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TW202433646A - 用於將材料自動輸送至施配機之裝置、系統及方法 - Google Patents

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TW202433646A
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TW112139396A
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卡勒 科羅威爾
亞倫 露易斯
大衛 帕傑
王加列
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美商能多順股份有限公司
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Abstract

在一些態樣中，一種裝置包含：側壁、一頂壁、一底板、一內部空間及一後壁；一機器可讀碼裝置；至少一個電力連接器，其經組態以將電力提供至該材料輸送裝置之組件；至少一個感測器，其經組態以感測與該材料輸送裝置及/或服務元件相關聯之一物理特性以部分地產生裝置相關資訊；一收發器，其經組態以該將裝置相關資訊傳輸至一控制器；及一固持機構，其配置於該內部空間內且經組態以接收及/或牢固地固持該服務元件。

Description

用於將材料自動輸送至施配機之裝置、系統及方法
本發明係關於一種用於將材料自動輸送至一施配機之裝置。另外，本發明係關於一種用於將材料自動輸送至一施配機之系統。此外，本發明係關於一種用於將材料自動輸送至一施配機之方法。
特別是裝置製造(諸如半導體製造、電子裝置製造及/或類似製造)通常在一潔淨室內部進行。在此方面，利用一潔淨室可能係一製造程序之最重要部分。更具體地，製造可在氣密式密封環境中實行以改良良率，其中自動材料處置系統負責在機器間運輸晶圓。
在此方面，前開式晶圓傳送盒(FOUP)通常用來使用一自動材料處置系統(AMHS)在一工廠內之各種處理工具之間運輸矽晶圓。然而，針對特定製造機器(諸如施配機)需要額外供應品。在此方面，人員必須進入潔淨室以為此等特定製造機器提供額外供應品。此導致潔淨室之潛在污染且可能影響所得裝置之品質。
據此，需要一種用於將材料自動輸送至一機器的將減少潔淨室之污染且限制對所得電子裝置之品質之影響之裝置、系統及方法。此外，需要一種用於將材料自動輸送至一機器的提供用於與該機器相關聯之各種系統之操作、分析及/或類似者之資料、資訊及/或類似者之裝置、系統及方法。
本發明在很大程度上滿足前述需求，其中在一個態樣中，一種用於將材料自動輸送至一機器的將減少潔淨室之污染且限制對所得電子裝置之品質之影響之裝置、系統及方法。
在一個一般態樣中，一種材料輸送裝置包含側壁、一頂壁、一底板、一內部空間及一後壁。該材料輸送裝置另外包含一機器可讀碼裝置。該材料輸送裝置此外包含至少一個電力連接器，該至少一個電力連接器經組態以將電力提供至該材料輸送裝置之組件。該材料輸送裝置亦包含至少一個感測器，該至少一個感測器經組態以感測與該材料輸送裝置及/或服務元件相關聯之一物理特性以部分地產生裝置相關資訊。該材料輸送裝置進一步包含一收發器，該收發器經組態以該將裝置相關資訊傳輸至一控制器。該材料輸送裝置另外包含一固持機構，該固持機構配置於該內部空間內且經組態以接收及/或牢固地固持該服務元件。
在一個一般態樣中，一種材料輸送程序包含實施一材料輸送裝置。該材料輸送程序另外包含將該材料輸送裝置組態成具有側壁、一頂壁、一底板、一內部空間及一後壁。該材料輸送程序此外包含將該材料輸送裝置組態成具有一機器可讀碼裝置。該材料輸送程序亦包含將該材料輸送裝置組態成具有至少一個電力連接器，該至少一個電力連接器經組態以將電力提供至該材料輸送裝置之組件。該材料輸送程序進一步包含將該材料輸送裝置組態成具有至少一個感測器以感測與該材料輸送裝置及/或服務元件相關聯之一物理特性以部分地產生裝置相關資訊。該材料輸送程序另外包含將該材料輸送裝置組態成具有一收發器以將該裝置相關資訊傳輸至一控制器。該材料輸送程序此外包含將該材料輸送裝置組態成具有配置於該內部空間內以接收及/或牢固地固持該服務元件之一固持機構。
為了更好地理解本發明之詳細說明及為了更好地明白本發明對此項技術之貢獻，已相當廣泛地概述本發明之特定態樣。當然，存在下文將描述且將形成隨附發明申請專利範圍之標的物之本發明之額外態樣。
在此方面，在詳細地解釋本發明之至少一個態樣之前，應理解，本發明之應用不限於以下描述中所闡述或圖式中所繪示之構造細節及組件配置。本發明能夠有除所描述態樣之外的態樣且以各種方式實踐及實行。再者，應理解，本文中所採用之片語及術語以及摘要係用於描述之目的且不應被視為係限制性的。
因而，熟習此項技術者將明白，本發明所基於之概念可容易地用作用於實行本發明之若干目的之其他結構、方法及系統之設計之一基礎。因此，重要的是，發明申請專利範圍被視為包含此等等效構造，只要其等不脫離本發明之精神及範疇即可。
相關申請案之交叉參考
本申請案主張2022年10月17日申請之美國臨時申請案第63/416,654號之權益，該案之全文特此出於所有目的而仿佛本文中完全闡述般併入。
現在將參考附圖描述本發明，在附圖中類似元件符號自始至終指代類似部件。本發明之態樣有利地提供一種用於將材料自動輸送至一施配機的將減少潔淨室之污染且限制對所得電子裝置之品質之影響之裝置、系統及方法。
在半導體製造中，使用前開式晶圓傳送盒(FOUP)以使用一自動材料處置系統(AMHS)在一工廠內之各種處理工具之間運輸矽晶圓。本發明闡述一種實施一FOUP之裝置、系統及方法，該FOUP已經組態以使用既有AMHS基礎結構將製造供應品攜送至一工廠內之不同位置及自該等不同位置攜送製造供應品。在態樣中，製造供應品可包含一或多個材料施配供應品。在態樣中，製造供應品可包含一或多個服務組件、維護組件、消耗品組件、服務品項、維護品項、消耗品品項、服務元件、維護元件、消耗品元件及/或類似者，為了發明簡潔起見後文中被稱為服務元件。在態樣中，材料施配供應品或服務元件可包含一或多個閥、流體注射器、清潔帶、基準磚、淨化杯、刻度杯、清潔帶及/或其他服務元件。FOUP與AMHS之間的實體互動由若干既有SEMI標準來主控。據此，實施一FOUP之裝置、系統及方法可經組態以將對FOUP之實施方案很大程度限於FOUP之內部特徵。
在態樣中，本發明闡述一種實施一FOUP之裝置、系統及方法，該FOUP可經組態以取決於客戶之需求及/或一特定機器之需求而攜送若干不同類型之服務元件，包含閥、流體注射器、杯、清潔帶、基準磚、淨化杯、刻度杯、清潔帶及/或其他服務元件之不同組合。
圖1繪示根據本發明之態樣之用於自動材料輸送之一系統之一實例性實施方案。
圖2繪示根據圖1之系統之一部分視圖。
圖3繪示根據圖1之系統之另一部分視圖。
特定而言，圖1繪示用於自動材料輸送之一系統100之一實例性實施方案，該系統100經組態以在一裝置製造設施500內利用一材料輸送裝置400提供一服務元件200至一施配機300之輸送。在此方面，如本發明所考慮之服務元件200不同於在裝置製造設施500中製造之組件。例如，矽晶圓在製造期間不被消耗，而是被改性。此外，服務元件200可包含單個服務元件，服務元件200可包含多個服務元件，服務元件200可包含相同類型之多個服務元件，及/或服務元件200可包含不同類型之多個服務元件。此外，在態樣中，服務元件200可包含組合於一單元中之不同類型之多個服務元件以形成一服務封裝或服務站。如圖1中所繪示，服務元件200最初可定位於一供應站101處且材料輸送裝置400最初可定位於一裝載站102處。材料輸送裝置400可如下文進一步描述般組態以在裝載站102處接收服務元件200。此後，可利用一運輸系統600沿著裝置製造設施500內之一運輸路徑103在裝置製造設施500內運輸材料輸送裝置400連同服務元件200。
隨後，運輸系統600 (圖1中未詳細地繪示)可經組態以將材料輸送裝置400連同服務元件200一起移動至一輸送站104。此後，具有或沒有材料輸送裝置400之服務元件200可沿著一運輸路徑105及/或一運輸路徑106移動至施配機300且將服務元件200定位於施配機300處。此後，用於自動材料輸送之系統100可經組態以將服務元件200提供及/或輸送至施配機300。如下文進一步描述，態樣可包含額外的中間裝置。
另外，材料輸送裝置400或材料輸送裝置400之一分開之實施方案可經組態以自施配機300接收服務元件200之一消耗式部分。特定而言，用於自動材料輸送之系統100可經組態以沿著運輸路徑105及/或運輸路徑106將服務元件200之消耗式部分運輸至一站107。此後，服務元件200之消耗式部分可在站107處裝載至材料輸送裝置400中。一旦服務元件200之消耗式部分裝載至材料輸送裝置400中，便可由運輸系統600沿著一運輸路徑108攜送材料輸送裝置400連同服務元件200之消耗式部分以將服務元件200之消耗式部分自施配機300輸送至一卸載站109。此後，服務元件200之消耗式部分可自材料輸送裝置400移除且放置於一處理站110中。
在態樣中，用於自動材料輸送之系統100、服務元件200、材料輸送裝置400、運輸系統600及/或類似者之操作、控制、監督及/或類似者可由一控制器502來提供。控制器502可回應於一操作者、一遠端操作者112、另一系統及/或類似者。
如圖2中所繪示，人員可對材料輸送裝置400裝載服務元件200。特定而言，人員可在裝載站102處定位於裝置製造設施500外部。因此，定位於裝置製造設施500外部之人員可與材料輸送裝置400及/或服務元件200互動且不太可能污染裝置製造設施500。更具體地，在裝載站102，人員可在裝載站102處將服務元件200自供應站101裝載至材料輸送裝置400中。此後，如上文所述，可利用運輸系統600沿著裝置製造設施500內之運輸路徑103將材料輸送裝置400運輸至裝置製造設施500中。
替代地或另外，一自動系統亦可在裝載站102處對材料輸送裝置400裝載服務元件200。更具體地，在裝載站102處，自動系統可在裝載站102處將服務元件200自供應站101裝載至材料輸送裝置400中。此後，如上文所述，可利用運輸系統600沿著裝置製造設施500內之運輸路徑103將材料輸送裝置400運輸至裝置製造設施500中。在態樣中，自動系統可包含如圖12中所繪示之一機器人180。
如下文進一步描述，材料輸送裝置400、服務元件200及/或類似者可經組態有一機器可讀碼裝置。此外，用於自動材料輸送之系統100可包含經組態以讀取材料輸送裝置400、服務元件200及/或類似者之機器可讀碼裝置之一機器碼讀取裝置190之複數個實施方案。如圖2中所繪示，用於自動材料輸送之系統100可包含定位於裝載站102處之機器碼讀取裝置190之一實施方案。在服務元件200裝載至材料輸送裝置400中時，機器碼讀取裝置190可讀取與服務元件200及/或材料輸送裝置400相關聯之一機器可讀碼。
如圖3中所繪示，材料輸送裝置400可藉由運輸系統600沿著裝置製造裝置500內之運輸路徑103運輸至施配機300。在態樣中，材料輸送裝置400可藉由運輸系統600輸送至一堆料機裝置506及/或在材料輸送裝置400及/或服務元件200輸送至施配機300之前藉由運輸系統600輸送至一模組裝置504。然而，在其他態樣中，材料輸送裝置400及/或服務元件200可藉由運輸系統600輸送至施配機300，而不輸送至堆料機裝置506。
模組裝置504可經組態以在輸送站104處接收材料輸送裝置400。此後，模組裝置504可自材料輸送裝置400移除服務元件200。在態樣中，服務元件200可沿著運輸路徑105及/或運輸路徑106自模組裝置504輸送至施配機300。在態樣中，服務元件200可穿過運輸路徑105及/或運輸路徑106且隨後安裝於施配機300中。
如圖3中所繪示，用於自動材料輸送之系統100可包含定位於輸送站104及/或站107處之機器碼讀取裝置190之一實施方案。在服務元件200及/或材料輸送裝置400定位於站107及/或輸送站104處時，機器碼讀取裝置190可讀取與服務元件200及/或材料輸送裝置400相關聯之一機器可讀碼。
如圖3中進一步繪示，用於自動材料輸送之系統100可包含定位於運輸路徑105、運輸路徑106及/或施配機300處之機器碼讀取裝置190之一實施方案。在服務元件200及/或材料輸送裝置400定位於運輸路徑105、運輸路徑106及/或施配機300處時，機器碼讀取裝置190可讀取與服務元件200及/或材料輸送裝置400相關聯之一機器可讀碼。
圖4繪示根據本發明之態樣之一材料輸送裝置之一正面透視圖。
圖5係根據圖4之材料輸送裝置之一側視圖。
特定而言，圖4繪示可結合如本文中所描述之用於自動材料輸送之系統100、服務元件200、施配機300、裝置製造裝置500、運輸系統600及/或類似者利用之材料輸送裝置400之一實例性實施方案。在態樣中，材料輸送裝置400可具有一前開式晶圓傳送盒(FOUP)之一組態。一FOUP係一專用外殼，其可為塑膠，經設計以在一受控環境中牢固地並安全地固持矽晶圓，且允許該等晶圓在機器之間轉移以供處理或量測。在此方面，本發明之材料輸送裝置400可經組態用於與服務元件200一起實施。在態樣中，本發明之材料輸送裝置400可經組態以在裝載站102、站107及/或類似者處接收服務元件200、牢固地固持服務元件200及/或類似者。在特定態樣中，材料輸送裝置400可經組態以在藉由運輸系統600沿著運輸路徑103、運輸路徑108及/或類似者移動的同時牢固地固持服務元件200。在特定態樣中，材料輸送裝置400可經組態以在輸送站104、運輸路徑105、運輸路徑106、施配機300、卸載站109及/或類似者處提供服務元件200。
在此方面，材料輸送裝置400可包含側壁402、一頂壁404、一底板406及一內部空間408。材料輸送裝置400可在頂壁404及內部空間408之任一側上包含側壁402之兩個實施方案。側壁402可沿x軸配置於平行於y軸之一平面中。兩個側壁402可沿著y軸自底板406延伸至頂壁404。另外，頂壁404及底板406可在平行於z軸及x軸之一平面中在側壁402之兩個相鄰實施方案之間延伸。
一連接總成410可配置於材料輸送裝置400之頂壁404上。連接總成410可經組態以連接至運輸系統600之一組件且允許由運輸系統600在整個裝置製造設施500中攜送材料輸送裝置400。另外，材料輸送裝置400可包含手柄412。手柄412可配置於側壁402之各者上且可被人員用來例如在材料輸送裝置400在裝載站102處位於裝置製造設施500外部時移動材料輸送裝置400。
此外，材料輸送裝置400可包含一開口414。開口414可配置於平行於y軸及z軸之平面中。開口414可由附接至且連接至頂壁404、側壁402之各者及/或類似者之一框架416界定。開口414可提供通向內部空間408之入口網站。另外，開口414可由一門420覆蓋，如圖7中所繪示。在此方面，材料輸送裝置400可進一步包含用以支撐門420、允許門420打開及/或類似者之結構。在態樣中，材料輸送裝置400可經組態以允許門420沿著y軸、x軸及/或z軸滑動打開。在此方面，材料輸送裝置400可包含經組態以允許門420滑動之結構。替代地或另外，材料輸送裝置400可經組態以允許門420繞著y軸、x軸及/或z軸旋轉打開。在此方面，材料輸送裝置400可包含經組態以允許門420旋轉之結構，諸如鉸鏈及/或類似者。此外，開口414可經組態以接收服務元件200。
如圖5中所繪示，材料輸送裝置400可包含一後壁426。後壁426可自底板406延伸至頂壁404；且後壁426可自材料輸送裝置400之一側上之側壁402延伸至材料輸送裝置400之另一側上之側壁402。後壁426可與框架416相對地配置。據此，材料輸送裝置400可在頂壁404、側壁402、後壁426、底板406、門420及/或類似者之間提供一封閉空間。
另外，材料輸送裝置400可及進一步包含一機器可讀碼422。機器可讀碼422可被實施為一射頻識別(RFID)裝置、一條碼、一QR碼、一資料矩陣(DM)碼及/或類似者之一或多者。在一個態樣中，機器可讀碼422可為可經組態以可由機器碼讀取裝置190讀取之一機器可讀碼。在一個態樣中，機器可讀碼422可為可手動地輸入至一追溯裝置之一字母數字碼。
進一步參考圖5，材料輸送裝置400可包含用以感測材料輸送裝置400及/或服務元件200內及/或與材料輸送裝置400及/或服務元件200相關聯之一物理特性之至少一個感測器490。至少一個感測器490可包含一加速度計、溫度感測器、IR感測器(紅外線感測器)、壓力感測器、光感測器、超音波感測器、濕度感測器、傾斜感測器、液位感測器、運動感測器及/或類似者之一或多者。材料輸送裝置400可進一步包含用以處理與該等感測器之任一者相關聯之信號之類比至數位轉換器、濾波器及/或類似者。在一個態樣中，溫度感測器可為一熱電偶、一熱敏電阻器及/或類似者。回應於機器碼讀取裝置190，機器可讀碼422可將由該等感測器感測之上述物理量之一或多者作為裝置相關資訊560之部分提供至控制器502、圖22中所繪示之資料收集系統590、另一電腦系統及/或類似者。
另外，材料輸送裝置400可包含經組態以將電力提供至材料輸送裝置400之各個態樣之至少一個電力連接器492。至少一個電力連接器492可連接至一電源以接收電力。另外，至少一個電力連接器492可將電力提供至一電池以用於對該電池充電。該電池可容納於材料輸送裝置400中且將電力提供至材料輸送裝置400之各種組件。在態樣中，至少一個電力連接器492可連接至運輸系統600。
另外，材料輸送裝置400可經組態用於無線通訊。在此方面，材料輸送裝置400可包含一收發器494及/或類似者。材料輸送裝置400之收發器494可根據需要提供無線電及信號處理以透過如本文中所定義之一通訊通道存取一網路及/或類似者以供服務。另外，材料輸送裝置400可包含一處理器，且收發器494可經組態以處理指示功能、資料傳送，提供其他服務，將裝置相關資訊560傳輸至控制器502、圖22中所繪示之資料收集系統590、另一電腦系統及/或類似者。在態樣中，材料輸送裝置400可實施如本文中所描述之所有組件，或材料輸送裝置400可實施如本文中所描述之一些組件。
圖6繪示根據本發明之態樣之材料輸送裝置及服務元件之一側視圖。
特定而言，圖6繪示將服務元件200裝載及/或卸載至材料輸送裝置400中之案例。在態樣中，材料輸送裝置400可經組態以如由箭頭460所繪示般在裝載站102、站107及/或類似者處接收服務元件200。另外，材料輸送裝置400可經組態以如由箭頭462所繪示般在輸送站104、卸載站109及/或類似者處輸送服務元件200。特定而言，服務元件200移入及移出材料輸送裝置400可沿著X軸。然而，服務元件200之移動亦可另外包含其他軸上之移動。
如圖6中所繪示，服務元件200可進一步包含一機器可讀碼222。機器可讀碼222可被實施為一射頻識別(RFID)裝置、一條碼、一QR碼、一資料矩陣(DM)碼及/或類似者之一或多者。在一個態樣中，機器可讀碼222可為可經組態以可由機器碼讀取裝置190讀取之一機器可讀碼。在一個態樣中，機器可讀碼222可為可手動地輸入至一追溯裝置之一字母數字碼。
在態樣中，機器碼讀取裝置190可在裝載站102處讀取材料輸送裝置400之機器可讀碼422及服務元件200之機器可讀碼222，機器碼讀取裝置190可在輸送站104處讀取材料輸送裝置400之機器可讀碼422及服務元件200之機器可讀碼222，機器碼讀取裝置190可在運輸路徑105處讀取材料輸送裝置400之機器可讀碼422及服務元件200之機器可讀碼222，機器碼讀取裝置190可在運輸路徑106處讀取材料輸送裝置400之機器可讀碼422及服務元件200之機器可讀碼222，機器碼讀取裝置190可在站107處讀取材料輸送裝置400之機器可讀碼422及服務元件200之機器可讀碼222，機器碼讀取裝置190可在卸載站109處讀取材料輸送裝置400之機器可讀碼422及服務元件200之機器可讀碼222，及/或類似者。
在態樣中，機器碼讀取裝置190可讀取材料輸送裝置400之機器可讀碼422及服務元件200之機器可讀碼222，且將來自機器可讀碼422及/或機器可讀碼222之資料提供至控制器502。在此方面，控制器502可確認機器可讀碼422恰當地識別材料輸送裝置400之一特定實施方案。若控制器502判定材料輸送裝置400不正確，則控制器502可提供一錯誤指示、停止操作及/或類似者。同樣，控制器502可確認機器可讀碼222恰當地識別服務元件200之一特定實施方案。若控制器502判定服務元件200不正確，則控制器502可提供一錯誤指示、停止操作及/或類似者。
在一個態樣中，機器碼讀取裝置190可被實施為經組態以產生質詢無線電波之一RFID讀取器。來自RFID讀取器之質詢無線電波可由實施為一RFID裝置之機器可讀碼422及/或機器可讀碼222來接收。在此方面，回應於來自RFID讀取器之質詢無線電波，RFID裝置可自動地識別材料輸送裝置400之機器可讀碼422及/或服務元件200之機器可讀碼222。機器可讀碼422及/或機器可讀碼222可含有及傳輸包含產品相關資訊之電儲存資訊。在一個態樣中，機器可讀碼422及/或機器可讀碼222可自傳輸質詢無線電波之RFID讀取器收集能量。在一個態樣中，RFID裝置可具有一本端電源(諸如一電池)且可在距RFID讀取器數百米處操作。
在一個態樣中，機器可讀碼422及/或機器可讀碼222可被實施為一QR碼。在一特定態樣中，一相機裝置可包含作為一條碼讀取器或一QR碼讀取器之功能性。一QR碼(快速回應碼)係一種類型之矩陣條碼(或二維條碼)。條碼係含有關於其所附接之材料輸送裝置400及/或服務元件200之資訊之一機器可讀光學標籤。一QR碼使用數種標準化編碼模式(包含數字、字母數字、位元組/二進位及/或類似者)來有效地儲存產品相關資訊。QR碼可包含在一白色背景上配置成一正方形網格之黑色模組，其可由相機裝置或其他成像裝置來讀取且使用里德-所羅門錯誤校正來處理，直至可適當地解釋影像。接著，可自影像之水平及垂直分量兩者中存在之圖案提取產品相關資訊。
在一個態樣中，機器可讀碼422及/或機器可讀碼222可被實施為一資料矩陣(DM)碼。在一特定態樣中，相機裝置可包含作為一資料矩陣碼讀取器之功能性。一資料矩陣碼係一種類型之二維矩陣條碼，其包含配置成一正方形或矩形圖案之黑色及白色「單元」或模組。資料矩陣碼可用資料矩陣之ECC-200版本來實施且包含用於錯誤及擦除恢復之里德-所羅門碼。亦考慮資料矩陣之其他協定及/或版本。
圖7繪示根據本發明之態樣之材料輸送裝置之一橫截面俯視圖。
圖8繪示根據本發明之態樣之材料輸送裝置之一橫截面側視圖。
特定而言，圖7繪示其中服務元件200裝載於材料輸送裝置400內之材料輸送裝置400之一橫截面視圖。如圖7中所繪示，材料輸送裝置400可進一步包含一固持機構424。在特定態樣中，固持機構424可經組態以在裝載站102、站107及/或類似者處接收服務元件200、牢固地固持服務元件200及/或類似者。在特定態樣中，固持機構424可經組態以在服務元件200藉由運輸系統600沿著運輸路徑103、運輸路徑108及/或類似者移動時牢固地固持服務元件200。在特定態樣中，固持機構424可經組態以在輸送站104、運輸路徑105、運輸路徑106、施配機300及/或類似者處提供服務元件200。
在態樣中，固持機構424可被實施為一彈性組件、一夾持器組件、一材料組件、一摩擦配合組件、一固持器組件及/或類似者。[*任何其他組件？]在態樣中，固持機構424可接合服務元件200之一表面，可環繞服務元件200及/或類似者。
在態樣中，固持機構424可在服務元件200之鄰近後壁426之一後表面處接合服務元件200，如圖7中所繪示；在態樣中，固持機構424可在服務元件200之鄰近側壁402之一側表面處接合服務元件200，如圖7中所繪示；在態樣中，固持機構424可在服務元件200之鄰近底板406之一底表面處接合服務元件200；在態樣中，固持機構424可在服務元件200之鄰近頂壁404之一頂表面處接合服務元件200；在態樣中，固持機構424可在服務元件200之鄰近門420之一前表面處接合服務元件200；及/或類似者。
在態樣中，固持機構424可穩固地附接至材料輸送裝置400、材料輸送裝置400之內部空間408、材料輸送裝置400之後壁426、材料輸送裝置400之側壁402、材料輸送裝置400之底板406、材料輸送裝置400之頂壁404；及/或類似者。固持機構424至材料輸送裝置400之連接可包含機械緊固件、粘合劑及/或類似者。
圖9繪示根據本發明之態樣之運輸系統之一實例性實施方案。
特定而言，圖9繪示實施為一AMHS 602之運輸系統600，其可用來在裝置製造設施500內自動地儲存及運輸服務元件200及/或材料輸送裝置400。如圖9中所展示，AMHS 602可包含一懸吊式升降運輸子系統。懸吊式升降運輸子系統可包含一懸掛軌道608及複數個懸吊式升降運輸車輛606，該複數個懸吊式升降運輸車輛606可經組態以在懸掛軌道608上在裝置製造設施500內之裝載站102、輸送站104、站107、卸載站109及/或類似者之間行進。此外，複數個懸吊式升降運輸車輛606可經組態以沿著運輸路徑108及/或運輸路徑103行進。在一典型操作模式中，服務元件200可在材料輸送裝置400中運輸。懸吊式升降運輸車輛606可沿著懸掛軌道608移動且停在適合於在裝載站102、輸送站104、站107、卸載站109及/或類似者處自材料輸送裝置400裝載及卸載服務元件200之一位置處。在運輸系統600之AMHS 602實施方案中，材料輸送裝置400可藉由一卸載/裝載系統607在裝載站102、輸送站104、站107、卸載站109及/或類似者處自懸吊式升降機裝載及/或卸載，該卸載/裝載系統607可經組態以接合材料輸送裝置400之連接總成410。在態樣中，卸載/裝載系統607可包含可提供多達三個或更多個移動軸之移動組件，諸如線、滑輪、一機器人及/或類似者。在態樣中，機器人可被實施為圖12中所繪示之機器人180。AMHS 602可包含經組態以幫助識別及定位物件(諸如材料輸送裝置400)以及為AMHS 602及/或機器人提供引導之一視覺系統。
圖10繪示根據本發明之態樣之運輸系統之另一實例性實施方案。
在態樣中，運輸系統600可被實施為一自動導向車輛(AGV) 650。自動導向車輛(AGV) 650可經組態以裝載及/或卸載材料輸送裝置400。自動導向車輛(AGV) 650可包含具有全向輪658之一驅動系統652、輔助導航自動導向車輛(AGV) 650以及幫助避開障礙物之一或多個導航感測器654。在一個態樣中，導航感測器654可包含雷射型感測系統使得自動導向車輛(AGV) 650係雷射定向的。自動導向車輛(AGV) 650可包含一裝載台或平台656。平台656可包含允許平台656相對於驅動系統652升高或降低之一垂直運輸或升降機構。升降機構可包含液壓、氣動及/或電動型升降機。平台656可包含一運送機，其可呈一帶式運送機之形式，用於移動材料輸送裝置400，諸如用於裝載、卸載及/或重新定向。自動導向車輛(AGV) 650可包含一機器人。在態樣中，機器人可被實施為圖12中所繪示之機器人180。自動導向車輛(AGV) 650可包含經組態以幫助識別及定位物件(諸如材料輸送裝置400)以及為自動導向車輛(AGV) 650及/或機器人提供引導之一視覺系統。另外，機器人可包含經組態以控制機器人之各種組件之操作之一控制器。此外，機器人可回應於控制器502。在態樣中，自動導向車輛(AGV) 650可經組態用於在裝載站102、輸送站104、站107、卸載站109及/或類似者處自材料輸送裝置400裝載及卸載服務元件200。在態樣中，自動導向車輛(AGV) 650可經組態以接合材料輸送裝置400之連接總成410。
圖11繪示根據本發明之態樣之模組裝置及施配機之一實例性實施方案。
特定而言，圖11繪示可被實施為一設備前端模組(EFEM)之模組裝置504之一實例性實施方案。模組裝置504可包含輸送站104及站107。如圖11中所繪示，輸送站104包含配置於其上之材料輸送裝置400；且站107包含配置於其上之材料輸送裝置400。另外，模組裝置504可包含構成一箱形外殼之一運輸腔522。另外，模組裝置504可包含如本文中所描述般操作之機器碼讀取裝置190之一實施方案。此外，模組裝置504可包含用以固持材料輸送裝置400及/或服務元件200之一冷藏室。
在態樣中，模組裝置504可經組態以自輸送站104接收材料輸送裝置400。此後，模組裝置504可沿著運輸路徑105將材料輸送裝置400及/或服務元件200運送至施配機300。在態樣中，模組裝置504可在沿著運輸路徑105將服務元件200運送至施配機300之前及/或期間自材料輸送裝置400移除服務元件200。在此方面，模組裝置504可包含一運送系統508，該運送系統508可被實施為一運送機、一自動移除系統、一機器人及/或類似者以移動材料輸送裝置400及/或服務元件200，自材料輸送裝置400移除服務元件200，及/或類似者。在態樣中，機器人可被實施為圖12中所繪示之機器人180。
在態樣中，模組裝置504可經組態以自施配機300接收材料輸送裝置400及/或服務元件200之一消耗式部分。此後，模組裝置504可沿著運輸路徑105自施配機300朝向站107運送材料輸送裝置400及/或服務元件200。在態樣中，模組裝置504可在沿著運輸路徑105自施配機300運送服務元件200之前及/或期間將服務元件200之消耗式部分插入至材料輸送裝置400中。在此方面，運送系統508可進一步包含一運送機、一自動插入系統、一機器人及/或類似者以移動材料輸送裝置400及/或服務元件200，將服務元件200插入至材料輸送裝置400中及/或類似者。在態樣中，機器人可被實施為圖12中所繪示之機器人180。
圖11進一步繪示施配機300。特定而言，施配機300可經組態以自模組裝置504接收材料輸送裝置400及/或服務元件200。此後，施配機300可沿著運輸路徑106將材料輸送裝置400及/或服務元件200運送至使用服務元件200之施配機300之一操作部分。在態樣中，服務元件200已藉由模組裝置504自材料輸送裝置400移除，且施配機300可沿著運輸路徑106將服務元件200移動至施配機300之操作部分。在其他態樣中，施配機300可在沿著運輸路徑106將服務元件200運送至施配機300之操作部分之前及/或期間自材料輸送裝置400移除服務元件200。在此方面，施配機300可包含一運送系統302，該運送系統302可包含一運送機、一自動移除系統、一機器人及/或類似者以移動材料輸送裝置400及/或服務元件200，自材料輸送裝置400移除服務元件200，將服務元件200移動至施配機300之操作部分及/或類似者。在態樣中，機器人可被實施為圖12中所繪示之機器人180。
在態樣中，施配機300可另外利用運送系統302以自施配機300之操作部分移除服務元件200之一消耗式部分，沿著運輸路徑106將服務元件200之消耗式部分運輸至模組裝置504。在其他態樣中，施配機300可在沿著運輸路徑106將服務元件200運送至模組裝置504之前及/或期間將服務元件200之消耗式部分插入至材料輸送裝置400中。
圖12繪示由本發明之數個不同組件實施之一機器人之一實例性實施方案。
特定而言，圖12繪示可由用於自動材料輸送之系統100、施配機300、模組裝置504、運輸系統600及/或類似者之數個不同組件實施之機器人180。在態樣中，機器人180可包含一或多個臂182、用以移動一或多個臂182之一或多個馬達，此可提供多達三個或更多個移動軸。另外，一或多個臂182可包含用於抓取服務元件200及/或材料輸送裝置400、移動服務元件200及/或材料輸送裝置400及/或類似者之一或多個吸盤、操縱器184及/或類似者。另外，機器人180可包含經組態以控制機器人之各種組件之操作之一控制器。此外，機器人可回應於控制器502。機器人180可包含經組態以幫助識別及定位物件(諸如材料輸送裝置400)之一視覺系統。
圖13繪示根據本發明之態樣之服務元件之一實例性實施方案之一側視圖。
圖14繪示根據圖13之服務元件之一實例性實施方案之一俯視圖。
特定而言，圖13繪示可包含一材料注射器202、一施配器閥204及一施配器筒206之服務元件200之一實施方案。施配器閥204可包含可操作以提供及/或接收用於氣動操作之電信號碼、電力、資料、空氣及/或類似者的連接件218。在態樣中，服務元件200可包含材料注射器202、施配器閥204及施配器筒206之全部、一些或一者。在進一步態樣中，服務元件200可包含如圖18中所繪示之一施配器杯208。在進一步態樣中，施配器閥204可包含如圖14中所繪示之一附接支架232。附接支架232可經組態以附接至施配機300之一操作部分。在此方面，施配機300可消耗包含服務元件200之各種材料，諸如材料注射器202、施配器閥204、施配器筒206、施配器杯208及/或類似者。在態樣中，服務元件200可包含組合於一單元中以形成用於施配機300之一服務封裝或服務站之材料注射器202、施配器閥204、施配器筒206、施配器杯208及/或類似者之一或多者。
圖15繪示根據本發明之態樣之施配機之部分側視圖。
特定而言，圖15繪示其中服務元件200配置於施配機300之一操作部分310上之施配機300之一部分側視圖。在此方面，圖15繪示各固持服務元件200之兩個不同實施方案之操作部分310之兩個實施方案。然而，施配機300可包含任何數目個操作部分310、服務元件200及/或類似者。
施配機300可經組態以藉由施配器閥204之一受控操作而自材料注射器202施配一流體通過施配器筒206。在此方面，施配機300可將材料注射器202、施配器閥204、施配器筒206及/或類似者固持於操作部分310上。此外，連接件218可連接至操作部分310以便提供施配器閥204之致動。施配機300可經組態以將流體自材料注射器202施配至一基板上。另外，有時施配機300可經組態以將流體自材料注射器202施配至施配器杯208中。然而，服務元件200係可消耗的且在某一給定時間量之後，必須在施配機300內替換服務元件200。另外，有時，服務元件200之一或多個組件可能失效且同樣必須在施配機300內替換。
圖16A繪示根據本發明之態樣之材料輸送裝置及服務元件之一橫截面俯視圖。
圖16B繪示根據圖16A之材料輸送裝置及服務元件之一橫截面側視圖。
特定而言，圖16A及圖16B繪示其中圖14之服務元件200裝載於材料輸送裝置400內之材料輸送裝置400。如圖16A中所繪示，材料輸送裝置400可進一步包含固持服務元件200之固持機構424。特定而言，固持機構424可附接至服務元件200之附接支架232。服務元件200之附接支架232至固持機構424之附接可藉由機械緊固件、夾子、支架及/或類似者進行。
圖16C繪示根據本發明之態樣之材料輸送裝置及服務元件之一橫截面俯視圖。
特定而言，圖16C繪示其中圖14之服務元件200裝載於材料輸送裝置400內之材料輸送裝置400。如圖16C中所繪示，材料輸送裝置400可進一步包含固持服務元件200之固持機構424。特定而言，固持機構424可環繞服務元件200之部分。在此方面，固持機構424可經組態為一可變形材料。
圖16D繪示根據本發明之態樣之材料輸送裝置及服務元件之一橫截面側視圖。
特定而言，圖16D繪示其中圖14之服務元件200裝載於材料輸送裝置400內之材料輸送裝置400。如圖16D中所繪示，材料輸送裝置400可進一步包含固持服務元件200之固持機構424。特定而言，固持機構424可環繞服務元件200之部分。在此方面，固持機構424可經組態為接合服務元件200之側及/或服務元件200之一底部之一或多個支架。
圖17繪示根據本發明之態樣之實例性置換操作。
特定而言，圖17繪示材料輸送裝置400將服務元件200輸送至施配機300之一程序。更具體地，材料輸送裝置400可將服務元件200輸送至施配機300及/或模組裝置504，如先前所描述。此後，在態樣中，模組裝置504之運送系統508及/或機器人180可自材料輸送裝置400移除服務元件200，如由箭頭312所展示。在其他態樣中，施配機300之運送系統302及/或機器人180可自材料輸送裝置400移除服務元件200，如由箭頭312所展示。一旦服務元件200已自材料輸送裝置400移除，便可將服務元件200運送至施配機300之操作部分310，如由箭頭314所展示。此後，施配機300之運送系統302及/或機器人180可將服務元件200配置至施配機300之操作部分310上，如由箭頭314進一步展示。在態樣中，施配機300之運送系統302及/或機器人180可進一步經組態以將服務元件200連接至施配機300之操作部分310。
圖18繪示根據本發明之態樣之進一步實例性置換操作。
特定而言，圖18繪示將服務元件200輸送至施配機300之一程序。在此方面，服務元件200可包含材料注射器202、施配器筒206及施配器杯208。據此，施配器閥204可保持連接至施配機300之操作部分310。更具體地，圖18繪示施配機300之運送系統302及/或機器人180可自施配機300之操作部分310移除材料注射器202、施配器筒206及/或類似者之消耗式實施方案，如由箭頭316所繪示。另外，施配機300之運送系統302及/或機器人180可自施配機300移除施配器器杯208之消耗式實施方案。在此方面，材料注射器202現在係空的並不再可由施配機300使用，且施配器杯208現在係滿的並不再可由施配機300使用。此外，運送系統302及/或機器人180可將服務元件200之連接件218自操作部分310斷開。
進一步參考圖18，運送系統302及/或機器人180現在可藉由附接至操作部分310而將材料注射器202之一滿實施方案及施配器筒206之一新實施方案裝載至施配機300中。另外，運送系統302及/或機器人180現在可將施配器杯208之一空實施方案裝載至施配機300中。另外，運送系統302及/或機器人180可將服務元件200之連接件218連接至施配機300之操作部分310。
圖19繪示根據本發明之態樣之進一步實例性置換操作。
特定而言，圖19繪示將服務元件200輸送至施配機300之一程序。在此方面，服務元件200可進一步包含一附接板240。服務元件200之各種組件可附接至附接板240，包含材料注射器202、施配器閥204、施配器筒206及連接件218。附接板240可包含自連接件218至施配機300之操作部分310之對應連接件的連接件。
在態樣中，施配機300之運送系統302及/或機器人180可藉由自施配機300之操作部分310移除服務元件200之附接板240而自施配機300移除材料注射器202之一空實施方案、施配器閥204之一用過實施方案及施配器筒206之一用過實施方案。另外，施配機300之運送系統302及/或機器人180現在可藉由將附接板240附接至施配機300之操作部分310而將材料注射器202之一滿實施方案、施配器閥204之一新實施方案及施配器筒206之一新實施方案裝載至施配機300中。
圖20繪示根據本發明之態樣之進一步實例性置換操作。
特定而言，圖20繪示將服務元件200輸送至施配機300之一程序。在此方面，服務元件200可包含材料注射器202、施配器筒206、施配器閥204及施配器杯208。更具體地，圖20繪示施配機300之運送系統302及/或機器人180可自施配機300之操作部分310移除材料注射器202、施配器筒206、施配器閥204及/或類似者之消耗式實施方案，如由箭頭316所繪示。另外，施配機300之運送系統302及/或機器人180可自施配機300移除施配器杯208之消耗式實施方案。在此方面，材料注射器202現在係空的並不再可由施配機300使用，且施配器杯208現在係滿的並不再可由施配機300使用。另外，施配器閥204及施配器筒206亦可能需要替換。此外，運送系統302及/或機器人180可將服務元件200之連接件218自操作部分310斷開。在此方面，連接件218可被實施為扭轉式連接件、推入式連接件及/或類似者。
進一步參考圖20，運送系統302及/或機器人180現在可藉由附接至操作部分310而將材料注射器202之一滿實施方案及施配器筒206及施配器閥204之一新實施方案裝載至施配機300中。另外，運送系統302及/或機器人180現在可將施配器杯208之一空實施方案裝載至施配機300中。另外，運送系統302及/或機器人180可將服務元件200之連接件218連接至施配機300之操作部分310。
圖21繪示根據本發明之態樣之模組裝置及/或施配機之另一實施方案。
特定而言，圖21繪示可包含一轉塔式工具更換器380之模組裝置504及/或施配機300之另一實施方案。轉塔式工具更換器380可定位於模組裝置504及/或施配機300中。轉塔式工具更換器380可經組態用於置換材料注射器202之快速斷開裝置。材料注射器202可由如本文中所描述之材料輸送裝置400來輸送。轉塔式工具更換器380可經組態以固持服務元件200之複數個實施方案，諸如圖21中所繪示之材料注射器202。在此方面，轉塔式工具更換器380可包含經組態以接合及固持服務元件200之一或多個組件的複數個附接部分382。如圖21中所繪示，複數個附接部分382固持複數個材料注射器202。轉塔式工具更換器380可經組態有回應於控制器502以旋轉及呈現複數個附接部分382之一所期望者以用於接收服務元件200之一消耗式部分及/或呈現複數個附接部分382之一所期望者以用於輸送服務元件200之一新部分之一馬達。在態樣中，模組裝置504之運送系統508及/或機器人180可將服務元件200運送至施配機300。在態樣中，施配機300及/或施配機300之機器人180可將自轉塔式工具更換器380接收之服務元件200運送至施配機300之操作部分310。在此方面，轉塔式工具更換器380可在模組裝置504及/或施配機300本端儲存及/或提供複數個服務元件200。在態樣中，轉塔式工具更換器380可定位於模組裝置504之冷藏室中。
圖22繪示根據本發明之原理之一資料收集系統。
在態樣中，用於自動材料輸送之系統100可經組態以提供自動材料輸送、自動材料轉換、自動設定及校準及/或類似者，如上文所描述。另外，用於自動材料輸送之系統100可經組態以針對裝置製造設施500之一或多個組件(包含服務元件200、施配機300、材料輸送裝置400及/或類似者)提供自動程序控制、自動錯誤預測及恢復及/或類似者。在態樣中，用於自動材料輸送之系統100可經組態以提供資料分析及可追溯性以支援增加裝置製造設施500之一或多個組件(包含服務元件200、施配機300、材料輸送裝置400及/或類似者)之資料可追溯性及分析。在態樣中，用於自動材料輸送之系統100可實施用來實現裝置製造設施500之一或多個組件(包含服務元件200、施配機300、材料輸送裝置400及/或類似者)之通訊以及獨立操作之一應用程式設計介面(API)。用於自動材料輸送之系統100結合控制器502可提供對設備之遠端存取、針對裝置製造設施500之一或多個組件(包含服務元件200、施配機300、材料輸送裝置400及/或類似者)自一遠端辦公室對裝置製造設施500之一生產現場之報告及集中式控制。
另外，用於自動材料輸送之系統100可經組態以獲取由用於自動材料輸送之系統100實施之各種機器上當前可用之所有處理資訊(諸如感測器資料、警報狀態、指令操作及/或類似者)以及任何新施配度量源，判定哪些與生產健康相關，且使用彼等資訊來建立自動程序控制常式以保持生產盡可能平穩地及長久地運作。此程序可能涉及改變設定以滿足效能規範、利用機器學習應用來對正常與異常施配狀態進行分類並伴隨有程序控制演算法以在必要時調整設定之標準控制常式。另外，用於自動材料輸送之系統100可實施可專注於查看經記錄感測器資料以在最少操作者干預下預測常見警報及錯誤狀態、識別常見警報及錯誤狀態以自常見警報及錯誤狀態恢復之自動程序控制。此外，用於自動材料輸送之系統100可經組態使得若一自動解決方案係不可能的，則可部署一「專家系統」或流程圖式介面以輔助一遠端操作者或現場服務技術人員識別根本原因及盡可能快地使用於自動材料輸送之系統100之處理工具重新上線之最佳已知方法。另外，用於自動材料輸送之系統100可經組態使得用於自動材料輸送之系統100之各種機器之控制及在生產期間收集之任何資料可經由一資料基礎結構與一遠端操作者容易地且有效地共用。此外，用於自動材料輸送之系統100可經組態用於使機器學習或數位孿生應用存在，其中來自生產之資料流用於訓練、測試及分析。此外，用於自動材料輸送之系統100之操作可經組態使得所有操作者與用於自動材料輸送之系統100之各種機器之互動及來自用於自動材料輸送之系統100之資料可經由此遠端連接來完成。
特定而言，如圖22中所繪示，上述態樣之一或多者可利用一資料收集系統590來實施。在態樣中，資料收集系統590可被實施為控制器502之部分。在態樣中，資料收集系統590可與控制器502分開地實施。資料收集系統590可由一或多個伺服器、處理器576、資料庫592、網路介面510、輸入輸出裝置566、記憶體588及/或類似者來實施。
在態樣中，資料收集系統590可接收、分析、儲存及提供與用於自動材料輸送之系統100、服務元件200、施配機300、裝置製造設施500、控制器502、模組裝置504、運輸系統600、其等組件及/或類似者相關之裝置相關資訊560。裝置相關資訊560可包含特定操作之日期及時間、施配之日期及時間、機器序號、壓力、溫度、指令碼偏移資料、施配設定、施配度量、閥序號、循環、校準資料、編碼器軌跡、筒序號、循環、消耗品壽命、流體批號、罐壽命、注射器液位、晶圓序號及/或類似者。
在一個態樣中，資料收集系統590可經組態為集中式電腦。在一個態樣中，資料收集系統590可經組態為一伺服器。在一個態樣中，資料收集系統590可經組態為一分散式伺服器。在一個態樣中，資料收集系統590可經組態為一分散式電腦。在一個態樣中，資料收集系統590可經組態以利用加密透過一網路進行通訊；且資料收集系統590可經組態用於對透過網路接收之資料進行解密。處理器576及/或網路介面510可提供加密及解密功能性。
另外，如本文中所描述之用於自動材料輸送之系統100之各種組件同樣可經組態用於且提供如本文中所描述之加密及解密功能性。在一個態樣中，加密可包含以使得僅授權方可存取而非授權方無法存取之一方式對一訊息、資訊、產品相關資訊及/或類似者進行編碼之一程序。在一個態樣中，加密可包含一加密方案(稱為明文之所欲資訊或訊息)，使用一加密演算法(其可為一編密)進行加密，從而產生僅在解密時方可讀取之密文。在一個態樣中，加密方案可使用由一演算法產生之一偽隨機加密金鑰。在對稱金鑰方案中，加密及解密金鑰可相同。通訊方必須具有相同金鑰以便實現安全通訊。在一個態樣中，加密方案可為一公開金鑰加密方案，其中加密金鑰公佈給任何人使用且對訊息進行加密。然而，僅接收方可存取解密金鑰，此實現訊息被讀取。
在一個態樣中，資料收集系統590可經組態為基於雲端之系統。在一個態樣中，資料收集系統590可經組態為非基於雲端之系統。在一個態樣中，資料收集系統590可經組態為一變換服務層、微服務及/或類似者，及其等等效物。
在一個態樣中，資料收集系統590可經組態以將來自用於自動材料輸送之系統100、服務元件200、施配機300、裝置製造設施500、控制器502、模組裝置504、運輸系統600、其等組件及/或類似者之所有上述裝置相關資訊560儲存於資料庫592中。在此方面，資料收集系統590可經組態以直接連接至一電腦580或透過網路連接至電腦580以便自資料庫592提供經儲存裝置相關資訊560。
在特定態樣中，回應於來自電腦580之一詢問，資料收集系統590可經組態以允許搜尋上述經捕獲資訊之任一者，包含自用於自動材料輸送之系統100之各種組件、服務元件200、施配機300、裝置製造設施500、控制器502、模組裝置504、運輸系統600、其等組件及/或類似者獲得之裝置相關資訊560。在此方面，對資料收集系統590之詢問可包含對用於自動材料輸送之系統100之一特定裝置之一詢問，且資料收集系統590結合資料庫592可獲得回應並將其傳輸至電腦580。特定而言，該詢問可基於用於自動材料輸送之系統100之特定裝置、裝置製造設施500之一特定裝置、裝置相關資訊560之一特定態樣及/或類似者。
在特定態樣中，回應於來自電腦580之一詢問，資料收集系統590可經組態以基於上述經捕獲資訊(包含自如本文中所描述之用於自動材料輸送之系統100之各種組件獲得之裝置相關資訊560)提供與裝置相關資訊560以及庫存判定、替換判定、供應鏈判定、消耗度量、庫存計數、總庫存、預測庫存及/或類似者相關之資訊。在此方面，對資料收集系統590之詢問可包含對庫存相關資訊之一詢問，且資料收集系統590結合資料庫592可獲得回應並將其傳輸至電腦580。
在一些態樣中，資料收集系統590可經組態有人工智慧以便輔助分析裝置相關資訊560。人工智慧可利用任何數目種方法(包含控制論及大腦模擬、符號、認知模擬、基於邏輯、反邏輯、基於知識、子符號、體現智慧(embodied intelligence)、運算智慧及軟運算、機器學習及統計及/或類似者之一或多者)以便輔助庫存分析。
在特定態樣中，回應來自電腦580之一詢問，資料收集系統590可經組態以基於上述經捕獲資訊(包含自用於自動材料輸送之系統100、控制器502及/或類似者獲得之裝置相關資訊560)提供可追溯性功能。在此方面，對資料收集系統590之詢問可包含用於追溯用於自動材料輸送之系統100之特定一或多個者之一詢問，且資料收集系統590結合資料庫592可獲得回應並將其傳輸至電腦580。特定而言，可追溯性功能性詢問可基於裝置相關資訊560、基於用於自動材料輸送之系統100之特定裝置、按箱號碼、按批號、按批次號碼、按品項號碼及/或類似者。
在特定態樣中，回應於來自電腦580之一詢問，資料收集系統590可經組態以基於上述經捕獲資訊(包含自用於自動材料輸送之系統100及/或控制器502獲得之裝置相關資訊560)提供追溯功能。在此方面，對資料收集系統590之詢問可包含用於追溯裝置相關資訊560之一特定態樣之一詢問，且資料收集系統590結合資料庫592可獲得回應並將其傳輸至電腦580。特定而言，追溯功能詢問可基於裝置相關資訊560之特定態樣、基於用於自動材料輸送之系統100之特定裝置、基於裝置製造設施500之一特定者、按箱號碼、按批號、按批次號碼、按品項號碼、按序號及/或類似者。
在一些態樣中，資料收集系統590、如本文中所描述之用於自動材料輸送之系統100之各種組件及/或類似者可經組態有人工智慧以便輔助判定一病原體、疾病及/或類似者。人工智慧可利用任何數目種方法(包含控制論及大腦模擬、符號、認知模擬、基於邏輯、反邏輯、基於知識、子符號、體現智慧、運算智慧及軟運算、機器學習及統計及/或類似者之一或多者)以便輔助判定一病原體、疾病及/或類似者。
在特定態樣中，資料收集系統590及/或資料庫592可利用及實施區塊鏈512技術。在此方面，資料收集系統590及/或資料庫592可將經接收裝置相關資訊560看作一記錄清單，該等記錄可被定義為區塊。特定而言，裝置相關資訊560之區塊之各者可使用密碼編譯術來鏈接。各區塊可含有前一區塊之一密碼編譯雜湊、一時間戳記及裝置相關資訊560。區塊鏈512可由資料收集系統590遵循用於節點間通訊及新區塊驗證之一協定來管理。在一些態樣中，裝置相關資訊560之所得區塊鏈512可形成可能不容易修改、改變及/或類似者以確保一更高級別之安全性及資料置信度之一區塊鏈分類帳。在一個態樣中，區塊鏈512可被實施為一公共區塊鏈、一私有區塊鏈、一聯盟區塊鏈及/或類似者。
在一個態樣中，資料收集系統590可包含一功能性應用程式設計介面(API)系統550。在一個態樣中，資料收集系統590可包含一管理應用程式設計介面(API)系統552。在一個態樣中，資料收集系統590可包含管理應用程式設計介面(API)系統552及功能性應用程式設計介面(API)系統550。
在一些態樣中，功能性應用程式設計介面(API)系統550及管理應用程式設計介面(API)系統552之API可包含一組子常式定義、協定、工具及/或類似者。此等可包含在包含資料收集系統590之各種軟體組件之間的一組明判定義的通訊方法。API可用於一基於網路之系統、一作業系統、一資料庫系統、電腦硬體、一軟體庫及/或類似者。在一些態樣中，API可包含可採取諸多形式之一規範，但可包含常式、資料結構、物件類別、變數、遠端呼叫及/或類似者之規範。API可由POSIX、Windows API、ASPI及/或類似者來實施。
功能性應用程式設計介面(API)系統550可實施或連接至一按需雲端運算平台。功能性應用程式設計介面(API)系統550可允許用戶透過網際網路處理任何時候皆可用之一發展完全的虛擬電腦叢集。功能性應用程式設計介面(API)系統550可實施可包含一真實電腦之數個屬性之虛擬電腦，該電腦包含一中央處理單元(CPU)、圖形處理單元(GPU)、隨機存取記憶體(RAM)、硬碟儲存器、固態硬碟機(SSD)儲存器及/或類似者。功能性應用程式設計介面(API)系統550可包含作業系統及網路化之一選擇。功能性應用程式設計介面(API)系統550可具有預載應用程式軟體，諸如網路伺服器、資料庫及/或類似者。功能性應用程式設計介面(API)系統550亦可虛擬化其控制台I/O (鍵盤、顯示器及滑鼠)，從而允許使用者使用一瀏覽器及/或類似者連接至資料收集系統590。瀏覽器可充當進入虛擬電腦之一視窗，從而讓用戶登入、組態及/或類似者。
在本發明之一些態樣中，管理應用程式設計介面(API)系統552及/或資料收集系統590之一或多者可包含可被實施為一網頁入口網站之一資訊入口網站、詢問入口網站及/或類似者。資訊入口網站可為自互異來源(包含用於自動材料輸送之系統100及/或資料收集系統590)帶來資訊之一特殊設計的入口網站。在一些態樣中，各資訊來源可接收一頁面上之用於顯示資訊之一專用區域(一小入口網站程式)。在一些態樣中，入口網站可包含混搭及內部網路「儀表板」。入口網站可使用應用程式設計介面(API)。入口網站可為企業及組織提供對資料收集系統590及/或類似者進行存取控制、修改、程序及/或類似者之一方式。可用特徵可能僅限於一經授權且經鑑認之使用者(員工、會員)。
在一或多個態樣中，管理應用程式設計介面(API)系統552及/或功能性應用程式設計介面(API)系統550可經組態以在Windows、macOS、Linux及/或類似者上運作如本文中所描述之用於自動材料輸送之系統100之各種組件、資料收集系統590及/或類似者之命令。此等命令可允許建立及管理如本文中所描述之用於自動材料輸送之系統100之各種組件、資料收集系統590、憑證、規則及政策。在一或多個態樣中，管理應用程式設計介面(API)系統552及/或功能性應用程式設計介面(API)系統550可經組態以使用HTTP或HTTPS請求針對用於自動材料輸送之系統100建置物聯網應用程式。此等API動作允許用於自動材料輸送之系統100、憑證、規則及政策之程式建立及管理。在一或多個態樣中，管理應用程式設計介面(API)系統552及/或功能性應用程式設計介面(API)系統550可經組態以使用語言特定API建置物聯網應用程式。相關聯SDK可包裝HTTP/HTTPS API且允許以任何受支援語言程式化。在一或多個態樣中，管理應用程式設計介面(API)系統552及/或功能性應用程式設計介面(API)系統550可經組態以建置如本文中所描述之用於自動材料輸送之系統100之各種組件、資料收集系統590及/或類似者上運作之應用程式，該等應用程式將訊息發送至如本文中所描述之管理應用程式設計介面(API)系統552、功能性應用程式設計介面(API)系統550及/或用於自動材料輸送之系統100之各種組件及自其等接收訊息。
圖23繪示根據本發明之原理實施用於自動材料輸送之系統及/或資料收集系統之一程序。
特定而言，圖23繪示實施用於自動材料輸送之系統及/或資料收集系統之一程序700，包括實施如本文中所描述之用於自動材料輸送之系統100及/或資料收集系統590之一程序。實施用於自動材料輸送之系統及/或資料收集系統之程序700可包含利用機器碼讀取裝置識別用於自動材料輸送之系統之一組件702。特定而言，利用機器碼讀取裝置識別用於自動材料輸送之系統之一組件702可包含利用機器碼讀取裝置190識別如本文中所描述之用於自動材料輸送之系統100之一組件，諸如服務元件200、施配機300、材料輸送裝置400及/或類似者之組件。在此方面，識別可包含利用機器碼讀取裝置190讀取機器可讀碼422及/或機器可讀碼222。
另外，實施用於自動材料輸送之系統及/或資料收集系統之程序700可包含接收用於自動材料輸送之系統之一組件之裝置相關資訊704。在此方面，接收用於自動材料輸送之系統之一組件之裝置相關資訊704可包含接收如本文中所描述之用於自動材料輸送之系統100之一組件之裝置相關資訊560。
此外，實施用於自動材料輸送之系統及/或資料收集系統之程序700可包含將裝置相關資訊傳輸至資料收集系統706。在此方面，將裝置相關資訊傳輸至資料收集系統706可包含將裝置相關資訊560傳輸至資料收集系統590，如本文中所描述。
另外，實施用於自動材料輸送之系統及/或資料收集系統之程序700可包含由資料收集系統分析裝置相關資訊708。在此方面，由資料收集系統分析裝置相關資訊708可包含由資料收集系統590分析裝置相關資訊560，如本文中所描述。
在態樣中，由資料收集系統分析裝置相關資訊708可包含針對裝置製造設施500之一或多個組件(包含服務元件200、施配機300、材料輸送裝置400及/或類似者)的分析、判定、處理及/或類似者，因為其與以下項相關：自動程序控制；自動錯誤預測及恢復；資料分析及可追溯性；感測器資料；警報狀態；命令操作；施配度量；生產健康；自動程序控制常式；用以滿足效能規範之設定；對正常與異常施配狀態進行分類；用以根據需要調整設定之程序控制演算法；用以在最少操作者干預之情況下預測常見警報及錯誤狀態、辨識常見警報及錯誤狀態以及自常見警報及錯誤狀態恢復之經記錄感測器資料；及/或用於自動材料輸送之系統100之各種機器之控制及/或類似者，如本文中所描述。
據此，本發明闡述一種用於將材料自動輸送至一施配機的將減少潔淨室之污染且限制對所得電子裝置之品質之影響之裝置、系統及方法。此外，本發明闡述一種用於將材料自動輸送至一施配機的提供用於與該施配機相關聯之各種系統之操作、分析及/或類似者之資料、資訊及/或類似者之裝置、系統及方法。
以下係本發明之態樣之數項非限制性實例。
一項實例包含：一種材料輸送裝置，其包含側壁、一頂壁、一底板、一內部空間及一後壁。該材料輸送裝置另外包含一機器可讀碼裝置。該材料輸送裝置此外包含至少一個電力連接器，該至少一個電力連接器經組態以將電力提供至該材料輸送裝置之組件。該材料輸送裝置亦包含至少一個感測器，該至少一個感測器經組態以感測與該材料輸送裝置及/或服務元件相關聯之一物理特性以部分地產生裝置相關資訊。該材料輸送裝置進一步包含一收發器，該收發器經組態以該將裝置相關資訊傳輸至一控制器。該材料輸送裝置另外包含一固持機構，該固持機構配置於該內部空間內且經組態以接收及/或牢固地固持該服務元件。
上述實例可進一步包含多於一項以下實例之任一者或一組合：上述實例之材料輸送裝置，其中該至少一個感測器可包含一溫度感測器。上述實例之材料輸送裝置，其中該材料輸送裝置可包含經組態以固持該服務元件之一前開式晶圓傳送盒(FOUP)之一組態。上述實例之材料輸送裝置可包含經組態以連接至一運輸系統之一組件的一連接總成。上述實例之材料輸送裝置，其中該服務元件包含一機器可讀碼。上述實例之材料輸送裝置，其中該固持機構經組態以接合該服務元件之一表面。上述實例之材料輸送裝置，其中該固持機構可包含作為一彈性組件的一夾持器組件、一材料組件、一摩擦配合組件及/或一固持器組件。上述實例之材料輸送裝置，其中該服務元件包含一材料注射器、一施配器閥、一施配器筒及/或一施配器杯之至少一者。上述實例之材料輸送裝置，其中該機器可包含一施配機。上述實例之系統及用於自動材料輸送之系統可包含：一機器，其經組態以使用一服務元件；一控制器，其經組態以提供該服務元件、該材料輸送裝置及/或該機器之操作、控制及/或監督；及至少一個機器碼讀取裝置，其經組態以讀取該材料輸送裝置之該機器可讀碼裝置及/或該服務元件之一機器可讀碼裝置。上述實例之系統，其中該控制器經組態以在該控制器基於該裝置相關資訊判定該材料輸送裝置及/或該服務元件不正確時提供一錯誤指示及/或停止操作。上述實例之系統，其中該機器可包含經組態以自該材料輸送裝置移除該服務元件之一運送系統。上述實例之系統，其中該機器經組態以將該服務元件移動至該機器之一操作部分上。上述實例之系統，其中該服務元件可包含一材料注射器、一施配器閥、一施配器筒及/或一施配器杯之至少一者。上述實例之系統，其中該服務元件可包含經組態以連接至一操作部分以便提供該施配器閥之致動的連接件。上述實例之系統，其中該機器經組態以藉由該施配器閥之一受控操作而自該材料注射器施配一流體通過該施配器筒。上述實例之系統，其中該服務元件可進一步包含一附接板且該服務元件之部分經組態以附接至該附接板；且其中該附接板可包含經組態以連接至該機器之一操作部分之對應連接件的連接件。上述實例之系統可包含經組態為一設備前端模組(EFEM)之一模組裝置。上述實例之系統，其中該模組裝置可包含用以固持該材料輸送裝置及/或該服務元件之一冷藏室。上述實例之系統，其中該模組裝置經組態以沿著一運輸路徑將該材料輸送裝置及/或該服務元件運送至該機器以及自該機器運送該材料輸送裝置及/或該服務元件。上述實例之系統，其中該模組裝置可包含經組態以自該材料輸送裝置移除該服務元件之一運送系統。上述實例之系統可包含經組態以定位於該模組裝置及/或該機器中之一轉塔式工具更換器。上述實例之系統，其中該轉塔式工具更換器可包含經組態以接合及固持該服務元件之一或多個組件的複數個附接部分。上述實例之系統可包含經組態以將該材料輸送裝置連同該服務元件一起移動至該機器之一運輸系統。上述實例之系統，其中該運輸系統經組態以沿著該裝置製造設施內之一運輸路徑移動至該機器。上述實例之系統中，該運輸系統可包含一自動材料處置系統(AMHS)及/或一自動導向車輛(AGV)。上述實例之系統可包含：一資料收集系統，該資料收集系統經組態以接收、分析、儲存及提供與用於自動材料輸送之該系統、該服務元件、該機器、該裝置製造設施、一模組裝置及/或一運輸系統相關之該裝置相關資訊。上述實例之系統，其中該資料收集系統可包含至少一個處理器、至少一個資料庫、至少一個網路介面、至少一個輸入輸出裝置及至少一個記憶體。上述實例之系統，其中該裝置相關資訊可包含以下項之至少一者：特定操作之日期及時間、施配之日期及時間、機器序號、壓力、溫度、指令碼偏移資料、施配設定、施配度量、閥序號、循環、校準資料、編碼器軌跡、筒序號、循環、消耗品壽命、流體批號、罐壽命、注射器液位及/或晶圓序號。上述實例之系統，其中該資料收集系統及該機器碼讀取裝置經組態以識別用於自動材料輸送之該系統的一組件。上述實例之系統，其中該資料收集系統經組態以接收用於自動材料輸送之該系統的一組件之該裝置相關資訊。上述實例之系統，其中該資料收集系統經組態以傳輸該裝置相關資訊。上述實例之系統，其中該資料收集系統經組態以執行由該資料收集系統對該裝置相關資訊之分析。上述實例之系統，其中由該資料收集系統對該裝置相關資訊之該分析包含針對包含該服務元件、該機器及/或該材料輸送裝置之該裝置製造設施之一或多個組件的分析、判定及/或處理。上述實例之系統，其中該分析與以下項相關：自動程序控制；自動錯誤預測及恢復；資料分析及可追溯性；感測器資料；警報狀態；命令操作；施配度量；生產健康；自動程序控制常式；用以滿足效能規範之設定；對正常與異常施配狀態進行分類；用以根據需要調整設定之程序控制演算法；用以在最少操作者干預之情況下預測常見警報及錯誤狀態、辨識常見警報及錯誤狀態以及自常見警報及錯誤狀態恢復之經記錄感測器資料；及/或用於自動材料輸送之該系統的各種機器之控制。
一項實例包含：一種材料輸送程序，其包含實施一材料輸送裝置。該材料輸送程序另外包含將該材料輸送裝置組態成具有側壁、一頂壁、一底板、一內部空間及一後壁。該材料輸送程序此外包含將該材料輸送裝置組態成具有一機器可讀碼裝置。該材料輸送程序亦包含將該材料輸送裝置組態成具有至少一個電力連接器，該至少一個電力連接器經組態以將電力提供至該材料輸送裝置之組件。該材料輸送程序進一步包含將該材料輸送裝置組態成具有至少一個感測器以感測與該材料輸送裝置及/或服務元件相關聯之一物理特性以部分地產生裝置相關資訊。該材料輸送程序另外包含將該材料輸送裝置組態成具有一收發器以將該裝置相關資訊傳輸至一控制器。該材料輸送程序此外包含將該材料輸送裝置組態成具有配置於該內部空間內以接收及/或牢固地固持該服務元件之一固持機構。
上述實例可進一步包含多於一項以下實例之任一者或一組合：上述實例之材料輸送程序，其中該至少一個感測器可包含一溫度感測器。上述實例之材料輸送程序，其中該材料輸送裝置可包含經組態以固持該服務元件之一前開式晶圓傳送盒(FOUP)之一組態。上述實例之材料輸送程序可包含將該材料輸送裝置組態成具有經組態以連接至一運輸系統之一組件的一連接總成。上述實例之材料輸送程序，其中該服務元件包含一機器可讀碼。上述實例之材料輸送程序，其中該固持機構經組態以接合該服務元件之一表面。上述實例之材料輸送程序，其中該固持機構可包含作為一彈性組件的一夾持器組件、一材料組件、一摩擦配合組件及/或一固持器組件。上述實例之材料輸送程序，其中該服務元件可包含一材料注射器、一施配器閥、一施配器筒及/或一施配器杯之至少一者。上述實例之材料輸送程序，其中該機器可包含一施配機。上述實例之材料輸送程序可包含：實施經組態以使用一服務元件之一機器；實施一控制器以提供該服務元件、該材料輸送裝置及/或該機器之操作、控制及/或監督；及實施至少一個機器碼讀取裝置以讀取該材料輸送裝置之該機器可讀碼裝置及/或該服務元件之一機器可讀碼裝置。上述實例之材料輸送程序，其中該控制器經組態以在該控制器基於該裝置相關資訊判定該材料輸送裝置及/或該服務元件不正確時提供一錯誤指示及/或停止操作。上述實例之材料輸送程序，其中該機器可包含經組態以自該材料輸送裝置移除該服務元件之一運送系統。上述實例之材料輸送程序，其中該機器經組態以將該服務元件移動至該機器之一操作部分上。上述實例之材料輸送程序，其中該服務元件可包含一材料注射器、一施配器閥、一施配器筒及/或一施配器杯之至少一者。上述實例之材料輸送程序，其中該服務元件可包含經組態以連接至一操作部分以便提供該施配器閥之致動的連接件。上述實例之材料輸送程序，其中該機器經組態以藉由該施配器閥之一受控操作而自該材料注射器施配一流體通過該施配器筒。上述實例之材料輸送程序，其中該服務元件進一步包含一附接板且該服務元件之部分經組態以附接至該附接板；且其中該附接板可包含經組態以連接至該機器之一操作部分之對應連接件的連接件。上述實例之材料輸送程序可包含實施經組態為一設備前端模組(EFEM)之一模組裝置。上述實例之材料輸送程序，其中該模組裝置可包含用以固持該材料輸送裝置及/或該服務元件之一冷藏室。上述實例之材料輸送程序，其中該模組裝置經組態以沿著一運輸路徑將該材料輸送裝置及/或該服務元件運送至該機器以及自該機器運送該材料輸送裝置及/或該服務元件。上述實例之材料輸送程序，其中該模組裝置可包含經組態以自該材料輸送裝置移除該服務元件之一運送系統。上述實例之材料輸送程序可包含實施經組態以定位於該模組裝置及/或該機器中之一轉塔式工具更換器。上述實例之材料輸送程序，其中該轉塔式工具更換器可包含經組態以接合及固持該服務元件之一或多個組件的複數個附接部分。上述實例之材料輸送程序可包含實施經組態以將該材料輸送裝置連同該服務元件一起移動至該機器之一運輸系統。上述實例之材料輸送程序，其中該運輸系統經組態以沿著該裝置製造設施內之一運輸路徑移動至該機器器。上述實例之材料輸送程序，其中該運輸系統可包含一自動材料處置系統(AMHS)及/或一自動導向車輛(AGV)。上述實例之材料輸送程序可包含：實施一資料收集系統，其經組態以接收、分析、儲存及提供與用於自動材料輸送之該系統、該服務元件、該機器、該裝置製造設施、一模組裝置及/或一運輸系統相關之該裝置相關資訊。上述實例之材料輸送程序，其中該資料收集系統可包含至少一個處理器、至少一個資料庫、至少一個網路介面、至少一個輸入輸出裝置及至少一個記憶體。上述實例之材料輸送程序，其中該裝置相關資訊可包含以下項之至少一者：特定操作之日期及時間、施配之日期及時間、機器序號、壓力、溫度、指令碼偏移資料、施配設定、施配度量、閥序號、循環、校準資料、編碼器軌跡、筒序號、循環、消耗品壽命、流體批號、罐壽命、注射器液位及/或晶圓序號。上述實例之材料輸送程序可包含利用該資料收集系統識別用於自動材料輸送之一組件。上述實例之材料輸送程序可包含利用該資料收集系統接收一組件之裝置相關資訊。上述實例之材料輸送程序可包含利用該資料收集系統傳輸該裝置相關資訊。上述實例之材料輸送程序可包含利用該資料收集系統執行該裝置相關資訊之分析。上述實例之材料輸送程序，其中由該資料收集系統對該裝置相關資訊之該分析包含針對包含該服務元件、該機器及/或該材料輸送裝置之該裝置製造設施之一或多個組件的分析、判定及/或處理。上述實例之材料輸送程序，其中該分析與以下項相關：自動程序控制；自動錯誤預測及恢復；資料分析及可追溯性；感測器資料；警報狀態；命令操作；施配度量；生產健康；自動程序控制常式；用以滿足效能規範之設定；對正常與異常施配狀態進行分類；用以根據需要調整設定之程序控制演算法；用以在最少操作者干預之情況下預測常見警報及錯誤狀態、辨識常見警報及錯誤狀態以及自常見警報及錯誤狀態恢復之經記錄感測器資料；及/或用於自動材料輸送之各種機器之控制。
如熟習此項技術者可明白，所繪示結構係一邏輯結構而非一實體結構。據此，所繪示模組可藉由採用各種硬體及軟體組件來實施。另外，兩個或更多個邏輯組件可被實施為針對兩個組件提供功能性之單個模組。在一個態樣中，該等組件被實施為軟體程式模組。
將理解，儘管術語第一、第二及/或類似者可在本文中用來描述各種元件，但此等元件不應受此等術語限制。此等術語僅用來區分一個元件與另一元件。例如，在不脫離本發明之範疇之情況下，一第一元件可被稱為第二元件，且類似地，一第二元件可被稱為第一元件。如本文中所使用，術語「及/或」包含一或多個相關聯所列品項之任何及所有組合。
將理解，當諸如一層、區或基板之一元件被稱為「在另一元件上」或「延伸至另一元件上」時，該元件可直接在另一元件上或直接延伸至另一元件上或亦可存在中介元件。相反，當一元件被稱為「直接在另一元件上」或「直接延伸至另一元件上」時，不存在中介元件。同樣，將理解，當諸如一層、區或基板之一元件被稱為「在另一元件上方」或「在另一元件上方延伸」時，該元件可直接在另一元件上方或直接在另一元件上方延伸或亦可存在中介元件。相反，當一元件被稱為「直接在另一元件上方」或「直接在另一元件上方延伸」時，不存在中介元件。亦將理解，當一元件被稱為「連接」或「耦合」至另一元件時，該元件可直接連接或耦合至另一元件，或可存在中介元件。相反，當一元件被稱為「直接連接」或「直接耦合」至另一元件時，不存在中介元件。
諸如「在…下方」或「在…上方」或「上」或「下」或「水平」或「垂直」之相對術語在本文中可用來描述如附圖中所繪示之一個元件、層或區與另一元件、層或區之一關係。將理解，此等術語及上文所論述之術語意欲於除涵蓋附圖中所描繪之定向之外，亦涵蓋裝置之不同定向。
本文中所使用之術語僅用於描述特定態樣之目的且並不意欲於限制本發明。如本文中所使用，單數形式「一」、「一個」及「該」意欲於亦包含複數形式，除非內文清楚地另有指示。將進一步理解，術語「包括(comprises)」、「包括(comprising)」、「包含(includes)」及/或「包含(including)」在本文中使用時指定存在所陳述特徵、整數、步驟、操作、元件及/或組件，但不排除存在或添加一或多個其他特徵、整數、步驟、操作、元件、組件及/或其等組合。
除非另有定義，否則本文中所使用之所有術語(包含技術及科學術語)具有相同於本發明所屬技術之一般技術者通常理解之含義之含義。將進一步理解，本文中所使用之術語應被解釋為具有與其等在本說明書及相關技術之內文中之含義一致之含義，且將不以一理想化或過於正式的意義進行解釋，除非本文中如此明確地定義。
本發明之態樣可包含可為使用已知協定(諸如全球移動通訊系統(GSM)、CDMA (分碼多重存取)、GSM/EDGE及UMTS/HSPA網路技術、長期演進(LTE)、5G (第五代行動網路或第五代無線系統)、WiMAX、HSPA+、W-CDMA (寬頻分碼多重存取)、CDMA2000 (亦被稱為C2K或IMT多載波(IMT MC))、無線保真(Wi-Fi)、藍牙及/或類似者，及/或其等兩者或更多者之一組合)的任何類型之有線或無線電子通訊網路之通訊通道，諸如舉例而言，一有線/無線區域網路(LAN)、一有線/無線個人區域網路(PAN)、一有線/無線家庭區域網路(HAN)、一有線/無線廣域網路(WAN)、一校園網路、一都會區域網路、一企業私人網路、一虛擬私人網路(VPN)、一內連網路、一骨幹網路(BBN)、一全球區域網路(GAN)、網際網路、一內部網路、一外部網路、一疊加網路、近場通訊(NFC)、一蜂巢電話網絡、一個人通訊服務(PCS)。NFC標準涵蓋通訊協定及資料置換格式，且基於既有射頻識別(RFID)標準，包含ISO/IEC 14443及FeliCa。該等標準包含ISO/IEC 18092[3]及由NFC論壇定義之標準。
本發明可在經由通訊通道具有有線/無線通訊能力之任何類型之運算裝置中實施，諸如舉例而言，一桌上型電腦、個人電腦、一膝上型/行動電腦、一個人數位助理(PDA)、一行動電話、一平板電腦、雲端運算裝置及/或類似者。
此外，根據本發明之各個態樣，如本文中所描述之方法意欲用於與經構建以實施本文中所描述之方法之專用硬體實施方案一起操作，包含但不限於PC、PDA、半導體、專用積體電路(ASIC)、可程式化邏輯陣列、雲端運算裝置及其他硬體裝置。
亦應注意，如本文中所描述之本發明之軟體實施方案視情況儲存於一有形儲存媒體上，諸如：一磁性媒體，諸如一磁碟或磁帶；一磁光或光學媒體，諸如一磁碟；或一固態媒體，諸如容納一或多個唯讀(非揮發性)記憶體、隨機存取記憶體或其他可重寫(揮發性)記憶體之一記憶卡或其他封裝。電子郵件或其他自含式資訊存檔或存檔集之一數位檔案附件被視為等效於一有形儲存媒體之一分佈媒體。據此，本發明被視為包含一有形儲存媒體或分佈媒體，如本文中所列且包含技術公認的等效物及後繼媒體，其中儲存如本文中之軟體實施方案。
另外，本發明之各個態樣可在一非通用電腦實施方案中實施。此外，本文中所闡述之本發明之各個態樣改良系統之運作，此自如本發明顯而易見。此外，本發明之各個態樣涉及專門經程式化以解決由本發明所解決之複雜問題之電腦硬體。據此，本發明之各個態樣在其特定實施方案中總體上改良系統之運作以執行由本發明闡述且如由發明申請專利範圍界定之程序。
本發明之態樣可在經由通訊通道具有有線/無線通訊能力之任何類型之運算裝置中實施，諸如舉例而言，一桌上型電腦、個人電腦、一膝上型/行動電腦、一個人數位助理(PDA)、一行動電話、一平板電腦、雲端運算裝置及/或類似者。
人工智慧及/或機器學習可利用任何數目種方法，包含控制論及大腦模擬、符號、認知模擬、基於邏輯、反邏輯、基於知識、子符號、體現智慧、運算智慧及軟運算、機器學習及統計及/或類似者之一或多者。
本發明之態樣可包含執行經組態以接受來自一用戶端之請求且據此給出回應之一應用程式或軟體之一執行個體的一伺服器。伺服器可在包含專用電腦之任何電腦上運作。電腦可包含至少一個處理元件，通常係一中央處理單元(CPU)及某種形式之記憶體。處理元件可實行算術及邏輯運算，且一定序及控制單元可回應於經儲存資訊而改變操作之次序。伺服器可包含可允許自一外部來源擷取資訊且保存及擷取操作之結果的周邊裝置。伺服器可在一用戶端-伺服器架構內操作。伺服器可代表用戶端執行一些任務。用戶端可透過網路在如本文中所定義之一通訊通道上連接至伺服器。伺服器可使用具有錯誤偵測及校正之記憶體、冗餘磁碟、冗餘電力供應器等。
本發明之諸多特徵及優點自詳細描述係顯而易見的，且因此，隨附發明申請專利範圍意欲於涵蓋落入本發明之真實精神及範疇內之本發明之所有此等特徵及優點。此外，由於熟習此項技術者將容易想到諸多修改及變化型態，因此不期望將本發明限於所繪示及描述之確切構造及操作，且據此，所有合適修改及等效物可訴諸於落入本發明之範疇內。
100:系統 101:供應站 102:裝載站 103:運輸路徑 104:輸送站 105:運輸路徑 106:運輸路徑 107:站 108:運輸路徑 109:卸載站 110:處理站 112:遠端操作者 180:機器人 182:臂 184:操縱器 190:機器碼讀取裝置 200:服務元件 202:材料注射器 204:施配器閥 206:施配器筒 208:施配器杯 218:連接件 222:機器可讀碼 232:附接支架 240:附接板 300:施配機 302:運送系統 310:操作部分 312:箭頭 314:箭頭 316:箭頭 380:轉塔式工具更換器 382:附接部分 400:材料輸送裝置 402:側壁 404:頂壁 406:底板 408:內部空間 410:連接總成 412:手柄 414:開口 416:框架 420:門 422:機器可讀碼 424:固持機構 426:後壁 460:箭頭 462:箭頭 490:感測器 492:電力連接器 494:收發器 500:裝置製造設施 502:控制器 504:模組裝置 506:堆料機裝置 508:運送系統 510:網路介面 512:區塊鏈 522:運輸腔 550:功能性應用程式設計介面(API)系統 552:管理應用程式設計介面(API)系統 560:裝置相關資訊 566:輸入輸出裝置 576:處理器 580:電腦 588:記憶體 590:資料收集系統 592:資料庫 600:運輸系統 602:自動材料處置系統(AMHS) 606:懸吊式升降運輸車輛 607:卸載/裝載系統 608:懸掛軌道 650:自動導向車輛(AGV) 652:驅動系統 654:導航感測器 656:裝載台或平台 658:全向輪 700:程序 702:步驟 704:步驟 706:步驟 708:步驟
圖1繪示根據本發明之態樣之用於自動材料輸送之一系統之一實例性實施方案。
圖2繪示根據圖1之系統之一部分視圖。
圖3繪示根據圖1之系統之另一部分視圖。
圖4繪示根據本發明之態樣之一材料輸送裝置之一正面透視圖。
圖5繪示根據圖4之材料輸送裝置之一側視圖。
圖6繪示根據本發明之態樣之材料輸送裝置及服務元件之一側視圖。
圖7繪示根據本發明之態樣之材料輸送裝置之一橫截面俯視圖。
圖8繪示根據本發明之態樣之材料輸送裝置之一橫截面側視圖。
圖9繪示根據本發明之態樣之運輸系統之一實例性實施方案。
圖10繪示根據本發明之態樣之運輸系統之另一實例性實施方案。
圖11繪示根據本發明之態樣之模組裝置及施配機之一實例性實施方案。
圖12繪示由本發明之數個不同組件實施之一機器人之一實例性實施方案。
圖13繪示根據本發明之態樣之服務元件之一實例性實施方案之一側視圖。
圖14繪示根據圖13之服務元件之一實例性實施方案之一俯視圖。
圖15繪示根據本發明之態樣之施配機之一部分側視圖。
圖16A繪示根據本發明之態樣之材料輸送裝置及服務元件之一橫截面俯視圖。
圖16B繪示根據圖16A之材料輸送裝置及服務元件之一橫截面側視圖。
圖16C繪示根據本發明之態樣之材料輸送裝置及服務元件之一橫截面俯視圖。
圖16D繪示根據本發明之態樣之材料輸送裝置及服務元件之一橫截面側視圖。
圖17繪示根據本發明之態樣之實例性置換操作。
圖18繪示根據本發明之態樣之進一步實例性置換操作。
圖19繪示根據本發明之態樣之進一步實例性置換操作。
圖20繪示根據本發明之態樣之進一步實例性置換操作。
圖21繪示根據本發明之態樣之模組裝置及/或施配機之另一實施方案。
圖22繪示根據本發明之原理之一資料收集系統。
圖23繪示根據本發明之原理實施用於自動材料輸送之系統及/或資料收集系統之一程序。
100:系統
101:供應站
102:裝載站
103:運輸路徑
104:輸送站
105:運輸路徑
106:運輸路徑
107:站
108:運輸路徑
109:卸載站
110:處理站
112:遠端操作者
200:服務元件
300:施配機
400:材料輸送裝置
500:裝置製造設施
502:控制器
600:運輸系統

Claims (108)

  1. 一種經組態以在一裝置製造設施內提供一服務元件至一機器之輸送之材料輸送裝置，該材料輸送裝置包括： 側壁、一頂壁、一底板、一內部空間及一後壁； 一機器可讀碼裝置； 至少一個電力連接器，其經組態以將電力提供至該材料輸送裝置之組件； 至少一個感測器，其經組態以感測與該材料輸送裝置及/或該服務元件相關聯之一物理特性以部分地產生裝置相關資訊； 一收發器，其經組態以該將裝置相關資訊傳輸至一控制器；及 一固持機構，其配置於該內部空間內且經組態以接收及/或牢固地固持該服務元件。
  2. 如請求項1之材料輸送裝置，其中該至少一個感測器包括一溫度感測器。
  3. 如請求項1之材料輸送裝置，其中該材料輸送裝置包括經組態以固持該服務元件之一前開式晶圓傳送盒(FOUP)之一組態。
  4. 如請求項1之材料輸送裝置，其進一步包括經組態以連接至一運輸系統之一組件的一連接總成。
  5. 如請求項1之材料輸送裝置，其中該服務元件包含一機器可讀碼。
  6. 如請求項1之材料輸送裝置，其中該固持機構經組態以接合該服務元件之一表面。
  7. 如請求項1之材料輸送裝置，其中該固持機構包括作為一彈性組件的一夾持器組件、一材料組件、一摩擦配合組件及/或一固持器組件。
  8. 如請求項1之材料輸送裝置，其中該服務元件包括一材料注射器、一施配器閥、一施配器筒、一清潔帶、一基準磚、一淨化杯、一刻度杯、一清潔帶及/或一施配器杯之至少一者。
  9. 如請求項1之材料輸送裝置，其中該機器包括一施配機。
  10. 一種經組態以提供一服務元件至一機器之輸送的用於自動材料輸送之系統，用於自動材料輸送之該系統包括如請求項1之材料輸送裝置且用於自動材料輸送之該系統進一步包括： 一機器，其經組態以使用一服務元件； 一控制器，其經組態以提供該服務元件、該材料輸送裝置及/或該機器之操作、控制及/或監督；及 至少一個機器碼讀取裝置，其經組態以讀取該材料輸送裝置之該機器可讀碼裝置及/或該服務元件之一機器可讀碼裝置。
  11. 如請求項10之用於自動材料輸送之系統，其中該控制器經組態以在該控制器基於該裝置相關資訊判定該材料輸送裝置及/或該服務元件不正確時提供一錯誤指示及/或停止操作。
  12. 如請求項10之用於自動材料輸送之系統，其中該機器包括經組態以自該材料輸送裝置移除該服務元件之一運送系統。
  13. 如請求項10之用於自動材料輸送之系統，其中該機器經組態以將該服務元件移動至該機器之一操作部分上。
  14. 如請求項10之用於自動材料輸送之系統，其中該機器包括經組態以將該服務元件插入至該材料輸送裝置中之一運送系統。
  15. 如請求項10之用於自動材料輸送之系統，其中該機器經組態以自該機器之一操作部分移除該服務元件。
  16. 如請求項10之用於自動材料輸送之系統，其中該服務元件包括一材料注射器、一施配器閥、一施配器筒、一清潔帶、一基準磚、一淨化杯、一刻度杯、一清潔帶及/或一施配器杯之至少一者。
  17. 如請求項16之用於自動材料輸送之系統，其中該服務元件包括經組態以連接至一操作部分以便提供該施配器閥之致動的連接件。
  18. 如請求項16之用於自動材料輸送之系統，其中該機器經組態以藉由該施配器閥之一受控操作而自該材料注射器施配一流體通過該施配器筒。
  19. 如請求項10之用於自動材料輸送之系統 其中該服務元件進一步包括一附接板且該服務元件之部分經組態以附接至該附接板；且 其中該附接板包括經組態以連接至該機器之一操作部分之對應連接件的連接件。
  20. 如請求項10之用於自動材料輸送之系統，其進一步包括經組態為一設備前端模組(EFEM)之一模組裝置。
  21. 如請求項20之用於自動材料輸送之系統，其中該模組裝置包括用以固持該材料輸送裝置及/或該服務元件之一冷藏室。
  22. 如請求項20之用於自動材料輸送之系統，其中該模組裝置經組態以沿著一運輸路徑將該材料輸送裝置及/或該服務元件運送至該機器以及自該機器運送該材料輸送裝置及/或該服務元件。
  23. 如請求項20之用於自動材料輸送之系統，其中該模組裝置包括經組態以自該材料輸送裝置移除該服務元件之一運送系統。
  24. 如請求項20之用於自動材料輸送之系統，其中該模組裝置包括經組態以將該服務元件插入至該材料輸送裝置中之一運送系統。
  25. 如請求項20之用於自動材料輸送之系統，其進一步包括經組態以定位於該模組裝置及/或該機器中之一轉塔式工具更換器。
  26. 如請求項25之用於自動材料輸送之系統，其中該轉塔式工具更換器包括經組態以接合及固持該服務元件之一或多個組件的複數個附接部分。
  27. 如請求項10之用於自動材料輸送之系統，其進一步包括經組態以將該材料輸送裝置連同該服務元件一起移動至該機器之一運輸系統。
  28. 如請求項27之用於自動材料輸送之系統，其中該運輸系統經組態以沿著該裝置製造設施內之一運輸路徑移動至該機器。
  29. 如請求項27之用於自動材料輸送之系統，其中該運輸系統包括一自動材料處置系統(AMHS)及/或一自動導向車輛(AGV)。
  30. 如請求項10之用於自動材料輸送之系統，其進一步包括： 一資料收集系統，其經組態以接收、分析、儲存及提供與用於自動材料輸送之該系統、該服務元件、該機器、該裝置製造設施、一模組裝置及/或一運輸系統相關之該裝置相關資訊。
  31. 如請求項30之用於自動材料輸送之系統，其中該資料收集系統包括至少一個處理器、至少一個資料庫、至少一個網路介面、至少一個輸入輸出裝置及至少一個記憶體。
  32. 如請求項30之用於自動材料輸送之系統，其中該裝置相關資訊包括以下項之至少一者：特定操作之日期及時間、施配之日期及時間、機器序號、壓力、溫度、指令碼偏移資料、施配設定、施配度量、閥序號、循環、校準資料、編碼器軌跡、筒序號、循環、消耗品壽命、流體批號、罐壽命、注射器液位及/或晶圓序號。
  33. 如請求項30之用於自動材料輸送之系統，其中該資料收集系統及該機器碼讀取裝置經組態以識別用於自動材料輸送之該系統的一組件。
  34. 如請求項30之用於自動材料輸送之系統，其中該資料收集系統經組態以接收用於自動材料輸送之該系統的一組件之該裝置相關資訊。
  35. 如請求項30之用於自動材料輸送之系統，其中該資料收集系統經組態以傳輸該裝置相關資訊。
  36. 如請求項30之用於自動材料輸送之系統，其中該資料收集系統經組態以執行由該資料收集系統對該裝置相關資訊之分析。
  37. 如請求項36之用於自動材料輸送之系統，其中由該資料收集系統對該裝置相關資訊之該分析包括針對包含該服務元件、該機器及/或該材料輸送裝置之該裝置製造設施之一或多個組件的分析、判定及/或處理。
  38. 如請求項36之用於自動材料輸送之系統，其中該分析與以下項相關：自動程序控制；自動錯誤預測及恢復；資料分析及可追溯性；感測器資料；警報狀態；命令操作；施配度量；生產健康；自動程序控制常式；用以滿足效能規範之設定；對正常與異常施配狀態進行分類；用以根據需要調整設定之程序控制演算法；用以在最少操作者干預之情況下預測常見警報及錯誤狀態、辨識常見警報及錯誤狀態以及自常見警報及錯誤狀態恢復之經記錄感測器資料；及/或用於自動材料輸送之該系統的各種機器之控制。
  39. 一種用以在一裝置製造設施內提供一服務元件至一機器之輸送之材料輸送程序，該材料輸送程序包括： 實施一材料輸送裝置； 將該材料輸送裝置組態成具有側壁、一頂壁、一底板、一內部空間及一後壁； 將該材料輸送裝置組態成具有一機器可讀碼裝置； 將該材料輸送裝置組態成具有至少一個電力連接器，該至少一個電力連接器經組態以將電力提供至該材料輸送裝置之組件； 將該材料輸送裝置組態成具有至少一個感測器以感測與該材料輸送裝置及/或該服務元件相關聯之一物理特性以部分地產生裝置相關資訊； 將該材料輸送裝置組態成具有一收發器以將該裝置相關資訊傳輸至一控制器；及 將該材料輸送裝置組態成具有配置於該內部空間內以接收及/或牢固地固持該服務元件之一固持機構。
  40. 如請求項39之材料輸送程序，其中該至少一個感測器包括一溫度感測器。
  41. 如請求項39之材料輸送程序，其中該材料輸送裝置包括經組態以固持該服務元件之一前開式晶圓傳送盒(FOUP)之一組態。
  42. 如請求項39之材料輸送程序，其進一步包括將該材料輸送裝置組態成具有經組態以連接至一運輸系統之一組件的一連接總成。
  43. 如請求項39之材料輸送程序，其中該服務元件包含一機器可讀碼。
  44. 如請求項39之材料輸送程序，其中該固持機構經組態以接合該服務元件之一表面。
  45. 如請求項39之材料輸送程序，其中該固持機構包括作為一彈性組件的一夾持器組件、一材料組件、一摩擦配合組件及/或一固持器組件。
  46. 如請求項39之材料輸送程序，其中該服務元件包括一材料注射器、一施配器閥、一施配器筒、一清潔帶、一基準磚、一淨化杯、一刻度杯、一清潔帶及/或一施配器杯之至少一者。
  47. 如請求項39之材料輸送程序，其中該機器包括一施配機。
  48. 如請求項39之材料輸送程序，其進一步包括： 實施經組態以使用一服務元件之一機器； 實施一控制器以提供該服務元件、該材料輸送裝置及/或該機器之操作、控制及/或監督；及 實施至少一個機器碼讀取裝置以讀取該材料輸送裝置之該機器可讀碼裝置及/或該服務元件之一機器可讀碼裝置。
  49. 如請求項48之材料輸送程序，其中該控制器經組態以在該控制器基於該裝置相關資訊判定該材料輸送裝置及/或該服務元件不正確時提供一錯誤指示及/或停止操作。
  50. 如請求項48之材料輸送程序，其中該機器包括經組態以自該材料輸送裝置移除該服務元件之一運送系統。
  51. 如請求項48之材料輸送程序，其中該機器經組態以將該服務元件移動至該機器之一操作部分上。
  52. 如請求項48之材料輸送程序，其中該機器包括經組態以將該服務元件插入至該材料輸送裝置中之一運送系統。
  53. 如請求項48之材料輸送程序，其中該機器經組態以自該機器之一操作部分移除該服務元件。
  54. 如請求項48之材料輸送程序，其中該服務元件包括一材料注射器、一施配器閥、一施配器筒、一清潔帶、一基準磚、一淨化杯、一刻度杯、一清潔帶及/或一施配器杯之至少一者。
  55. 如請求項54之材料輸送程序，其中該服務元件包括經組態以連接至一操作部分以便提供該施配器閥之致動的連接件。
  56. 如請求項54之材料輸送程序，其中該機器經組態以藉由該施配器閥之一受控操作而自該材料注射器施配一流體通過該施配器筒。
  57. 如請求項48之材料輸送程序 其中該服務元件進一步包括一附接板且該服務元件之部分經組態以附接至該附接板；且 其中該附接板包括經組態以連接至該機器之一操作部分之對應連接件的連接件。
  58. 如請求項48之材料輸送程序，其進一步包括實施經組態為一設備前端模組(EFEM)之一模組裝置。
  59. 如請求項58之材料輸送程序，其中該模組裝置包括用以固持該材料輸送裝置及/或該服務元件之一冷藏室。
  60. 如請求項58之材料輸送程序，其中該模組裝置經組態以沿著一運輸路徑將該材料輸送裝置及/或該服務元件運送至該機器以及自該機器運送該材料輸送裝置及/或該服務元件。
  61. 如請求項58之材料輸送程序，其中該模組裝置包括經組態以自該材料輸送裝置移除該服務元件之一運送系統。
  62. 如請求項58之材料輸送程序，其中該模組裝置包括經組態以將該服務元件插入至該材料輸送裝置中之一運送系統。
  63. 如請求項58之材料輸送程序，其進一步包括實施經組態以定位於該模組裝置及/或該機器中之一轉塔式工具更換器。
  64. 如請求項63之材料輸送程序，其中該轉塔式工具更換器包括經組態以接合及固持該服務元件之一或多個組件的複數個附接部分。
  65. 如請求項48之材料輸送程序，其進一步包括實施經組態以將該材料輸送裝置連同該服務元件一起移動至該機器之一運輸系統。
  66. 如請求項65之材料輸送程序，其中該運輸系統經組態以沿著該裝置製造設施內之一運輸路徑移動至該機器。
  67. 如請求項65之材料輸送程序，其中該運輸系統包括一自動材料處置系統(AMHS)及/或一自動導向車輛(AGV)。
  68. 如請求項48之材料輸送程序，其進一步包括： 實施一資料收集系統，其經組態以接收、分析、儲存及提供與用於自動材料輸送之該系統、該服務元件、該機器、該裝置製造設施、一模組裝置及/或一運輸系統相關之該裝置相關資訊。
  69. 如請求項68之材料輸送程序，其中該資料收集系統包括至少一個處理器、至少一個資料庫、至少一個網路介面、至少一個輸入輸出裝置及至少一個記憶體。
  70. 如請求項68之材料輸送程序，其中該裝置相關資訊包括以下項之至少一者：特定操作之日期及時間、施配之日期及時間、機器序號、壓力、溫度、指令碼偏移資料、施配設定、施配度量、閥序號、循環、校準資料、編碼器軌跡、筒序號、循環、消耗品壽命、流體批號、罐壽命、注射器液位及/或晶圓序號。
  71. 如請求項68之材料輸送程序，其進一步包括利用該資料收集系統識別用於自動材料輸送之一組件。
  72. 如請求項68之材料輸送程序，其進一步包括利用該資料收集系統接收一組件之裝置相關資訊。
  73. 如請求項68之材料輸送程序，其進一步包括利用該資料收集系統傳輸該裝置相關資訊。
  74. 如請求項68之材料輸送程序，其進一步包括利用該資料收集系統執行該裝置相關資訊之分析。
  75. 如請求項74之材料輸送程序，其中由該資料收集系統對該裝置相關資訊之該分析包括針對包含該服務元件、該機器及/或該材料輸送裝置之該裝置製造設施之一或多個組件的分析、判定及/或處理。
  76. 如請求項74之材料輸送程序，其中該分析與以下項相關：自動程序控制；自動錯誤預測及恢復；資料分析及可追溯性；感測器資料；警報狀態；命令操作；施配度量；生產健康；自動程序控制常式；用以滿足效能規範之設定；對正常與異常施配狀態進行分類；用以根據需要調整設定之程序控制演算法；用以在最少操作者干預之情況下預測常見警報及錯誤狀態、辨識常見警報及錯誤狀態以及自常見警報及錯誤狀態恢復之經記錄感測器資料；及/或用於自動材料輸送之各種機器之控制。
  77. 一種經組態以在一裝置製造設施內提供一服務元件至一機器之輸送之材料輸送裝置，該材料輸送裝置包括： 側壁、一頂壁、一底板、一內部空間及一後壁； 一機器可讀碼裝置；及 一固持機構，其配置於該內部空間內且經組態以接收及/或牢固地固持該服務元件， 其中該材料輸送裝置包括經組態以固持該服務元件之一前開式晶圓傳送盒(FOUP)之一組態；且 其中該固持機構經組態以接合該服務元件之一表面。
  78. 如請求項77之材料輸送裝置，其進一步包括經組態以連接至一運輸系統之一組件的一連接總成。
  79. 如請求項77之材料輸送裝置，其中該服務元件包含一機器可讀碼。
  80. 如請求項77之材料輸送裝置，其中該固持機構包括作為一彈性組件的一夾持器組件、一材料組件、一摩擦配合組件及/或一固持器組件。
  81. 如請求項77之材料輸送裝置，其中該服務元件包括一材料注射器、一施配器閥、一施配器筒、一清潔帶、一基準磚、一淨化杯、一刻度杯、一清潔帶及/或一施配器杯之至少一者。
  82. 如請求項77之材料輸送裝置，其中該機器包括一施配機。
  83. 一種經組態以提供一服務元件至一機器之輸送的用於自動材料輸送之系統，用於自動材料輸送之該系統包括如請求項77之材料輸送裝置且用於自動材料輸送之該系統進一步包括： 一機器，其經組態以使用一服務元件； 一控制器，其經組態以提供該服務元件、該材料輸送裝置及/或該機器之操作、控制及/或監督；及 至少一個機器碼讀取裝置，其經組態以讀取該材料輸送裝置之該機器可讀碼裝置及/或該服務元件之一機器可讀碼裝置。
  84. 如請求項83之用於自動材料輸送之系統，其中該機器包括經組態以自該材料輸送裝置移除該服務元件之一運送系統。
  85. 如請求項83之用於自動材料輸送之系統，其中該機器經組態以將該服務元件移動至該機器之一操作部分上。
  86. 如請求項83之用於自動材料輸送之系統，其中該機器包括經組態以將該服務元件插入至該材料輸送裝置中之一運送系統。
  87. 如請求項83之用於自動材料輸送之系統，其中該機器經組態以自該機器之一操作部分移除該服務元件。
  88. 如請求項83之用於自動材料輸送之系統，其中該服務元件包括一材料注射器、一施配器閥、一施配器筒、一清潔帶、一基準磚、一淨化杯、一刻度杯、一清潔帶及/或一施配器杯之至少一者。
  89. 如請求項88之用於自動材料輸送之系統，其中該服務元件包括經組態以連接至一操作部分以便提供該施配器閥之致動的連接件。
  90. 如請求項88之用於自動材料輸送之系統，其中該機器經組態以藉由該施配器閥之一受控操作而自該材料注射器施配一流體通過該施配器筒。
  91. 如請求項83之用於自動材料輸送之系統 其中該服務元件進一步包括一附接板且該服務元件之部分經組態以附接至該附接板；及 其中該附接板包括經組態以連接至該機器之一操作部分之對應連接件的連接件。
  92. 如請求項83之用於自動材料輸送之系統，其進一步包括經組態為一設備前端模組(EFEM)之一模組裝置。
  93. 如請求項92之用於自動材料輸送之系統，其中該模組裝置包括用以固持該材料輸送裝置及/或該服務元件之一冷藏室。
  94. 如請求項92之用於自動材料輸送之系統，其中該模組裝置經組態以沿著一運輸路徑將該材料輸送裝置及/或該服務元件運送至該機器以及自該機器運送該材料輸送裝置及/或該服務元件。
  95. 如請求項92之用於自動材料輸送之系統，其中該模組裝置包括經組態以自該材料輸送裝置移除該服務元件之一運送系統。
  96. 如請求項92之用於自動材料輸送之系統，其中該模組裝置包括經組態以將該服務元件插入至該材料輸送裝置中之一運送系統。
  97. 如請求項92之用於自動材料輸送之系統，其進一步包括經組態以定位於該模組裝置及/或該機器中之一轉塔式工具更換器。
  98. 如請求項97之用於自動材料輸送之系統，其中該轉塔式工具更換器包括經組態以接合及固持該服務元件之一或多個組件的複數個附接部分。
  99. 如請求項83之用於自動材料輸送之系統，其進一步包括經組態以將該材料輸送裝置連同該服務元件一起移動至該機器之一運輸系統。
  100. 如請求項99之用於自動材料輸送之系統，其中該運輸系統經組態以沿著該裝置製造設施內之一運輸路徑移動至該機器。
  101. 如請求項99之用於自動材料輸送之系統，其中該運輸系統包括一自動材料處置系統(AMHS)及/或一自動導向車輛(AGV)。
  102. 一種用以在一裝置製造設施內提供一服務元件至一機器之輸送之材料輸送程序，該材料輸送程序包括： 實施一材料輸送裝置； 將該材料輸送裝置組態成具有側壁、一頂壁、一底板、一內部空間及一後壁； 將該材料輸送裝置組態成具有一機器可讀碼裝置；及 將該材料輸送裝置組態成具有配置於該內部空間內以接收及/或牢固地固持該服務元件之一固持機構， 其中該材料輸送裝置包括經組態以固持該服務元件之一前開式晶圓傳送盒(FOUP)之一組態；且 其中該固持機構經組態以接合該服務元件之一表面。
  103. 如請求項102之材料輸送程序，其進一步包括將該材料輸送裝置組態成具有經組態以連接至一運輸系統之一組件的一連接總成。
  104. 如請求項102之材料輸送程序，其中該服務元件包含一機器可讀碼。
  105. 如請求項102之材料輸送程序，其中該固持機構包括作為一彈性組件的一夾持器組件、一材料組件、一摩擦配合組件及/或一固持器組件。
  106. 如請求項102之材料輸送程序，其中該服務元件包括一材料注射器、一施配器閥、一施配器筒、一清潔帶、一基準磚、一淨化杯、一刻度杯、一清潔帶及/或一施配器杯之至少一者。
  107. 如請求項102之材料輸送程序，其中該機器包括一施配機。
  108. 如請求項102之材料輸送程序，其進一步包括： 實施經組態以使用一服務元件之一機器； 實施控制器以提供該服務元件、該材料輸送裝置及/或該機器之操作、控制及/或監督；及 實施至少一個機器碼讀取裝置以讀取該材料輸送裝置之該機器可讀碼裝置及/或該服務元件之一機器可讀碼裝置。
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