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TW212248B - - Google Patents

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TW212248B
TW212248B TW081104610A TW81104610A TW212248B TW 212248 B TW212248 B TW 212248B TW 081104610 A TW081104610 A TW 081104610A TW 81104610 A TW81104610 A TW 81104610A TW 212248 B TW212248 B TW 212248B
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contact hole
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Samsung Electronics Co Ltd
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Description

21224ο λ β Β 6 级漪部中央榀準工消"合作社印31 五、發明説明（1) 發明茜醫 .. 本發明係有W於一種半導》記慵装置及其製法者，尤其 有闥於具有改良可靠性及完轚性之半導體記憶装置者。 最近超大型積體装置之包装密度和性能皆已有大幅〜進步 。在M0S型DRAM方面· 16Mb者已開始大量生產*並正集¥ 注意密度64MbM上之DRAM之研究。在此等密度較高之 DRAM中，由於其單元變為十分微® (約下），乃 考《使用各種立體電容器结構或具有高介質常數之介質· 諸如Ta2〇B雇。 使構成晶格之各導»暦間距離埔小之方式，乃能製成更 小之晶格尺寸。由於更高度之完整，在DRAM中，依照設計 法則設定最小特性尺寸之W霣極間距饑*乃至低限度變為 與連接位元線至吸極區，或連接儲存霣棰至源極區之接觸 孔最小待性尺寸同樣细小。為此乃使装置可靠性降低。 鬮1所示為半導體記憶器裝置佈置圓，用顬示普通製 法及本發明之製法。在画1中以虛線所盡成之曲線區域範 画，係為一遮蔽罩圃型P1·用Μ構成埸氧化物暦’使基_ 區分為一有效匾及非有效區。由霣線使整個基體畫成若干 垂直長方形之Ε域乃為遮蔽》圏型Ρ2’用( 字姐線 > 。在基拥中央W有對角交叉方所I?定 之區域係為遮蔽S國型Ρ3*闬以構成使®晶拥之吸極區域 與位元埭相連接之接明孔。由點副嫌所副成水平長方形並 包含遮蔽*國型Ρ3所界定之^域係為用以構成位元線之通ί 賊軍圖型Ρ4°在遮一端並由具有一'對角嫌之· ® -3- k紙張尺/TiT用 Vs S 5?^箏（CNS)〒4規怙（21 〇X297公设) 8i. 4. 10,000ft (|[) (請先閱請背而之注意事項#填寫木頁) 經濟部屮央柃準灼Η工消"合作社印11 Λ 6 __ \\ β_ 五、發明説明（2) · 埭正方形所界定之區域係為遮蔽SSP5*用Μ使赭存霣棰與 雷晶體之海極區相連接。 圓1所示為用Μ嫌成為最小限度尺寸之記憶單元佈置圃 •依照其設計法則構成最小特性尺寸。在圈1中*各構· 區域I，I和霣乃表示其由於其不相同功能而不應彼此相 接觸之辱艚曆部份•但當依據此佈置鼷製成時，則彼此間 確有一部份彼此相接觸。其中·S域I係表示輿鰱存霣極 和位元線相接觸之部份，匾域II係表示與键存竃極和閛電 極相接觭之部份·而匿域I係表示與位元埭和閛《極相接 觸之部份。 Η2所示為Μ普通方法所製成之半導體記憶装置依謹1 ΑΑ’線截取之截面視_。 在圔2中，園形部份Α乃表示與位元線30和W«極18相 接《部份，顬示佈置之E域B。為使單元尺寸縮小至最 低限度，閛霣極間之距離乃予設定為與位元嫌埋接之接觸 孔真度相同。但是，在依據佈實鼸所製成之圈2記憶装置 中*閛霣«與位元線彼此相接》·為部份A ，因為W«極 之一端由於製成接《之》刻處理闞係乃顯兹於接觸孔内。 不同功能導體層之接觸問8，除部份A外通常係發生於圈 1之區域I ，Π和l中。此乃使正常浬作癱痪之主要因素 •圓肜部份B乃表示由於下方结構艄（圖2中之《晶W和位 元堍）表面《於内凹。此等部份，於澱植及蝕刻専«材枓 Μ構成《存《極之«程期間·乃有產生钿搌（str丨nger)之 高度可能。此佃脈使裝置之可靠性降低，而時常發生於有 -4 - (請先間讀背而之注意事項洱填寫木頁) 本紙張尺度边用中国S家楳毕 •81. 4. 10,000張（II) 經濟部屮央桴準><-;0:工消#合作社印31 2 i 2 Λ 4 u Λ 6 _Π6_ 五、發明説明（3 ) 嚴重内凹表面之部份° 由於依上述普通方法所製成之半導體装置在具有毈竃內 凹表面或與導體層相接觸之部份有產生细脈之問思發生* 半述»装置乃不*合於作為密度64Mb或更高之記憶裝置之 用0 •雄明述— 因此，本發明之目的乃為提供一種其密度與可靠性皆已 提升之半導體記憧裝置。 本發明之另一目的，為提供此一半導髓装置之一種製造 方法。 為達成本S明第一項目的，乃提供一棰半導體記憶装置 ，包括含有源極匾，吸極匾和閜霉極之一霣晶》·經由第 一接觸孔與《晶體之吸極區相接觸之位元線，及經由第二 接梅孔與霣晶髓源極區相接觸之儲存電極，此半導體記憧 装置更進一步包括有構成於位元線下方之第一平面化絕緣 層及構成於館存《極下方之第二平面化絕緣層。 為達成本發明之第二項目的|乃提供一種半導《3記憶裝 置之製法其所包括之步明為：在半導膀上構成第一平面化 絕緣臛•在基體上構成具有源極區，吸極區和閜電極之霣 晶體；經由使構成於吸as上之第一絕緣層部份消除之方 式而構成第一接觸孔；構成位元線 > 經由第一接觸孔與吸 極®相連接：於结果所產生之整個结構上構成第二絕緣β :經由使構成於源極®上之第一和第二絕緣《部份消除而 構成第二接觸孔；以及構成齡存眾極而經由第二接«孔與 -5 - (請先閲請背而之注意事項昇堪寫本頁) 裝- 訂 線· 本紙張尺度边用中《明家焓箏(CNS)Τ4規tft(210x297公*) 31. 4. 10,000張（ί!) Λ 6 U6 212243 五、發明説明（4 ) 源極匾相雄接。 (請先閲讀背而之注音？事項#填筠本頁) 為達成本發明第二項目的·乃提供半等體記憶装置之另 一種製法•所包括步《為：於構成具有源極區，吸極匾和 閛電檯之霣晶體之半導體基體上構成第一平面化猪緣層； 經由使構成於吸極和源極兩區之第一絕緣層部份消除方式 而構成第一接觸孔和第一届第二接觸孔；構成纆由第一接 觸孔與吸極區相連接之位元嫌，及經由第一個第二接觸孔 與源極區相接觭之埋設導電層；於结果所產生之整體结構 上構成第二平面化絕緣層；烴由使構成於埋設導轚«上之 第二鳐緣《部份濟除之方式而構成第二個第二接觸孔；及 構成經由埋我導霣醑而與源極區相連接之儲存霣極》 附亂醣賂說明 玆參照附_詳佃說明本發明較佳實施例，本發明之上述 目的及優點為益趨彰顯賨，其中： 圃1所示為半導體記憶装置佈置圈，用Μ說明普通製法 及本發明製法； 圃2所示為依普通方法所製成之半等體記憶装置之截面 視圈； «3Α至3Ε之截面視_，用Μ說明根據本發明之半導«記 Μ濟部屮央榀-f-^n工消«·合作杜印3i 例 拖 V 1 第 之 法 製 置 装 憶 圖4所示截面明•用Μ說明根據本發明之半導《記憶裝 置製法之第二《施例； Β8 5Α和5Β所示截面圓•用Μ說明根據本發明之半専體記 惕装置製法之第三*豳例： 81. 4. 10,000» (II) 本紙張尺度遴用中KS家標毕（CHS)>f 4規格（210x297公；it) Λ 6 It 6 21224ο 五、發明説明（5 ) (請先閲請背而之注意事項洱填筠本頁) _6所示佈置_ •用以說明根據本發.明之半等記憶装 置製法之另一實拖例； 酾7A · 7B和7C所示截面黼•用Μ說明根據本發明之半導 »記憶装置製法之第四《施例； 、 圓8Α，8Β和8C所示截面_，用W說明\根據本發明之半等 體記憧装置製法之第五《豳例： 級明夕註m IS昍 在附圏3A-3E中，圈3A所示步嫌為構成第一接觸孔5 ， 用Μ使位元嫌連接至《晶體之吸極區16和第一接《孔内部 側壁上之第一隔片40上。在區分為有效和無效區域之半等 體基體10之有效區域內構成具有公共吸極16和各別源極 14及«極18之各《晶《8。為使此等®晶體與（稍後步«中 所構成之）其他等髑層相絕緣，乃經由Μ諸如厚度約500Α 至2000 Α之高溫氣化物（ΗΤ0)之絕緣衬料覆蓋於構碎霣晶 «8之整届基體上之方式構成《介筲。》後乃以明璘硅酸Μ 玻璃（BPSG)，四乙基正矽酸麴（TEDS)氧化物曆，Si3fU， M濟部屮央從^XJH工消1Ϊ·合作社印1i 抽絳玻璃（spin-on-glass)(SOG) ·化學蒸汽澱積氧化物 醱中其一或其姐合用以構成均勻層之絕緣材料覆Μ達厚度 約3,0 00 Α至5,〇〇〇Α，其溫度在約400 υ >乂下。其後，此 絕緣材料於約8〇〇至900*0再度流通而構成表面均勻一致之 絕緣》22。利用·Π之雄蔽革ρ3 •使介霣》20和第一絕緣 磨22部份»刻而產生第—接觸孔5 •使位元線與吸極區相 埋接•在本發明中*構成第—絕緣解之上述諸多材料之中 ，特別使用BPSG。其中·第一接觸孔使Μ極18之一端側两 81. 10,000¾ (II) U張尺度ϋ用中娜（210X2H) 212245 Λ 6 Β6 經濟部肀央標準杓^工消伢合作社印奴 五、發明説明（6 ) 出，因其加工《程係根據佈置圈以產生.最低限度尺寸單者 而予實施。 由第一絕緣層22之猪緣材料中有不同之舍场異性«刻速 度之絕緣材料，係乃CVD氧化物曆，SUIU氯化物»，末 予摻雜之聚硅，單晶硅·和霣漿強化之乙基正矽酸騸 (PE-TEOS)氧化物層等之一或其姐合，覆Μ於構成第一接 觸孔5整届基《上，厚度約500 Α至2,0 00 A (以虚»標示 )。各向異性蝕刻係於结果所產生之结構上實施，而產生 第一隔片40於第一接觸孔5之内健I壁上。在本發明中*構 成第一隔片之各種材料中，特S!!使用CVD氧化物層。其中 •由於第一暉片之產生係用以遮蓋第一接觸孔之内侧壁. 曝R於第一接«孔'内側壁之Μ極一斓髑乃受阻隔興稍後步 «中所產生之位元嫌無法接觸。為此乃可有效防止由於各 導《暦間受到傅统方法促使之接觸•而使裝置襄作癱癀。 醐3Β所示之步骤為用Μ產生位元線30，第二接觸孔7及 第二隈Η 42。在圏3Β中，用Κ產生位元堍之導霣材料•例 如，摻雜之聚硅，其等霣係数與海極區相同•係澱積於整 倨基《上·其上構成有第一W片40.厚度達於約500 A， 直至第一接觸孔有東西插入為止。硅化物，例如•硅化鎢 (WSi>薄薄遮Μ聚硅曆。利用雎蔽革？4 (晒1),於结果所 產生之结構«上實施各向異性蝕刻而產生位元嫌。其中， 摻雜聚硅和拍硅化物堆#於度均勻之第一絕緣層22上. 因此*防止下方结構之内凹而產生钿脈。 (請先閲誚背而之注意事項朴蜞寫本頁) 本紙张尺度遑用中WW家楳準(CHS)T4規格（210x297公*) 81. 4. 10,000張⑻ B6 經濟部屮央標準·XJA工消1\··合作社印製 五、發明说明（7 ) 在諸如鼷2有嚴重内凹之部份B之易·於產生妞脈。但是 细振卻使原應彼此相霣絕緣之導霣層相橋接*因此使装置 之可靠性降低° 在圈3B中*本發明乃可防止细脈之發生*因為，在位元 線30之下方結構（即構成於位元埭和材料層之前之结構）平 面化之後*乃濉稹導霣曆而構成位元線。參照麵3A說明中 所述用K構成第一絕緣層22之材料之一或其姐合被遮蓋於 構成位元嫌30之整儸结果所產生结構上，其厚度約3,000 A至5,〇〇〇 A，直至表面均勻一致為止，而使之產生第二 絕緣層24。本發明特別使用BPSG。利用圔1之遮蔽罩P5, 使材料谁•於罨晶法之源極區14，亦即霉介質曆20，第一 絕緣曆22，及第二組緣《24皆予部份牲刻而產生第二接觸 孔7 。其中，一如上述*須予注意的乃是，每一閛極之一 纗側顬》於第二接觸孔7之内倒壁。 參照_ 3A說明所述用Μ構成第一隔片之材料之一或其姐 合覆蓋於已產生有第二接觸孔之鏊倨结果所產生之结構上 ，厚度約500Α至2,000Α (以虚線表示），且以各向異性方 式蝕刻，因此產生第二隔片42。本發明中係使用CVD氧化 物蘑作為第二限片42。第二隔片之產生，覆蓋第二接觸孔 之内供壁。其中，由於第二隔片42，每一閛極之外两一端 俩皆能與另一等*»·例如，稍後產生之儲存《棰相絕緣 Ο _ 3C所示為用以產生逆向國型28以檐成儲存®極之步髁 。用以豪生雠存《«之導«材枓，例如，摻雜聚硅.而導 -9- (請先閲讀背而之注意事項#填寫木頁) 本紙尺度遑用中《國家楳卒(CNS)T4規«U210X297公没） 81. 4. 10,00〇張（N) 212243 Λ 6 Β6 經濟部屮央榀準/(ΰβ工消伢合作杜印¾. 五、發明説明（8 ) 霣係败與源極S14相同，澱積和蝕刻於產生第二隔片42之 结果產生结構體上。此步驟予Μ重複實施，直至第二接觸 孔變為完整為止（此為第二接觸孔之插塞步驟）*使之產生 縱列轚極100 a而使儲存電極與源極區14相連接。用以構成 牲刻阻播蘑26之材料•例如，氰化物，覆蓋於结果所產生 之整届结構體上，厚度約1,000 A。其後•有用K產生其 蝕刻速率與由與濕牲刻相對之牲刻阻播層所姐成之材料速 率不相同之逆向圈型之材料，覆蓋於结果所產生之整饀结 構體上厚度約6,000 A，逆向(型28係利用遮蔽里_型（ 圓1中未顯示），經由部份牲刻阻播曆26和用Μ產生逆向鬭 型之絕緣材料之方式而完成。 圓3D所示為用Κ產生髄存霣極1〇〇之步驟。構篇存霣 極之材料，例如，摻有其導電係數與源極區14相同之雑質 之聚硅，係覆蓋於產生逆向圈型28之结果所產生整届结構 體上，達於某一預定厚度。首先致抗牲刻均匀覆蓋至等霣 材料皆被捲蔽並反向触刻程度，直至所澱積導電®已部份 外》為止。依此方式實施，光致抗蝕圆型72乃經由使經由 反向鼷型28方式所產生壁體予Κ充滿之方式而產生。利用 光致抗》圔型72作為触刻遮蔽革，此部份外®之導霣材科 及被蝕刻而完成齡存霣® 1〇〇 。 H3E所示為產生霣介質曆11〇和隈棰12〇之步驟。首先. 光致抗蝕及反向蘭型（國3D中之72. 28)皆經由漉蝕刻過程 予Μ消除。霣介霣材料•例如•氧化物/氮化物/氧化物 (0Ν0)或Taa〇eS箬於结果產生之整倨结構厢上而產生笛介 -1 〇 - (請先閱讀背而之注意事項#蜞寫木頁) 裝· 訂 線· 本紙5fc尺度遑用中Β»家標1MCNS)T4規格（210x297公:《：) 81. 4. 10,000¾ (II) Λ 6 \\6 21224ο 五、發明説明（9 ) (請先閲請背而之注意事項朴填寫本頁) 質曆110。隈極120係經由濺稹，諸如接.雑之聚硅，材料之 方式完成於结果所產生轚髓结構上° 在本發明之第一項實例中·由於表面内凹之細脈係經由 使構成於導霣層，例如*位元嫌和儲存《極之下方表面平 面化之方式防止之。而且•各等電曆間之接觸在接«孔内 髑壁上產生隔片之方式而防止之。凡此皆使記植裝置可靠 性提升而有利於更高度之轚體性。 在後韻說明中提及附圈時，與國3A至3E中相同編號乃表 示相同组件。 鼸4所示截面視國係用.以說明根據本發明之半導體記憶 装置製法之第二實梅例。在園3(：中所示之姓刻阻播»26上 產生間隔暦（圔4中未顯示，因在稍後步驟消除此間隔醑） 後乃產生第二接觸孔，’因此，即使儲存《極100底部亦可 用Μ作為增加軍元容量之有玫霣容器區。蝕刻阻播層26係 間插於第二接觸孔之内簡塱與第二隔片42之間•因此，此 第二隔Η觸後乃不致被瀰式牲刻步》所m壞。 β由第二項寅豳例所製成之S憶裝置，其單元《容器， 較經由本發明另一項實豳例所製成之記憶裝置者為大。 經濟部屮央找準杓εχ工消1V·合作杜印31 麵5Α和5Β所示截面視鼷，用Μ說明根據本發明之半導聘 装置製法之第三*豳例•其產生第一和第二接觸孔之方法 不相同。 利用與麵3Α相同之方法•使烴由與構成與各向異性蝕刻 相對之第一涵蝝暦之材料蝕刻速率不相同之蝕刻速率方式 而能形成麵型之材枓•澱稹於構成第一絪蝝描22及其下方 -11- 81. 4.丨〇,〇〇〇張（丨丨) 本紙5IL尺度边用中《明家標毕（CNS)IM規怙（210x297公度） 21224ο Λ6 五、發明説明（10) 结構（亦即《晶體）之结果所產生整届结.構體上•其»度約 1,000 Α至3,0 00 Α。所澱潰材科係利用遮蔽罩Ρ3 (圔1)依 各向異性方式蝕刻*而產生用Μ產生第一接觸孔之型 50»使用其«刻速率與構成與各向異性蝕刻相對之第一絕 緣層之材料之牲刻速率不相同之衬料，例如，聚硅*畨使 用聚硅作為產生圈型50之材料，或於使用光致抗蝕刻作為 構成圈型50之材枓時，乃覆蓋於產生画型50之结果所產生 整體结構體上，其厚度約為500Α至2.000Α。其後，乃實 豳各向異性牲刻而產生第三隔片52。第一接觸孔係利用圈 型50及第三隔片52作為牲刻遮蔽罩，烴由各向異性蝕刻往 下至基鸦表面之方式而產生。 經济部屮央標準而A工消"合作杜印製 在第一寅麻例中•為使替通方法中専電層間所遭遇之麻 煩的接觸問Β獲得解決，其第一接觸孔乃係用塊蔽SP3直 接於第二絕緣層22和霣介質暦20上產生，而Μ絕緣材科製 成之第一隔片係另外產生於接W孔内側壁上。但是，為· 5Α中所示•第三項Wife例可經由利用想蔽罩Ρ3之方式產生 _型50而產生接觸孔於第一絕緣靥22上，於麵型内ft鑒上 產生第三隔片，以及利用_型50及第三隔片作為蝕刻逋蔽 苺，而產生較第一絕緣層22和霣介層20上之最小特性尺寸 尤小之第一接觸孔。 嫌後，圈5B中，位元诶30和第二絕嫌商24皆係依據與第 —*施例相同方法產生之。其後，循與圖5A所示相闞相同 方法•使堆疊於原«Ε之各種材抖，亦即第二絕緣層24. 第一絕緣層22和竃介霣層•皆予部份消除而產生較最小特 -12- 81. 4. 10,000張（II) (請先閱誚背而之注意亊項洱填寫本頁) 本紙張尺度边用中《Β家楳準（CNSiTM規«(210x297公；《：) Μ潦部屮央榀準沿Α工消1V·合作社印製 212243 Λ 6 ____η 6 _；_ 五、發明説明（11) 性尺寸尤小之第二接《孔。而且一如第—項實豳例中，構 成有餘存霣極100 ，《介質層110·和陽極120而完成半導 體，其中各具有一霣晶體和一霣容器之記植單元乃一再重 複產生於基體上》 ' 圈6所示之佈置圏，用Μ顯示本發明之半等體記憶裝置 製法之另一項霣豳例，與匾1佈置圓之美異乃為•其用Μ 構成第一和第二接觭孔遮蔽單園型Ρ3及用Κ構成位元嫌和 埋設導霉層之遮蔽g圓型皆構成於一遮蔽罩板上。其中應 序注意者乃是，如位元《和埋設導電層皆產生於一遮蔽罩 板上時*則_1之部份I並不存在於國6中*因其遮蔽單 圈型皆係依》其設計法則而產生。 圖7Α· 7B和7C所示各截面視圈•侏用Μ顯示根據本發明 之半導《記憶装置製法之第四項實ife例。與第一，第二和 第三等項實腌例不相同者，乃是此第四項寅拖例係同時產 生出第一和第二接»孔者。 首先，圖7A顯示產生第一和第二接觸孔5和7，及第一和 第二隔Η 40和42之步《。利用與圈3A相同方法，其第一絕 緣 22和《介霣》20皆侏利用遮蔽罩_型Ρ3予以部份蝕刻 •而於產生第一絕》暦22之结果整體结構體上產生出第一 及第一届第二接觸孔5和7。依與圖3/\所示相闢之相同方式 ，其第一和第二隔片40和42係構成於第一和第二接觸孔之 内惻壁上。 17Β»示位元»30和埋設導《»32之產生步味。一種導 «材料，例如摻有其導霣係數與源極14和吸極16者相同之 -13- (請先W1?背而之注意事項#填窍本頁) 裝· 訂 線- 本紙張尺度边用中明國家榀準（CNS)T4規格（210x297公;«：) 81. 4. 10,000¾ (II) 21224ο Λ 6 Π 6 级濟部屮央诈準灼员工消赀合作社印製 五、發明説明（12) 雜霣之聚硅，澱積於其上構成有第一和第二隔片40和42之 结果结構«上·直至使第一接醣孔和第一種類型之第二接 觸孔皆充滿為止》此導電材料之澱積係Μ第一絕缘臁22為 基準而具有某一預定厚度。利用圏6之遮释罩Ρ4實崮光牲 刻而產生位元嫌30和埋設等霣層32。其中，埋設等® 32之功用偽作為使霣儲存霣極輿源極14相連接之中間 層。 在第一，第二和第三«施例中，由於其第二接觸孔之構 成係貢穿第二絕緣層24，第一絕緣層22和電介質20，而且 此接觸洞由於三層之厚度而加深*在洞中乃產生空隙而可 能使装置可珥性降低。但是，在第四實施例中，由於齡存 霣極和源極係經由埋設専轚層32相連接•其產生空陳之可 能性乃大為減小，而接觸孔之構成可靠。 圖7C顬示齡存霣極100·霣介霣層110和限極120等之構 成步驟。第二絕緣曆24係構成於有位元嫌30和埋設導β β 32構成其中之结果结構體上。其後*乃產生第二«第二接 觸孔，用Μ使埋设導霣覼32與讎存霣棰相連接。一如在第 一，第二和第三項《施例相同*構成有儲存霣極100 ，《 介W 110和限極120。 在第四實腌例中•可經由使儲存霣極100與源棰區14相 迪接之方式以防止可能產生於接觸孔中空隙•同時使埋設 専霣《工作為中間謄。 _ 8Α，8Β和8C所示之《面視圓，用Κ顯示根據本發明之 半導《紀«装置製法之第五項《施例。其中•第一和第二 -14- (請先間讀背而之注意事項4蜞寫木頁) 裝· 訂 線· 本紙張尺度遑用中BB家標準(CNS)〒4規怙（210x297公;《：) 81. 4. 10,000i(t (II) 2谈4 〇 Λ 6 Β 6 五、發明説明（13) 接觸孔係利用國6之遮蔽革圈型及第三·實施例之方法構成 之0 在_ 8A中•係利用與 3A中相同方法Μ構成第一絕緣靥 22，並利用_6之遮蔽罩型及依循輿 5Α者相同方法， 產生用以構成接》孔和側壁隔片5.6之型54。利用_型― 54及儷蜃隔片56作為蝕刻遮蔽罩，於结果结構》上實豳各 向異性触刻而產生第一接觸孔5和第一儸第二接觸孔7 。 其後於福8Β中，利用與園7Β中相同方法，以構成位元線 30和埋設導霣曆32。在BI8C中，利用與JB7C中相同方法以 產生儲存霣極100，電介質層110和陽棰120 Μ使記憶裝置 完成，其中各記憶單元一再重複產生。其中，每一記憶單 元具有一®晶體和一霣容器。 如上文中詳细說明者，根據本發明半導體記憶装置之製 法，搆成於等鼋層下方之材料層，例如，位元嫌和儲存電 極皆予平面化Κ防止由於其表面内凹而產生之细脈。而且 有隔片直接構成於接觸孔或用Μ構成接觸孔之鼷型赖壁上 之後，乃產生接觸孔而防止各導《餍間之接觴。结果，本 發明乃使記懂裝置之可»性提升•而且有利於高裝置密度 之β現。 Μ濟部屮央榀準劝Π工消伢合作杜印¾ 本發明雖係參照其較佳實施例予Μ特別顧示和說明.但 凡精孀於本案技術人士當必瞭解，其中可作形狀和佃部之 各種费化，而不致适離後附銪求專利範圃之旨》和範園。 -15- 81. 4. 1〇,〇〇〇張（||) (請先ΚΙ讀背而之注意事項#填寫本頁) 本紙尺度边用中國國家焓华（CNS)T4規格（210X297公;it)

Claims (1)

  1. AT SiS^43 C7 ---------_D7 六、申請專利範園 ί·— -i»e E憧裝置.包括含有源極14,吸s 16和閘極 18之一電矗髓•經由一接_孔5而與該《晶Η之吸板區 相接觸之位元繚30,及經由第二接觸孔7而輿該《基體 滙極區14相接觸之雔存霣極100 ·該半辱體記憶装置進 一步包括有構成於該位元«下方之絕緣層22及構成於該 «存《極下方之第二平面化絕緣層24。 2. 根據申謫專利範麵第1項之半導體記憶装置*其中，該 W極係構成於該位元嫌下方，而位元埭係檐成於餘存霣 榣下方。 3. 根據申謫専利範園第1項之半導體記憶装置•其中•第 一牲刻阻播層26，限極120和電介質靨110係間插於該儲 存《極與第二絕緣餍24之間。 4. 根據申講専利範圍第1或3項之半導體記憶装置，其中 ，隔片40和42侏構成於該第一和第二接觸孔之内側壁上 〇 b. 根據申請専利範園第4項之半導賭記憶裝置，其中•第 二牲刻阻播曆係間插於該第二接《孔7内側壁與隔片 42之間。 紀浒部中央櫺苹而Η工消费八作社印製 (請先Κ1讀背面之注意事項再填寫本頁) 6 . 根據申請専利範麵第1項之半導賴記憶裝置，其中•該 第一和第二絕緣履22和24fifc M BPSG · TE0S氣化層，氮化 硅，S0G和CVD氣化物醑中之一或其組合所構成。 7. 根據申謫専利範醒第6項之半導艄記愤裝置•其中*該 等隔Η係MCVD氣化物磨·氮化物絕緣材枓*未摻雑聚 硅•單晶硅和PE-TE0S氮化物朥中之~ 3¾其姐合所構成 -16- 本紙張尺度逋用中《國家搮準（CNS)«f 4規格（210x297公釐） A7 B7 C7 D7 21224ο 六、申請專利範面 8. 根據申講専利範第1項之半等體記憶装置•其中•該 第一和第二接觸孔皆插塞有其等霣係數與該吸極和瀛極 者相同之導霣材料。 9. 根據申請専利範國第2項之半導體記憶装置•其中•埋 設導轚靨係構成於該第二接\觸孔中央•用以使該雔存電 極與源極區相連接。 10. 根據申請專利範園第9項之半導體記憶裝置.其中，該 埋設導霣層之構成係用Μ充填該第二接觸孔之下方部份 ，而該位元嫌之構成係用以充填該第一接觸孔.因此使 該埋設接觸孔和位元埭構成為單一層。 Π. —種半導體記憶装置之製法，所包括步《為： 於其上構成具有源極14，吸極16和闸極18之霣晶體之半 導Η基«上構成第一平面化絕緣層22;經由使構成於該 吸極區内之第一絕缘《部份消除之方式，構成第一接觸 孔； 構成位元嫌30而經由該第一接觴孔與該吸極|g相連接； 於结果之整届结構拥上構成第二平面化絕緣層24; 烴由使構成於該源«區上之第一和第二絕緣醑予以部份 消除方式，構成第二接觸孔7 ;及 構成雔存®極100 ，而經由該第二接觸孔與該源極區相 «接。 12.根據申請専利範國第11項之半辱厢記憶装置之一種製法 *其中•構成絕緣《之步驟係於基擗上構成®晶體之後 -17- 本紙》尺度適用中國國家標準（CNS)甲4規格（210x297公釐） (請先W讀背面之注意事項再滇寫本頁) •装. 經浒部屮央櫺準而W工消贽合作社印¾. A7 B7 C7
    六、申請專利範園 212243 經濟部屮央榡準而Η工消費合作社印奴 ’所格外實胞。 13*根據申謫專利梅圃第12項之半導體記惬装置之一種製法 ’其中*諸如HTO之絕緣材料係用Μ作為該絕緣層之材 枓。 14*根據申講専利篛圃第11項之半等體記憶装置之一種製法 ’其中，產生第一隔片之步係於產生第一接《孔步驟之 後，於第一接觸孔内側壁上格外實施，而產生第二隔片 之步»係於產生第二接觸孔步驟後，於第二接觸孔内俩 壁上格外實施。 15·根據申謫事利梅圃第14項之半等體記憶装置之一種製法 *其中，於該接觸孔内倒壁上產生第一隔片之步驟，區 分如使其一牲\刻速率與第一各向異性蝕刻相Μ之第一絕 蝝蘑者不同之絕緣材料覆蓋於结果整僩结構體上之步驟 ，及於结果整體结構體上霣施該第一各向異性蝕刻之步 «•又於該第二接觸孔内側壁上產生第二隔片之步»， 區分為使其胜刻速度與第二各向異性蝕刻相Μ之第二絕 緣β者不同之絕緣材料覆蓋於结果整體结構體上之步驟 ，及於該结果整體结構上《施該第二和向異性蝕刻之步 嫌。 16. 根據申謫専利範園第15項之半導埔記憶裝置之一棰製法 ，其中•該第一和第二絕垅麻係M BPSG * TEOS氧化物層 •氮化硅· SOG和CVD氧化物《之一或其姐合所構成。 17. 根據申講專利範園第16項之半等體記憶装置之一種製法 ，其中•該第一和第二隔片係以C V D氧化物層，氮化物 ™ 1 8 ~ 本紙ft尺度適用中Β國家梂毕（CNS>甲4規格（210x297公釐） ....................................).................^..............................t...........一.................4?' (請先閱讀背面之注意事項再滇寫本頁) 34 2 22 7 7 7 7 A B c D 六、申請專利範面 絕嫌材料，未摻雑聚硅，單晶硅和PE-TEOS氮化物層之 —或其姐合所構成之。 18.根據申講専利範園第11項之半導髓記憶装置之一種製法 •其中，產生該第一接觸孔之步驟係區分為•於其±構 成有該第一皤緣層之结果整㈣结構«上，構成有基上構 成有用Μ產生第一接觸孔之第一圈型之材料層之步》， 於該第一圈型內壁上產生第三隔片之步驟，及利用該 第一_型和第三隔片作為《刻遮蔽罩及使該基體表面視 為其蝕刻終點•而於结果结構體上實胞各向異性蝕刻之 步驟*而_成該第二接觸孔之步«係區分為*於基上構 成有該第二皤緣曆之结果鏊體结構體上·產生其上構成 有產生第二接觸孔之第二釀型之材料暦之步驟，於該第 二匾型内《壁上產生第四隔片之步《，K及利用該第二 騮型和第四隔片作為«刻遮蔽罩而使該基體之表面視為 其»刻埭黏•於结果结構Μ上寅施各向異性蝕刻之程序 ot 19. 一種半辱《記憶裝置之製法•所包括步《為： 於其上所構成《晶《具有源極，吸極和閘極之半導賵基 體上產生第一平面化婼緣《22; 經由使構成於該吸«和陽極區之第一絕緣《予K部份消 除方式而產生第一接觸孔5及第一倨第二接觸孔7: 構成位元線30·纆由該第一接Μ孔與該吸極S相接觸’ 而其埋設導®層係經由該第一届第二接《孔與該源極區 相接觸； -19- 本紙》尺度適用中BB家樣準（CNS)甲4規格（210x297公釐） ....................................)................於……·,.......................ίτ...........一................α * · - . (請先閱锖背面之注意事項再滇寫本頁) A7 R7 C7 D7 六、申請專利範園 於整體结果结構體上構成第二平面化絕緣層； 纆由使構成於該埋設導霣層上之第二絕緣層予以部份消 除方式而產生第二届接觸孔；及 構成儲存霣極，烴由該埋設等轚層與該源極區相連接。 (請先聞請背面之注意事項再滇寫本頁 .装· 把^部屮央^苹^:^工消背合作社印^ .綠_ -20- 本紙張尺度適用中國國家榫毕（CNS)甲4規格（210x297公釐）
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