於該左載入口掉落/拾取位置上方。該機台31被顯示於該最上方位置中。緩衝器輸入/輸出通口10及11被顯示。
圖5說明該緩衝器01之底部視圖，而使在該關閉位置中之擋門機件35阻擋一工件容器46及該運輸器而未能離開該緩衝器01。於此圖示中，該運輸器裝置50係於該升降器通道中位在該工件容器46上方。萬一該工件容器變得由該運輸器分開、例如一工件容器上之頂部凸緣故障，該擋門阻擋一落下之工件容器能夠離開該緩衝器01。
圖6說明該緩衝器01之底部視圖，而使在該打開位置中之擋門機件35允許一工件容器46及運輸器能夠離開或進入該緩衝器01。
圖7說明安裝在架子64上之放置及存在感測器列陣70。該感測器列陣70被使用於偵測一工件容器61之存在以及該等運動用栓銷62上之容器的適當配置。該工件容器中 之運動用承窩與該等運動用栓銷62於該配置操作期間沿著所示軸線63對齊。該感測器列陣70包括三個檢測器；任何一個檢測器之作動指示一工件容器61係存在。所有三個檢測器之作動僅只可當該工件容器61被適當地放置在該等運動用栓銷62上時發生，指示適當之配置。
此感測器列陣70代表在三區域中與該技藝之現在狀態的顯著之偏離。首先，如與大約是19毫米高之現在尖端技術感測器作比較，其裝在1-3毫米之高度中。第二，其將多數感測器整合成單一列陣，而消除額外之安裝及電連接。該第三區域係該感測器列陣70，並使用一黏著性背襯，以將其附接至該架子64，而消除機械式硬體及用於附接的架子或其他區域之機器加工。此低安裝高度允許在相同之直立空間中達成工件容器之較大密度。這在高緩衝器中變得漸增地重要，在此有很多架子之位準或在此工件容器高度係短的。
圖8說明該感測器列陣70之範例。該列陣之此執行過程包括一具有三個開關之薄膜樣式開關組件。每一開關在該開關機件之頂部上方具有壓力襯墊71，以提供該適當之力作動特性。該感測器列陣70具有被用於造成接觸至該列陣70中之每一開關的電連接件72。
該壓力襯墊可為堅硬的材料、彈性體材料、或多級彈性體材料，以當該工件容器造成實際接觸至該壓力襯墊71以作動該開關時，提供力量之適當分佈。
圖9顯示在該放置及存在感測器列陣70的一執行過程 上之進一步細節。一壓力襯墊71係位在該感測器列陣70中之每一開關機件上方。此壓力襯墊71提供二功能。首先，其由該工件容器至該開關提供充分之力量傳送，以作動該開關。第二，當其被放置在該等運動用栓銷上時，其提供來自該工件容器之力量及能量吸收，以使被造成進入該工件容器中之工件的震動減至最小。
圖10說明一具體實施例，在此顯示一感測器列陣元件80之橫截面，在此該元件包括一機械式薄膜開關75、撓性頂部薄膜76、薄膜組件本體78、與力量傳送機件73及74。於該感測器列陣之此執行過程中，來自該趨近工件容器之壓力首先接觸該延伸之彈性體73及開始壓縮此材料。在一些壓縮點，該薄膜開關75被作動及提供一電信號至工件容器之存在或放置的緩衝器。當該工件容器之負載係由該運輸器傳送至該架子時，該延伸之彈性體73已經壓縮至該點，在此該工件容器現在接觸該未延伸之彈性體74。該工件容器之動作的能量現在係藉由該延伸的彈性體73及該未延伸之彈性體74的結合所吸收，該等彈性體在此點係大約相等高度及被進一步壓縮直至當該工件容器已停靠在該等運動用栓銷上之點。
該運輸裝置50被顯示在圖11中，而使其夾持器52延伸及固持一工件容器51。該運輸裝置50包括一運輸器53及夾持器52。該運輸裝置50在經由驅動輪56所驅動之X軸方向中行進，且提供來自編碼輪55之位置反饋。此編碼輪55亦容置一機械式制動器，以當動作已經停止時保持位置，且 消除在穩定時段期間保持該馬達驅動器及馬達供電之需要。該運輸器53亦具有一在與55及56相反側面上之惰輪，其係未在顯示此圖面中。
該夾持器52係經由一組起重皮帶54自該運輸器升高及降低。該夾持器52當縮回時被充分地包含在該運輸器53本體內，且係能夠被延伸各種長度至可抵達一架子、一輸入/輸出架子、或一載入口。
該緩衝器01被顯示於圖12，其經由120自該在上頭的運輸軌道101懸吊。在上頭的運輸車輛100能在該緩衝器中由二輸入/輸出位置之一運送或取回一工件容器104。工件容器103係於待由該緩衝器01藉由該在上頭的運輸車輛100(或將在稍後之時間點接近該在上頭的運輸軌道101上之緩衝器01的車輛)取回之位置中。
在該緩衝器01之底部，藉由運輸裝置(未示出)所固持之工作容器105可被降低至一載入口130上或由該載入口取回。運輸裝置可在該三個載入口之間運動，以運送或取回工件容器。載入口131上之工件容器106係可用於將藉由一運輸裝置(未示出)取回。
藉由該在上頭的運輸軌道101所支撐或經由其他安裝至一較高高度結構、例如天花板、屋頂、其他建築鋼等之懸吊結構120係一平行四邊形，其可在該Y方向中藉著如圖13所示之調整機件122移位(朝向及遠離該製程工具)。於此具體實施例中，該調整機件包括一對具有鬆緊螺套之向背桿棒。將該前桿棒調整為較短及將該後桿棒調整為較 長，可將該緩衝器01運動遠離該工具或載入口。將該前桿棒調整為較長及將該後桿棒調整為較短，可將該緩衝器運動朝向該工具或載入口。
該緩衝器01係能夠由該天花板、該在上頭的運輸軌道、製程工具懸吊、或安裝在該地板上。圖14於該地板安裝位置中顯示該緩衝器01。該地板安裝件132由該等側面支撐該緩衝器01，而允許在下方藉由操作員、AGV(自動導向車)、或RGV(地板安裝式軌道式搬運車)自由接近至該等載入口。一載入口能被由該製程工具移去，而不會移去該緩衝器01，例如用於該載入口或該工具之EFEM(前段模組設備)的維護。
該緩衝器01具有選擇性之側翼136，其允許該運輸裝置(未示出)沿著該緩衝器01之底部行進越過另外之載入口。於圖15中，所顯示之製程工具640具有5個載入口寬。其使用雙側翼136，以允許該運輸裝置於該X方向中在每一載入口上方以及能夠藉由該升降器所升高。對於藉由運輸裝置所承載之工件容器有充分之直立的間隙，以清除一安坐在載入口131上之工件容器106。這允許對於載入口上之所有工件容器隨機存取。
側翼136能固持一在該箱子內之額外的工件容器。然而，為接近在側翼箱內側之此工件容器，在該相同之位準將需要一在該鄰接架子上之容器，以必需首先被運動。相同地，如果該容器係存在，將容器放置在該側翼136箱內側將需要在該相同之位準移去一在該鄰接架子上之容器。
圖16顯示該緩衝器之二組構。在該右側上之緩衝器01沒有延伸部及裝入一具有1、2或3個載入口之工具。在左邊之緩衝器19具有二延伸部，即左延伸部137與右延伸部139，所顯示者允許該緩衝器具有一工具上之載入口的作用，該工具係1至5個載入口寬，並可另一選擇地具有二並排工具之作用，該工具具有總數高達5個之載入口。該緩衝器支撐零個側翼或延伸部、一個左側延伸部、一個右側延伸部、或一個左側及一個右側延伸部兩者。
該緩衝器提供一機件，以延伸該能用的製造製程步道。圖17顯示一典型之製造製程步道的俯視圖。製程工具372係位於該在上頭的運輸軌道381下方之最近可能位置中，在此所有三個載入口係可達到的。將工具372更進一步定位至該製程步道中之右側(朝向該上頭的運輸軌道聯接器之跨彎部366)，一或多個載入口358、357及356將接著在該在上頭的運輸軌道的陰影區域362之下，在此由一OHT至一載入口放下或拾取容器係不可能的。
工具370具有一位在其載入口352、353、354上方之緩衝器。如果該工具被運動，使得僅只一載入口位置352係在該在上頭的運輸軌道380下方，所有三個載入口保持可接近的，因為該緩衝器能經由該運輸器運輸至該其他二載入口位置。這提供該緩衝器技術的一主要優點，其中其允許該製程步道線性地板空間之利用，該空間先前不可用於製程工具調整。如此，吾人可在製造設備中達成較高密度，在更多器械上方攤還該設備之成本。
當配備有該等側翼及平直區段時，該緩衝器能延伸此空間2、3、4或更多載入口寬度超出該在上頭的運輸軌道可能放下位置之末端。
該等緩衝器01及19可藉由使用一具有軌道之平直區段138被連接在一起，一運輸裝置642能在該軌道上行進於諸緩衝器之間。另外，一右側緩衝器延伸部137及一左側緩衝器139延伸部可與零個、一或多個平直區段138結合使用，以連接多數緩衝器。在緩衝器之基底，多數運輸裝置被允許在一緩衝器內或在該軌道上，且能於緩衝器之間行進。圖18在該緩衝器之下顯示該底部軌道上之三個運輸裝置。該左側運輸裝置644正由工具650起重一工件容器105。該中心運輸裝置642係於具有工件容器的緩衝器之間行進。該第三運輸裝置646正在工具640之最右側載入口上方固持一工件容器。
如在圖19中所示，該升降器機件包括一升降器機台31，其被一線性軸承導引件32所引導及藉由一滾珠螺桿33所運動。該滾珠螺桿33被一升降器馬達驅動器34所旋轉。該機台在該升降器行中之高度(Z軸)位置係經由使用適當之電子元件及來自該升降器編碼器36之反饋所控制。
該升降器機台包括該運輸裝置之支撐前軌道37及後軌道38，其對齊至該緩衝器中之適當位準，以允許該運輸裝置在該位準滾動離開該升降器機台至一架子上，且反之亦然。
該運輸裝置180已被分段及被顯示在圖20中。當縮回 時，該夾持器181裝在該運輸器內側。該夾持器181具有捉住該工件載具之二夾爪183。該夾持器181亦包含一使用傘狀形柱塞184之感測器，以偵測一工件容器之存在、不存在、適當捉住、及不適當捉住。於此組構中，該運輸裝置係一具有電池182之電池供電裝置，且定位該等電池，使得以及不以一工件容器維持該重心。
圖21顯示傾斜直至顯示該裝置之底側的運輸裝置180，且特別顯示該工件容器機械手臂之處理凸緣導引件185，當該夾持器被降低至捉住該工件容器時，其被使用於確保該夾持器之適當對齊至該凸緣。
用於該工件容器之機械手臂處理凸緣的開口係在尺寸中受限制，使得當該凸緣藉由該導引件185所導引而進入該夾持器時，其係受控制於該X及Y方向中(這些方向形成一平行於該運輸裝置180的頂部之平面)。當該夾持器被關上時，該凸緣現在係受控制於該Z方向中。一旦關閉，沒有馬達電力被需要，以當該導螺桿螺紋角度係足以防止該夾爪後面驅動該馬達以適當地打開而沒有對該馬達通以電流時，維持該凸緣之束縛。
圖22顯示該夾持器機件190，而已移除該等蓋子。該夾持器190包括一對可運動之夾爪191，該等夾爪被關上，以捉住該工件容器凹頂。該等夾爪係藉由該夾爪導引件192所導引，且經由一導螺桿193被驅動關閉或打開。該導螺桿193係藉由馬達195經過驅動皮帶194所驅動。
該夾持器係由該運輸器經由四條平皮帶所懸吊，該等 平皮帶係經由位在該夾持器的每一角落中之起重皮帶扣196附接至該夾持器190。
該夾持器190的一更詳細視圖200被顯示在圖23中。該夾持器具有二X及二Y傾斜感測器201，以偵測該夾持器離開水平之對齊。這可藉由該夾持器被不適當地降低至一工件容器機械手臂處理凸緣上所造成，在此該夾持器的一側面停靠在該工件容器本體上，且該相反側面停靠在該工件容器機械手臂處理凸緣上，導致一狀態，在此適當之夾持器動作以在該夾持器中捉住該凸緣係不可能的。當工件容器被不適當地放置在載入口之運動用栓銷上而造成該工件容器未與其凸緣之適當定位對齊時，相同之狀態能發生，該凸緣用於藉由該夾持器所捉住。
另外地，該等傾斜感測器201能偵測該運輸裝置與一障礙物之撞擊。該夾持器使用二感測器202及203，以偵測工件容器之適當捉住及放開。
該夾爪馬達195、扭矩限制旗狀物207、及組件併入一馬達扭矩限制特色，以當該夾持器力量抵達一預設限制時提供一停止信號。於一範例中，當該夾爪馬達195驅動該夾持器夾爪191關閉時，該等夾爪在行進之末端抵達一停止部。於另一範例中，該等夾爪將夾在該工件載具機械手臂處理凸緣上。該馬達扭矩持續增加，且如此該馬達組件開始繞著該導螺桿軸線旋轉。此扭矩係與一可調整之反作用力彈簧組件204相反。該馬達扭矩造成該馬達組件之旋轉，以壓縮此彈簧及強迫該旗狀物207旋轉進入一光學中 斷該光束感測器，且提供該適當之信號至該馬達控制器以中止該馬達之運動。如此，在該工件容器機械手臂處理凸緣上之夾緊力量能被控制，以提供適當之夾住作用，以捉住該凸緣，但允許其於該Z高度中自由地浮動遍及一小範圍。當該夾持器被升高時，這允許該凸緣降下至該等夾爪之最下方表面，且此動作被用於確認該工件容器之適當捉住。
對該等夾持器電池充電之電力係經由來自該運輸器之接觸栓銷208及209所提供。首先經由栓銷209造成接觸，以排出任何可能已累積之靜電，而該夾持器係由該運輸裝置降低。
該運輸裝置50具有用於每一軸線之原點感測器。該運輸器本體53上之X軸原點感測器59被顯示在圖24中。
在圖25中，該運輸器裝置50容置該起重機件，其包括一組四條起重皮帶54、起重馬達60、一將該馬達60耦接至該起重皮帶驅動軸桿之傳送皮帶231、鬆弛皮帶張緊輪92(在下一圖面上顯示)，以保持該起重皮帶被嚙合。該等起重皮帶54被連接至捉住及放開工件容器51之夾持器52。該起重皮帶91之鬆弛側面係經由安置在起重皮帶張緊器外殼230內側之收緊主彈簧90捲繞至一捲筒上。該起重編碼器93提供該Z軸(高度)中之位置資訊，且該起重機件能經由該起重制動器94被鎖定在任何位置。該X軸編碼器及制動器組件55提供運輸器X位置反饋及提供一機械式鎖定，以防止在該X軸中之運動。
該運輸器起重機件被顯示在圖26中。該主要收緊彈簧被安置在一機罩90中，其上緊該起重皮帶91之鬆弛部。二張緊輪92提供該驅動鏈輪及該皮帶間之夾緊力量。這在運動一沒有工件容器之夾持器中是特別重要的。該起重機件係經由該制動器94鎖入一位置，且該夾持器高度之精確位置係藉由該起重編碼器93所決定。
如於圖27中，在起重機舉起期間，具有收緊主彈簧外殼90、收緊彈簧95、收緊彈簧軸桿96之鬆弛皮帶收緊機件被用於上緊該起重皮帶91中之鬆弛部。
具有升降器機台410之緩衝器01被顯示在圖28中。當該運輸器係位在該架子區域上方時，該緩衝器前面運輸器輪支撐件412對於該前面運輸器輪提供支撐，且當該運輸器係在該機台410上時，該升降器機台前面運輸器輪支撐件414提供支撐。如果該升降器機台未在該適當之位準，該互鎖支臂416阻擋該運輸器由該架子運動至該升降器行。該互鎖支臂416被移至允許該運輸器藉由該X軸運動互鎖作動凸輪418行進至該機台上。該機件之作用被一嚙合該凸輪418之互鎖支臂凸輪從動滾輪420所施行。
當該升降器機台410係不在該位準時，藉由X軸運動互鎖支臂416防止該運輸器行進離開一架子及其軌道。該運輸器輪沿著該前輪支撐軌道412行進。該互鎖支臂係藉由附接至該緩衝器機架之凸輪418所驅動。當該升降器抵達該特別位準時，該凸輪從動滾輪420嚙合該凸輪418，並將該互鎖支臂416運動至一允許該運輸器驅動通過至該升降 器或離開該升降器之位置。當該升降器離開一位準時，該互鎖支臂416運動退入適當位置，因其凸輪從動滾輪420滾動離開該凸輪418。圖29顯示在該阻擋位置中之互鎖支臂，而防止該運輸器行進離開一架子區域。圖30顯示在該開啟位置中之互鎖支臂。
如圖31所示，被安置於該夾持器200中之工件容器感測器機件包括捉住作為該工件容器的一部份之工件容器機械手臂處理凸緣254的二夾爪183、一傘狀形柱塞184，以作動被用於偵測工件容器之不存在或存在的發射器/檢測器感測器256、258及發射器/檢測器感測器260、262。
該發射器/檢測器感測器260、262產生一能被該傘狀柱塞184之桿柄所中斷的光束432。同樣地，該發射器/檢測器感測器256、258產生一能被該傘狀桿柄所中斷的光束431。該傘狀桿柄435之平坦端部亦被用作一光束中斷機件，如圖32所示。此圖面顯示在一縮回位置中之夾持器指狀件183及該處理凸緣254，因其剛好在與該傘狀柱塞184造成接觸之前。於此位置中，無一光束431或光束432已被中斷。
當該夾持器200被降低至該工件容器之機械手臂處理凸緣254時，該傘狀圓頂接觸該機械手臂處理凸緣之凹入區域，且該傘狀圓頂開始被下壓。當送出一工件容器之偵測的信號發生時，該光束432被中斷，如圖34所示。
該傘狀桿柄具有一刻槽434，其當被下壓至該適當數量時將允許光束432被再次設立。
當該夾持器200持續進一步被降低時，該傘狀柱塞被進一步下壓，直至該光束431已被中斷，但該光束432保持被中斷，如圖35及圖36中所示。這對該夾持器發出信號，即該機械手臂處理凸緣254係於該適當位置中，以關閉該夾持器200之夾爪183。
於圖37及圖38中，該等夾爪183被顯示為關閉的。在此位置，該機械手臂處理凸緣254係完全被該夾爪183及夾持器本體所捉住，且該工件容器現在係準備好被舉起。
如果該夾持器200係持續進一步降低，該傘狀柱塞184將被進一步下壓，結果是光束431被中斷及光束434被經過該傘狀柱塞184桿柄中之圓周刻槽434重建。這是高度中之多餘行程的一指示，如可在圖39及圖40中看見者。
於一簡化之橫截面視圖中，圖41顯示具有在該完全下方位置中之傘狀柱塞的光束431及432，在此沒有工件容器已被偵測。於此位置中，光束431及432被建立。於該接近位置中之傘狀柱塞的位置被顯示在圖42中。於此位置中，光束431被中斷，且光束432被建立。該傘狀柱塞的承載或舉升工件容器位置被顯示於圖43中。於此位置中，該光束431被建立，而光束432被中斷。於該最後位置中，在此該夾持器已降低太遠至該機械手臂處理凸緣上，該傘狀桿柄被升高太高，如圖44中所示。於此位置中，光束431及432兩者被中斷。此機件被使用於偵測及防止起重皮帶鬆弛。
該夾持器係經由起重皮帶扣196附接至一組四個起重皮帶251。該夾子包括一夾子擋塊外殼252、皮帶齒嚙合及 調整板274，如圖45所示。該調整板274具有嚙合該皮帶及造成該板及皮帶受限於該擋塊252中之齒部。這防止該皮帶能夠被由該頂部側面拉出該夾子。萬一鎖定螺絲253或皮帶調整螺絲276變鬆或掉出，該皮帶保持繫留在該皮帶扣擋塊中。為校平該夾持器組件，該等鎖定螺絲253被放鬆，該等四個皮帶的每一個上之調整螺絲被調整至校平與平均地張緊該起重皮帶251。當被校平及張緊時，該鎖定螺絲253被鎖緊。
該起重皮帶251係在該皮帶之頂端附接至圖46中之皮帶收緊捲筒280上的運輸器。該皮帶在皮帶導引件惰輪264上方於驅動鏈輪282及壓力滾筒263之間由該夾持器向上行進至該收緊捲筒261上。該皮帶之端部係在該收緊捲筒之中心繫留在像鏈輪之組件中，而萬一意圖驅動所有該鬆弛皮帶離開該捲筒280，防止該皮帶被釋放。
該夾持器經由一光學通訊機件與該運輸器通訊。由夾持器至運輸器571之光學路徑及由運輸器至夾持器572之光學路徑允許同時之雙向通訊。這提供來自該夾持器中之傾斜感測器的即時資訊至該運輸器及由該運輸器至該夾持器之即時通訊，如圖47所示。
該運輸裝置50經由IRDA(紅外線資料協會)資料收發器582無線地通訊至該緩衝器，如圖48中所示。其經由安裝於該緩衝器中之IRDA資料收發器580通訊至該緩衝器。有一安裝在該緩衝器的每一位準上之資料收發器580，以在該緩衝器內提供通訊。該緩衝器中之運輸器的 位準被使用於識別該位準上之運輸器的存在或不存在。
01‧‧‧緩衝器
02‧‧‧出入門
03‧‧‧出入門
04‧‧‧維修門
05‧‧‧窗口
06‧‧‧燈面板
07‧‧‧電力斷路器
08‧‧‧互鎖裝置
09‧‧‧鉸鏈
10‧‧‧雙向通口
11‧‧‧雙向通口
19‧‧‧緩衝器
20‧‧‧導軌
21‧‧‧導軌
24‧‧‧支撐軌道
25‧‧‧後方面板
26‧‧‧側面板
30‧‧‧安全裝置
31‧‧‧升降器機台
32‧‧‧軸承導引件
33‧‧‧滾珠螺桿
34‧‧‧升降器
35‧‧‧擋門
36‧‧‧升降器編碼器
37‧‧‧前軌道
38‧‧‧後軌道
45‧‧‧工件容器
46‧‧‧工件容器
50‧‧‧運輸器
51‧‧‧工件容器
52‧‧‧夾持器
53‧‧‧運輸器
54‧‧‧起重皮帶
55‧‧‧編碼輪
56‧‧‧驅動輪
59‧‧‧原點感測器
60‧‧‧起重馬達
61‧‧‧工件容器
62‧‧‧運動用栓銷
63‧‧‧軸線
64‧‧‧架子
70‧‧‧感測器列陣
71‧‧‧壓力襯墊
72‧‧‧連接件
73‧‧‧力量傳送機件
74‧‧‧力量傳送機件
75‧‧‧薄膜開關
76‧‧‧頂部薄膜
78‧‧‧薄膜組件本體
80‧‧‧感測器列陣元件
90‧‧‧主彈簧
91‧‧‧起重皮帶
92‧‧‧張緊輪
93‧‧‧起重編碼器
94‧‧‧起重制動器
95‧‧‧收緊彈簧
96‧‧‧收緊彈簧軸桿
100‧‧‧在上頭的運輸車輛
101‧‧‧在上頭的運輸軌道
103‧‧‧工件容器
104‧‧‧工件容器
105‧‧‧工件容器
106‧‧‧工件容器
120‧‧‧懸吊結構
122‧‧‧調整機件
130‧‧‧載入口
131‧‧‧載入口
132‧‧‧地板安裝件
136‧‧‧側翼
137‧‧‧延伸部
138‧‧‧軌道
139‧‧‧延伸部
180‧‧‧運輸裝置
181‧‧‧夾持器
182‧‧‧電池
183‧‧‧夾爪
184‧‧‧柱塞
185‧‧‧凸緣導引件
190‧‧‧夾持器機件
191‧‧‧夾爪
192‧‧‧夾爪導引件
193‧‧‧導螺桿
194‧‧‧驅動皮帶
195‧‧‧馬達
196‧‧‧皮帶扣
200‧‧‧夾持器
201‧‧‧傾斜感測器
202‧‧‧感測器
203‧‧‧感測器
204‧‧‧彈簧組件
207‧‧‧扭矩限制旗狀物
208‧‧‧接觸栓銷
209‧‧‧接觸栓銷
230‧‧‧張緊器外殼
231‧‧‧傳送皮帶
251‧‧‧起重皮帶
252‧‧‧夾子擋塊外殼
253‧‧‧鎖定螺絲
254‧‧‧處理凸緣
256‧‧‧感測器
258‧‧‧感測器
260‧‧‧感測器
261‧‧‧收緊捲筒
262‧‧‧感測器
263‧‧‧壓力滾筒
264‧‧‧惰輪
274‧‧‧調整板
276‧‧‧調整螺絲
280‧‧‧收緊捲筒
282‧‧‧驅動鏈輪
352‧‧‧載入口
353‧‧‧載入口
354‧‧‧載入口
356‧‧‧載入口
357‧‧‧載入口
358‧‧‧載入口
362‧‧‧陰影區域
366‧‧‧跨彎部
370‧‧‧工具
372‧‧‧製程工具
380‧‧‧在上頭的運輸軌道
381‧‧‧在上頭的運輸軌道
410‧‧‧升降器機台
412‧‧‧支撐件
414‧‧‧支撐件
416‧‧‧互鎖支臂
418‧‧‧作動凸輪
420‧‧‧從動滾輪
431‧‧‧光束
432‧‧‧光束
434‧‧‧刻槽
435‧‧‧桿柄
571‧‧‧運輸器
572‧‧‧夾持器
580‧‧‧資料收發器
582‧‧‧資料收發器
640‧‧‧製程工具
642‧‧‧運輸裝置
644‧‧‧運輸裝置
646‧‧‧運輸裝置
650‧‧‧工具
圖1係一緩衝器之透視圖。
圖2係由該緩衝器之後面的透視圖，並使該背面板被移除，而顯示該升降器處於一上方位置中。
圖3係由該緩衝器之後面的透視圖，並使該背面板被移除，而顯示該升降器處於一下方位置中。
圖4係由該緩衝器之後面的透視圖，並使該背面板被附接。
圖5係由該緩衝器之底部的透視圖，並使該擋門關閉。
圖6係由該緩衝器之底部的透視圖，並使該擋門打開。
圖7係一放置及存在感測器機件之透視圖。
圖8係一放置及存在感測器列陣之透視圖。
圖9係該放置及存在感測器之接觸墊的透視圖。
圖10係一經過該放置及存在感測器之接觸墊的橫截面視圖。
圖11係一具有延伸至承載一工件容器之夾持器的運輸裝置之透視圖。
圖12係在三載入口上方由OHT軌道所懸吊之緩衝器的透視圖。
圖13係由具有Y軸調整的OHT軌道所懸吊之緩衝器的 透視圖。
圖14係由該地板所支撐之緩衝器的透視圖。
圖15係具有選擇性側翼及一地面承架以提供用於4或5個載入口之覆蓋範圍的緩衝器之透視圖。
圖16係具有另一選擇之選擇性側翼的緩衝器之透視圖。
圖17係一製造設備處理步道之俯視圖。
圖18係具有選擇性側翼的緩衝器之透視圖。
圖19係該緩衝器之升降器機件的透視圖。
圖20係該運輸裝置的一透視橫截面俯視圖。
圖21係該運輸裝置的一透視橫截面仰視圖。
圖22係該夾持器機件之透視俯視圖。
圖23係該夾持器機件之透視細部俯視圖。
圖24係該運輸裝置的原點感測器之透視圖。
圖25係已移除蓋子之運輸裝置的透視圖。
圖26係該運輸裝置起重機件之透視圖。
圖27係該運輸裝置收緊彈簧機件之透視圖。
圖28係具有互鎖支臂的緩衝器之透視圖。
圖29係該緩衝器互鎖支臂及凸輪於該阻擋位置中之細部透視圖。
圖30係該緩衝器互鎖支臂及凸輪於該開啟位置中之細部透視圖。
圖31係已移除蓋子之夾持器的透視橫截面俯視圖，而使夾持器接近該容器地顯示該工件容器感測器機件。
圖32係該夾持器工件容器感測器機件之透視橫截面的細部俯視圖，而使夾持器接近該容器。
圖33係已移除蓋子之夾持器的透視橫截面俯視圖，顯示該工件容器感測器機件，而具有已被偵測之容器。
圖34係該夾持器工件容器感測器機件之透視橫截面詳細俯視圖，而具有已被偵測之容器。
圖35係已移除蓋子之夾持器的透視橫截面俯視圖，顯示在鎖定高度的工件容器感測器機件。
圖36係在鎖定高度的夾持器工件容器感測器機件之透視橫截面頂部詳細視圖。
圖37係已移除蓋子之夾持器的透視橫截面俯視圖，顯示具有被夾持容器之工件容器感測器機件。
圖38係具有被夾持容器之夾持器工件容器感測器機件的透視橫截面詳細俯視圖。
圖39係已移除蓋子之夾持器的透視橫截面俯視圖，顯示該工件容器感測器機件，而具有已被偵測之多餘行程。
圖40係該夾持器工件容器感測器機件之透視橫截面詳細俯視圖，而具有已被偵測之多餘行程。
圖41係該夾持器的傘狀感測器於該完全下方位置中之橫截面正視圖。
圖42係該夾持器的傘狀感測器於該夾持位置中之橫截面正視圖。
圖43係該夾持器的傘狀感測器於該承載位置中之橫截面正視圖。
圖44係該夾持器的傘狀感測器於該高的位置中之橫截面正視圖。
圖45係該夾持器之起重皮帶扣的一透視圖。
圖46係該等運輸裝置起重皮帶收緊及驅動機件之透視圖。
圖47係該緩衝器及運輸器之透視圖，顯示該二者間之IRDA光學通訊。
圖48係一被組構成經由IRDA(紅外線資料協會)資料收發器與緩衝器無線地通訊的運輸裝置之透視圖。
01‧‧‧緩衝器
02‧‧‧出入門
03‧‧‧出入門
04‧‧‧維修門
05‧‧‧窗口
06‧‧‧燈面板
07‧‧‧電力斷路器
08‧‧‧互鎖裝置
09‧‧‧鉸鏈
10‧‧‧雙向通口
11‧‧‧雙向通口

Claims (8)

  1. 一種被組構成在製造設備中之緩衝器內運輸工件容器之運輸機件，包括：一運輸器，其被組構成在二軌道上行進，其中該運輸器包括(i)被組構成舉起及降低一或多個工件容器之平皮帶起重機件，及(ii)被組構成捕捉及釋放該一或多個工件容器之夾持器機件；一工件容器，其被組構成儲存一或多個工件；一緩衝器，其包括被組構成固持該一或多個工件容器的一或多個儲存架子及被組構成供以在上頭的運輸車輛交換工件容器的多個輸入/輸出架子，該多個輸入/輸出架子，係被配列成排列於前述緩衝器寬度方向，該儲存架子係被配列於該輸入/輸出架子的下方，該緩衝器，係更包括：二機架軌道，用於使該運輸器行進，以延伸於該緩衝器之寬度方向的方式，安裝在每一儲存架子與每一輸入/輸出架子上方及該運輸器行進之載入口上方且該緩衝器之基底；及一升降器，被組構成在諸位準之間運動該運輸器，其具有一機台，該機台設有二機台軌道，以支撐在諸位準之間運動的期間之具有工件容器之運輸器，且被配置成在延伸於該緩衝器之寬度方向且諸位準上，與該機架軌道對齊，而具有用於對齊在每一輸入/輸出架子上方及在載入口上方且該緩衝器的基底的該機架軌道與該等機台軌道之對齊能力； 該運輸機件，係更包括：一支撐件，其被組構成使該緩衝器位於製程工具的一或多個載入口上方，及一控制機件，其被組構成：引導該運輸器，在儲存架子或輸入/輸出架子與該升降器之機台之間、及該升降器之機台與載入口位置之間運動，而運輸工件容器；引導該升降器，以由位準至位準地運動，而運動該運輸器之機台；同步化該升降器、運輸器、及工件容器之運動；及與一在製造設備內管理工件容器之運動的工件容器運動系統交換指令。
  2. 如申請專利範圍第1項之運輸機件，其中該控制機件被組構成指示：一運輸器行進至一開始位置；一起重機件降低一夾持器機件至該工件容器；一夾持器機件捕捉該工件容器；一起重機件將具有所捕捉之工件容器的夾持器機件升高至一停駐位置；一運輸器行進至一目的地位置；一起重機件將具有所捕捉之工件容器的夾持器機件降低至該目的地；一夾持器機件釋放該工件容器；及 一起重機件縮回該夾持器機件。
  3. 如申請專利範圍第1項之運輸機件，其中該製造設備包括半導體製造設備。
  4. 如申請專利範圍第1項之運輸機件，其中該製造設備包括平坦面板製造設備。
  5. 如申請專利範圍第1項之運輸機件，其中該運輸器被組構成依靠內部電力操作。
  6. 如申請專利範圍第1項之運輸機件，其中該夾持器機件被組構成依靠內部電力操作。
  7. 如申請專利範圍第1項之運輸機件，其中該內部電力包括電池儲存電力。
  8. 如申請專利範圍第1項之運輸機件，其中該運輸器被組構成由電阻式耦合電連接接收外部電力。
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