TW449793B - Method and apparatus for automatically generating schedules for wafer processing within a multichamber semiconductor wafer processing tool - Google Patents

Description

A7 B7 449793 五、發明説明（ 發明領域 本發明關於一多室晶圓處理工具’更明白地說，關於 一種用以自動產生用於在多室半導體晶圓處理工具内之 半導體晶圓程序之方法與設備。 發明背景： 半導體晶圓使用多種序向處理步驟’來生產積體電 路。這些步騾使用多處理室加以執行。由一晶圓傳送機械 手所服務之一组處理室係被稱為多室半導禮晶圓處理工 具或群组工具》第1圖部份地描述出一例示性群組·工具之 示意圖，該工具係為美國加州聖塔卡拉之應用材料公司所 製造之Endura®系統。 經濟部中央楳準局負工消资合作社印皱 儲存傳 該群组工具100例如包含四處理室108’ 110，一傳送室112，一預淨室114，一緩衝室丨16，一晶 圓定向/去氣室118，一冷卻室1〇2,及一對負載鎖固室120 及122。每一宣代表半導體晶圓處理之不同階段或時期。 緩衝室1 1 6係於負載固鎖室1 20及1 22 ’晶圓定向/去氣.室 118，預淨室114及冷卻室102之中間。為了於這些宣間 作動晶圓傳送，緩衝室116包含一第一機械手傳送機構 1 24。晶圓1 2 8係典型地於塑膠傳送匣1 26中由μ # 至系統中，傳送匣係放置在負載室1 20或1 22之 械手送機構124 —次一個傳送晶圓128，由匣126 三個室II8 ’ 1〇2或114之一。典型地，已知晶圓 首先 放置於晶圓定向/去氣室118中，然後，被移動^# 疋預淨室 至 中。 傳送 本紙浪尺度適用中國國家標隼（〇1^)/\4堤枋（210'/297公兌 經濟部中央標隼局負工消费合作社印製 4 49 79 3 A7 ___ B7 五、發明説明（） "" 114» V钟罜102係通常不使用，直到晶圓在處理室ι〇4， I 06 ’ 1 08 ’ 1 1 〇中被處理之後。個別晶圓係被傳輸於—晶 圆傳輸葉彳13〇上’該葉片係位於第一機械手機構124之 末端。該傳輸操作係由一序向器} 36所控制。 傳送室112係被四個處理室104，106，1〇8及110 , 以及預淨室m及冷卻纟102所包園並可接近諸室。為了 起動於室間之晶圓傳送，傳送宣112包含一第二機械手支 接機構132。機構132具有一晶圓傳送葉片134附於其末 端，用以承載個別晶圓：於操作中，第二傳送機構132之 晶圓傳送葉片134由預淨室！ 14取回一晶圓並承载該晶圓 至第一階段之處理，例如，一在室1〇4中之物理氣相沉積 (PVD)階段》—旦晶圓被處理並且pVD階段沉積材料於該 晶圓上，晶圓然後可以被移動至第二暗段處理等等。 一旦處理冗成於處理室中，傳送機構132由處理室移 動晶圓並傳送該晶圓至冷卻室1 〇 2 ^晶圓是然後被由冷卻 室使用在緩衝器室116中之第一傳送機構ί24所移開。最 後，晶圓係被放置在負載鎖固室1 22内之傳送g J 26内。 一般而言，一群組工具包含η室，由Cl，C2, ，Cn所表 示，一或多數傳送室（機械手）112及116，及一多數負載固 鎖室120及122。室，機械手及負載鎖固之精確配置被稱 為工具之"架構"。一予以被處理之晶圓Wa係被由一負载 鎖固室取出，當每一室執行一特定處理於該晶圓上時，順 序地放置各種室中。 一晶圓之軌跡是經由一群組工具之一特定晶圓彈 第s頁 本紙诔疋度適用中國國家棉準（CNS )刎坭格（21〇X2W公人·) ----------- - j t ί. (請先閱讀背。面之注意事項再填寫本頁) -訂 4 4 49 793 A7 B7 五、發明説明（ 道；即，一軌跡係為-晶圓所訪問諸室之順序（不必是在 Ci後為Ci+1)。這應有料名稱”處理序向"，其係施加處理 (:睹)至-晶圓之順序β若多於一室執行相同處理(平行 ) 處理序向可以滿足幾個不同軌跡。 心成其處理序向之晶圓係被回到負載鎖固室者，予 以被工具所處理。夫致碲也 ^ 大致說來，—工具之產能係為工具於每 時間單位所處理晶圄乏叙 ㈣之數I β即’若該工具需要t秒處理. lit晶圓，則

St := nt/t (3) 是量測於間距[〇，t]所量得之工具產能。 對於一已知處理序向，有很多方法改良工具產能。然 而 重要改良疋使用有效排序常式，用於一已知處理序 向。 排序之最佳化涉及用以決定何時由—室傳送一晶圓 至下一里 < 選擇準則（及哪些晶圓應被移開，若有的話， 在移動之前）。一經由群組工具排序晶園移動之常式（基於 一已知處理序向）係被稱為"排序常式，，。 經濟部di-央標隼局負工消贽合作社印製 在排序常式A下之工具之穩態產能係被S(A)所表 示β若n> 1，則取決於一已知處理序向，吾人可以考量執 行該處理序向之排序常式之數量。該最大產能之值之常式 被視為”最佳"常式’以及，最大可取得產能值係被稱為工 具之’’容量"。即，若A為該組用於一已知處理序向之所有 可能排序常式，則A*為最佳，如果 S(A*) = max{s(A)|AeA} (4) 第6頁 衣紙張尺度適用中國國家標孪（CMS ) /U規栝（2IOX297,公兑） 449 793 A7 B7 五、發明説明（ 明顯地，工具之容量S(A·)取決於一已知處理序向以 及室及在處理.序向内之機械手參數。尋找有效排序常式給 一已知處理序向之問題（若有可能的話，特別是尋找最佳 常式）是相當實務重要。 現在，決定最佳排序沒有自動方法，假設_特定軌 跡’其提供最高產能用於該軌跡。典型地，一試誤法係被 使用，直到一程序被決定，其提供足夠之產能。然而，足 夠產能不見得是已知軌跡可能之最佳產能。 因此’於本技藝中有一需要以方法與設備，其決定— 已知特定軌跡之所有可能程序，並且，使用產能模型程式 決定用於每一可能程序之產能，並選擇—程序，用於—群 組工具’其提供最大產能給已知轨跡β Ι-Μ目的及概怵： 因此，相關於先前技藝之缺點係被本發明之用 所有可能程序之方法與設備所克服，其完成了 — 跡，施加一產能模型至一程序，並決定—具最高產 序或諸程序。 經濟部中夬標隼局貞工消費合作杜印狀 以決定 已知軌 能之程 算各種 更明白地說’本發明使用—組決定規則，以計 程序。首先，一程序係被定義成為一序列之,，字母” 成字元"。每一於字元中之字母定義於一群组工 抑囷之可能定位。當然’在該工具中之定位必須實 跡，即每一字母必須依據定義該軌跡之特定組規則 隨一前一字母。 第7頁

本紙張尺皮適用中國國家椋车（CNS A7 07 449793 五、發明説明（ 已知一代表現在晶圓位置之字母（輸入字母），本發明 計算所有可能後續晶圓位置，即所 見 【所有可能有效後續字及對 於該輸入字母之後績袈夕她奴 . " 預器芝總數。本發明提供個別之，,模組 ，用於串列軌跡，並聯軌跡及混合執跡之後續器計算。 使用-回溯技.術’以重覆&由任何—字母計算所有可能之 後續字母’然後’計算所有該後績字母之可後續字母，而 導出-程序樹。程序樹包含所有可能實現一已知軌跡之程 序。每一程序可以然後被模組化，以決定每_程序之期待 產能藉由比較每一程序之產能，最佳程序係被指出。 本發明之教導可以藉由思考以下之詳細說明配合上 附圖而迅速了解。 圖式簡.簞說明： 第丨圖為一多室半導體晶圓處理工具之示意圖，該工具 被一序向器所控制’該序向器使用一依據本發明 程序產生器所產生之排程常式加以操作。 第2圖描繪出程序產生器之方塊圈，產生器執行依據本 明之操作步驟。 經濟部中失標浪局员工消费合作社印犁 圖 程 流 之 跡 軌 列 串 室 樹 於 之 圓 序-. 程 出 能 示 可 ， 。 有 圖 圖所 意 程之 示 。流跡 之 圖之軌 跡 程式列 軌 流常_ 列 之佳室 串 跡最2 室 軌序一 2 合程於 之 混之用 圖 宣明表 6 4 4發代。第 一 1 本一圖 為為為為狀 圖圖圖圖 3 4 5 6 I 第第第第 第

為 圖 A 貫 8 第 S (CN 一辈 家 國 一國 i中 用 適 I度 尺 張 紙 本 -各 -In 規 4 49 79 3 A7 B7 _ 五、發明説明（） 位置（ι，〇)。 第7圖為代表三室申列軌跡之所有可能程序之樹狀圖。 第7A圖為第7圖之三室串列軌跡之示意圖，示出晶圓於 位置（〇，1，〇); 第8圖描繪出代表用於軌跡：LL-Ci-CChCQ-LL之所有可 能程序之樹狀圖。 第8A圖為第8圖之3室混合轨跡之示意圖，示出晶圓於 位置（1，1，〇)。 第9圖描繪出一樹狀圖，其包含使本發明所構建之部份程 序；及 第10圖描繪出使用一回溯技術，用於產生用於一已知軌 跡之所有可能程序之常式之流程圖》 為了容易了解，相同之參考號已儘可能地指定共用於 諸圖中之相同元件。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 速濟部中央標象局負工消费合作社印製 圖號對照說明： 50 程序產生器 100 群组工具 102 冷卻室 104 處理室 106 處理室 108 處理室 110 處理室 112 傳送宣 1 14 預淨室 116 緩衝室 118 晶圓定向/去氣室 120 加載鎖定 122 加載鎖室 124 機械傳送機構 126 塑膠傳送匣 128 晶圓 第 9"M" 本紙張尺度適用中國®家標準（CNS ) /以况格（2IOXW7公蛄） A7 449793 _____B7 五、發明説明（） 132 傳送機構 134 傳送片 136 序向器 200 微處理機 202 記憶體 206 支援電路 210 程序產生常式 212 程序最佳常式 發明#細說明： A ·發明概要 如上所述’第1圖描繪出一傳统多數室半導體晶圓處 理工具之部份示意圖。所描繪之群組工具1〇〇係被一序向 器所控制，該序向器執行由本發明所決定之排序常式。本 發明被實施於一程序產生器50中，其產生為序向器136 所執行之排序常式。 第2圖描繪出一排序產生器50之方塊圖，該產生器 產生為序向器所執行之排序常式’以控制第1圖之群組工 具100»另外’排序產生器5〇操作以決定對於—已知處理 序向及工具架構之最佳序向常式β雖然，序向產生器被示 出以遠端產生程序並下載一或多數程序至序向器，但是熟 習於本技藝者可以知道，本發明可以實行於在序向器内之 一處理機中。 程序產生器50包含一微處理機2〇〇及記憶體202,用 以儲存一程序產生常式210’ 一程序最佳常式212及由常 式210及212所產生之排序常式。微處理機2〇〇配合傳統 支援電路2 0 6 ’例如電源供應，時.鐘電路，快取，等及協 助執行體常式之電路。因此，考慮於此所討論之部份處理 ____第10頁 本紙張尺度適用中國國家從卷（CNS ) 枋（2丨0Χ 2们一~ _ 一 '~ (诗先Μ讀背面之注意事項苒填r) 訂 經濟部中央標涞局負工消费合作社印裝 4 49 79 3 A7 ------B7 五、發明説明（） 步驟為軟植可執行於硬體内，例如，電路配合微處理機以 執行各種處理步驟。程序產生器50同時包含輸入/輸出電 路2〇8’其形成於傳統輸入/輸出（I/O)裝置214,例如鍵盤， 滑鼠及顯示器間之界面與一至序向器之界面。雖然程序產 生器50係被插繪為--般目的電腦，其係被規劃以依據 本發明之排序常式，本發明可以被執行於硬體，作為一應 用指定積體電路（ASIC) β因此，於此所述之處理步驟係用 以廣泛地解釋’相等於由軟體’硬體或其組合所執行者β 本發明之自動程序產生器50執行一程序產生常式 210，其產生所有對於一已知軌跡之可能程序β 一程序最 佳常式212使得一自動處理’以生產一最佳程序給-已知 群組工具，其使用一對於所有可能程序執行一排外搜尋。 以下之定義係通用於本揭示中： "工具架構"描述在一群组工具中之宣之實體放置。例 如’工具可以具有室（^，(^，（^，及^^’一負載鎖固仏^及 其他一或多數機械手。 經濟部中央標準局员工消资合作社印^ 處理序向"是處理被施加至一已知晶圓之順序a例 如，是第π處理（例如蝕刻）及Ρ!，Ρ2，Ρ3(其同時也可被窝 成Pi—是一處理序向》 一群組工具之"處理容量”是映圖一所需處理序向至 該工具内該組室之結果。此映圖之影像係被稱為”軌蹄，，。 例如，一處理序Ρ丨->Ρ2—Ρ3可以被映囷至四個室C“c2c3 及C4，以產生一軌跡

LL->Ci — (C2VC3)-^C4~>LL 第11頁 本紙張尺度適用中國國家摞绛（CN’S ) Λ4规格< 2I0X297公兑 449793 Α7 Β7 經濟部中央標準局負工消费合作社印裝 五、發明説明（） 注意處理P 1及P 2被分別映圖至C 1及c 4 ’而處理P 2 被映圖至CzvC；3(處理P2被執行於C：2及C3) »宣c2及c3 係被說成平行，因為一晶圆拜訪（被放入）室C2或C3(而非 兩者）。換句話說，於CsvC3中之符號v代表一互斥或閘運 算。 "階段"是一組之一或多室，其相關於相同處理。晶圓 由一己知階.段拜諸一室s表示法（CxvCyV/CZ)表示晶圓可以 移動至任一室Cx或Cy或Cz，但只進入一室。即（CxvCyvCz) 是一階竹包含三個"平行"室《

一般說來’名詞，，程序”表示一有限或可重覆晶圓序 向’及機械手移動經該群組工具。更明白地說，假設s為 該組所有可能晶圓及機械手狀態。一串列來自一有限組狀 態s之符號（字母）係被稱為一字元。符號係被代表由字母 S之字母。例如’若S = {0，1 }2,則於字母s中，（0,0)，（0,〇， (1’0)及（1，1)為所有可能字母，及（01)(1，1)(01)是—具有三 字元長之字元在3上。每一字母指明工具之瞬間狀態。例 如’如於以下之詳述’ 一字母可以定義一晶圓之特定定位 或者在一工具中之晶圓或諸晶圓於軌跡中之特定點D 廣泛說來，不論特定字母，一程序s被代表為一字 元， s = xyz...uv...rtx5 其以相同之字母開始及結束（例如，x)，達是唯一重覆 字母’及一已知字母u之下一個v必須滿足字母取決規 則，即定義有效軌跡之規則。 -------- 第 12 頁 _ {請先閲讀背面之注意事項再填i's5本頁}

ttr. ...w· . 本紙張尺度適用中國國本標革（) I 210Χ297-;>^ 經濟部中央標举局貝工消费合作社印製 A7 '1 9J7 9 3______Β7 五、發明説明（) — 軌跡係可用於三個不同架構中，— ^ ^ Λ ^ ^ 軌跡是—並聯軌跡 若其包含只有一階段；一軌跡是一串 甲聯軌跡若每一階段只 具有一室，以及，一軌跡是一混合軏 Q鄉’右其既不是串聯 也不是並聯。（明白地說，其有一混合 勒•称，於軌跡中之 數量至少為三）。於該軌跡中，若有— 至其名稱出現多於 一次，則一軌跡被說成是打結（即，相 、丨 棚閜處理序向包含— 處理環）。為了示範’第3及4囷分別y給山』 ⑴拖績出4階段串聯 及混合軌跡。 第5圖描續出程序最佳化常式212夕 、以芝高階流程圖。最 佳化常式包含—程序產生常式210，其產生於由一已知軌 跡所感應之字母中之所有可能程序。常式212是—自動處 理，其執行以下步驟： a) 輸入軌琳L(步驟500)， b) 使用兩步驟處理，來產生於L上所有可能程序（常 式210) ’其中第—步驟（步驟5〇8)產生所有可能之後續位 置（字母）’ 一晶圓可以由一現在位置（字母）移動至該續續 位置，以及第二步驟（步驟510)使用—回溯技術’以改變 晶圓位置，使得其他後續位置（字母）可以為步驟5〇8所計 算， * c) 估計於步驟（b)中相關於產能之每一程序相（對於一 已知組機械手及處理參數）（步驟504), d) 記錄一程序或一組程序，其對於已知軌跡乙具有一 最高產能（步驟506)。 因為步驟（c)需要一產能模擬程式，以計算效率，步鄉 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂

本紙悵尺度適用中國國家標象（CNS 第13頁 )A4規祜（210X297公犮 4 4s 793 A7 B7 五、發明説明（ (a) (b)及(d)係大致被併入模擬程式中。 本發月之多數實施例係被討論於以下揭示之段落 B，C,D及E中。明白地說，於一 {0，〗^字母中之程序定義’ 一已知芋母之產生後續器之㈣，及需用《計算後續器之 模组係被說明於段落B之争聯軌跡及段落C中之混合及並 聯軌跡中。於段落D中，這些處理係被延伸以包含於計算 中利用機械手。最後一種可以用以任何具機械手或不具 機械手之軌跡之總結回溯常式係被示於段落£中’ / 一已知軌跡中產生所有可能程序。 以由 B_用於串聯軌跡之程序產生 一 η室争聯軌跡（如於第3圖中所示包含—

Cl，C2’…，Cn者係相關於來自字母{〇，1}"之η重元紐，則： 於1=1，2,…，η; 7⑴=〇,若室C'為空的？ [i卜卜則c. 包含-晶I®。依據此代表，一程序s係有1 η重元組。 』< ~進制 Ϊ5…戈， 經濟部中夾標i?-局貝工消费合作社印製 其以相同二進制η重元组開始及結束’並且，·含 重覆於串列…重元組。另外，任意於串列中之：：是 績η重元组/z及3；係依據以下„加以相關，其中，/ 為汉之後者，不同於多數兩座標，規則為·· 、 ’ Ρ係 _s，）若及[1]=0,則？ [1]=1。對於所有匕 —這相當於晶圓被由固鎖移動至c。 S2)若及[n] = 1，則I； [n] = 〇。對於所有匕〈口 =以k]。(這相當於晶圓由Cn被移動至加载鎖； 第u頁 ΜΛ張尺度適用中國國家標準（CMS ) Λ4规捎（2丨ΟΧ2<πϋΓ 經濟部中央標準局負工消资合作社印製 4 49 793 A7 B7 ~ ·_- " ~~—. 五、發明説明（） S3)若一些 k £{0，n}’ 万[k] = 1 及互[k+ 1] = 0,則 p [k =0 及 +1]=1。對於所有之 i 5i{k，k+i}，] =汉[i]。（這相當於一晶圓被由Ck移動至ck+1) 第6圖示出所有可能之於一兩室串聯軌跡中之可用程 序（即，兩程序）。第6A圖描繪出第6圓之兩室串聯軌称 之示意圖，其具有一晶圓於由2重元絚（1，〇)所代表之位置 中。這些η重元组係被稱為晶圓定位之座標。由位置（丨，〇)， 第6圖之程序描繪出晶圓下一次被移動至由2重元組（〇,〇 所代表之位置，即晶圓於室C2並且於室c!中没有晶圓。 隨後，程序可以沿著兩路徑之一進行，不是於C2中之晶 圓被移至加載鎖（晶圓位置由2重元組（〇，〇)所代表，就是 另一晶圓被移動至室C,(一晶圓位置係被2重元組dj)所 代表）。因此，每一 2重元组代表一組用於一晶圓或諸晶 圓之可能位置，其可以有效地執行軌跡中之步驟。 同樣地，第7圖示出可用於3室争聯軌跡中之七個可 能程序’以及第7A圖描繪一第7圖之軌跡之示意圖，其 具有一為3重元组（〇，1，〇)所代表之晶圓位置。由第7圖 中，串列

Sp = (l,1,1)(1,1,0)(1,0,1)(0,1,1)(1,1,1) sw=(1,0,0)(0,1,0)(0,0,1)(0,0,0)(1,0,0)

Sx=(l,0,1)(0,1,1)(0,1,0)(1,1,0)(1,0,1) 代表為程序產生器所產生之用於特定程序常式，用於 一三室串聯軌跡。 諸程序可以包含一組機械手及室參數，其得到較於該 ___ 第15頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4规格（2l〇X29DH;,厂 |_;II ^-----7, ' , ( (請先閱讀背面之注$項再填蹲本頁) 訂 -線-ΛΎ 經濟部中央樣"·局員工消費合作社印^ 44979 3 ΑΊ Β7 五、發明説明（ 組程序中之其他程序為高或低之產能。因此，決定最隹程 序之唯一方法係在所有可能程序下測試’決定哪一程序是 最佳。 如上所述，211二進制η重元组（位置座標）係被視為來 自字母{〇, 1}η之字母。字母之有限串列被稱為字元·例如’ 串列SP，SW及Sx均是5字母長之字元。於此名稱中’長度 k之部分程序s係一反字母長之字元S(1)S(2)…S(K)，其 中，下一字母S(i+1)只取決於前一字母S(i)，i = l，2,…，k-1， 並依據上述之規則（Si)，（S2)及（S3)加以建立。依據這些規 則，於部份.程序中之所有字母均不同。一滿程序是一字元 W(l)W(2)...W(n)使得 W(1)W(2)…W(n-l)是一部份程序及 W(n) = W(l)» 例如’字元评=(1，1，1)(1，1，〇)(1，〇，1)(〇，1，1)是 一部份程序’其中 w(0 = (1,1,1)及 W(4) = (〇，l，l)。（一般說 來，若 則 W(i)=pi)» 由一程序之定義’若仁ΐίί2·..Αίΐς是一部份程序，則 厂同時也是一程序（部份或全），假設+ 1 是由k依規則（si)(s2)(s3)獲得。一已知字母厂k可以由1 至[n/2] + 1後續器y k+i獲得。後續器之數量（變數nmb以 下）係可以由以下函數容易決定： faction SerCount:( u>j(： lattej：};, i, nj^ib ： integer; begin ηπώ： =0 for i：=l to n-1 if、[ί]:ΐ and tifc[i + l]=：Q then Μώ：=ππώ+1； mnb-mnij+uJ/j] +({l+ujl]) (mod2)) return (nmb) end； 第16頁 本紙張尺度適用中國國家棉準（CNS )八4规格（2丨〇><297公焓) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本茛)

integer； var A7 B7 449793 五、發明説明（ 其中’ SerCount(云k)代表於一串聯^室軌跡中，之 後續器數量。於一全試搜尋中，因為所有之後續器均被檢 測’所以前述虛擬碼決定必須被計算之後績字母之總數， 以完成一全試搜尋。 產生一已知字母云之所有SerCount(汉）後績器並不是 特別困難。因為每一沄被產生，並儲存於具有SerCount(疋） 列及（n+1)行之二進制矩陣z中β z之最後一行是被保留用 於布林變數，若後續器被用於一部份程序中，該變數被設 定為真，若後續器未被使用，則設定為假。這輸入是於後 績之回潮常式中使用（參考第圖說明如後），該常式產生 對於一已知軌跡之所有可能程序β 一已知程序之後續器係 被決定如下。 —】—^-----— I ί請先閲讀背面之注意事項再填^本貧) 丁 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 function SerGenerator ( u ： letter)： matrix； var i：integer； begin if u[l] = 0 then begin . copy {« , v); v[i] = i； store { v, z); end； if u [n] = 1 then begin copy { u , v)； v[n] = 0j store (v,2); end； for i：=1 to n-1 if «[i]=l and u[i' + l]=Cl then begin copy {u, v); v[i]=0； v[i + l]：=l； store (v,2); end; * return <Z); end； 線〇-

J 第17頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4現掊（2l〇x2W公筇） 4 49 793 A7 B7 五、發明説明（） 一 於上述虚擬碼中有兩個函數被重覆使用。函數C〇py(7T， v )完成字母JT *其係為字母*5；之複製。執行规則（si)，（S2) 及（S3)之方式中’常式首先拷貝7至孓，然後修改17。該 但方法並沒有效率’因為於大多數雨座標中一及一並不相 同。函數store( y，z)拷貝字母17至矩陣2之適當列。注意 上述模組，常式拷貝一二進制n重元組兩次，明顯地，於 實施時’常式直接拷貝汉之後績器（略改變η重元組7)至 矩陣Ζ之適當列中。 使用前述虚擬碼及給予於一串聯軌跡中之字母互，虛 擬碼產生μ之所有可能後續字母並儲存它們於矩陣Ζ之 中。例如，於第7圖中，假設字母（〇,〇,〇)，虚擬碼產生一 串列之有效後續字母，例如字母〇,〇」），（〇」，〇)，（H0) 及（0,0,0)。已知一不同啟始字母，不同有效組之後續器係 被產生，例如字母（0，1，0)可以產生字母（11，〇)，, (1,0,0)及（0,1,0) C.產生用於混合及並聯軌跡之後續器 一由二進制π重TL組所混合之η室合軌跡之代表係略 涉及，因為由一已知階段剛好一室被晶圓所拜訪，以及沒 有晶圆傳送於該階段中。因此，程序產生常式必須認識不 同階段以及在一階段中之並聯室。第4圖描續一例示性混 合軌跡，其包含具穴室之四階段，其中室q及c4係串聯， 以及，室對 C2(a)，C2(b)i c3(a)，C3(b)係並聯。 在沒有損失一般性下，假設一 n室混合軌跡係包含k 後績階段’ F!，F2，…Fk，kgn。若1，2，…n是於二進制η 第18頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4说格（210x2^)7公#"Τ" " tr— (請先閱讀背面之注意事項再功寫本頁)

bL _ -='3 kj Ό_ 經濟部中央標隼扃貝工消费合作社印製 經濟部中央標來局貞工消費合作社印^ 449793 Α7 Β7 五、發明説明（） 重元組X中之個別位置’其相當於室Cl，c2，…，Cn，則位置 卜2’…’ I Fil相當於階段1中之諸室，位置丨Fi| +1， 1 丨+2,…丨[丨丨+ i F2 |相當於階段2中之諸室，以此 類推。若宣C i屬於階段F t ’則於相關二進制η重元組ΪΓ 之位置i屬於Ft及ieFt(同時，事實上，」是於*7中後績位 置丨Ft丨位置之一）。 於此代表例中，一程序係二進制η重元組之有限串 列，其以相同二進制η重元組開始並結束，這是於該字元 中之唯一重覆字母。另外，若Ρ是反之下—個，則；7及万 於兩座標中係不同，以及之規則定義汉及孓之關係： mt)若一些UF丨，反[1] = 03則[i] =卜對於所有k竽i，了 [k]=JT [k](這相當於一晶圓被由加載鎖移動至階段1 β ) m2)若一些ieFk，A [i] = l，則y [i] = 〇。對於所有j竽卜7 ϋ]= f ϋ](這相當於一晶圓被由最後階段被移動至加載 鎖）。 m3)若一些 ieFt 及一些 j eFt + 1，汉[i] = 1，一 口] = 0 則节 [i] = 〇及7 [j] = l。對於所有(這相當於一 晶圓被由階段Ft移動至下一階段Ft+i。） 於決定一已知字母斤之後續器之數量時，將難以定義 一序·向M^O及

Mt= I Fi I + 1 I +·+ I Ft | 其中I Ft丨是階段Ft之大小（室數量）。上序向反映瓦之 指數組之部份進入階段中。明顯地，Mk=n，其中，n為室數 量。7Γ之後績器之數量係由以下函數決定： _ 第19頁 本紙張尺度適用中國®家標進（CNS ) ΐιο.χΐιπϋ'Τ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1. — I I .

-I i I 449793 五、發明説明（ )function MixCount {ίΓ ： letter) ：inteoer； var " t, i, j, nmbzinteger； begin nmb：=0 for i ： =1 to if u[i] = 0 Xlien πίτώ： =nmb+l for J：=l+^_2 to Mk if u[i]^\ then nmb：=nmi>Hl for t:=l to Jc-1 ’ for i；=l+ATCeI to Mt for j：=l+Mt to Mt_hl if ίϊ[ϊ] = 1 and u[j] = 0 then imb ： =iiinb+1 ； return (nmb) end； ---------<.ly>-- - - _v ) - . V (請先閱讀背面之注意事項再填"本頁) 經濟部中夾標嗥局員工消贤合作社印製 明顯地，於上述虚擬碼中，若 Mt = t 及 k=n則 MicC ount( )等於SerCount( T )。同時，對於一純並聯η 室軌跡，由於於上述虛擬碼中之k=l,3巢狀"for”敘述為 零；藉由接合前兩環（因為只有一階段），虛擬碼被降低為： function ParCount ( ΰ ：,letter) ： integer； var i,nmb:integer; begin nmb：=0; for i：=1 to n if ΰ[ί] = 0 or ΰ[ί] = 1 then runb： =nmb+l; return (nmb) ' end； 其一直完成nmb = n。因此，於一純並聯n室軌跡中， 任何已知字母具有η後績器。 一產生並儲存於一混合軌跡中之已知字母之所有後續 第20頁 本紙張尺度適用中國國家掠準（CNS ) Λ4^枯（2ΙΟ_χ2π·:Μί「) 訂 線， 449793 A7 B7 五、發明説明（） 經濟部中央標隼局貝工消费合作社印裝 器之函數是： function MixGenerator {ΐΐ : letter) ：matrix; var integer; begin for i:=l to Mi if i7[i] = 0 then begin copy {ΰ, v ); v[i] := 1; store (v ,Z) end； for j：=1+Μ^_ι to if u[j] = 1 then begin copy{U , i；)； v[;]：=0; store{v tZ) end; for t：=1 to -te-I for 1:=1+^(..2 to Mt for j：=l+Mt to Mt+1 if u[/] = l and i7[y] = 〇 then begin copy (ΰ, v )； v[7]:=l； store( ΰ, z) end； return (2)； enc； 函數copy(友，U )及st〇re(云，Z)係相同於用於串聯軌 跡中之相關常式"（注意這時間矩陣Z具有MixCount这列 及（n+1)行）再者，於上述函數中，若Mt = t及k = n，則 MixGenerator (苁）變成 SerGenerator(/T)。對於純並聯軌 跡’由於k=l，一產生一已知字母互·之後績器之函數為： _ 第21肓 本紙張尺賴射關$標隼（CNS ) Λ4ϋ 210 X ^Γ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

A7 B7 經濟部中央標隼局貝工消费合作社印^ 449793 五、發明说明（） fxinction ParGenerator( i7 ： letter) ：matrix； var 'i：integer； begin for i :=1 to π . begin copy (i7, v)； if u[/] = l then v[i] ?= 0 else v[/j := 1 store (v,Z) end； . return (Z) end； 注意於計數後續器函數與產生後續器函數間之相# 性。事實上，於此二函數中，識別一後績器之狀況是相同 的，不同的是，_旦狀況被檢出，所執行的是什麼。 第8圖描繪用於3室混合軌跡之例示性程序樹（例如 LL—>C1—(C2vC3) — LL)，其中，一特定數之後續器係使用 Mi Generator (互"）虛擬碼加以決定。第8 A圖例示第8圖軌 跡之示意圖，其中晶圓已固定於位置（1，1，〇)。 D.包含機械手位置之後續器之產生 當程序產生常式包含機械手動作時，對於—包含室 Ci，C2,…Cn之η室串聯軌跡，常式必須由{〇，ι)η χ i 相關於（n+1)重元組》若艾是此一重元組，若室心為空的， 則對於i=l，2,…，n，3?[i] = 0，’及若Ci包含一晶圓，則-^] = 1。 因此，如同先前，於又座標中之第一個n是由機械 手位置係由最後Γ座標所描述，即於3重元組（χι，χ2·χ3) 中之X3，其中’ Xl及U係晶圓座標及&是機械手座標。 當設定5T[n+l]=k時，若（只有當）機械手是於室中之本 ______________第 22 頁 不紙張尺度制中關家縣（⑽）( 〜 ---- 广诸先聞讀#^面之注意事項存琪艿本貧)

载鎖 1;2);U，o; ‘49 79 3 五、發明説明（） 位置。若x[n+1 ] = 0，則機械手被定位於加 假設Sn代表上述關係之字母。 ^ 包含十二個3重元組，即 ’則S2 s2=u〇,〇;〇)，(〇,〇;i)，(〇,〇;2);(0，1;0)，(0，1;1)(〇 對於η至串聯軌跡，丨Sn|是來自{〇，ι)η“〇ι 、 (Π+1)重元组之數量’因此，| Sn i =(n+1)2n。這些 重元組被稱為來自字母sn之字母^如同先前，一字元是 由S η來之子母有限串列。例如， (0,0;0)(!50；1)(〇,1；2)(〇,1；〇)(!,!；i)(ijl.2)(l5〇.〇)(1〇;1 是一 8字母字元。注意一字元可以包含重覆字母。例 如，abcdaxy是一字元，但不是一程序。 於此實施中，一程序S是一字元（上述（n + 1)重元組之 串列）， S =泛…ΐΐν_..>·Χ , 其以相同字母開始及結束，並且，其是唯一重覆字母。 再者’於多數三座標中任何兩連續7Γ及V (其中7是万之 後續器）是不同’並以以下規則加以呈關聯性： a) 若及 Π] = 〇 及 JT [η+1] = 0,則 Τ Π] = 1 及 Γ [η+1] = 1。對 於所有4{1，11+1}，夕[丨]=疋[丨]。（這相當於一晶圓被由加載 鎖移動至 b) 若疋[η] = ι 及汉[n+1]=n，則 7 [n] = 0 及 17 [η+1] = 〇。對 第23頁 本纸張尺度適用中國國本掠隼（CNS ) Λ4規怙（2Ι0Χ 公垃） ——-.I—^-----ο—— (靖先1«}讀背面之注意事項再填巧本頁) -訂 經濟部中央標隼局負工消费合作社印¾ ¢49 經濟部中央標挛局貝工消费合作社印製 後續 A7 B7 五、發明説明（） 於所有丨《2{11,11+1}，1；[丨]=汊[〖]。（這相當於一晶圓被由（：11 移動回到加載鎖） c) 若部份 rg{0,n}，及[r] = l 及；jj[r+i] = 〇 及 7r[n + l]=r’ 則 Ί7 [r] = 0，及 U [r+l] = l 及 V [n+l]wH。對於全部 ig{r，r+l，n+l}，IT [i]=苁[i](這相當於一晶圓被由g被移動 至Cpn ’其中Ck或Cq + u均不是一加載鎖。） d) 若汉[1] = 0 及;ΰ [n+l]=j，其中 j 竽 〇,則·]J [n+l] = 〇 ° 對 於所有i关n+1，I； [i]=7T [i]。（這相當於一機械手由於Cj之 本位置被移動於加載鎖中之本位置，用以準備一晶圓由加 載鎖移動至C i。） e) 若私[n] = l 及# [n+l]=j，其中 j 參 n，則 7 [η+1]=η〇 對於 所有i妾η+1，17 [丨]=云[i]。（這相當於一機械手由q之本位 置移動至Cn之本位置，用以準備由{^移動至加載鎖。） 〇若部份 re {0，η}，ΐ [Γ] = 1 及；[Γ+1 ] = 〇 及 7Γ [n+1]=j， 其中j ^ r ’則ΤΓ [n+l]=r »對於全部n+l [i卜三[丨](這 相當於一機械手由Cj之本位置被移動至Cr之本位置，用 以準備一晶圓由Cr移動至Cr+1;C。代表加載鎖。 注意當機械手已經被預定位置至移動一晶圓時， 以上 之規則（a)，（b)，（c)分別事實上為（Sl)，（s2)，（s3)，而 (e)及（f)相當於定位機械手至由規則（a)，（b)及（c)所定 動作。 計算一已知字母之後續器數量及尋找及儲存這些 器之常式係被以相類似於先前之混合及串聯軌蹄冷v 〜例予 之方式加以設計（這次以步驟（a)至（f))。於此常式中， 第24頁 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) Λ4说栴（2丨0X2W公筇 (請先|«请背面之注$項存填寫本頁)

449 79 3 AT B7 經濟部中央標準局®C工消费合作社印製 五、發明説明（） 器之數量係相當地大，因為每_次均可能傳送一晶圓（例 如，；ZZ [1] = 〇或万[η] = ι或芘[i] = 1及苁[i+1] = 〇, 一機械手可 以必須定位（例如由任何之n_丨位置，〗关〇或】# n或』竽丨）。 為了完成決疋後續器及後績器本身包含機械手位置之數 量之常式’新函數係用以修正Serc〇unt(瓦）及

SerGenerator(汉）（或 MijiCount(/T)及 MixGenerator(^))» 己知 SerCount(互），SerGenerat〇r(贫），MixC〇unt(瓦）及 MixGenerator(Ji)之前述說明，熟習於本技藝者可以使用 前述规則（a)至（f)考量機械手位置以修改這些函數。 E，使用一回溯技術，由一軌跡產生程序 回潮演澤法使用特殊之問題調整技術，來系統性探索 有關之圖案（樹）。諸演繹法於本技藝者係為已知的。於程 序產生常式中’ 一回溯演繹法係配合一或多數先前討論之 後續器產生¥式（例如 SerGenerator(瓦）或 MixGenerator( μ ))加以使用，以在一已知軌跡中產生所有 可能之程序。 假設互1.為一程序之開始字母。藉由使用諸規則，以加 上如段落B，C，或D所討論之後績器字母，前述常式建立一 部份程序’即S=私！辽2,.,以k。每次新字母云k + 1加入部份 敕跡S中有兩個問題必須回答： a) 是否/Z 1万2…云kjETfc + ι為滿程序？ b) 是否友1茂2·.. ί k汉k + 1為滿程扁，是否有其他滿程序 未被記錄？ 若字元被依據用於後續字母之規則加以建構及若有一 第25育 衣紙張尺度適用中國國家摞準（CNS ) Λ4現#, ( 210X297公 (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

4/ 4S 793 經濟部中央標準局WJCX消费合作社印t A7 B7 五、發明説明（ 指數i<fc+1出現_，使得云丨=5…及所有字母TTJ 2...Kk 均不同，則字元歹门2…及fc+l被视為滿程序。因此，為了 決定一滿程序，—常式檢查是否 ^ k+1 ^ ^ ij i = l，2,…k 對於每一新附字母，其係為汉>^之適當後續器。 一旦發現對於部份，該常式不是印出 就是儲存滿程序ί k+1。為了尋找其他程序，常 式由滿程序S除去这fc+i並察看其他矿未使用之後績 器》若有一後績器，字母z，常式檢查是否万卜^以為一 滿程序。若汊i...jrkZ不是一滿程序’則常式查看z之其 他未使用後績器，以此類推。若…ikZ為一滿程序， 常式移去Z並看；Tk之其他未使用後績器。若沒有其他 未使用後績器，則常式回到（回溯）並看一之未使用後績 器’以此類推’直到常式回到開始室母云t。基本上，常 式包含以向序向步驟： 1‘（啟始）選擇一程序之字母並到步驟2 β 2 ·若程序/ζ丨及2 . _云k未完成，到步驟3。否則至步驟 4 〇 3. 尋找一未使用後續器（於程序中之最後字母汉〇，將 其附至部件程序並至步驟2。若沒有未使用後續器，到步 騾5。 4. 列印或儲存程序並到步驟5。 5. 若沒有其他程序，則停止，否則至步驟6。 ό.(回溯）由完整程序除去最後字母，並至步驟3 ^ 笫26頁 Μ民張尺度適用中國國家標率（CNS ) Λ4规祐（210Χ2π,ϋ' (請先閱讀背面之注意事項再填.?5本頁)

經濟部中央標卑局貝工消费合作社印焚 44^ 793 A7 __.〜____B7 五、發明説明（） ' ~ 明顯地》常式必須確保其於步驟4中未列印（儲存）重 製程序，並確信常式已經列印（儲存）所有可能程序。前者 係完成於步驟3,其中常式只附上最後字母之一未使用後 續器至部份程序。後者係被適當端結條件所確保（例如’ 常式係於（啟始字母）及沒有其他未使用後續器選擇 第一字母苁！是方便的，因此，它只具有一後續器，例如 #1=〇或/Zl==ei，其中以是―ηΧη單位矩陣之第让行 (列）。 例如’如第9圖所示’開始字母〇，常式建立一樹， 其節點係字母°若7是此一節點，則X之子樹係字母艾之 後續器，對於串聯軌跡，後續器就是SerCount(i)。因此， 常式產生0,5ei，0eie2作為後續部份程序。（字元〇5ι三2是由 節點δ*至節點石2之直接路徑）因為η·1+·^2及芒3是ε2之後績 器（子樹）’所以字元00!三2(1+^2)及OSitl也是部份程序。 現在，6具有兩後績器（Ti+l3及苍4)，而只具有一後 績器（言l+h)。因此，5^^2(^1+72)(1+1)及 备iGd+h) 及係部份程序，以此類推。 如先前所述，包含一已知字元（或部份程序）s之字母係 可由其位置區別；因此S(l)是S中之第一字母，S(2)是第 二位置，以此類推。一搜尋樹之位階係被L所標示’這同 時也是一部份程序之長度。長度L之部份程序因此是於搜 尋樹中之長度L之路徑。函數scnt(jT)完成I之後續器之數 量。因此，scnt(S)不是 SerVoun1:(x)就是 MixCount(x)或者 包含機械動作之模型之任一者。若s是長度L之部份程 第27頁 _ _ 本紙杀尺度適用中國國家#準（CNS )如現梢（2丨0X297公/ί ) I — ^^1 I - I _ - !--1 - - n - c (锖先闡讀背面之注意事項#填Γί?本貫) 1Τ

五、發明説明（） 經濟部中决標準局員工消费合作社印裝 序’則S + w或Sw是長度L+1及sa+l) = w之部份程序β 類似地，若S長度為L及S(l)=w，則S_w具有長度L>>1(簡 要地說，+表示附上一字母及-表示移去—字母）a 最後，於一有效設計常式中，需要對資料组織（結構） 有約束。記住室數量（因此一已知字元之後續器之數量）係 相當地小。因此，常式產生一已知字母之所有後績器並將 其儲存否已經沒有差別，這是相反於需要時一個接著一個 而動態產生後績器。 一基本程序產生器常式可以被總結成以下之五步驟： 1.啟始程序：S — 及L—1並至步驟2。 2 5—S(L)及— cnt⑺。儲存 5 後續 器’然後’標示其為未使用*至步驟3。 3.S — S+$!及L — L+!及3 】β標示i未使用並到 步驟4 · 4.分別比較 3(1〇與 s⑴，s(2)”s(L_1)e 若 s⑴= S(L)， 對於i < 1 ’則列印S及L並至步騾5，否則至步驟2 * 5-S<~S-S(L)及L — L-1。若L=l，停止，否則至步驟石。 6.若3 = 〇，至步驟5。否則（5 > 〇)，附_ s(L)未使用 後績器至3’標示其為使用’ 並至步騾2β 於步帮1中’常式啟始程序s，搜尋樹之位準Le明顯 地，L必須啟始至丨•至於，於程序§中之啟始字母，為 方便起見，常式使用一字母，其只有一後績器。一字母5* 相對於一狀況，其中所有之室為空（即工具剛開始處理晶 圓）° _______ _第 28 貫 本紙張尺度適用中國國家榡羋（) Λ4规枋（) I ! (請先間讀背面之注意事項再填荇本頁)

IHI 晒j 訂 4 3 A7 B7 五、 發明説明（） J|~Λν—I (請先閲讀背面之注意事項再嗔寫本頁) 於步驟2中，常式首先找出後績器5之數目，即於部 份程序S中之x(明顯地，jf = s(l))。函數cntf)完成一已知 字母7之後續器數量。然後，藉由使用決定一已知字母之 後績器之規則’常式尋找，儲存及標示丈之未使用之後續 器。結果，一後續器可以是具有兩攔位之記錄：第一欄位 為實際字母’而第二襴位為布林變數，其於後績器未使用 於一特定部份程序S中時為真值，否則值為虚。（或者， 常式可以使用一矩陣代表說明於段落C及D中之後績器 列）.》 於步郷3中，最後字母7之未使用後續器之一係被附 加至部份程序S，程序S之長度l係被加！及7之未使用 後續器數量被減1。（對於任何已知字母均永久有至少一後 續器）。 於步驟4中’常式藉由比較新加入（最後）字母s(L)與 所有前一個字母S(1)，S(2)，...S(L-1)，來檢查是否s是一滿 程序。（其應於每次新字母被加入部件程序中時完成。）若 S(L)是一重覆字母，則常式列印（儲存）程序，否則，常式 持續建立該程序》 蛵濟部中央標隼局Η工消費合作社印裂 當一部份程序變成滿程序時，s(1)，s(2) S(L)，在儲存 程序後，常式除去最後字母並尋找S(L-1)之其他未使 用後績器。若有其他未使用後績器，則常式附加—後績器 至茲部份程序，尋找其後續器，附上諸後績器之_，以此 類推。若沒有後㈣，常式由s除去叫⑴並尋找s(L-2) 之未使用後續器，以此類推。當L=1及占=〇時（即表示第 第 29"Μ" 本紙張尺度適用中國國家標挛（CNS ) Λ4规格（2Ι0χ 2Μ公垃 449 79 3 經濟部中央標準局員工消f合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（） —字母沒有未使用後續器時），程式結束。 以上之常式係有用於任何排序問題之代表β即，無論 是串聯或混合軌跡具有字母由{0，1}η或者具有機械手位置 之諸軌跡之一係模型之一部份（因此，由{〇，1}ηχ {0，1，…，η})。明顯地，計算並產生一已知字母之後續器之 函數係每次不同。 第10圖描繪一程序產生器常式1000之流程圖，其操 作大致如以上所討論者。常式i 〇〇〇於步驟1〇〇2開始，藉 由啟始程序，例如，設定一啟始字母至一 n重元組（n串列） 零。於步驟，1004’常式尋找，儲存並標示於部份程序中之 最後字母之所有未使用後續器。後績器字母使用虚擬碼常 式 SerCount，ParGenerator 及 MixGenerator 加以決定，及 用於每一字母之後續字母之數量係使用 SerCount，ParCount及MixCount加以決定°當然，如上所 .述，若機械手位置被列入考慮，這些虚擬碼常式必須適當 加以修正’以配合延伸之字母及後續器產生之修改規則。 然後，於步驟1 006，常式附加最後字母之未使用後續 器至一部份程序，並將程序之長度加1及未使用後續器之 數量減.1。於步驟1 〇〇8，常式質問是否已經到遠部份軌跡 之最後字母。若回答為否，則常式沿著“否”路徑進行至 步驟1004。若回答為是，則常式進行至步騾1010,其中， 程序係被列印或儲存。 步驟1012’1014’1016代表一回潮處理。於步驟 常式除去程序之最後字母，以產生部份程序並將程序長度 _ 第30頁 _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4规枯（2〗0>< 297公^ 、vs (請先閱讀背面之注意寧項再填寫本頁)

449793 經濟部中央標率局貝工消费合作社印製 Μ Β7 五、發明説明（） 減1。然後，於步驟1014,常式詢問是否程序之長度為J。 若回答為是，則常式於步驟1016停止。然而，若回答為 否，則常式進行至步驟1 〇 i 8。於步驟丨〇丨8，常式詢問是 否有最後字母有一未使用後績器。若回答為否定，則常式 沿著"否"路徑進行至步驟1012。否則，常式進行至 1020其中 未使用後續器係被附加至部份程序。常式 然後回到步驟1〇〇4。 一旦所有可能程序被決定並儲存於記憶體中，程序係 被一傳統產能模型所處理。明白地說，每_程序係被該模 S1所使用，以預測該程序之產能。用於所有程序之產能係 被相互比較，以尋找具有最高（最佳）產能之程序。具有最 高產能之程序係被視為最佳並被用以控制該序向器β產能 模型可以執行於該序向器電腦上或可以被執行於一達端 電腦上’並且’最佳程序被下載至該序向器。 本發明快速地計算用於一已知群組工具架構之所有可 能程序。諸程序然後被一傳統產能模型所執行，以決定最 佳程序。因此，本發明使得-最佳程序之自動決定t以一 快速正確方式加以進行，這是先前技藝所未達成者。 雖然本發明之教導中已經示出各種實施例，並被詳細 說明，但熟習於本技藝者可以藉由本發明之教導而導出各 種其他實施例。 ---------- 第31貫 本紙張尺度咖 (讀先間讀背面之注意事項再填寫本頁} ,1Τ

Claims (1)

1. 公告本 申請曰期 ^7..乙.二. a— -18 7 1 〇86 6 8 _ (以上各欄由本局填註） A4 C4 443793

   專利説明書 中 文 發明 細 名稱 在一多反應室半導體晶圓處理工具中對晶圓處理自動地產生 排程之設備與方法 英 文 METHOD AND APPMATUS FOR AUTOMATICALLY GENERATINGiSM S ffiS ®IN A MULTICHAMBER 姓名 國籍 都森傑維迪克 美國 裝 發明 人 住、居所 美國加州聖大克勞拉市#34B莎拉圖根大街444號 姓 名 (名稱） 美商·應用材料股份有限公司 線 .經濟办中央禕準局員工消费合作社印製 申請人 國 籍 住、居所 (事務所） 代表人 姓 名 美國 美國加州聖大克勞拉市波爾斯大道3050號 瓊西J.史維尼 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 449 793 (由本局填冩)

   A6 B6 本案已向： 國（地區）申請專利，申請日期： 案號： ，οίτ □無主張優先權本案已向美國申請專利；申請曰：1997年6月9曰案號：08/871, 746號 有關微生物已寄存於： ，寄存日期： ，寄存號碼： ---"---裝------訂---- (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁各欄) :"· 線 锼漭部f央螵準扃員工消f合作社印製 第2頁 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐）