[go: up one dir, main page]

TR201921786A1 - Isil püskürtme yolu i̇le çok katmanli serami̇k yapilar üretmek i̇çi̇n bi̇r metot - Google Patents

Isil püskürtme yolu i̇le çok katmanli serami̇k yapilar üretmek i̇çi̇n bi̇r metot

Info

Publication number
TR201921786A1
TR201921786A1 TR2019/21786A TR201921786A TR201921786A1 TR 201921786 A1 TR201921786 A1 TR 201921786A1 TR 2019/21786 A TR2019/21786 A TR 2019/21786A TR 201921786 A TR201921786 A TR 201921786A TR 201921786 A1 TR201921786 A1 TR 201921786A1
Authority
TR
Turkey
Prior art keywords
radar
layers
coating
ceramic
materials
Prior art date
Application number
TR2019/21786A
Other languages
English (en)
Inventor
Sayginer Şebnem
Eri̇m İnal Mehmet
Bi̇rer Özgür
Dalkiliç Akin
Bi̇rol Hansu
Original Assignee
Aselsan Elektronik Sanayi Ve Ticaret As
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Aselsan Elektronik Sanayi Ve Ticaret As filed Critical Aselsan Elektronik Sanayi Ve Ticaret As
Priority to TR2019/21786A priority Critical patent/TR201921786A1/tr
Priority to EP20908070.4A priority patent/EP4021870A4/en
Priority to CN202080075697.2A priority patent/CN114616220A/zh
Priority to US17/786,583 priority patent/US20230034744A1/en
Priority to PCT/TR2020/050819 priority patent/WO2021133294A1/en
Priority to ARP200103441A priority patent/AR120720A1/es
Publication of TR201921786A1 publication Critical patent/TR201921786A1/tr

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/81Coating or impregnation
    • C04B41/85Coating or impregnation with inorganic materials
    • C04B41/87Ceramics
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/009After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/4505Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application
    • C04B41/4523Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application applied from the molten state ; Thermal spraying, e.g. plasma spraying
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/4505Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application
    • C04B41/4523Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application applied from the molten state ; Thermal spraying, e.g. plasma spraying
    • C04B41/4527Plasma spraying
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/01Selective coating, e.g. pattern coating, without pre-treatment of the material to be coated
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/02Pretreatment of the material to be coated, e.g. for coating on selected surface areas
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/04Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
    • C23C4/06Metallic material
    • C23C4/073Metallic material containing MCrAl or MCrAlY alloys, where M is nickel, cobalt or iron, with or without non-metal elements
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/04Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
    • C23C4/10Oxides, borides, carbides, nitrides or silicides; Mixtures thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/04Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
    • C23C4/10Oxides, borides, carbides, nitrides or silicides; Mixtures thereof
    • C23C4/11Oxides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/12Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the method of spraying
    • C23C4/129Flame spraying
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/12Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the method of spraying
    • C23C4/131Wire arc spraying
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/12Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the method of spraying
    • C23C4/134Plasma spraying
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01QANTENNAS, i.e. RADIO AERIALS
    • H01Q1/00Details of, or arrangements associated with, antennas
    • H01Q1/42Housings not intimately mechanically associated with radiating elements, e.g. radome
    • H01Q1/422Housings not intimately mechanically associated with radiating elements, e.g. radome comprising two or more layers of dielectric material

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Coating By Spraying Or Casting (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Details Of Aerials (AREA)

Abstract

Buluş, çok katmanlı seramik geniş bantlı telsizin anten kaportası üzerinde ısıl püskürtme kaplama malzemeleri ile imal edilmesine yönelik bir metottur. Birleştirilmiş yapı, biriken katmanların kalınlığına ve dielektrik sabitine bağlı olarak ayarlanmış olan RF saydamlığı yanıtı göstermektedir. Genişbant performansı için elzem olan ve kırılganlıkları nedeni ile üretilmesi zor olan mikron altı kalınlıktaki seramik katmanlar, hızlı ve otomatik bir işlem ile büyük ve karmaşık nesnelerde biriktirilebilmektedir.

Description

TARIFNAME isiL PUSKURTME YOLU iLE çOK KATMANLI SERAMIK YAPILAR URETMEK içiN BIR Bulusun Teknik Alani Mevcut bulus, radom muhafazasi (radom) üzerine seramik kaplama malzemelerinin isil püskürtülmesi yolu ile çok katmanli seramik genisbantli radar muhafazalari üretmek için bir metottur. Bulusun Arka Plani Daha yüksek Mach sayilarinda çalisan füze radar muhafazalari, yüksek sicaklik, isil ve mekanik yükler ve çevresel faktörler (yagmur/ toz/ kum erozyonu, nem) gibi agir kosullar ile karsilasmaktadirlar. Bu zorluklarin bir sonucu olarak, radar muhafaza malzemeleri, süper/hipersonik hizlarda gerçeklesen uzun süreli uçuslardaki isterleri karsilamak için seramiklerden seçilmektedir. Hem bu tür radar muhafazalari, hem de genisbantta çalisan arayici baslik muhafazalari hakkinda sinirli bilgi mevcuttur. Genisbant RF kabiliyeti, çoklu katmanlardan olusan monolitik bir yapi ile mümkün olmaktadir. Her bir katmanin, istenen frekans araliginda toplam RF performansina katkida bulunan spesifik bir kalinligi ve dielektrik sabiti vardir. Düsük ve yüksek dielektrik katmanlari birlestirerek gelistirilen genisbantli füze radar muhafazalariyla ilgili olarak, açik literatürde 'ozellikle organik tabanli malzemeler için bilgi bulunmaktadir. Düsük dielektrik katmanlar çogunlukla köpükler, petekler, organik yapidaki düsük yogunluklu mühendislik plastikleridir (PTFE, Duroid, PVC diizosiyanat, polyesterimid, polimetakrilimid ve benzeri). Bu malzemelerin bazilari, katmanin mekanik ve sicaklik dayanimini arttirmak için silikon, inorganik dolgu maddeleri ve cam elyaflar ile de karistirilabilmektedirler. Yüksek dielektrik katmanlar, alternatif olarak bir reçine içerisinde karistirilmis olan kuvars elyaf, E ya da S2 tipi cam elyaf ve kumaslardir. Bu düsük ve yüksek dielektrik sabitli katmanlarin her ikisi de ayri ayri hazirlanmakta ve geleneksel kompozit üretim teknikleri kullanilarak birlestirilmektedir. Bu teknikler araciligi ile üretilmis olan radar muhafazalarinin çok sayida dezavantaji mevcuttur: 0 Bu radar muhafazalari hava geçirmez degildir ve zamanla nemi emerek dielektrik özellikleri degistirmektedir (yaslanma). o Islemler kesme, yatirma, dagitma, süzdürme/emdirme, baskilama/biçimlendirme, sertlestirme gibi birbirini takip eden islem adimlari gerektirmektedir. Bu islemlerin çogu yari otomatiktir. o Süzdürme, baskilama, sertlestirme gibi islemler genellikle kismen sonuçlandirilir (kismi doldurma, kismi kürleme). - Bu radar muhafazalarinin bozulmasi, yüksek sicakliklarda ve uzun uçus sürelerinde hizlanmaktadir. Çok katmanli genisbant füze radom muhafazasi konusu, tek parçali (monolitik) seramik malzemeler için sinirli incelenmistir. Bu, çok sayida faktöre baglanabilmektedir: - Sandviç yapisinin yüksek dielektrik sabitli katmanlari için tipik deger olan ince kalinliktaki (0.3 ila 0.6 mm arasi) seramiklerin kirilganligi. . Bu tür ince katmanlarin geleneksel teknikler kullanilarak çekirdek katmanlara zorlu entegrasyonu. 0 Yüksek ve düsük dielektrik sabitli katmanlar arasindaki CTE (Isil Genlesme Katsayisi- Coefficient of Thermal Expansion) uyumsuzlugu. Bu alanda, 4,358,772 numarali US patent dokümani, CVD (Kimyasal Buharla Kaplama- Chemical Vapour Deposition) ile dis katmanlarina 8i3N4 kaplanan çamur döküm ergitilmis silika radar muhafazasini açiklamaktadir. Ancak, tipik olarak küçük bir CVD odacigi içerisinde, gözenekli ve büyük bir silika yapiyi kimyasal buharla kaplamanin nasil yapildigi çok açik degildir. Genisbant radar muhafazasi üzerindeki 'onceki çalismalarin çogu sandviç yapilara adanmistir. Bu radar muhafazalari içerisindeki katmanlar, 0.3 ila 0.6 mm kalinlik araliginda yüksek ve birkaç mm kalinliginda olan düsük dielektrik katmanlardan olusmaktadir. Ozel genisbant tasarimlari, katmanlarin sirasina bagli olarak A, B, C, D sandviç olarak adlandirilmaktadir. sandviç tasarim açiklanmaktadir. Yapi, sirasi ile yüksek ve düsük dielektrik sabitli reçine matrisinde cam fiber ve RT/Duroid katmanlardan olusmaktadir. 5,738,750 numarali US patent dokümani, bir A tipi sandviçi göstermekte olup, anlatilan yapi ergitilmis dokuma elyaflar ile doldurulmus olan düsük bir dielektrik petegi ve kuvars kumastan olusan katmanlarla birlestirilmesinden olusmaktadir. Bu patentlere benzer sekilde, 6,028,565, dokümani, yüksek dielektrik sabitli kuvars veya E ya da 82 cam elyafli katmanlarla düsük dielektrik sabitli silikon tabanli köpükler, poliimit köpükler ve kumaslarin birlestirilmesi sonucu ortaya çikan farkli sandviç yapilari anlatmaktadir. Bu çalismalarin tümü, süzdürme, baskilama ile sekillendirme, sertlestirme (kürleme) islemleri gerektiren farkli Polimer Matris Kompozit (PMC- Polymer Matrix Composite) üretim tekniklerine dayanmaktadir. Buna ilave olarak, geometrik toleranslari yerine getirmek için radom muhafazasinin nasil sekillendigi ve hangi son islemlere tabi tutuldugu çok net degildir. 8.765.230 numarali US patent dokümaninda, Termal Bariyer Kaplama (TBC- Thermal Barrier Coating) malzemeleri, yüksek sicakliklari etkili bir sekilde azalttigi iddia edilen radar muhafazalari ile birlikte sunulmaktadir. Bununla birlikte, patentin, radar muhafazasinin genis bant özellikleri ile ilgisi yoktur. Bulusun Kisa Açiklamasi Bulusun odak noktasi, milimetre (mm) alti kalinliktaki seramik katmanlarin büyük ve kompleks geometrili seramik yapilar üzerine isil püskürtülmesidir. Ortaya çikan yapi, kaplanan katmanlarin kalinligina ve dielektrik sabitine bagli olarak RF geçirgenliginde farklilik gösterir. Uygulama, kisa zaman araliklarinda ayri termal püskürtme seanslari gerektirdigi için direk ve hizlidir. Bu, geleneksel çok katmanli üretim tekniklerine kiyasla önemli bir gelismedir, çünkü genisbantliligi saglayacak malzemeler ek islemler kullanilmadan istenilen yüzeylere kaplanabilmektedir. Bu teknik, daha yüksek üretkenlige sahip olan genisbant seramik radar muhafazalarinin gelistirilmesine bir alternatiftir. Diger çok katmanli seramik, PMC, CMC bazli radar muhafazasi üretim teknikleri ile karsilastirildigi zaman bu patentte açiklanan metot asagidaki benzersiz 'özellikleri kapsamaktadir: - Genis bant performansi için kritik ve kirilganliklari nedeni ile üretilmesi zor olan milimetre alti kalinliktaki seramik katmanlar, hizli ve otomatize edilmis bir islem ile büyük ve kompleks geometrili yapilar üzerine kaplanabilmektedirler. 0 Teknik olarak, tüm kaplama malzemeleri erime sirasinda ayrismadiklaril dekompoze olmadiklari sürece mm alti bir katman olusturmak için püskürtülebilir ve yüzeyi kaplayabilir. Bu avantajla, istenen performans için çok farkli malzemeler uygulanabilir. - Kaplama kalinligi homojen ve ayarlanabilirdir. Bu, RF tasarim yeteneginde ekstra özgürlük sunmaktadir. - Isil püskürtme islemi dogrudan ve otomatizedir; kesme, süzdürme, Iaminasyon, sekillendirme ve sertlestirme gibi katman hazirlama ve birlestirme adimlari yoktur. Belirli bir katman kaplama malzemesi kombinasyonu için isil püskürtme islemi özellestirilebilir ve optimize edilebilirdir. CWS (Alevli Tel Püskürtme- Combustion Wire Spray), CPS (Alevli Toz Püskürtme- Combustion Powder Spray), Elektrikli Ark Teli Püskürtme, APS (Atmosferik Plazma Püskürtme- Atmospheric Plasma Spray), HVOF (Yüksek Hizli Oksi Yakit Püskürtme- High Velocity Oxy-Fuel Spray), degisken kinetik ve isil enerji kapasitelerine sahip olan farkli isil püskürtme teknikleridir. Bu, belirli yüzeyler için uygun kaplama malzemelerinin dogru miktarlarda kullanilmasini kolaylastirmaktadir. Kaplama, RF arayici baslik ve radardaki diger elektronik bilesenlerin konumuna bagli olarak maskeler kullanmak sureti ile radar muhafazasina kismen uygulanabilmektedir. Bunu yapmak sureti ile, radar muhafazasi, belirli RF bilesenlerinin özel performansi için belirli fonksiyonel alanlara bölünebilmektedir. Bu yaklasim, kaplama malzemesi kullanim miktarini ve radar muhafazasinin kritik kisimlarindaki olasi CTE uyumsuzlugunu daha da sinirlamaktadir. Sekillerin Kisa Açiklamasi Sekil 1, radar muhafazasi gibi büyük ve kompleks geometrili seramik yapilarin isil püskürtme teknigiyle kaplanmasini göstermektedir. Sekil 2, A-sandviçi ve islenmemis RF geçirgenligini göstermektedir. Sekil 3, radar muhafazasi yüzeylerinin disaridan ve içeriden kaplanmalarini göstermektedir. Sekil 4, sirasi ile A- sandviç, B- sandviç, C- sandviç ve D- sandviç yapilari göstermekte olup, burada gri bölgeler düsük dielektrik katmanlari göstermektedir. Sekil 5, sirasi ile farkli malzemelerden olusan çok katmanli yapi katmanlari ve arayici basligin yönelim araligina göre adapte edilmis (örnek olarak A-sandviç) bölümlendirilmis kaplamalari göstermektedir. Parça Referanslarinin Açiklamasi Kaplama malzemesi Hizlandirici ortam Radar muhafazasi Dis kaplama Iç kaplama Ayrintili Açiklama yönlendirilmesiyle uygulanan bir kaplama islemidir (Sekil 1). Kaplama ve yüzey arasindaki baglanma, soguk yüzeyin üzerindeki eriyik haldeki malzemenin katilasmasi sonucudur ve mekaniktir [1]. Islem standart olarak isil ve mekanik kosullarin malzeme yüzey kalitesini sürekli olarak etkiledigi pek çok endüstri sektöründe etkili olarak kullanilmaktadir [1-4]. vardir. Kaplama tozlarinin büyüklügü, sekli, reaktivitesi, morfolojisi ve yüzey özellikleri verimliligi önemli ölçüde etkilemektedir. Buna ilave olarak, atmosfer, isi kaynagi, asiri isi üretmek ve kaplama parçaciklarini hizlandirmak için kullanilan gazlara ve uygulanan hizlara bagli olarak genel isil püskürtme baglami basligi altinda farkli islemler kullanilmaktadir. Bu, malzeme seçim araliginin ve ulasilabilir kalinligin diger kaplama tekniklerine kiyas ile çok genis olmasinin nedenlerinden biridir. Geleneksel alev püskürtmede, yüzey üzerine kaplanan kaplama malzemesi (0), tel ya da toz formunda olabilir ve bu nedenle teknik CWS (Alev Tel Püskürtme) ya da CPS (Alevli Toz Püskürtme) olarak adlandirilmaktadir. Tipik kaplama kalinligi 0.04 ila 2.50 mm civarindadir ve bu teknikte maksimum 3.000 uygulanan voltajin malzemeyi 4.000 TJ civarinda eri ttigi ve yüzeye 0.5 Mach civarinda bir hizda gönderdigi bir baska seçenektir [1]. APS (Atmosferik Plazma Püskürtme) ile toz (seramik/ polimer/ metal) 16.000 °C'ye kadar plazma arkinda eritilir ve parçaciklar süpersonik hizda (~ 1,5 Mach) hedefe dogru hareket eder [1, 3]. Teknik olarak, herhangi bir malzeme ayrismadigi/ dekompoze olmadigi sürece APS ile eritilebilmekte ve kaplanabilmektedir. HVOF (Yüksek Hizli Oksi Yakit), malzemeleri 3.000 °C'de eriten ve 1.5 ila 3 Mach arasinda bir hizda hedefe hizlandiran baska bir isil püskürtme teknigidir [1]. Bu tekniklerin her biri spesifik malzemeler ve uygulamalar için optimize edilmistir ve isil ve kinetik isterlere göre degisiklik göstermektedir [2, 4]. Bunlarin arasinda, HVOF, isiyi kaplanacak yüzeye fazlaca geçirmeden kaplama malzemelerini yeterince yüksek bir sicaklikta eriten en uygun tekniktir. Kaplama malzemesinin yapismasi çogunlukla bu durumda süpersonik uçus ile saglanmaktadir [1, 4]. Çok katmanli genis bant seramik radar muhafazalarinin üretimi, isil püskürtme islemi ile saglanmaktadir. Kaplanacak olan yüzey, farkli tekniklerle gelistirilmis bir radomdur. Bu teknikler çamur döküm, ergitme döküm, çevirmeli döküm, katmanli imalat (toz ve baglayicilarin kullanildigi teknikler: SLS - Seçici Lazer Sinterleme (Selective Laser Sintering), SLM - Seçici Lazer Ergitme (Selective Laser Melting), SPS - Kivilcim Plazma Sinterleme (Spark Plasma Sintering), LOM - Lamine Nesne Uretme (Laminated Object Manufacturing), FDM - Kaynastirilmis Birikim Kaliplama (Fused Deposition Modeling), DLP - Dijital Isikli Isleme (Digital Light Processing), ve STLA - Stereo Tas Baski (Stereo Lithography )), polimer/seramik dolgulu prepregler, fiber sarma ve süzdürme gibi kompozit üretim teknikleridir. Radar muhafazasi (e) malzemesi, ergitilmis SiOg, Al203, SI3N4, LAS (Lityum Alüminyum Silikat-), MAS (Magnezyum Alüminyum Silikat) gibi iyi bilinen bir dizi seramik arasindan seçilebilmektedir. Bu malzemeler, isil püskürtme tekniginin seçiminde büyük rol oynayan spesifik isil, mekanik ve elektriksel özelliklere sahiptirler. Ergitilmis SIOz hariç, yukarida belirtilen malzemelerin tümü sinirli isil sok ve isil stabilite dirençlerine sahiptir. Buna ilave olarak, bu malzemelerin özellikleri, ergitilmis parçaciklarin termal enerjisi yüksek kinetik enerji ile yüzeylerine çarptirilmasi sonucunda önemli ölçüde degismektedir. etkilidir. Bu ince seramik katmanlarinin imalati ve birlestirilmesi, çok katmanli yapilarin, özellikle genisbant RF performansi sergileyen sandviç yapilarin (A, B, C, D) hazirlanmasi için önemli bir adimdir. Ayni malzemeyi kullanan iki tasarimin RF geçirgenligi Sekil 2'de karsilastirilmis ve sunulmustur. Bu malzemeler: o islenmemis (ham), tek katmandan olusan malzeme örnegi, 0 yüksek ve düsük dielektrik sabitli malzemelerden olusan A sandviç. RF saydamligi, tüm numuneler için 0 ila 40 GHz araliginda ölçülmektedir. Sekil 2'de gösterildigi gibi, ham numunenin düsük frekanstaki RF karakteristigi, sandviç tasarim ile gelistirilmistir. Kaplanacak yüzeyleri korumak için spesifik özelliklere sahip kaplama malzemeleri (c) vardir. La22r207, BaZrOs, TIOz, garnet, Iantan alüminat, LaPO4, NiCoCrAIY, YAIOs, isil püskürtmede sikça kullanilan seramik bazli kaplama malzemelerinin bazilaridir [3]. Bu malzemelerin seramik radar muhafazasi (e) üzerine kaplanmasi için, birkaç kriter kontrol edilmeli ve yerine getirilmelidir. Kaplanacak yüzey, sicak parçaciklarin soguk yüzey ile karsilasmasi sonucu isil soklara dayanmalidir. Bu, kaplanacak yüzeyin genis bir sicaklik araliginda kararli isil genlesme davranisi ile optimum isil iletkenlik kombinasyonunu gerektirmektedir. Kaplanacak yüzeyin özellikleri, yapismayi etkileyen bir baska kritik faktördür. Gelistirilmis kaplama yapisma performansi için kaplanacak yüzeyin, yapisma kuvvetini arttirmak için yüzey alanini artiran kumlama, kimyasal asindirma, darbeli lazer ablasyon teknikleri gibi ilave islemlere ihtiyaç duyabilmektedir. Püskürtme teknigi de ayni zamanda kaplama isleminde önemli bir rol oynamaktadir. Seramik parçaciklari eritmek için gereken yüksek isil enerji, eriyik parça uçusu sirasinda yüksek kinetik enerji ile hizli bir sekilde düsebilmekte, bu da kaplanacak yüzeyin ekstra isiya maruz kalmasini önlemektedir. En önemli isterlerden bir tanesi de, kaplama malzemelerinin (c) radar muhafazasinin (e) RF performansini bozmamasidir. Çok katmanli seramik radar muhafazasi (e) üretimi için baslangiç: noktasi, seramik radar muhafazasi (e) ve bunun kaplanacak yüzeyidir. . Geleneksel radar muhafazasi (e) malzemeleri, ergitilmis SIOz, AI, MAS (Magnezyum Alüminyum Silikat) ve PMC ve CMC'ler gibi tek parçali (monolitik) seramiklerden seçilebilmektedir. Monolitik radar muhafazasi (e) döküm, eriyik dökümü ve geleneksel polimer ya da seramik kompozit üretim teknikleri ile üretilebilmektedir. Dökümde, seramik tozu, boyut küçültme ve homojenlestirme için uygun bir araç ile karistirilmakta ve ögütülmektedir. Yeterli koloidal stabiliteye sahip olan çamur, katki maddeleri (asit bazli ya da organik polimerler) ile elde edilmekte, bu daha sonra sekillendirme islemi için bir kaliba dökülmektedir. Arzu edilen bir kalinlik elde edildikten sonra radar muhafazasi (e) kaliptan çikarilmakta, uzun süre havada kurutulmakta ve sinterlenmektedir. Eriyik dökme veya ergitilmis döküm tekniginde, özel bir kompozisyon, sicaklik ve viskoziteye sahip eriyik cam, merkez ekseni etrafinda döndürülen ve daha sonra disi bir kalip ile kaplanmis olan bir erkek kalip üzerine dökülmektedir. Her iki metotta da hassas kalinlik ve düzlem toleranslari elde etmek için dökümü takiben taslama ve parlatma gibi islemler yapilmaktadir. Seramik malzemeye bagli olarak, yüksek sicaklikta balmumu ya da reçinenin kullanilmasi sureti ile ayni zamanda yüzey sizdirmaz hale getirilebilmektedir. Kompozitler, tekli filamentlerin mandreller üzerine sarilmasi ve reçineler/ süspansiyonlar ile doldurulmasi ya da polimer reçinesi emprenye edilmis ya da seramik süspansiyon emdirilmis kumaslarin birlestirilmesi ile olusturulmaktadir. Sekillendirme ve sinterleme isleminden sonra, radar muhafazasi (e) malzemesi RF performansi için kritik olan hassas kalinlik ve düzlemsellik toleranslari sergilemek üzere islenmektedir. Radar muhafazasi (e) hazir oldugu zaman, cilali yüzeyinin, isil olarak püskürtülen parçaciklarla kaplanmasi için uygun sekilde hazirlanmasi gerekmektedir. Ergitilmis malzemenin mekanik olarak yüzeye kilitlenmesi ya da kancalanmasi, kaplanacak yüzeyin yüzey alani arttirilarak iyilestirilebilmektedir. Bu amaçla farkli kimyasal, mekanik ya da isil islemler kullanilabilmektedir. Asitle asindirma, yüzey pürüzlülügünü arttirmak için, kimyasal maddenin yüzey kimyasini degistirmeden dikkatle yapilmasi gereken kimyasal bir islemdir. Yüzey özellikleri vei'veya boyutsal toleranslar önemli ölçüde degismedigi sürece pürüzlülügü arttirmak için ayni zamanda taslama ve kumlama gibi mekanik metotlar da kullanilabilmektedir. Darbeli lazer ablasyonu, isil enerji yolu ile hassas yüzey pürüzlülügü saglamada etkilidir. Ergitilmis malzemelerin daha iyi yapismasi için seramik yüzey pürüzlülügünün arttirilmasi zorunlu bulunmustur. Seramik radar muhafazasinin (e) yüzey modifikasyonundan sonra, kaplama malzemesi (c) isil olarak püskürtülmektedir. Daha küçük isil püskürtme sistemleri. radar muhafazasinin (e) içi gibi kapali bölümlerdeki "erisilmesi zor" noktalari kaplamak için robot kollari ile entegre edilebilmektedir. Malzemeye ve tercih edilen kalinlik araligina bagli olarak uygun teknik kullanilabilmektedir. HVOF yukarida belirtilen kaplama malzemelerinin (c) çogunu eritebilme kabiliyetine sahipken, diger isil püskürtme tekniklerine kiyasla minimum isil enerji miktarini yüzeye aktarmaktadir. Çoklu katman, radar muhafazasinin (e) dis ve iç yüzeylerinnin kaplanmasiyla olusturulabilir (Sekil 3) ve bu sayede farkli genisbant RF davranisi ortaya 0 A-Sandviç: Radar muhafazasi (e), kalin (birkaç mm) ve düsük dielektrik sabitli, dis ve iç katmanlarda/yüzeylerde ince (mm alti) ve yüksek dielektrik sabitli malzemeler ile kaplanmistir (Sekil 4). . B-Sandviç: Radar muhafazasi (e), ince (mm alti) ve yüksek dielektrik sabitli radar muhafazasi (e), dis ve iç yüzeylerde kalin (birkaç mm) ve düsük dielektrik sabitli malzemeler ile kaplanmistir (Sekil 4). CSW ve GPS teknikleri, kalin katmanlar için basarili bir sekilde, 2.50 mm kalinliga kadar olan kaplamalar için kullanilmaktadir. - C-Sandviç: A sandviçin tekraridir. A sandviçin dis katmanlari üzerine kalin ve düsük dielektrik sabitli malzemenin isil püskürtülmesi ile olusturulmaktadir (Sekil 4). - D-Sandviç: B sandviçin tekraridir. Ancak, B sandviçin dis katmanlari üzerine, ince ve yüksek dielektrik sabitli malzemenin isil püskürtülmesi ile olusturulmaktadir (Sekil 4). - Bölümlendirilmis olan radar muhafazasi (e) yapilari: Radar muhafazasinin (e) daha önceden tanimlanmis olan yerlerinin maskelenmesi ve püskürtülen kaplama malzemesi (c) ile kaplanmasi. Bu yaklasim yukarida belirtilen sandviç seçeneklerinin tümüne uygulanabilmektedir. Sekil 5, A-sandviç için hazirlanan bölümlenmis yapiyi göstermektedir. çoklu katmanlar üzerinde daha homojen bir kesit olusmaktadir. Isil püskürtmenin son islemi, yüzey pürüzlülügünü azaltmak için yüzey parlatma islemidir. Bu islemle, kalinlik ve düzlemsellik degerleri optimize edilmis olan RF özellikleri için gerekli olan siki toleranslar saglanmaktadir. TR TR TR TR TR TR TR

Claims (1)

1.
TR2019/21786A 2019-12-26 2019-12-26 Isil püskürtme yolu i̇le çok katmanli serami̇k yapilar üretmek i̇çi̇n bi̇r metot TR201921786A1 (tr)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TR2019/21786A TR201921786A1 (tr) 2019-12-26 2019-12-26 Isil püskürtme yolu i̇le çok katmanli serami̇k yapilar üretmek i̇çi̇n bi̇r metot
EP20908070.4A EP4021870A4 (en) 2019-12-26 2020-09-09 PROCESS FOR MANUFACTURING CERAMIC MULTILAYER STRUCTURES BY THERMAL SPRAYING
CN202080075697.2A CN114616220A (zh) 2019-12-26 2020-09-09 通过热喷涂制造多层陶瓷结构的方法
US17/786,583 US20230034744A1 (en) 2019-12-26 2020-09-09 Method for fabricating multilayer ceramic structures by thermal spraying
PCT/TR2020/050819 WO2021133294A1 (en) 2019-12-26 2020-09-09 A method for fabricating multilayer ceramic structures by thermal spraying
ARP200103441A AR120720A1 (es) 2019-12-26 2020-12-11 Un método para fabricar estructuras cerámicas de múltiples capas por proyección térmica

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TR2019/21786A TR201921786A1 (tr) 2019-12-26 2019-12-26 Isil püskürtme yolu i̇le çok katmanli serami̇k yapilar üretmek i̇çi̇n bi̇r metot

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TR201921786A1 true TR201921786A1 (tr) 2021-07-26

Family

ID=76573126

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TR2019/21786A TR201921786A1 (tr) 2019-12-26 2019-12-26 Isil püskürtme yolu i̇le çok katmanli serami̇k yapilar üretmek i̇çi̇n bi̇r metot

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20230034744A1 (tr)
EP (1) EP4021870A4 (tr)
CN (1) CN114616220A (tr)
AR (1) AR120720A1 (tr)
TR (1) TR201921786A1 (tr)
WO (1) WO2021133294A1 (tr)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115286382B (zh) * 2022-07-28 2023-01-31 中国人民解放军国防科技大学 一种锆酸镧纳米隔热纤维膜及其制备方法、应用
CN119039011B (zh) * 2024-10-30 2025-03-07 山东工业陶瓷研究设计院有限公司 一种叠层结构宽频透波氮化硅陶瓷天线罩制备方法

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3068764D1 (en) * 1979-03-20 1984-09-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ceramic type sensor device
US4358772A (en) * 1980-04-30 1982-11-09 Hughes Aircraft Company Ceramic broadband radome
US4570166A (en) * 1983-08-29 1986-02-11 General Electric Company RF-Transparent shield structures
JP2845040B2 (ja) * 1992-07-01 1999-01-13 住友電気工業株式会社 広帯域用レドーム
JP2000154033A (ja) * 1998-11-13 2000-06-06 Asahi Glass Co Ltd 搬送用ロールの製造方法
US6723387B1 (en) * 1999-08-16 2004-04-20 Rutgers University Multimodal structured hardcoatings made from micro-nanocomposite materials
CN1280237C (zh) * 2004-12-01 2006-10-18 山东中材先进材料股份有限公司 天线罩涂层材料及其制备方法
FR2915493B1 (fr) * 2007-04-30 2009-07-24 Snecma Sa Procede pour realiser un depot sur un substrat recouvert de sic
CN101591196B (zh) * 2008-11-21 2012-07-18 中材高新材料股份有限公司 宽频陶瓷基复合材料用釉层材料及其制备方法
US8130167B2 (en) * 2009-04-10 2012-03-06 Coi Ceramics, Inc. Radomes, aircraft and spacecraft including such radomes, and methods of forming radomes
US8765230B1 (en) * 2009-12-01 2014-07-01 The Boeing Company Thermal barrier coated RF radomes and method
FR2959244B1 (fr) * 2010-04-23 2012-06-29 Commissariat Energie Atomique Procede de preparation d'un revetement multicouche sur une surface d'un substrat par projection thermique.
CN102225869A (zh) * 2011-04-12 2011-10-26 中材高新材料股份有限公司 高温宽频透波复合材料及其制备方法
CN105563964B (zh) * 2015-12-30 2018-01-26 中国人民解放军国防科学技术大学 一种机载天线罩用复合材料及其制备方法
CN107254652A (zh) * 2017-06-28 2017-10-17 福州大学 一种多层热障涂层及其制备方法
RU2662250C1 (ru) * 2017-08-31 2018-07-25 Акционерное общество "Обнинское научно-производственное предприятие "Технология" им. А.Г. Ромашина" Антенный обтекатель
CN108183326A (zh) * 2018-01-25 2018-06-19 合肥驼峰电子科技发展有限公司 一种毫米波雷达天线罩
CN108258410A (zh) * 2018-01-25 2018-07-06 合肥驼峰电子科技发展有限公司 一种毫米波雷达耐高温透波天线罩
CN108521015A (zh) * 2018-01-25 2018-09-11 合肥驼峰电子科技发展有限公司 一种毫米波雷达隔热透波天线罩
CN109786961B (zh) * 2018-12-05 2021-06-22 航天特种材料及工艺技术研究所 一种耐高温频率选择表面天线罩及制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN114616220A (zh) 2022-06-10
EP4021870A1 (en) 2022-07-06
WO2021133294A1 (en) 2021-07-01
US20230034744A1 (en) 2023-02-02
EP4021870A4 (en) 2022-11-02
AR120720A1 (es) 2022-03-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4358772A (en) Ceramic broadband radome
US6165600A (en) Gas turbine engine component having a thermal-insulating multilayer ceramic coating
JP5909485B2 (ja) 遮熱ナノコーティング及び同ナノコーティングを調製する方法
CN109786961B (zh) 一种耐高温频率选择表面天线罩及制备方法
US9085991B2 (en) Protective coatings for ceramic matrix composite substrates and methods for improving the wear resistance thereof and coated articles produced therefrom
CA2532822A1 (en) Composition gradient thermostructural composite structure and method for the production thereof
TR201921786A1 (tr) Isil püskürtme yolu i̇le çok katmanli serami̇k yapilar üretmek i̇çi̇n bi̇r metot
WO1996029447A1 (en) Method for producing thick ceramic films by a sol gel coating process
US20080241490A1 (en) Sprayable Aerogel Insulation
EP2264208A1 (en) Coating structure and surface treating method
JPH1013129A (ja) レドーム
KR20130089408A (ko) 세라믹 복합재료를 사용한 열용사 코팅재 및 그 제조방법과 코팅방법
EP1505044B1 (en) Insulating ceramic based on partially filled shapes
CN109455924B (zh) 一种具有频率选择结构的纤维增强陶瓷基透波材料及制备方法
CN109678476B (zh) 一种具有fss的纤维增强陶瓷基透波材料及制备方法
EP4032144A1 (en) Fabrication method of multilayer ceramic structures by continuous filaments of identical composition
JP4975101B2 (ja) 高抵抗セラミック熱溶射コーティング素材及びこれを含む静電チャックの製造方法
JP2003048783A (ja) アルミナセラミックス接合体及びその製造方法
KR101680856B1 (ko) 세라믹 부품용 파우더를 이용한 플라즈마 식각장치의 세라믹 부품 및 그 제조방법
CN113981381A (zh) 一种火灾低空飞行救援无人机机身轻质材料表面涂层及其制备方法
CN112645696A (zh) 一种氧化铝增强zta陶瓷基板及其制备方法
KR20240145683A (ko) 반도체 검사 설비의 워크피스 코팅 방법
KR20160055991A (ko) 플라즈마 처리 장치용 내부재 및 이의 제조 방법
TR202021406A2 (tr) Dielektriksel Olarak Derecelendirilmiş RF-Geçirgen Seramik Matris Kompozit Yapıların Üretimi
CN108218438A (zh) 一种氮化硅宽频带透波材料