Устройство срдержит излучатель 1 акустических волн, например пьезоэлектрический , эталонный образец 2, на одной из сторон которого установлен излучатель 1, а противоположна сторона предназначена) дл установки контролируемого издели 3, приемник акустических волн, выполненный в виде интерференционного блока, содер1жащего последовательно установленные источник 4 оптического излучени , размещенный на поверхности эталонного образца 2 со стороны контролируемого издели 3, волноводный двухлучв вой интерферометр, включающий делитель волноводного пучка, в виде дифракционной решетки 5, полупрозрачную волноводную дифракционную решетку 6 отражательные волноводные дифракцион ные решетки 7 и В, оптический погло титель 9 и фотоприемник 10, Позици ми 11 и 12 обозначены измерительное и опорное плечи интерферометра соответственнсз . Устройство также содержи волновод 13, защитное покрытие 14, генератор 15 акустических волн и кон рольный -обЬазец 16. Выход генератора 15 акустических волн электрически св зан с изл чателем 1. Выходной сигнал с фо4- приемника 10 поступает в блок обрг.еагки сигналов (не показан ). Устройство работает следующим образом . / Йри отсутствии на поверхности эталонного образца 2 контролируемого издели - 3 и контрольного образца 16 акустк лвские волны, возбуждаемйе пьезоэлектрическим излучателем 1, подключенным к генератору 15, полностью отражаютс от свободной поверхности защитного покрыти 14 волновода 13, 1В результате чего в эталонном образце 2 образуютс сто чие акустические волны. Оптический волново ц 13 представл ет собой онкую диэлектрическую прозрачную пленку с показателем преломлени , большим показателем преломлени окружающих сред (покрыти 14 и образца 2Jt Тол (цина защитного покрыти 14 выбрана так, чтобы оптическа волна не проникала в окружающую среду, т.е. в контролируемое изделие 3 и контрольный образец 16. Полна толщина оптического волновода fi , (эффективна толщина) составл ет величину пор дка длииы оптической волны.При длина акустической волны) оптическа волноводна волна распро стран етс в области узла сто чей акустической волны, т.е. в области, где оптические свойства среды не из мен ютс под-.дейс вием акустической волны в режиме сто чих волн. При этом опорный и сигнальный оптически волноводные пучки практически не измен ют своих параметров. Если над зоной прохождени сигнального оптического волноводного пучка установить на поверхности защитного покрыти 14 контролируемое изделие 3 и привести его в контакт с эталонным образцом в области акустического столба, создаваемого излучателем 1, то акустические волны будут проходить через зону контакта в контролируемое изделие 3 и режим сто чих акустических.ВОЛН в образце 2 будет мен тьс на режим бегущих волн.в этом случае показатель преломлени среды волновода на участке измерительного плеча 11 будет претерпевать изменение на величину jfi пропорциональную мощности акустических волн, а сигнальный оптический волноводный пучок - изменение фазы k-an.L где L - ширина акустического сголба, k - волновое число. Совмещение сигнального и опорного волноводных пучков осуществл етс при помощи оптических волноводных дифракционных решеток 5-8. На выходе фотоприемника 10 образуетс пропорциональный д сигнал, характеризующий фактическую площадь контакта с контролируемого издели 3 с образцом 2. При установке контрольного образца 16 аналогичнвлм образом происход т изменени фазы оптического волноводного пучка в опорном плече 12. В этом случае сигнал на выходе фотоприемника характеризует отклонение фактических площадей контакта с образцом 2 контролируемого издели 3 и контрольного образца 16. Оптический поглотитель 9 служит дл уменьшени засветки фотоприемника 10 рассе нным изучением. Точность измерени ФОК поверхности повышаетс за счет того, что акустооптическое взаимодействие происходит с той частью акустической волны, котора действительно проходит через фактический контакт и р&ссеиваетс на,нем, что достигаетс выполнением приемника акустических волн в виде интерференционного блока, включающего волноводный двухлучевой интерферометр. Установка контрольного образца позвол ет избежать ошибки в измерени х при использовании низкой акустической частоты. В этом случае |Эффективна толщина оптического Ь9лновода не отвечает неравенству и э-то приводит к тому, что в режиме сто чей акустической волны нельз пре:небрегать ее воздействием на волноводный пучок. Использование контрольного образца позвол ет проводить сравнительный анализ ФПК контролируемых образцов. Таким образом, выполнение приемника акустических волн в виде интерференционного блока,, установленногоThe device will hold the emitter 1 of acoustic waves, for example, a piezoelectric, reference sample 2, on one side of which the emitter 1 is installed, and the opposite side is designed to install the controlled product 3, a receiver of acoustic waves, made in the form of an interference unit containing consistently installed optical source 4 radiation placed on the surface of the reference sample 2 from the side of the controlled product 3, a waveguide two-beam interferometer including a wave divider In the form of a diffraction grating 5, a translucent waveguide diffraction grating 6, reflective waveguide diffraction gratings 7 and B, an optical absorber 9 and a photodetector 10, the positions 11 and 12 mark the measuring and reference arms of the interferometer, respectively. The device also contains a waveguide 13, a protective coating 14, an acoustic wave generator 15 and a monitoring-oscillator 16. The output of the acoustic wave generator 15 is electrically connected to the transmitter 1. The output signal from the photo4 receiver 10 enters the signal extractor unit (not shown). The device works as follows. The absence of a controlled product 3 and a control sample 16 acoustic waves on the surface of the reference sample 2, excited by a piezoelectric emitter 1 connected to the generator 15, is completely reflected from the free surface of the protective coating 14 of the waveguide 13, 1 resulting in a reference sample 2 forming Whose acoustic waves. The optical waveguide 13 is a thin dielectric transparent film with a refractive index, a large refractive index of the environment (coating 14 and sample 2Jt Tol (the thickness of the protective coating 14 is chosen so that the optical wave does not penetrate into the surrounding medium, i.e. product 3 and the control sample 16. The total thickness of the optical waveguide fi, (effective thickness) is of the order of the optical wavelength. When the acoustic wavelength) optical waveguide wave propagates in the region of evil standing acoustic wave, i.e. in the region where the optical properties of the medium do not change under the influence of the acoustic wave in the standing wave mode. The reference and signal optical waveguide beams practically do not change their parameters. above the zone of passage of the signal optical waveguide beam, place the controlled article 3 on the surface of the protective coating 14 and bring it into contact with the reference sample in the region of the acoustic column created by the emitter 1, the acoustic waves will pass through From the contact zone into the controlled article 3 and the standing acoustic mode. The WAVE in sample 2 will change to the traveling wave mode. In this case, the refractive index of the waveguide medium in the section of the measuring arm 11 will change by jfi proportional to the power of the acoustic waves, and the signal optical waveguide beam - phase change k-an.L where L is the width of the acoustic band, k is the wave number. The combination of the signal and reference waveguide beams is carried out using optical waveguide diffraction gratings 5-8. At the output of the photodetector 10, a proportional signal d is formed, which characterizes the actual contact area from the monitored product 3 with sample 2. When installing the control sample 16, the phase change of the optical waveguide beam in the reference arm 12 is similar. In this case, the signal at the photoreceiver output characterizes the deviation of the actual contact areas with sample 2 of the test article 3 and the test sample 16. The optical absorber 9 serves to reduce the illumination of the photodetector 10 by scattered and zucheniem. The accuracy of the FQM measurement of the surface is enhanced by the fact that the acousto-optic interaction occurs with that part of the acoustic wave that actually passes through the actual contact and p & s screened on it, which is achieved by performing an acoustic wave receiver in the form of an interference unit including a waveguide two-beam interferometer. Installing a control sample avoids measurement errors when using a low acoustic frequency. In this case, | The effective thickness of the optical B channel does not correspond to the inequality, and this leads to the fact that in the standing acoustic wave mode it is impossible to prevent its impact on the waveguide beam. The use of a control sample allows a comparative analysis of the FPC of controlled samples. Thus, the execution of the receiver of acoustic waves in the form of an interference unit, installed
описанным образом,позвол ет повысить точность измерений вследствие более полной регистрации энергии проход щих через зону контакта ультразвуковых волн.in this way, it allows to increase the measurement accuracy due to a more complete recording of the energy of the ultrasonic waves passing through the contact zone.