TW483168B - Ferroelectric transistor - Google Patents
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Description
483168 A7 ___B7_ 五、發明說明（1 ) 已有一段時間對鐵電材料在儲存應用上之特性予Μ研 究。主要是考慮二種形式。一方面是使用鐵電材料於 DRAM記憶胞配置之電容器中作為一種具有高介電常數之 介電質曆。另一方面是設置鐵電質電晶體（例如*請參 閲 EP 0566 585 B1; Η·Ν· Lee et al, Ext· Abstr·
Int. Conf, SSDM, Hamatsu, 1997, Page 382-383; Ι·Ρ· Han et al, Integrated F e r r o e 1 e c t r i c s , 1 99 8, VoK 22, Page 213-221),其具有二個源極/汲極區，一個 通道區及一個閘極電極，其中在閘極電極和通道區之間 設置一種由鐵電材料所構成之層。電晶體之導電性是與 鐵電材料所構成之層之極化狀態有關。此種鐵電質電晶 體適合用在永久性記憶體中。數位資訊之二種不同之邏 輯值對應於鐵電材料層之二種不同之極化狀態。此種鐵 電質電晶體之其它應用可能性例如可Μ是神經網路。 由於鐵電材料（其配置在半導體基板表面）顯示出不良 之界面特性，其對鐵電質電晶體之電性有不良之影響， 因此建議在鐵電質電晶體中在鐵電層和半導體基板之間 使用一種由 Si〇2 (請參閲 ΕΡ 0566 585 Bl), MgO，Ce〇2 ,ZR02 , SrTi〇3 , Y2O3 (請參閲 Η·Ν· Lee et al，
Ext. Abstr. Int. Conf· SSDM, Hamatsu, 1997, Page 3 82 -383 ) 3K S i 3 H 4 (請參閲（Ι·Ρ· Han et al,
Integrated Ferr0e 1 ectrics , 1 998, Vol. 22, S. 213 -221)所構成之中間層。這些材料是穩定之絕緣氧化物， 其可在鐵電層和半導體基板之表面之間形成一種足夠好 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ϋ ϋ ϋ I I lb ϋ ϋ i - — — 4 — — — — I - I I I I I I I ^ a — — — — — — — — „ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 483168 A7 B7 五、發明說明（ 層餘 電剩 鐵之 使層 間電 之鐵 板設 基假 體。 導場 7ΓΓ 霄 之生 用產 極而 電化 為極 作之 和餘 極剩 參&m 。 極藉 面閘。 界在化 之 極 ε Μ ( 9 2 2 ο 是 i ) S 約 由大 一 大 則場 , 電 2 之 mrtu c 0 C/達 /i可 10所 是層 約間 大中 值之 之成 化構 極所 麵 £ 式 公 此 據 依 是 小 大 之 場 電 ^ # 電 是 E 中 其
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 場大小，σ是剩餘之極化。由於Si〇2之擊穿電場強度 只有10MV/cm,因此必須以中間層之電性擊穿來計算。 特別是 SBT(SrBi2 Ta2 〇9 )或 PZT(PbZrx Pii-X 〇2 )之 剩餘極化之值大於10 w c/cm 2,因此在使用介電常數較 大之介電質材料（例如，Si〇2)時須考慮：臨界範圍 中會產生各種場強度。 本發明之目的是提供一種鐡電質電晶體，其中可防止 介電質層（其配置在鐵電層和半導體基板之間）被擊穿。 依據本發明，上述目的藉由申請專利範圍第1項之 鐵電質電晶體來達成。本發明之其它形式敘述在申請專 利範圍各附屬項中。 鐵電質電晶體特別適合用作記憶胞配置中之記憶胞。 電質質晶體包含第一源極/汲極區，通道區及第二源 極/汲極區，這些區域鄰接於半導體基板之主面。通道 區配置在第一源極/汲極區和第二源極/汲極區之間。 此電晶體設有一種介電質層，其覆蓋至少此通道區之表 面且重叠於第一源極/汲極區之表面上。鐵電層配置於 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 483168 A7 __B7_ 五、發明說明（3 ) 介電質層之表面上，此鐵電層覆蓋第一源極/汲極區之 與通道區相鄰接之部份。 在介電質層表面上另外配置第一極化電極及第二極化 電極，在此二個極化電極之間配置鐵電層。在第一通道 區上方在介電質層之表面上配置閘極電極。 通道區之第一區上方（即，閘極電極下方）之介電質 層之厚度小於此介電質層在通道區之第二區（其配置在 第二極化電極下方）上方之厚度。須測量第一源極/汲 極區之與通道區相鄰接之此部份（其由鐵電層所覆蓋）上 方之介電質層之厚度，使鐵電層之剩餘之極化（其平行 於主面）可在通道區之第二區中產生一些補償電荷。 由於鐵電質電晶體中鐵電層之剩餘極化藉由第一極化 電極和第二極化電極而平行於主面，則由剩餘極化所產 生之電場同樣平行於主面。通道區之第二區中之補償電 荷是由側面之雜散電場所產生，此種雜散電場較電場本 身小很多，這樣可防止半導體基板和鐵電層之間的介電 質層被擊穿。 依據鐵電層之極化狀態而在通道區之第二區中產生很 多不同之補償電荷。為了儲存數位資訊，鐵電層須可切 換成二種不同之極化狀態，其中一個極化狀態須在第二 區中產生許多補償電荷，使第二區導通，而另一個極化 狀態須產生很少之補償電荷，使通道區之第二區不導通 。藉由閘極電極（其控制通道區之第一區）來控制鐵電質 電晶體。須檢測此鐵電質電晶體是否導通，此時鐵電層 -5 ~ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ·—i.—»—I--------^---------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 483168 A7 B7 五、發明說明（ 4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 電通 所電接上平離聚 區份道發時 方。 極層極第 質使 W 化鄰區面隔會 道部通本場 之極層源質電於 電以 入極相二主之不 通此與。電 利電質一電化介 鐵足 寫二區第與層而 在之之的散 有之電第介極種 此不 之第道之之質中 置接區同雜 ’同介與之一此 測態 訊和通區區電區 配鄰極相向 言共之是方第較 檢狀spffii與道二介二 是栢汲是横 而為方度上於寸 或化 1|之通第之第 份區 / 度之。降作下厚之介尺 ，極 應 b 區於之方之 部極極厚小中下M極之份與之 通該 對 W 極小區上道 一汲源之較區之極電&)部種直 導下 汲度道區通 之 /1 層在道求電化 U 此此垂 區況 ¢1/ 厚通二在 層極第質：通需極極ε±之，相 二情 變 極之於第集 電源及電是於積閘一SC接中面 第種 改g 源層小：聚 鐵一M介點生面及第 U 鄰造主 藉® 之此 之卩一質且保荷。 ，第度之優產體極， 相構之 區在。態} 第電度確電面式與厚方之可晶電式ί/區種面 道，通狀變是介厚可償表形一之上有亦電化形ife道此界 通通導化改別之之樣補之之之層份具荷質極之-¾通在之 使導區極之特方層這使層明區質部所電電二明 ί 與。間 K未二 之訊。上質。 ，質發道電此造償鐵第發 Λ、、 之同之 足否第層資成之電寸好電本通介之構補種成本 ^ 區相層 化是之電之達份介尺很介據。之鄰種之此形據E1極度電 極體區鐵存來部之之用在依方方相此夠就是依Rie汲厚鐵 之晶道 儲極之方行作集 上上區明足 式 ί / 之和 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 483168 A7 _ B7_ 五、發明說明（5 ) 二極化電極和鐵電層之間者選大。這樣可使通道區之第 二區中有效之雜散電場變大。 依據本發明之其它形式，第一極化電極下方之介電質 層之厚度和第二極化電極下方之介電質曆之厚度相同。 因此，此種與介於第一極化電極和鐵電層之間之界面之 主面相垂直之尺寸是與此種介於第二極化電極和鐵電曆 之間者相同，這就鐵電質電晶體之製造而言是有利的。 依據本發明之實施形式，介電質層包含第一介電質曆 及第二介電質層。第一介電質層因此是配置在主面上。 第二介電質層配置於第一介電質層上。第二介電質層在 閘極電極之區域中具有一個開口，使閘極電極配置在第 一介電質層之表面上。第一介電質層因此即是鐵電質電 晶體之閘極介電質。此種形式所具有之優點是：第一介 電質層就其用作閘極介電質此種特性而言可被最佳化， 而第二介電質層即是此種至鐵電層之界面且可相對於此 鐵電層而被最佳化。第一介電質層較佳是含有Si〇2 , Ce〇2 , Zr〇2或Ta2 Os且厚度是在3.5nm和20nm之間。 第二介電質曆較佳是含有Si3 N4 , Ce〇2 ,或其它可選 擇性地被蝕刻之介電質層且在通道區之第二區上方所具 有之厚度是在10和500nm之間而在第一源極/汲極區之 與通道區相鄰接之此部份之上方所具有之厚度是在l〇nm 和30 0 nm之間。若可選擇性之蝕刻對此種製程而言不重 要，則第二介電質層亦可含有一種不可選擇性地被蝕刻 之介電質材料。就鐵電質層可能之退化而言，有利之方 -7- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）
Ml· - -------·裝--------訂---------線· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 483168 A7 B7 0 五、發明說明（） 式是使第二介電質層設置成氣隙或真空區。於是形成一 種輔肋結構，其在相鄰之各結構製成之後又被蝕刻去除 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 鐵電層可含有適用於鐵電質電晶體之全部之鐵電材料 。鐵電層特別是含有SBT(SrBi2Ta2〇9), PZT (PbZrx Tii»x 〇2 )或 BMF(BaMgF4 ) 〇 適合製備積體電路之所有基板都適合用作半導體基板 。半導體基板特別是一種單晶矽晶圓，SOI基板，Si Ge 基板或III-V-半導體。 本發明Μ下將依據顯示在圖式中之實施例來詳述。圖 式之簡單說明： 第1圖係鐵電質電晶體之切面。 第2圖係記憶胞配置之佈局，其記憶胞具有鐵電質電 晶體。 第3至5圖係鐡電質電晶體之製造步驟。 在由單晶矽所構成之半導體基板11中配置第一源極/ 汲極區121及第二源極/汲極區122,這些區121, 122是 η+摻雜的且此此二區之間配置一個通道區13(第1圖） 。第一源極/汲極區121,通道區13和第二源極/汲極 區122鄰接於半導體基板11之主面110。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在主面110上配置一種厚度是20nm之由Ce〇2，Zr〇2 ,Ta 2 〇 b或SiO 2所構成之第一介電質層14。在第一源 極/汲極區121上方配置一種由Si3N4所構成之第二介 電質層15，其覆蓋通道區13之與第一源極/汲極區121 相鄰接之此部份。在第二介電質層15之衷面上配置第一 -8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ^1()8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（7) 電極16,鐵電層17和第二電極18，其中第二電極18在側 面上覆蓋第二介電質層15且一部份配置於第一介電質層 14之表面上。鐵電層17配置於第一源極/汲極區121之 與通道區13相鄰接之此部份之上方。鐵電層17另外延伸 至通道區13之與第一源極/汲極區121相鄰接之此部份 之上方為止。鐵電層含有PZT或SBT且厚度是在100至300 nm之間。第一電極16和第二電極18含有鉑。 第一電極16下方和鐵電層17下方之第二介電質曆15之 厚度是200nm。第二電極18之區域中之介電質層15之厚 度是2至50nm。第二電極18之此部份（其配置於通道區 13之第一區131上方之第一介電質層14之表面上）用作閘 極電極。第二電極18之此部份（其配置於第二區132上方 之第二介電質層15之表面上）用作第二極化電極。第一 電極16用作第一極化電極。 設置一種可整平之鈍化層19,其覆蓋第一電極16,鐵 電層17和第二電極18且此種純化層19中設置一些金屬接 觸區111,這些金屬接觸區111到達第一源極/汲極區 121,第一電極16和第二源極/汲極區122。第一電極16 和第一源極/汲極區121設有一種共同之接觸區111。 在此種鐵電質電晶體中，藉由謓出一種介於第一電極 16和第二電極18之間的電壓，則鐵電層17之剩餘極化會 平行於此種流經通道區13之電流之方向而對準。鐵電曆 1 7只有一部份覆蓋此通道區1 3。第二電極1 8只有一部份 覆蓋此鐵電層17。在此種配置中，補償鐵電層17之鐵電 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） — l·!! — Imp - ------^---------. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 483168 A7 _B7_ 五、發明說明（8) 極化所需之表面電荷主要是配置在此種至第一電極16和 至第二電極18之界面上。在此種區域（其中此鐵電層17 在側面上鄰接於第二區132上方之第二介電質層15之較 厚之部份）中配置表面電荷Μ便補償半導體基板11中之 鐵電極化。此種補償電荷配置在通道區13之與第一 源極/汲極區121相鄰接之此部份中。這些補償電荷依 據鐵電曆17之極化而使通道區13之上述部份導通或未導 通。為了使通道區1 3之此部份導通，則大約0 · 1 /i c / c m 之電荷密度是足夠的。這種值大約是鐵電層17之剩餘極 化之值之1¾。通道區之此部份大約可較鐵電層17之在側 面上與第二介電質層15相鄰接之此部份大13倍（一般是 10至 100倍）。 由於鐵電質電晶體中這些補償電荷之絕大部份是局部 化集中於鐵電層17之至第一電極16或至第二電極18之界 面上，則靜止狀態和資料內容在時間上幾乎是穩定的， 就像鐵電質電容器中者一樣。不會產生一種去（de_)極 化電場，此種電場通常在鐵電層之表面和補償電荷之間 存在一種較大之間距時發生。 由於鐵電層只配置於通道區1 3之一部份之上方，則鐵 電層17之附近中之電場Μ及第一區131之第一介電質層 14(其在第一區131中用作閘極介電質）上之電場是不同 的。因此可避免閘極介電質上之電性擊穿現象及可靠性 問題。同時可使鐵電曆17被極化至其最大值，這樣可改 良資料内容。適用於微電子元件中之全部之鐵電材料， -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝--------訂---------線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 483168 A7 B7_ 五、發明說明（9) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) PZT, SBT或同類之材料（其是由其它物質來摻雜或藉由 一種元素由其它元素來取代而產生）都可使用於鐵電層 17中。 鐵電物質之較高之剩餘之極化（其是依據各種不同之 觀點，例如，疲乏，壓印等等，而被最佳化）K及與此 相關之高的電荷密度在此種鐵電質電晶體中都不會在電 晶體結構中造成問題。 第二電極18之配置在第一區131上方之此部份在電晶 體中用作閘極電極，其是直接配置在第一介電質層14 (其在此區中用作閘極介電質）之表面上。這樣較習知之 鐵電質電晶體而言所具有之優點是：在閘極電極和閘極 介電質之間不會有其它之電容串聯著。在鐵電層17和第 一電極16(其用作第一極化電極），第二電極18(其用作 第二極化電極）之間亦不會連接其它電容，否則電壓（其 施加在第一電極16和第二電極18之間以產生極化）之一 部份會下降於這些電容上。相較於習知之鐵電層電晶體 結構而言，本案此種鐵電質電晶體中之鐵電層17可被極 化而不會有問題。習知配置中之程式化電壓在本案中是 不需要的。鐵電質電晶體只需三個接點即可實現。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 為了寫入或拭除資訊，則須施加一種相對應之寫入或 拭除電壓至第一電極16和第二電極18。鐵電層17因此被 極化。 為了謓出資訊，相同之電壓須施加至第一電極16和第 二電極18。此時不會有電壓下降於鐵電層17上。因此允 -11- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 吻168 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（1Q) 許~種非破壞性之謓出。 在各種應用中，此時各種不同之電壓施加至第一電極 16和第二電極is以便讀出資訊，有利之方式是在讀出之 後在第一電極16和第二電極18之間施加一種程式化脈波 ，以便藉由鐵電曆17之極化又使所儲存之資訊更新。 須選取第二源極-汲極區122上之讀出電壓，Μ便藉 此電壓使通道區13之第一區131(其不受鐵電曆17所控制） 反相（inversion)而開啟（open)。所寫入之資訊之評估 是藉由第一源極-汲極區121及第二源極-汲極區122之 間之通道檢測來達成，只有當鐵電曆17被極化成：第一 區131外部之通道區13同樣是反相時才有電流流過通道 區1 3 0 在記憶胞配置中為了控制一種作為記憶胞用之鐵電質 電晶體，如第1圖所示，則第一源極-汲極區1 2 1和第 一電極16須經由接觸區111而與寫入線SL相連接（第2圖） 。第二源極-汲極區122經由所屬之接觸區111而與位元 線BL相連接。寫入線SL平行於位元線BL而延伸。字元線 WL垂直於寫入線SL和位元線BL而延伸且與第二電極18相 連接，第二電極18則與鐵電曆17相鄰接。在記憶胞配置 中設置許多互相平行延伸之位元線，寫入線和字元線， 這些線K上述方式而與各別之鐵電質電晶體相連接。 為了製成鐵電質電晶體，則在單晶矽構成之半導體基 板21中依據LOCOS方法或STI方法首先藉由一種隔離結構 之形成而界定一些主動區（未顯示）。然後藉由遮罩式植 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） — 1^ -------------^---------^ AW (請先閱讀背面之注音3事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 483168 A7 B7__ 1 1 五、發明說明（） 入而產生第一源極-汲極區221和第二源極-汲極區222 (第3圖）。在第一源極-汲極區221和第二源極-汲極 區222之間配置一種通道區23。 在第一源極-汲極區221,第二源極-汲極區222和通 道區23這些區域之表面上施加第一介電質層24,第一介 電質層24可由Si02藉由氧化作用而產生（其厚度是4至 ΙΟηιη)或藉由Ce〇2之CVD沈積（厚度是5至20nm)且然後 進行退火而產生。隨後沈積由Si3 N4 ,钛酸緦或由與 第一介電質層24相同之材料所構成之第二介電質曆25且 進行結構化。此種結構化是由遮罩式蝕刻來達成。因此 ，使第一介電質層24之表面在通道區23之第一區231上 方裸露出來。此外，在第一源極-汲極區221之與通道 區31相鄰接之此部份之上方該第二介電質層25之厚度減 少至200nm。在通道區23之第二區232上方使第二介電質 曆25之整個10至500nra之厚度都保持著。 然後WCVD方法由PZT或SBT而沈積1〇〇至300ηια厚之鐵 電曆且隨後進行結構化。鐵電曆2 6配置在第一源極-汲 極區221之與通道區23相鄰接之此部份之上方之第二介 電質層25之表面上（第4圖）。藉由鉑之沈積及非等向性 蝕刻而在鐵電層26之相面對之側面上形成第一電極27和 第二電極28,其類似於間隔層（spacer)(第4圖）。第二 電極28延伸至通道區23之第二區231上方和與第二區231 相鄰接之第二源極-汲極區222上方之第一介電質曆24 之裸露之表面為止。 -1 3 ~ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） . -------tjp 裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 483168 A7 B7 12 其積火由 ,沈退藉 驟銷次且 步或多層 火後行質 退之進電 種化點介 一 構間個 行結時一 進層之另 須電同之 ,鐵不厚 質，在nm 品後可00 之之是15 26積式0M 曆沈方40 電 層一積 鐵電另沈 良鐵。由 改在行藉 了 接進後 為直後然 可之 五、發明說明（ 化學-機拭式拋光（CMP)而產生一種可整平之鈍化層29 (第5圖）。在此種可整平之鈍化層29中對各接觸孔進行 蝕刻直至第一源極-汲極區22 1且至第二源極-汲極區 222為止且各接觸孔分別設有一種接觸區211。此種至第 一源極-汲極區221之接觸孔同時到達第一電極27,使 相對應之接觸區211在電性上可將第一電極27與第一源 極-汲極區221相連接。 第5圖所示之鐵電質電晶體不同於第1圖所示者只是 :第5圖中第二介電質曆25之厚度只有在第一源極-汲 極區221之與通道區23相鄰接之此部份之上方才變小且 第一電極27和鐵電層26之間之界面，第二電極28和鐵電 層26之間的界面是同樣大的。就作用方式及K第1圖來 敘述之優點而言第5圖之鐵電質電晶體是相同的。 參考符號說明 - ------Aw ^--------^---------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 11,21. .半導體 基板 13,23. 14,15. .介電質 層 16 ·… •第 一電極 17 ·… ah* 電層 18…， •第 二電極 -14- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 483168 A7 B7 13 五、發明說明（） 2 4,25 .....介電質層 26.....鐵電層 27,28 .....電極 110.....主面 121,122.....源極/汲極區 131,231.....第一區 1 32,232.....第二區 211.....接觸區 221,222.....源極/汲極區 ^---1-----裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -15- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）
Claims (1)
- 483168 ABCD六τ申育專对範圍 第89 1 20043號「鐵電質電晶體」專利案 （91年2月修正） 1 . 一種鐵電質電晶體，其特徼為： -第一源極/汲極區，通道區和第二源極/汲極區郯 接於半導體基板之主面，而通道區是配置在第一源 極/汲極區和第二源極/汲極區之間， -設置一種介電質曆，其至少覆蓋通道區之表面且重 疊於第一源極/汲極區之表面上， -在介電質層之表面上配置一種鐵電曆，其覆蓋第一 源極/汲極區之至少與通道區相郧接之此部份， -在介電質層之表面上另外配置第一極化電極和第二 極化電極，此二個極化電極之間配置鐵電層， -在通道區之第一區上方配置一種閘極電極， -通道區之第一區上方之介電質層之厚度小於第二區 上方之介電質層之厚度，第二區配置於第二極化電 極下方， -須測定第一源極/汲極區之與通道區相郯接之此部 份之上方之介電質層之厚度，使纖電層之剩餘極化 (其平行於主面）在通道區之第二區中產生一些補償 電荷。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 2 .如申請專利範圍第1項之鐵電質電晶體，其中第一源 極/汲極區之與通道區相鄰接之此部份之上方之介電 質層之厚度小於通道區之第二區上方者之厚度且小於 通道區之第二區之平行於主面之尺寸。 3 .如申請專利範圍第1或第2項之鐵電質電晶體，其中 鐵電層之一部份配置於通道區上方，在通道區之與第 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 483168 A8 B8 C8 D8 t、申請專利範圍 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 一源極/汲極區相鄰接之此部份之上方之鐵電層厚度 是與第一源極/汲極區之與通道區相鄰接之此部份之 上方之鐵電層相同。 4. 如申請專利範圍第1項之鐵電質電晶體，其中第二極 化電極和閘極電極互相鄰接且構成共同之電極。 5. 如申請專利範圍第1或第2項之鐵電質電晶體，其中 第一極化電極下方之介電質層厚度是與第一源極/汲 極區之與通道區相鄰接之此部份之上方之介電質層厚 度相同。 6 .如申請專利範圍第1或第2項之鐵電質電晶體，其中 第一極化電極下方之介電質層厚度是與第二極化電極 下方之介電質層厚度相同。 7. 如申請專利範圍第1或第2項之鐵電質電晶體，其中 介電質層包含第一介電質層和第二介電質層，第一介 電質層配置在主面上，第二介電質層在閛極電極之區 域中具有一個開口，使閘極電極配置在第一介電質層 之表面。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 8. 如申請專利範圍第7項之鐵電質電晶體，其中 -第一介電質層含有Si02，Ce02，Zr02 -Ta2 0 &且 具有3 . 5至2 Ο n m之厚度^ -第二介電質層含有Si3 N4或Ce〇2且在通道區之第 二區上方具有10至500ηιη之厚度而在第一源極/汲極 區之與通道區相鄰接之此部份上方具有10至30ϋηηι之 厚度。 一 1Ί 一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 483168 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 9.如申請專利範圍第1項之鐵電質電晶體，其中鐵電層 含有 S B T ( S r B i 2 T a 2 0 9 )，P Z T ( P b Z r x T i 丄 一 X 0 2 )或 BMF(BaMgF 4 )〇 l〇.如申請專利範圍第1或2項之鐵電質電晶體，其中此 鐵電質電晶體係用作記憶胞配置之記憶胞。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -18- 一一OJ_ ϋ ϋ n ϋ ·ϋ I ϋ n n ϋ ϋ n n ϋ ·ϋ n n ϋ ϋ ϋ ϋ 1^— ^1 ·ϋ ^1 I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）
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