TW393521B - Vaporizer apparatus and film deposition apparatus therewith - Google Patents

Description

A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明（1 ) 1 發 明 背 景 1 1 I 發 明 領 域 1 1 本 發 明 大 致 有 關 種 蒸 發 裝 置 9 其 用 於 由 —- 液 體 餵 入 /·—v 1 I 請 1 I 材 料 生 長 薄 膜 1 且 特 別 有 關 一 種 液 體 銪 入 材 料 蒸 發 裝 置 $ 先 閲 1 I 1 1 而 適 於 用 以 生 長 高 介 電 或 鐵 電 薄 膜 t 諸 如 鈦 酸 m / 鈦 酸 m 背 Sr 1 之 1 注 I 0 意 1 事 1 ti. 枝 m 7 敘 項. 再 1 填 1 近 年 來 > 在 半 導 體 工 業 所 生 産 積 醴 電 路 裝 置 之 電 路 密 本 頁 1 度 業 已 大 幅 改 善 9 且 龐 大 之 研 究 發 展 活 動 不 斷 在 進 行 中 » '— 1 而 預 期 以 十 億 元 等 级 之 動 態 隨 機 存 取 記 憶 體 (DRAMs )取代 1 1 今 B 流 行 之 百 萬 位 元 等 级 之 動 態 隨 機 存 取 記 億 體 0 因 為 用 1 1 於 製 造 高 電 容 裝 置 之 介 電 薄 膜 材 料 偽 為 此 等 高 度 集 成 之 動 訂 1 態 隨 機 存 取 記 億 體 所 需 $ 吾 人 認 為 更 新 之 材 料 » 諸 如 介 電 1 I 常 數 大 約300之鈦酸f目（Ba T i 0 3 )或鈦酸锶（Sr T i 0 3 )或這些 1 I 化 合 物 之 混 合 物 將 可 能 取 代 現 今 之 介 電 薄 膜 材 料 > 包 括 1 i 線 介 電 常 數 少 於 10之 二 氣 化 矽 或 気 化 矽 薄 膜 與 介 電 常 數 少 1 於20之 五 氣 化 二 鉅 (T a 2 〇3)薄膜。 亦可能使用具有甚至更 1 1 高 介 電 常 數 之 材 料 » 諸 如 結 鈦 酸 鉛 (PZT)、 P A L T 和 Y 1 〇 1 1 巨 前 已 有 多 種 製 造 此 等 薄 膜 之 方 法 9 特 別 明 顯 有 展 望 1 I 者 是 化 學 汽 相 澱 積 (Che mi c a 1 Va P 〇 Γ De P 〇 si t 1 on * 下 文 簡 1 I 稱CVD)製程 » 且 在 這 案 例 中 % 其 必 需 在 一 穩 定 之 氣 流 下 供 1 I 給 一 餵 入 材 料 氣 體 至 一 蒸 發 物 結 集 層 9 該 結 集 層 % 置 於 該 1 1 1 鍍 膜 室 中 0 為 使 該 蒸 發 作 用 之 特 性 穩 定 f 該 餌 入 材 料 氣 體 1 1 & PR 得 白 加 熱 蒸 發 一 液 體 來 源 f 該 液 體 來 源 像 藉 箸 溶 解 諸 如 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 3 3 8 927 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明（ 2 ) J 鈦 (二苯亞甲基） 2或锶（ 二 苯 亞 甲 基 )2材 料 所 産 生 > 該 等 材 1 1 1 料 在 常 溫 時 為 固 體 而 位 於 一 些 有 機 溶 劑 中 9 諸 如 四 氫 葉 1 1 酸 〇 /--V 1 I 請 1 I 極 度 難 以 穩 定 地 蒸 發 上 述 高 介 電 材 之 餵 入 材 料 » 因 為 先 閱 1 I 1 | : (1 )蒸發與分解溫度傜靠近在- -起； ( 2) 在 該 薄 膜 材 料 和 背 1 I 之 1 有 機 溶 劑 之 間 存 在 著 一 蒸 發 溫 度 之 差 異 * 與 (3 )該等蒸氣 注 意 1 1 壓 力 皆 很 低 0 譬 如 1 用 溶 解 在 四 氫 葉 酸 中 之 鈦 (二苯亞甲 項 1 填 1 基 )2 或 锶 (二苯亞甲基）2所造成之液體餵入材料， 其溶劑__ 寫 本 頁 1 之 液 相 範 圍 是 在 第 13 圖 ” a ”所標示之區域中， 而該材料之 S_^ 1 液 相 或 固 相 範 圍 是 在 第 13 圖 " a + C ”所標示之區域中。 所以， 1 1 當 升 高 該 液 體 之 溫 度 經 過 Jt—« 標 示 為 ” C ”之區域， 以便蒸發位 1 1 於 H a ”區域之餵入材料液體時， 其有- -項危險， 即可能只 訂 I 蒸 發 該 溶 劑 9 造 成 該 薄 膜 材 料 沉 澱 出 來 9 且 由 於 成 份 改 變 1 I 導 致 該 通 道 阻 塞 或 該 餺 入 材 料 品 質 之 退 化 〇 1 I 因 此 t 當 蒸 發 一 液 體 餵 入 材 料 時 通 常 需 考 慮 的 是 ： 其 1 1 線 必 需 迅 速 地 加 熱 該 液 體 9 以 便 將 其 快 速 地 帶 至 該 高 溫 區 域 1 〇 一 種 習 知 之 蒸 發 裝 置 型 式 僳 利 用 一 項 技 術 • 首 先 藉 著 使 1 1 .用 噴 射 器 噴 嘴 或 超 音 器 準 備 原 子 化 薄 霧 » 然 後 在 該 1 I 高 溫 區 域 中 加 熱 該 嗔 霧 » 以 産 生 一 蒸 氣 〇 1 1 | 視 所 欲 産 生 之 薄 膜 型 式 而 定 9 它 有 時 候 亦 需 在 極 緩 慢 1 I 之 速 率 下 供 給 該 餵 入 材 料 至 該 薄 膜 生 長 室 〇 當 使 用 一 個 噴 1 1 射 器 噴 嘴 以 霧 化 一 液 體 時 » 一 載 運 氣 體 傜 在 相 當 高 之 壓 力 1 1 下 蓮 送 » 且 其 難 以 霧 化 徹 量 之 製 程 液 體 0 當 使 用 · 個 超 音 1 1 波 噴 霧 器 時 ， 其 已 難 以 發 現 — 種 超 音 波 元 件 能 在 蒸 發 該 餵 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 4 3 8927 A7 B7 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 五、 發明説明（3 ) I 入 材 料 所 需 之 高 溫 下 操 作 » 以 致 其 難 以 在 穩 定 狀 態 下 施 行 1 I 霧 化 作 用 0 再 者 9 霧 化 和 噴 霧 製 程 需 要 一 很 大 之 尺 寸 9 且 1 1 I 有 —- 項 危 險 • 即 部 份 之 銪 入 材 料 可 能 於 該 尺 寸 中 變 得 停 滞 1 I 請 1 I 不 流 動 > 且 變 得 退 化 或 不 能 可 靠 地 遞 送 至 該 蒸 發 裝 置 Ο 先 閱 I I 讀 I 1 再 者 « 吾 人 想 要 的 是 該 餵 入 材 料 之 蒸 發 步 驟 係 正 好 只 背 面 1 I 之 1 在 該 蒸 氣 進 入 該 處 理 室 之 刖 施 行 » 以 致 使 得 該 蒸 氣 運 輸 通 注 意 1 事 1 道 變 得 儘 可 能 地 短 9 且 吾 人 想 要 的 是 該 設 備 具 有 足 夠 效 率 項 再 1 填 1 9 以 便 蒸 發 在 一 小 空 間 内 所 需 之 液 髏 餵 入 材 料 量 * 但 傳 統 寫 本 裝 頁 1 之 設 備 傜 基 於 —- 種 二 階 段 霧 化 製 程 t 其 僳 在 蒸 發 作 用 之 後 1 9 而 需 要 一 很 大 之 尺 寸 9 且 不 能 輕 易 地 做 成 — 精 巧 之 BO 単 元 1 1 1 Ο 因 此 9 明 顯 的 是 已 有 — 種 需 求 9 用 以 藉 著 某 一 方 法 改 1 訂 1 善 現 行 處 理 難 以 蒸 發 材 料 之 % 統 t 甚 至 在 極 缓 慢 之 速 率 下 1 | 供 給 液 體 之 铕 入 材 料 « 該 設 備 之 蓮 轉 既 有 效 率 又 精 確 > 以 1 I 致 所 需 之 蒸 氣 能 在 一 穩 定 狀 態 下 供 給 至 該 蒸 發 裝 置 0 1 t 1 線 發 明 概 1 本 發 明 之 一 巨 的 是 提 供 一 種 蒸 發 裝 置 9 其 可 用 於 有 效 1 1 率 地 蒸 發 難 以 蒸 發 之 材 料 > 諸 如 複 雜 之 餵 入 材 料 > 用 以 生 1 1 産 一 高 介 電 或 鐵 電 材 料 〇 本 發 明 之 另 一 百 的 是 提 供 一 個 精 1 I 巧 之 蒸 發 裝 置 > 其 可 在 受 控 制 之 溫 度 與 成 份 狀 態 下 蒸 發 徹 1 I 量 之 材 料 t 而 不 造 成 該 蒸 氣 蓮 輸 通 道 之 阻 塞 或 堵 塞 0 1 I 這 些 百 的 業 已 在 蒸 發 装 置 中 完 成 ， 用 以 産 生 一 液 體 餵 1 1 I 入 材 料 之 蒸 氣 t 其 包 括 ·· 一 條 蒸 發 通 道 t 其 由 一 對 隔 開 1 1 徹 小 間 距 之 相 向 壁 面 所 組 成 9 個 液 體 領 入 材 料 之 入 □ 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 5 3 8 9 27 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明（4 ) 1 其 係 設 在 該 蒸 發 通 道 之 一 端 點 9 一 己 蒸 發 餵 入 材 料 之 出 P 1 I 其 俗 設 在 該 蒸 發 通 道 之 一 相 向 端 點 > 及 加 熱 機 構 用 以 I 1 | 加 熱 這 ΙΆ 壁 面 至 一 溫 度 此 溫 度 超 過 該 液 體 餵 入 材 料 之 請 1 1 | 一 蒸 發 溫 度 以 致 該 液 體 餺 入材料 可 能 引 導 進 入 該 欲 蒸 發 先 閲 讀 1 1 之 蒸 發 通 道 〇 背 ιέ 之 1 1 1 據 此 1 該 液 體 餵 入 材 料 僳 保 留 於 該 等 牆 壁 表 面 之 間 9 注 意 事 1 1 形 成 -* 薄 膜 9 以 致 可 用 已 加 熱 之 壁 面 迅 速 地 加 熱 這 薄 膜 至 項 再 填 1 1 裝 1 其 蒸 氣 溫 度 〇 因 為 該 餵 入 材 料 僳 以 —- 液 體 形 式 迅 速 地 供 給 馬 本 頁 至 蒸 發 器 部 份 9 在 該 餌 入 材 料 流 動 路 徑 中 即 不 有 停 滞 不 >—^ 1 I 流 動 狀 態 % 且 甚 至 在 一 極 缓 慢 之 供 給 速 率 下 仍 可 在 在 其 供 1 1 1 給 速 率 上 施 行 一 優 異 之 控 制 作 用 0 該 液 體 餵 入 材 料 進 入 該 1 1 訂 1 蒸 發 器 部 份 9 此 蒸 發 器 部 份 在 入 □ 端 是 寬 廣 的 9 且 逐 漸 地 擴 展 朝 向 該 出 P 端 0 1 1 在 本 發 明 之 * 論 點 中 > 至 少 該 等 壁 面 之 — 可 能 設 有 溝 1 I 構 9 以 便 能 使 一 已 蒸 發 之 氣 體 及 / 或 一 載 連 氣 體 流 經 該 處 1 線 〇 據 此 f 可 減 少 該 製 程 氣 體 之 分 壓 > 藉 以 增 進 該 液 體 餵 入 1 I 材 料 之 進 一 步 蒸 發 0 該 已 蒸 發 氣 體 係 由 \山 洹 些 溝 槽 輸 出 1 而 1 1 該 液 體 餵 入 材 料 僳 保 留 在 該 徹 小 間 距 中 和 加 熱 > 且 可 不 管 1 1 未 蒸 發 液 體 而 移 去 氣 相 材 料 〇 1 1 該 等 蒸 發 通 道 可 能 包 括 某 一 部 份 9 其 中 蒸 發 通 道 之 樓 1 1 載 面 面 積 僳 在 已 蒸 發 餵 入 材 料 出 P 區 域 中 增 加 f 以 致 可 I 能 容 納 該 液 相 至 氣 相 變 化 所 伴 隨 之 體 膨 脹 0 1 1 I 該 裝 置 可 能 設 有 一 個 間 距 調 整 機 構 9 用 以 根 據 該 餵 入 1 1 | 材 料 及 / 或 蒸 發 速 率 之 特 性 而 變 化 該 撤 小 間 距 之 分 開 距 離 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明（5 ) 1 1 該 装 置 可 能 設 有 一 値 驅 動 機 構 • 用 以 操 作 該 間 距 調 整 1 1 1 機 構 以 致 可 更 平 順 地 施 行 該 調 整 距 離 之 操 作 〇 —S 1 1 請 1 1 該 液 體 餵 入 材 料 入 P 可 能 與 — 載 運 氣 體 供 給 通 道 相 通 先 閲 1 1 讀 1 1 用 以 供 給 一 載 蓮 氣 體 〇 據 此 9 可 在 該 蒸 發 器 部 份 内 同 時 背 1 1 之 1 施 行 該 製 程 蒸 氣 與 載 蓮 氣 體 之 混 合 步 驟 以 改 善 該 裝 置 之 注 意 1 事 1 效 率 0 與 該 載 蓮 氣 體 之 混 合 可 減 少 製 程 氣 體 之 分 壓 9 並 且 項 1 填 1 促 進 該 蒸 發 製 程 0 窝 太 a 頁 1 蒸 發 通 道 可 能 僳 由 對 彼 此 相 向 之 旋 轉 表 面 所 組 成 0 1 譬 如 > 該 旋 轉 表 面 可 能 包 括 一 圓 錐 外 形 、 一 圓 柱 外 形 > 或 1 1 任 何 其 它 外 形 與 這 外 形 之 某 種 組 合 0 經 由 用 一 對 旋 轉 表 1 1 面 造 成 該 等 蒸 發 通 道 9 即 可 形 成 短 小 之 相 向 壁 面 和 加 熱 機 訂 I 構 9 以 提 供 一 値 精 巧 與 有 效 率 之 蒸 發 裝 置 〇 其 亦 可 能 藉 著 1 I 調 整 其 相 互 間 之 中 心 軸 而 取 消 該 等 尺 寸 之 差 異 t 以 致 增 強 1 1 I 該 蒸 發 形 成 製 程 0 此 架 構 亦 可 幫 肋 該 氣 體 排 出 穿 過 這 些 溝 1 1 線 槽 t 進 —* 步 創 造 該 蒸 發 通 道 之 —- 新 近 暴 露 表 面 • 俥 能 促 進 1 熱 量 之 傳 送 及 改 善 其 蒸 發 效 率 〇 1 1 蒸 發 通 道 可 能 包 括 一 對 相 向 之 平 面 構 件 0 據 此 f 簡 單 1 1 之 機 構 即 可 兀 成 該 百 的 * 且 可 降 低 該 裝 置 費 用 與 維 修 費 用 1 1 I 0 最 好 製 成 該 撤 小 間 距 9 以 使 其 不 隔 開 超 過 0 . 3毫米 1 1 0 經 由 製 成 較 狹 窄 之 間 距 f 該 毛 細 管 作 用 可 變 得 更 有 效 地 1 1 快 速 散 佈 該 液 體 以 增 強 蒸 發 作 用 〇 該 間 距 之 尺 寸 視 所 使 1 1 用 液 體 餵 入 材 料 之 型 式 而 定 但 較 好 是 在 少 於 0 . 3毫米之 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）， 7 3 89 27 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明（6 ) | 範 圍 内 更 好 是 在 0 1 - •0 2毫米之範圍f 勺C 1 I 該 液 體 餵 入 材 料 之 入 □ 可 能 包 括 一 個 餵 入 材 料 導 引 部 J 1 I 份 9 用 以 引 導 該 液 體 餵 入 材 料 進 入 該 等 蒸 發 通 道 * 以 致 進 —V 請 先 閲 讀 1 1 一 步 促 進 該 液 體 餵 入 材 料 引 導 進 入 該 徹 小 間 距 0 1 1 可 能 設 有 一 液 體 餺 入 材 料 之 供 給 通 道 > 用 以 供 給 一 液 背 1 1 1 體 餵 入 材 料 至 該 蒸 發 通 道 * 該 通 道 之 較 低 端 僳 打 開 在 該 液 注 意 事 項 再 填 1 1 I 體 館 人 材 料 入 □ 之 上 方 並 隔 開 —- 段 已 知 之 距 離 f 以 致 可 1 1 裝 1 提 昇 該 供 給 通 道 之 隔 熱 作 用 0 鳥 本 頁 該 等 牆 壁 表 面 可 能 設 有 各 種 表 面 特 擻 > 以 便 促 進 其 承 S_^ 1 I 受 該 液 體 餵 入 材 料 之 吸 濕 度 0 這 是 經 由 譬 如 在 不 綉 銷 上 使 1 1 用 酸 洗 或 噴 砂 清 理 * 以 變 更 一 壁 面 材 料 表 面 之 白 身 性 質 1 1 訂 1 藉 此 改 善 其 濕 潤 度 及 增 加 其 表 面 積 0 其 可 允 許 該 液 體 餵 入 材 料 之 入 口 像 設 在 該 蒸 發 通 道 之 1 1 上 方 ， 且 該 已 蒸 發 之 餵 入 材 料 出 P 像 設 在 該 蒸 發 通 道 之 下 1 I 方 0 據 此 « 能 利 用 重 力 以 分 散 該 等 壁 面 間 之 液 體 » 如 此 進 線 一 步 增 進 該 蒸 發 形 成 製 程 0 1 I 其 亦 jt 許 該 液 體 餓 入 材 料 之 入 Π 與 該 已 蒸 發 氣 體 之 出 1 1 Π 大 體 上 偽 同 軸 地 定 位 0 1 1 該 裝 置 之 一 相 關 論 點 是 一 種 用 以 蒸 發 一 液 體 餵 入 材 料 1 1 之 方 法 這 是 經 由 不 斷 地 供 給 該 液 體 餵 入 材 料 進 入 在 一 蒸 1 1 發 通 道 中 所 形 成 之 撤 小 間 距 9 此 蒸 發 通 道 包 括 一 對 已 加 熱 I 之 壁 面 機 構 1 而 這 是 藉 著 利 用 該 液 體 餵 入 材 料 與 該 蒸 發 通 1 I 道 接 觸 表 面 間 之 毛 細 管 吸 力 0 該 等 毛 細 管 吸 力 有 助 於 分 散 1 1 1 該 等 壁 面 間 之 液 體 以 增 強 該 蒸 發 製 程 〇 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 8 3 8 9 27 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明（7 ) 1 該 項 用 於 蒸 發 一 液 體 餵 入 材 料 之 裝 置 的 另 一 實 施 例 包 1 1 括 ： 一 設 有 液 體 铕 入 材 料 入 □ 之 蒸 發 通 道 9 加 熱 機 構 9 用 1 I 以 加 熱 該 蒸 發 通 道 至 一 溫 度 1 此 溫 度 傜 超 過 該 液 體 餵 入 材 ^—V 請 1 1 料 之 —- 蒸 發 溫 度 9 —- 餓 入 材 料 之 供 給 通 道 9 用 以 經 由 該 液 先 閲 诸 1 1 醱 餵 入 材 料 入 口 供 給 該 液 體 餺 入 材 料 至 蒸 發 通 道 > 及 一 絶 背 ώ 1 1 緣 部 份 用 以 將 該 餓 入 材 料 之 供 給 通 道 維 持 在 一 足 夠 之 低 注 意 事 項 再 填 1 I 溫 > 而 將 該 液 體 餓 入 材 料 保 持 在 一 穩 定 之 狀 態 9 且 不 蒸 1 1 發 〇 據 此 9 該 餚 入 材 料 能 由 一 部 份 移 轉 到 另 一 部 份 9 而 有 寫 本 頁 裝 1 最 小 量 之 熱 干 擾 0 1 I 其 允 許 該 蒸 發 裝 置 在 該 绝 緣 部 份 與 加 熱 機 構 之 間 具 有 1 1 I 一 壓 縮 部 份 以 致 可 控 制 該 館 入 材 料 之 供 給 速 率 或 已 蒸 發 1 1 氣 體 之 壓 力 0 訂 1 吾 人 可 能 安 置 該 蒸 發 裝 置 中 之 餵 入 材 料 供 給 通 道 9 以 1 1 致 其 與 該 液 體 餵 入 材 料 入 P 分 開 一 段 待 定 之 距 離 ， 且 該 加 1 1 熱 機 構 與 該 絶 線 部 份 偽 沿 著 環 繞 該 液 體 餵 入 材 料 入 P 之 周 I 線 圍 接 合 在 一 起 〇 分 開 地 控 制 該 绝 *t(Lj 緣 部 份 和 該 加 熱 部 份 以 1 1 使 該 二 部 份 間 之 熱 傳 送 減 至 最 低 0 1 1 I 該 用 於 蒸 發 一 液 體 餵 入 材 料 之 裝 置 以 産 生 用 於 導 入 1 1 1 一 材 料 處 理 室 之 製 程 蒸 氣 9 其 另 一 論 點 包 括 — 個 額 入 材 1 1 料 儲 藏 裝 置 » 用 以 儲 存 該 液 體 餵 入 材 料 餵 入 材 料 供 給 機 1 1 m 9 用 以 供 給 該 液 歷 餓 入 材 料 1 及 一 餵 入 材 料 流 動 通 道 » 1 其 中 一 蒸 發 器 機 構 偽 放 置 在 該 餵 入 材 料 流 動 通 道 中 f 此 铕 1 I 入 材 料 流 動 通 道 可 使 該 餵 入 材 料 供 給 機 構 與 該 材 料 處 理 室 I 相 通 » 且 一 値 預 防 蒸 發 之 機 構 % 放 置 在 該 蒸 發 器 機 構 之 上 暑 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 9 38927 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明（8 ) | 游 並 相 對 該 餵 入 材 料 之 流 動 方 向 1 以 防 止 該 蒸 發 器 機 構 1 I 影 溢 該 液 髏 餵 入 材 料 0 1 1 | 該 預 防 蒸 發 之 機 構 可 能 包 括 一 隔 離 之 聯 接 裝 置 f 該 聯 請 1 1 接 裝 置 傜 設 在 該 餵 入 材 料 之 流 動 通 道 中 * 而 鄰 接 該 蒸 發 器 先 閲 讀 背 Sj 之 1 1 I 機 構 之 上 游 〇 1 1 | 在 —. 値 氣 體 噴 射 器 装 置 中 兀 成 本 發 明 之 另 一 百 的 9 該 注 意 事 1 1 裝 置 傜 用 以 引 導 —k 製 程 蒸 氣 至 放 置 於 —' 材 料 處 理 室 内 之 蒸 項 再 填 1 1 1 發 物 結 集 層 ， 其 包 括 — 蒸 發 器 部 份 • 其 設 有 由 —- 對 相 向 寫 本 頁 之 壁 面 所 組 成 之 流 動 通 道 9 該 二 壁 面 % 分 開 一 段 徹 小 間 距 1 1 一 値 液 體 餵 入 材 料 入 口 9 其 設 在 該 流 動 通 道 之 一 端 點 y 1 1 1 一 已 蒸 發 餵 入 材 料 之 出 □ t 其 偽 設 在 該 流 動 通 道 之 一 相 向 1 1 訂 1 端 點 9 加 熱 機 構 9 用 以 加 熱 這 些 壁 面 至 一 溫 度 > 此 溫 度 偽 超 過 該 液 體 餵 入 材 料 之 一 蒸 發 溫 度 ， 及 一 個 噴 射 頭 9 用 以 1 1 引 導 一 已 蒸 發 之 餵 入 材 料 至 該 蒸 發 物 結 集 層 其 中 該 蒸 發 1 I 器 部 份 與 該 噴 射 頭 僳 整 體 組 裝 至 形 成 一 熱 CXD 早 元 0 此 一 裝 置 1 線 利 用 上 述 該 蒸 發 裝 置 之 最 佳 特 點 * 以 生 産 一 値 熱 力 學 穩 定 1 I 之 % 統 0 1 1 該 用 於 蒸 發 一 液 體 餵 入 材 料 之 裝 置 的 % 一 論 點 包 括 ： 1 1 一 個 餵 入 材 料 供 給 部 份 » 用 以 在 一 預 定 速 率 下 供 給 該 液 體 1 1 餵 入 材 料 > 而 將 該 液 體 餵 入 材 料 維 持 在 一 溫 度 > 且 不 超 過 1 1 — 蒸 發 溫 度 9 __. 個 蒸 發 部 份 t 用 以 蒸 發 該 液 體 餵 入 材 料 * I 垣 是 經 由 加 熱 該 液 體 餵 入 材 料 至 一 溫 度 t 而 超 過 其 蒸 發 溫 1 1 I 度 » 其 中 在 該 餵 入 材 料 供 給 部 份 與 該 蒸 發 器 部 份 之 間 提 供 1 1 | 一 値 橋 接 路 徑 部 份 9 其 設 有 一 撤 小 之 間 距 > 用 以 不 斷 地 運 1 1 10 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 3 8 927 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明（9 ) I 送 該 液 體 餵 入 材 料 0 1 1 | 據 此 » 該 低 溫 之 餵 入 材 料 供 給 部 份 % 與 該 髙 溫 蒸 發 器 1 1 部 份 熱 隔 離 以 使 其 熱 傳 送 減 至 最 低 且 能 防 止 該 液 體 館 1 I 請 1 I 入 材 料 長 期 駐 留 在 該 中 間 溫 度 範 圍 内 0 再 者 * 該 餺 入 材 料 先 閲 1 I 讀 1 1 並 非 呈 點 滴 狀 地 供 給 • 但 經 由 一 座 液 體 橋 狀 物 供 給 t 以 背 Λ 1 I 之 1 致 甚 至 可 達 成 一 極 徹 小 之 連 缠 供 給 速 率 f 而 避 免 其 成 分 波 注 意 1 事 1 動 0 項 再5 1 I 填 1 該 載 蓮 氣 體 入 口 可 能 打 通 至 該 橋 該 路 徑 部 份 f 用 以 能 寫 本 威 頁 1 使 —- 載 運 氣 體 接 觸 該 液 體 餵 入 材 料 0 藉 著 同 時 實 行 該 載 蓮 1 氣 體 與 製 程 蒸 氣 之 混 合 步 驟 9 而 於 該 混 合 氣 體 允 許 進 入 該 1 1 蒸 發 器 部 份 之 W, 刖 f 可 在 該 蒸 發 裝 置 之 一 簡 ασ 単 结 構 中 防 止 該 1 1 橋 接 路 徑 部 份 中 之 過 早 蒸 發 以 防 止 過 多 之 液 體 餵 入 材 料 訂 | 供 給 進 入 該 蒸 發 器 部 份 0 1 I 其 亦 允 許 提 供 一 値 間 距 調 整 機 構 9 用 以 變 化 該 徹 小 間 1 1 I 距 之 一 分 開 距 離 〇 1 1 線 上 述 裝 置 可 能 設 有 — 個 驅 動 機 構 > 以 便 操 作 該 間 距 調 1 整 m 構 0 據 此 > 視 該 液 體 餵 入 材 料 之 物 理 性 質 而 定 9 可 定 1 1 製 該 間 距 以 幫 助 該 製 程 〇 1 1 該 蒸 發 器 部 份 可 能 包 括 一 個 針 頭 部 份 且 該 餵 入 材 料 1 I 之 供 給 部 份 可 能 包 括 支 小 直 徑 之 管 子 9 用 以 供 給 該 液 體 1 I 餵 入 材 料 $ 在 此 該 針 頭 部 份 % 放 置 毗 鄰 該 橋 接 路 徑 部 份 中 1 1 之 小 直 徑 管 子 之 一 頂 端 0 該 小 直 徑 管 子 之 頂 端 形 狀 係 設 計 1 1 成 一 圓 柱 形 噴 嘴 形 式 〇 又 該 小 直 徑 管 子 之 内 徑 ttffT 應 該 未 超 過 1 1 2 毫 米 〇 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 1 1 3 8 9 2 7 A7 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明（10 ) 在 上 述 裝 置 中 該 橋 接 路 徑 部 份 可 能 包 括 一 個 液 體 導 引 部 份 f 該 液 體 導 引 部 份 於 靠 近 下 游 位 置 處 設 有 一 逐 漸 減 少 之 横 截 面 區 域 0 圖 而 簡 W • 第 1 圖 是 本 發 明 一 整 個 蒸 發 裝 置 之 一 横 截 面 視 圖 0 第 2 圖 疋 第 1 圖 所 示 裝 置 中 心 部 份 之 一 放 大 橫 截 面 視 圖 0 第 3 A與 3B 圖 分 別 是 一 値 針 頭 部 份 之 正 面 圖 與 平 面 圖 t 該 針 頭 部 份 是 第 2 圖 中 所 示 之 臨 界 部 份 0 第 4 圖 是 該 蒸 發 器 部 份 之 一 局 部 放 大 横 截 面 視 圖 f 用 以 加 熱 該 液 體 及 輸 出 一 製 程 氣 體 穿 過 這 些 溝 槽 0 第 5 A舆 5B 圖 傜 不 同 形 式 之 橋 接 路 徑 部 份 之 放 大 側 視 圖 % 其 包 括 第 1 圖 中 所 示 之 噴 嘴 與 針 頭 部 份 〇 第 6 A舆 6B 圔 是 該 橋 接 路 徑 部 份 之 其 它 架 構 0 第 7 圖 是 該 蒸 發 裝 置 另 一 實 施 例 之 一 横 截 面 視 圖 t 其 設 有 一 値 間 距 調 整 機 構 0 第 8 A 圖 是 該 蒸 發 裝 置 之 又 另 一 實 施 例 9 其 設 有 用 於 該 間 距 調 整 機 構 之 一 m 動 器 0 第 8B 圖 是 該 驅 動 之 一 局 部 放 大 平 面 圖 〇 第 9 圔 是 本 發 明 蒸 發 裝 置 之 又 另 一 實 施 例 〇 第 10 圖 是 一 整 合 型 式 蒸 發 裝 置 之 一 横 截 面 視 圖 9 其 設 有 一 個 與 噴 射 頭 整 合 之 蒸 發 裝 置 0 第 11 A與1 1 B 圖 是 該 蒸 發 裝 置 針 頭 部 份 與 橋 接 路 徑 部 份 之 其 它 範 例 0 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 12 3 8 92 7 請 先 閲 讀 背 面 之 注 意 事 項· 再 填 衰裝 頁 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明（1 ) I 第 12A與 L2B圖 是 該 等 橋 接 路 徑 部 份 之 其 它 範 例。 1 1 1 第 1 3圖 是 一 個 圖 表 其 顯 示 一 些 液 體 餵 入 材 料之 物 理 1 1 性 質 〇 /-—V 1 1 請 1 I 伴 菁 旃 例 沭 先 閲 1 I 讀 1 I 在 下 列 之 較 佳 實 施 例 中 將 考 各 圖 面 呈 現 本 發 明。 第 1 背 1 | 之 1 至 5 圖 有 關 第 一 値 實 施 例 * 其 包 括 一 個 較 高 部 份， 即 該 意 1 孝 1 液 體 餌 入 材 料 之 供 給 部 份 A ； 和- -値較低部份， 即該蒸發 項， 再 1 填 1 器 部 份 B， 該蒸發器部份係以- -介入中間之熱絶綠部份連 禽 裝 頁 1 接 至 該 較 高 部 份 〇 Ν_^ 1 該 供 給 部 份 A 是 —- 個 圓 柱 形 容 器 1， 其設有- -支液體 1 1 餵 入 材 料 之 供 給 管 2 , 該供給管僳垂直地延伸穿過該圓柱 1 1 形 容 器 之 中 心 且 該 餵 入 材 料 供 給 管 2 之 頂 部 傜 連接 至 該 訂 1 餵 人 材 料 分 配 管 〇 — 値 滴 下 噴 嘴 3 偽 放 置 在 該 餌 入材 料 供 1 | 給 管 2 之 尖 端 9 這 將 於 稍 後 詳 細 敘 述 而 打 通 至 該蒸 發 器 1 I 部 份 B 之 一 餵 入 材 料 入 □ 4〇 容器1 之内部包括- -熱夾套 1 1 線 5 . 該熱夾套傜用於在餵入材料供給管2 中維持- -持定溫 1 度 » 在 此 該 液 體 館 入 材 料 是 處 於 一 穩 定 狀 態 (譬如，第1 3 1 1 圖 中 之 區 域 ft a ") 0 該 容 器 1 之 底 部 平 板 6 具 有 一 熱媒 介 ( 1 1 冷 却 水 )之進入開口 7 9 且 該 頂 部 平 板 8 具 有 一 値 媒介 排 放 1 I 開 P 9 〇 1 I 該 蒸 發 器 部 份 B 包 括 呈 同 心 圓 放 置 之 外 殼 體 部份 10與 1 I 内 殼 體 部 份 11 每 一 個 殼 體 部 份 具 有 其 白 身 之 夾 套部 份 0 1 1 1 該 外 殼 體 部 份 10 之 内 部 壁 12與 該 内 殼 體 部 份 11 僳 以某 — 方 1 1 式 建 造 » 以 致 其 每 一 個 頂 部 部 份 為 國 錐 形 > 具 有 一已 知 之 1 1 13 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 3 8 9 2 7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（12 ) 錐形角度，且該底部部份之形狀像設計成一 |^\體。一個 蒸發通道R傷建造於該外殼體部份10之内部壁\^^與該内 殼體部份11之間，用以由頂部至底部流動餵入。該 餵入材料入口 4包括該内殼體部份11之一針頭部份14,其 僳安排在該外殼體部份10頂部平板13之中央開口内。該液 體餵入材料之導引部份4a俱用於由該供給部份A導引液體 餵入材料至該蒸發器部份B,而用一環狀構件4a製成，該 環狀構件係附著於該針頭部份14與該頂部平板13開口之間 。該已蒸發之餵入材料出口 16像在該外殼體部份10之底部 部份穿過這夾套15。 這些内外部殼體像由對該液體餵人材料具有一良好吸 濕度之材料所製成，諸如不綉鋼，且譬如用酸洗或噴砂處 理它們之表面，以致具有一特定之表面光滑度，諸如大約 0.1毫米之表面粗糙度。該外殼體部份10與該内殼體部份 11間之相向錐形表面形成一個蒸發通道R,而在該二殼體 表面之間具有一微小間距t i。該t i尺寸可視其液體餵入材 料之型式、溫度與壓力而變化。可對其加以選擇，以致該 液體餵入材料僳持缠進入該徹小間距t i，而可立即散開於 該等殼體表面之間，俥能藉著表面張力（毛細管現象）形成 一液體薄膜，且即刻地加熱變成一蒸氣。 如第3A, 3B與4圖中所示，氣體流動溝槽17僳形成於 該蒸發通道R之内側殼體壁面上，以幫助該已蒸發铕入材 料之流出。這些溝槽17偽製成沿著該錐形表面延伸，且設 計成使它們之數目或它們之全部横截面面積朝向該圓錐醱 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 14 38927 ----------t.------IT------0 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明（13 ) I 之 底 部 增 加 0 亦 即 該 等 溝 槽 17關於 該 蒸 發 通 道 R 之 整 個 表 1 1 | 面 積 9 在 其 下 游 區 域 比 其 上 游 區 域 佔 有 一 較 大 之 面 積 0 吾 1 1 人 可 實 驗 性 地 测 定 該 等 氣 體 流 動 溝 槽 17之 設 計 參 數 ， 諸 如 1 I 請 1 I 它 們 之 深 度 與 寬 度 ， 以 致 該 已 蒸 發 之 餵 入 材 料 與 該 載 蓮 氣 先 閱 1 I 讀 1 I 體 可 平 順 地 運 输 穿 過 該 裝 置 〇 譬 如 t 該 餵 入 材 料 液 體 具 有 背 IB 1 | 之 1 一 値 低 级 吸 濕 度 時 9 溝 槽 之 數 巨 應 該 要 減 少 或 消 除 0 注 意 1 事 1 内 殼 體 部 份 11與外殼體 部 份 10傜藉著 拴 牢 該 凸 綠 18而 項， 再 1 壤 1 連 接 在 起 9 該 凸 緣 僳 形 成 於 該 内 殼 體 部 份 11底 部 之 外 部 寫 本 裝 I 表 面 上 * 且 用 螺 栓 19連接至 該 外 殼 體 部 份 10之底 部 〇 該 外 貝 1 1 1 部 與 内 部 殼 體 部 10與 1 1之 夾 套 1 5 ,2 0僳分別設有管子2 1 , 1 1 22 與 23 ,24， 用以流動- -熱媒介， 諸如油。 1 1 其 次 ， 吾 人 將 敘 述 該 供 給 部 份 A 和 蒸 發 器 部 份 B 間 之 訂 1 連 接 部 份 結 構 0 該 供 給 部 份 A 之 底 部 平 板 6 和 該 蒸 發 器 部 1 I 份 B 之 頂 部 平 板 13偽在它們之周 圍 連 接 在 一 起 0 如 第 5 圖 1 I 中 所 示 9 在 該 液 體 餵 人 材 料 供 給 管 2 尖 端 之 噴 嘴 3 偽 放 置 1 線 於 該 内 殼 體 部 1 1針 頭 部 份 1 4之 緊 鄰 區 域 ， 而 有 某 大 小 之 1 間 距 t 2 Ο m 擇 該 間 距 t 2 之 尺 寸 9 以 致 可 在 該 液 體 餵 入 材 料 I 1 所 需 之 最 小 供 給 速 率 下 保 持 該 蒸 發 裝 置 之 操 作 P 由 該 滴 下 1 1 噴 嘴 3 所 供 給 之 液 體 餓 入 材 料 L 對 該 針 頭 部 份 14形 成 一 橋 1 I 接 路 徑 部 份 (橋接部份） Br • 用 以 在 其 間 提 供 持 缠 不 斷 之 流 1 | 動 0 1 I 一 間 距 S 僳 提 供 於 該 供 給 部 份 A 之 底 部 平 板 6 和 該 蒸 1 1 發 器 部 份 B 之 頂 部 平 板 13間 之 一 位 置 中 f 以 便 環 繞 該 餵 入 1 1 材 料 入 P 4 之 外 圍 9 且 用 一 値 密 封 構 件 25密 封 之 * 該 密 封 1 1 15 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 3 8 92 7 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明（14 ) | 構 件 放 置 靠 近 該 底 部 平 板 6 與 該 頂 部 平 板 1 3之 邊 緣 0 如 1 I 第 2 圖 中 所 示 9 該 間 距 S 偽 與 該 等 載 運 氣 體 入 口 通 道 26 , 1 1 1 27相 通 該 等 載 蓮 氣 體 入 口 通 道 像 形 成 於 該 蒸 發 器 部 份 Β 請 1 1 I 之 頂 部 平 板 13上或該供給 部 份 A 之 底 部 平 板 6 上 〇 前 者 之 先 閲 讀 1 1 通 道 傜 用 於 供 給 一 已 冷 却 之 載 蓮 氣 體 t 而 後 者 用 於 供 給 一 背 之 1 1 預 先 加 熱 之 載 蓮 氣 體 〇 一 環 狀 構 件 4 a 偽 設 有 螺 紋 f 安 裝 至 ϋ 意 事 1 1 該 頂 部 平 板 13嘴部 • 且 圍 繞 該 噴 嘴 1 4 » 以 致 允 許 該 間 距 ( 項ί 再 填 1 1 裝 I 載 蓮 氣 體 通 道 )尺寸之調整， 該間距偽形成於該環狀構件 鳥 本 4 a 與 該 底 部 平 板 6 之 間 〇 '—✓ 1 1 I 其 次 » 將 在 下 文 說 明 該 液 體 餚 入 材 料 蒸 發 裝 置 之 操 作 1 1 I 〇 用 位 於 某 溫 度 之 冷 却 水 供 應 至 該 供 給 部 份 A 之 夾 套 5 , 1 1 訂 1 以 使 該 餵 入 材 料 供 給 管 2 之 溫 度 維 持 在 所 要 求 之 溫 度 0 選 擇 這 溫 度 * 以 致 它 是 在 第 13圖 之 "a ”範圍内， 但接近” ” C 之 1 1 範 圍 9 例 如 在 一 位 置 "X tl 〇 該液體餓入材料L 僳在- -受控 1 | 制 之 流 動 速 率 下 由 該 餵 入 材 料 供 給 管 路 流 入 該 餺 人 材 料 供 線 給 管 2 , 且由其底端供給至該蒸發器部份B 之餵入材料入 1 1 口 4 , 而仍維持在所要求之溫度。 1 1 在 該 餺 入 材 料 入 □ 4 時 » 因 為 該 滴 下 噴 嘴 3 與 該 針 頭 1 1 部 14偽放置 隔 開 一 段 距 離 t 2 以 便 能 夠 在 其 間 隨 時 形 成 一 1 1 個 橋 接 路 徑 部 份 B r 9 該 餵 入 材 料 甚 至 可 在 極 缓 慢 之 速 率 下 1 1 持 缅 地 供 給 0 在第5 A與58圖 中 舉 例 說 明 該 滴 下 噴 嘴 3 與 該 1 I 針 頭 部 份 14間之橋接路徑部份 Br 形 成 型 式 0 當 在 相 當 快 1 1 I 之 速 率 下 供 給 該 餓 入 材 料 時 f 該 液 匾 偽 均 勻 地 流 動 在 該 二 1 1 I 背 脊 上 1 如 第5A圖 中 所 示 9 而 當 該 液 體 之 流 動 速 冷ΐ 是 很 慢 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 16 38927 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明 、1 5 ) 1 時 > 該 橋 接 路 徑 部 份 Br 、之 外 形 係 假 設 為 第 5 B圖 中 所 示 之 外 1 | 形 9 這 是 由 於 該 等 表 面 張 力 所 致 0 於 任 一 案 例 中 » 該 餵 入 1 I 材 料 不 會 形 成 點 滴 9 藉 以 消 除 蒸 氣 體 積 或 該 製 程 氣 體 成 份 /·-N 請 1 1 之 細 撤 波 動 0 先 閲 讀 背 Λ 之 注 意 事 1 1 載 運 氣 體 係 經 由 該 等 載 運 氣 體 通 道 26 , 2 7供給至環嬈 1 1 該 餵 入 材 料 入 4 之 間 距 S C 該載蓮氣體穿過環燒該針頭 1 1 部 份 14之導 引 部 份 4 a > 並 攜 帶 該 材 料 之 蒸 進 入 該 内 殼 體 部 項 再 填 寫 本 頁 1 1 裝 | 份 11之氣體流動溝槽 17 0 同 時 » 供 給 至 該 針 頭 部 份 14之 液 體 餵 入 材 料 L 俗 沿 著 該 導 引 部 份 4 a 之 表 面 流 動 > 並 進 入 該 '— 1 I 内 殼 體 部 11與該外 殼 體 部 份 10間 之 間 距 9 如 第 4 圖 中 所 示 1 1 I 〇 該 液 體 將 經 由 表 面 張 力 (毛細管現象）而 只 流 動 進 入 該 間 1 1 距 t 1 9 卻 不 會 流 動 進 入 這 些 溝 槽 1 7 0 訂 1 在 這 階 段 » 藉 著 該 内 殼 體 部 份 1 1與 外 殼 體 部 份 10 二 者 1 1 加 熱 這 些 溝 槽 17中 之 液 體 餵 入 材 料 L , 並改善其吸濕度， 1 1 亦 即 該 表 面 張 力 液 滴 9 又 因 為 間 距 t 1 是 充 分 狹 窄 > 該 低 黏 1 線 度 之 m 體 館 入 材 料 可 迅 速 地 進 入 該 間 距 t 1 > 而 將 保 留 在 其 1 I 内 〇 藉 著 該 等 牆 壁 表 面 加 熱 該 液 體 餵 入 材 料 L , 以便逐漸 1 1 I 地 蒸 發 進 入 該 氣 體 流 動 溝 槽 17 9 且 用 該 載 運 氣 體 播 帶 至 由 1 1 該 已 蒸 發 餓 入 材 料 之 出 □ 1 6排 出 0 既 然 該 液 體 餵 入 材 料 在 1 1 該 狹 窄 間 距 t 1 中 形 成 一 薄 膜 1 當 加 熱 它 時 該 餵 入 材 料 之 1 1 溫 度 立 卽 上 舁 穿 過 該 區 域 "C ” > 逹到在第13圖中所示蒸氣 1 | 區 域 "b ”之么 Ϊ置Y 〇 因 此 » 可 避 免 由 於 該 溶 劑 過 早 蒸 發 所 造 1 I 成 之 餵 入 材 料 分 解 聚 合 材 料 或 氣 化 金 靨 之 沈 澱 等 0 1 1 I 此 裝 置 之 另 一 特 色 是 該 供 給 部 份 A 和 該 蒸 發 器 部 份 B 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 17 38927 A7 B7 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 五、 發明説明 16 ) I 偽 於 其 邊 緣 結 合 在 一 起 這 是 藉 著 一 熱 絶 緣 構 件 9 諸 如 鐵 1 I 弗 龍 (商品名稱） 9 且 該 間 距 S 係 形 成 於 該 裝 置 周 邊 之 内 側 1 1 I 0 如 此 > 需 要 O0 m 密 控 制 溫 度 之 滴 下 噴 嘴 3 與 針 頭 部 份 1 4傑 —S 請 先 1 1 1 較 少 受 熱 傳 導 之 影 鎏 $ 以 便 容 易 雒 持 該 溫 度 不 變 〇 藉 著 預 閲 讀 1 先 加 熱 該 餺 入 材 料 供 給 管 2 中 之 液 體 餌 入 材 料 並 用 作 __- 背 fir 1 I 之 1 注 1 緣 部 份 » 而 加 熱 至 接 近 該 蒸 發 溫 度 之 — 合 適 溫 度 $ 以 改 意 事 項 再 1 I 善 該 蒸 發 部 份 中 之 蒸 發 效 率 0 在 該 絶 緣 部 份 中 之 溫 度 控 制 1 填 1 裝 是 重 要 的 且 應 儘 可 能 地 限 制 來 白 該 蒸 發 器 部 份 之 熱 傳 送 本 頁 1 0 '—✓ 1 I 第6A與6B圖指 出 其 它 實 施 例 ， 它 們 具 有 不 同 之 滴 下 噴 1 1 | 嘴 3 輪 廊 〇 在 第6A圖 中 所 示 之 輪 廓 具 有 一 値 寬 度 之 底 部 錐 1 1 訂 形 3 a > 以 致 該 錐 形 表 面 與 該 針 頭 部 份 1 4形 成 平 行 相 向 之 1 表 面 9 以 改 善 液 體 之 保 留 作 用 0 第 6B圖 指 出 一 個 狹 窄 底 部 1 1 之 錐 形 體 3b 9 以 便 防 止 該 餵 人 材 料 液 體 之 散 開 0 其 輪 廓 可 1 1 包 括 各 種 外 形 « 諸 如 該 導 引 部 份 之 彎 曲 表 面 聯 合 已 變 更 形 1 線 狀 之 針 頭 部 份 14 〇 1 I 第 7 與8A圖 指 出 該 裝 置 之 其 它 1實施例， 以致可依該 1 1 1 液 體 餵 入 材 料 之 流 動 速 率 與 物 理 性 質 改 變 該 間 距 t 1 之 尺 寸 1 1 0 在 第 7 圖 中 所 示 裝 置 包 括 一 支 設 有 導 引 栓 29之 調 整 螺 栓 1 1 30 1 用 以 調 整 一 凸綠28與 該 外 殼 體 部 份 1 0底 部 表 面 間 之 間 1 1 距 大 小 » 該 凸 緣 偽 形 成 於 該 内 殼 體 部 份 11底部 之 外 表 面 上 1 I 0 該 導 引 栓29包括 一 個 彈 簧 3 1 f 用 以 使 該 凸緣28與該外殼 1 1 體 部 份 10偏 向 一 方 参 以 便 使 得 它 們 彼 此 更 靠 近 〇 多 數 這 1 1 I 導 引 栓29與調 整螺栓30偽 環 繞 交 替 地 設 在 該 圓 周 〇 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 18 38927

A7 B7 五、發明説明（17 ) 在這裝置中，當該調整螺栓30轉動時，該内殼體部份 11即移動，以便加寬該間距ti,且用該彈策31之偏向力維 持這間距1^。雖然未在圖面中顯示，其可能提供一個獨立 之螺栓，以便在已施行一項調整後固定該間距ti之尺寸。 於該装置之此設計中，當變更該内殼體部份11底部之相向 二表面間之間距1^時，;亦將改變該滴下噴嘴3與該針頭部 ----------- …·------------------一. ..... .........................------- ~~----—一 份14¾之間距ta)譬如，為能分開地調整該二部份，可能 在該供給部份A中獨立地提供一個調整機構。 第8A圖指出用以調整該間距。之一驅動機構，以致可 迅速及精確地施行調整。特別的是，用導引栓29與彈簧31 支撑該内殼體部份11與該外殼體部份10,該彈簧31傺由該 栓所提供。在外殼體部份10之外部表面上設有螺栓螺 其條耦合至一値螺帽構件33,該螺帽構件在其周邊 表設有一較大之直徑與螺齒34。如第8B圖中所示，一 台設有減速齒輪之電子馬達36僳安裝在該装置之固定基座 35上，且在該馬達36之輸出軸上設有一個齒輪37,該齒輪 僳锅合至該螺帽構件33。 藉著操作該驅動器馬達36，該内殼體部份11將以某一 步調垂直地移動，藉以變更該等相向表面間之間距t i和該 滴下噴嘴3與針頭部份14間之間距t2。如上所述，可安排 該供給部份A做獨立地移動，並可利用其它型式之驅動機 構。 第9圖指出該蒸發裝置V第二個實施例之一垂直視圖 ，其中該已蒸發氣體出口 116偽與該餵入材料之流動路徑 ---------t------ΐτ------10 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210'〆297公釐） 19 3 8 9 2 7 A7 B7 五、發明説明（18 ) 呈同軸地放置，而與第一個實施例中所採用該已蒸發氣體 出口 16之直角配置呈對比。這配置可減少蒸氣之亂流或停 滯不流勤，並防止該餵入材料蒸氣之分壓改變所引起之沈 澱作用。視其位置而定，這配置亦對該蒸發裝置之連接提 供一便利性。稍後將顯示一範例，其中該蒸發装置傺與一 個噴射器噴嘴裝置整合在一起。 在這蒸發裝置V中，該内殼體部份111於該頂部與底 部區域中具有 11 2 a , 11 2 b之内側壁面形 個錐形部且亦設計該等外殼體部份 Μ壁面形 6係安置在 1 12a , 1 12b 順應該錐狀外形。該已蒸 V之中央底部區域内 發氣體之出口 1 1 該等外殼體部份1 1 2 a , 1 1 2 b像\^匍成一値較高與一値較低 部份，且毎個部份具有它們自身之夾套部份115a, 115b, 用以經由熱媒介通道120a, 120b, 121a, 121b流動一熱媒 介。在該餵入材料入口側103,該第一値液體蒸發通道Ri 具有一個約0 . 3之間距，但在該出口侧，僳設計該第二個 液體蒸發通道R2之間距，以致其逐漸地朝向該液體出口變 寬〇 ----------1------ΪΤ------.^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本育) 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 份 部 套 夾1 成 形 亦 1X 1i 11 份 部 體 殼 内 份 部 架 支 用 且 2 份 部 捿 殼 外 該 向 朝 伸 延 係 部 架 支 等 該 之 撑 支 之 發發 蒸蒸 MeQ ttMeu 液液 該個 ,二 道第 通與 發 R 蒸道 體通 液發 之蒸 間體 中液 於個 介 一 値第 1 該 過於 穿位 , 於 邊僳 周道 内通 間 之 2 R 道 通 份 部 架 支 等 該 給 供 以 用 道 通 介 媒 熱12 加份 有部 設套 傺夾 00該 I至 介 媒 熱 加 側 内 之 這 於 道 管□ 入 値1 由 中 例 施 實 □ 入 該 介 媒 熱 加 該 給 供 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 20 389 27 A7 其 低 降 在 且 側□ 出 之 内 6 2 1 套 夾 熱 Π 力 該 ) 向 19朝Mi 二明俗發道 、 管五 發*310 0 ο* 2 4 一射 2 2 1 1 有噴 套 道設痼 夾通出 一 該 介指合 在媒圖整 > 熱 1 其 後加第， 度該 示 溫至 所 道 管□ 出 該 由 並 出 排 於 双包1 向 ο 板 朝 1 平 體頭嘴 氣射噴 膜 鍍 0 錐内 之其 方在 上便 個以

發 — 流 與 蒸 2 置 裝 中 圖 9 第 如 程 製 之 發 蒸 已 噴 該 ο 層 身 結 物 之 部 底 其 住 蓋 値 以 用 d R 份 部 器 脹 膨 之 捿 BOB 氣 13發 頭蒸 射已 噴該 該收 是吸 d Be R β 份以 部 ， 器器 流節 節調 該力 。 壓 «茴 -ΛΠ 流 一 其成 正構 修其 份 部1 之 成 構14 亦板 但 平 , 嘴 變噴 改該 力至 壓送 之體 然氣 突之 個 合 一 混 止已 防該 能把 俾在 而 室 合 混 個 嘴 噴 各 成 形 所 上 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 146之前，混合該液體餵入材料與一反應氣體。 一用以運送反應氣體（例如氣化氣髏）之反應氣體分配 管148像放置穿過該殼體142之上方部份。該反應氣體分配 管可能平均地放置環繞著該圓周，或能與一内環狀開口一 起成形。該殼體142與該噴嘴平板144是經由一個凸緣142a ,144a彼此連接，且固定至一値鍍膜室150之上方部份，用 以蓋住它。該噴嘴平板144係與該蒸發物結集層W隔開某 一特定距離，而放置在一個基座154上。在該殼體142與該噴嘴平板144之整個内部空間皆分別 設有熱媒介通道156, 158，用以流動一熱媒介。該等熱媒介通道156, 158像經由熱媒介分配管160, 162連接至一熱媒介供給機構，該熱媒介供給機構設有一値控制器.以便 I---------^------1Τ------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） 21 38 927 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明 :20 ) 根 據 來 白 各 感 應 器 之 信 號 控 制 該 熱 媒 介 之 溫 度 及 / 或 流 動 速 率 9 該 等 感 應 器 偽 未 在 此 顯 示 0 當 必 需 時 該 殼 髏 142 與 該 等 熱 媒 介 分 配 管 160, 162可能環燒有絶熱裝置c 吾 人 將 簡 短 地 敘 述 氣 體 噴 射 器 裝 置 與 該 蒸 發 裝 置 之 操 作 〇 在 該 餵 入 材 料 容 器 170中所含之液體餓入^ 斗L係用 該 餵 入 材 料 η 浦 172蓮送穿過該餵入才 才料管路】 7C , 並 運 送 至 該 蒸 發 裝 置 V , 且蒸發之。 該已蒸發之氣體傜運送至節 流 器 部 份 Rd , 且 藉 著 在 一 逐 漸 加 寬 路 徑 中 之 流 動 ---- 調 整 其 流 量 大 小 9 並 避 免 該 製 程 中 之 急 速 壓 力 變 化 和 亂 流 、， ! J' 而 在 與 該 反 應 氣 體 混 合 後 > 該 已 混 合 之 氣 體 傜 經 由 該 噴 嘴 平 板 1 44之噴嘴1 46噴 向 該 蒸 發 物 結 集 層 W , 而欲排出之氣體俱 經 由 該 排 出 氣 體 出 □ 164排放。 在 該 氣 體 噴 射 器 裝 置 之 此 配 置 中 ， 該 已 蒸 發 之 氣 體 俱 引 導 進 入 該 節 流 器 部 份 Rd t 以 調 整 該 氣 體 流 動 型 式 且 隨 後 由 該 噴 嘴 1 4 6直接射出， 以致在此該已蒸發之氣體有- 極 小 之 機 會 退 化 或 産 生 沈 澱 > 而 堵 塞 這 通 道 〇 再 者 t 因 為 所 有 氣 體 路 徑 傜 形 成 在 一 等 溫 αο 早 元 中 > 以 致 其 沒 有 溫 度 之 改 變 » 俾 能 由 一 熱 力 學 穩 定 之 製 程 氣 體 供 給 蓮 送 至 該 鍍 膜 室 1 52 〇 因為其表面積小， 該糸統上之熱負載僳相當 地 低 0 當 下 降 至 該 節 流 器 部 份 Rd之 加 寬 横 截 面 時 9 經 由 供 應 該 反 應 氣 體 這 是 在 該 節 流 器 部 份 Rd頂 部 引 導 穿 過 9 它 可 藉 著 利 用 其 膨 脹 能 量 而 有 效 率 地 混 合 該 已 蒸 發 之 製 程 氣 體 〇 該 已 混 合 氣 體 之 蓮 送 像 發 生 在 穿 過 該 噴 嘴 平 板 144 時， 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 22 3 8 9 27 請 先 閱 讀 背 之 注 意 事 項 再 i 裝 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明（) I 該 噴 嘴 平 板 係 位 於 該 節 流 器 部 份 R d之 底 部 且 該 節 流 器 部 1 I 份 R d中 所 産 生 之 混 合 氣 體 整 流 流 動， 傜 一 致 地 分 配 横 越 至 1 1 | 這 噴 嘴 146 以致能在該鍍膜室152中 産 生 一 均 勻 之 製 程 請 1 1 氣 體 分 佈 0 先 閱 讀 背 之 1 1 I 第 1 1 Α和1 1 Β圖 顯 示 該 蒸 發 器 部份 B 之 另 一 範 例 » 其 設 1 1 1 有 —- 個 蒸 發 通 道 R 該蒸發通道ί 形成i - -對平行之平板38 注 意 事 1 1 間 0 Ιξ 是 値 扇 形 蒸 發 器 之 範 例 ,且 該 餓 人 材 料 經 由 在 該 項 再 填 1 1 裝 1 中 心 區 域 上 之 —· 値 餺 入 材 料 入 P 39進入 9 而 經 由 設 在 該 外 寫 本 頁 部 周 邊 上 之 餵 入 材 料 出 □ 40排 出 〇該 等 平 行 之 平 板38係 分 1 1 開 一 間 距 t 1 t 如 第1 1 B圖中所示， 且- -値加熱器夾套僳設 1 1 I 在 該 等 平 板 38之外部侧 面 上 0 該 上方 部 份 包 括 該 供 給 部 份 1 1 訂 1 A , 而該下方部份包括該蒸發部份B, 其 設 有 一 個 蒸 發 氣 體 通 道 R , 它們俱該圖解之縮小。 該供給部份A 和該蒸發器 1 1 部 份 Β 間 之 連 接 部 份 具 有 一 個 載 蓮氣 體 之 混 合 空 間 » 其 類 1 I 似 於 第 1 圖 中 所 示 之 實 施 例 9 且 可控 制 其 熱 傳 導 » 以 致 該 線 供 給 部 份 A 和 該 蒸 發 部 份 B 將 不 會影 響 該 液 體 餵 入 材 料 入 1 I P 之 性 能 0 1 1 第 11A圖亦指出該溝槽配置之一範例， 其具有- -漸增 1 1 數 巨 之 溝 槽 t 這 是 指 當 它 們 接 近 該餵 入 材 料 出 □ 40時 9 如 1 1 第 3 圖 中 之 範 例 所 示 0 在 第 11B圖中顯示該餵入和 \赛 f入口 1 I 40之横截 面 視 圖 9 與 且 其 在 該 蒸 發氣 體 通 道 R 上 方 具 有 一 1 I V 字 形 導 引 部 份 4 1 t 此 通 道 R 設 有一 個 狹 窄 之 間 距 t 1 ， 該 1 1 I 通 道 偽 經 由 一 個 間 距 t 2 面 對 該 滴 下噴 嘴 3 之 尖 端 〇 由 該 導 1 1 1 引 部 份 4 1至 該 蒸 發 通 道 R 所 形 成 之過 渡 區 域 具 有 一 値 平 滑 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 23 3 8 9 27

A B7 勻 均1 生 產 在 構 架 熱 加 板 平 等 該 出 指 例 範 ) 此 22。之 ί 面現 ^ « Μ Μ自所^ 0 、 之 五 該允 與計 熱設 加面 之平 速之 快式 供型 提逭 著。 薄制 是控 瑄细 , 精 效之 有率 0 进 同量 是流 時料 髖材 氣入 之餵 質體 品液 所平 其等 ο 該 本。 成形 產巧 生精 其成 低製 降置 可裝 亦個 致整 Μ 將 , 可 單 且 簡 ， 得小 變亦 置間 裝空 個裝 整安 該之 許餺 行平板38之外形毋庸限制為一扇形，且亦可應用其它形狀 ,諸如圓形或長方形之蒸發器部份。第12A與12B·指出該裝置餵人材料入口部份結構之其 它範例。第12 A_指出一系列之平行平板38,而第12B_指 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 出一 漏 斗 形 之 導 引 部 份 42 〇 該 漏斗 形 之 導 引 部 份 能 與第1 , 9或 11 麵 中 所 示 任 何 該 裝置 之 蒸發 器 部 份 — 起 使 用 0 符1 Ϋ 說 明 1 容 器 10 外 殻 體 部 份 100 支 架 部 份 103 餵 入 材 料 入 口 fil 11 内 榖 體 部 份 111 內 般 艚 部 份 112a 112b 外 殻 應 部 份 115a % 11 5b 夾 套 部 份 116 蒸 發 氣 18 出 P 12 内 部 « 120a 、 120b 121a 、 121b 熱 媒介 通 道 122 夾 套 部 份 123 加 熱 媒 介 通 道 123a 入 P 管 道 124 加 熱 媒 介 通 道 124a 出 P 管 道 126 加 熱 夾 道 13 頂 部 平 板 130 嗔 射 頭 14 針 頭 部 份 142 殻 體 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 五、發明説明64-1) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 142a 凸 緣 144 唄 嘴 平 板 144a 凸 緣 146 啧 嘴 148 反 應 氣 體 分 配管 15 夾 套 150 鍍 膜 室 152 鍍 膜 室 154 基 座 156 ' 158 熱 媒 介 通 道 16 出 0 160 ' 162 熱 媒 介 分 配管 164 排 出 氣 髓 出 α 17 m 槽 170 餵 入 材 料 容 器 172 餵 人 材 料 幫 浦 176 餵 入 材 料 管 路 18 凸 緣 19 嫘 栓 2 供 給 管 20 夾 套 21- 22 ' 23 ：Λ 24 管 子 25 密 封 構 件 26 ' 27 通 道 28 ' 29 導 引 栓 3 噴 嘴 3 a 底 部 維 形 3b 维 形 體 30 播 栓 31 彌 簧 32 嫘 栓 嫘 紋 33 嫘 帽 構 件 34 螵 齒 35 基 座 36 馬 達 37 齒 輪 38 平 板 39 餵 入 材 料 入 口 4 餵 入 材 料 入 Ρ 4 a 導 引 部 份 (環狀構件 40 餵 入 材 料 出 α 41 導 引 部 份 42 導 引 部 份 5 熱 夾 套 6 底 部 平 板 7 開 P 8 頂 部 平 板 9 媒 介 排 放 開 Ρ A 供 給 部 份 B 蒸 發 器 部 份 Br 棰 接 路 徑 部 份 L 液 體 皤 入 材 料 R 通 道 R i 第 1個液鱷蒸發 i通道 R2 第 2個液臞蒸發通道 Rd 節 流 器 部 份 S 間 距 t 1、 t 2 間 距 w 蒸 發 物 结 集 會 V 蒸 發 裝 置 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 24-1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

Claims (1)

1. 本 告 公 8 8 8 8 ABCD 之 氣 蒸 的 料 材 入 餵 體 液 一 生 産 以 用 係 置 圍裝 範發 利蒸 参a 請 一 中. 、 1 六 括 包 其 置 裝 發 蒸 向 相 對1 之 距 間 小 徹1 分 括 包 其 道 通 發 蒸 面 壁 之 道 通 發 蒸 該 在 設 像 其 P 入 之 料 材 入 餵 體 液 端 之 通 發 蒸 該 在 設 偽 其 P 出 之 料 材 入 餺 發 蒸 已 溫 此 而 度 溫1 至 面 壁 等 該 熱 加 以 用 和 ， ; 構 點構 端熱 反加 相 等已 該 一 在使 少夠 至能 中便 。 其 以 度 ， ， 溫置槽 發裝溝 蒸發動 一 蒸流 之之體 料項氣 材 1 有 入第設 餵圍上 體範面 液利壁 該專 一 過請之 超申面 度如壁 2 ^-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1T 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 道偽 有離 通積 設距 發面 置開 蒸面 裝分 該截 該之 。 中横 。中距 處其之 大其間 該 ，道增 ，小 經置通 處置徹 流裝發 口裝該 體發蒸 出發變 氣蒸各之蒸改 蓮之中 料之以 載項其 材項用 一 1 而入 1 , 或第 ，餵第構 / 圍份 發圍機 及範部蒸範整 體利增 已利調 氣專漸該專距 之請一近請間 發申括 靠申個 蒸如包在如 一 3 4 有 入供 設 餓以 置 體用 裝 液 ， 該 。該通 中 構中互 其機其道 , 整 ，通 置 調置給 裝 距裝供 發 間發體 蒸該蒸氣 之 作之蓮 項操項載 4 以 1 値 第 用第一 圍 ，圍與 範構範僳 利機利口 專 動專入 請 驅請之 申 個申料 如一如材 5 6 瞜 ΒΜΗΠ 氣 遵 钱 ΉβΓ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） 25 3 8 9 2 7 線 ABCD 經濟部中央標準局貞工消費合作社印製 六、申請專利範圍 | 7 .如 申 請 專 利 範 圍 第 1 項 之 蒸 發 装 置 f 其 中 該 蒸 發 通 道 1 I 包 括 一 對 彼 此 相 向 之 旋 轉 表 面 〇 1 1 8 .如 請 專 利 範 圍 第 7 項 之 蒸 發 裝 置 9 其 中 該 旋 轉 表 面 請 先 閎 1 1 I 包 括 一 値 錐 形 表 面 0 1 I 讀 1 I 9 .如 申 請 專 利 範 圍 第 7 項 之 蒸 發 装 置 9 其 中 該 旋 轉 表 面 背 I I 之 1 I 包 括 一 値 圓 柱 形 表 面 〇 注 意 1 I 事 1 1 0 .如 申 請 專 利 範 圍 第 7 項 之 蒸 發 裝 置 9 其 中 該 旋 轉 表 面 項 再 1 填 1 ά 包 括 一 個 錐 形 表 面 與 圓 柱 形 表 面 之 結 合 表 面 〇 寫 本 頁 I 1 1 .如 申 請 專 利 範 圍 第 1 項 之 蒸 發 裝 置 9 其 中 該 蒸 發 通 道 I I 包 括 - 對 相 向 之 平 坦 表 面 〇 1 1 I 1 2 .如 申 請 專 利 範 圍 第 1 項 之 蒸 發 裝 置 9 其 中 該 徹 小 間 距 1 1 訂 1 是 不 超 過 0 . 3毫米。 13 .如 申 請 專 利 範 圍 第 1 項 之 蒸 發 裝 置 t 其 中 該 液 體 餺 入 1 1 材 料 之 入 包 括 一 個 餵 入 材 料 導 引 部 份 9 用 以 引 導 該 1 | 液 體 餵 入 材 料 進 入 該 等 蒸 發 通 道 0 1 線 1 4 .如 申 請 專 利 範 圍 第 1 項 之 蒸 發 裝 置 * 其 進 一 步 包 括 一 1 I 個 液 體 餵 入 材 料 之 供 給 通 道 > 用 以 供 給 一 液 體 餵 入 材 1 1 料 至 該 蒸 發 通 道 9 其 下 方 端 點 傺 在 該 液 體 餵 入 材 料 之 1 1 入 P 上 方 打 開 9 並 隔 開 — 已 知 之 距 m Rtt 0 1 1 1 5 .如 申 請 專 利 範 圍 第 1 項 之 蒸 發 裝 置 9 其 中 該 等 壁 面 1 | 設 有 表 面 特 性 以 促 進 承 受 該 液 體 餓 入 材 料 之 吸 濕 度 1 1 I 〇 1 6 .如 申 請 專 利 範 圍 第 1 項 之 蒸 發 裝 置 9 其 中 該 液 體 餵 人 1 1 1 I 材 料 之 入 P 偽 設 在 該 蒸 發 通 道 之 上 方 * 且 該 已 蒸 發 餵 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 26 3 8 9 2 7 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 入材料之出口偽設在該蒸發通道之下方。 入地 餵軸 體同 液僳 該言 中而 T~T\ SB , 大 置口 裝出 發之 蒸體 之氣 項發 1 蒸 第已 圍該 範與 利口 專入 請之 。 申料位 如材定 為液 驟 一 步給 各供 括地 包 斷 ， 不 法丨 方 之 料 材 入 餵力 體張 液面 1 表 發用 蒸利 以著 用藉 種 象 現 管 細 毛 , 之構 内道機 距通之 間發面 小 蒸壁 撤該熱 之與加 成料對 形材 一 所入括 中餵包 道體道 通液通 發該發 蒸於蒸 値用該 一 作 ， 至僳間 料力之 材張面 入面表 餵表觸 體該接 料 材 入 餵 體 液 該 中 。 其内 , 距 法間 方小 之撤 項該 18人 第進 圍給 範供 利力 ¥ S 請著 申藉 如傣 裝料 發材 蒸入 之餵 料體 材液 入個 餵一 體有 液設 1 其 發 -蒸道 以通 用發 傜蒸 , 個 置 一 裝 ： 發括 蒸包 種 ， 1 置 , 餵 供 度個口 溫一入 一 ; 之 至度料 道溫材 通發入 發蒸餵 蒸一體 該之液 熱料該 加材由 以入經 用餵以 , 體 用 構液 ， 機該道 熱過通 加超給 ; 度供 口溫料 入此材 之而入 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 、vs 線 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 , 且 份 ， 部 中 緣態 絶狀 値溫 一 低 與 一 ; 於 道處 通道 發通 蒸給 該 供 至料 料材 材人 入餵 餵該 體持 液維 該以 給用 會 不 而 下 態 狀 定 穩1 於 處 料 材 入 餵 體 液 該 持 保 0 以發 足蒸 , 間 ， 置之置 裝構裝 發機發 蒸熱蒸 之加之 項該項 2 與 2 第份第 圍部圍 範緣範 利絶利 專該專 請在請 申設申 如葆如 份 部 縮 壓1 中 其 人 餵 該 置 放 中 其 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS〉Α4規格（210X297公釐〉 27 3 8 9 2 7 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 材料供給通道，以致其與該液體餺入材料之入口分開 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 繞 裝 ，存液蒸料室相該 發聯 體中 通入發點超 環 發室儲該個材理 ，響 蒸熱 氣室 發餵蒸端度 著 蒸理以給一入處游影 防絶 程膜 蒸體 已反溫 沿 之處用供中餵料上構 預之。製鍍 該液一相此 偽 料料，以其該材構機 該中處之個 ，一., 一而 份 。材材置用 ，，該機發 中道游層一 道；端之， 部起入一裝 ，道中與發蒸 其通上集於 通面一道度 綠一餵入存構通道構蒸該 ，動接結置 發壁之通溫 絶在體進儲機動通機該止 置流鄰物放 蒸向道發一 該合液導料給流動給在防 裝料之發傜 個相通蒸至 與結一引材供料流供置以 發材構蒸層：一對、發該面 構邊發而入料材料料放， 蒸入機一集括有一蒸在壁 機周蒸氣餵材人材材係向 之餵發至結包設之該設等 熱之以蒸個入餵入入構方 項該蒸氣物置其距在傜該 加口用程一餵値餵餓機動23在該蒸發裝，間設其熱 該入係製：.，一該該之流 第設於程蒸器分小傺 ，加 且料，一括料與在通發之。圍個位製該射部徹其口以 , 材置生包材；置連蒸料料範一偽導 ，噴器一 -出用 離入裝産置入料放將防材材利括其引置體發開口之 ， 距餓發便裝餵材像道預入入專包 ，以装氣蒸分入料構 定體蒸以發體入構通個餵餵諳構置用器程一括之材機 特液種 ，蒸液餌機動一該體申機裝種射製 包料入熱 1 該一置該該體發流且對液如之接一噴該 道材餵加 ^'訂---------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 28 3 8 9 2 7 A8 B8 C8 D8 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1 1 過 該 液 體 餵 入 材 料 之 一 蒸 發 溫 度 和 1 I 一 噴 射 頭 > 用 以 引 導 一 已 蒸 發 之 餵 入 材 料 至 該 蒸 1 1 1 發 物 結 集 層 ， 請 先 閲 1 1 I 其 中 該 蒸 發 器 部 份 與 該 噴 射 頭 傜 一 體 地 組 合 形 成 1 I 讀 1 I 一 個 熱 αο 早 元 0 背 ώ 1 I 之 1 26 · — 種 蒸 發 裝 置 用 以 蒸 發 一 液 體 餵 入 材 料 之 蒸 發 裝 置 9 注 意 1 I 事 1 包 括 ： 一 個 餵 入 材 料 供 給 部 份 i 用 以 在 一 預 定 速 率 下 項 再〃 1 4 1 供 給 該 液 體 餵 入 材 料 1 而 維 持 該 液 體 餵 入 材 料 之 溫 度 寫 本 頁 1 不 超 過 一 蒸 發 溫 度 ； — 個 蒸 發 器 部 份 9 用 以 蒸 發 該 液 1 1 體 餵 入 材 料 f I» 是 經 由 加 熱 該 液 體 餵 入 材 料 至 一 溫 度， 1 1 I 此 溫 度 超 過 其 蒸 發 溫 度 9 其 中 在 該 餵 入 材 料 供 給 部 份 1 1 與 該 蒸 發 器 部 份 之 間 提 供 一 値 橋 接 路 徑 部 份 9 其 設 有 訂 1 一 微 小 之 間 距 1 用 以 不 斷 地 運 送 該 液 am 體 餵 入 材 料 0 1 1 27 .如 申 請 專 利 範 圍 第 26項 之 蒸 發 裝 置 9 其 中 一 値 載 蓮 氣 1 I 體 入 □ 偽 通 至 該 橋 接 路 徑 部 份 < 以 便 能 夠 使 一 載 蓮 氣 ! 線 體 接 觸 該 液 體 餵 入 材 料 〇 1 | 28 ,如 Φ 請 專 利 範 圍 第 26項 之 蒸 發 裝 置 ， 其 中 提 供 一 個 間 1 1 距 調 整 機 構 ♦ 用 以 變 化 該 撤 小 間 距 之 分 開 距 離 Ο 1 1 29 .如 申 請 專 利 範 圍 第28項 之 蒸 發 裝 置 9 其 中 提 供 一 驅 動 1 1 機 構 t 以 便 操 作 該 間 距 調 整 機 構 0 1 | 3 0 .如 Φ 請 專 利 範 圍 第 26項 之 蒸 發 裝 置 i 其 中 該 蒸 發 器 部 1 I 份 包 括 一 個 針 頭 部 份 * 且 該 餵 入 材 料 供 給 部 份 包 括 一 1 1 I 値 小 直 徑 之 管 子 9 用 以 供 給 該 液 體 餵 入 材 料 » 該 針 頭 1 1 1 部 份 傷 在 該 橋 接 路 徑 部 份 中 放 置 毗 連 該 小 直 徑 管 子 之 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 29 3 8 9 2 7 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 一頂端。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 管 管 徑有 用液部體橋送已裝 徑 徑 路設 ，該器液個蓮一發 直 直 接處 份持發該一地導蒸 小 小 橋置 部維蒸熱.，斷引該。 該 該 該位 給而値加度不以中元 中。中 中游 供，一由溫以用其單 其式其 其下 料料.，經發用，.，熱 ， 形 ， ，近 材材度 是蒸，置室個 置嘴置 置靠 入入溫這其距裝理一 裝噴裝 装其 ：餵餓發，過間頭處成 發之發 發， 括個體蒸料超之射料形 蒸形蒸 蒸份。包一液一材度小噴材合 之柱之 。之部積置有該過入溫微艏個組 6®圓項米項引面裝設給超餵此一 一 一地 26一30毫26導面器其供不體 ，有與入體 第成第 2 第體截射，下度液度設.，進 一 圍計圍過圍液横噴置率溫該溫其料醴像 範設範超範値之體裝速之發一 ，材氣頭 利m利不利一少氣發定料蒸至份入程射 專端專徑專括減程蒸預材以料部餵製噴 請頂請内請包漸製一 一入用材徑體之該 申之申之申份逐種 在餵，入路液發與 如子如子如部 一 一 以體份餵接該蒸置 ♦ * . · --------—^------ir-----# (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 表紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4現格（210 X 297公釐） 30 3 8 9 2 7