SU909325A1

SU909325A1 - Turbomolecular pump

Info

Publication number: SU909325A1
Application number: SU802949604A
Authority: SU
Inventors: Владимир Петрович Мелюхов
Original assignee: Предприятие П/Я В-8721
Priority date: 1980-06-27
Filing date: 1980-06-27
Publication date: 1982-02-28

Description

1one

Изобретение относитс к вакуумной технике , а именно к устройству турбомолекул рных вакуумных насосов.The invention relates to vacuum technology, namely to the design of turbomolecular vacuum pumps.

Известен турбомолекул рный насос, содержащий корпус и размещенный в нем облопаченный ротор, расположенный на валу , установленном в радиальных и опорном газовых подшипниках. Электродвигатель насоса размещен вне корпуса и св зан с валом посредством магнитной муфть} 1.A turbomolecular pump is known, comprising a housing and an enclosed rotor disposed therein located on a shaft mounted in radial and gas bearing bearings. The pump electric motor is placed outside the housing and is connected to the shaft by means of a magnetic coupling} 1.

Недостатком известного насоса вл ют с его большие габариты.A disadvantage of the known pump is its large size.

Известен также турбомолекул рный насос , содержащий корпус и размещенные в нем облопаченный ротор и ротор встроенного электродвигател , соосно расположенные на вертикальном валу, установленном в радиальных и опорном подшипниках 2.A turbomolecular pump is also known, comprising a housing and an enclosed rotor located therein and a rotor of an integrated electric motor coaxially arranged on a vertical shaft mounted in radial and support bearings 2.

Однако размещение встроенного электродвигател в области проточной части насоса снижает его производительность и увеличивает радиальные габариты.However, the placement of the built-in electric motor in the area of the flow part of the pump reduces its performance and increases the radial dimensions.

Цель изобретени - увеличение производительности и уменьшение радиальных габаритов.The purpose of the invention is to increase productivity and reduce radial dimensions.

Указанна цель достигаетс тем, что в устройстве ротор электродвигател установлен под радиальными подшипниками и служит п той опорного подшипника.This goal is achieved by the fact that in the device the rotor of the electric motor is installed under the radial bearings and serves as the fifth support bearing.

На чертеже представлена принципиальна схема насоса, продольный разрез.The drawing shows a schematic diagram of the pump, a longitudinal section.

Турбомолекул рный насос содержит корпус 1 и размешенные в нем облопаченный ротор 2 и ротор 3 встроенного электродвигател , соосно расположенные на вертикальном валу 4, установленном в радиальных и опорном газовых подшипниках 5-7, причем ротор 3 электродвигател установлен под радиальными подшипниками 5 и 6 и служит п той опорного подшипника 7.The turbomolecular pump comprises a housing 1 and a clad rotor 2 and a rotor 3 of an integrated electric motor placed therein, coaxially arranged on a vertical shaft 4 mounted in radial and bearing gas bearings 5-7, the rotor 3 of the electric motor being installed under radial bearings 5 and 6 and serving fifth support bearing 7.

Насос работает следующим образом.The pump works as follows.

При подаче рабочего газа в подшипники 5-7 облопаченный ротор 2 насоса приходит во взвешенное состо ние и подвод питани к электродвигателю обеспечивает разгон ротора 2 и нормальную работу насоса .When supplying the working gas to the bearings 5-7, the collapsed rotor 2 of the pump comes to a state of suspension and the power supply to the electric motor ensures the acceleration of the rotor 2 and the normal operation of the pump.

Установка ротора электродвигател под радиальными газовыми подшипниками и выполнение им функций п ты опорного подшипника позвол ет повысить производительность насоса за счет увеличени проточнойInstalling the rotor of the electric motor under the radial gas bearings and performing the functions of the fifth bearing of the support bearing improves pump performance by increasing flow through

Claims

Claim

A turbomolecular pump comprising a housing and a bladed rotor and a built-in electric motor rotor placed therein, coaxially arranged on a vertical shaft mounted in radial and thrust gas bearings, characterized in that, in order to increase productivity and reduce radial dimensions, the motor rotor mounted under radial bearings and serves as the fifth pillow block bearing.