Claims (1)
..1 Изобретение относитс к точной ме ханике, а именно, к механизмам, обес печивающим линейные перемещени различных деталей и их позиционирование дл обработки, контрол и других опе раций. Известен координатный стол, содер жащий базисную плиту, предметную пли . ту, установленную а базисной плите на плоских аэростатических опорах, линейный двигатель, ротор которого жестко закреплен на. базисной плйте, а статор жестко св зан с предметж)й плитой р }. Однако привод этот имеет недоста точную стабильность т гового усили , вследствие колебани зазоров ротором и статором линейного электродвигател под воздействием вертикальных рабочих нагрузок в сверлильном станке (прижим и сверление платы ), колебани давлени в пневмосети и нагрева ротора и статора в процессе работы. Цель изобретени - повышение ста- бильности т гового усили привода. Поставленна цель достигаетс тем, что стол снабжен роликами и системой принудительного отвода тепла, при этом ролики установлены на аэростатических направл кнцих с -возможностью вращени вокруг осей,эксцентричных ос м роликов, а система принудительного отвода тепла выполнена в виде плоских трубопроводов, расположенных, вдоль рабочих поверхностей статора и ротора линейного двигател , причем упом нутые рабочие поверхности статора и ротора, а так же оси роликов расположены в плоскост х, перпендикул рных поверхности базисной плиты. На фиг. 1 изображен координатный стол, общий, вид; на фиг. 2 - сечение А-А на фиг. 1. Координатный стол состоит из базисной плиты 1 на которой жестко установлен ротор 2 линейного двигател , предметной плиты 3i перемещаю щейс по базисной плите 1 с помощью замкнутых аэростатических направл ющих k, и несуи.ей жестко закрепленный статор 5 линейного двигател . На аэростатических направл ющих Ц установлены на эксцентриковых ос х 6 ролики 7. В корпусах ротора 2 и статора 5. проложены плоские металлические трубопроводы 8 и 9 имеющие в поперечном сечении овальную форму, по ко торым циркулирует хладагент. Ротор 2 линейного электродвигател охватывае с двух сторон статор 5 с зазором а между рабочими поверхност ми 10 и 11 расположенными вертикально. Устройство работает следующим образом . Включаетс система воздухообеспечени , очищенный и осушенный воздух под давлением 4-5 атм поступает в газовые зазоры аэростатических направл ющих предметной плиты 3. Пред . мётна плита 3. под действием подъемной силы аэростатических направл ющих всплывает на газовой смазке на 12-15 мкм над поверхностью базисной плиты 1 и устанавливаетс симмет рично относительно направл ющих поверхностей аэростатических направл ющих 4, обеспечива ,зазоры а между рабочими поверхност ми 10 и 11 ротора 2 и статора 5 линейного электродвигател в пределах 12-15 мкм. Включаетс система охлаждени , хладагент (например вода) поступает под давлением в трубопроводы 8 и 9i пройд через них, сливаетс , либо ох лаждаетс , -и снова поступает в трубопроводы 8 и 9На плиту 3.устанавливаютс пакеты печатных плат, подлежащих обработке. Далее при подаче управл ющих сигналов по заданной программе предметна плита 3 перемещаетс в направл ющих по базисной плите 1 в заданную позицию. , Рабоча нагрузка Р, возн1 кающа при обработке печатных плат, вызывает смещение предметной плиты в вертикальном направлении. Однако, благодари вертикальному располо | ению рабочих поверхностей 10 и 11, оно не . оказывает вли ни на величину рабочих зазоров а, следовательно, и на величину, т гового усили . Случайн| 1е толчки в горизонтальной плоскости, вызывающие изменение зазоров «, воспринимаютс аэростатическими направл ющими А, причем величина колебани 99 4 зазоров ограничиваетс путем соответствующей регулировки роликов I7 с помощью эксцентриковых осей 6, Выдел ющеес в роторе 2 и статоре 5 при работе привода тепло отводитс с помощью хладагента, пр9пускаемого через трубопроводы 8 и 9, чем обеспечиваетс посто нство зазоров d и величины т гового усили . Вертикальное расположение рабочих поверхностей ротора и статора линейного электродвигател исключает вли ние рабочих нагрузок (прижим и сверление платы) на величину ,зазора между ними. Аэростатические направл ющие ограничивают колебани рабочего зазора в пределах 12-15 мкм при случайных горизонтальных нагрузках. При значительных горизонтальных нагрузках в работу вступают опоры качени , выступающие над направл ющими поверхност ми аэростатических опор, которые исключают слипание рабочих поверхностей ротора и статора, гарантиру зазор между ними в пределах 5-8 мкм. Принудительна систе,ма отвода тепла , выполненна в виде плоских металлических трубопроводов, расположенных непосредственно под рабочими поверхност ми ротора и статора, с циркулирующим по ним хладагентом, позвол ет более эффективно охлаждать последние и, благодар этому, исключить их коробление от нагрева при длительной работе привода, сохран посто нным рабочий зазор. Формула изобретени Координатный стол, содержащий базисную плиту, предметную плиту, установленную на базисной плите на плоских аэростатических направл ющих, и линейный двигатель, ротор которого жестко закреплен на базисной плите, а статор жестко св зан с предметной плитой, отличающийс тем, что, с целью повышени стабильности т гового усили привода, стол снабжен роликами и системой принудительного отвода тепла, при этом ролики установлены на аэростатических направл ющих с возможностью вращени вокруг осей, эксцентричных ос м роликов , а система принудительного отвода теп а выполнена в виде плоских трубопроводов, расположенных вдоль .рабочих поверхностей статора и ротоpa линейного двигател , причем упом нутые рабочие поверхности статора И ротора и оси роликов расположены в плоскост х, перпендикул рных верхности базисной плиты. д fo 11 9 ..1 The invention relates to the exact mechanics, namely, to mechanisms that ensure the linear movement of various parts and their positioning for processing, control and other operations. The coordinate table containing the base plate, the subject plate, is known. the one installed on the base plate on flat aerostatic supports, linear motor, the rotor of which is rigidly fixed on. base plate, and the stator is rigidly connected with the subject plate and plate p}. However, this drive has insufficient stability of the thrust force due to oscillations of the gaps by the rotor and stator of the linear electric motor under the influence of vertical working loads in the drilling machine (pressing and drilling the board), pressure fluctuations in the pneumatic network and heating of the rotor and stator during operation. The purpose of the invention is to increase the stability of the traction drive force. The goal is achieved by the fact that the table is equipped with rollers and a system of forced heat dissipation, while the rollers are mounted on aerostatic directions with the possibility of rotation around the axes, eccentric axes of the rollers, and the system of forced heat dissipation is made in the form of flat pipelines located along working the surfaces of the stator and the rotor of the linear motor, with the mentioned working surfaces of the stator and the rotor, as well as the axis of the rollers located in planes perpendicular to the surface of the base plate. FIG. 1 shows the coordinate table, general, view; in fig. 2 is a section A-A in FIG. 1. The coordinate table consists of a base plate 1 on which the rotor 2 of the linear motor is rigidly mounted, the slide plate 3i is displaced along the base plate 1 by means of closed aerostatic guides k, and there is a rigidly fixed stator 5 of the linear engine. On aerostatic guides C, there are mounted rollers 7 on eccentric axles 6. In rotor 2 and stator 5 housings there are flat metal pipelines 8 and 9 having an oval shape in cross section along which refrigerant circulates. The rotor 2 of the linear electric motor spans the stator 5 from both sides with a gap a between the working surfaces 10 and 11 arranged vertically. The device works as follows. The air supply system is turned on, the cleaned and dried air at a pressure of 4-5 atm enters the gas gaps of the aerostatic guides of the plate 3. the weed plate 3. under the action of the lifting force of the aerostatic guides floats on the gas lubricant 12-15 µm above the surface of the base plate 1 and is installed symmetrically with respect to the guiding surfaces of the aerostatic guides 4, providing gaps and between the working surfaces 10 and 11 of the rotor 2 and the stator 5 of the linear electric motor within 12-15 microns. The cooling system is turned on, the refrigerant (for example, water) flows under pressure into the pipes 8 and 9i, passes through them, is drained or cooled, and again enters the pipes 8 and 9 On the plate 3. Packages of printed circuit boards to be processed are installed. Further, when the control signals are applied according to a given program, the subject plate 3 moves in guides along the base plate 1 to a predetermined position. The working load P, arising from the processing of printed circuit boards, causes the displacement of the sample plate in the vertical direction. However, thanks to the vertical layout | working surfaces 10 and 11, it is not. It affects the size of the working clearances and, consequently, the amount of pulling force. Accident | 1e, the thrusts in the horizontal plane causing a change in the gaps are perceived by the aerostatic guides A, the oscillation magnitude 994 of the gaps being limited by appropriate adjustment of the rollers I7 using eccentric axes 6. refrigerant flowing through pipelines 8 and 9, which ensures the constancy of gaps d and the magnitude of pulling force. The vertical arrangement of the working surfaces of the rotor and the stator of a linear electric motor eliminates the influence of working loads (pressing and drilling the board) on the amount of the gap between them. Aerostatic guides limit the variation of the working gap in the range of 12-15 microns with random horizontal loads. With significant horizontal loads, rolling bearings, protruding above the guide surfaces of aerostatic bearings, which prevent sticking of the working surfaces of the rotor and stator, come into operation, guaranteeing a gap between them within 5-8 microns. Forced system, heat removal, made in the form of flat metal pipelines located directly under the working surfaces of the rotor and stator, with refrigerant circulating through them, allows the latter to cool more efficiently and, due to this, prevent their distortion from heating during long-term operation of the drive , keep the working clearance constant. Claims of the invention A coordinate table comprising a base plate, an object plate mounted on the base plate on flat aerostatic guides, and a linear motor, the rotor of which is rigidly fixed on the base plate, and the stator is rigidly connected to the object plate, characterized in that increase the stability of the driving force, the table is equipped with rollers and a system of forced heat removal, while the rollers are mounted on aerostatic guides with the possibility of rotation around the axes eccentric The system of forced removal of heat is made in the form of flat pipelines located along the working surfaces of the stator and rotor of the linear motor, with the mentioned working surfaces of the stator And the rotor and the axis of the rollers located in planes perpendicular to the surface of the base plate. d fo 11 9
фие.1FI.1
nodSffd 96165 Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе i 1. Авторское свидетельство СССР 5 № 77067, кл. В 23 В 39/00, 1978. LLnodSffd 96165 Sources of information taken into account in examination i 1. USSR USSR Certificate No. 5, 77067, cl. B 23 B 39/00, 1978. LL