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TW202222653A - 轉接器、連接裝置及供給系統 - Google Patents

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TW202222653A
TW202222653A TW110127624A TW110127624A TW202222653A TW 202222653 A TW202222653 A TW 202222653A TW 110127624 A TW110127624 A TW 110127624A TW 110127624 A TW110127624 A TW 110127624A TW 202222653 A TW202222653 A TW 202222653A
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麥可 布勞恩
塞門 舒茨巴赫
卡德 麥奇亞
戴奈許 維賈伊拉加哈萬
奧拉齊奧 蒙特塞拉托
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德商蘇士微科技印刷術股份有限公司
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Abstract

一種用於處理基板(特定而言，晶圓)的濕製程模組(特定而言，噴漆模組)的供給系統的液體容器(14)的轉接器包含容器部件(62)，前述容器部件(62)用於緊固至前述液體容器(14)，以及通道部件(66)，前述通道部件(66)用於緊固至前述供給系統，其中前述容器部件(62)具有中心開口(68)及用於將前述容器部件(62)緊固至前述液體容器(14)的緊固裝置。前述通道部件(66)包含連續的第一通道部分(42)及連續的第二通道部分(44)，前述第一通道部分及前述第二通道部分(42, 44)各自開口至前述容器部件(62)的前述中心開口(68)中。此外，進一步描述一種連接裝置及一種供給系統。

Description

轉接器、連接裝置及供給系統
本發明係關於一種用於處理基板、特定而言係用於晶圓的微製造及奈米製造的濕製程模組、特定而言係用於噴漆模組的供給系統的液體容器的轉接器。此外，本發明係關於一種連接裝置，並且係關於一種用於此類濕製程模組的供給系統。
可交換的液體容器含有處理液體(例如，塗料或溶劑)，該處理液體經施加至晶圓以供晶圓的處理或噴漆。若液體容器空了，則必須更換。
液體容器至供給系統的附接或自供給系統的拆卸可以藉由轉接器來簡化，因為轉接器係預組裝在液體容器上，並且液體容器連同轉接器可輕鬆地耦接至供給系統的連接裝置。
然而，在使用習知轉接器及連接裝置的情況下，兩個組件的耦接並不完全氣密，這在排空液體容器時出現問題。
此外，不可能對準轉接器、連接裝置或液體容器以使得液體容器可完全排空。
本發明的目標在於提供一種轉接器、一種連接裝置及一種供給系統來消除先前技術的劣勢。
根據本發明，這一目標係藉由前述類型的轉接器來達成，該轉接器包含用於緊固至液體容器的容器部件，以及用於緊固至供給系統的通道部件，通道部件與容器部件分隔開。容器部件具有中心開口及用於將容器部件緊固至液體容器的緊固裝置。此外，通道部件包含連續的第一通道部分及連續的第二通道部分，第一通道部分及第二通道部分各自開口至容器部件的中心開口，特定而言，其中因此形成面向容器部件的中心開口及/或突出至中心開口中的嘴部區域。
因此，本發明提供多部件轉接器，藉此可以確保液體容器與供給系統的其他組件有完全氣密的耦接，且可以確保可快速、簡單且安全地更換液體容器。另外，歸因於其多部件設計，轉接器可有助於液體容器的完全排空。
在本發明的上下文中，完全氣密構件(特定而言，轉接器)已經在並無氣體或液體流經通道的狀態下與供給系統的其他組件氣密地耦接，並且因此轉接器尚未受壓。
較佳地，第一通道部分及第二通道部分獨立於彼此。「獨立於彼此」意謂構件通道部分並不延伸至彼此中及/或並不合併至彼此中。補充地或替代地，通道部分至少在通道部件內並不彼此流體連接。因此，在通道部件內流動的流體至少在通道部件內並不彼此混合。此外，流體並不彼此影響，諸如熱傳遞。
根據實施例，容器部件可配備有螺紋以供在液體容器處嚙合，該螺紋例如經配置在中心開口的內周壁上。此舉允許達成容器部件與液體容器之間的氣密連接。
密封件可以設置於容器部件與通道部件之間，該密封件周向地圍繞通道部分的中心開口或嘴部區域，特定而言，其中密封件經緊固至容器部件或通道部件。密封件可以進一步改善轉接器與液體容器的氣密連接。
在一個實施例中，通道部件具有浸入管(特定而言，剛性浸入管)，該浸入管延伸穿過中心開口，特定而言，其中，浸入管合併至第一通道部分中。此浸入管准許將來自液體容器的液體導引穿過轉接器至供給系統的其他組件。當將轉接器緊固至液體容器時，浸入管同時緊固在液體容器內側。浸入管可以可拆卸地或牢固地連接至通道部件。
另一實施例如下設置：中心開口具有中心軸線，其中通道部件的第一通道部分及/或浸入管的至少部分相對於中心軸線傾斜地延伸。以此方式，通道部分及/或浸入管可相對於液體容器的中心軸線傾斜地定向或伸展，以使得通道部分及/或浸入管可朝向液體容器中的最低點定向。
可想像，第一通道部分平行於中心軸線延伸，並且浸入管具有傾斜部分，該傾斜部分的縱向軸線相對於中心軸線傾斜地延伸。當然，浸入管可相對於中心軸線完全傾斜地延伸。
第一通道部分的軸線與中心軸線之間及/或浸入管的縱向軸線與中心軸線之間的角度可介於1°至20°的範圍內，例如，5°。
另外，轉接器可以具有緊固部件，包含用於將轉接器緊固至供給系統的耦接組件。因此，在耦接組件的區域中形成耦接部分，該耦接部分例如為藉由轉接器的耦接部分及供給系統側耦接部分形成的快速耦接件的部分。因此，耦接組件用於液體容器與供給系統的連接裝置的快速、簡易且安全的耦接及去耦。
特定而言，耦接組件可自緊固部件的徑向外壁突出，例如，呈突出鼻部的形式。此舉允許形成快速連接，諸如，卡口(Bayonet)連接。
例如，通道部件、容器部件及緊固部件經設計為一體式。以此方式，無需設置獨立的緊固元件(諸如，螺釘或類似件)，以及可能要求的任何額外密封件。
或者，緊固部件、容器部件及通道部件經設計為彼此獨立，特定而言，形成預組裝單元。
一個態樣如下設置：通道部件在周向方向上可旋轉及/或經夾鉗以用於緊固在容器部件與緊固部件之間。通道部件的可旋轉緊固允許通道部件相對於液體容器、容器部件及緊固部件旋轉。例如，通道部分及/或浸入管可朝向液體容器的最低點定向，特定而言，在轉接器緊固至供給系統的連接部件之前。此舉允許液體容器完全排空。特定而言，此舉有利於具有矩形橫剖面的液體容器。
突出部可以自通道部件遠離容器部件的側面突起，第二通道部分伸展穿過該通道部件。通道部件遠離容器部件的側面同時表示面向供給系統的連接部件或供給系統的側面。突出部用作銷，可藉助該銷確保通道部件(特定而言，整個轉接器)相對於連接部件的預定對準。
特定而言，浸入管的突出及傾斜彼此具有預定對準，以使得當轉接器插入至連接部件中時，浸入管相對於剩餘供給系統的傾斜得以限定，特定而言，指向最低點。
此外，根據本發明，目標的達成係藉由一種用於處理基板(特定而言，晶圓)的微製造及奈米製造的濕製程模組(特定而言，噴漆模組)的供給系統的液體容器的連接裝置。連接裝置包含根據本發明的轉接器及具有液體入口通道及壓力通道的連接部件，其中轉接器的第一通道部分開口至液體入口通道中，並且轉接器的第二通道部分開口至壓力通道中。共用通道係藉由第一通道部分及液體入口通道形成，並且用以自液體容器獲取液體。共用通道係藉由第二通道部分及壓力通道形成，並且用於液體容器的排氣及/或氣體供給。
根據一個態樣，轉接器及連接部件各自具有耦接部分，該些耦接部分共同形成快速耦接件(特定而言，卡口固定架)，藉此轉接器可以氣密方式(特定而言，在無破壞或工具的情況下以可拆卸方式)耦接至連接部件。
連接部件及轉接器各自具有接觸側，經由該接觸側，連接部件與轉接器在耦接狀態下以氣密方式彼此相抵擱置。
實施例如下設置：連接部件具有連接基座(特定而言，圓柱形連接基座)，該連接基座包含液體入口通道及壓力通道以及接觸側，並且具有連接緊固件(特定而言，環形連接緊固件)，該連接緊固件周向地圍繞連接基座及/或佈置在連接基座上，以便在周向方向上可旋轉。因此，連接緊固件表示連接部件的耦接部分。連接部件的耦接部分可與轉接器的耦接部分協作以形成連接裝置的快速耦接。
例如，連接緊固件經設計為藉由旋轉將轉接器緊固至連接部件的管套螺母。
或者，連接基座與連接緊固件可以為一體式。因此，有可能節省個別部件。為了將轉接器緊固至連接部件，連接部件相對於轉接器旋轉，或反之亦然。
一個態樣如下設置：至少一個密封件(特定而言，環形密封件)經佈置在轉接器(特定而言，通道部件及連接部件(特定而言，連接基座))的接觸側之間，該至少一個密封件相對於外側密封第一通道部分與液體入口通道的第一接合點及/或第二通道部分與壓力通道的第二接合點，特定而言，其中另一密封件經佈置在第一接合點與第二接合點之間，該另一密封件相對於接合點彼此來密封接合點。密封件周向地圍繞兩個接合點，兩個接合點之間的密封件僅周向地圍繞接合點中的一者。因此，兩個密封件在連接裝置的徑向方向上彼此間隔開及/或相對於彼此軸向地佈置。快速耦接的氣密性可以藉由密封件進一步改善。
可以如下設置：密封件容納或附接至連接部件(特定而言，連接基座)或至轉接器(特定而言，通道部件)。因此，密封件在轉接器與連接部件去耦之後保持在其預期位置，並且無法脫離轉接器或連接部件。
例如，連接部件(特定而言，在其徑向內壁上)的連接緊固件，及/或轉接器(特定而言，在其徑向外壁上)的緊固部件具有至少一個耦接組件，該些耦接組件共同形成快速耦接件。對於緊固而言，連接緊固件經推動至轉接器的緊固部件上，以使得連接緊固件及緊固部件在共用的徑向平面中，並且卡口固定架係藉由相對於彼此旋轉連接緊固件及/或緊固部件來形成。
出於此目的，連接緊固件的耦接組件可以例如具有徑向向內的突出鼻部，並且緊固部件可以具有在與作為耦接組件的鼻部相對的周向方向上延伸的槽式導引件，從而閉鎖的鼻部在耦接與去耦期間沿著槽式導引件移動至其耦接或去耦狀態。當然，連接緊固件亦可以具有槽式導引件，並且緊固部件可以具有鼻部。
轉接器經調適以藉由轉接器及/或連接緊固件的旋轉來緊固至連接部件或自連接部件拆卸。簡單的快速釋放式緊固件可藉由轉鎖緊固件來形成。
根據一個態樣，連接部件(特定而言，連接基座)的接觸側具有狹長孔，第二通道部分開口至該狹長孔中。狹長孔表示第二通道部分與氣體通道部分的接合點。狹長孔可以經設計為例如盲孔，並且可在連接部件的周向方向上為狹長的。
特定而言，在轉接器與連接部件的耦接狀態下，轉接器的突出部突起至連接部件的狹長孔中。以此方式，可以達成轉接器與連接部件彼此的預定對準。
例如，轉接器可僅藉由快速耦接件來連接至連接部件，亦即，當轉接器的突出部嚙合至連接部件的狹長孔中時可閉合快速耦接件。
特定而言，狹長孔的尺寸經設定成在周向方向上大於突出部。因此，仍得以確保突出部至狹長孔的簡單插入。
特定而言，狹長孔及/或突出部可以具有曲率半徑。因此，可以確保連接部件(特定而言，連接基座)的轉接器(特定而言，通道部件)相對於彼此的光滑旋轉。
此外，根據本發明，目標的達成係藉由一種用於處理基板(特定而言，晶圓)的微製造及奈米製造的濕製程模組(特定而言，噴漆模組)的供給系統，該供給系統包含：基座，該基座具有用於將液體容器置放在其上的支撐表面；以及根據本發明的連接裝置，該連接裝置經定位以與支撐表面間隔開並且相對。支撐表面在供給系統的預期安裝位置中相對於水平線傾斜。歸因於傾斜的支撐表面，置放在支撐表面上的液體容器的底部表面亦相對於水平線傾斜，或液體容器的縱向軸線相對於豎直線傾斜地延伸。以此方式，液體容器具有液體彙集的最低點或最低區域。根據本發明的轉接器或連接裝置允許轉接器的浸入管朝向液體容器的最低點定向，從而確保液體容器的完全排空。
一個實施例如下設置：供給系統具有連接裝置經定位以用於耦接至液體容器的工作區域，以及連接裝置不使用時定位於其中的停駐區域。在停駐區域中，連接裝置(特定而言，連接部件)可輕鬆地脫離，以使得易於例如藉助緊固構件(諸如，磁鐵)準備好握持，以便促進液體容器至工作區域中的插入及自工作區域的移除。
例如，停駐區域可以經佈置在自支撐表面正交地突出的保持部件的與支撐表面相對的末端，及/或工作區域可以設置在停駐區域與支撐表面之間。以此方式，連接裝置(特定而言，連接部件)可輕鬆地自頂部附接至液體容器。
特定而言，連接裝置(特定而言，連接部件)僅藉助管線連接至工作區域中的剩餘供給系統。因此，連接裝置(特定而言，連接部件)可在工作區域中至少在豎直方向上自由地移動，以使得連接裝置(特定而言，連接部件)可輕鬆地連接至液體容器或自液體容器拆卸。
管線可以具有固有剛性，該固有剛性實質上防止連接裝置(特定而言，連接部件)的扭轉及/或水平移動。此舉防止不當的過量旋轉，並且確保浸入管朝向最低點定向。
例如，排洩托盤經佈置在停駐區域中，連接裝置(特定而言，連接部件)在不使用時定位在該停駐區域上方，並且經由該停駐區域收集自連接裝置(特定而言，自連接部件)滴落的任何剩餘液體。
根據本發明的轉接器、連接裝置及供給系統的所描述優勢及特徵同等地應用至彼此。
圖1顯示用於處理基板(例如，晶圓)的濕製程模組(例如，噴漆模組)的供給系統10。特定而言，供給系統10經設置成用於微製造及奈米製造中的濕製程模組。
供給系統10包含保持裝置12，其中可容納液體容器14，並且包含連接裝置16，其中液體容器14可經由連接裝置16連接至供給系統10。
保持裝置12包括基座18，基座18具有支撐表面20及自支撐表面20實質上正交地突出的保持部件22。
當供給系統10適當地安裝時，支撐表面20相對於水平線H傾斜。
保持部件22在與基座18及支撐表面20相對的末端處各別地具有緊固構件24及排洩托盤26。
例如，緊固構件24為磁體。
排洩托盤26上方佈置緊固構件24的區域構成停駐區域28，並且排洩托盤下方的區域，更精確而言，排洩托盤26與支撐表面20之間的區域構成工作區域30。
液體容器14含有用以操作濕製程模組的介質(特定而言，液體)。
例如，介質(特定而言，液體)為塗料，並且因此，液體容器14為噴漆瓶。
液體容器14包括開口32，液體容器14的內部空間34經由開口32向外側開口，並且在頸部具有螺紋100。
當液體容器14置放在傾斜的支撐表面20上時，液體容器14傾斜至側面，以使得液體容器14的中心軸線L相對於豎直線傾斜地延伸。因此，產生內部空間34中液體彙集的最低點36。
連接裝置16經設計為若干部件，並且在容器側具有轉接器38，並且在供給系統側具有連接部件40。
轉接器38附接至(例如，螺擰在)液體容器14的開口32區域中的液體容器14上。因此，轉接器38以密閉方式(特定而言，氣密方式)閉合開口32。
轉接器38具有第一通道部分42及第二通道部分44。第一通道部分42及第二通道部分44為連續的，並且各自自面向液體容器14的一側延伸至面向連接部件40的接觸側46。在操作期間，液體流經第一通道部分42，並且第二通道部分44引導氣體。因此，第一通道部分42構成液體通道部分，並且第二通道部分44構成氣體通道部分。
浸入管48自轉接器38向下突起，並且延伸穿過開口32至液體容器14的內部空間34。浸入管48相對於液體容器14的中心軸線L傾斜地定向，以便朝向最低點36伸展。
浸入管48聯接轉接器側上的第一通道部分42。
連接部件40在外側或更精確而言在其周向上具有緊固構件49，例如，呈磁鐵的形式。
此外，管線連接件51、53經設置在外側上。
液體入口通道50及壓力通道52自連接部件40的外側連續地延伸至與轉接器38的接觸側46相對的接觸側54。
液體入口通道50朝向外側開口至管線連接件51中，並且壓力通道52開口至管線連接件53中。因此，管線連接件51構成液體管線連接件，並且管線連接件53構成氣體管線連接件。
此外，若干管線(液體管線55、氣體管線57)連接至連接部件40，其中一根管線為液體管線55，而管線中的另一根為氣體管線57，特定而言，壓縮氣體管線。
液體管線55連接至液體管線連接件51，並且氣體管線57連接至氣體管線連接件53。
液體管線55、氣體管線57連接至剩餘供給系統10，例如，保持裝置12。
例如，液體管線55、氣體管線57為可撓軟管，該些可撓軟管允許連接部件40自停駐區域28至工作區域30的至少豎直移動及返回。
然而，液體管線55、氣體管線57 (特定而言，液體管線55)具有固有剛性，該固有剛性限制或防止連接部件40的旋轉。
轉接器38及連接部件40經由快速耦接件56 (特定而言，經由卡口固定架)以氣密及可拆卸方式緊固至彼此。
轉接器38的接觸側46及連接部件40的接觸側54以氣密方式彼此相抵擱置，以使得轉接器38的第一通道部分42及第二通道部分44與連接部件40的液體入口通道50或壓力通道52對準，或換言之，以使得轉接器38的第一通道部分42及第二通道部分44合併至連接部件40的液體入口通道50或壓力通道52中。
在接觸側46、54處，第一通道部分42及液體入口通道50形成第一接合點58，並且第二通道部分44及壓力通道52形成第二接合點60。
圖2詳細地顯示連接裝置16。轉接器38及連接部件40各自由若干部件製成。
轉接器38包含容器部件62、緊固部件64及通道部件66。
容器部件62具有連續的中心開口68，連續的中心開口68在其內周壁上具有螺紋。
中心開口68的中心軸線L實質上對應於縱向軸線。
在連接部件側面處，緊固部件64例如藉由螺釘70附接至容器部件62。當然，容器部件62及緊固部件64亦可以不同方式附接至彼此。
緊固部件64實質上形成為環。
緊固部件64具有L形剖面，以使得在容器部件62與緊固部件64之間形成接納空間。
在徑向外壁上，緊固部件64具有若干耦接組件71，耦接組件71經組態為例如突起鼻部。
通道部件66可旋轉地佈置在容器部件62與緊固部件64之間，亦即，接納空間中。容器部件62、緊固部件64及通道部件66形成預組裝單元。
或者，容器部件62、緊固部件64及通道部件66經組態為一體式組件。
通道部件66係藉由緊固部件64周向地圍繞，以使得緊固部件64的上側與通道部件66的上側齊平，或彼此對準，因此形成接觸側46。
因此，通道部件66及緊固部件64各自形成接觸側46的部分。
第一通道部分42及第二通道部分44伸展穿過通道部件66，其中第一通道部分42及第二通道部分44兩者開口至共用的嘴部區域72中。嘴部區域72與液體容器14的開口32相對，並且部分地延伸至液體容器14中。
密封件74經佈置在通道部件66與容器部件62之間，並且周向地圍繞嘴部區域72。密封件74構成例如平坦密封件。
密封件74經緊固至通道部件66或容器部件62，並且可旋轉地夾鉗於通道部件66與容器部件62之間。
在所示實例實施例中，第一通道部分42具有較窄區段76及較寬區段78，其中較窄區段76的直徑小於較寬區段78的直徑。
較寬區段78相對於液體容器14的中心軸線L傾斜地伸展，中心軸線L同時形成中心開口68的縱向軸線。
一方面，通道軸線K及/或浸入管48的縱向軸線與另一方面的縱向軸線L之間的角度α介於1°至20°之間的範圍內。例如，角度α為5°。通道軸線K同時構成浸入管48的縱向軸線。
浸入管48牢固地或可拆卸地收納在較寬區段78中，以使得浸入管48的內壁80與定界較窄區段76的內壁82齊平。
當然，第一通道部分42亦可以具有連續恆定的直徑，以使得浸入管48的內壁80並不與第一通道部分42的內壁82齊平。
此外，整個第一通道部分42亦可以相對於中心軸線L傾斜地伸展。
或者，整個第一通道部分42亦可以平行於中心軸線L伸展。為了確保浸入管48以傾斜方式至少在多個區段伸展，浸入管48可以隨後在第一通道部分42外側具有曲度。
通道部件66具有突出部84，突出部84在通道部件66的接觸側46上在連接部件40的方向上遠離容器部件62延伸。
第二通道部分44的部分穿過此突出部84，第二通道部分44的末端與在突出部84的表面處向外開口的中心開口68反向相對。
連接部件40包含圓柱形連接基座86及環形連接緊固件88。
液體入口通道50及壓力通道52自各別的管線連接件51、53延伸，穿過連接基座86至接觸側54上各別的第一接合點58和第二接合點60。
兩個密封件92、94 (特定而言，環形密封件)經佈置在通道部件66的接觸側46、54與連接基座86之間，密封件92、94相對於彼此同軸，並且密封件92經設置為在徑向內側，並且密封件94經設置為在徑向外側。徑向外的密封件94周向地封閉徑向內的密封件92。
徑向內的密封件92周向地封閉第一接合點58，並且徑向外的密封件94周向地封閉第一接合點58及第二接合點60。
第二接合點60經佈置在徑向內的密封件92與徑向外的密封件94之間。
在本文所示的實施例中，兩個密封件92、94部分地容納並且緊固在連接基座86中。
在接觸側54處，連接基座86具有狹長孔90，狹長孔90經組態為盲孔的形式。
壓力通道52與管線連接件53反向相對的末端開口至狹長孔90中。
狹長孔90例如在周向方向上拉伸，並且具有環繞縱向軸線L為中心的半徑。
連接緊固件88周向地圍繞連接基座86，並且可旋轉地附接至連接基座86。
例如，連接緊固件88經設計為一類管套螺母。
在徑向內壁上，連接緊固件88具有耦接組件96，耦接組件96經組態為例如凹槽，並且限定導引路徑。
凹槽具有朝向底部(亦即，朝向轉接器38)開口的若干區域98。開口的區域98的數目對應於緊固部件64的耦接組件71的數目。
當然，連接緊固件88可以在徑向內壁上具有突出鼻部，並且緊固部件64可以在徑向外壁上具有凹槽。
為了使供給系統10投入與新的液體容器14的操作，將轉接器38連同浸入管48附接至液體容器14。將浸入管48插入至液體容器14中，並且轉接器38以氣密方式閉合開口32。隨後，將液體容器14連同轉接器38置放在保持裝置12的支撐表面20上的工作區域30中。
為了將轉接器38緊固至液體容器14，將轉接器38螺擰至液體容器14的螺紋100，中心開口68的螺紋結構與螺紋100的螺紋結構彼此嚙合。
隨後，將容器部件62及緊固部件64牢固地附接至液體容器14。
在液體容器14並不具有圓形區域的基座的狀況下，可旋轉地收納在容器部件62與緊固部件64之間的通道部件66可允許浸入管48定向以便伸展至最低點36。
例如，在液體容器14具有矩形區域的基座的狀況下，浸入管48可藉由通道部件66的旋轉來定向，以使得浸入管48延伸至基座區域的角落區域。隨後，液體容器14可置放在基座18的支撐表面20上，以使得浸入管48在其中延伸的基座區域的角落形成最低點。在此種狀況下，突出部84應經定向以使得已經處於其最終位置，在該最終位置中突出部84亦將佔據在狹長孔90中。
在液體容器14具有例如圓形區域的基座的狀況下，不必藉由通道部件66的旋轉來定向浸入管48，因為液體聚集不均一且增大的點不存在，諸如，在矩形區域的基座的狀況下的角落。因此，液體容器14連同轉接器38可經旋轉以使得最低點36形成在浸入管48處。然而，在此種狀況下，突出部84應經定向以使得已經處於其最終位置，在該最終位置中突出部84亦將佔據在狹長孔90中。
僅僅對於圓形液體容器而言，轉接器38可以設計為一體式組件，因為通道部件66相對於容器部件62及緊固部件64的可旋轉性並非必要的。
藉由將浸入管48定向在液體容器14中以便總是伸展至最低點36，液體容器14實質上完全的排空可在供給系統10的操作期間得以確保。
如圖2及圖3所示，為了將轉接器38耦接至連接部件40，將轉接器38及連接部件40置放為其接觸側46、54彼此相抵，以使得突出部84突起至狹長孔90中。
由於突出部84在其周向延伸部中比狹長孔90短了例如至少三分之一，突出部84在狹長孔90中具有遊隙。歸因於此遊隙，突出部84可插入至狹長孔90中，即使其並未完全精確地定向至狹長孔90。
僅當突出部84嚙合至狹長孔90中時，連接緊固件88可在緊固部件64上方滑移。
耦接組件71 (亦即，鼻部)可經由連接緊固件88中以區段開口的區域98插入至耦接組件96 (亦即，導引凹槽)中。
藉由在周向方向上旋轉連接緊固件88，耦接組件96在周向方向上旋轉，並且在耦接組件71上方在徑向方向上位移，由此耦接組件71嚙合在耦接組件96中並且緊固。因此，耦接組件71、96形成快速耦接件56。
歸因於可撓性液體管線55、氣體管線57，連接部件40至少在豎直方向上能夠自由地移動，並且經置放在轉接器38上。轉接器38及連接部件40經由快速耦接件56以氣密方式耦接至彼此。
將受壓氣體經由氣體管線57、連接部件側上的壓力通道52及轉接器側上的第二通道部分44饋送至液體容器14。歸因於液體容器14中的所得超壓，液體容器14中的液體經由浸入管48、轉接器側上的第一通道部分42、連接部件側上的液體入口通道50及液體管線55引導至供給系統10的其他組件，基板的噴漆藉助供給系統10進行。
當更換液體容器14時，釋放快速耦接件56，並且將連接部件40自工作區域30置放至停駐區域28，如圖4所示。將保持部件22或連接部件40的緊固構件24、49彼此相對，由此例如藉助磁力將連接部件40緊固至保持部件22。
將連接部件40置放在排洩托盤26上方的停駐區域28中，以使得連接部件40上的過量液體滴落至排洩托盤26中。
連接部件40一收納在停駐區域28中，即可輕鬆地自工作區域30移除液體容器14。隨後，可自液體容器14連同浸入管48移除轉接器38，並且將其附接至新的液體容器14。
10:供給系統 12:保持裝置 14:液體容器 16:連接裝置 18:基座 20:支撐表面 22:保持部件 24:緊固構件 26:排洩托盤 28:停駐區域 30:工作區域 32:開口 34:內部空間 36:最低點 38:轉接器 40:連接部件 42:第一通道部分 44:第二通道部分 46:接觸側 48:浸入管 49:緊固構件 50:液體入口通道 51:管線連接件 52:壓力通道 53:管線連接件 54:接觸側 55:液體管線 56:快速耦接件 57:氣體管線 58:第一接合點 60:第二接合點 62:容器部件 64:緊固部件 66:通道部件 68:中心開口 70:螺釘 71:耦接組件 72:嘴部區域 74:密封件 76:較窄區段 78:較寬區段 80:內壁 82:內壁 84:突出部 86:連接基座 88:連接緊固件 90:狹長孔 92:密封件 94:密封件 98:區域 100:螺紋 K:通道軸線 L:中心軸線 α:角度 H:水平線
自以下描述及自所參照的隨附圖式，將顯而易見本發明的其他優勢及特徵，並且圖式中： - 圖1顯示根據本發明的供給系統在操作期間的示意性側視圖，其中以剖面顯示根據本發明的連接裝置及液體容器， - 圖2顯示液體容器及圖1的根據本發明的連接裝置的剖視圖， - 圖3顯示根據本發明的連接裝置的極端示意性剖視圖III-III，以及 - 圖4顯示圖1的根據本發明的供給系統非運轉時的示意性側視圖。
14:液體容器
16:連接裝置
32:開口
34:內部空間
36:最低點
38:轉接器
40:連接部件
42:第一通道部分
44:第二通道部分
46:接觸側
48:浸入管
49:緊固構件
50:液體入口通道
51:管線連接件
52:壓力通道
53:管線連接件
54:接觸側
58:第一接合點
60:第二接合點
62:容器部件
64:緊固部件
66:通道部件
68:中心開口
70:螺釘
71:耦接組件
72:嘴部區域
74:密封件
76:較窄區段
78:較寬區段
80:內壁
82:內壁
84:突出部
86:連接基座
88:連接緊固件
90:狹長孔
92:密封件
94:密封件
96:耦接組件
98:區域
100:螺紋
K:通道軸線
L:中心軸線
α:角度

Claims (16)

  1. 一種用於處理基板、特定而言晶圓的濕製程模組(特定而言，噴漆模組)的供給系統(10)的液體容器(14)之轉接器(38)，其包含： 容器部件(62)，前述容器部件(62)用於緊固至前述液體容器(14)；以及 通道部件(66)，前述通道部件(66)用於緊固至前述供給系統(10)， 其中前述容器部件(62)具有中心開口(68)及用於將前述容器部件(62)緊固至前述液體容器(14)的緊固裝置， 其中前述通道部件(66)包含連續的第一通道部分(42)及連續的第二通道部分(44)，前述第一通道部分(42)及前述第二通道部分(44)各自開口至前述容器部件(62)的前述中心開口(68)中。
  2. 如請求項1所述之轉接器(38)，其中密封件(74)經佈置在前述通道部件(66)與前述容器部件(62)之間，並且前述密封件(74)周向地圍繞前述第一通道部分(42)及前述第二通道部分的(44)的嘴部區域(72)。
  3. 如請求項1或2所述之轉接器(38)，其中前述通道部件(66)具有浸入管(48)，前述浸入管(48)延伸穿過前述中心開口(68)，特定而言，其中前述浸入管(48)合併至前述第一通道部分(42)中。
  4. 如請求項3所述之轉接器(38)，其中前述中心開口(68)具有中心軸線(L)，其中前述通道部件(66)的前述第一通道部分(42)及/或前述浸入管(48)的至少部分相對於前述中心軸線(L)傾斜地延伸。
  5. 如請求項1至4中任一項所述之轉接器，其中前述轉接器(38)具有緊固部件(64)，前述緊固部件(64)包含用於將前述轉接器(38)緊固至前述供給系統(10)的耦接組件(71)。
  6. 如請求項5所述之轉接器(38)，其中前述通道部件(66)在周向方向上在前述容器部件(62)與前述緊固部件(64)之間可旋轉及/或經夾鉗以用於緊固。
  7. 如請求項1至6中任一項所述之轉接器(38)，其中穿過前述第二通道部分(44)延伸的突出部(84)自前述通道部件(66)的側面遠離前述容器部件(62)突起。
  8. 一種用於處理基板、特定而言晶圓的濕製程模組(特定而言，噴漆模組)的供給系統(10)的液體容器(14)之連接裝置(16)，其包含： 根據請求項1至7中任一項所述之轉接器(38)；以及 連接部件(40)，前述連接部件(40)具有液體入口通道(50)及壓力通道(52)， 其中前述轉接器(38)的前述第一通道部分(42)開口至前述液體入口通道(50)中，並且前述轉接器(38)的前述第二通道部分(44)開口至前述壓力通道(52)中。
  9. 如請求項8所述之連接裝置(16)，其中前述連接部件(40)具有： 連接基座(86)，前述連接基座(86)包含前述液體入口通道(50)、前述壓力通道(52)及接觸側(54)，以及 連接緊固件(88)，前述連接緊固件(88)周向地圍繞前述連接基座(86)及/或經佈置在前述連接基座(86)上，以便可在周向方向上旋轉。
  10. 如請求項9所述之連接裝置(16)，其中至少一個密封件(94) (特定而言，環形密封件)經佈置在前述轉接器(38)的接觸側(46) (特定而言，前述通道部件(66))及前述連接部件(40) (特定而言，前述連接基座(86))的前述接觸側(54)之間，前述至少一個密封件(94)相對於外側來密封前述第一通道部分(42)與前述液體入口通道(50)的第一接合點(58)及/或前述第二通道部分(44)與前述壓力通道(52)的第二接合點(60)，特定而言，其中另一密封件(92)經佈置在前述第一接合點(58)與前述第二接合點(60)之間，前述另一密封件(92)相對於前述第一接合點(58)及前述第二接合點(60)彼此來密封前述第一接合點(58)及前述第二接合點(60)。
  11. 如請求項9或10所述之連接裝置(16)，其中前述連接部件(40) (特定而言，在其徑向內壁上)的前述連接緊固件(88)，及/或前述轉接器(38) (特定而言，在其徑向外壁上)的前述緊固部件(64)具有至少一個耦接組件(71, 96)，前述耦接組件(71, 96)共同形成快速耦接件(56)。
  12. 如請求項9至11中任一項所述之連接裝置(16)，其中前述轉接器(38)經調適以藉由前述轉接器(38)及/或前述連接緊固件(88)的旋轉來緊固至前述連接部件(40)或自前述連接部件(40)拆卸。
  13. 如請求項8至12中任一項所述之連接裝置(16)，其中前述連接部件(40) (特定而言，前述連接基座(86))的前述接觸側(54)具有狹長孔(90)，前述第二通道部分(44)開口至前述狹長孔(90)中。
  14. 如請求項13所述之連接裝置(16)，其中在前述轉接器(38)與前述連接部件(40)的耦接狀態下，前述轉接器(38)的突出部(84)突起至前述連接部件(40)的前述狹長孔(90)中。
  15. 一種用於處理基板、特定而言晶圓的濕製程模組(特定而言，噴漆模組)之供給系統，其包含 基座(18)，前述基座(18)具有用於將液體容器(14)支撐在其上的支撐表面(20)；以及 如請求項8至14中任一項所述之連接裝置(16)，其中前述連接裝置(16)經定位為與前述支撐表面(20)間隔開並且反向相對， 其中前述支撐表面(20)相對於水平線(H)係傾斜的。
  16. 如請求項15所述之供給系統，其進一步包含： 工作區域(30)，前述連接裝置(16)經定位於前述工作區域(30)中以用於耦接至液體容器(14) (特定而言，前述轉接器(38)附接至前述液體容器(14))；以及 停駐區域(28)，前述連接裝置(16) (特定而言，前述連接部件(40))在不使用時定位於前述停駐區域(28)中。
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